JP2013115189A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を処理する基板処理装置から送信される装置状態を示すデータを収集し、前記基板処理装置を制御装置5により管理する群管理装置を少なくとも有する基板処理システムであって、前記制御装置は作業前の装置パラメータを退避させる退避手段6,14と、作業後の装置パラメータの各設定値を設定する設定手段6,15と、前記退避手段により退避させた装置パラメータと前記設定手段に設定された装置パラメータとを比較する比較手段6,16と、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する判断手段6,18とを少なくとも有する。
【選択図】図2
Description
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
2 群管理装置
3 基板処理装置
4 コントローラ
5 制御装置
6 演算制御部
7 記憶部
12 データ格納領域
13 プログラム格納領域
14 パラメータ退避プログラム
15 パラメータ設定変更プログラム
16 比較プログラム
18 処理開始許可プログラム
19 現在パラメータ格納エリア
21 変更パラメータ登録エリア
22 作業開始前パラメータ退避エリア
23 比較結果格納エリア
73 変更パラメータ登録画面
Claims (1)
- 基板を処理する基板処理装置から送信される装置状態を示すデータを収集し、前記基板処理装置を制御装置により管理する群管理装置を少なくとも有する基板処理システムであって、前記制御装置は作業前の装置パラメータを退避させる退避手段と、作業後の装置パラメータの各設定値を設定する設定手段と、前記退避手段により退避させた装置パラメータと前記設定手段に設定された装置パラメータとを比較する比較手段と、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する判断手段とを少なくとも有することを特徴とする基板処理システム。
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