JP2024044901A - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム - Google Patents

基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム Download PDF

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Abstract

【課題】変更前後で設定値の整合性を確保しつつ、ファイルの編集操作を効率的に行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示が可能な表示部と、前記ファイルの編集操作と、前記編集操作において設定した前記設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作とを行うことが可能な操作部と、前記ファイルと、前記取り消し又は前記やり直しの操作履歴情報とを記憶する記憶部と、前記取り消し又は前記やり直しの操作時に再設定された前記設定値の有効範囲の判定を行う判定部と、前記記憶部及び前記判定部を有し、前記設定値の編集操作の制御を行うことが可能な制御部と、指定された前記ファイルに基づいて前記基板の処理が可能な処理容器と、を有する。【選択図】図３

Description

本開示は、基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラムに関する。
基板処理装置において、基板の処理を実行するための処理条件を各ステップで設定可能なレシピを編集したり、レシピを実行するためのパラメータを編集したりする場合がある。また、レシピやパラメータは設定項目が多く、レシピやパラメータの編集を行う場合の編集者への負担が大きい。基板処理装置では、その負担を軽減するために、レシピやパラメータの編集時の補助機能を備えることがある。
例えば、特許文献１には、レシピの編集時に使用するパラメータの編集において設定値を変更する際、入力可能な設定値を適切な範囲に制限することが可能な基板処理装置が記載されている。この特許文献１では、基板処理装置におけるファイル編集時の入力補助に関連する記載がされている。
特開２０１４－１３８１５８号公報
ところで、設定値の変更を複数回行った後で、その状態から前の状態に戻る場合は、編集したファイルを保存しないで終了し、再度ファイルを開き直して、再度設定値を設定するか、あるいは、変更した設定値を手作業で元に戻す作業があり、作業効率の低下につながることがある。
また、設定値を変更した場合、変更後の設定値だけでなく、設定値によっては関連する他の設定値の有効範囲を超えてしまうことがあるため、変更前後で設定値の整合性が確保できない場合がある。
本開示は、変更前後で設定値の整合性を確保しつつ、ファイルの編集操作を効率的に行うことが可能な技術を提供する。
本開示の一態様によれば、複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示が可能な表示部と、前記ファイルの編集操作と、前記編集操作において設定した前記設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作とを行うことが可能な操作部と、前記ファイルと、前記取り消し又は前記やり直しの操作履歴情報とを記憶する記憶部と、前記取り消し又は前記やり直しの操作時に再設定された前記設定値の有効範囲の判定を行う判定部と、前記記憶部及び前記判定部を有し、前記設定値の編集操作の制御を行うことが可能な制御部と、指定された前記ファイルに基づいて前記基板の処理が可能な処理容器と、を有する技術が提供される。
本開示によれば、変更前後で設定値の整合性を確保しつつ、ファイルの編集操作を効率的に行うことができる、という効果を有する。
実施形態に係る基板処理装置の一例を示す斜視図である。 実施形態に係る基板処理装置を側面から見たときの断面図である。 実施形態に係る基板処理装置が備える制御部の機能的な構成の一例を示すブロック図である。 実施形態に係るレシピ編集画面の一例を示す正面図である。 実施形態に係るレシピ編集画面の別の例を示す正面図である。 実施形態に係るレシピ編集画面の更に別の例を示す正面図である。 操作履歴情報として用いるＵｎｄｏ操作用のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏ操作用のＲｅｄｏデータ格納テーブルの一例を示す図である。 設定値の設定を３回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。 図６Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。 設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを１回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。 図７Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。 設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを２回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。 図８Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。 図８Ａの遷移に続き更にＲｅｄｏを２回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。 図９Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。 設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを１回行い更に設定を１回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。 図１０Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。 実施形態に係る編集開始処理の一例を示すシーケンス図である。 実施形態に係る設定値変更処理の一例を示すシーケンス図である。 実施形態に係るＵｎｄｏ操作処理の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係るＲｅｄｏ操作処理の流れの一例を示すフローチャートである。
以下、図面を参照して本開示の技術を実現する実施形態を詳細に説明する。
なお、作用、機能が同じ働きを担う構成要素及び処理には、全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明を適宜省略する場合がある。また、本開示は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。また、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
まず、図１及び図２を参照して、本実施形態に係る基板処理装置の概要について説明する。
図１は、本実施形態に係る基板処理装置１の一例を示す斜視図である。また、図２は、本実施形態に係る基板処理装置１を側面から見たときの断面図である。図１及び図２は基板処理装置の一例として縦型の基板処理装置１を示している。なお、基板処理装置１において処理される基板は、一例としてシリコン等から成る半導体ウェーハが示されている。
図１及び図２に示すように、基板処理装置１は、筐体２を備え、筐体２の正面壁３の下部にはメンテナンス可能に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。
筐体２の正面壁３にはポッド搬入搬出口６が筐体２の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉される。ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せするように構成されている。
ポッド９は密閉式の基板搬送容器であり、工程内搬送装置（図示せず）によってロードポート８上に搬入され、又、ロードポート８上から搬出されるようになっている。
筐体２内の前後方向の略中央部における上部には回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納するように構成されている。
回転式ポッド棚１１は、垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、支柱１２に上中下段の各位置において放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えている。棚板１３は、ポッド９を複数個載置した状態で格納するように構成されている。
回転式ポッド棚１１の下方にはポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、ポッドオープナ１４はポッド９を載置し、又、ポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。
