TW202414652A - 基板處理裝置、半導體裝置之製造方法及程式 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於提供一種在變更前後確保設定值之無矛盾性、且可有效率地進行檔案之編輯操作之技術。 本發明之基板處理裝置包含：顯示部，其可進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示；操作部，其可進行前述檔案之編輯操作、及在前述編輯操作中設定之前述設定值之取消或重設之至少一個操作；記憶部，其記憶前述檔案、及前述取消或前述重設之操作履歷資訊；判定部，其進行在前述取消或前述重設之操作時再設定之前述設定值之有效範圍之判定；控制部，其具有前述記憶部及前述判定部，可進行前述設定值之編輯操作之控制；及處理容器，其可基於指定之前述檔案進行前述基板之處理。

Description

基板處理裝置、半導體裝置之製造方法及程式
本揭示係關於一種基板處理裝置、半導體裝置之製造方法及程式。
在基板處理裝置中，有時對可在各步驟中設定用於執行基板之處理之處理條件之製程條件進行編輯，或對用於執行製程條件之參數進行編輯。又，製程條件或參數之設定項目較多，進行製程條件或參數之編輯時對編輯者之負擔較大。在基板處理裝置中，有時為了減輕該負擔而具備製程條件或參數之編輯時之輔助功能。
例如，在專利文獻1中，記載如下之基板處理裝置：其在製程條件之編輯時所使用之參數之編輯中對設定值進行變更時，可將可輸入之設定值限制在適切之範圍。在該專利文獻1中，進行與基板處理裝置之檔案編輯時之輸入輔助關聯之記載。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2014-138158號公報
[發明所欲解決之課題]
然而，在進行複數次設定值之變更之後，在自該狀態返回至之前之狀態時，有未保存編輯之檔案而結束，再次重新打開檔案，再次對設定值進行設定，或利用手動作業將變更之設定值恢復至原來之作業，而有時導致作業效率之下降。
又，在對設定值進行變更之情形下，有時不僅是變更後之設定值、而且因設定值而關聯之其他設定值超出有效範圍，故有時在變更前後無法確保設定值之無矛盾性。
本揭示提供一種在變更前後確保設定值之無矛盾性、且可有效率地進行檔案之編輯操作之技術。 [解決課題之技術手段]
根據本揭示之一態樣，提供一種技術，其包含：顯示部，其可進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示；操作部，其可進行前述檔案之編輯操作、及在前述編輯操作中設定之前述設定值之取消或重設之至少一個操作；記憶部，其記憶前述檔案、及前述取消或前述重設之操作履歷資訊；判定部，其進行在前述取消或前述重設之操作時再設定之前述設定值之有效範圍之判定；控制部，其具有前述記憶部及前述判定部，可進行前述設定值之編輯操作之控制；及處理容器，其可基於指定之前述檔案進行前述基板之處理。 [發明之效果]
根據本揭示，具有可在變更前後確保設定值之無矛盾性、且可有效率地進行檔案之編輯操作之效果。
以下，參照圖式就實現本揭示之技術之實施形態詳細地進行說明。 再者，對於作用、功能承擔相同效力之構成要件及處理，有時對於全部圖式賦予相同之符號，且適當省略重複之說明。又，本揭示並不受以下之實施形態任何限定，可在本揭示之範圍內，施加適當變更而實施。又，在以下之說明中所使用之圖式皆為示意性者，圖式所示之各要件之尺寸之關係、各要件之比率等未必一定與現實一致。又，在複數個圖式之相互間亦然，各要件之尺寸之關係、各要件之比率等未必一定一致。
首先，參照圖1及圖2，就本實施形態之基板處理裝置之概要進行說明。
圖1係顯示本實施形態之基板處理裝置1之一例之立體圖。又，圖2係自側面觀察本實施形態之基板處理裝置1時之剖面圖。圖1及圖2作為基板處理裝置之一例而顯示縱型之基板處理裝置1。再者，在基板處理裝置1中被處理之基板，作為一例而顯示由矽等構成之半導體晶圓。
如圖1及圖2所示般，基板處理裝置1包含殼體2，在殼體2之正面壁3之下部開設有作為可保養維修地設置之開口部之正面保養維修口4，正面保養維修口4係由正面保養維修門5開閉。
在殼體2之正面壁3，以連通殼體2之內外之方式開設有盒搬入搬出口6，盒搬入搬出口6係由前擋門(搬入搬出口開閉機構)7開閉。在盒搬入搬出口6之正面前方側設置裝載埠(基板搬送容器交接台)8，裝載埠8構成為對載置之盒9進行定位。
盒9係密閉式之基板搬送容器，藉由工序內搬送裝置(未圖示)搬入至裝載埠8上，且自裝載埠8上被搬出。
在殼體2內之前後方向之大致中央部處之上部，設置旋轉式盒擱架(基板搬送容器儲存擱架)11，旋轉式盒擱架11構成為儲存複數個盒9。
旋轉式盒擱架11包含：支柱12，其垂直地豎立設置，且間歇旋轉；及複數段擱架板(基板搬送容器載置擱架)13，其等在支柱12於上中下段之各位置放射狀地受支持。擱架板13構成為將盒9以載置複數個之狀態下進行儲存。
在旋轉式盒擱架11之下方設置開盒器(基板搬送容器蓋體開閉機構)14，開盒器14具有載置盒9、且可開閉盒9之蓋之構成。
在裝載埠8與旋轉式盒擱架11、開盒器14之間，設置盒搬送機構(容器搬送機構)15，盒搬送機構15保持盒9且可升降、可在水平方向上進退。構成為在裝載埠8、旋轉式盒擱架11、開盒器14之間搬送盒9。
在殼體2內之前後方向之大致中央部處之下部，副殼體16遍及後端地設置。在副殼體16之正面壁17沿垂直方向於上下2段排列地開設一對用於將晶圓(基板)18對於副殼體16內搬入搬出之晶圓搬入搬出口(基板搬入搬出口)19，對於上下段之晶圓搬入搬出口19分別設置開盒器14。
開盒器14包含：載置台21，其載置盒9；及開閉機構22，其開閉盒9之蓋。開盒器14構成為藉由利用開閉機構22開閉載置於載置台21之盒9之蓋，而開閉盒9之晶圓出入口。
副殼體16構成自配設有盒搬送機構15或旋轉式盒擱架11之空間(盒搬送空間)成為氣密之移載室23。在移載室23之前側區域設置晶圓移載機構(基板移載機構)24，晶圓移載機構24包含供載置晶圓18之所需個數(例如，圖示中為5個)之晶圓載置板25，晶圓載置板25可於水平方向直動、可於水平方向旋轉、或可升降。晶圓移載機構24構成為對於舟皿(基板保持體)26裝填及傳出晶圓18。
在移載室23之後側區域，構成有收容舟皿26並使其待機之待機部27，在待機部27之上方設置縱型之處理爐28。處理爐28在內部形成處理室29，處理室29之下端部成為爐口部，爐口部係藉由爐口擋門(爐口開閉機構)31開閉。再者，處理室29係處理容器之一例。
在殼體2之右側端部與副殼體16之待機部27之右側端部之間設置用於使舟皿26升降之舟皿升降機(基板保持具升降機構)32。在與舟皿升降機32之升降臺連結之臂33，水平地安裝作為蓋體之密封蓋34，密封蓋34垂直地支持舟皿26，在將舟皿26裝入處理室29之狀態下可將爐口部氣密地閉塞。
舟皿26構成為將複數個(例如，50個～125個左右)晶圓18在其中心對齊並以水平姿勢多段地保持。
在與舟皿升降機32側對向之位置配設無塵單元35，無塵單元35係由供給清潔化之氣體環境或惰性氣體之無塵空氣36之供氣風扇及防塵過濾器構成。作為惰性氣體，例如可使用含氮(N)之氣體。作為含N氣體，例如可使用氮(N2)氣體、氨(NH3)氣體等。作為含N氣體，可使用該等中之1者以上。在晶圓移載機構24與無塵單元35之間，設置作為使晶圓18之圓周方向之位置進行調整之基板調整裝置之缺口對準裝置(未圖示)。
