JP2006228857A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板処理に関するプログラムの編集画面を表示する表示手段(モニタ227)と、前記表示手段に表示されキーにより編集された編集後の編集画面をキーログに関連付けて記憶手段に保存するキーログ保存手段(メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール53)と、前記記憶手段から前記編集後の編集画面を保存順に呼び出す次画面キー(Nextキー71)と逆順に呼び出す前画面キー(Prevキー69)と、編集後の編集画面の編集部分のうち前記キーにより編集された部分の画面表示形式を、編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する表示形式変更手段(キーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール54)とを備える。
【選択図】 図3
Description
なお、モジュールとは、装置コントローラ300のハードウエア資源を利用するプログラムモジュールのことである。以下、モジュールとは、このような意味で使用する。
また、前記キーログは、前記装置コントローラが理解できる特別なプログラム言語でハードディスクに書き込まれているので人間が理解できる文字や数字に変換するにはコンピュータ上で特別な編集ツールによってテキストデータに変換することになるがこれに多くの手間と時間が掛ってしまうという問題がある。
さらに、前記編集ツールによって前記キーログのテキストデータに変換しても変換したデータは単なる文字、数字、記号の羅列となってしまうので、解析の完了までには多くの時間が掛ってしまうという問題がある。
請求項1記載の発明において、表示手段に編集画面を呼び出し、キーにより、プログラムのシーケンスの設定部分やパラメータを前記編集画面の編集部分に入力する。
この編集画面を閉じると、編集部分の設定や変更が前記プログラムに反映される。
キーログ保存手段は、編集後の編集画面をキーのキーログに関連付けて前記記憶手段に保存し、表示形式変更手段は、編集後、編集画面の編集部分と他の表示部分とを相互に関連付けて記憶手段に保存する。そして、表示形式変更手段は、前記記憶手段に保存した編集後の編集画面の編集部分のうち前記キーによって編集された部分の画面表示形式を、同じ編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する。
編集画面の編集後に、設定や変更によるトラブルが発生し、その原因を特定する際や設定の変更を確認する際は、前記次画面キーと前記前画面キーにより、前記記憶手段から保存後の編集画面を表示手段に表示させる。このとき、編集画面はこの画面が何の編集画面かを表示するための情報を持っており、編集部分は、ユーザやメンテナンスエンジニアが直接理解できる文字や数字として表示手段にビジュアルに表示され、且つ、編集部分のうち、前記キーによって編集された部分の画面表示形式は、同じ編集画面の他の表示部分と区別可能に変更されているので、編集顔面の編集部分を、コンピュータ上のツールで変換することなく編集の内容を一目で理解することができる。
(1)請求項1記載の発明によれば、基板処理に関するプログラムの編集後において、設定や変更の内容及び履歴を一目で理解できる。
ポッドオープナ108、カセット棚109、およびI/Oステージ105間のポッド100の搬送は、カセット移載機114によって行われる。このカセット移載機114によるポッド100の搬送空間には、筐体101に設けられたクリーンユニット(図示せず)によって清浄化した空気をフローさせるようにしている。
また、N2パージ室102の上部には、ウエハ200を処理するための処理炉202が設けられており、ボート217は、ボートエレベータ(昇降手段)115によって処理炉202へローディング、又は処理炉202からアンローディングされる。
まず、AGVやOHTなどのウエハ移載機(図示せず)により筐体101の外部から搬送されてきたポッド100は、I/Oステージ105に載置される。I/Oステージ105に載置されたポッド100は、カセット移載機114によって、直接、ポッドオープナ108上に搬送されるか、又は、一旦、カセット棚109にストックされた後にポッドオープナ108上に搬送される。
ポッドオープナ108上に搬送されたポッド100は、ポッドオープナ108によってポッド100の蓋体が取外される。このとき、ポッド100内とN2パージ室102とが連通されポッド100内がN2雰囲気に置換される。
ローディング後は、処理炉202でウエハ200にCVD処理や拡散処理等の任意の処理が実施される。ウエハ200の処理後は、前記した手順の逆の手順で、ウエハ200及びポッド100が、筐体101の外部へと払い出される。
