JP4953427B2 - 基板処理装置、表示方法、記録媒体及びプログラム - Google Patents
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Description
SEMIのE95規格の参照:http://downloads.semi.org/PUBS/SEMIPUBS.NSF/6cb6b23858b3cded882565f6000badda/e4f362b2ff872d9f882568410061dddf?OpenDocument
本発明では、例えば各処理室のメンテナンスに必要な処理室毎の画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて表示パネルに表示していので、複数の処理室の相互の関係を考慮しながらメンテナンスを行うときに非常に利便性の高いメンテナンス画面を表示パネルに表示することができる。
(2)本発明に係る方法は、少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法において、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示し、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示することを特徴とする。
(3)本発明に係る記録媒体は、少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムが記録された記録媒体において、前記プログラムは、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示させ、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示させることを特徴とする。
(4)本発明に係るプログラムは、少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示させ、前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示させることを特徴とする。
先ず、本発明の実施形態にかかる基板処理装置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態にかかる基板処理装置の概略構成を示す図である。この基板処理装置100は、被処理基板例えば半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう。)Wに対して成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行う複数の処理ユニット110と、この処理ユニット110に対してウエハWを搬出入させる搬送ユニット120とを備える。
ユニット110との間でウエハを搬出入する搬送室130を有している。搬送室130は、断面略多角形(例えば断面矩形)の箱体状に形成されている。搬送室130の断面矩形の長辺を構成する一側面には、複数のカセット台131(131A〜131C)が並設されている。これらカセット台131A〜131Cはそれぞれ、基板収納容器例えばカセット容器132A〜132Cを載置可能に構成されている。
2を螺合させて、ボールスクリューをスライド用モータで駆動することにより、基台172をスライド動作可能に構成してもよい。
(1)ほぼ中央に横長の長方形のメイン画面を表示する第1の表示領域311(インフォメーション・パネル)
(2)第1の表示領域の下方の辺に沿って帯状に設けられた第2の表示領域312(サブインフォメーション・パネル)
(3)第1の表示領域の右辺に沿って帯状に設けられた第3の表示領域313(コマンド・パネル)
(4)第2の表示領域312の下方に沿って帯状に設けられた第4の表示領域314(ナビゲーション・パネル)
(5)第1の表示領域の上方の辺に沿って帯状に設けられた第5の表示領域315(タイトル・パネル)
(6)画面の右上角部に横長の長方形状に設けられた第6の表示領域316(タイトル・パネル)
1.第1の表示領域311について
第1の表示領域311には、1つまたは複数の情報・グラフィックを機能領域毎に表示するもので、少なくとも以下の画面が選択的に表示される。
(1)基板処理装置の全体の状態を示す画面(図4参照)
装置全体の概略的平面図、モジュール圧力、各処理室などの詳細情報が表示可能とれている。
(2)各処理室のメンテナンスに必要な画面(図5〜図7参照)
各処理室の正面図、これらの詳細情報が表示可能にされている。
(3)各処理室の状態を示す画面
(4)アラーム画面
(5)パラメータ管理画面
(6)ログイン画面
(7)ユニット同期画面
2.第2の表示領域312について
第2の表示領域312には、選択ボタン(以下、タスク・ボタンと呼ぶ。)が8つ配置される。ボタンは常に有効状態であり、画面名が表示されたボタンを選択すると、選択した画面が第1の表示領域311上に表示される。それ以外のボタンはグレーアウト状態ではないが、押すことはできない。第4の表示領域314、ブックマーク、その他様々な手段によりオープンされた画面は、全てタスク・ボタンに表示される。図8に示すように、第2の表示領域312では、タスク・ボタンは、各タスク・ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で左側から並べて表示される。つまり、タスク・ボタンの左側が常に最新の画面であり、第1の表示領域311に表示されている画面が配置される。その隣に次に時間的に近いタスク・ボタンが第2の表示領域312に表示され、以下の時間的な順番に応じてタスク・ボタンが第2の表示領域312に表示される。図9はこのような動作を説明するためのフローチャートである。
(1)画面Aをオープン(図10(a))
第4の表示領域314から「画面A」をオープンする。タスクの左側に「画面A」のテキストが表示される。(ステップ901、902、903)
(2)画面Bをオープン(図10(b))
「画面Aをオープン」の後に、第4の表示領域314から「画面B」をオープンする。タスクの左側に「画面B」のテキストが表示される。既に開かれていた「画面A」はその右側に移動する。(ステップ901、902、903)
(3)画面Bをクローズ(図10(c))
「画面Bをオープン」の後に、第3の表示領域313から「画面B」をクローズする。タスクの左側から「画面B」が削除され、既に開かれていた「画面A」は一番左側に移動する。(ステップ904、905、906)
(4)画面を8つオープン(図11(d))
画面を1つも開いていない状態(実際は、1つ目は常にホーム画面)から、8つの画面をオープンする。全てのタスク・ボタンが埋まった状態になる。
(5)画面を9つ以上オープン(図11(e))