ロードポート８と回転式ポッド棚１１、ポッドオープナ１４との間にはポッド搬送機構（容器搬送機構）１５が設置されており、ポッド搬送機構１５はポッド９を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっている。ロードポート８、回転式ポッド棚１１、ポッドオープナ１４との間でポッド９を搬送するように構成されている。
筐体２内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。サブ筐体１６の正面壁１７にはウェーハ（基板）１８をサブ筐体１６内に対して搬入搬出するためのウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口１９に対してポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。
ポッドオープナ１４は、ポッド９を載置する載置台２１と、ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。ポッドオープナ１４は、載置台２１に載置されたポッド９の蓋を開閉機構２２によって開閉することにより、ポッド９のウェーハ出入口を開閉するように構成されている。
サブ筐体１６は、ポッド搬送機構１５や回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。移載室２３の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を載置する所要枚数（例えば、図示では５枚）のウェーハ載置プレート２５を具備し、ウェーハ載置プレート２５は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又は昇降可能となっている。ウェーハ移載機構２４は、ボート（基板保持体）２６に対してウェーハ１８を装填及び払い出しするように構成されている。
移載室２３の後側領域にはボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。処理炉２８は内部に処理室２９を形成し、処理室２９の下端部は炉口部となっており、炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）３１により開閉されるようになっている。なお、処理室２９は、処理容器の一例である。
筐体２の右側端部とサブ筐体１６の待機部２７の右側端部との間にはボート２６を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３２が設置されている。ボートエレベータ３２の昇降台に連結されたアーム３３には蓋体としてのシールキャップ３４が水平に取付けられており、シールキャップ３４はボート２６を垂直に支持し、ボート２６を処理室２９に装入した状態で炉口部を気密に閉塞可能となっている。
ボート２６は、複数枚（例えば、５０枚～１２５枚程度）のウェーハ１８をその中心に揃えて水平姿勢で多段に保持するように構成されている。
ボートエレベータ３２側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、クリーンユニット３５は清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３６を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。不活性ガスとしては、例えば窒素（Ｎ）含有ガスを用いることができる。Ｎ含有ガスとしては、例えば、窒素（Ｎ２）ガス、アンモニア（ＮＨ３）ガス等を用いることができる。Ｎ含有ガスとしては、これらのうち１以上を用いることができる。ウェーハ移載機構２４とクリーンユニット３５との間には、ウェーハ１８の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。
クリーンユニット３５から吹出されたクリーンエア３６は、ノッチ合せ装置（図示せず）及びウェーハ移載機構２４、ボート２６に流通された後に、ダクト（図示せず）により吸込まれて、筐体２の外部に排気がなされるか、若しくは、クリーンユニット３５によって移載室２３内に吹き出されるように構成されている。
次に、基板処理装置１の作動について説明する。
ポッド９がロードポート８に供給されると、ポッド搬入搬出口６がフロントシャッタ７によって開放される。ロードポート８上のポッド９は、ポッド搬送機構１５によって筐体２の内部へポッド搬入搬出口６を通して搬入され、回転式ポッド棚１１の指定された棚板１３へ載置される。ポッド９は、回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、ポッド搬送機構１５により棚板１３からいずれか一方のポッドオープナ１４に搬送されて載置台２１に移載されるか、若しくはロードポート８から直接載置台２１に移載される。
この際、ウェーハ搬入搬出口１９は開閉機構２２によって閉じられており、移載室２３にはクリーンエア３６が流通され、充満している。例えば、移載室２３にはクリーンエア３６としてＮ含有ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも低く設定されている。
載置台２１に載置されたポッド９はその開口側端面がサブ筐体１６の正面壁１７におけるウェーハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押し付けられると共に、蓋が開閉機構２２によって取り外され、ウェーハ出入口が開放される。
ポッド９がポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ１８はポッド９からウェーハ移載機構２４によって取り出され、ノッチ合せ装置（図示せず）に移送され、ノッチ合せ装置にてウェーハ１８を整合した後、ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を移載室２３の後方にある待機部２７へ搬入し、ボート２６に装填（チャージング）する。
ボート２６にウェーハ１８を受け渡したウェーハ移載機構２４は、ポッド９に戻り、次のウェーハ１８をボート２６に装填する。
一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４におけるウェーハ移載機構２４によりウェーハ１８のボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には回転式ポッド棚１１から別のポッド９がポッド搬送機構１５によって搬送されて移載され、他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。
予め指定された枚数のウェーハ１８がボート２６に装填されると炉口シャッタ３１によって閉じられていた処理炉２８の炉口部が炉口シャッタ３１によって開放される。続いて、ボート２６はボートエレベータ３２によって上昇され、処理室２９に搬入（ローディング）される。
ローディング後は、シールキャップ３４によって炉口部が気密に閉塞される。なお、本実施形態において、このタイミングで(ローディング後)、処理室２９が不活性ガスに置換されるパージ工程(プリパージ工程)を有する。
処理室２９が所望の圧力（真空度）となるようにガス排気機構（図示せず）によって真空排気される。また、処理室２９が所望の温度分布となるようにヒータ駆動部（図示せず）によって所定温度まで加熱される。
また、ガス供給機構（図示せず）により、所定の流量に制御された処理ガスが供給され、処理ガスが処理室２９を流通する過程で、ウェーハ１８の表面と接触し、ウェーハ１８の表面上に所定の処理が実施される。更に、反応後の処理ガスは、ガス排気機構により処理室２９から排気される。本明細書における処理ガスとは処理室２９内に供給されるガスのことを意味する。これらは、以下の説明においても同様である。
予め設定された処理時間が経過すると、ガス供給機構により不活性ガス供給源（図示せず）から不活性ガスが供給され、処理室２９が不活性ガスに置換されると共に、処理室２９の圧力が常圧に復帰される(アフターパージ工程)。そして、ボートエレベータ３２によりシールキャップ３４を介してボート２６が降下される。本明細書における処理時間とは、その処理を継続する時間を意味する。これらは、以下の説明においても同様である。
処理後のウェーハ１８の搬出については、上記説明と逆の手順で、ウェーハ１８及びポッド９は筐体２の外部へ払い出される。未処理のウェーハ１８が、更にボート２６に装填され、ウェーハ１８のバッチ処理が繰り返される。
ここで、図１及び図２に示すように、基板処理装置１は制御部１００を備え、制御部１００は基板処理装置１の制御を行う。制御部１００は、基板処理装置１に内蔵されていてもよいし、基板処理装置１の外部にアクセス可能に設けられていてもよい。
次に、図３を参照して、本実施形態に係る基板処理装置１の制御系の構成について説明する。
図３は、本実施形態に係る基板処理装置１が備える制御部１００の機能的な構成の一例を示すブロック図である。
図３に示すように、基板処理装置１は、制御部（主コントローラ）１００と、外部記憶部２０１と、外部通信部２０２と、操作部２０３と、表示部２０４と、プロセス制御部２０５と、搬送制御部２０６と、を備えている。
また、制御部１００は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１０１と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１０２と、記憶部１０３と、Ｉ／Ｏポート１０４と、管理部１０５と、範囲設定部１０６と、判定部１０７と、を備えている。
