JP2014067936A - レシピ作成装置、レシピ作成方法および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができるレシピ作成技術、ならびに当該レシピ作成技術を利用した基板処理装置を提供する。
【解決手段】レシピに規定される連続するステップで構成される第１レシピブロックと、第１レシピブロック以降で連続するステップで構成される第２レシピブロックとを編集するレシピ編集部２１１と、第１レシピブロックを実行することで基板Ｗに対して行われる第１処理と、第１処理に続いて第２レシピブロックを実行することで基板Ｗに対して行われる第２処理との間に整合が取れていることを確認する整合チェック部２１２と、整合チェック部２１２による確認が得られないとき、第１処理と第２処理とが不整合であることを報知する報知部の一例である表示部２６１とを備える。
【選択図】図１

Description

この発明は、基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成技術、ならびに当該レシピにしたがって基板を処理する基板処理装置に関するものである。なお、当該基板には、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などの各種基板が含まれる。

半導体装置や液晶表示装置などの電子部品の製造工程では、基板処理装置は薬液ステップ、洗浄ステップ、リンスステップ、乾燥ステップなどの種々のステップを実行して基板に対して所望の処理を施す。具体的には、基板処理装置はレシピファイルに保存されるレシピにしたがって装置各部を制御し、当該レシピに規定されたステップの動作順序で、かつ各ステップに対応する動作を実行する。したがって、基板処理装置による基板処理前に、レシピを作成しておく必要がある。そこで、レシピ作成の容易化を図るために、種々の提案がなされている（例えば特許文献１参照）。

特開２００９−１００２９号公報

しかしながら、レシピを作成にあたっては、ステップ単位でレシピ編集を行う必要があり、必ずしもレシピ作成が容易であるといえず、合理的かつ迅速なレシピ作成が要望されている。また、編集されたレシピが適切なものであるとの確認作業にも多大な労力を必要としていた。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができるレシピ作成技術、ならびに当該レシピ作成技術を利用した基板処理装置を提供することを目的とする。

この発明にかかるレシピ作成装置の一態様は、基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成装置であって、レシピに規定される連続するステップで構成される第１レシピブロックと、第１レシピブロック以降で連続するステップで構成される第２レシピブロックとを編集するレシピ編集部と、第１レシピブロックを実行することで基板に対して行われる第１処理と、第１処理に続いて第２レシピブロックを実行することで基板に対して行われる第２処理との間に整合が取れていることを確認する整合チェック部と、整合チェック部による確認が得られないとき、第１処理と第２処理とが不整合であることを報知する報知部とを備えている。

この発明にかかるレシピ作成方法の一態様は、基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成方法であって、レシピに規定される連続するステップで構成される第１レシピブロックを編集する工程と、第１レシピブロック以降で連続するステップで構成される第２レシピブロックを編集する工程と、第１レシピブロックまたは第２レシピブロックを編集する毎に、第１レシピブロックを実行することで基板に対して行われる第１処理と、第１処理に続いて第２レシピブロックを実行することで基板に対して行われる第２処理との間に整合が取れていることを確認する工程と、確認が得られないとき、第１処理と第２処理とが不整合であることを報知する工程とを備えている。

この発明にかかるレシピ作成装置の他の態様は、基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成装置であって、既存レシピファイルを取得する情報取得部と、取得された既存ファイルに含まれるレシピにより規定される複数ステップ中の任意のステップをブロック開始ステップとして指定するとともに、当該開始ステップより後の任意のステップをブロック終了ステップとして指定する指定手段と、指定手段により指定された、ブロック開始ステップからブロック終了ステップまでの複数のステップについてそれぞれの属性を取得するステップ属性取得手段と、所定のステップ設定条件を記憶するステップ設定条件記憶手段と、ステップ属性取得手段が取得した複数のステップの属性がステップ設定条件記憶手段が記憶するステップ設定条件を満たすことを確認するステップ設定条件確認手段と、ステップ設定条件による確認が得られないとき、指定手段により指定された複数のステップがレシピ編集単位としては不適格であることを報知する報知部と、を備えている。

この発明にかかる基板処理装置の一態様は、上記レシピ作成装置と同一構成を有する制御部と、制御部により作成されたレシピにしたがって基板に対して第１処理および第２処理を行う基板処理部とを備えている。

以上のように、本発明によれば、レシピに規定される連続するステップをレシピブロックとし、レシピブロック単位でレシピ編集を行うことが可能となっている。このため、レシピ作成の操作性を向上させるとともに、レシピ作成に要する時間を短縮することができる。しかも、第１レシピブロックを実行することで基板に対して行われる処理を第１処理とし、第１処理に続いて第２レシピブロックを実行することで基板に対して行われる処理を第２処理としたとき、両処理の間に整合が取れていることが確認される。そして、当該確認が得られないとき、第１処理と第２処理とが不整合であることを報知する。このため、不適切なレシピの作成を未然に防止することができる。その結果、適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができる。

本発明にかかるレシピ作成装置の第１実施形態を装備する基板処理装置の構成を示す図である。 図１の基板処理装置によるレシピ作成動作を示すフローチャートである。 編集画面の一例を示す図である。 レシピブロックの作成動作を示すフローチャートである。 ブロック作成編集画面の一例を示す図である。 レシピブロックを有する編集画面の一例を示す図である。 レシピブロックの削除動作を示すフローチャートである。 レシピブロック削除後の編集画面の一例を示す図である。 レシピブロック名称等の変更動作を示すフローチャートである。 レシピブロックのペースト動作を示すフローチャートである。 整合チェック動作を示すフローチャートである。 整合チェック動作中の編集画面の一例を示す図である。 本発明の第２実施形態で表示される編集画面の一例を示す図である。 本発明の第２実施形態で実行される挿入動作を示すフローチャートである。 新規行挿入動作を示すフローチャートである。 挿入動作中に表示される画面の一例を示す図である。 新規行挿入動作の一例を示す図である。 新規行挿入動作の他の例を示す図である。 行移動挿入動作を示すフローチャートである。 行複写挿入動作を示すフローチャートである。 ブロック移動挿入動作を示すフローチャートである。 ブロック複写挿入動作を示すフローチャートである。

