CN117747479A - 基板处理装置、半导体装置的制造方法及记录介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板处理装置、半导体装置的制造方法及记录介质，能够在变更前后确保设定值的匹配性，并且能够高效地进行文件的编辑操作。基板处理装置具有：显示部，其能够显示记载了具有多个设定值的基板的处理条件的文件；操作部，其能够进行所述文件的编辑操作，以及能够进行在所述编辑操作中设定的所述设定值的取消和修改中的至少一个操作；存储部，其存储所述文件、以及所述取消或所述修改的操作履历信息；判定部，其判定在所述取消或所述修改的操作时重新设定的所述设定值的有效范围；控制部，其具有所述存储部和所述判定部，能够进行所述设定值的编辑操作的控制；以及处理容器，其能够基于所指定的所述文件进行所述基板的处理。

Description

基板处理装置、半导体装置的制造方法及记录介质
技术领域
本公开涉及基板处理装置、半导体装置的制造方法以及记录介质。
背景技术
在基板处理装置中，有时编辑能够在各步骤中设定用于执行基板处理的处理条件的制程，或者编辑用于执行制程的参数。另外，制程、参数的设定项目多，进行制程或参数的编辑时对编辑者的负担大。在基板处理装置中，为了减轻其负担，有时具备制程或参数的编辑时的辅助功能。
例如，在专利文献1中记载有一种基板处理装置，在编辑制程时使用的参数的编辑中变更设定值时，能够将可输入的设定值限制在适当的范围内。在该专利文献1中，记载了与基板处理装置中的文件编辑时的输入辅助相关的内容。
专利文献1：日本特开2014-138158号公报
发明内容
然而，在进行了多次设定值的变更之后，从该状态返回到之前的状态时，存在不保存编辑后的文件而结束，再次重新打开文件，再次设定设定值，或者通过手动作业将变更后的设定值复原的作业，有时导致作业效率的降低。
另外，在变更了设定值的情况下，有时不仅变更后的设定值超过有效范围，还由于设定值而超过了关联的其他设定值的有效范围，因此有时在变更前后无法确保设定值的匹配性。
本公开提供一种能够在变更前后确保设定值的匹配性并且高效地进行文件的编辑操作的技术。
根据本公开的一个方式提供一种技术，其具有：显示部，其能够显示记载了具有多个设定值的基板的处理条件的文件；操作部，其能够进行所述文件的编辑操作，以及能够进行在所述编辑操作中设定的所述设定值的取消和修改中的至少一个操作；存储部，其存储所述文件和所述取消或所述修改的操作履历信息；判定部，其判定在所述取消或所述修改的操作时重新设定的所述设定值的有效范围；控制部，其具有所述存储部和所述判定部，能够进行所述设定值的编辑操作的控制；以及处理容器，其能够基于所指定的所述文件进行所述基板的处理。
根据本公开，具有如下效果：能够在变更前后确保设定值的匹配性，并且能够高效地进行文件的编辑操作。
附图说明
图1是表示实施方式的基板处理装置的一例的立体图。
图2是从侧面观察实施方式的基板处理装置时的截面图。
图3是表示实施方式的基板处理装置所具备的控制部的功能性结构的一例的框图。
图4A是表示实施方式的制程编辑画面的一例的主视图。
图4B是表示实施方式的制程编辑画面的另一例的主视图。
图4C是表示实施方式的制程编辑画面的又一例的主视图。
图5是表示用作操作履历信息的Undo操作用的Undo数据存储表以及Redo操作用的Redo数据存储表的一例的图。
图6A是表示进行了3次设定值的设定时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例的图。
图6B是表示与图6A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例的图。
图7A是表示在进行了2次设定值的设定之后进行了1次Undo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例的图。
图7B是表示与图7A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例的图。
图8A是表示在进行了2次设定值的设定之后进行了2次Undo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例的图。
图8B是表示与图8A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例的图。
图9A是表示接着图8A的迁移之后进一步进行了2次Redo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例的图。
图9B是表示与图9A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例的图。
图10A是表示在进行了2次设定值的设定之后进行了1次Undo并进一步进行了1次设定时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例的图。
图10B是表示与图10A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例的图。
图11是表示实施方式的编辑开始处理的一例的顺序图。
图12是表示实施方式的设定值变更处理的一例的顺序图。
图13是表示实施方式的Undo操作处理的流程的一例的流程图。
图14是表示实施方式的Redo操作处理的流程的一例的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对用于实现本公开的技术的实施方式进行详细说明。另外，在所有附图中，对作用、功能承担相同作用的构成要素和处理标注相同的附图标记，有时适当省略重复的说明。另外，本公开不受以下的实施方式的任何限定，能够在本公开的范围内施加适当变更来实施。另外，在以下的说明中使用的附图均是示意性的，附图所示的各要素的尺寸的关系、各要素的比率等未必与现实的情况一致。另外，在多个附图的相互间，各要素的尺寸的关系、各要素的比率等也未必一致。
首先，参照图1和图2说明本实施方式的基板处理装置的概要。
图1是表示本实施方式的基板处理装置1的一例的立体图。另外，图2是从侧面观察本实施方式的基板处理装置1时的截面图。图1和图2表示作为基板处理装置的一例的立式的基板处理装置1。另外，关于在基板处理装置1中处理的基板，作为一例示出了由硅等构成的半导体晶圆。
如图1和图2所示，基板处理装置1具有壳体2，在壳体2的正面壁3的下部开设有正面维护口4来作为为了能够维护而设置的开口部，正面维护口4通过正面维护门5而进行开闭。
在壳体2的正面壁3以连通壳体2内外的方式开设有晶圆盒送入送出口6，晶圆盒送入送出口6通过前闸门(送入送出口开闭机构)7而进行开闭。在晶圆盒送入送出口6的正面前方侧设置有装载端口(基板输送容器交接台)8，装载端口8构成为对所载放的晶圆盒9进行对位。
晶圆盒9是密闭式的基板输送容器，通过工序内输送装置(未图示)送入到装载端口8上，或者，从装载端口8上送出。
在壳体2内的前后方向的大致中央部的上部设置有旋转式晶圆盒架(基板输送容器存放架)11，旋转式晶圆盒架11构成为收纳多个晶圆盒9。
旋转式晶圆盒架11具备：支柱12，其垂直地竖立设置并间歇旋转；以及多层架板(基板输送容器载放架)13，其在上中下层的各位置呈放射状地支承在支柱12。架板13构成为以载放多个晶圆盒9的状态来存放晶圆盒9。