自無塵單元35吹出之無塵空氣36構成為在流通過缺口對準裝置(未圖示)及晶圓移載機構24、舟皿26之後，被管道(未圖示)吸入，排出至殼體2之外部，或被無塵單元35吹出至移載室23內。
接著，就基板處理裝置1之作動進行說明。
在盒9供給至裝載埠8時，盒搬入搬出口6由前擋門7打開。裝載埠8上之盒9藉由盒搬送機構15經由盒搬入搬出口6向殼體2之內部搬入，向旋轉式盒擱架11之指定之擱架板13載置。盒9於在旋轉式盒擱架11暫時地存放之後，由盒搬送機構15自擱架板13搬送至任一開盒器14並載置於載置台21，或自裝載埠8直接移載至載置台21。
此時，晶圓搬入搬出口19由開閉機構22關閉，在移載室23內，流通並充滿無塵空氣36。例如，藉由在移載室23作為無塵空氣36而充滿含N氣體，在氧濃度為20 ppm以下時，設定為低於殼體2之內部(大氣氣體環境)之氧濃度。
載置於載置台21之盒9之開口側端面被按壓在副殼體16之正面壁17處之晶圓搬入搬出口19之開口緣邊部，且蓋由開閉機構22卸除，晶圓出入口打開。
在盒9由開盒器14打開時，晶圓18由晶圓移載機構24自盒9取出，並移送至缺口對準裝置(未圖示)，藉由缺口對準裝置對晶圓18進行調整之後，晶圓移載機構24將晶圓18向位於移載室23之後方之待機部27搬入，裝填(charging，裝料)至舟皿26。
將晶圓18交接至舟皿26之晶圓移載機構24返回盒9，將下一晶圓18裝填至舟皿26。
在一個(上段或下段)開盒器14之藉由晶圓移載機構24將晶圓18向舟皿26之裝填作業中，於另一(下段或上段)開盒器14自旋轉式盒擱架11將另一盒9藉由盒搬送機構15搬送並移載，同時進行另一開盒器14對盒9之打開作業。
在預先指定之個數之晶圓18裝填至舟皿26時，由爐口擋門31關閉之處理爐28之爐口部由爐口擋門31打開。繼而，舟皿26藉由舟皿升降機32上升，被搬入(Loading，載入)處理室29。
在載入後，爐口部係由密封蓋34氣密地閉塞。再者，在本實施形態中，具有在該時序下(在載入後)，處理室29被置換成惰性氣體之驅氣工序(預驅氣工序)。
處理室29以成為所期望之壓力(真空度)之方式被氣體排出機構(未圖示)真空排氣。又，處理室29以成為所期望之溫度分佈之方式被加熱器驅動部(未圖示)加熱至規定溫度。
又，藉由氣體供給機構(未圖示)，供給被控制為規定之流量之處理氣體，於處理氣體在處理室29中流通之過程中，與晶圓18之表面接觸，在晶圓18之表面上實施規定之處理。進而，反應後之處理氣體被氣體排出機構自處理室29排出。本說明書之處理氣體意指供給至處理室29內之氣體。該等在以下之說明中亦相同。
在經過預設之處理時間時，藉由氣體供給機構自惰性氣體供給源(未圖示)供給惰性氣體，而處理室29被置換成惰性氣體，且處理室29之壓力復原至常壓(後驅氣工序)。然後，舟皿26藉由舟皿升降機32經由密封蓋34而下降。本說明書中之處理時間意指持續該處理之時間。該等在以下之說明中亦相同。
關於處理後之晶圓18之搬出，以與上述說明相反之程序，將晶圓18及盒9向殼體2之外部傳出。未處理之晶圓18進一步裝填於舟皿26，而重複晶圓18之批次處理。
此處，如圖1及圖2所示般，基板處理裝置1包含控制部100，控制部100進行基板處理裝置1之控制。控制部100可內置於基板處理裝置1，亦可設置為可對於基板處理裝置1之外部進行存取。
接著，參照圖3，就本實施形態之基板處理裝置1之控制系統之構成進行說明。
圖3係顯示本實施形態之基板處理裝置1包含之控制部100之功能性之構成之一例之方塊圖。
如圖3所示般，基板處理裝置1包含：控制部(主控制器)100、外部記憶部201、外部通訊部202、操作部203、顯示部204、製程控制部205、及搬送控制部206。
又，控制部100包含：CPU(Central Processing Unit，中央處理器)101、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)102、記憶部103、I/O埠104、管理部105、範圍設定部106、及判定部107。
控制部100與操作部203連接，且經由I/O埠104連接有製程控制部205及搬送控制部206。控制部100與製程控制部205及搬送控制部206各者經由I/O埠104電性連接，故成為可進行各資料之收發或各檔案之下載及上載等之構成。
在控制部100，連接有作為安裝部之外部記憶部201，該外部記憶部201供插拔作為記錄媒體之一例之USB(Universal Serial Bus，通用串列匯流排)記憶體等。又，在控制部100，經由外部通訊部202與外部之上位電腦(未圖示)連接。因此，即便在基板處理裝置1設置於無塵室內之情形下，上位電腦亦可配置於無塵室外之事務所等。
操作部203一體地具有顯示部204，或者經由視訊纜線等與顯示部204連接。顯示部204例如係液晶顯示面板。顯示部204構成為顯示用於操作基板處理裝置1之各操作畫面。於操作畫面，具有用於確認由製程控制部205控制之基板製程系統、及由搬送控制部206控制之基板搬送系統之狀態之畫面，又，顯示部204亦可設置作為輸入向基板製程系統及基板搬送系統之動作指示之輸入部之各操作按鈕。操作部203經由操作畫面使在基板處理裝置1內產生之資訊顯示於顯示部204。又，操作部203例如將顯示於顯示部204之資訊輸出至插入外部記憶部201之USB記憶體等裝置。操作部203受理來自顯示於顯示部204之操作畫面之輸入資料(輸入指示)，並將輸入資料發送至控制部100。又，操作部203受理執行在RAM 102中展開之製程條件或儲存於記憶部103之複數個製程條件中之任意之基板處理製程條件(亦稱為製程製程條件)之指示(控制指示)，並發送至控制部100。再者，操作部203及顯示部204亦可藉由觸控面板構成。此處，操作部203及顯示部204係與控制部100以個別構體設置，但亦可設為在控制部100中一體地包含之構成。
製程控制部205包含溫度控制部205A、壓力控制部205B、及氣體流量控制部205C。溫度控制部205A、壓力控制部205B、及氣體流量控制部205C分別構成副控制器，因與製程控制部205電性連接，故可進行各資料之收發或各檔案之下載及上載等。再者，製程控制部205與各副控制器(溫度控制部205A、壓力控制部205B、及氣體流量控制部205C)係以個別構體圖示，但亦可為一體構成。
於溫度控制部205A，連接有主要由加熱器及溫度感測器構成之加熱機構。溫度控制部205A構成為藉由控制處理爐28之加熱器之溫度而調節處理爐28內之溫度。再者，溫度控制部205A構成為進行閘流電晶體之開關(導通關斷)控制，控制供給至加熱器素線之電力。
於壓力控制部205B，連接有主要由壓力感測器(未圖示)、作為壓力閥之APC(自動壓力控制)閥(未圖示)構成之氣體排出機構(未圖示)。再者，亦可將真空泵(未圖示)包含於氣體排出機構。壓力控制部205B構成為基於藉由壓力感測器檢測出之壓力值，以處理室29內之壓力在所期望之時序成為所期望之壓力之方式控制APC閥之開度及真空泵之開關(導通關斷)。
氣體流量控制部205C係由MFC(Mass Flow Controller，質量流量控制器)(未圖示)構成。
搬送控制部206包含：驅動部控制部206A、旋轉部控制部206B、及升降控制部206C。驅動部控制部206A構成為進行基板處理裝置1之驅動部系統之控制。旋轉部控制部206B構成為進行基板處理裝置1之旋轉部系統之控制。升降控制部206C構成為進行基板處理裝置1之升降系統之控制。搬送控制部206例如構成為分別控制旋轉式盒擱架11、舟皿升降機32、盒搬送機構15、晶圓移載機構24、舟皿26、及旋轉機構(未圖示)之搬送動作。
