JP6872667B2 - レシピ作成方法、半導体装置の製造方法及び処理装置並びにプログラム - Google Patents
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Description
レシピ保存手順において、更に、整合性チェックの結果に応じてレシピが保存される手順と、レシピ編集画面を表示させて再作成が促される手順と、のうちどちらか一方を実行するように構成されている。
更に、図12に示すようにコントローラ10は、コンピュータとしての機能により、作成されたプロセスレシピを実行する手順を基板処理装置100に実行させる。
(S420) これは、編集対象のレシピに対して直接所定のステップを選択入力して処理条件を変更するパラメータ編集であり、例えば、コマンド選択エリアに設けられた数値を入力するセルを用いてパラメータを入力する。また、入力形態には特に限定しないので、レシピ編集エリア302に表示されたステップが選択された場合、コントローラ10は、選択したステップに所定のパラメータを入力するための入力画面がダイアログ画面で表示されるように構成してもよく、また、選択されたステップに直接所定のパラメータを入力可能なように構成してもよい。主にパラメータを微修正する場合に行われる。具体的には、後述するレシピ整合性チェックの後、レシピ再作成の際に、レシピ編集画面に異常(不整合)が発生しているステップを優先的に表示させるように構成されている。この場合、レシピ編集画面に表示された異常(不整合)が発生しているステップを選択し(S420)、該ステップのパラメータを編集(修正)する。
(S520)選択されたファイルの内容をコンビネーション情報が表示されていた画面に表示するように構成されている。以後、このコンビネーション情報が表示されている画面をサブ画面ということがある。また、このサブ画面は分割される場合がある。以下、図6を用いて詳述する。
(S620)コントローラ10は、選択された共有パラメータが、バリアブルパラメータVPかコンディションパラメータCPかを判断し、次に、どのパラメータに関する共有パラメータかを判定する。そして、記憶部20に格納されている、判定されたパラメータに関する共有パラメータ編集画面をプロセスレシピ編集画面上に表示するように構成されている。
(S630)コントローラ10は、共有パラメータ編集画面上でパラメータ変更を選択されたこの共有パラメータが設定されたいステップに反映させるように構成されている。また、この選択された共有パラメータで設定されていた全てのステップでこのパラメータ変更が反映される。主に、プロセスレシピ内の成膜プロセス等のステップに用いられる。なお、このパラメータ変更は他のレシピにも反映させるようにしてもよい。
(S720)コントローラ10は、このレシピ選択画面でレシピファイルが選択されると、この選択されたレシピファイルをサブ画面301cに表示するように構成されている。つまり、この選択されたレシピファイルは、サブ画面に表示されていたファイルから切替え表示されるように構成されている。尚、この選択されたレシピファイルをマスターレシピという場合がある。
(S730)この他のレシピファイルの内容をサブ画面301cに表示される場合も表示された状態では「参照のみ」となっている。尚、このファイルは参照用であるので、上述のアラーム条件テーブルのようにデータの書き換えを行うことができないが、ステップを選択することはできるようになっている。
先ず、他のレシピファイルの内容を表示するサブ画面301cで所定のステップの選択を受付け、図7のコマンド選択エリア303に示すコピーアイコン303b及びペーストアイコン303cがそれぞれ押下されると、コントローラ10は、図7のクリップボード303aの一番上にコピーされた内容(複数のステップパターン)を表示させるように構成されている。
コントローラ10は、妥当性チェック(整合性チェックともいう)機能が設定されているか確認し、設定されていれば、バルブの開閉状態に不整合がなかいか(バルブインターロックチェック)や、ステップの組み合わせに不整合がないか(ステップの無限ループチェック)などの妥当性チェックを行うように構成されている。