制御部１００は、操作部２０３と接続されると共に、Ｉ／Ｏポート１０４を介してプロセス制御部２０５及び搬送制御部２０６が接続されている。制御部１００は、プロセス制御部２０５及び搬送制御部２０６の各々とＩ／Ｏポート１０４を介して電気的に接続されているため、各データの送受信や各ファイルのダウンロード及びアップロード等が可能な構成となっている。
制御部１００には、記録媒体の一例であるＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）メモリ等が挿脱される装着部としての外部記憶部２０１が接続されている。また、制御部１００には、外部の上位コンピュータ（図示せず）と外部通信部２０２を介して接続されている。このため、基板処理装置１がクリーンルーム内に設置されている場合であっても上位コンピュータがクリーンルーム外の事務所等に配置されることが可能である。
操作部２０３は、表示部２０４を一体的に有する、あるいは、表示部２０４とビデオケーブル等を介して接続される。表示部２０４は、例えば、液晶表示パネルである。表示部２０４には基板処理装置１を操作するための各操作画面が表示されるように構成されている。操作画面には、プロセス制御部２０５が制御する基板プロセス系、及び、搬送制御部２０６が制御する基板搬送系の状態を確認するための画面を有し、また、表示部２０４は、基板プロセス系及び基板搬送系への動作指示を入力したりする入力部としての各操作ボタンを設けることも可能である。操作部２０３は、操作画面を介して基板処理装置１内で生成される情報を表示部２０４に表示させる。また、操作部２０３は、例えば、表示部２０４に表示された情報を外部記憶部２０１に挿入されたＵＳＢメモリ等のデバイスに出力させる。操作部２０３は、表示部２０４に表示される操作画面からの入力データ（入力指示）を受け付け、入力データを制御部１００に送信する。また、操作部２０３は、ＲＡＭ１０２に展開されたレシピ又は記憶部１０３に格納された複数のレシピのうち任意の基板処理レシピ（プロセスレシピともいう。）を実行させる指示（制御指示）を受け付け、制御部１００に送信するようになっている。なお、操作部２０３及び表示部２０４はタッチパネルにより構成されていてもよい。ここで、操作部２０３及び表示部２０４は制御部１００と別体で設けられているが、制御部１００に一体で含まれる構成としてもよい。
プロセス制御部２０５は、温度制御部２０５Ａ、圧力制御部２０５Ｂ、及びガス流量制御部２０５Ｃを備えている。温度制御部２０５Ａ、圧力制御部２０５Ｂ、及びガス流量制御部２０５Ｃはそれぞれサブコントローラを構成し、プロセス制御部２０５と電気的に接続されているため、各データの送受信や各ファイルのダウンロード及びアップロード等が可能となっている。なお、プロセス制御部２０５と各サブコントローラ（温度制御部２０５Ａ、圧力制御部２０５Ｂ、及びガス流量制御部２０５Ｃ）は、別体で図示されているが、一体構成でも構わない。
温度制御部２０５Ａには、主にヒータ及び温度センサにより構成される加熱機構が接続されている。温度制御部２０５Ａは、処理炉２８のヒータの温度を制御することで処理炉２８内の温度を調節するように構成されている。なお、温度制御部２０５Ａは、サイリスタのスイッチング（オンオフ）制御を行い、ヒータ素線に供給する電力を制御するように構成されている。
圧力制御部２０５Ｂには、主に圧力センサ（図示せず）、圧力バルブとしてのＡＰＣ（自動圧力制御）バルブ（図示せず）により構成されるガス排気機構（図示せず）が接続されている。なお、真空ポンプ(図示せず)をガス排気機構に含めても良い。圧力制御部２０５Ｂは、圧力センサにより検知された圧力値に基づいて、処理室２９内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、ＡＰＣバルブの開度及び真空ポンプのスイッチング(オンオフ)を制御するように構成されている。
ガス流量制御部２０５Ｃは、ＭＦＣ(Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ)（図示せず）により構成される。
搬送制御部２０６は、駆動部制御部２０６Ａ、回転部制御部２０６Ｂ、及び昇降制御部２０６Ｃを備えている。駆動部制御部２０６Ａは、基板処理装置１の駆動部系の制御を行うように構成されている。回転部制御部２０６Ｂは、基板処理装置１の回転部系の制御を行うように構成されている。昇降制御部２０６Ｃは、基板処理装置１の昇降系の制御を行うように構成されている。搬送制御部２０６は、例えば、回転式ポッド棚１１、ボートエレベータ３２、ポッド搬送機構１５、ウェーハ移載機構２４、ボート２６、及び回転機構(図示せず)の搬送動作をそれぞれ制御するように構成されている。
なお、本実施形態に係る制御部１００、プロセス制御部２０５、及び搬送制御部２０６は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（ＣＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢ等）から当該プログラムをインストールすることにより、所定の処理を実行する各コントローラを構成することができる。
そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。
制御部１００は、ＣＰＵ１０１、ＲＡＭ１０２、記憶部１０３、及びＩ／Ｏポート１０４を備えたコンピュータとして構成されている。記憶部１０３には、処理条件及び処理手順が定義されたレシピ等の各レシピファイル、これら各レシピファイルを実行させるための制御プログラムファイル、処理条件及び処理手順を設定するためのパラメータファイル（設定値ファイル）、また、エラー処理プログラムファイル及びエラー処理のパラメータファイルの他、プロセスパラメータを入力する入力画面を含む各種画面ファイル、各種アイコンファイル等(いずれも図示せず)が格納されている。なお、制御部１００は、外部通信部２０２を用いて、一例として、インターネット、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、ＷＡＮ（Ｗｉｄｅ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）等のネットワークに接続され、外部機器との間でネットワークを介して通信が可能とされる。
また、記憶部１０３としては、例えば、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）、フラッシュメモリ等が用いられる。記憶部１０３には、本実施形態に係る設定値編集処理を実行するための設定値編集プログラムが記憶される。
設定値編集プログラムは、例えば、基板処理装置１に予めインストールされていてもよい。設定値編集プログラムは、不揮発性の記録媒体に記録して、又はネットワークを介して配布して、基板処理装置１に適宜インストールすることで実現してもよい。なお、不揮発性の記録媒体の例としては、ＣＤ-ＲＯＭ、光磁気ディスク、ＨＤＤ、ＤＶＤ-ＲＯＭ、フラッシュメモリ、メモリカード、ＵＳＢ等が想定される。
つまり、設定値編集プログラムは、複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示を行う手順と、設定値の編集を行う場合に、設定した設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作を行う手順と、ファイルと、取り消し又はやり直しの操作履歴情報とを記憶する手順と、取り消し又はやり直しの操作時に再設定された設定値の有効範囲の判定を行う手順と、をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
本実施形態に係る基板処理装置１のＣＰＵ１０１は、記憶部１０３に記憶されている設定値編集プログラムをＲＡＭ１０２に書き込んで実行することにより、制御部１００、管理部１０５、範囲設定部１０６、判定部１０７として機能する。
本実施形態に係る基板処理装置１は、表示部２０４、操作部２０３、記憶部１０３、判定部１０７、外部記憶部２０１、外部通信部２０２、及び制御部１００を備えている。
表示部２０４は、複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示が可能である。
操作部２０３は、表示部２０４に表示されたファイルの編集操作と、編集操作において設定した設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作とを行うことが可能である。ファイル編集では項目の設定値の編集が可能とされる。ここで、表示部２０４は、一例として、図４Ａに示すように、ファイルを含むレシピ編集画面を表示する、
図４Ａは、本実施形態に係るレシピ編集画面４０の一例を示す正面図である。
図４Ａに示すレシピ編集画面４０には、複数の設定値の一例として、温度（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）、ガス流量（ＭＦＣ）、及び圧力（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ）の各設定値を有する基板の処理条件を記載したファイル４１が表示されている。また、レシピ編集画面４０には、ファイルを閉じるＣｌｏｓｅボタン４２と、ファイルを保存するＳａｖｅボタン４３と、編集操作で設定した設定値を取り消して元の設定値に戻す取り消し（Ｕｎｄｏ）ボタン４４と、編集操作で設定した設定値をやり直して当該設定値を再設定するやり直し（Ｒｅｄｏ）ボタン４５と、各種情報を表示する領域であるＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＡｒｅａ４６と、が含まれる。