再者，本實施形態之控制部100、製程控制部205、及搬送控制部206不依賴於專用之系統，可使用通常之電腦系統而實現。例如，藉由自儲存有用於執行上述之處理之程式之記錄媒體(CD-ROM、USB等)將該程式安裝於泛用電腦，而可構成執行規定之處理之各控制器。
而且，用於供給該等程式之手段為任意。除了如上述般經由規定之記錄媒體進行供給之外，例如亦可經由通訊線路、通訊網絡、通訊系統等而供給。
控制部100構成為包含CPU 101、RAM 102、記憶部103、及I/O埠104之電腦。於記憶部103，除了儲存有定義了處理條件及處理程序之製程條件等之各製程條件檔案、用於執行該等各製程條件檔案之控制程式檔案、用於設定處理條件及處理程序之參數檔案(設定值檔案)、及錯誤處理程式檔案及錯誤處理之參數檔案之外，亦存儲有包含輸入製程參數之輸入畫面之各種畫面檔案、各種圖標檔案等(皆未圖示)。再者，控制部100亦可使用外部通訊部202，作為一例連接於網際網路、LAN(Local Area Network，區域網路)、WAN(Wide Area Network，廣域網路)等之網絡，在與外部機器之間可經由網絡進行通訊。
又，作為記憶部103，例如使用HDD(Hard Disk Drive，硬碟)、SSD(Solid State Drive，固態硬碟)、快閃記憶體等。於記憶部103，記憶有用於執行本實施形態之設定值編輯處理之設定值編輯程。
設定值編輯程式例如可預先安裝於基板處理裝置1。設定值編輯程式亦可記錄於非揮發性之記錄媒體、或經由網絡發佈，藉由適當安裝於基板處理裝置1而實現。再者，作為非揮發性之記錄媒體之例，設想CD-ROM、光磁碟、HDD、DVD-ROM、快閃記憶體、記憶卡、USB等。
即，設定值編輯程式係用於使電腦執行如下程序之程式；進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示；在進行設定值之編輯時，進行設定之設定值之取消或重設之至少一個操作；記憶檔案、及取消或重設之操作履歷資訊；進行在取消或重設之操作時再設定之設定值之有效範圍之判定。
本實施形態之基板處理裝置1之CPU 101藉由將記憶於記憶部103之設定值編輯程式寫入RAM 102並執行，而作為控制部100、管理部105、範圍設定部106、判定部107發揮功能。
本實施形態之基板處理裝置1包含：顯示部204、操作部203、記憶部103、判定部107、外部記憶部201、外部通訊部202、及控制部100。
顯示部204可進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示。
操作部203可進行顯示於顯示部204之檔案之編輯操作、及在編輯操作中設定之設定值之取消或重設之至少一個操作。在檔案編輯中，可進行項目之設定值之編輯。此處，顯示部204作為一例如圖4A所示般，顯示包含檔案之製程條件編輯畫面。
圖4A係顯示本實施形態之製程條件編輯畫面40之一例之前視圖。
在圖4A所示之製程條件編輯畫面40中，作為複數個設定值之一例，顯示記載有具有溫度(Temperature)、氣體流量(MFC)、及壓力(Pressure)之各設定值的基板之處理條件之檔案41。又，在製程條件編輯畫面40中，包含：關閉檔案之關閉(Close)按鈕42、保存檔案之保存(Save)按鈕43、取消在編輯操作中設定之設定值並恢復原來之設定值之取消(Undo，復原)按鈕44、重設在編輯操作中設定之設定值而再設定該設定值之重設(Redo，重做)按鈕45、顯示各種資訊之區域即資訊區域( Information Area)46。
記憶部103記憶記載有具有複數個設定值之基板之處理條件之檔案、及取消或重設之操作履歷資訊。
判定部107進行在取消或重設之操作時再設定之設定值之有效範圍之判定。
控制部100具有記憶部103及判定部107，可進行設定值之編輯操作之控制。具體而言，控制部100在有來自操作部203之取消或重設操作之指示時，進行設定值之取消動作、或重設動作之控制。控制部100在有設定值之確定操作、或者取消或重設操作時，對判定部107指示進行全編輯項目之有效性確認(範圍確認)。
根據上述構成，藉由進行設定值之變更時輸入範圍之再計算、及全項目之範圍確認，而可始終保持編輯項目之無矛盾性，可削減因基板處理執行時之檔案不匹配所致之檔案再編輯之浪費之時間，作為結果可有助於生產效率之提高。
又，藉由在項目設定時進行全項目之有效範圍之確認而修正對象之項目變得明確，可有助於檔案編輯之效率化，並有助於作業效率之提高。
具體而言，控制部100具有進行設定值之管理之管理部105。管理部105依照來自操作部203之指示，檢索所指示之設定值之資訊，並將檢索結果送回至操作部203。例如，在顯示製程條件編輯畫面40之情形下，管理部105讀出記憶於記憶部103之包含設定值之檔案資訊，並將讀出之檔案資訊在RAM 102中展開。又，管理部105在自操作部203有項目之顯示請求之情形下，自RAM 102檢索對應之項目之設定值，取得檢索到之設定值，並將取得之設定值送回至操作部203。操作部203將自管理部105取得之設定值交遞給顯示部204。顯示部204顯示自操作部203交遞之設定值。藉此，可容易地取得指示之設定值。
又，控制部100具有設定設定值之有效範圍即上限值及下限值之範圍設定部106。範圍設定部106依照來自管理部105之有效範圍之設定指示，設定所有設定值之有效範圍。具體而言，範圍設定部106對所有項目進行有效範圍之設定。該有效範圍根據各設定項目之條件而其範圍不同，故每次進行有效範圍之設定。再者，該有效範圍可預先作為有效範圍資訊記憶於記憶部103，適當讀出該有效範圍資訊，設定複合條件之有效範圍，又，亦可為藉由程式算出符合條件之有效範圍之方式。藉此，可設定全設定值之有效範圍。
又，範圍設定部106確認預先設定之各項目之範圍設定條件、及關聯之其他項目之設定資訊，進行上限值及下限值之算出。例如，在壓力設定值之單位為[Pa，帕]之情形下，將設定值之範圍設為0000.00 Pa～9999.99 Pa，例如，在壓力設定值之單位為[Torr，托]之情形下，將設定值之範圍設為00.000 Torr～99.999 Torr，配合關聯之條件，變更有效範圍。此處，0000.00 Pa～9999.99 Pa表示值之範圍，表示0000.00 Pa以上、9999.99 Pa以下。惟，對[Pa]以外之範圍進行定義之情形亦相同。例如，在氣體流量之單位為[slm，標準升每分鐘]之情形下，設為0000.000 slm～9999.000 slm，例如，在氣體流量之單位為[sccm，標況毫升每分鐘]之情形下，設為00.0 sccm～99.0 sccm，配合關聯之條件，變更有效範圍。再者，在供給流量包含0 slm、0 sccm時，所謂0 slm、0 sccm意指不供給該物質(氣體)之情況。此情形在以下之說明中亦相同。藉此，可適切地算出有效範圍之上限值與下限值。
又，判定部107在設定值變更時，進行檔案中所定義之所有設定值是否在有效之範圍內之判定。判定部107將自管理部105指定之設定資訊之設定值、與由範圍設定部106設定之有效範圍進行比較，進行設定值是否為有效範圍內之判定。判定部107將判定之結果送回至管理部105。藉此，可判定檔案中所定義之全設定值是否為有效範圍內。
又，控制部100在判定部107之判定結果為範圍外時，可對操作部203進行報知設定值為範圍外之通知。藉此，能將範圍外之設定值通知操作部。