在旋转式晶圆盒架11的下方设置有晶圆盒开启器(基板输送容器盖体开闭机构)14，晶圆盒开启器14载放晶圆盒9，另外，具有能够开闭晶圆盒9的盖的结构。
在装载端口8与旋转式晶圆盒架11、晶圆盒开启器14之间设置有晶圆盒输送机构(容器输送机构)15，晶圆盒输送机构15能够保持晶圆盒9来进行升降，并能够在水平方向上进退。构成为在与装载端口8、旋转式晶圆盒架11、晶圆盒开启器14之间输送晶圆盒9。
在壳体2内的前后方向的大致中央部的下部，遍及后端地设置有副壳体16。在副壳体16的正面壁17，沿垂直方向上下两层地排列开设了一对用于将晶圆(基板)18对副壳体16内送入送出的晶圆送入送出口(基板送入送出口)19，对上下层的晶圆送入送出口19分别设置有晶圆盒开启器14。
晶圆盒开启器14具备载放晶圆盒9的载放台21和对晶圆盒9的盖进行开闭的开闭机构22。晶圆盒开启器14构成为通过开闭机构22对载放在载放台21的晶圆盒9的盖进行开闭，由此对晶圆盒9的晶圆出入口进行开闭。
副壳体16构成相对于配设有晶圆盒输送机构15、旋转式晶圆盒架11的空间(晶圆盒输送空间)成为气密的移载室23。在移载室23的前侧区域设置有晶圆移载机构(基板移载机构)24，晶圆移载机构24具备用于载放晶圆18的所需张数(例如，在图示中为5张)的晶圆载放板25，晶圆载放板25能够在水平方向上直线运动，并能够在水平方向上旋转，或者能够升降。晶圆移载机构24构成为对晶圆盒(基板保持体)26装填及取出晶圆18。
在移载室23的后侧区域构成有收容晶圆盒26并使其待机的待机部27，在待机部27的上方设置有立式的处理炉28。处理炉28在内部形成处理室29，处理室29的下端部成为炉口部，炉口部通过炉口闸门(炉口开闭机构)31而开闭。此外，处理室29是处理容器的一例。
在壳体2的右侧端部与副壳体16的待机部27的右侧端部之间设置有用于使晶圆盒26升降的晶圆盒升降机(基板保持器升降机构)32。在与晶圆盒升降机32的升降台连结的臂33上水平地安装有作为盖体的密封盖34，密封盖34垂直地支承晶圆盒26，能够在将晶圆盒26装入处理室29的状态下气密地封闭炉口部。
晶圆盒26构成为将多张(例如50张～125张左右)的晶圆18的中心对齐以水平姿势多层地保持多张晶圆18。
在与晶圆盒升降机32侧相对的位置配设有清洁单元35，清洁单元35由供给风扇及防尘过滤器构成，以供给净化后的气氛或惰性气体即清洁空气36。作为惰性气体，例如能够使用含氮(N)气体。作为含氮气体，例如能够使用氮(N2)气、氨(NH3)气等。作为含氮气体，可以使用它们中的1种以上。在晶圆移载机构24与清洁单元35之间设置有使晶圆18的圆周方向的位置一致的作为基板对齐装置的切口对准装置(未图示)。
从清洁单元35吹出的清洁空气36构成为在向切口对准装置(未图示)及晶圆移载机构24、晶圆盒26流通之后，由管道(未图示)吸入，向壳体2的外部排出，或者通过清洁单元35向移载室23内吹出。
接着，对基板处理装置1的动作进行说明。
当晶圆盒9被供给到装载端口8时，晶圆盒送入送出口6通过前闸门7而被打开。装载端口8上的晶圆盒9由晶圆盒输送机构15经过晶圆盒送入送出口6向壳体2的内部送入，并载放在旋转式晶圆盒架11的指定的架板13上。晶圆盒9在由旋转式晶圆盒架11暂时保管后，通过晶圆盒输送机构15从架板13输送到某一个晶圆盒开启器14来移载到载放台21，或者从装载端口8直接移载到载放台21。
此时，晶圆送入送出口19通过开闭机构22而被关闭，清洁空气36向移载室23流通并充满移载室23。例如，通过在移载室23中充满作为清洁空气36的含氮气体，氧浓度被设定为20ppm以下，比壳体2内部(大气气氛)的氧浓度低。
将载放在载放台21的晶圆盒9的开口侧端面按压在副壳体16的正面壁17的晶圆送入送出口19的开口边缘部，并且通过开闭机构22拆下盖，晶圆出入口被打开。
当通过晶圆盒开启器14打开了晶圆盒9时，通过晶圆移载机构24将晶圆18从晶圆盒9中取出，并移送到切口对准装置(未图示)，在通过切口对准装置将晶圆18对齐之后，晶圆移载机构24将晶圆18送入到位于移载室23后方的待机部27，并装填(charging)到晶圆盒26中。
将晶圆18交接到晶圆盒26的晶圆移载机构24返回晶圆盒9，将下一个晶圆18装填到晶圆盒26。
在通过一方(上层或下层)的晶圆盒开启器14中的晶圆移载机构24将晶圆18向晶圆盒26装填的作业的过程中，同时进行通过晶圆盒输送机构15从旋转式晶圆盒架11向另一方(下层或上层)的晶圆盒开启器14输送并移载其他晶圆盒9，利用另一方的晶圆盒开启器14打开晶圆盒9的打开作业。
当把预先指定的张数的晶圆18装填到晶圆盒26时，通过炉口闸门31而关闭的处理炉28的炉口部被炉口闸门31打开。接着，晶圆盒26通过晶圆盒升降机32上升，被送入(装载)到处理室29。
在装载后，利用密封盖34将炉口部气密地封闭。此外，在本实施方式中，具有在该定时(装载后)将处理室29置换为惰性气体的吹扫工序(预吹扫工序)。
通过气体排气机构(未图示)进行真空排气，使得处理室29成为所期望的压力(真空度)。另外，通过加热器驱动部(未图示)将处理室29加热至预定温度，使得处理室29成为所希望的温度分布。
另外，通过气体供给机构(未图示)供给被控制为预定流量的处理气体，在处理气体在处理室29中流通的过程中，与晶圆18的表面接触，在晶圆18的表面上实施预定的处理。并且，反应后的处理气体通过气体排气机构从处理室29排气。本说明书中的处理气体是指向处理室29内供给的气体。这在以下的说明中也相同。
当经过了预先设定的处理时间时，通过气体供给机构从惰性气体供给源(未图示)供给惰性气体，将处理室29置换为惰性气体，并且使处理室29的压力恢复为常压(后吹扫工序)。然后，通过晶圆盒升降机32经由密封盖34使晶圆盒26下降。本说明书中的处理时间是指持续该处理的时间。这在以下的说明中也相同。
关于处理后的晶圆18的送出，按照与上述说明相反的顺序将晶圆18和晶圆盒9向壳体2外部送出。进一步将未处理的晶圆18装填到晶圆盒26中，反复进行晶圆18的批处理。
在此，如图1和图2所示，基板处理装置1具有控制部100，控制部100进行基板处理装置1的控制。控制部100可以内置在基板处理装置1中，也可以设置为能够靠近基板处理装置1的外部。
接着，参照图3说明本实施方式的基板处理装置1的控制系统的结构。
图3是表示本实施方式的基板处理装置1所具备的控制部100的功能性结构的一例的框图。
如图3所示，基板处理装置1具备控制部(主控制器)100、外部存储部201、外部通信部202、操作部203、显示部204、工艺控制部205以及输送控制部206。
另外，控制部100具备CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)101、RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)102、存储部103、I/O端口104、管理部105、范围设定部106以及判定部107。
控制部100与操作部203连接，并且经由I/O端口104与工艺控制部205以及输送控制部206连接。控制部100经由I/O端口104分别与工艺控制部205以及输送控制部206电连接，因此构成为能够进行各数据的收发、各文件的下载以及上传等。