前記制御部222は、図3には詳細に示されていないが、熱電対等の加熱装置の加熱温度に基づいて前記ヒータの温度をフィードバック制御する温度コントローラ(図示せず)と、圧力センサの検出温度に基づいて処理炉の圧力をフィードバック制御する圧力コントローラ(図示せず)と、マスフローモニタに基づいて原料ガスの流量をフィードバック制御するマスフローコントローラ(図示せず)と、位置や回転角センサに基づいて各種メカニズムを制御するメカニズムコントローラ(図示せず)とから構成され、これらを管理するためのメインコントローラ(図示せず)と操作部221の操作コントローラ223とに通信可能に接続される。なお、前記メカニズムコントローラは、前記ポッドオープナ(開閉手段)108、前記カセット移載機114、前記基板位置合わせ装置106、前記基板位置合わせ装置106、前記ウエハ移載機(搬送手段)112、前記ボートエレベータ(昇降手段)115等のアクチュエータ(駆動部)を制御するコントローラであり、制御のためのシーケンス(プログラムシーケンス)やパラメータは、たとえば、操作コントローラ223のメモリ225やハードディスク226等の記憶手段から読み込まれる。また、操作コントローラ223には、前記処理装置90の基板処理に関するプログラムのシーケンスやパラメータの設定や変更のためのユーザインターフェイスとしてモニタ(表示手段)227とキー入力装置228とが備えられる。
前記ガスパネル9、前記温度パネル10、前記圧力パネル11、前記AUXパネル12、前記レシピパネル13には、それぞれパネルの内容を視覚的に補完する情報として文字やアイコンが表示される。これらのパネル9〜13又はパネル上のアイコンは、指やペンによりタッチされると、画面を関連画面に切り替えるプログラムキーとなっている。
原料ガス流量のモニタ画面であるガスパネル9には、セル15を挟んで一方側と他方側にマスフローコントローラの略語(mfc)、配置先を示す番号を表示するボタン16、流量の単位を示す文字(slm)が表示される。
炉内温度のモニタ画面である温度パネル10には、前記ガスパネル9と同様に、前記処理炉202の構造を示す図形表示17を挟んで一方側に前記処理炉202における炉内温度の温度ゾーンu、cu、c、cl、lが縦一列に配置され、他方側にu、cu、c、cl、lの各温度ゾーンの炉内温度を表示するためのセル18が縦一列に配置される。また、この温度パネル10には、温度の制御モードを表示するためのセル19が設けられる。
AUXパネル12は基板処理の補完用のパネルであり、たとえば、外部燃焼による水蒸気の流量等をモニタするためのパネルである。このAUXパネル12にも複数の設定点をモニタするため複数のセル80が設けられている。
操作パネル8の編集ボタン5は、タッチすると前記編集キー14による編集部分の編集を可能にするボタンである。
編集キー14は、たとえば、画面上部に設けられた文字/数字テーブルからなり、最初にセルを指定し、続いて、文字/数字テーブルに表示されている複数の文字や数字にタッチすることによって文字や数字を前記した各セルに入力するものである。
文字/数字テーブルから選択した文字や数字は、先に指定したセルの設定又は変更データとなり、それぞれシーケンスの設定、又は変更、又はパラメータとして基板処理に関するプログラムに反映される。
従って、これらのガス一覧モニタ画面28、温度メインモニタ画面29、圧力モニタ画面30、AUX一覧モニタ画面31、レシピ進捗モニタ画面32は、前記編集キー14がタッチされた段階でこれらの画面は、基板処理に関するプログラムの編集画面となり、各画面のセルはユーザやプログラムエンジニアの実施する設定又は変更の対象となる編集部分となる。もちろん、編集部分にはセルに限らずダイアログやポップアップウインドウも含まれる。
また、図7の圧力モニタ画面30においては、制御方式のセル40、制御モードモニタのセル41、設定42、圧力コマンドのセル43が編集部分に該当し、図8のAUX一覧モニタ画面31においては、たとえば、AUX07〜AUX12までの水素と酸素の流量(slm)を設定するためのセル44が編集部分に該当する。ここで水素と酸素とは、アニールのための水蒸気生成用として用いられるものである。
図3に示すように、操作コントローラ223には、キーログを収集するキーログ収集入力モジュール50と、キーログデータメモリ内書き込みモジュール51と、メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール52と、キーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール54と、キーログデータ検索モジュール55とが備えられる。
ここで、図10に示すように、キーログ収集入力モジュール50は、前記編集画面の呼び出しキーのキーログを順次収集するモジュールであり、キーログデータメモリ内書き込みモジュール51は、前記キーログ収集入力モジュール50が収集したキーログを順次メモリに書き込んで保存するメモリ内キーログ収集処理を実行するモジュールである。また、メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール53は、前記メモリ225に書き込まれたキーログをこのメモリ225から読み込んでこれをハードディスク226に順次書き込んで保存する処理を実行するモジュールであり、キーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール54は、キーログのデータに前記処理装置の編集後の編集画面を結合するため相互に関連付けて保存するモジュールである。また、キーログデータ検索モジュール55は、後述する検索キーによってキーログのデータを検索し、このデータに関連付けられた編集画面のデータを呼び出すモジュールである。