操作部203依照來自控制部100之通知，對顯示部204進行顯示範圍外之設定值之指示。該情形下，顯示部204亦可依照來自操作部203之指示，顯示設定值為範圍外之通知，亦可切換成為對象之設定值之顯示，或者，亦可顯示設定值為範圍外之通知，並切換成為對象之設定值之顯示。例如，如圖4B所示般，以明瞭被判斷為範圍外之項目之方式，將訊息顯示於位於製程條件編輯畫面40之上部之資訊區域46。作為訊息，例如顯示成為範圍外之設定值資訊及為範圍外之意旨之訊息。藉由將訊息顯示於資訊區域46，而可進行製程條件編輯畫面40中之成為範圍外之設定值之通知。
又，如圖4C所示般，亦可以明瞭被判斷為範圍外之項目之方式將訊息47顯示於該項目附近。訊息47例如可為提示框，亦可為訊息視窗。又，亦可以明瞭被判斷為範圍外之項目之方式切換背景。又，亦可切換設定值之顯示色(文字色)。在圖4C中，例如可將背景自白色切換成黑色。此處，係將背景設為黑色，但可為任何色，只要為與其他項目不同之色即可。又，亦可以明瞭被判斷為範圍外之項目之方式切換顯示文字。藉此，可顯示範圍外之設定值並通知給使用者。
此處，如上述之圖4A所示般，顯示部204具有可進行取消或重設之操作之按鈕即復原按鈕44、重做按鈕45。可藉由該等按鈕容易地進行取消或重設之操作。顯示部204可配合顯示部204之顯示語言，切換復原按鈕44、重做按鈕45之顯示文字。例如，配合由裝置之訂購方指定之語言，例如，切換日語、英語等之顯示文字，藉此可有助於檔案操作支援。在日語之情形下，將「復原(Undo)」切換為「取り消し」，將「重做(Redo)」切換為「やり直し」。
又，顯示部204亦可配合取消或重設之操作，切換復原按鈕44及重做按鈕45之至少一者之顯示。例如，如後述之圖6B、圖7B、圖8B、圖9B、圖10B所示般，將復原按鈕44及重做按鈕45中之不可執行之按鈕設為變灰或不顯示。該情形下，因可在製程條件編輯畫面40中確認復原按鈕44及重做按鈕45可否執行，故有助於檔案操作支援。
接著，使用圖5、及圖6A～圖10B，就本實施形態之復原及重做之操作履歷資訊之轉變例具體地進行說明。
圖5係顯示儲存本實施形態之具有取消或重設之操作履歷之操作履歷資訊的、復原操作用之復原資料儲存表及重做操作用之重做資料儲存表之一例之圖。
在操作履歷資訊中，作為取消之操作履歷資訊而包含復原履歷資訊51，作為重設之操作履歷資訊而包含重做履歷資訊52。復原履歷資訊51例如包含設定項目、變更前設定值、及變更後設定值。重做履歷資訊52例如包含設定項目、變更前設定值、及變更後設定值。
如圖5所示般，復原操作用之復原資料儲存表、及重做操作用之重做資料儲存表具有相同之表構成。復原資料儲存表係第1操作履歷資訊之一例，重做資料儲存表係第2操作履歷資訊之一例。
即，操作履歷資訊包含儲存設定值之設定值關聯資訊之復原資料儲存表、及在取消之操作執行時作為取消履歷而儲存設定值關聯資訊之重做資料儲存表。再者，設定值關聯資訊包含設定項目、變更前設定值、及變更後設定值中之至少任一者。藉由使用該等資料儲存表，而復原/重做操作之管理變得容易，有助於削減不需要之檢索，可實現操作時間之縮短。
例如，控制部100在取消之操作執行時，將儲存於復原資料儲存表之設定值關聯資訊儲存於重做資料儲存表，並削除儲存於復原資料儲存表之設定值關聯資訊。
又，控制部100在重設之操作執行時，將儲存於重做資料儲存表之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表，並削除儲存於重做資料儲存表之設定值關聯資訊。
又，控制部100在取得新的設定值關聯資訊之情形下，將儲存於重做資料儲存表之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表，將新的設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。該情形下，控制部100可將重做資料儲存表之資料全部清除即削除。
又，控制部100在結束檔案之編輯之情形下，可清除(削除)操作履歷資訊即復原資料儲存表及重做資料儲存表之資料。
圖6A係顯示進行3次設定值之設定時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例。又，圖6B係顯示與圖6A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。再者，儲存之資料設為以LIFO(Last In First Out，後進先出)方式進行資料之輸入輸出。
在圖6B之(S1)中，作為一例，進行上述之圖4A所示之製程條件編輯畫面40之新顯示。該情形下，作為圖6B之(S1)所示之畫面設定值資訊，顯示有設定資訊1、設定資訊2、及設定資訊3。在設定資訊1中作為變更前設定值而顯示「001」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕及重做按鈕皆成為意指不可執行之顯示(例如灰色)，設為不可執行。此時，在圖6A之(S1)中，為復原資料儲存表及重做資料儲存表各者中未儲存任何內容之狀態。
接著，在圖6B之(S2)中，作為設定資訊1之變更後設定值而輸入「002」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而切換為「002」之顯示，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。例如，在圖6B中將設定值之背景以灰色顯示。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕被解除不可執行顯示，而設為可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變，而設為不可執行。該情形下，在圖6A之(S2)中，將設定資訊1之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。此時，在儲存於復原資料儲存表之設定資訊1之設定值關聯資訊中，作為變更前設定值而包含「001」，作為變更後設定值而包含「002」。
接著，在圖6B之(S3)中，作為設定資訊2之變更後設定值而輸入「003」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更後設定值而切換為「003」之顯示，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。在圖6B中，例如將設定值之背景以灰色顯示。又，作為按鈕之顯示狀態，復原按鈕保持可執行顯示之狀態不變而繼續可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變而繼續不可執行。該情形下，在圖6A之(S3)中，將設定資訊2儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2作為變更前設定值而包含「002」，作為變更後設定值而包含「003」。
接著，在圖6B之(S4)中，作為設定資訊1之變更後設定值而輸入「003」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而切換為「003」之顯示，在設定資訊2中作為變更後設定值而繼續顯示「003」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。作為按鈕之顯示狀態，復原按鈕保持可操作顯示之狀態不變而繼續可設定。重做按鈕保持不可操作顯示之狀態不變而繼續不可執行。該情形下，在圖6A之(S4)中，將新的設定資訊1儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之新的設定資訊1作為變更前設定值而包含「002」，作為變更後設定值而包含「003」。