図１は、本発明にかかるレシピ作成装置の第１実施形態を装備する基板処理装置の構成を示す図である。この基板処理装置は、基板処理部１と、レシピ作成装置として機能するとともに基板処理部１の動作を制御する制御部２とを有している。

基板処理部１は、次に説明する構成を有しており、制御部２で作成されたレシピにしたがって基板Ｗの表面に薬液によるエッチング処理、洗浄液による洗浄処理やＤＩＷ（脱イオン水：deionized water）によるリンス処理などを行ったり、基板Ｗを回転させて基板Ｗの表面の乾燥処理を行う。すなわち、基板処理部１では、駆動モータ１１が設けられている。この駆動モータ１１の回転軸１２が鉛直上方に延設されている。この回転軸１２の上端部にスピンベース１３が取り付けられており、駆動モータ１１の作動に応じて回転軸１２を軸心として回転駆動する。スピンベース１３の回転スピードは、後で説明する制御部２の動作制御部によって自在に変えることができる。また、スピンベース１３の上面には、基板Ｗの端部を保持する保持部材１４が複数設けられ、これらの保持部材１４が基板Ｗを水平に保持する。

スピンベース１３の外側には、スピンベース１３を囲うように環状のカップ１５が設けられている。このため、基板処理中に基板Ｗから飛散してくる、薬液、洗浄液、ＤＩＷなどの液体、つまり基板処理装置で使用される処理液がカップ１５に補集され、装置周辺への飛散が防止される。

カップ１５の上方には、処理液供給ノズル１６が配置されている。この処理液供給ノズル１６は、複数種類の処理液供給源と接続されている。本実施形態では、以下の４つの処理液供給源、つまり
・塩酸（ＨＣｌ）を供給する供給源１７ａ、
・ＤＩＷを供給する供給源１７ｂ、
・ＳＣ１（アンモニア水と過酸化水素水との混合水溶液）を供給する供給源１７ｃ、
・硫酸（Ｈ_２ＳＯ_４）を供給する供給源１７ｄ
が設けられている。また、これらの供給源１７ａ〜１７ｄは、それぞれ開閉弁１８ａ〜１８ｄを介して処理液供給ノズル１６に接続されており、各開閉弁１８ａ〜１８ｄの開閉に応じて処理液をノズル１６に圧送可能となっている。

制御部２は、制御ユニット２１と、レシピファイル保存部２２と、レシピファイル記憶部２３と、情報取得部２４と、条件ファイル記憶部２５と、表示操作端末２６とを備えている。これらのうち制御ユニット２１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）およびメモリなどを有するコンピュータを主体とするものであり、予めメモリに記憶されているプログラムにしたがって、レシピ編集部２１１、整合チェック部２１２、画面表示制御部２１３および動作制御部２１４として機能する。

レシピ編集部２１１は、基板Ｗに対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定したレシピに関する情報(以下「レシピ情報」という）と、レシピ中の連続するステップで構成される各レシピブロックに関する情報（以下「ブロック情報」という）とに基づいてレシピ編集を行う。また、レシピ編集部２１１は後述するようにレシピ編集を行う毎にレシピ情報およびブロック情報を所定のレシピファイル形式に整形し、レシピファイル保存部２２に与える。すると、レシピファイル保存部２２はレシピ情報およびブロック情報を含むレシピファイルをレシピファイル記憶部２３に書き込む。なお、レシピ情報およびブロック情報の詳細について後で具体例を示しながら詳述する。

整合チェック部２１２は、情報取得部２４がレシピファイル記憶部２３に記憶されているレシピファイルを読み出して取得したブロック情報を受け取るとともに、条件ファイル記憶部２５に予め保存されている整合チャック条件ファイルを読み出し、整合チャック条件ファイルに含まれる整合チャック条件およびブロック情報に基づいて整合チェックを行う。この「整合チェック条件」とは、一のレシピブロック（第１レシピブロック）を実行することで基板Ｗに対して行われる第１処理と、第１処理に続いて他のレシピブロック（第２レシピブロック）を実行することで基板Ｗに対して行われる第２処理との整合に関連する条件である。例えば塩酸による第１処理と硫酸による第２処理とは不整合であり、これらの処理を連続的に行うことは現状では避けるのが望ましく、本実施形態では当該組み合わせが整合チェック条件に含められている。したがって、第１処理と第２処理の組み合わせが整合チェック条件としてリストアップされていないことに基づいて、両処理の間に整合が取れていることを確認することができる。一方、不整合であることを確認すると、整合チェック部２１２はその旨を画面表示制御部２１３に与える。

画面表示制御部２１３は、整合チェック部２１２からの情報のみならず、情報取得部２４がレシピファイル記憶部２３に記憶されているレシピファイルを読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報を受け取る。そして、それらの情報に基づいて画面表示制御部２１３は表示操作端末２６の表示部２６１に表示される画面を制御する。

動作制御部２１４はレシピ情報に基づいて基板処理部１の各部を制御してレシピに規定された一連の処理を実行させる機能を有している。

なお、図１中の符号２６２は制御ユニット２１に各種指令、情報やデータなどを与えるための入力部であり、ユーザーやオペレータなどが後述する編集画面におけるセル位置を指定する際や各種指令などを入力する際に使用される。

図２は図１の基板処理装置によるレシピ作成動作を示すフローチャートであり、制御ユニット２１が不揮発性メモリに予め記憶されているレシピ作成プログラムにしたがって以下の動作を実行してレシピを作成する。レシピ作成を開始すると、制御ユニット２１は新規レシピであるか否かを判断する（ステップＳ１）。ここで、既存のレシピファイルを利用して所望のレシピを作成する（ステップＳ１で「ＮＯ」）場合のみ、制御ユニット２１はステップＳ２を実行して既存レシピファイルを読み込み、表示部２６１に表示する（ステップＳ３）。一方、新規作成する（ステップＳ１で「ＹＥＳ」）場合には、制御ユニット２１は新規編集用の画面を表示部２６１に表示する（ステップＳ３）。そして、ユーザーやオペレータなどが表示部２６１に映し出された編集画面を参照しながら入力部２６２を操作してレシピ情報を入力する。