記憶部１０３は、複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルと、取り消し又はやり直しの操作履歴情報とを記憶する。
判定部１０７は、取り消し又はやり直しの操作時に再設定された設定値の有効範囲の判定を行う。
制御部１００は、記憶部１０３及び判定部１０７を有し、設定値の編集操作の制御を行うことが可能である。具体的には、制御部１００は、操作部２０３からの取り消し又はやり直し操作の指示があった場合に、設定値の取り消し動作、又は、やり直し動作の制御を行う。制御部１００は、設定値の確定操作、あるいは、取り消し又はやり直し操作があった場合に、判定部１０７に対して、全編集項目の有効性チェック（範囲チェック）を行うように指示する。
上記構成によれば、設定値の変更時に入力範囲の再計算、及び全項目の範囲チェックを行うことで、編集項目の整合性が常に保たれ、基板処理実行時のファイル不整合によるファイル再編集の無駄な時間を削減することが可能となり、結果として生産効率の向上に貢献することができる。
また、項目設定時に全項目の有効範囲の確認を行うことで修正対象の項目が明確となり、ファイル編集の効率化に貢献し、作業効率の向上に貢献することができる。
具体的には、制御部１００は、設定値の管理を行う管理部１０５を有する。管理部１０５は、操作部２０３からの指示に従い、指示された設定値の情報を検索し、検索結果を操作部２０３に返す。例えば、レシピ編集画面４０を表示する場合、管理部１０５が記憶部１０３に記憶された、設定値を含むファイル情報を読み出し、読み出したファイル情報をＲＡＭ１０２に展開する。また、管理部１０５は、操作部２０３から項目の表示要求があった場合に、該当する項目の設定値をＲＡＭ１０２から検索し、検索した設定値を取得し、取得した設定値を操作部２０３に返す。操作部２０３は、管理部１０５より取得した設定値を表示部２０４に渡す。表示部２０４は、操作部２０３から渡された設定値を表示する。これにより、指示された設定値を容易に取得することができる。
また、制御部１００は、設定値の有効範囲である上限値及び下限値を設定する範囲設定部１０６を有する。範囲設定部１０６は、管理部１０５からの有効範囲の設定指示に従い、全ての設定値の有効範囲を設定する。具体的には、範囲設定部１０６は、全ての項目に対し、有効範囲の設定を行う。この有効範囲は、各設定項目の条件によってその範囲が異なるため、都度有効範囲の設定を行う。なお、この有効範囲は予め有効範囲情報として記憶部１０３に記憶しておき、適宜その有効範囲情報を読み出し、条件に合った有効範囲を設定するようにしても良く、また、プログラムによって条件に合わせた有効範囲を算出する方式でも良い。これにより、全設定値の有効範囲を設定することができる。
また、範囲設定部１０６は、予め定められた各項目の範囲設定条件と、関連する他の項目の設定情報とを確認して、上限値及び下限値の算出を行う。例えば、圧力設定値の単位が[Ｐａ]の場合は、設定値の範囲を、００００．００Ｐａ～９９９９．９９Ｐａとし、例えば、圧力設定値の単位が[Ｔｏｒｒ]の場合は、設定値の範囲を、００．０００Ｔｏｒｒ～９９．９９９Ｔｏｒｒとし、関連する条件に合わせて、有効範囲が変更される。ここで、００００．００Ｐａ～９９９９．９９Ｐａとは値の範囲を示し、００００．００Ｐａ以上で９９９９．９９Ｐａ以下であることを示す。但し、[Ｐａ]以外の範囲を定義する場合も同様である。例えば、ガス流量の単位が[ｓｌｍ]の場合は、００００．０００ｓｌｍ～９９９９．０００ｓｌｍとし、例えば、ガス流量の単位が[ｓｃｃｍ]の場合は、００．０ｓｃｃｍ～９９．０ｓｃｃｍとし、関連する条件に合わせて、有効範囲が変更される。なお、供給流量に０ｓｌｍ、０ｓｃｃｍが含まれる場合、０ｓｌｍ、０ｓｃｃｍとは、その物質（ガス）を供給しないケースを意味する。このことは、以下の説明においても同様である。これにより、有効範囲の上限値と下限値を適切に算出することができる。
また、判定部１０７は、設定値が変更となった場合に、ファイルに定義される全ての設定値が有効な範囲内であるか否かの判定を行う。判定部１０７は、管理部１０５から指定された設定情報の設定値と範囲設定部１０６で設定された有効範囲とを比較し、設定値が有効範囲内であるか判定を行う。判定部１０７は、判定した結果を管理部１０５に返す。これにより、ファイルに定義される全設定値が有効範囲内であるか否かを判定することができる。
また、制御部１００は、判定部１０７の判定結果が範囲外となった場合に、設定値が範囲外であることを報知するよう操作部２０３に対して通知を行うようにしてもよい。これにより、範囲外の設定値を操作部に通知することができる。
操作部２０３は、制御部１００からの通知に従い、範囲外の設定値があることを表示するよう表示部２０４に指示を行う。この場合、表示部２０４は、操作部２０３からの指示に従い、設定値が範囲外である通知を表示してもよいし、対象となる設定値の表示を切り替えてもよいし、あるいは、設定値が範囲外である通知を表示し、対象となる設定値の表示を切り替えてもよい。例えば、図４Ｂに示すように、範囲外と判断された項目が分かるようにレシピ編集画面４０の上部に位置するＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＡｒｅａ４６にメッセージを表示する。メッセージとしては、例えば、範囲外となった設定値情報と範囲外である旨のメッセージを表示する。ＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＡｒｅａ４６にメッセージを表示することにより、レシピ編集画面４０での範囲外となった設定値の通知が可能となる。
また、図４Ｃに示すように、範囲外と判断された項目が分かるように当該項目付近にメッセージ４７を表示してもよい。メッセージ４７は、例えば、ツールチップでもよいし、メッセージボックスでもよい。また、範囲外と判断された項目が分かるように背景を切り替えても良い。また、設定値の表示色(文字色)を切り替えても良い。図４Ｃでは、例えば、背景を白から黒に切り替えている。ここでは、背景を黒にしているが他の項目と異なる色であれば何色でもよい。また、範囲外と判断された項目が分かるように表示文字を切り替えても良い。これにより、範囲外の設定値を表示してユーザに知らせることができる。
ここで、上述の図４Ａに示すように、表示部２０４は、取り消し又はやり直しの操作が可能なボタンであるＵｎｄｏボタン４４、Ｒｅｄｏボタン４５を有する。これらのボタンによって取り消し又はやり直しの操作を容易に行うことができる。表示部２０４は、表示部２０４の表示言語に合わせて、Ｕｎｄｏボタン４４、Ｒｅｄｏボタン４５の表示文字を切り替えるようにしてもよい。例えば、装置の納入先で指定された言語に合わせて、例えば、日本語、英語等の表示文字を切り替えることで、ファイル操作支援に貢献することができる。日本語の場合、「Ｕｎｄｏ」を「取り消し」に切り替え、「Ｒｅｄｏ」を「やり直し」に切り替える。
また、表示部２０４は、取り消し又はやり直しの操作に合わせて、Ｕｎｄｏボタン４４及びＲｅｄｏボタン４５の少なくとも一方の表示を切り替えるようにしてもよい。例えば、後述の図６Ｂ、図７Ｂ、図８Ｂ、図９Ｂ、図１０Ｂに示すように、Ｕｎｄｏボタン４４及びＲｅｄｏボタン４５のうち実行不可のボタンをグレーアウトする、あるいは、非表示とする。この場合、Ｕｎｄｏボタン４４及びＲｅｄｏボタン４５の実行可否をレシピ編集画面４０で確認することが可能となるため、ファイル操作支援に貢献することができる。
次に、図５、及び図６Ａ～図１０Ｂを用いて、本実施形態に係るＵｎｄｏ及びＲｅｄｏの操作履歴情報の遷移例について具体的に説明する。
図５は、本実施形態に係る取り消し又はやり直しの操作履歴を有する操作履歴情報を格納する、Ｕｎｄｏ操作用のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏ操作用のＲｅｄｏデータ格納テーブルの一例を示す図である。
操作履歴情報には、取り消しの操作履歴情報としてＵｎｄｏ履歴情報５１と、やり直しの操作履歴情報としてＲｅｄｏ履歴情報５２とが含まれる。Ｕｎｄｏ履歴情報５１は、例えば、設定項目、変更前設定値、及び変更後設定値を含む。Ｒｅｄｏ履歴情報５２は、例えば、設定項目、変更前設定値、及び変更後設定値を含む。
図５に示すように、Ｕｎｄｏ操作用のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏ操作用のＲｅｄｏデータ格納テーブルは、同様のテーブル構成を有している。Ｕｎｄｏデータ格納テーブルは第１の操作履歴情報の一例であり、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルは第２の操作履歴情報の一例である。
つまり、操作履歴情報は、設定値の設定値関連情報を格納するＵｎｄｏデータ格納テーブルと、取り消しの操作実行時に取り消し履歴として設定値関連情報を格納するＲｅｄｏデータ格納テーブルとを含む。なお、設定値関連情報は、設定項目、変更前設定値、及び変更後設定値のうち少なくともいずれかを含んでいる。これらのデータ格納テーブルを用いることで、Ｕｎｄｏ／Ｒｅｄｏ操作の管理が容易となり、不要な検索の削減に貢献し、操作時間の短縮が可能となる。