圖7A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行1次復原時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。又，圖7B係顯示與圖7A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。
在圖7B之(S11)中，作為一例，進行上述之圖4A所示之製程條件編輯畫面40之新顯示。該情形下，作為圖7B之(S1)所示之畫面設定值資訊，顯示有設定資訊1、設定資訊2、及設定資訊3。在設定資訊1中作為變更前設定值而顯示「001」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕及重做按鈕皆成為意指不可執行之顯示(例如灰色)，設為不可執行。此時，在圖7A之(S11)中，為復原資料儲存表及重做資料儲存表各者中未儲存任何內容之狀態。
接著，在圖7B之(S12)中，作為設定資訊1之變更後設定值而輸入「002」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而切換為「002」之顯示，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。例如在圖7B中將設定值之背景以灰色表示。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕被解除不可執行顯示，而設為可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變，而設為不可執行。該情形下，在圖7A之(S12)中，將設定資訊1之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。此時，在儲存於復原資料儲存表之設定資訊1之設定值關聯資訊中，作為變更前設定值而包含「001」，作為變更後設定值而包含「002」。
接著，在圖7B之(S13)中，作為設定資訊2之變更後設定值而輸入「003」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更後設定值而切換為「003」之顯示，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。在圖7B中，例如將設定值之背景以灰色顯示。又，作為按鈕之顯示狀態，復原按鈕保持可執行顯示之狀態不變而繼續可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變而繼續不可執行。該情形下，在圖7A之(S13)中，將設定資訊2儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2作為變更前設定值而包含「002」，作為變更後設定值而包含「003」。
接著，在圖7B之(S14)中，按下復原按鈕。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕繼續可執行，重做按鈕被解除不可執行顯示(灰色顯示)，而設為可執行。該情形下，在圖7A之(S14)中，進行設定資訊2之復原操作(即，取消變更後設定值「003」之操作)。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2，儲存於重做資料儲存表，並自復原資料儲存表被削除。
圖8A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行2次復原時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。又，圖8B係顯示與圖8A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。
在圖8B之(S21)中，作為一例，進行上述之圖4A所示之製程條件編輯畫面40之新顯示。作為圖8B之(S21)所示之畫面設定值資訊，顯示有設定資訊1、設定資訊2、及設定資訊3。在設定資訊1中作為變更前設定值而顯示「001」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕及重做按鈕皆成為意指不可執行之顯示(例如灰色)，設為不可執行。此時，在圖8A之(S21)中，為復原資料儲存表及重做資料儲存表各者中未儲存任何內容之狀態。
接著，在圖8B之(S22)中，作為設定資訊1之變更後設定值而輸入「002」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而切換為「002」之顯示，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。例如在圖8B中將設定值之背景以灰色顯示。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕被解除不可執行顯示，而設為可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變，而設為不可執行。該情形下，在圖8A之(S22)中，將設定資訊1之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。此時，在儲存於復原資料儲存表之設定資訊1之設定值關聯資訊中，作為變更前設定值而包含「001」，作為變更後設定值而包含「002」。
接著，在圖8B之(S23)中，作為設定資訊2之變更後設定值而輸入「003」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更後設定值而切換為「003」之顯示，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。例如在圖8B中將設定值之背景以灰色顯示。又，作為按鈕之顯示狀態，復原按鈕保持可執行顯示之狀態不變而繼續可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變而繼續不可執行。該情形下，在圖8A之(S23)中，將設定資訊2儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2作為變更前設定值而包含「002」，作為變更後設定值而包含「003」。
接著，在圖8B之(S24)中，按下復原按鈕。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕繼續可執行，重做按鈕被解除不可執行顯示(灰色顯示)，而設為可執行。該情形下，在圖8A之(S24)中，進行設定資訊2之復原操作(即，取消變更後設定值「003」之操作)。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2，儲存於重做資料儲存表，並自復原資料儲存表被削除。