「画面を8つオープン」の状態でさらに画面をオープンする。すると、一番初めに開かれた「画面A」は、コマンド・ボタンに表示しきれないので、ボタン上からは消去される。しかし、画面の表示履歴には残っている。(ステップ907、908)
(6)画面のオープン数を8つに戻す(図11(f))
「画面を9つ以上オープン」の状態で「画面I」をクローズする。すると、コマンド・ボタンに表示されていなかった画面履歴の9番目の画面(ここでは「画面A」)が、コマンド・ボタンの一番右側に表示される。(ステップ909、910)
(7)タスク・ボタンの選択(図12(g)、図12(h))
画面を1つも開いていない状態(実際は、1つ目は常にホーム画面)から、8つの画面をオープンする。全てのタスク・ボタンが埋まった状態になる(図12(g))。(「画面を8つオープン」と同状態)
この状態で、タスク・ボタンの「画面F」を選択すると、以下のように「画面F」が表示され、タスク・ボタンの一番左側に移動する(図12(h))。(ステップ911、902、903)
(8)その他
ステップ904で画面をクローズして残りの画面がない場合には(ステップ912)、装置がオフ等されないかぎり(ステップ913)、ステップ901に戻る。
3.第3の表示領域313について
第3の表示領域313は、現在表示している第1の表示領域311に対して使用するコマンド・ボタンを配置する領域である。コマンドとしては、例えば「閉じる」、「モジュール変更」、[初期化]、「大気開放」などがある。
4.第4の表示領域314
システムが持つ機能領域から第1の表示領域311に表示する画面を選択するパネルである。第4の表示領域314内にある下記の選択ボタン(ナビゲーション・ボタン)を押すとその機能領域の画面を第1の表示領域311に表示する。ただし、例外として右側に配置された「Helpボタン」を押した場合、第1の表示領域311上に「画面操作ヘルプ・ダイアログ・ボックス」を表示する。
(1)Jobs(ジョブ)
処理開始関連の操作、材料処理の進捗を表示、処理中の材料状態を表示する。
(2)Status(ステータス)
装置通常稼動状態での参照・操作を行う。装置全体、または装置を構成するデバイス等のステータスを表示する。
(3)Recipes(レシピ)
レシピに関連する操作、レシピ生成、レシピ編集、レシピ管理(保存、コピー等)を行う。
(4)Logs(ログ)
ログの表示やログの管理を行う。
(5)Setup(セットアップ)
装置運用の準備・設定・管理、装置運用に関連する項目、ユーザアカウント管理、ハードウェアコンフィグレーション、パラメータの設定、ホスト通信コントロールに関する設定を行う。
(6)Mainte.(メンテナンス)
装置保守関連の操作、メンテナンス操作、マニュアル移動操作、マクロ操作、エンジニアリングレベルの操作を行う。
(7)System(システム)
装置運用にあまり使用されず、かつ影響のない操作を行う。システム稼動に関連する項目、M/Cステータス、装置立ち下げ、バージョン情報の表示を行う。
(8)(予備)
何も記載のないコマンド・ボタンであり、予備として設けられている。
(9)Help(ヘルプ)
インターフェースに関するヘルプ、オペレーションに関するヘルプ、装置マニュアルを表示する。
5.第5の表示領域315
第5の表示領域315は、画面最上部に位置し、全ての画面で共通に使用できる機能を持つ領域である。第5の表示領域315は、例えばユーザに対して情報の提示を行う目的であるダイアログ・ボックスが表示中であったとしても、常時ユーザが操作できるようにしなくてはならない。例えば、以下の画面を表示する。
(1)日付/時刻表示エリア
「日付/時刻」を表示する。
(2) 画面名称表示エリア
現在表示している画面名を表示する。
(3)ホスト通信状態表示エリア
現在のホスト通信ステータスを表示する。
(4)ログイン/ログアウト・ボタン
ログイン/ログアウト・ボタンを表示する。
(5)ロゴ表示エリア
本装置のメーカーのロゴを表示表示し、メーカー名をユーザに識別させる。
(6)アラーム・メッセージ・ボタン
最新の警告/アラームを表示する。ただし、複数の警告/アラームが発生している場合、最新のものよりも、重要度が高いものを優先して表示する。つまり、重要度が高いアラームが発生している状態の時に、重要度が低いアラームが新たに発生した場合、表示は低いアラームに切り替わらず、重要度が高いアラームが表示し続けていることになる。重要度が同じであるアラームが発生した場合、最新のものを表示する。
(7)ホーム画面遷移ボタン
本ボタンを押すことにより、ユーザ毎に登録されたホーム画面を表示する。
6.第6の表示領域316
装置全体状態表示を表示する。例えば図1に示したような平面図として装置全体を表示する。第1の表示領域311において特定の処理室のメンテナンス画面が選択されているときには、その選択された処理室を強調して表示する。これにより、ユーザは全体中からメンテナンスしている処理室を特定することができる。
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記の基板処理装置では、処理室が複数であることを前提にして説明したが、処理室が1つの基板処理装置に本発明を適用でき、また複数の処理室が搭載可能であっても1つの処理室のみを搭載した基板処理装置にも当然本発明を適用することができる。
200 制御部
210 プロセルコントロール部
220 入出力制御部
221 表示制御部
222 入力制御部
300 タッチパネル
311 第1の表示領域
312 第2の表示領域
313 第3の表示領域
Claims (14)
- 少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置において、
表示パネルと、
前記表示パネルに少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な画面及び所定の選択ボタンを表示するための制御を行う表示制御部と、
前記表示パネルに表示された選択ボタンをクリックするための選択部とを具備し、
前記表示制御部は、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示し、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示し、
前記第2の表示領域の一辺に沿って前記第1の表示領域を表示し、
前記第1の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第1の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第2の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第3の表示領域に表示し、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが前記選択部によりクリックされた場合に、前記第2の表示領域の画面を閉じると共に前記第1の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じる