図３は編集画面の一例を示す図である。ここでは従来技術と同様にして各ステップに対応する動作内容が入力された状態を示しており、レシピブロックが１つも設定してない状態を示している。なお本実施形態では表形式で編集画面を構成しており、太線で囲ったセルまたはセル群がアクティブ状態となっていることを示しており、編集対象であることを示している。また、各項目は以下のとおり、
・ＢＬ…レシピブロックの番号
・ＳＴ…ステップ番号
・回転数：基板の指定回転数
・加速時間：上記指定回転数に達する時間
・保持時間：上記指定回転数を保持する時間
・薬液：ノズル１６に供給する処理液の種類
・流量：上記処理液の供給流量
である。上記情報がレシピ情報に含まれる。

また、表示部２６１上の編集画面の右上部分に表示されている各ボタンは以下のとおり、つまり、
・Cleat Block：ブロックの作成
・Delete Block：ブロックの削除
・Change Block Name...：ブロック名などの変更
・Copy：コピー（複写）
・Cut：カット（切り取り）
・Paste：貼り付け
である。

図２に戻って説明を続ける。図３に示す編集画面に表示されたボタンが選択的にクリックされる（ステップＳ４〜Ｓ１０）と、次に説明するようにクリックされたボタンに応じた編集動作が実行されるとともに、必要に応じて整合チェック動作が実行される。このような動作は、ステップＳ１０でユーザー等が編集終了を選択するまで繰り返して行われる。

本実施形態では編集動作として６種類の動作を準備している。以下、各動作について順番に説明する。

＜レシピブロックの作成動作（ステップＳ１１）＞
ユーザー等がブロック化したいステップ行に含まれる複数のセル（例えば図３では、ステップ行７〜ステップ行９の加速時間のセル）を選択した後で、「Cleat Block」のボタンをクリックすると、当該選択指定されたブロックをレシピブロックとして作成する動作、つまりレシピブロックの作成動作が制御ユニット２１により実行される（ステップＳ１１）。

図４はレシピブロックの作成動作を示すフローチャートである。また、図５はブロック作成編集画面の一例を示す図である。制御ユニット２１は表示部２６１にブロック作成編集画面を表示する（ステップＳ１１１）。ブロック作成編集画面には、選択指定されたレシピブロックの名称を入力するための名称ボックスが表示されており、ユーザー等は当該名称ボックスに任意のレシピブロック名を入力することが可能となっている。また、名称ボックスの直下位置にレシピブロックの色を指定する色ボックスが表示されている。ユーザー等が当該色ボックスをクリックすると、カラーピッカーが表示される。したがって、ユーザー等は希望する色を選択することが可能となっている。さらに、色ボックスの直下位置に当該レシピブロックを実行することで基板Ｗに行われる処理を指定する属性ボックスが表示される。この実施形態では、複数の処理内容が予め用意されており、ユーザー等はそれらから選択してレシピブロックの整合チェック用の属性を指定することができる。

上記レシピブロック名などの入力中にユーザー等が「Cancel」のボタンをクリックする（ステップＳ１１２で「ＹＥＳ」）と、制御ユニット２１は入力された情報を破棄して表示部２６１を例えば図３に示す編集画面に切り替える（ステップＳ１１３）。こうして、レシピブロックの作成動作を中止する。一方、情報入力が完了してユーザー等が「ＯＫ」のボタンをクリックする（ステップＳ１１４で「ＹＥＳ」）と、制御ユニット２１は、ユーザー指定のセルを含む複数行をレシピブロックとして設定する。こうして作成されたレシピブロックの名称、色および属性に加え、当該レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップを当該レシピブロックに関するブロック情報として制御ユニット２１は取得する（ステップＳ１１５）。

制御ユニット２１はレシピ情報およびブロック情報をレシピファイル形式に整形した（ステップＳ１１６）後、レシピファイル保存部２２に与える。そして、これらの情報を含むレシピファイルをレシピファイル保存部２２がレシピファイル記憶部２３に書き込む（ステップＳ１１７）。さらに、制御ユニット２１は、情報取得部２４が上記レシピファイルから読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報に基づいてレシピブロック作成処理後の編集画面を表示部２６１に表示する。

このようなレシピブロック作成処理を繰り返して行うことで、例えば図６に示すように、複数のレシピブロックを作成することができる。なお、同図中のレシピブロック「Block-A」、「Block-B」、「Block-C」の各々に記載された数字はレシピブロックの順番を示しており、レシピブロックの新規作成、削除、移動および挿入などに応じて適宜再付番される。

＜レシピブロックの削除動作（ステップＳ１２）＞
削除したいレシピブロックがある場合、ユーザー等は編集画面において削除したいレシピブロックをクリックして選択する。例えば図６中のレシピブロック「Block-B」をクリックすると、レシピブロック「Block-B」に属するステップ行７〜ステップ行９が選択状態となる。その上で、ユーザー等が編集画面中の「Delete Block」のボタンをクリックすると、制御ユニット２１は以下のレシピブロック削除動作を実行する（ステップＳ１２）。

図７はレシピブロックの削除動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は選択指定されたレシピブロック「Block-B」を削除する（ステップＳ１２１）。すると、制御ユニット２１は、当該削除処理に伴って削除されたレシピブロック以降のブロック情報を修正する（ステップＳ１２２）。つまり、レシピブロック「Block-B」の削除に伴ってレシピブロック「Block-C」を繰り上げる。したがって、レシピブロック「Block-C」の開始ステップおよび終了ステップはともに削除レシピブロック「Block-B」の行数分だけ繰り上げられる。

次のステップＳ１２３で、制御ユニット２１は削除後のレシピ情報およびブロック情報をレシピファイル形式に整形する。それに続いて、これらの情報を含むレシピファイルをレシピファイル保存部２２がレシピファイル記憶部２３に書き込む（ステップＳ１２４）。さらに、制御ユニット２１は、情報取得部２４が上記レシピファイルから読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報に基づいてレシピブロック削除処理後の編集画面（例えば図８参照）を表示部２６１に表示する。

＜レシピブロックの名称等の変更動作（ステップＳ１３）＞
レシピブロックの名称等を変更する必要が生じると、ユーザー等は編集画面において変更したいレシピブロックをクリックして選択する。例えば図６中のレシピブロック「Block-B」をクリックすると、削除動作と同様に、レシピブロック「Block-B」に属するステップ行７〜ステップ行９が選択状態となる。その上で、ユーザー等が編集画面中の「Change Block Name...」のボタンをクリックすると、制御ユニット２１は以下のレシピブロック名称等の変更動作を実行する（ステップＳ１３）。