例えば、前記キーログには、前記操作パネル8に配置される各ボタンや、前記ガスパネル9、温度パネル10、圧力パネル11、AUXパネル12、レシピパネル13又はアイコン等を呼び出しキーとして操作したキーログが該当し、編集画面には、例えば、前記ガス一覧モニタ画面28、前記温度メインモニタ画面29、前記圧力モニタ画面30、前記AUX一覧モニタ画面31、及び前記レシピ進捗モニタ画面32等が該当する。
このため、キーログデータメモリ内書き込みモジュール52と、メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール53からなるキーログ保存手段は、ガスパネル9、温度パネル10、圧力パネル11、AUXパネル12、レシピパネル13又はアイコン等(図4参照)を呼び出しキーとするキーログに、それぞれ編集後のガス一覧モニタ画面28(図5)、温度メインモニタ画面29(図6)、圧力モニタ画面30(図7)、AUX一覧モニタ画面31(図8)、レシピ進捗モニタ画面32(図9)を関連付けて前記操作コントローラ223の記憶手段(メモリ225、ハードディスク226)に保存し、表示形式変更手段としてのキーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール54は、前記メモリ225やハードディスク226に編集後の編集画面を保存した後に、編集後の編集画面の編集部分(セル)の画面表示形式を、各編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する。この場合、表示形式の変更の態様には、ブリンク表示、色分け表示、又は反転表示が好ましいが、編集部分の周囲を枠状に囲んで太く強調表示したり、パラメータやコマンドをボールド表示として周囲の部分と区別して表示するようにしてもよい。
このように表示形式が変更されると、ユーザやメンテナンスエンジニアの視覚的な注意力が編集部分に自然に集中するのでトラブルの原因を短時間で特定することができる。
また、本実施形態に係る操作コントローラ223は、常に、編集後の編集画面を、前記パネル9〜13又は各パネル9〜13のアイコンを呼び出しキーとしたキーログに関連付けてハードディスク226に保存するので、従来のように解析の対象から最新のキーログが外れてしまうこともない。
さらに、ユーザやメンテナンスエンジニアの注意力が編集部分に集まるので、後述する検索キーを使用せずに、プレビューキー(前画面キー)やネクストキー(次画面キー)を使用して編集後の編集画面を呼び出す場合でもトラブルの原因を短時間で特定することができる。
図11は前記検索キーを利用して前記装置コントローラ220の記憶手段を検索し、編集後の編集画面の呼び出しに用いるデータログメニュー画面の一例である。
なお、このデータログメニュー画面60は、図4で説明したPMモニタメイン画面30aのデータログボタン6をタッチしたときに前記装置コントローラ220と一体又は別体のモニタ227に表示される画面である。
データログメニュー画面60でOUロギング情報ボタン61をタッチすると、モニタ227の画面が図12に示すOUロギングメニュー画面62に切り替わる。そして、OUロギングメニュー画面62でキーログボタン63をタッチするとモニタ227の画面が図13に示すキーログ解析一覧画面64に切り替わる。
なお、この画面において、Mon¥MonPMMainPressは画面を前記圧力モニタ画面に、
Mon¥MonPMMainAUXSmallPanelは画面を前記AUX一覧モニタ画面に、
また、Mon¥MonPMMainRcpProgressは画面を前記レシピ進捗モニタ画面に、
Mon¥MonPMMainMFCLは画面を前記ガス一覧モニタ画面に、
Mon¥MonPMMainTempTCMon5Zは画面を温度メインモニタ画面に切り替えるデータベースファイルである。
たとえば、MonPMMainPressにカーソルバーを移動し、同画面のログ解析ボタン65をタッチするとモニタ227の画面が図1で説明したPMモニタメイン画面30aの圧力パネル11に対応する圧力編集画面に切り替わる。
図14はこの圧力編集画面68である。圧力編集画面68の下部には、Prevキー(前画面キー)69、Closeキー(終了ボタン)70及びNextキー(次画面キー)71が設けられており、Prevキー(前画面キー)69をタッチするごとに前記操作コントローラ223のハードディスク226に保存されていた過去の圧力編集画面68が保存順と逆順に表示され、Nextキー(次画面キー)71をタッチするごとにハードディスク226に保存されていた過去の圧力編集画面68が保存順に表示される。このように、圧力、温度といったカテゴリ別に検索可能なデータベースを構築すると、トラブルの原因を推定できる場合において、使い勝手がよくなるので、原因の特定を短時間で終了することができる。