接著，在圖8B之(S25)中，按下復原按鈕。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更前設定值而顯示「001」，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕切換為不可執行顯示(例如灰色)，而成為不可執行，重做按鈕繼續可執行顯示，而繼續可執行。該情形下，在圖8A之(S25)中，進行設定資訊1之復原操作(即，取消變更後設定值「002」之操作)。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊1，儲存於重做資料儲存表，並自復原資料儲存表被削除。
圖9A係顯示繼圖8A之轉變之後進一步進行2次重做時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。又，圖9B係顯示與圖9A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。
在圖9B之(S31)中，按下重做按鈕。關於畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而顯示「002」，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕被解除不可執行顯示(例如灰色顯示)，而設為可執行。重做按鈕繼續可執行。該情形下，在圖9A之(S31)中，進行設定資訊1之重做操作(即，重設變更後設定值「002」之操作)。此時，儲存於重做資料儲存表之設定資訊1，儲存於復原資料儲存表，並自重做資料儲存表被削除。
接著，在圖9B之(S32)中，按下重做按鈕。關於畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更後設定值而顯示「003」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕繼續可執行顯示，而設為可執行。重做按鈕成為不可執行顯示(例如灰色)，而設為不可執行。該情形下，在圖9A之(S32)中，進行設定資訊2之重做操作(即，重設變更後設定值「003」之操作)。此時，儲存於重做資料儲存表之設定資訊2，儲存於復原資料儲存表，並自重做資料儲存表被削除。
圖10A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行1次復原進而進行1次設定時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。又，圖10B係顯示與圖10A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。
在圖10B之(S41)中，作為一例，進行上述之圖4A所示之製程條件編輯畫面40之新顯示。作為圖10B之(S41)所示之畫面設定值資訊，顯示有設定資訊1、設定資訊2、及設定資訊3。在設定資訊1中作為變更前設定值而顯示「001」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕及重做按鈕皆成為意指不可執行之顯示(例如灰色)，設為不可執行。此時，為復原資料儲存表及重做資料儲存表各者中未儲存任何內容之狀態。
接著，在圖10B之(S42)中，作為設定資訊1之變更後設定值而輸入「002」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而切換為「002」之顯示，在設定資訊2中作為變更前設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。例如在圖10B中將設定值之背景以灰色顯示。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕被解除不可執行顯示，而設為可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變，而設為不可執行。該情形下，在圖10A之(S42)中，將設定資訊1之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。此時，在儲存於復原資料儲存表之設定資訊1之設定值關聯資訊中，作為變更前設定值而包含「001」，作為變更後設定值而包含「002」。
接著，在圖10B之(S43)中，作為設定資訊2之變更後設定值而輸入「003」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更後設定值而切換為「003」之顯示，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。再者，變更之設定值例如可切換為與變更前設定值不同之背景色。又，變更之設定值例如可切換顯示文字之色。在圖10B中，例如將設定值之背景以灰色顯示。又，作為按鈕之顯示狀態，復原按鈕保持可執行顯示之狀態不變而繼續可執行。重做按鈕保持不可執行顯示之狀態不變而繼續不可執行。該情形下，在圖10A之(S43)中，將設定資訊2儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2作為變更前設定值而包含「002」，作為變更後設定值而包含「003」。
接著，在圖10B之(S44)中，按下復原按鈕。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「002」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕繼續可執行，重做按鈕被解除不可執行顯示(灰色顯示)，而設為可操作。該情形下，在圖10A之(S44)中，進行設定資訊2之復原操作(即，取消變更後設定值「003」之操作)。此時，儲存於復原資料儲存表之設定資訊2，儲存於重做資料儲存表，並自復原資料儲存表被削除。
接著，在圖10B之(S45)中，作為設定資訊2之變更後設定值而輸入「004」。作為畫面設定值資訊，在設定資訊1中作為變更後設定值而繼續顯示「002」，在設定資訊2中作為變更前設定值而顯示「004」，在設定資訊3中作為變更前設定值而繼續顯示「003」。又，關於按鈕之顯示狀態，復原按鈕繼續可執行，重做按鈕成為不可執行顯示(例如灰色顯示)，而設為不可執行。該情形下，在圖10A之(S45)中，將儲存於重做資料儲存表之所有設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表，並清除重做資料儲存表。其後，將新的設定資訊2儲存於復原資料儲存表。此時，儲存於復原資料儲存表之新的設定資訊2作為變更前設定值而包含「003」，作為變更後設定值而包含「004」。
接著，參照圖11～圖14，就本實施形態之基板處理裝置1之作用進行說明。
圖11係顯示本實施形態之編輯開始處理之一例之時序圖。
在圖11之步驟S101中，操作部203對管理部105發送設定值之編輯之開始請求。
在步驟S102中，管理部105根據來自操作部203之編輯開始請求，自記憶部103取得製程條件檔案。
在步驟S103中，管理部105對範圍設定部106發送設定值之有效範圍之算出請求。
在步驟S104中，範圍設定部106根據來自管理部105之算出請求，設定全設定值之有效範圍。
在步驟S105中，範圍設定部106對管理部105將算出全設定值之有效範圍之事宜作為應答而返回。
在步驟S106中，管理部105對操作部203將編輯之開始作為應答而返回。
在步驟S107中，操作部203對管理部105發送設定值之取得請求。