例えば、制御部１００は、取り消しの操作実行時に、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納された設定値関連情報をＲｅｄｏデータ格納テーブルに格納し、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納された設定値関連情報を削除する。
また、制御部１００は、やり直しの操作実行時に、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納された設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納し、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納された設定値関連情報を削除する。
また、制御部１００は、新たな設定値関連情報を取得した場合に、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納された設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納し、新たな設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。この場合、制御部１００は、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルのデータを全てクリア、つまり、削除してもよい。
また、制御部１００は、ファイルの編集を終了した場合、操作履歴情報、つまり、Ｕｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルのデータをクリア（削除）してもよい。
図６Ａは、設定値の設定を３回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。また、図６Ｂは、図６Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。なお、格納されるデータは、ＬＩＦＯ（Ｌａｓｔ Ｉｎ Ｆｉｒｓｔ Ｏｕｔ）方式でデータの入出力を行うものとする。
図６Ｂの（Ｓ１）では、一例として、上述の図４Ａに示すレシピ編集画面４０の新規表示を行う。この場合、図６Ｂの（Ｓ１）に示す画面設定値情報として、設定情報１、設定情報２、及び設定情報３が表示される。設定情報１では変更前設定値として「００１」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタン及びＲｅｄｏボタンは共に実行不可を意味する表示（例えばグレーアウト）となり、実行不可とされる。このとき、図６Ａの（Ｓ１）では、Ｕｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの各々には何も格納されていない状態である。
次に、図６Ｂの（Ｓ２）で、設定情報１の変更後設定値として「００２」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」の表示に切り替わり、設定情報２では変更前設定値として「００２」を継続表示し、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。例えば、図６Ｂでは設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示が解除されて実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可とされる。この場合、図６Ａの（Ｓ２）では、設定情報１の設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報１の設定値関連情報には、変更前設定値として「００１」、変更後設定値として「００２」を含んでいる。
次に、図６Ｂの（Ｓ３）で、設定情報２の変更後設定値として「００３」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」を継続表示し、設定情報２では変更後設定値として「００３」の表示に切り替わり、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。図６Ｂでは例えば設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態として、Ｕｎｄｏボタンは実行可能表示のままで実行可能を継続する。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可を継続する。この場合、図６Ａの（Ｓ３）では、設定情報２をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報２は、変更前設定値として「００２」、変更後設定値として「００３」を含んでいる。
次に、図６Ｂの（Ｓ４）で、設定情報１の変更後設定値として「００３」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００３」の表示に切り替わり、設定情報２では変更後設定値として「００３」を継続表示し、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。ボタンの表示状態として、Ｕｎｄｏボタンは操作可表示のままで設定可能を継続する。Ｒｅｄｏボタンは操作不可表示のままで実行不可を継続する。この場合、図６Ａの（Ｓ４）では、新たな設定情報１をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される新たな設定情報１は、変更前設定値として「００２」、変更後設定値として「００３」を含んでいる。
図７Ａは、設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを１回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。また、図７Ｂは、図７Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。
図７Ｂの（Ｓ１１）では、一例として、上述の図４Ａに示すレシピ編集画面４０の新規表示を行う。この場合、図７Ｂの（Ｓ１１）に示す画面設定値情報として、設定情報１、設定情報２、及び設定情報３が表示される。設定情報１では変更前設定値として「００１」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタン及びＲｅｄｏボタンは共に実行不可を意味する表示（例えばグレーアウト）となり、実行不可とされる。このとき、図７Ａの（Ｓ１１）では、Ｕｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの各々には何も格納されていない状態である。
次に、図７Ｂの（Ｓ１２）で、設定情報１の変更後設定値として「００２」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」の表示に切り替わり、設定情報２では変更前設定値として「００２」を継続表示し、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。例えば図７Ｂでは設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示が解除されて実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可とされる。この場合、図７Ａの（Ｓ１２）では、設定情報１の設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報１の設定値関連情報には、変更前設定値として「００１」、変更後設定値として「００２」を含んでいる。
次に、図７Ｂの（Ｓ１３）で、設定情報２の変更後設定値として「００３」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」を継続表示し、設定情報２では変更後設定値として「００３」の表示に切り替わり、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。図７Ｂでは例えば設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態として、Ｕｎｄｏボタンは実行可能表示のままで実行可能を継続する。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可を継続する。この場合、図７Ａの（Ｓ１３）では、設定情報２をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報２は、変更前設定値として「００２」、変更後設定値として「００３」を含んでいる。
次に、図７Ｂの（Ｓ１４）で、Ｕｎｄｏボタンを押下する。画面設定値情報として設定情報１では変更後設定値として「００２」が継続表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行可能を継続し、Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示（グレーアウト表示）が解除されて実行可能とされる。この場合、図７Ａの（Ｓ１４）では、設定情報２のＵｎｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００３」を取り消す操作）を行う。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報２は、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルから削除される。