図15は図13に示す検索キー73に対応する検索画面72である。このように、操作コントローラ223に検索画面72を格納し、操作コントローラ223に発生日時(年月日、時間)や作業者名を検索キーとするデータベースを構築してカテゴリ別に編集画面を検索するように構成した場合には、トラブルの原因の特定等に対する作業の短縮化を図ることができる。
次に、本実施形態に係る処理装置90による操作例を説明する。
例えば、プロセス実行後に、顧客(ユーザ)の成膜条件が合わない場合に、レシピ(基板処理に用いるプロセスプログラム)の温度設定、圧力設定、原料ガスの流量等の設定をキーログによってどのように変更したので条件に合わなくなったかを調べる一つの手段に使用する。つまり、レシピの何処のどの部分をどのように変更したことがわかれば、条件に合わなくなったことの原因を特定することができる。
より具体的に説明すると、図4のPMモニタメイン画面4から編集ボタン5をタッチして図16の編集メニュー画面に移る。そしてプロセスレシピボタン81をタッチして図17のプロセスレシピ編集画面に移る。この画面上で、レシピの温度設定(炉内温度設定)や原料ガスの温度設定等を行う。そして、図4のPMモニタメイン画面30に戻ってPMボタン1をタッチすると、図18に示すPMコマンド画面83が現れる。この画面で、IDEL→STANBY→RUN→ENDの順でモード遷移を実施し、各モードでコマンド等を入力する。前記したように、これらの画面で編集した編集画面は、キーログに関連させて画面と同じイメージでハードディスク226に保存される。
レシピの編集後に、例えば、炉内圧力をチェックするときには、図4で説明したPMモニタメイン画面30aのデータログボタン6をタッチして図11のデータログメニュー画面60を表示させ、この画面でOUロギング情報ボタン61をタッチして図12に示すOUロギングメニュー画面62に切り替える。そして、OUロギングメニュー画面62でキーログボタン63をタッチして図13に示すキーログ解析一覧画面64に切り替える。
次に、MonPMMainPressにカーソルバーを移動し、同画面のログ解析ボタン65をタッチして図14の圧力編集画面に切り替える。この画面で、Prevキー(前画面キー)69又はNextキー(次画面キー)71を用い先のキー操作により前記ハードディスク226に保存された圧力編集画面68を表示させ、設定又は変更した炉内圧力が適正かどうかをチェックする。この場合、図15の検索画面を表示させ、例えば、発生日時(年月日、時間)や作業者名を検索キーとして検索した場合には、トラブルの原因の特定に対する作業時間の短縮化が図られ、トラブルの原因を効率的に特定することができる。従って、作業効率が改善されユーサーやメンテナンスエンジニアの負担を大幅に改善することが可能となる。
このように本実施形態によれば、エラーとして検出されないエンジニアの設定ミスを容易に発見し確認することができる。また、設定ミスによる事故を未然に防止できると共に、生産性の向上に寄与できる。
また、本実施形態の説明において、本発明を縦型の処理装置に適用する説明をしたが、横型の処理装置にも適用が可能であり、枚葉装置に適用することも可能である。さらに、本発明に係る諸装置は、CVD、酸化、アニール等の基板の処理に適用できるし、処理対象とする基板も水晶、液晶、半導体等の種々の基板を対象とする。
このように本発明は種々の改変が可能であり、本発明がこの改変された発明に及ぶことは当然である。
11 圧力パネル(呼び出しキー)
12 AUXパネル(呼び出しキー)
13 レシピパネル(呼び出しキー)
14 編集キー
28 ガス一覧モニタ画面(編集画面)
29 温度メインモニタ画面(編集画面)
30 圧力モニタ画面(編集画面)
31 AUX一覧モニタ画面(編集画面)
32 レシピ進捗モニタ画面(編集画面)
52 キーログデータメモリ内書き込みモジュール(キーログ保存手段)
53 メモリ→HD(ハードディスク)書き込みモジュール(キーログ保存手段)
54 キーログデータと画面ファイルリンク表示モジュール(表示形式変更手段)
226 ハードディスク(記憶手段)
227 メモリ(記憶手段)
69 Prevキー(前画面キー)
71 Nextキー(次画面キー)
Claims (1)
- 基板処理に関するプログラムの編集画面を表示する表示手段と、
前記表示手段に表示されキーにより編集された編集後の編集画面をキーログに関連付けて記憶手段に保存するキーログ保存手段と、
前記記憶手段から前記編集後の編集画面を保存順に呼び出す次画面キーと逆順に呼び出す前画面キーと、
編集後の編集画面の編集部分のうち前記キーにより編集された部分の画面表示形式を、前記編集画面の他の表示部分と区別可能に変更する表示形式変更手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
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