Claims (16)
- 複数のステップを含む対象レシピを表示するレシピ編集エリアと、少なくとも前記対象レシピと関連するファイル情報を表示するサブエリアと、レシピ編集に使用される各ファイルを前記サブエリアおよび前記レシピ編集エリアのうち少なくとも一つのエリア上で編集するためのアイコンを表示するコマンド選択エリアと、をそれぞれ含むレシピ編集画面を表示させる工程と、前記サブエリアで前記ファイル情報の選択指示を受付けると、前記対象レシピと該対象レシピと関連するファイルを読み込ませると共に前記サブエリアを複数のサブ画面に分割して、読込まれた前記対象レシピと関連するファイルを開いて表示させる工程と、前記レシピ編集エリア、前記サブエリア、前記コマンド選択エリアのいずれか一つのエリア上で受付けた指示に応じて前記レシピ編集エリアに表示された前記対象レシピを編集させる工程と、を有するレシピ作成方法。
- 前記対象レシピを編集させる工程は、(1)前記サブ画面に表示された前記対象レシピと関連するファイルを参照しつつ、前記コマンド選択エリアに表示されたアイコンを用いて前記対象レシピのステップを編集させる工程と、(2)前記対象レシピのステップに設定された共有パラメータの選択指示を受付けると、前記レシピ編集画面上に前記共有パラメータを選択する画面をダイアログ表示させる処理と、前記共有パラメータを編集させる処理と、前記レシピ編集エリアに表示される前記対象レシピに設定された共有パラメータと前記編集された共有パラメータを置換させる処理と、を含む工程と、(3)他のレシピを前記サブ画面に表示させる前記コマンド選択エリアに配置されたアイコンの選択指示を受付けると、前記他のレシピを参照しつつ前記レシピ編集エリアに表示される前記対象レシピの所定ステップを編集させる処理と、前記他のレシピの所定ステップを選択し、前記対象レシピの所定ステップにコピーさせる処理と、を含む工程と、のうち少なくとも一つ以上の工程を実行するように構成されている請求項1記載のレシピ作成方法。
- 前記(1)乃至(3)の工程のうち複数の工程を組合せて実行するように構成されている請求項2記載のレシピ作成方法。
- 前記(1)乃至(3)の工程のうち少なくとも一つ以上の工程を繰返し実行するように構成されている請求項2記載のレシピ作成方法。
- 複数のレシピで共通するステップパターンを示す前記コマンド選択エリアに配置されたファイル名アイコンを選択する指示を受付け、前記ステップパターンをコピーするためのアイコンを選択する指示を受付け、前記レシピ編集エリアに表示される前記対象レシピの前記ステップパターンを選択する指示を受付け、前記複数のレシピで共通するステップパターンを前記対象レシピ上の前記ステップパターンに上書きさせる工程を更に含む請求項1記載のレシピ作成方法。
- 前記複数のレシピで共通するステップパターンを前記コマンド選択エリアに登録する工程を更に有する請求項5記載のレシピ作成方法。
- 更に、前記レシピ編集画面から他の画面への切替指示を受付ける工程と、
前記レシピ編集画面で編集されたレシピが保存されているか確認する保存確認画面を表示させる工程と、を有する請求項1記載のレシピ作成方法。 - 更に、作成されたレシピの整合性チェックを行うレシピ保存工程を有し、
前記レシピ保存工程において、整合性チェックの結果に応じて前記レシピが保存される工程と、前記レシピ編集画面を表示させて再作成が促される工程のうち、どちらか一方の手順が実行されるように構成されている請求項1記載のレシピ作成方法。 - 前記再作成が促される工程は、前記レシピ編集画面に不整合が発生しているステップを優先的に表示させる工程と、前記不整合が発生しているステップを選択し、ステップのパラメータを編集する工程と、を有する請求項8記載のレシピ作成方法。