図８Ａは、設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを２回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。また、図８Ｂは、図８Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。
図８Ｂの（Ｓ２１）では、一例として、上述の図４Ａに示すレシピ編集画面４０の新規表示を行う。図８Ｂの（Ｓ２１）に示す画面設定値情報として、設定情報１、設定情報２、及び設定情報３が表示される。設定情報１では変更前設定値として「００１」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタン及びＲｅｄｏボタンは共に実行不可を意味する表示（例えばグレーアウト）となり、実行不可とされる。このとき、図８Ａの（Ｓ２１）ではＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの各々には何も格納されていない状態である。
次に、図８Ｂの（Ｓ２２）で、設定情報１の変更後設定値として「００２」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」の表示に切り替わり、設定情報２では変更前設定値として「００２」を継続表示し、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。例えば図８Ｂでは設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示が解除されて実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可とされる。この場合、図８Ａの（Ｓ２２）では、設定情報１の設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報１の設定値関連情報には、変更前設定値として「００１」、変更後設定値として「００２」を含んでいる。
次に、図８Ｂの（Ｓ２３）で、設定情報２の変更後設定値として「００３」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」を継続表示し、設定情報２では変更後設定値として「００３」の表示に切り替わり、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。例えば図８Ｂでは設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態として、Ｕｎｄｏボタンは実行可表示のままで実行可能を継続する。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可を継続する。この場合、図８Ａの（Ｓ２３）では、設定情報２をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報２は、変更前設定値として「００２」、変更後設定値として「００３」を含んでいる。
次に、図８Ｂの（Ｓ２４）で、Ｕｎｄｏボタンを押下する。画面設定値情報として設定情報１では変更後設定値として「００２」が継続表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行可能を継続し、Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示（グレーアウト表示）が解除されて実行可能とされる。この場合、図８Ａの（Ｓ２４）では、設定情報２のＵｎｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００３」を取り消す操作）を行う。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報２は、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルから削除される。
次に、図８Ｂの（Ｓ２５）で、Ｕｎｄｏボタンを押下する。画面設定値情報として設定情報１では変更前設定値として「００１」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が継続表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示（例えばグレーアウト）に切り替わり実行不可となり、Ｒｅｄｏボタンは実行可能表示を継続し実行可能を継続する。この場合、図８Ａの（Ｓ２５）では、設定情報１のＵｎｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００２」を取り消す操作）を行う。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報１は、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルから削除される。
図９Ａは、図８Ａの遷移に続き更にＲｅｄｏを２回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。また、図９Ｂは、図９Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。
図９Ｂの（Ｓ３１）で、Ｒｅｄｏボタンを押下する。画面設定値情報について、設定情報１では変更後設定値として「００２」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が継続表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示（例えばグレーアウト表示）が解除されて実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行可能を継続する。この場合、図９Ａの（Ｓ３１）では、設定情報１のＲｅｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００２」をやり直す操作）を行う。このとき、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報１は、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルから削除される。
次に、図９Ｂの（Ｓ３２）で、Ｒｅｄｏボタンを押下する。画面設定値情報について、設定情報１では変更後設定値として「００２」が継続表示され、設定情報２では変更後設定値として「００３」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行可能表示を継続し、実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示（例えばグレーアウト）となり、実行不可とされる。この場合、図９Ａの（Ｓ３２）では、設定情報２のＲｅｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００３」をやり直す操作）を行う。このとき、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報２は、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルから削除される。
図１０Ａは、設定値の設定を２回行った後にＵｎｄｏを１回行い更に設定を１回行った場合のＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移例を示す図である。また、図１０Ｂは、図１０Ａに示すＵｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの遷移に応じた画面設定値情報の変化及びＵｎｄｏ／Ｒｅｄｏボタンの表示状態の変化の様子の一例を示す図である。
図１０Ｂの（Ｓ４１）では、一例として、上述の図４Ａに示すレシピ編集画面４０の新規表示を行う。図１０Ｂの（Ｓ４１）に示す画面設定値情報として、設定情報１、設定情報２、及び設定情報３が表示される。設定情報１では変更前設定値として「００１」が表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタン及びＲｅｄｏボタンは共に実行不可を意味する表示（例えばグレーアウト）となり、実行不可とされる。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブル及びＲｅｄｏデータ格納テーブルの各々には何も格納されていない状態である。