図９はレシピブロック名称等の変更動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は、レシピブロック作成動作（ステップＳ１１）と同様に、表示部２６１にブロック作成編集画面を表示する（ステップＳ１３１）。そして、レシピブロック名などの変更中にユーザー等が「Cancel」のボタンをクリックする（ステップＳ１３２で「ＹＥＳ」）と、制御ユニット２１は変更された情報を破棄して表示部２６１を元の編集画面に切り替える（ステップＳ１３３）。こうして、レシピブロック名称等の変更動作を中止する。一方、レシピブロック名称等の変更が完了してユーザー等が「ＯＫ」のボタンをクリックする（ステップＳ１３４で「ＹＥＳ」）と、制御ユニット２１は、変更対象となったレシピブロックのブロック情報を更新する（ステップＳ１３５）。それ以降については、レシピブロック削除動作と同様の処理が実行される。つまり、制御ユニット２１は変更後のレシピ情報およびブロック情報をレシピファイル形式に整形する（ステップＳ１３６）。それに続いて、これらの情報を含むレシピファイルをレシピファイル保存部２２がレシピファイル記憶部２３に書き込む（ステップＳ１３７）。さらに、制御ユニット２１は、情報取得部２４が上記レシピファイルから読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報に基づいてレシピブロック名称等の変更処理後の編集画面を表示部２６１に表示する。

＜コピー動作（ステップＳ１５）＞
本実施形態では、制御ユニット２１は、従来技術と同様にセル単位、行単位および列単位でコピー可能となっているのみならず、レシピブロック単位でもコピー可能となっている。つまり、レシピブロック単位でコピーするとき、ユーザー等は編集画面においてコピーしたいレシピブロックをクリックして選択する。例えば図６中のレシピブロック「Block-B」をクリックすると、削除動作と同様に、レシピブロック「Block-B」に属するステップ行７〜ステップ行９が選択状態となる。その上で、ユーザー等が編集画面中の「Copy」のボタンをクリックすると、制御ユニット２１はレシピブロックのレシピ情報のみならずブロック情報を図示省略のメモリに一時的に記憶する。

＜カット動作（ステップＳ１６）＞
本実施形態では、制御ユニット２１は、コピー動作と同様に、カット動作についても通常のセル単位、行単位および列単位に加え、レシピブロック単位で実行可能となっている。

＜ペースト動作（ステップＳ１４）＞
本実施形態では、制御ユニット２１は、コピー動作やカット動作と同様に、通常のセル単位、行単位および列単位でペースト動作を行うことが可能となっているが、これら以外にレシピブロック単位でのペースト動作を実行可能となっている。つまり、ユーザー等がレシピブロック単位でコピー動作（ステップＳ１５）やカット動作（ステップＳ１６）を実行した後で、編集画面中の「Paste」のボタンをクリックすると、制御ユニット２１は編集画面においてアクティブ状態となっている選択セルに対してレシピブロックのペースト動作を実行する（ステップＳ１４）。

図１０はレシピブロックのペースト動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１はペースト操作前に行われた操作がカット動作であるかコピー動作であるかを判断する（ステップＳ１４１）。そして、カット動作である場合、制御ユニット２１は選択セルを含むステップ行にカットしたレシピブロックを移動させる（ステップＳ１４２）。このようにレシピブロックの移動に伴いレシピブロックの開始ステップおよび終了ステップは変化するため、制御ユニット２１はレシピブロック移動後のブロック情報を修正する（ステップＳ１４３）。

一方、ステップＳ１４１でコピー動作であると判断すると、制御ユニット２１は選択セルを含むステップ行にコピーしたレシピブロックを複写させる（ステップＳ１４５）。このようにレシピブロックの複写を行った場合も、それに伴いレシピブロックの開始ステップおよび終了ステップは変化する。そこで、制御ユニット２１はレシピブロックの複写後のブロック情報を修正する（ステップＳ１４５）。

こうしてレシピブロック単位でのペースト動作が完了すると、次のステップＳ１４６で、制御ユニット２１はペースト処理後のレシピ情報およびブロック情報をレシピファイル形式に整形する。それに続いて、これらの情報を含むレシピファイルをレシピファイル保存部２２がレシピファイル記憶部２３に書き込む（ステップＳ１４７）。さらに、制御ユニット２１は、情報取得部２４が上記レシピファイルから読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報に基づいてペースト処理後の編集画面を表示部２６１に表示する。

図２に戻って図１の基板処理装置によるレシピ作成動作の説明を続ける。上記した６種類の編集動作のうちレシピブロック作成動作（ステップＳ１１）、レシピブロック削除動作（ステップＳ１２）、名称等の変更動作（ステップＳ１３）およびレシピブロックのペースト動作（ステップＳ１４）のいずれかを行うと、レシピブロックの連続状態が変化する可能性がある。そして、一のレシピブロック（第１レシピブロック）を実行することで基板Ｗに対して行われる第１処理と、第１処理に続いて他のレシピブロック（第２レシピブロック）を実行することで基板Ｗに対して行われる第２処理とが不整合状態となる場合がある。そこで、本実施形態では、制御ユニット２１は、上記ステップＳ１１〜Ｓ１４のいずれかを実行した際には、整合チェック動作を実行する（ステップＳ１７）。

図１１は整合チェック動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は情報取得部２４により読み出されたブロック情報を取得する（ステップＳ１７１）とともに、条件ファイル記憶部２５に予め保存されている整合チャック条件ファイルを読み出す（ステップＳ１７２）。各ブロック情報には、レシピブロックの属性、つまり当該レシピブロックを実行することで基板Ｗに行われる処理に関する情報が含まれている。そこで、本実施形態では、制御ユニット２１は属性情報と整合チャック条件ファイルに基づいて連続するレシピブロック間の整合をチェックする（ステップＳ１７３）。そして、制御ユニット２１はチェック結果とレシピ情報を編集画面に表示する（ステップＳ１７４）。