对控制部100连接了外部存储部201，该外部存储部201作为用于插拔作为记录介质的一个例子的USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)存储器等的安装部。另外，控制部100经由外部通信部202与外部的上位计算机(未图示)连接。因此，即使在基板处理装置1设置在无尘室内的情况下，上位计算机也能够配置在无尘室外的办公室等。
操作部203一体地具有显示部204，或者经由视频线等与显示部204连接。显示部204例如是液晶显示面板。构成为在显示部204显示用于操作基板处理装置1的各操作画面。在操作画面中，具有用于确认工艺控制部205控制的基板工艺系统以及输送控制部206控制的基板输送系统的状态的画面，另外，显示部204也能够设置作为用于向基板工艺系统以及基板输送系统输入动作指示的输入部的各操作按钮。操作部203使显示部204显示经由操作画面在基板处理装置1内生成的信息。另外，操作部203例如使显示在显示部204的信息输出到在外部存储部201插入的USB存储器等设备。操作部203接收来自在显示部204显示的操作画面的输入数据(输入指示)，并将输入数据发送至控制部100。另外，操作部203接收用于执行在RAM102中展开的制程或者在存储部103中存储的多个制程中的任意的基板处理制程(也称为工艺制程)的指示(控制指示)，并将该指示发送至控制部100。另外，操作部203和显示部204也可以由触摸面板构成。在此，操作部203以及显示部204与控制部100分体设置，但也可以构成为一体地包含在控制部100中。
工艺控制部205具备温度控制部205A、压力控制部205B以及气体流量控制部205C。温度控制部205A、压力控制部205B以及气体流量控制部205C分别构成子控制器，与工艺控制部205电连接，因此能够进行各数据的收发、各文件的下载以及上传等。此外，工艺控制部205和各子控制器(温度控制部205A、压力控制部20B以及气体流量控制部205C)分体地图示，但也可以是一体结构。
对温度控制部205A连接了主要由加热器和温度传感器构成的加热机构。温度控制部205A构成为通过控制处理炉28的加热器的温度来调节处理炉28内的温度。此外，温度控制部205A构成为进行晶闸管的开关(接通/断开)控制，从而控制向加热器线材供给的电力。
对压力控制部205B连接了主要由压力传感器(未图示)、作为压力阀的APC(自动压力控制)阀(未图示)构成的气体排气机构(未图示)。另外，也可以将真空泵(未图示)包含在气体排气机构中。压力控制部205B构成为基于由压力传感器检测到的压力值，控制APC阀的开度和真空泵的开关(接通断开)，使得处理室29内的压力在所期望的定时成为所期望的压力。
气体流量控制部205C由MFC(Mass Flow Controller：质量流量控制器)(未图示)构成。
输送控制部206具备驱动部控制部206A、旋转部控制部206B以及升降控制部206C。驱动部控制部206A构成为进行基板处理装置1的驱动部系统的控制。旋转部控制部206B构成为进行基板处理装置1的旋转部系统的控制。升降控制部206C构成为进行基板处理装置1的升降系统的控制。输送控制部206例如构成为分别控制旋转式晶圆盒架11、晶圆盒升降机32、晶圆盒输送机构15、晶圆移载机构24、晶圆盒26以及旋转机构(未图示)的输送动作。
此外，本实施方式的控制部100、工艺控制部205以及输送控制部206能够不依赖于专用的系统而使用通常的计算机系统来实现。例如，通过从存储有用于执行上述处理的程序的记录介质(CD-ROM、USB等)向通用计算机安装该程序，能够构成执行预定处理的各控制器。
而且，用于供给这些程序的单元是任意的。除了如上述那样能够经由预定的记录介质供给之外，例如也可以经由通信线路、通信网络、通信系统等进行供给。
控制部100构成为具备CPU101、RAM102、存储部103以及I/O端口104的计算机。在存储部103中，除了存储有定义了处理条件和处理步骤的制程等各制程文件、用于执行这些各制程文件的控制程序文件、用于设定处理条件和处理步骤的参数文件(设定值文件)、错误处理程序文件和错误处理的参数文件以外，还存储有包含用于输入工艺参数的输入画面的各种画面文件、各种图标文件等(均未图示)。另外，作为一例，控制部100使用外部通信部202与因特网、LAN(Local Area Network：局域网)、WAN(Wide Area Network：广域网)等网络连接，能够经由网络与外部设备之间进行通信。
另外，作为存储部103，例如使用HDD(Hard Disk Drive，硬盘驱动器)、SSD(SolidState Drive，固态硬盘驱动器)、闪存等。在存储部103中存储用于执行本实施方式的设定值编辑处理的设定值编辑程序。
设定值编辑程序例如也可以预先安装在基板处理装置1。设定值编辑程序也可以通过记录在非易失性的记录介质或者经由网络分发并适当安装在基板处理装置1来实现。另外，作为非易失性的记录介质的例子，设想CD-ROM、光磁盘、HDD、DVD-ROM、闪存、存储卡、USB等。
即，设定值编辑程序是用于使计算机执行以下步骤的程序：进行记载了具有多个设定值的基板处理条件的文件的显示的步骤；在进行设定值的编辑时，进行所设定的设定值的取消或修改的至少一个操作的步骤；存储文件和取消或修改的操作履历信息的步骤；以及判定在取消或修改的操作时重新设定的设定值的有效范围的步骤。
本实施方式的基板处理装置1的CPU101通过将存储在存储部103的设定值编辑程序写入RAM102并执行该程序，作为控制部100、管理部105、范围设定部106、判定部107发挥功能。
本实施方式的基板处理装置1具备显示部204、操作部203、存储部103、判定部107、外部存储部201、外部通信部202和控制部100。
显示部204能够显示记载了具有多个设定值的基板处理条件的文件。
操作部203能够进行在显示部204显示的文件的编辑操作和在编辑操作中设定的设定值的取消或修改中的至少一个操作。在文件编辑中，能够进行项目的设定值的编辑。在此，作为一例，如图4A所示，显示部204显示包含文件的制程编辑画面。
图4A是表示本实施方式的制程编辑画面40的一例的主视图。
在图4A所示的制程编辑画面40中，作为多个设定值的一例，显示记载了具有温度(Temperature)、气体流量(MFC)以及压力(Pressure)的各设定值的基板处理条件的文件41。另外，制程编辑画面40包含：关闭文件的关闭(close)按钮42；保存文件的保存(Save)按钮43；取消通过编辑操作设定的设定值并返回到原来的设定值的取消(Undo)按钮44；修改通过编辑操作设定的设定值来重新设定该设定值的修改(Redo)按钮45；以及作为显示各种信息的区域的信息区域(information Area)46。
存储部103存储记载了具有多个设定值的基板处理条件的文件以及取消或修改的操作履历信息。
判定部107判定在取消或修改的操作时重新设定的设定值的有效范围。
控制部100具有存储部103以及判定部107，能够进行设定值的编辑操作的控制。具体而言，控制部100在具有来自操作部203的取消或者修改操作的指示时，进行设定值的取消动作或者修改动作的控制。控制部100在存在设定值的确定操作、或者取消或修改操作的情况下，指示判定部107进行全部编辑项目的有效性检查(范围检查)。
根据上述结构，通过在变更设定值时进行输入范围的再计算以及全部项目的范围检查，始终保持编辑项目的匹配性，能够削减执行基板处理时的由于文件不匹配导致的文件再编辑的无用时间，作为结果，能够有助于生产效率的提高。