- 複数のステップを含む対象レシピを表示するレシピ編集エリアと、前記対象レシピ情報または前記対象レシピと関連するファイル情報を表示するサブエリアと、レシピ編集に使用される各ファイルを前記サブエリアまたは前記レシピ編集エリア上で編集するためのアイコンを表示するコマンド選択エリアと、をそれぞれ含むレシピ編集画面を表示させる工程と、前記サブエリアで前記ファイル情報が選択されると、前記対象レシピと該対象レシピと関連するファイルが読み込まれると共に前記サブエリアを複数のサブ画面に分割して、読込まれた前記対象レシピと関連するファイルを開いて表示する工程と、前記レシピ編集エリア、前記サブエリア、前記コマンド選択エリアのいずれか一つのエリア上で受付けた指示に応じて前記レシピ編集エリアに表示された前記対象レシピを編集する工程と、を有するレシピ作成工程と、前記レシピ作成工程において作成されたレシピを実行して、基板を処理するレシピ実行工程と、を有する半導体装置の製造方法。
- 更に、前記作成されたレシピの整合性チェックを行うレシピ保存工程を有する請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 複数のステップを含む対象レシピを表示するレシピ編集エリアと、前記対象レシピ情報または前記対象レシピと関連するファイル情報を表示するサブエリアと、レシピ編集に使用される各ファイルを前記サブエリアまたは前記レシピ編集エリア上で編集するためのアイコンを表示するコマンド選択エリアと、をそれぞれ含むレシピ編集画面を操作画面に表示する操作部と、前記サブエリアで前記ファイル情報の選択指示を受付けると、前記対象レシピと該対象レシピと関連するファイルが読み込まれると共に前記サブエリアを複数のサブ画面に分割して、読込まれた前記対象レシピと関連するファイルを開いて前記操作部に表示させると共に、前記レシピ編集エリア、前記サブエリア、前記コマンド選択エリアのいずれか一つのエリア上で受付けた指示に応じて前記レシピ編集エリアに表示された前記対象レシピを編集させる制御部と、を備えた処理装置。
- 前記制御部は、(1)前記サブ画面に表示された前記対象レシピと関連するファイルを参照しつつ、前記コマンド選択エリアに表示されたアイコンを用いて前記対象レシピのステップを編集させる工程と、(2)前記対象レシピのステップに設定された共有パラメータの選択指示を受付けると、前記レシピ編集画面上に前記共有パラメータを選択する画面をダイアログ表示させる処理と、前記共有パラメータを編集させる処理と、前記レシピ編集エリアに表示される前記対象レシピに設定された共有パラメータと前記編集された共有パラメータを置換させる処理と、を含む工程と、(3)前記コマンド選択エリアに配置された他のレシピを前記サブ画面に表示させるアイコンの選択指示を受付けると、前記他のレシピを参照しつつ前記レシピ編集エリアに表示される前記対象レシピの所定ステップを編集させる処理と、前記他のレシピの所定ステップを選択し、前記対象レシピの所定ステップにコピーさせる処理と、を含む工程と、のうち少なくとも一つ以上の工程を実行するように構成されている請求項12に記載の処理装置。
- 前記制御部は、前記コマンド選択エリアで表示される所定のアイコンの選択指示を受付けると、レシピ選択画面を前記レシピ編集画面に表示させ、選択されたレシピを前記サブ画面に表示させるよう構成されている請求項12記載の処理装置。
- 前記制御部は、前記レシピ編集画面から他の画面への切替指示を受付けると、保存確認画面を表示させるよう構成されている請求項12記載の処理装置。
- 複数のステップを含む対象レシピを表示するレシピ編集エリアと、前記対象レシピ情報または前記対象レシピと関連するファイル情報を表示するサブエリアと、レシピ編集に使用される各ファイルを前記サブエリアまたは前記レシピ編集エリア上で編集するためのアイコンを表示するコマンド選択エリアと、をそれぞれ含むレシピ編集画面を表示させる手順と、前記サブエリアで前記ファイル情報の選択指示を受付けると、前記対象レシピと該対象レシピと関連するファイルを読み込ませると共に前記サブエリアを複数のサブ画面に分割して、読込まれた前記対象レシピと関連するファイルを開いて表示させる手順と、前記レシピ編集エリア、前記サブエリア、前記コマンド選択エリアのいずれか一つのエリア上で受付けた指示に応じて前記レシピ編集エリアに表示された前記対象レシピを編集させる手順と、をコントローラに実行させるプログラム。
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