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第2の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち前記選択部により選択された一つの画面を、前記第2の表示領域に表示する
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記第2の表示領域に前記各処理室の状態を表示する前記処理室毎の画面、前記基板処理装置の全体の状態を表示する画面を表示可能であり、
前記第1の表示領域に前記画面に対応する選択ボタンが表示可能である
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の基板処理装置において、
前記表示パネル及び前記選択部は、前記表示パネル上に前記選択部を設けたタッチパネルにより構成されることを特徴とする基板処理装置。 - 少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示方法において、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示し
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示し、
前記第2の表示領域の一辺に沿って前記第1の表示領域を表示し、
前記第1の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示し、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第1の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第2の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示する
ことを特徴とする表示方法。 - 請求項6に記載の表示方法において、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第3の表示領域に表示し、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第2の表示領域の画面を閉じると共に前記第1の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じる
ことを特徴とする表示方法。 - 請求項6又は請求項7に記載の表示方法において、
前記第2の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第2の表示領域に表示する
ことを特徴とする表示方法。 - 少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムが記録された記録媒体において、
前記プログラムは、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示させ、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示させ、
前記第2の表示領域の一辺に沿って前記第1の表示領域を表示させ、
前記第1の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第1の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第2の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させる
ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項9に記載の記録媒体において、
前記プログラムは、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第3の表示領域に表示させ、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第2の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第1の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせる
ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項9又は請求項10に記載の記録媒体において、
前記プログラムは、
前記第2の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第2の表示領域に表示させる
ことを特徴とする記録媒体。 - 少なくとも1つの処理室を有する基板処理装置を制御するための表示パネルの表示をコンピュータに実行させるプログラムにおいて、
少なくとも前記基板処理装置のメンテナンスに必要な複数の画面から1つの画面を選択する選択ボタンを、当該選択ボタンがクリックされた時間的な順番に応じた順番で並べて前記表示パネルの第1の表示領域に表示させ、
前記選択ボタンにより選択された画面を前記表示パネルの第2の表示領域に表示させ、
前記第2の表示領域の一辺に沿って前記第1の表示領域を表示させ、
前記第1の表示領域に表示される前記各選択ボタンが一定の長さとなるように表示させ、
前記複数の選択ボタンの全体の長さが前記第1の表示領域の長さを超えた場合には、前記超えた選択ボタンを履歴として残しておき、表示可能になったときに再び前記第2の表示領域に残りの前記選択ボタンを表示させる
ことを特徴とするプログラム。 - 請求項12に記載のプログラムにおいて、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンを前記表示パネルの第3の表示領域に表示させ、
前記第2の表示領域に表示された画面を閉じるための選択ボタンが選択された場合に、前記第2の表示領域の画面を閉じさせると共に前記第1の表示領域に表示された前記画面に対応する選択ボタンを閉じさせる
ことを特徴とするプログラム。 - 請求項12又は請求項13に記載のプログラムにおいて、
前記第2の表示領域に表示される処理室のメンテナンスに必要な画面として、当該メンテナンスの内容に応じた複数の画面のうち選択された一つの画面を、前記第2の表示領域に表示させる
ことを特徴とするプログラム。
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