另外，通过在设定项目时进行全部项目的有效范围的确认，修正对象的项目变得明确，有助于文件编辑的高效化，能够有助于作业效率的提高。
具体而言，控制部100具有进行设定值的管理的管理部105。管理部105按照来自操作部203的指示，检索所指示的设定值的信息，将检索结果返回到操作部203。例如，在显示制程编辑画面40的情况下，管理部105读出存储在存储部103的包含设定值的文件信息，并将读出的文件信息在RAM102中展开。此外，当具有来自操作部203的项目的显示请求时，管理部105从RAM102搜索相应项目的设定值，取得搜索到的设定值，并将所取得的设定值返回到操作部203。操作部203将从管理部105取得的设定值传送到显示部204。显示部204显示从操作部203传送的设定值。由此，能够容易地取得所指示的设定值。
另外，控制部100具有范围设定部106，该范围设定部106设定作为设定值的有效范围的上限值以及下限值。范围设定部106按照来自管理部105的有效范围的设定指示，设定全部设定值的有效范围。具体而言，范围设定部106对所有项目进行有效范围的设定。关于该有效范围，其范围根据各设定项目的条件而不同，因此每次都进行有效范围的设定。另外，该有效范围可以预先作为有效范围信息存储在存储部103中，适当读出该有效范围信息，设定符合条件的有效范围，此外，也可以是通过程序计算符合条件的有效范围的方式。由此，能够设定全部设定值的有效范围。
另外，范围设定部106确认预先决定的各项目的范围设定条件和关联的其他项目的设定信息，进行上限值以及下限值的计算。例如，在压力设定值的单位为[Pa]的情况下，将设定值的范围设为0000.00Pa～9999.99Pa，例如，在压力设定值的单位为[Torr]的情况下，将设定值的范围设为00.000Torr～99.999Torr，按照相关的条件来变更有效范围。在此，0000.00Pa～9999.99Pa表示值的范围，表示0000.00Pa以上且9999.99Pa以下。但是，定义[Pa]以外的范围的情况也相同。例如，在气体流量的单位为[slm]的情况下，设为0000.000slm～9999.000slm，例如，在气体流量的单位为[sccm]的情况下，设为00.0sccm～99.0sccm，按照相关联的条件来变更有效范围。此外，在供给流量包括0slm、0sccm的情况下，0slm、0sccm是指不供给该物质(气体)的情况。这在以下的说明中也是同样的。由此，能够适当地计算有效范围的上限值和下限值。
另外，判定部107在设定值变更的情况下，进行在文件中定义的全部设定值是否在有效范围内的判定。判定部107将由管理部105指定的设定信息的设定值与范围设定部106设定的有效范围进行比较，判定设定值是否在有效范围内。判定部107将判定结果返回给管理部105。由此，能够判定在文件中定义的全部设定值是否在有效范围内。
另外，控制部100也可以在判定部107的判定结果为范围外的情况下，对操作部203进行通知以报告设定值为范围外。由此，能够将范围外的设定值通知给操作部。
操作部203根据来自控制部100的通知，指示显示部204显示存在范围外的设定值。在该情况下，显示部204可以按照来自操作部203的指示，显示设定值为范围外的通知，也可以切换作为对象的设定值的显示，或者也可以显示设定值为范围外的通知，并切换作为对象的设定值的显示。例如，如图4B所示，在位于制程编辑画面40上部的信息区域46显示消息，使得知晓被判断为范围外的项目。作为消息，例如显示范围外的设定值信息和范围外的意思的消息。通过在信息区域46显示消息，能够在制程编辑画面40中通知范围外的设定值。
另外，如图4C所示，也可以在该项目附近显示消息47，使得知晓被判断为范围外的项目。消息47例如可以是工具提示，也可以是消息框。另外，也可以切换背景使得知晓被判断为范围外的项目。另外，也可以切换设定值的显示颜色(文字颜色)。在图4C中，例如将背景从白切换为黑。在此，将背景设为黑色，但只要是与其他项目不同的颜色，则可以是任意颜色。另外，也可以切换显示文字，使得知晓被判断为范围外的项目。由此，能够显示范围外的设定值而使用户知晓。
在此，如上述的图4A所示，显示部204具有能够进行取消或者修改的操作的按钮即Undo按钮44、Redo按钮45。通过这些按钮能够容易地进行取消或修改的操作。显示部204可以根据显示部204的显示语言来切换Undo按钮44、Redo按钮45的显示文字。例如，按照在装置的交付目的地指定的语言，例如切换日语、英语等显示文字，由此能够有助于文件操作辅助。在日语的情况下，将“Undo”切换为“取り消し”，将“Redo”切换为“やり直し”。
另外，显示部204也可以按照取消或者修改的操作，切换Undo按钮44以及Redo按钮45的至少一方的显示。例如，如后述的图6B、图7B、图8B、图9B、图10B所示，使Undo按钮44以及Redo按钮45中不可执行的按钮变灰或者不显示。在该情况下，能够在制程编辑画面40中确认Undo按钮44以及Redo按钮45可否执行，因此能够有助于文件操作辅助。
接着，使用图5以及图6A～图10B，具体地说明本实施方式的Undo以及Redo的操作履历信息的迁移例。
图5表示本实施方式的存储具有取消或者修改的操作履历的操作履历信息的、Undo操作用的Undo数据存储表以及Redo操作用的Redo数据存储表的一例。
在操作履历信息中，作为取消的操作履历信息而包含Undo履历信息51，作为修改的操作履历信息而包含Redo履历信息52。Undo履历信息51例如包含设定项目、变更前设定值以及变更后设定值。Redo履历信息52例如包含设定项目、变更前设定值以及变更后设定值。
如图5所示，Undo操作用的Undo数据存储表以及Redo操作用的Redo数据存储表具有同样的表结构。Undo数据存储表是第一操作履历信息的一例，Redo数据存储表是第二操作履历信息的一例。
即，操作履历信息包含存储设定值的设定值关联信息的Undo数据存储表、以及在执行取消的操作时作为取消履历而存储设定值关联信息的Redo数据存储表。另外，设定值关联信息包含设定项目、变更前设定值及变更后设定值中的至少任意一个。通过使用这些数据存储表，Undo/Redo操作的管理变得容易，有助于削减不必要的检索，能够缩短操作时间。
例如，控制部100在执行取消操作时，将存储在Undo数据存储表中的设定值关联信息存储到Redo数据存储表中，并删除存储在Undo数据存储表中的设定值关联信息。
此外，控制部100在执行修改操作时，将Redo数据存储表中存储的设定值关联信息存储到Undo数据存储表中，并删除Redo数据存储表中存储的设定值关联信息。
此外，控制部100在取得了新的设定值关联信息的情况下，将Redo数据存储表中存储的设定值关联信息存储到Undo数据存储表中，将新的设定值关联信息存储到Undo数据存储表中。在该情况下，控制部100也可以将Redo数据存储表的数据全部清除，即删除。
此外，控制部100在结束了文件编辑的情况下，也可以清除(删除)操作履历信息，即删除Undo数据存储表以及Redo数据存储表的数据。
图6A表示进行了3次设定值的设定时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例。此外，图6B表示与图6A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例。另外，使存储的数据以LIFO(Last In First Out，后进先出)方式进行数据的输入输出。