在步驟S108中，管理部105對範圍設定部106發送設定值之有效範圍之取得請求。
在步驟S109中，範圍設定部106根據來自管理部105之取得請求，取得指定之設定值之有效範圍，並將取得之有效範圍發送至管理部105。
在步驟S110中，管理部105對操作部203，指定所指定之設定值之有效範圍。
在步驟S111中，管理部105對操作部203將設定值之取得作為應答而返回，並結束一系列處理。
圖12係顯示本實施形態之設定值變更處理之一例之時序圖。
在圖12之步驟S121中，操作部203對管理部105指示設定值之更新。
在步驟S122中，管理部105根據來自操作部203之更新指示，對範圍設定部106發送有效範圍之算出請求。
在步驟S123中，範圍設定部106根據來自管理部105之算出請求，設定全設定值之有效範圍。
在步驟S124中，範圍設定部106對管理部105將算出全設定值之有效範圍之事宜作為應答而返回。
在步驟S125中，管理部105對判定部107指示全設定值之有效範圍之確認。
在步驟S126中，判定部107根據來自管理部105之指示，進行全設定值之有效範圍之確認，並將確認結果發送至管理部105。
在步驟S127中，管理部105基於來自判定部107之確認結果而判定設定值是否為有效範圍內。在判定為設定值為有效範圍內時(成功時)，轉移至步驟S128，在判定為設定值為有效範圍外時(範圍外時)，轉移至步驟S129。
在步驟S128中，管理部105將設定值儲存於復原資料儲存表。
在步驟S129中，管理部105對操作部203將設定值之確認結果作為應答而返回。
在步驟S130中，操作部203基於來自管理部105之確認結果而判定設定值是否為有效範圍內。在判定為設定值為有效範圍內時(成功時)，就此結束，在判定為設定值為有效範圍外時(範圍外時)，轉移至步驟S131。
在步驟S131中，操作部203將設定值為範圍外之事宜通知給顯示部204，返回步驟S121並重複處理。
此處，在輸入設定值時，根據重做資料儲存表確認設定值關聯資訊之有無。於在重做資料儲存表中有設定值關聯資訊時，將所有設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。然後，將與輸入之設定值關聯之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表，並清除重做資料儲存表。
圖13係顯示本實施形態之復原操作處理之流程之一例之流程圖。
在圖13之步驟S141中，CPU 101取得儲存於復原資料儲存表之最新之設定值關聯資訊。
在步驟S142中，CPU 101將在步驟S141中取得之設定值關聯資訊，儲存於重做資料儲存表之最新位置。
在步驟S143中，CPU 101清除儲存於復原資料儲存表之最新之設定值關聯資訊，結束一系列處理。
即，在復原操作之情形下，取得儲存於復原資料儲存表之設定值關聯資訊，並將取得之設定值關聯資訊儲存於重做資料儲存表。然後，清除儲存於復原資料儲存表之設定值關聯資訊。此時，進行全設定值之有效範圍之再算出，進行全設定值之有效範圍之判定，並反映有效範圍之判定結果。
圖14係顯示本實施形態之重做操作處理之流程之一例之流程圖。
在圖14之步驟S151中，CPU 101取得儲存於重做資料儲存表之最新之設定值關聯資訊。
在步驟S152中，CPU 101將在步驟S151中取得之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表之最新位置。
在步驟S153中，CPU 101清除儲存於重做資料儲存表之最新之設定值關聯資訊，並結束一系列處理。
即，在重做操作之情形下，取得儲存於重做資料儲存表之設定值關聯資訊，並將取得之設定值關聯資訊儲存於復原資料儲存表。然後，清除儲存於重做資料儲存表之設定值關聯資訊。此時，進行全設定值之有效範圍之再算出，進行全設定值之有效範圍之判定，並反映有效範圍之判定結果。
如此般，根據本實施形態，藉由進行設定值之變更時輸入範圍之再計算、及全項目之範圍確認，而可始終保持編輯項目之無矛盾性，可削減因基板處理執行時之檔案矛盾所造成之檔案再編輯而浪費之時間，作為結果可有助於生產效率之提高。
又，藉由在項目設定時進行全項目之有效範圍之確認，而使得修正對象之項目變得明確，可有助於檔案編輯之效率化，並有助於作業效率之提高。
以上，例示地說明了實施形態之基板處理裝置。實施形態可設為用於使電腦執行基板處理裝置之功能之程式之形態。實施形態亦可設為記憶該等之程式的電腦可讀取之非暫時性記錄媒體之形態。
另外，上述實施形態中說明之基板處理裝置之構成係一例，可在不脫離主旨之範圍內根據狀況進行變更。
又，上述實施形態中說明之程式之處理之流程亦為一例，可在不脫離主旨之範圍內削除不必要之步驟、追加新的步驟、或調換處理順序。
又，在上述實施形態中，對於藉由執行程式，利用電腦藉由軟體構成來實現實施形態之處理之情形進行了說明，但並不限於此。實施形態例如可藉由硬體構成、硬體構成與軟體構成之組合而實現。
在上述實施形態中，就使用一次處理複數個基板之批次式之基板處理裝置來形成膜之例進行了說明。本揭示並不限定於上述之態樣，例如，在使用一次處理1個或數個基板之枚葉式基板處理裝置形成膜之情形下亦可較佳地適用。又，在上述態樣中，對於使用具有熱壁型之處理爐之基板處理裝置來形成膜之例進行了說明。本揭示並不限定於上述態樣，在使用具有冷壁型之處理爐之基板處理裝置來形成膜之情形下，亦可較佳地適用。
在使用該等基板處理裝置之情形下，亦可利用與上述實施形態相同之處理程序、處理條件進行各處理，獲得與上述實施形態相同之效果。
1:基板處理裝置 2:殼體 3:正面壁 4:正面保養維修口 5:正面保養維修門 6:盒搬入搬出口 7:前擋門(搬入搬出口開閉機構) 8:裝載埠(基板搬送容器交接台) 9:盒 11:旋轉式盒擱架(基板搬送容器儲存擱架) 12:支柱 13:擱架板(基板搬送容器載置擱架) 14:開盒器(基板搬送容器蓋體開閉機構) 15:盒搬送機構(容器搬送機構) 16:副殼體 17:正面壁 18:晶圓(基板) 19:晶圓搬入搬出口(基板搬入搬出口) 21:載置台 22:開閉機構 23:移載室 24:晶圓移載機構(基板移載機構) 25:晶圓載置板 26:舟皿(基板保持體) 27:待機部 28:處理爐 29:處理室(處理容器) 31:爐口擋門(爐口開閉機構) 32:舟皿升降機(基板保持具升降機構) 33:臂 34:密封蓋 35:無塵單元 36:無塵空氣 40:製程條件編輯畫面 41:檔案 42:關閉按鈕 43:保存按鈕 44:取消按鈕 45:重設按鈕 46:資訊區域 47:訊息 51:復原履歷資訊 52:重做履歷資訊 100:控制部(主控制器) 101:CPU 102:RAM 103:記憶部 104:I/O埠 105:管理部 106:範圍設定部 107:判定部 201:外部記憶部 202:外部通訊部 203:操作部 204:顯示部 205:製程控制部 206:搬送控制部 205A:溫度控制部 205B:壓力控制部 205C:氣體流量控制部 206A:驅動部控制部 206B:旋轉部控制部 206C:升降控制部 S101~S111,S121~S131,S141~S143,S151~S153:步驟
