JP2011071166A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理システムは、基板処理装置の異常を検知する異常検知条件を格納する格納手段と、前記格納手段に格納される異常検知条件に対応するデータを取得するデータ取得手段と、このデータ取得手段により取得されたデータに基づき基板処理装置の異常を判定する判定手段と、複数の異常項目を選択する異常項目選択画面300と、前記格納手段により格納されている異常検知条件を登録する登録画面400とを少なくとも表示する表示手段と、前記表示手段により表示された異常項目選択画面400の一つの異常項目を選択した場合、この選択された異常項目に対応する異常検知条件を表示する登録画面300に切り替えるように前記表示手段を制御する表示制御手段と、を有する。
【選択図】図12
Description
図1に示すように、基板処理システム2は、複数の基板処理装置10−1〜10−n(単独の場合は基板処理装置10と称する。)と群管理装置100とを有する。基板処理装置10−1〜10−n及び群管理装置10とは、例えばLANなどのネットワーク12を介して接続されている。したがって、データは、基板処理装置10−1〜10−n及び群管理装置100の間で、ネットワーク12を介して送信及び受信される。
また、図3は、図2に示す基板処理装置10の側面透視図を示す。
図2及び図3に示されているように、シリコン等からなるウエハ(基板)200を収納したウエハキャリアとしてフープ(基板収容器。以下ポッドという。)110が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置10は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。
図2及び図3に示されているように、ポッド110がロードポット114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。
図4は、メインコントローラ14を中心とした基板処理装置10の機能構成を示す。
図4に示すように、メインコントローラ14は、CPU140、ROM142、RAM144、データを記憶するハードディスクドライブ(HDD)158、ディスプレイ等の表示装置及びキーボード等の入力装置を含む入力手段147との間でのデータの送受信を行う入出力インタフェース(IF)146、ネットワーク12を介して他のハードウェア(接続管理装置4等)との間でのデータの通信を制御する通信制御部156、温度制御部150、ガス制御部152、圧力制御部154、及び温度制御部150等とのI/O制御を行うI/O制御部148を有する。これらの構成要素はバス160を介して相互に接続されており、データは構成要素の間でバス160を介して入出力される。
図6は、サーバ4のCPU18が実行する異常検知のフローが示されている。CPU18は、まずステップS10において、記憶装置26にファイルとして記憶されているEEコンテンツを読み込む。ここで、EEとは、Equipment Engineeringの略であり、基板処理装置の生産性を上げるための創意工夫である。また、コンテンツとは、基板処理装置のモニタデータをどのように見てどのような判断で基板処理装置の異常を判断するかを定める定義である。この実施形態においては、EEコンテンツは、対象とする装置、対象とするレシピ、対象とするレシピのステップ、対象とする期間、対象とする代表値(最大値/最小値/平均等)、対象とする解析手法等の異常検知条件を意味する。
図7は、表示端末6に表示される異常項目選択画面300を示す。異常項目選択画面300には、登録されているEEコンテンツが表示される。EEコンテンツにはそれぞれIDが付されている。EEコンテンツは、それぞれ基板処理装置10毎に設定され、例えばID1の「成膜時の圧力異常」については基板処理装置10−1(EQ01)、10−2(EQ02)、10−5(EQ05)に設定されている。EEコンテンツは、その他に「温度定温時の異常」、「温度降温時の異常」、「成膜時のMFO異常」、「ボート上昇中の温度リカバ異常」、「成膜時のRF異常」、「E軸動作遅延傾向」(エレベータを上昇させるE軸の遅延異常)等がある。この異常項目選択画面300は、異常項目を追加、編集、削除ができる操作画面でもある。
なお、設定項目は、各EEコンテンツに応じて設定され、全ての項目に設定値を設定する必要がない場合もある。
図9は、SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)スタンダードのCEM(Common Equipment Model)で表記された基板処理装置のオブジェクトとその値を示すツリーである。ここで、「AUX10=001」のように表記されたものはAUXチャネルである。このAUXチャンネルとは、補完的なポートであるAUXポートに割り当てられた物理的順番であり、自由にセンサからの出力を入力するように設定することができる。
図11は上記リンクテーブル500の一例を示す。例えばモニタデータ抽象名「冷却水圧力」に対しては、基板処理装置10−1(Eq01)ではM.WAT(CH21)が割り当てられ、基板処理装置10−3(Eq03)ではM.WAT(CH22)が割り当てられる。さらに、図9の点線で示すように、M.WAT(CH21)からCEMのAUX10−021、10135AUX−MonitorValueに自動的に書き換えられる。したがって、抽象名のモニタデータを入力するだけで、図11のリンクテーブルを参照することにより各基板処理装置に適したチャンネルと設定値を設定することができる。