在图6B的(S1)中，作为一例，进行上述的图4A所示的制程编辑画面40的新显示。在该情况下，作为图6B的(S1)所示的画面设定值信息，显示设定信息1、设定信息2以及设定信息3。在设定信息1中显示“001”作为变更前设定值，在设定信息2中显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮和Redo按钮都成为意味着不可执行的显示(例如变灰)，设为不可执行。此时，在图6A的(S1)中，是在Undo数据存储表以及Redo数据存储表中均没有存储任何内容的状态。
接着，在图6B的(S2)中，输入“002”作为设定信息1的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值切换为“002”的显示，在设定信息2中作为变更前设定值继续显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。例如，在图6B中用灰色表示设定值的背景。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮的不可执行显示被解除而能够执行。Redo按钮保持不可执行显示而不可执行。在该情况下，在图6A的(S2)中，将设定信息1的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中。此时，在存储在Undo数据存储表中的设定信息1的设定值关联信息中，作为变更前设定值包含“001”，作为变更后设定值包含“002”。
接着，在图6B的(S3)中，输入“003”作为设定信息2的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更后设定值切换为“003”的显示，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。在图6B中，例如用灰色表示设定值的背景。另外，作为按钮的显示状态，Undo按钮保持可执行显示而继续可执行。Redo按钮保持不可执行显示而继续不可执行。在该情况下，在图6A的(S3)中，将设定信息2存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的设定信息2包含“002”作为变更前设定值，包含“003”作为变更后设定值。
接着，在图6B的(S4)中，输入“003”作为设定信息1的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值切换为“003”的显示，在设定信息2中作为变更后设定值继续显示“003”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。作为按钮的显示状态，Undo按钮保持可操作显示而继续可设定。Redo按钮保持不可操作显示而继续不可执行。在该情况下，在图6A的(S4)中，将新的设定信息1存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的新的设定信息1包含“002”作为变更前设定值，包含“003”作为变更后设定值。
图7A表示在进行了2次设定值的设定之后进行了1次Undo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例。此外，图7B表示与图7A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例。
在图7B的(S11)中，作为一例，进行上述的图4A所示的制程编辑画面40的新显示。在该情况下，作为图7B的(S11)所示的画面设定值信息，显示设定信息1、设定信息2以及设定信息3。在设定信息1中显示“001”作为变更前设定值，在设定信息2中显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮和Redo按钮都成为意味着不可执行的显示(例如变灰)，设为不可执行。此时，在图7A的(S11)中，是在Undo数据存储表以及Redo数据存储表中均没有存储任何内容的状态。
接着，在图7B的(S12)中，输入“002”作为设定信息1的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值切换为“002”的显示，在设定信息2中作为变更前设定值继续显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。例如在图7B中用灰色表示设定值的背景。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮的不可执行显示被解除而能够执行。Redo按钮保持不可执行显示而不可执行。在该情况下，在图7A的(S12)中，将设定信息1的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中。此时，在存储在Undo数据存储表中的设定信息1的设定值关联信息中，作为变更前设定值包含“001”，作为变更后设定值包含“002”。
接着，在图7B的(S13)中，输入“003”作为设定信息2的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更后设定值切换为“003”的显示，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。在图7B中，例如用灰色表示设定值的背景。另外，作为按钮的显示状态，Undo按钮保持可执行显示而继续可执行。Redo按钮保持不可执行显示而继续不可执行。在该情况下，在图7A的(S13)中，将设定信息2存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的设定信息2包含“002”作为变更前设定值，包含“003”作为变更后设定值。
接着，在图7B的(S14)中，按下Undo按钮。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更前设定值显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮继续可执行，Redo按钮被解除了不可执行显示(变灰显示)而能够执行。在该情况下，在图7A的(S14)中，进行设定信息2的Undo操作(即，取消变更后设定值“003”的操作)。此时，将存储在Undo数据存储表中的设定信息2存储在Redo数据存储表中，并从Undo数据存储表中删除。
图8A表示在进行了2次设定值的设定之后进行了2次Undo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例。此外，图8B表示与图8A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例。
在图8B的(S21)中，作为一例，进行上述的图4A所示的制程编辑画面40的新显示。作为图8B的(S21)所示的画面设定值信息，显示设定信息1、设定信息2以及设定信息3。在设定信息1中显示“001”作为变更前设定值，在设定信息2中显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮和Redo按钮都成为意味着不可执行的显示(例如变灰)，设为不可执行。此时，在图8A的(S21)中，是在Undo数据存储表以及Redo数据存储表中均没有存储任何内容的状态。