図１２は整合チェック動作中の編集画面の一例を示す図であり、ここではレシピブロック「Block-A」、「Block-B」が不整合状態にあることを示している。具体的には、レシピブロック「Block-A」は塩酸を薬液として用いた処理であるのに対し、レシピブロック「Block-B」は硫酸を薬液として用いた処理である。この場合、混触が発生してガスや高温の反応熱が発生することがあるために、これらの処理を連続的に行うことは現状では避けるのが望ましい。そこで本実施形態では、制御ユニット２１は、不整合状態のレシピブロック「Block-A」、「Block-B」の表示色を変更して際立たせるとともに、混触が発生する旨ならびに不整合状態を解消するための方策の一例を編集画面の「Hint」欄に表示する。こうして、ユーザー等に対して注意を喚起し、適正なレシピ作成に導く。

以上のように、第１実施形態では、レシピブロック単位でのレシピ編集が可能となっているため、レシピ作成の操作性を向上させるとともに、レシピ作成に要する時間を短縮することができる。また、レシピブロック単位で名称を付したり、色分けして編集画面に表示することが可能となっている。したがって、レシピにより実行される処理の大まかな流れをユーザー等は簡単に把握することができる。

レシピブロック単位のレシピ編集を行う毎に、連続するレシピブロック間に整合が取れていることを確認している。そして、当該確認が得られないとき、例えば図１２に示すように表示部２６１上の編集画面で不整合状態となっているレシピブロックを特定するとともに解消方策を表示している。したがって、不適切なレシピの作成を未然に、かつ効果的に防止することができる。その結果、適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができる。

また、第１実施形態では、レシピブロックを実行することで基板Ｗに行われる処理に関する情報を本発明の「属性情報」としてブロック情報に含め、これらを整合チェック条件と照合することで上記整合確認を行っている。このように属性情報を用いることで整合チェックを合理的、かつ確実に実行することが可能となっている。

ところで、上記第１実施形態では、編集画面でレシピステップの挿入を行う際、選択セルにしかペーストすることができない。したがって、行やレシピブロックを挿入するためには、選択セルの直前や直後に新規の行を予め挿入しておく必要がある。この点については改良の余地があり、レシピ編集の操作性をさらに高めるためには、次に説明するように編集動作に挿入動作を追加するのが好適である。以下、図１３ないし図２２を参照しつつ本発明の第２実施形態について説明する。

図１３は本発明の第２実施形態で表示される編集画面の一例を示す図である。この第２実施形態が第１実施形態と相違する点は、挿入動作が編集動作として追加されている点のみであり、その他の構成および動作は第１実施形態と同一である。したがって、以下においては相違点を中心に説明する。

第２実施形態では、レシピ編集を行う際、図１３に示すように、編集画面に対して「Insert」のボタンが追加表示される。そして、ユーザー等が編集画面中の「Insert」のボタンをクリックすると、制御ユニット２１は編集画面においてアクティブ状態となっている選択セルに対して編集動作の一態様として挿入動作を実行する。

図１４は本発明の第２実施形態で実行される挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は挿入操作前にカット動作またはコピー動作が実行されたか否かを判断する（ステップＳ２１）。いずれも実行されていないと判断すると、制御ユニット２１は新規行挿入動作を実行する（ステップＳ２２）。

また、ステップＳ２１でいずれかが実行されたと判断すると、さらに制御ユニット２１はそれが行単位であるかブロック単位であるかを判断する（ステップＳ２３）。そして、行単位である場合には、さらに制御ユニット２１は挿入操作前に行われた操作がカット動作であるかコピー動作であるかを判断する（ステップＳ２４）。カット動作である場合には制御ユニット２１は行移動挿入動作を実行し（ステップＳ２５）、コピー動作である場合には制御ユニット２１は行複写挿入動作を実行する（ステップＳ２６）。

一方、ステップＳ２３でブロック単位であると判断すると、さらに制御ユニット２１は挿入操作前に行われた操作がカット動作であるかコピー動作であるかを判断する（ステップＳ２７）。そして、カット動作である場合には制御ユニット２１はブロック移動挿入動作を実行し（ステップＳ２８）、コピー動作である場合には制御ユニット２１はブロック複写挿入動作を実行する（ステップＳ２９）。

このように第２実施形態では５種類の挿入動作を有しており、挿入操作前の操作内容に応じて選択実行することが可能となっている。これら新規行挿入動作（ステップＳ２２）、行移動挿入動作（ステップＳ２５）、行複写挿入動作（ステップＳ２６）、ブロック移動挿入動作（ステップＳ２８）およびブロック複写挿入動作（ステップＳ２９）は以下の通りである。

＜新規行挿入動作（ステップＳ２２）＞
図１５は新規行挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は編集画面の一部の最下段部分または編集画面に重ねて第１行挿入画面（図１６（ａ））を追加表示する（ステップＳ２２１）。この第１行挿入画面には、アクティブ状態となっている選択セルの直前に新規行を挿入する「前に挿入」ボタンと、当該選択セルの直後に新規行を挿入する「後ろに挿入」ボタンとが表示されている。

次のステップＳ２２２では、ユーザー等がいずれのボタンをクリックしたかと判断する。そして、「前に挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は選択セルの位置（以下「編集位置」という）の直前に新規行を挿入する（ステップＳ２２３）。これにより、例えば図１７中の太破線で示すように、ステップ行１０が新規行となる。一方、元のステップ行１０以降はそれぞれ１つずつ繰り下げられる。

一方、「後ろに挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直後に新規行を挿入する（ステップＳ２２４）。これにより、例えば図１８中の太破線で示すように、ステップ行１１が新規行となる。一方、元のステップ行１１以降はそれぞれ１つずつ繰り下げられる。

このように新規行の挿入に伴いステップ行の部分繰り下げが発生し、レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップが変化することがある。そこで、制御ユニット２１は新規行の挿入後のブロック情報を修正する（ステップＳ２２５）。