次に、図１０Ｂの（Ｓ４２）で、設定情報１の変更後設定値として「００２」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」の表示に切り替わり、設定情報２では変更前設定値として「００２」を継続表示し、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。例えば図１０Ｂでは設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行不可表示が解除されて実行可能とされる。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可とされる。この場合、図１０Ａの（Ｓ４２）では、設定情報１の設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報１の設定値関連情報には、変更前設定値として「００１」、変更後設定値として「００２」を含んでいる。
次に、図１０Ｂの（Ｓ４３）で、設定情報２の変更後設定値として「００３」を入力する。画面設定値情報として、設定情報１では変更後設定値として「００２」を継続表示し、設定情報２では変更後設定値として「００３」の表示に切り替わり、設定情報３では変更前設定値として「００３」を継続表示する。なお、変更された設定値は例えば変更前設定値と異なる背景色に切り替えても良い。また、変更された設定値は例えば表示文字の色を切り替えても良い。図１０Ｂでは例えば設定値の背景をグレーで表している。また、ボタンの表示状態として、Ｕｎｄｏボタンは実行可能表示のままで実行可能を継続する。Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示のままで実行不可を継続する。この場合、図１０Ａの（Ｓ４３）では、設定情報２をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される設定情報２は、変更前設定値として「００２」、変更後設定値として「００３」を含んでいる。
次に、図１０Ｂの（Ｓ４４）で、Ｕｎｄｏボタンを押下する。画面設定値情報として設定情報１では変更後設定値として「００２」が継続表示され、設定情報２では変更前設定値として「００２」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行可能を継続し、Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示（グレーアウト表示）が解除されて操作可能とされる。この場合、図１０Ａの（Ｓ４４）では、設定情報２のＵｎｄｏ操作（つまり、変更後設定値「００３」を取り消す操作）を行う。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定情報２は、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納され、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルから削除される。
次に、図１０Ｂの（Ｓ４５）で、設定情報２の変更後設定値として「００４」を入力する。画面設定値情報として設定情報１では変更後設定値として「００２」が継続表示され、設定情報２では変更前設定値として「００４」が表示され、設定情報３では変更前設定値として「００３」が継続表示される。また、ボタンの表示状態について、Ｕｎｄｏボタンは実行可能を継続し、Ｒｅｄｏボタンは実行不可表示（例えばグレーアウト表示）となり実行不可とされる。この場合、図１０Ａの（Ｓ４５）では、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されている全ての設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納し、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルをクリアする。その後、新たな設定情報２をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。このとき、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納される新たな設定情報２は、変更前設定値として「００３」、変更後設定値として「００４」を含んでいる。
次に、図１１～図１４を参照して、本実施形態に係る基板処理装置１の作用を説明する。
図１１は、本実施形態に係る編集開始処理の一例を示すシーケンス図である。
図１１のステップＳ１０１では、操作部２０３が、管理部１０５に対して、設定値の編集の開始要求を送る。
ステップＳ１０２では、管理部１０５が、操作部２０３からの編集開始要求に応じて、記憶部１０３からレシピファイルを取得する。
ステップＳ１０３では、管理部１０５が、範囲設定部１０６に対して、設定値の有効範囲の算出要求を送る。
ステップＳ１０４では、範囲設定部１０６が、管理部１０５からの算出要求に応じて、全設定値の有効範囲を設定する。
ステップＳ１０５では、範囲設定部１０６が、管理部１０５に対して、全設定値の有効範囲を算出したことを応答として返す。
ステップＳ１０６では、管理部１０５が、操作部２０３に対して、編集の開始を応答として返す。
ステップＳ１０７では、操作部２０３が、管理部１０５に対して、設定値の取得要求を送る。
ステップＳ１０８では、管理部１０５が、範囲設定部１０６に対して、設定値の有効範囲の取得要求を送る。
ステップＳ１０９では、範囲設定部１０６が、管理部１０５からの取得要求に応じて、指定された設定値の有効範囲を取得し、取得した有効範囲を管理部１０５に送る。
ステップＳ１１０では、管理部１０５が、操作部２０３に対して、指定された設定値の有効範囲を指定する。
ステップＳ１１１では、管理部１０５が、操作部２０３に対して、設定値の取得を応答として返し、一連の処理を終了する。
図１２は、本実施形態に係る設定値変更処理の一例を示すシーケンス図である。
図１２のステップＳ１２１では、操作部２０３が、管理部１０５に対して、設定値の更新を指示する。
ステップＳ１２２では、管理部１０５が、操作部２０３からの更新指示に応じて、範囲設定部１０６に対して、有効範囲の算出要求を送る。
ステップＳ１２３では、範囲設定部１０６が、管理部１０５からの算出要求に応じて、全設定値の有効範囲を設定する。
ステップＳ１２４では、範囲設定部１０６が、管理部１０５に対して、全設定値の有効範囲を算出したことを応答として返す。
ステップＳ１２５では、管理部１０５が、判定部１０７に対して、全設定値の有効範囲の確認を指示する。
ステップＳ１２６では、判定部１０７が、管理部１０５からの指示に応じて、全設定値の有効範囲の確認を行い、確認結果を管理部１０５に送る。
ステップＳ１２７では、管理部１０５が、判定部１０７からの確認結果に基づいて設定値が有効範囲内であるか否かを判定する。設定値が有効範囲内であると判定した場合（成功の場合）、ステップＳ１２８に移行し、設定値が有効範囲外であると判定した場合（範囲外の場合）、ステップＳ１２９に移行する。
ステップＳ１２８では、管理部１０５が、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに設定値を格納する。
ステップＳ１２９では、管理部１０５が、操作部２０３に対して、設定値の確認結果を応答として返す。
ステップＳ１３０では、操作部２０３が、管理部１０５からの確認結果に基づいて設定値が有効範囲内であるか否かを判定する。設定値が有効範囲内であると判定した場合（成功の場合）、そのまま終了し、設定値が有効範囲外であると判定した場合（範囲外の場合）、ステップＳ１３１に移行する。
ステップＳ１３１では、操作部２０３が、設定値が範囲外であることを表示部２０４に通知し、ステップＳ１２１に戻り処理を繰り返す。
ここで、設定値を入力する場合、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルから設定値関連情報の有無を確認する。Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに設定値関連情報がある場合は全ての設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。そして、入力された設定値に関連する設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納し、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルをクリアする。
図１３は、本実施形態に係るＵｎｄｏ操作処理の流れの一例を示すフローチャートである。
図１３のステップＳ１４１では、ＣＰＵ１０１が、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されている最新の設定値関連情報を取得する。
ステップＳ１４２では、ＣＰＵ１０１が、ステップＳ１４１で取得した設定値関連情報をＲｅｄｏデータ格納テーブルの最新位置に格納する。
ステップＳ１４３では、ＣＰＵ１０１が、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されている最新の設定値関連情報をクリアし、一連の処理を終了する。
つまり、Ｕｎｄｏ操作の場合、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されている設定値関連情報を取得し、取得した設定値関連情報をＲｅｄｏデータ格納テーブルに格納する。そして、Ｕｎｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定値関連情報をクリアする。このとき、全設定値の有効範囲の再算出を行い、全設定値の有効範囲の判定を行い、有効範囲の判定結果を反映する。