接着，在图8B的(S22)中，输入“002”作为设定信息1的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值切换为“002”的显示，在设定信息2中作为变更前设定值继续显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。例如，在图8B中用灰色表示设定值的背景。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮的不可执行显示被解除而能够执行。Redo按钮保持不可执行显示而不可执行。在该情况下，在图8A的(S22)中，将设定信息1的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中。此时，在存储在Undo数据存储表中的设定信息1的设定值关联信息中，作为变更前设定值包含“001”，作为变更后设定值包含“002”。
接着，在图8B的(S23)中，输入“003”作为设定信息2的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更后设定值切换为“003”的显示，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。例如，在图8B中用灰色表示设定值的背景。另外，作为按钮的显示状态，Undo按钮保持可执行显示而继续可执行。Redo按钮保持不可执行显示而继续不可执行。在该情况下，在图8A的(S23)中，将设定信息2存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的设定信息2包含“002”作为变更前设定值，包含“003”作为变更后设定值。
接着，在图8B的(S24)中，按下Undo按钮。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更前设定值显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮继续能够执行，Redo按钮被解除不可执行显示(变灰显示)而能够执行。在该情况下，在图8A的(S24)中，进行设定信息2的Undo操作(即，取消变更后设定值“003”的操作)。此时，将存储在Undo数据存储表中的设定信息2存储在Redo数据存储表中，并从Undo数据存储表中删除。
接着，在图8B的(S25)中，按下Undo按钮。作为画面设定值信息，在设定信息1中显示“001”作为变更前设定值，在设定信息2中继续显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中继续显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮切换为不可执行显示(例如变灰)而不可执行，Redo按钮继续可执行显示而继续可执行。在该情况下，在图8A的(S25)中，进行设定信息1的Undo操作(即，取消变更后设定值“002”的操作)。此时，将存储在Undo数据存储表中的设定信息1存储在Redo数据存储表中，并从Undo数据存储表中删除。
图9A表示接着图8A的迁移之后进一步进行了2次Redo时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例。此外，图9B表示与图9A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例。
在图9B的(S31)中，按下Redo按钮。关于画面设定值信息，在设定信息1中显示“002”作为变更后设定值，在设定信息2中继续显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中继续显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮被解除不可执行显示(例如变灰显示)而能够执行。Redo按钮继续可执行。在该情况下，在图9A的(S31)中，进行设定信息1的Redo操作(即，修改变更后设定值“002”的操作)。此时，将存储在Redo数据存储表中的设定信息1存储在Undo数据存储表中，并从Redo数据存储表中删除。
接着，在图9B的(S32)中，按下Redo按钮。关于画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更后设定值显示“003”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮继续可执行显示，能够执行。Redo按钮成为不可执行显示(例如变灰)，而不可执行。在该情况下，在图9A的(S32)中，进行设定信息2的Redo操作(即，修改变更后设定值“003”的操作)。此时，将存储在Redo数据存储表中的设定信息2存储在Undo数据存储表中，并从Redo数据存储表中删除。
图10A表示在进行了2次设定值的设定之后进行了1次Undo并进一步进行了1次设定时的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移例。此外，图10B表示与图10A所示的Undo数据存储表以及Redo数据存储表的迁移对应的画面设定值信息的变化以及Undo/Redo按钮的显示状态的变化的状况的一例。
在图10B的(S41)中，作为一例，进行上述的图4A所示的制程编辑画面40的新显示。作为图10B的(S41)所示的画面设定值信息，显示设定信息1、设定信息2以及设定信息3。在设定信息1中显示“001”作为变更前设定值，在设定信息2中显示“002”作为变更前设定值，在设定信息3中显示“003”作为变更前设定值。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮和Redo按钮都成为意味着不可执行的显示(例如变灰)，设为不可执行。此时，是在Undo数据存储表以及Redo数据存储表中均没有存储任何内容的状态。
接着，在图10B的(S42)中，输入“002”作为设定信息1的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值切换为“002”的显示，在设定信息2中作为变更前设定值继续显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。例如在图10B中用灰色表示设定值的背景。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮的不可执行显示被解除而能够执行。Redo按钮保持不可执行显示而不可执行。在该情况下，在图10A的(S42)中，将设定信息1的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中。此时，在存储在Undo数据存储表中的设定信息1的设定值关联信息中，作为变更前设定值包含“001”，作为变更后设定值包含“002”。