＜行移動挿入動作（ステップＳ２５）＞
図１９は行移動挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は編集画面の一部の最下段部分または編集画面に重ねて第２行挿入画面（図１６（ｂ））を追加表示する（ステップＳ２５１）。この第２行挿入画面には、アクティブ状態となっている選択セルの直前に挿入操作前にカットされたステップ行（以下「カットステップ行」という）を挿入する行の移動挿入用の「前に挿入」ボタンと、当該選択セルの直後にカットステップ行を挿入する行の移動挿入用の「後ろに挿入」ボタンとが追加表示される。なお、本実施形態では、新規行挿入動作（ステップＳ２２）と同様に新規行の挿入用の「前に挿入」ボタンおよび「後ろに挿入」ボタンも表示されており、行移動挿入動作時に新規行を適宜挿入可能となっている。この点については、後で詳述する行複写挿入動作（ステップＳ２６）、ブロック移動挿入動作（ステップＳ２８）およびブロック複写挿入動作（ステップＳ２９）においても同様である。

次のステップＳ２５２では、ユーザー等がいずれのボタンをクリックしたかと判断する。そして、行の移動挿入用の「前に挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直前にカットステップ行を移動挿入する（ステップＳ２５３）。一方、行の移動挿入用の「後ろに挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直後にカットステップ行を移動挿入する（ステップＳ２５４）。

これらの行移動挿入により、新規行挿入動作（ステップＳ２２）と同様に、カットステップ行の移動挿入分だけステップ行の部分繰り下げなどが発生し、レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップが変化することがある。そこで、制御ユニット２１は行移動挿入後のブロック情報を修正する（ステップＳ２５５）。

＜行複写挿入動作（ステップＳ２６）＞
図２０は行複写挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は編集画面の一部の最下段部分または編集画面に重ねて第３行挿入画面（図１６（ｃ））を追加表示する（ステップＳ２６１）。この第３行挿入画面には、アクティブ状態となっている選択セルの直前に挿入操作前にコピーされたステップ行（以下「コピーステップ行」という）を挿入する行の複写挿入用の「前に挿入」ボタンと、当該選択セルの直後にコピーステップ行を挿入する行の複写挿入用の「後ろに挿入」ボタンとが追加表示される。

次のステップＳ２６２では、ユーザー等がいずれのボタンをクリックしたかと判断する。そして、行の複写挿入用の「前に挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直前にコピーステップ行を複写挿入する（ステップＳ２６３）。一方、行の複写挿入用の「後ろに挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直後にコピーステップ行を複写挿入する（ステップＳ２６４）。

これらの行複写挿入により、新規行挿入動作（ステップＳ２２）と同様に、コピーステップ行の複写挿入分だけステップ行の部分繰り下げなどが発生し、レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップが変化することがある。そこで、制御ユニット２１は行複写挿入後のブロック情報を修正する（ステップＳ２６５）。

＜ブロック移動挿入動作（ステップＳ２８）＞
図２１はブロック移動挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は編集画面の一部の最下段部分または編集画面に重ねて第１ブロック挿入画面（図１６（ｄ））を追加表示する（ステップＳ２８１）。この第１ブロック挿入画面には、アクティブ状態となっている選択セルの直前に挿入操作前にカットされたレシピブロック（以下「カットブロック」という）を挿入するブロックの移動挿入用の「前に挿入」ボタンと、当該選択セルの直後にカットブロックを挿入するブロックの移動挿入用の「後ろに挿入」ボタンとが追加表示される。

次のステップＳ２８２では、ユーザー等がいずれのボタンをクリックしたかと判断する。そして、ブロックの移動挿入用の「前に挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直前にカットブロックを移動挿入する（ステップＳ２８３）。一方、ブロックの移動挿入用の「後ろに挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直後にカットブロックを移動挿入する（ステップＳ２８４）。このようにブロック移動挿入動作では、カットブロックが本発明の「第３レシピブロック」に相当している。

これらのブロック移動挿入により、新規行挿入動作（ステップＳ２２）と同様に、カットブロックの移動挿入分だけステップ行の部分繰り下げなどが発生し、レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップが変化することがある。そこで、制御ユニット２１は行移動挿入後のブロック情報を修正する（ステップＳ２８５）。

＜ブロック複写挿入動作（ステップＳ２９）＞
図２２はブロック複写挿入動作を示すフローチャートである。制御ユニット２１は編集画面の一部の最下段部分または編集画面に重ねて第２ブロック挿入画面（図１６（ｅ））を追加表示する（ステップＳ２９１）。この第２ブロック挿入画面には、アクティブ状態となっている選択セルの直前に挿入操作前にコピーされたレシピブロック（以下「コピーブロック」という）を挿入するブロックの複写挿入用の「前に挿入」ボタンと、当該選択セルの直後にコピーブロックを挿入するブロックの複写挿入用の「後ろに挿入」ボタンとが追加表示される。

次のステップＳ２９２では、ユーザー等がいずれのボタンをクリックしたかと判断する。そして、ブロックの複写挿入用の「前に挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直前にコピーブロックを複写挿入する（ステップＳ２９３）。一方、ブロックの複写挿入用の「後ろに挿入」ボタンがクリックされた場合、制御ユニット２１は編集位置の直後にコピーブロックを複写挿入する（ステップＳ２９４）。このようにブロック複写挿入動作では、コピーブロックが本発明の「第３レシピブロック」に相当している。

これらのブロック複写挿入により、新規行挿入動作（ステップＳ２２）と同様に、コピーブロックの複写挿入分だけステップ行の部分繰り下げなどが発生し、レシピブロックの開始ステップおよび終了ステップが変化することがある。そこで、制御ユニット２１は行複写挿入後のブロック情報を修正する（ステップＳ２９５）。

図１４に戻って挿入動作の説明を続ける。各挿入動作が完了する毎に、次のステップＳ３０で、制御ユニット２１は挿入処理後のレシピ情報およびブロック情報をレシピファイル形式に整形する。それに続いて、これらの情報を含むレシピファイルをレシピファイル保存部２２がレシピファイル記憶部２３に書き込む（ステップＳ３１）。さらに、制御ユニット２１は、情報取得部２４が上記レシピファイルから読み出して取得したレシピ情報およびブロック情報に基づいて挿入処理後の編集画面を表示部２６１に表示する（ステップＳ３２）。