図１４は、本実施形態に係るＲｅｄｏ操作処理の流れの一例を示すフローチャートである。
図１４のステップＳ１５１では、ＣＰＵ１０１が、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されている最新の設定値関連情報を取得する。
ステップＳ１５２では、ＣＰＵ１０１が、ステップＳ１５１で取得した設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルの最新位置に格納する。
ステップＳ１５３では、ＣＰＵ１０１が、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されている最新の設定値関連情報をクリアし、一連の処理を終了する。
つまり、Ｒｅｄｏ操作の場合、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されている設定値関連情報を取得し、取得した設定値関連情報をＵｎｄｏデータ格納テーブルに格納する。そして、Ｒｅｄｏデータ格納テーブルに格納されていた設定値関連情報をクリアする。このとき、全設定値の有効範囲の再算出を行い、全設定値の有効範囲の判定を行い、有効範囲の判定結果を反映する。
このように本実施形態よれば、設定値の変更時に入力範囲の再計算、及び全項目の範囲チェックを行うことで、編集項目の整合性が常に保たれ、基板処理実行時のファイル不整合によるファイル再編集の無駄な時間を削減することが可能となり、結果として生産効率の向上に貢献することができる。
また、項目設定時に全項目の有効範囲の確認を行うことで修正対象の項目が明確となり、ファイル編集の効率化に貢献し、作業効率の向上に貢献することができる。
以上、実施形態に係る基板処理装置を例示して説明した。実施形態は、基板処理装置の機能をコンピュータに実行させるためのプログラムの形態としてもよい。実施形態は、これらのプログラムを記憶したコンピュータが読み取り可能な非一時的記録媒体の形態としてもよい。
その他、上記実施形態で説明した基板処理装置の構成は、一例であり、主旨を逸脱しない範囲内において状況に応じて変更してもよい。
また、上記実施形態で説明したプログラムの処理の流れも、一例であり、主旨を逸脱しない範囲内において不要なステップを削除したり、新たなステップを追加したり、処理順序を入れ替えたりしてもよい。
また、上記実施形態では、プログラムを実行することにより、実施形態に係る処理がコンピュータを利用してソフトウェア構成により実現される場合について説明したが、これに限らない。実施形態は、例えば、ハードウェア構成や、ハードウェア構成とソフトウェア構成との組み合わせによって実現してもよい。
上記実施形態では、一度に複数枚の基板を処理するバッチ式の基板処理装置を用いて膜を形成する例について説明した。本開示は上述の態様に限定されず、例えば、一度に１枚または数枚の基板を処理する枚葉式の基板処理装置を用いて膜を形成する場合にも、好適に適用することができる。また、上述の態様では、ホットウォール型の処理炉を有する基板処理装置を用いて膜を形成する例について説明した。本開示は上述の態様に限定されず、コールドウォール型の処理炉を有する基板処理装置を用いて膜を形成する場合にも、好適に適用することができる。
これらの基板処理装置を用いる場合においても、上記実施形態と同様な処理手順、処理条件にて各処理を行うことができ、上記実施形態と同様の効果が得られる。
１ 基板処理装置
２９ 処理室（処理容器）
１００ 制御部
１０３ 記憶部
１０７ 判定部
２０３ 操作部
２０４ 表示部

Claims (20)

  1. 複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示が可能な表示部と、
    前記ファイルの編集操作と、前記編集操作において設定した前記設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作とを行うことが可能な操作部と、
    前記ファイルと、前記取り消し又は前記やり直しの操作履歴情報とを記憶する記憶部と、
    前記取り消し又は前記やり直しの操作時に再設定された前記設定値の有効範囲の判定を行う判定部と、
    前記記憶部及び前記判定部を有し、前記設定値の編集操作の制御を行うことが可能な制御部と、
    指定された前記ファイルに基づいて前記基板の処理が可能な処理容器と、
    を有する基板処理装置。
  2. 前記制御部は、前記設定値の管理を行う管理部を更に有し、
    前記管理部は、前記操作部からの指示に従い、指示された前記設定値の情報を検索する、
    請求項１に記載の基板処理装置。
  3. 前記制御部は、前記設定値の有効範囲である上限値及び下限値を設定する範囲設定部を更に有し、
    前記範囲設定部は、前記管理部からの前記有効範囲の設定指示に従い、全ての前記設定値の前記有効範囲を設定する、
    請求項２に記載の基板処理装置。
  4. 前記範囲設定部は、予め定められた各項目の範囲設定条件と、関連する他の項目の設定情報とを確認して、前記上限値及び前記下限値の算出を行う、
    請求項３に記載の基板処理装置。
  5. 前記判定部は、前記設定値が変更となった場合に、前記ファイルに定義される全ての前記設定値が有効な範囲内であるか否かの判定を行う、
    請求項１に記載の基板処理装置。
  6. 前記制御部は、前記判定部の判定結果が範囲外となった場合に、前記設定値が範囲外であることを報知するよう前記操作部に対して通知を行う、
    請求項５に記載の基板処理装置。
  7. 前記操作部は、前記制御部からの前記通知に従い、範囲外の前記設定値があることを表示するよう前記表示部に指示を行う、
    請求項６に記載の基板処理装置。
  8. 前記表示部は、前記操作部からの指示に従い、前記設定値が範囲外である通知を表示し、対象となる設定値の表示を切り替える、
    請求項７に記載の基板処理装置。
  9. 前記表示部は、前記取り消し又は前記やり直しの操作が可能なボタンを有する、
    請求項１に記載の基板処理装置。
  10. 前記表示部は、前記表示部の表示言語に合わせて、前記ボタンの表示文字を切り替える、
    請求項９に記載の基板処理装置。
  11. 前記表示部は、前記取り消し又は前記やり直しの操作に合わせて、前記ボタンの表示を切り替える、
    請求項９に記載の基板処理装置。
  12. 前記操作履歴情報は、前記設定値の、設定値関連情報を格納する第１の操作履歴情報と、前記取り消しの操作実行時に取り消し履歴として前記設定値関連情報を格納する第２の操作履歴情報とを含む、
    請求項１に記載の基板処理装置。
  13. 前記設定値関連情報は、設定項目、変更前の設定値、及び変更後の設定値のうち少なくともいずれかを含む、
    請求項１２に記載の基板処理装置。
  14. 前記制御部は、前記取り消しの操作実行時に、前記第１の操作履歴情報に格納された前記設定値関連情報を前記第２の操作履歴情報に格納し、前記第１の操作履歴情報に格納された前記設定値関連情報を削除する、
    請求項１２に記載の基板処理装置。
  15. 前記制御部は、前記やり直しの操作実行時に、前記第２の操作履歴情報に格納された前記設定値関連情報を前記第１の操作履歴情報に格納し、前記第２の操作履歴情報に格納された前記設定値関連情報を削除する、
    請求項１２に記載の基板処理装置。
  16. 前記制御部は、新たな設定値関連情報を取得した場合に、前記第２の操作履歴情報に格納された前記設定値関連情報を前記第１の操作履歴情報に格納し、前記新たな設定値関連情報を前記第１の操作履歴情報に格納する、
    請求項１２に記載の基板処理装置。
  17. 前記制御部は、前記第２の操作履歴情報をクリアする、
    請求項１６に記載の基板処理装置。
  18. 前記制御部は、前記ファイルの編集を終了した場合、前記操作履歴情報をクリアする、
    請求項１に記載の基板処理装置。
  19. 複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示を行う工程と、
    前記設定値の編集を行う場合に、設定した前記設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作を行う工程と、
    前記ファイルと、前記取り消し又は前記やり直しの操作履歴情報とを記憶する工程と、
    前記取り消し又は前記やり直しの操作時に再設定された前記設定値の有効範囲の判定を行う工程と、
    指定された前記ファイルに基づいて前記基板の処理を実行する工程と、
    を有する半導体装置の製造方法。
  20. 複数の設定値を有する基板の処理条件を記載したファイルの表示を行う手順と、
    前記設定値の編集を行う場合に、設定した前記設定値の取り消し又はやり直しの少なくとも一つの操作を行う手順と、
    前記ファイルと、前記取り消し又は前記やり直しの操作履歴情報とを記憶する手順と、
    前記取り消し又は前記やり直しの操作時に再設定された前記設定値の有効範囲の判定を行う手順と、
    指定された前記ファイルに基づいて前記基板の処理を実行する手順と、
    をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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