圖1係顯示實施形態之基板處理裝置之一例之立體圖。 圖2係自側面觀察實施形態之基板處理裝置時之剖面圖。 圖3係顯示實施形態之基板處理裝置包含之控制部之功能性之構成之一例之方塊圖。 圖4A係顯示實施形態之製程條件編輯畫面之一例之前視圖。 圖4B係顯示實施形態之製程條件編輯畫面之又一例之前視圖。 圖4C係顯示實施形態之製程條件編輯畫面之再一例之前視圖。 圖5係顯示作為操作履歷資訊而使用之復原(Undo)操作用之復原資料儲存表及重做(Redo)操作用之重做資料儲存表之一例之圖。 圖6A係顯示進行3次設定值之設定時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。 圖6B係顯示與圖6A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。 圖7A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行1次復原時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。 圖7B係顯示與圖7A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。 圖8A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行2次復原時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。 圖8B係顯示與圖8A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。 圖9A係顯示繼圖8A之轉變之後進一步進行2次重做時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。 圖9B係顯示與圖9A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。 圖10A係顯示在進行2次設定值之設定之後進行1次復原進而進行1次設定時之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變例之圖。 圖10B係顯示與圖10A所示之復原資料儲存表及重做資料儲存表之轉變相應之畫面設定值資訊之變化及復原/重做按鈕之顯示狀態之變化之樣態之一例之圖。 圖11係顯示實施形態之編輯開始處理之一例之時序圖。 圖12係顯示實施形態之設定值變更處理之一例之時序圖。 圖13係顯示實施形態之復原操作處理之流程之一例之流程圖。 圖14係顯示實施形態之重做操作處理之流程之一例之流程圖。
1:基板處理裝置
100:控制部(主控制器)
101:CPU
102:RAM
103:記憶部
104:I/O埠
105:管理部
106:範圍設定部
107:判定部
201:外部記憶部
202:外部通訊部
203:操作部
204:顯示部
205:製程控制部
206:搬送控制部
205A:溫度控制部
205B:壓力控制部
205C:氣體流量控制部
206A:驅動部控制部
206B:旋轉部控制部
206C:升降控制部

Claims (20)

  1. 一種基板處理裝置，其包含：顯示部，其可進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示； 操作部，其可進行前述檔案之編輯操作、及在前述編輯操作中設定之前述設定值之取消或重設之至少一個操作； 記憶部，其記憶前述檔案、及前述取消或前述重設之操作履歷資訊； 判定部，其進行在前述取消或前述重設之操作時再設定之前述設定值之有效範圍之判定； 控制部，其具有前述記憶部及前述判定部，可進行前述設定值之編輯操作之控制；及 處理容器，其可基於指定之前述檔案進行前述基板之處理。
  2. 如請求項1之基板處理裝置，其中前述控制部進一步包含進行前述設定值之管理之管理部，且 前述管理部依照來自前述操作部之指示，檢索所指示之前述設定值之資訊。
  3. 如請求項2之基板處理裝置，其中前述控制部進一步包含設定前述設定值之有效範圍即上限值及下限值之範圍設定部， 前述範圍設定部依照來自前述管理部之前述有效範圍之設定指示，設定所有前述設定值之前述有效範圍。
  4. 如請求項3之基板處理裝置，其中前述範圍設定部確認預先設定之各項目之範圍設定條件、及關聯之其他項目之設定資訊，進行前述上限值及前述下限值之算出。
  5. 如請求項1之基板處理裝置，其中前述判定部在前述設定值變更時，進行前述檔案中所定義之所有前述設定值是否在有效之範圍內之判定。
  6. 如請求項5之基板處理裝置，其中前述控制部在前述判定部之判定結果為範圍外時，對前述操作部進行報知前述設定值為範圍外之通知。
  7. 如請求項6之基板處理裝置，其中前述操作部可進行如下控制：依照來自前述控制部之前述通知，指示前述顯示部顯示係範圍外之前述設定值之事宜。
  8. 如請求項7之基板處理裝置，其中前述顯示部依照來自前述操作部之指示，顯示前述設定值為範圍外之通知，並切換成為對象之設定值之顯示。
  9. 如請求項1之基板處理裝置，其中前述顯示部包含可進行前述取消或前述重設之操作之按鈕。
  10. 如請求項9之基板處理裝置，其中前述顯示部配合前述顯示部之顯示語言，切換前述按鈕之顯示文字。
  11. 如請求項9之基板處理裝置，其中前述顯示部配合前述取消或前述重設之操作，切換前述按鈕之顯示。
  12. 如請求項1之基板處理裝置，其中前述操作履歷資訊包含前述設定值之儲存設定值關聯資訊之第1操作履歷資訊、及在前述取消之操作執行時作為取消履歷而儲存前述設定值關聯資訊之第2操作履歷資訊。
  13. 如請求項12之基板處理裝置，其中前述設定值關聯資訊包含設定項目、變更前之設定值、及變更後之設定值中之至少任一者。
  14. 如請求項12之基板處理裝置，其中前述控制部在前述取消之操作執行時，可進行如下控制：將儲存於前述第1操作履歷資訊之前述設定值關聯資訊儲存於前述第2操作履歷資訊，削除儲存於前述第1操作履歷資訊之前述設定值關聯資訊。
  15. 如請求項12之基板處理裝置，其中前述控制部在前述重設之操作執行時，可進行如下控制：將儲存於前述第2操作履歷資訊之前述設定值關聯資訊儲存於前述第1操作履歷資訊，削除儲存於前述第2操作履歷資訊之前述設定值關聯資訊。
  16. 如請求項12之基板處理裝置，其中前述控制部在取得新的設定值關聯資訊時，可進行如下控制：將儲存於前述第2操作履歷資訊之前述設定值關聯資訊儲存於前述第1操作履歷資訊，將前述新的設定值關聯資訊儲存於前述第1操作履歷資訊。
  17. 如請求項16之基板處理裝置，其中前述控制部可進行清除前述第2操作履歷資訊之控制。
  18. 如請求項1之基板處理裝置，其中前述控制部在結束前述檔案之編輯後，可進行清除前述操作履歷資訊之控制。
  19. 一種半導體裝置之製造方法，其包含如下工序：進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示； 在進行前述設定值之編輯時，進行設定之前述設定值之取消或重設之至少一個操作； 記憶前述檔案、及前述取消或前述重設之操作履歷資訊； 進行在前述取消或前述重設之操作時再設定之前述設定值之有效範圍之判定；及 基於指定之前述檔案執行前述基板之處理。
  20. 一種程式，其藉由電腦使基板處理裝置執行如下程序： 進行記載有具有複數個設定值之基板之處理條件的檔案之顯示； 在進行前述設定值之編輯時，進行設定之前述設定值之取消或重設之至少一個操作； 記憶前述檔案、及前述取消或前述重設之操作履歷資訊； 進行在前述取消或前述重設之操作時再設定之前述設定值之有效範圍之判定；及 基於指定之前述檔案執行前述基板之處理。
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