以上のように、第２実施形態では挿入動作を実行可能となっている。特に、レシピブロック単位での移動挿入や複写挿入が可能であり、第１実施形態に比べてレシピブロック単位での編集効率を格段に向上させることができる。また、挿入動作を実行する毎にブロック情報を自動修正しており、挿入動作はレシピブロック単位でレシピ編集するレシピ作成技術に好適な編集動作といえる。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、表示部２６１を本発明の「報知部」の一例として用いている。つまり、連続するレシピブロック間で整合が取れていない、つまり不整合状態である場合、その旨を表示部２６１上の編集画面に表示してユーザー等に報知しているが、報知部の構成や報知態様はこれに限定されない。例えばスピーカーやブザー等の報知部から音声を発生させて報知してもよい。また、ランプなどの報知部を発光させて報知してもよい。さらに、基板処理装置において、制御ユニット２１の動作制御部２１４が不整合状態である旨の情報を受けてレシピに基づく基板処理を規制するように構成してもよい。この場合、少なくとも第２処理の実行を規制するのが望ましく、レシピで規定された全処理の実行を規制するように構成してもよい。

また、上記実施形態では、レシピブロック間の整合チェックを行っているが、制御ユニット２１の整合チェック部２１２が各レシピブロックにおいてステップ間の整合についてもチェックするように構成してもよい。これによりレシピブロック内での不整合状態を未然に防止することができ、当該レシピブロック内における薬液混触の発生などを効果的に防止することができる。これにより、作業者により指定された複数ステップからなるレシピブロックがレシピ編集の単位として適切であるかが確認できる。ここで、基板処理装置における基板処理を例示してステップ間での整合チェックについて説明する。

基板処理装置は、例えば薬液により基板Ｗを処理する薬液ステップ、基板Ｗを洗浄する洗浄ステップ、ＤＩＷ等の純水により基板Ｗをリンスするリンスステップおよび基板Ｗを乾燥する乾燥ステップを実行することがある。そして、これらのステップを１つのレシピブロックにまとめることがある。ところで、薬液の混触を未然に防止するために重要となるのが薬液ステップとリンスステップの順番である。つまり、薬液ステップの後でリンスステップを実行することにより当該薬液ステップで使用した薬液がその他の薬液と混触するのを未然に、かつ確実に防止することができる。そこで、薬液ステップの後にリンスステップが規定されているという条件をステップ設定条件として予め登録するとともに、当該ステップ設定条件がレシピブロック内で満足されることを確認するのが好適である。これによって、ステップ間での整合チェックを良好に行うことができる。また、同一のレシピブロックで薬液ステップ、洗浄ステップ、リンスステップおよび乾燥ステップがこの順序で行われることをステップ設定条件としてもよい。

これらのステップ設定条件が第１レシピブロックで満足されている場合、当該第１レシピブロックに続く第２レシピブロックで使用する薬液が第１レシピブロックで使用する薬液と混触する可能性はなく、整合状態が確保される。そこで、ステップ設定条件が第１レシピブロックで満足されていることを整合チェック部２１２が確認すると、第１レシピブロックで実行される第１処理が第２レシピブロックで実行される第２処理に影響を与えない旨を本発明の「第３属性情報」の一例としてブロック情報に加えてもよい。このような属性情報を有する場合には、それを参照することで整合チェックをより簡易に行うことができ、好適である。

また、上記したレシピブロックがレシピ編集の単位として適切であるかの確認については、これを単独で実行するように構成してもよく、これによって、ブロック単位でのレシピの適正を確認することができる。つまり、第１実施形態と同一の構成を有する装置において以下のように動作させてもよい。この実施形態では、情報取得部２４が既存レシピファイルを取得すると、その取得された既存ファイルに含まれるレシピが表示部２６１に表示される。そして、入力部２６２を介し、レシピに規定される複数ステップ中の任意のステップがブロック開始ステップとして指定されるとともに、当該開始ステップより後の任意のステップがブロック終了ステップとして指定される。このように本実施形態では入力部２６２が本発明の「指定部」として機能し、入力部２６２によりブロックが指定される。すると、制御ユニット２１は、本発明の「ステップ属性取得手段」および「ステップ設定条件確認手段」としての機能を果たす。具体的には、制御ユニット２１は、指定されたブロック開始ステップからブロック終了ステップまでの複数のステップについてそれぞれの属性を取得する。制御ユニット２１は、本発明の「ステップ設定条件記憶手段」として機能する条件ファイル記憶部２５に記憶されている所定のステップ設定条件を読み出し、複数のステップの属性がステップ設定条件を満たすことを確認する。そして、ステップ設定条件による確認が得られないとき、指定された複数のステップがレシピ編集単位としては不適格であることが表示部２６１などの報知部に報知される。これにより、不適切なレシピの作成を未然に、かつ効果的に防止することができる。その結果、適切なレシピを優れた操作性で短時間に作成することができる。

また、上記実施形態では、薬液の種類を属性情報として整合チェックに用いているが、その他の事項、例えば各レシピブロックで実行される機械動作を属性情報として整合チェックに用い、基板処理装置１における機械的な干渉を未然に防止するように構成してもよい。

この発明は、基板処理装置で実行する動作ステップを規定するレシピを作成するレシピ作成技術全般に適用することができる。

１…基板処理部
２…制御部（レシピ作成装置）
２１…制御ユニット
２５…条件ファイル記憶部
２６…表示操作端末
２１１…レシピ編集部
２１２…整合チェック部
２１３…画面表示制御部
２１４…動作制御部
２６１…表示部
２６２…入力部
Ｗ…基板

Claims (20)