接着，在图10B的(S43)中，输入“003”作为设定信息2的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更后设定值切换为“003”的显示，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，变更后的设定值例如可以切换为与变更前设定值不同的背景色。另外，变更后的设定值例如也可以切换显示文字的颜色。在图10B中，例如用灰色表示设定值的背景。另外，作为按钮的显示状态，Undo按钮保持可执行显示而继续可执行。Redo按钮保持不可执行显示而继续不可执行。在该情况下，在图10A的(S43)中，将设定信息2存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的设定信息2包含“002”作为变更前设定值，包含“003”作为变更后设定值。
接着，在图10B的(S44)中，按下Undo按钮。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更前设定值显示“002”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮继续能够执行，Redo按钮被解除不可执行显示(变灰显示)而能够操作。在该情况下，在图10A的(S44)中，进行设定信息2的Undo操作(即，取消变更后设定值“003”的操作)。此时，将存储在Undo数据存储表中的设定信息2存储在Redo数据存储表中，并从Undo数据存储表中删除。
接着，在图10B的(S45)中，输入“004”作为设定信息2的变更后设定值。作为画面设定值信息，在设定信息1中作为变更后设定值继续显示“002”，在设定信息2中作为变更前设定值显示“004”，在设定信息3中作为变更前设定值继续显示“003”。另外，关于按钮的显示状态，Undo按钮继续能够执行，Redo按钮成为不可执行显示(例如变灰显示)而不可执行。在该情况下，在图10A的(S45)中，将Redo数据存储表中存储的所有设定值关联信息存储到Undo数据存储表中，并清除Redo数据存储表。之后，将新的设定信息2存储在Undo数据存储表中。此时，存储在Undo数据存储表中的新的设定信息2包含“003”作为变更前设定值，包含“004”作为变更后设定值。
接着，参照图11～图14说明本实施方式的基板处理装置1的作用。
图11是表示本实施方式的编辑开始处理的一例的顺序图。
在图11的步骤S101中，操作部203向管理部105发送开始编辑设定值的请求。
在步骤S102中，管理部105根据来自操作部203的编辑开始请求，从存储部103取得制程文件。
在步骤S103中，管理部105对范围设定部106发送设定值的有效范围的计算请求。
在步骤S104中，范围设定部106根据来自管理部105的计算请求来设定所有设定值的有效范围。
在步骤S105中，作为响应，范围设定部106对管理部105回复计算出所有设定值的有效范围。
在步骤S106中，管理部105将编辑的开始作为响应回复给操作部203。
在步骤S107中，操作部203向管理部105发送设定值的取得请求。
在步骤S108中，管理部105对范围设定部106发送设定值的有效范围的取得请求。
在步骤S109中，范围设定部106响应于来自管理部105的取得请求来取得所指定的设定值的有效范围，并且将所取得的有效范围发送至管理部105。
在步骤S110中，管理部105对操作部203指定所指定的设定值的有效范围。
在步骤S111中，作为响应，管理部105对操作部203回复设定值的取得，并且结束一系列处理。
图12是表示本实施方式的设定值变更处理的一例的顺序图。
在图12的步骤S121中，操作部203指示管理部105更新设定值。
在步骤S122中，管理部105响应于来自操作部203的更新指示，向范围设定部106发送有效范围的计算请求。
在步骤S123中，范围设定部106根据来自管理部105的计算请求来设定所有设定值的有效范围。
在步骤S124中，作为响应，范围设定部106对管理部105回复计算出所有设定值的有效范围。
在步骤S125中，管理部105指示判定部107确认所有设定值的有效范围。
在步骤S126中，判定部107根据来自管理部105的指示来确认所有设定值的有效范围，并且将确认结果发送至管理部105。
在步骤S127中，管理部105基于来自判定部107的确认结果来判定设定值是否在有效范围内。在判定为设定值在有效范围内的情况下(成功的情况下)，转移到步骤S128，在判定为设定值在有效范围外的情况下(范围外的情况下)，转移到步骤S129。
在步骤S128中，管理部105将设定值存储在Undo数据存储表中。
在步骤S129中，管理部105将设定值的确认结果作为响应回复给操作部203。
在步骤S130中，操作部203基于来自管理部105的确认结果来判定设定值是否在有效范围内。在判定为设定值在有效范围内的情况下(成功的情况下)，直接结束，在判定为设定值在有效范围外的情况下(范围外的情况下)，转移到步骤S131。
在步骤S131中，操作部203向显示部204通知设定值在范围外，返回到步骤S121反复进行处理。
在此，在输入设定值的情况下，从Redo数据存储表中确认有无设定值关联信息。在Redo数据存储表中存在设定值关联信息的情况下，将全部的设定值关联信息存储到Undo数据存储表中。然后，将与输入的设定值关联的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中，并清除Redo数据存储表。
图13是表示本实施方式的Undo操作处理的流程的一例的流程图。
在图13的步骤S141中，CPU101取得存储在Undo数据存储表中的最新的设定值关联信息。
在步骤S142中，CPU101将在步骤S141中取得的设定值关联信息存储到Redo数据存储表的最新位置。
在步骤S143中，CPU101清除存储在Undo数据存储表中的最新的设定值关联信息，并结束一系列的处理。
即，在Undo操作的情况下，取得存储在Undo数据存储表中的设定值关联信息，将取得的设定值关联信息存储在Redo数据存储表中。然后，清除存储在Undo数据存储表中的设定值关联信息。此时，进行全部设定值的有效范围的再计算，进行全部设定值的有效范围的判定，反映有效范围的判定结果。
图14是表示本实施方式的Redo操作处理的流程的一例的流程图。
在图14的步骤S151中，CPU101取得在Redo数据存储表中存储的最新的设定值关联信息。
在步骤S152中，CPU101将在步骤S151中取得的设定值相关信息存储在Undo数据存储表的最新位置中。
在步骤S153中，CPU101清除在Redo数据存储表中存储的最新的设定值关联信息，并结束一系列的处理。
即，在Redo操作的情况下，取得在Redo数据存储表中存储的设定值关联信息，将取得的设定值关联信息存储在Undo数据存储表中。然后，清除Redo数据存储表中存储的设定值关联信息。此时，进行全部设定值的有效范围的再计算，进行全部设定值的有效范围的判定，反映有效范围的判定结果。
如此，根据本实施方式，通过在设定值的变更时进行输入范围的再计算以及全部项目的范围检查，始终保持编辑项目的匹配性，能够削减执行基板处理时的文件不匹配引起的文件再编辑的无用时间，作为结果，能够有助于生产效率的提高。
另外，通过在项目设定时进行全部项目的有效范围的确认，修正对象的项目变得明确，有助于文件编辑的高效化，能够有助于作业效率的提高。
以上例示了实施方式的基板处理装置进行了说明。实施方式也可以是用于使计算机执行基板处理装置的功能的程序的方式。实施方式也可以是存储有这些程序的计算机可读取的非暂时性记录介质的方式。