なお、リンクテーブル500の作成は、機能提供元の装置メーカの技術者が作成する。例えば、機能提供元の装置メーカの技術者は、基板処理装置の電気配線図面を見ることで冷却水圧力が何番目のAUXチャンネルに接続されているかがわかるので、そのAUXチャンネルをこのリンクテーブル500に容易に登録することができる。
群管理装置100に基板処理装置10が増設接続された際、増設装置用に図11で示したリンクテーブルを追加する必要があるが、一つずつリンクテーブルを作成すると時間がかかってしまうためできるだけ過去に登録した基板処理装置10の登録内容を流用したくなる。しかしながら、図10で示したように類似装置でもモニタデータのチャンネルが違う場合があり、単純にコピーすると誤検知を起こすおそれがある。
図13は、過去に登録した基板処理装置の登録内容をコピーする場合にサーバ4のCPU18が実行する制御フローを示す。
CPU18は、まずステップS20において、コピー先の装置パラメータを取得する。次のステップS21においては、コピー元の装置パラメータを取得する。このコピー元の装置パラメータの取得は、リンクテーブル500のコピーしたい基板処理装置を選択し、リンクテーブル500が示す画面に設けられたコピーボタン501をクリックすることにより行われる。次のステップS22においては、ステップS20において取得したコピー先の装置パラメータとステップ21において取得したコピー元の装置パラメータとを比較する。このステップ22において、コピー先の装置パラメータとコピー元の装置パラメータとが一致したと判定された場合はステップS23に進み、コピーを許可し、処理を終了する。一方、ステップS22において、コピー先の装置パラメータとコピー元の装置パレメータとが一致しないと判定された場合はステップS24に進み、コピーを不可として処理を終了する。
このように、コピー時に装置パラメータの比較を行い妥当性が確認できる登録内容のみコピーを許可することにより、安全に装置増設作業ができる。
又、EEコンテンツをサーバ4の記憶装置26に格納しているが、表示端末6の記憶装置に格納してもよい。更に、本願の異常検知機能をメインコントローラ14に備えてもよい。
(1)基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を複数台接続して管理する郡管理装置で少なくとも構成される基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
前記基板管理装置とデータの送受信を行う通信部と、
前記基板処理装置から前記通信部を関して送信されるデータを格納する第1の格納部と、
少なくとも前記データから所定の異常を検知する際に異常を検知する条件(異常検知条件)を規定したファイルを格納する第2の格納部と、
前記第1の格納部及び/又は第2の格納部に格納されたファイルやデータを利用して異常を検知する条件を入力する操作画面を有する表示部と、
前記操作画面で複数の異常項目(異常現象/異常対象)から異常検知を行う項目が選択されると、選択された異常項目に応じた前記異常検知条件を登録する登録画面に切り替える画面制御部と、
で構成される基板処理システム。
(2)前記異常検知条件は、対象とする装置、対象とするレシピ、対象とするステップ、対象とする期間、対象とする代表値(最大/最小/平均値・・・)、対象とする解析手法等の設定項目で構成される(1)記載の基板処理システム。
(3)所定の前記設定項目に対して作成されたリンクテーブルを有する(2)記載の基板処理システム。
(4)操作画面上の所定の操作で予め設定される異常検知条件に基づき、データベース(第1の格納手段)に蓄積されたデータの検索及び解析を行う異常検知方法であって、前記操作画面上で複数の異常項目から異常検知を行う項目を選択し、選択された異常項目に対応する異常の検知に使用される条件を登録する登録画面に切り替え、この登録画面に登録された条件に基づいて、前記データベースに蓄積されたデータを読み込むと共に前記データを解析して異常判定を行う異常検知方法。
(5)基板を処理する基板処理装置とデータの送受信を行う通信部と、前記基板処理装置から前記通信部を介して送信されるデータを格納する第1の格納部と、少なくとも前記データから所定の異常を検知する際に異常を検知する条件(異常検知条件)を規定したファイルを格納する第2の格納部と、前記第1の格納部及び/又は第2の格納部に格納されたファイルやデータを利用して異常を検知する条件を入力する操作画面を有する表示部と、前記操作画面で複数の異常項目(異常現象/異常状態)から異常検知を行う項目が選択されると、選択された異常項目に応じた前記異常検知条件を登録する画面に切り替える画面制御部と、で構成される群管理装置。
10 基板処理装置
12 ネットワーク
18 CPU
26 記憶装置
100 群管理装置
300 異常項目選択画面
400 登録画面
500 リンクテーブル
Claims (1)
- 基板処理装置の異常を検知する異常検知条件を格納する格納手段と、
前記格納手段に格納される異常検知条件に対応するデータを取得するデータ取得手段と、
このデータ取得手段により取得されたデータに基づき基板処理装置の異常を判定する判定手段と、
複数の異常項目を選択する異常項目選択画面と、前記格納手段により格納されている異常検知条件を登録する登録画面とを少なくとも表示する表示手段と、
前記表示手段により表示された異常項目選択画面の一つの異常項目を選択した場合、この選択された異常項目に対応する異常検知条件を表示する登録画面に切り替えるように前記表示手段を制御する表示制御手段と、
を有する基板処理システム。
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