1. 基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成装置であって、
   前記レシピに規定される連続するステップで構成される第１レシピブロックと、前記第１レシピブロック以降で連続するステップで構成される第２レシピブロックとを編集するレシピ編集部と、
   前記第１レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第１処理と、前記第１処理に続いて前記第２レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第２処理との間に整合が取れていることを確認する整合チェック部と、
   前記整合チェック部による確認が得られないとき、前記第１処理と前記第２処理とが不整合であることを報知する報知部と
   を備えるレシピ作成装置。
2. 請求項１に記載のレシピ作成装置であって、
   前記整合チェック部は、前記第１処理の内容に関連する第１属性情報と、前記第２処理の内容に関連する第２属性情報とに基づいて前記整合の確認を行うレシピ作成装置。
3. 請求項２に記載のレシピ作成装置であって、
   前記第１処理で使用する薬液と、前記第２処理で使用する薬液との整合条件を示す整合チェック条件を記憶する記憶部をさらに備え、
   前記第１属性情報は前記第１処理で使用する第１薬液に関する情報であり、
   前記第２属性情報は前記第２処理で使用する第２薬液に関する情報であり、
   前記整合チェック部は、前記整合チェック条件に基づいて前記第１薬液と前記第２薬液との整合が取れていることを確認するレシピ作成装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか一項に記載のレシピ作成装置であって、
   前記整合チェック部は、前記第１レシピブロックに含まれる各ステップに対応する動作内容が互いに整合が取れていることを確認するレシピ作成装置。
5. 請求項４に記載のレシピ作成装置であって、
   前記第１レシピブロックに含まれる各ステップに対応する動作内容として、薬液により前記基板を処理する薬液ステップと、純水により前記基板をリンスするリンスステップとを含み、
   前記整合チェック部は、ステップ設定条件が満足されることを確認し、
   前記ステップ設定条件は、前記薬液ステップの後に前記リンスステップが規定されるという条件を含むレシピ作成装置。
6. 請求項５に記載のレシピ作成装置であって、
   前記第１レシピブロックに含まれる各ステップとして、前記基板を洗浄する洗浄ステップと、前記基板を乾燥する乾燥ステップとをさらに含み、
   前記ステップ設定条件は、前記薬液ステップと前記リンスステップとの間に前記洗浄ステップが規定されるという条件と、前記リンスステップの後に前記乾燥ステップが規定されるという条件とをさらに含むレシピ作成装置。
7. 請求項５または６に記載のレシピ作成装置であって、
   前記整合チェック部は、前記ステップ設定条件が満足されることを確認したとき、前記第１処理が前記第２処理に影響を与えない旨の第３属性情報を出力するレシピ作成装置。
8. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載のレシピ作成装置であって、
   前記整合チェック部は、前記第２レシピブロックに含まれる各ステップに対応する動作内容が互いに整合が取れていることを確認するレシピ作成装置。
9. 請求項１ないし８のいずれか一項に記載のレシピ作成装置であって、
   前記レシピ編集部は連続するステップで構成されるレシピブロック単位で前記レシピを編集可能となっているレシピ作成装置。
10. 請求項９に記載のレシピ作成装置であって、
    前記レシピに対して編集する位置を示す編集位置情報が入力される入力部をさらに備え、
    前記レシピ編集部は、前記編集位置情報で示される編集位置のステップに対し、連続するステップで構成される第３レシピブロックを挿入するブロック挿入動作を実行可能となっているレシピ作成装置。
11. 請求項１０に記載のレシピ作成装置であって、
    前記レシピ編集部は、前記第３レシピブロックの挿入位置として前記編集位置のステップに対する前側および後側のいずれか一方を選択し、前記ブロック挿入動作を実行するレシピ作成装置。
12. 基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成方法であって、
    前記レシピに規定される連続するステップで構成される第１レシピブロックを編集する工程と、
    前記第１レシピブロック以降で連続するステップで構成される第２レシピブロックを編集する工程と、
    前記第１レシピブロックまたは前記第２レシピブロックを編集する毎に、前記第１レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第１処理と、前記第１処理に続いて前記第２レシピブロックを実行することで前記基板に対して行われる第２処理との間に整合が取れていることを確認する工程と、
    前記確認が得られないとき、前記第１処理と前記第２処理とが不整合であることを報知する工程と
    を備えるレシピ作成方法。
13. 請求項１２に記載のレシピ作成方法であって、
    前記第１レシピブロックの編集中に、前記第１レシピブロックに含まれる各ステップに対応する動作内容が互いに整合が取れていることを確認するレシピ作成方法。
14. 請求項１２または１３に記載のレシピ作成方法であって、
    前記第２レシピブロックの編集中に、前記第２レシピブロックに含まれる各ステップに対応する動作内容が互いに整合が取れていることを確認するレシピ作成方法。
15. 請求項１ないし１１に記載のレシピ作成装置と同一構成を有する制御部と、
    前記制御部により作成されたレシピにしたがって基板に対して前記第１処理および第２処理を行う基板処理部と
    を備える基板処理装置。
16. 請求項１５に記載の基板処理装置であって、
    前記制御部の前記整合チェック部による確認が得られないとき、前記基板処理部が少なくとも前記第２処理を実行するのを規制する動作制御部をさらに備える基板処理装置。
17. 請求項１６に記載の基板処理装置であって、
    前記制御部の前記動作制御部は、前記整合チェック部による確認が得られないとき、前記動作制御部は前記レシピに基づく前記基板に対する全処理の実行を規制する基板処理装置。
18. 基板に対して実行する複数のステップの動作順序および各ステップに対応する動作内容を規定した、レシピを作成するレシピ作成装置であって、
    既存レシピファイルを取得する情報取得部と、
    前記取得された既存ファイルに含まれるレシピにより規定される複数ステップ中の任意のステップをブロック開始ステップとして指定するとともに、当該開始ステップより後の任意のステップをブロック終了ステップとして指定する指定手段と、
    前記指定手段により指定された、前記ブロック開始ステップから前記ブロック終了ステップまでの複数のステップについてそれぞれの属性を取得するステップ属性取得手段と、
    所定のステップ設定条件を記憶するステップ設定条件記憶手段と、
    前記ステップ属性取得手段が取得した前記複数のステップの属性が前記ステップ設定条件記憶手段が記憶するステップ設定条件を満たすことを確認するステップ設定条件確認手段と、
    前記ステップ設定条件による確認が得られないとき、前記指定手段により指定された複数のステップがレシピ編集単位としては不適格であることを報知する報知部と、を備えるレシピ作成装置。
19. 前記ステップ設定条件は、前記複数のステップの中に薬液ステップが含まれる場合には、前記基板を純水によりリンスするステップが前記薬液ステップの後に含まれるか否かの条件である、請求項１８記載のレシピ作成装置。
20. 前記ステップ設定条件は、前記複数のステップの中に第１薬液を使用するステップと第２薬液ステップとが含まれるときに、当該第１薬液と前記第２薬液との整合性に関する条件である、請求項１８または請求項１９記載のレシピ作成装置。