此外，上述实施方式中说明的基板处理装置的结构为一例，也可在不脱离主旨的范围内根据状况进行变更。
另外，在上述实施方式中说明的程序的处理的流程也是一个例子，也可以在不脱离主旨的范围内删除不需要的步骤，或者追加新的步骤，或者调换处理顺序。
另外，在上述实施方式中，说明了通过执行程序来利用计算机通过软件结构来实现实施方式的处理的情况，但不限于此。实施方式例如也可以通过硬件结构、或者硬件结构与软件结构的组合来实现。
在上述实施方式中，说明了使用一次处理多张基板的批量式的基板处理装置来形成膜的例子。本公开并不限于上述方式，例如，在使用一次处理一张或数张基板的单片式的基板处理装置来形成膜的情况下，也能够适当地应用。另外，在上述方式中，对使用具有热壁型的处理炉的基板处理装置形成膜的例子进行了说明。本公开并不限于上述的方式，在使用具有冷壁型的处理炉的基板处理装置来形成膜的情况下，也能够适当地应用。
在使用这些基板处理装置的情况下，也能够通过与上述实施方式同样的处理步骤、处理条件进行各处理，能够得到与上述实施方式同样的效果。
附图标记的说明
1基板处理装置
29处理室(处理容器)
100控制部
103存储部
107判定部
203操作部
204显示部。

Claims (20)

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：
显示部，其能够显示记载了具有多个设定值的基板的处理条件的文件；
操作部，其能够进行所述文件的编辑操作，以及能够进行在所述编辑操作中设定的所述设定值的取消和修改中的至少一个操作；
存储部，其存储所述文件、以及所述取消或所述修改的操作履历信息；
判定部，其判定在所述取消或所述修改的操作时重新设定的所述设定值的有效范围；
控制部，其具有所述存储部和所述判定部，能够进行所述设定值的编辑操作的控制；以及
处理容器，其能够基于所指定的所述文件进行所述基板的处理。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部还具有进行所述设定值的管理的管理部，
所述管理部按照来自所述操作部的指示，检索所指示的所述设定值的信息。
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部还具有范围设定部，该范围设定部设定作为所述设定值的有效范围的上限值和下限值，
所述范围设定部按照来自所述管理部的所述有效范围的设定指示来设定全部的所述设定值的所述有效范围。
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，
所述范围设定部确认预先决定的各项目的范围设定条件和关联的其他项目的设定信息来进行所述上限值和所述下限值的计算。
5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述设定值变更的情况下，所述判定部判定在所述文件中定义的全部的所述设定值是否在有效范围内。
6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，
在所述判定部的判定结果为范围外的情况下，所述控制部能够进行控制以对所述操作部进行通知，使得报告所述设定值在范围外。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，
所述操作部按照来自所述控制部的所述通知能够进行控制，使得指示所述显示部显示存在范围外的所述设定值。
8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，
所述显示部按照来自所述操作部的指示，显示所述设定值在范围外的通知，并对成为对象的设定值的显示进行切换。
9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述显示部具有能够进行所述取消或所述修改的操作的按钮。
10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，
所述显示部按照所述显示部的显示语言来切换所述按钮的显示文字。
11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，
所述显示部按照所述取消或所述修改的操作来切换所述按钮的显示。
12.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述操作履历信息包含所述设定值的第一操作履历信息和第二操作履历信息，其中，所述第一操作履历信息存储设定值关联信息，所述第二操作履历信息在执行所述取消的操作时存储所述设定值关联信息来作为取消履历。
13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述设定值关联信息包含设定项目、变更前的设定值和变更后的设定值中的至少任意一个。
14.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部在执行所述取消的操作时能够进行控制，使得将存储在所述第一操作履历信息的所述设定值关联信息存储在所述第二操作履历信息，并删除存储在所述第一操作履历信息的所述设定值关联信息。
15.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部在执行所述修改的操作时能够进行控制，使得将存储在所述第二操作履历信息的所述设定值关联信息存储在所述第一操作履历信息，并删除存储在所述第二操作履历信息的所述设定值关联信息。
16.根据权利要求12所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部在取得了新的设定值关联信息时能够进行控制，使得将存储在所述第二操作履历信息的所述设定值关联信息存储在所述第一操作履历信息，将所述新的设定值关联信息存储在所述第一操作履历信息。
17.根据权利要求16所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部能够进行控制，使得清除所述第二操作履历信息。
18.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
所述控制部在结束了所述文件的编辑时能够进行控制，使得清除所述操作履历信息。
19.一种半导体装置的制造方法，其特征在于，具有如下工序：
显示记载了具有多个设定值的基板的处理条件的文件；
在进行所述设定值的编辑的情况下，进行所设定的所述设定值的取消和修改中的至少一个操作；
存储所述文件、以及所述取消或所述修改的操作履历信息；
判定在所述取消或所述修改的操作时重新设定的所述设定值的有效范围；以及
基于所指定的所述文件进行所述基板的处理。
20.一种记录了程序的计算机可读取的记录介质，其特征在于，
所述程序通过计算机使基板处理装置执行以下步骤：
显示记载了具有多个设定值的基板的处理条件的文件；
在进行所述设定值的编辑的情况下，进行所设定的所述设定值的取消和修改中的至少一个操作；
存储所述文件、以及所述取消或所述修改的操作履历信息；
判定在所述取消或所述修改的操作时重新设定的所述设定值的有效范围；以及
基于所指定的所述文件进行所述基板的处理。
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