JP2008078630A - 基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【課題】保守員が基板処理装置の稼動計画に影響を受けることなく、基板処理装置が備えるコントローラのプログラムアップデートの予約作業を行うだけで、アップデート作業を自動で実施することを可能とする基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置10と、基板処理装置に接続される郡管理装置20と、を備える基板処理システムにおいて、郡管理装置が、基板処理装置の稼動状態を監視することにより基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、タイミングに達したらプログラムをアップデートする。
【選択図】図1
【解決手段】基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置10と、基板処理装置に接続される郡管理装置20と、を備える基板処理システムにおいて、郡管理装置が、基板処理装置の稼動状態を監視することにより基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、タイミングに達したらプログラムをアップデートする。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムに関する。
シリコンウエハ等の基板を処理する基板処理装置は、CPU、メモリ、及びHDD等の記憶装置を備えたコントローラを有している。記憶装置は、基板処理装置に種々の機能を実現させるプログラムを格納している。プログラムは、記憶装置からメモリに読み出され、CPUにより実行される。
プログラムは、基板処理装置の機能拡張やバグ対処などの理由により、定期的または不定期にアップデートされる。従来、プログラムのアップデート作業は、基板処理装置1台ごとに保守員の手作業によってそれぞれ実施されていた。
具体的には、保守員が、基板処理装置を停止させ、CD−ROMやFD等の記録媒体に格納されているプログラムを基板処理装置に読み込ませ、記憶装置内に格納させることにより、プログラムをアップデートしていた。
しかしながら、基板処理装置のプログラムをアップデートする場合には、基板処理装置が非生産状態となっている必要がある。すなわち、基板処理装置のプログラムをアップデートする場合には、保守員は、基板処理装置の稼動計画を事前に確認して、基板処理装置が非生産状態になるまで待つ必要がある。
なお、半導体装置の製造工場においては、例えば数十台以上の基板処理装置が稼動している場合がある。このような場合、保守員が、これら複数の基板処理装置についてそれぞれの稼動計画を確認し、アップデートの計画を立案し、各基板処理装置が非生産状態になるまで待つ必要があるとすれば、保守員の負担は更に大きくなる。
そこで本発明は、保守員が基板処理装置の稼動計画を確認することなく、プログラムのアップデートの予約作業を行うだけで基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
本発明の第1の態様によれば、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
本発明の第2の態様によれば、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次
の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
本発明の第3の態様によれば、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
。
。
本発明の第4の態様によれば、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも1台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
本発明の第5の態様によれば、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
本発明によれば、保守員が基板処理装置の稼動計画を確認することなく、プログラムのアップデートの予約作業を行うだけで基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムを提供することが出来る。
以下に、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成、及び動作について、図を用いて説明する。
図1は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの概要構成図であり、図2は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置のブロック構成図であり、図3は、本発明の一実施形態にかかる郡管理装置のブロック構成図である。また、図4は、本発明の実施例1にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、(a)はプログラムのアップデートの予約画面の概要図であり、(b)はアップデート実行条件入力画面の概要図であり、(c)はアップデート用プログラム入力画面の概要図である。また、図5は、本発明の実施例2にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、(a)は同時に複数の基板処理装置に対してプログラ
ムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、(b)は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。また、図6は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の斜透視図であり、図7は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の側面透視図であり、図8は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の処理炉の縦断面図である。そして、図9は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
ムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、(b)は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。また、図6は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の斜透視図であり、図7は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の側面透視図であり、図8は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の処理炉の縦断面図である。そして、図9は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
(1)基板処理システムの構成
まず、図1を用いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成について説明する。
まず、図1を用いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成について説明する。
図1に示すとおり、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムは、基板に処理を行う少なくとも一台以上の基板処理装置10と、基板処理装置10に接続される郡管理装置20とを備えている。なお、基板処理装置10と郡管理装置20との間は、通信ケーブル等により直接接続されても良いし、構内回線により接続されても良いし、インターネットや専用線網などの広域回線により接続されても良い。
(2)基板処理装置の構成
本発明の一実施形態にかかる基板処理装置10は、図2に示すとおり、基板を処理する基板処理系100と、基板処理系100に接続された基板処理装置用コントローラ240と、基板処理装置用コントローラ240に接続された操作端末240aと、を備えている。
本発明の一実施形態にかかる基板処理装置10は、図2に示すとおり、基板を処理する基板処理系100と、基板処理系100に接続された基板処理装置用コントローラ240と、基板処理装置用コントローラ240に接続された操作端末240aと、を備えている。
以下に、上述の基板処理系100の構成、及び動作について、図6から図8を用いて説明する。その後、基板処理装置用コントローラ240及び操作端末240aの構成について、図2を用いて説明する。
(2−1)基板処理系の構成
本実施形態にかかる基板処理系100は、例えば、半導体装置(LSIやIC等)の製造工程の一工程として、ウエハ等の基板に対して酸化処理、拡散処理、CVD処理などの基板処理工程を実施する縦型の装置として構成されている。
本実施形態にかかる基板処理系100は、例えば、半導体装置(LSIやIC等)の製造工程の一工程として、ウエハ等の基板に対して酸化処理、拡散処理、CVD処理などの基板処理工程を実施する縦型の装置として構成されている。
図6および図7に示すように、本実施形態にかかる基板処理系100は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部(図7の左側)には、開口部としての正面メンテナンス口103が設けられている。また、正面メンテナンス口103には、正面メンテナンス口103を開閉する2枚の正面メンテナンス扉104が設けられている。
基板としてのウエハ200を筐体111内外へ搬送するには、基板収容容器(ウエハキャリアともいう)としてのポッド110が使用される。ポッド110内には、複数のウエハ200が格納されるように構成されている。筐体111の正面壁111aには、ポッド110を筐体111内外へ搬送する基板収容器搬入搬出口としてのポッド搬入搬出口112が、筐体111の内外を連通するように設けられている。ポッド搬入搬出口112は、開閉機構としてのフロントシャッタ113によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口112の正面前方側には、基板収容器受渡し台としてのロードポート114が設けられている。ロードポート114上にはポッド110が載置され、ロードポート114上にてポッド110の位置合わせをすることが可能なように構成されている。ポッド110は、図示しない工程内搬送装置によってロードポート114上に載置され、
また、ロードポート114上から搬出されるように構成されている。
また、ロードポート114上から搬出されるように構成されている。
筐体111内の前後方向の略中央部(図7に示す筐体111内の略中央部)における上部空間には、基板収容器載置棚としての回転式ポッド棚105が設けられている。回転式ポッド棚105は、垂直方向に設けられて水平面内で回転する支柱116と、基板収容器載置台としての複数枚の棚板117と、を備えている。複数枚の棚板117は、支柱116における上中下段の各位置において、水平姿勢で放射状に固定されるようにそれぞれ構成されている。なお、各棚板117には、複数個のポッド110がそれぞれ載置されるように構成されている。
筐体111内におけるロードポート114と回転式ポッド棚105との間には、基板収容器搬送装置としてのポッド搬送装置118が設けられている。ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降移動する基板収容器昇降機構としてのポッドエレベータ118aと、ポッド110を保持したまま水平移動する基板収容器搬送機構としてのポッド搬送機構118bと、を備えている。ポッド搬送装置118は、ポッドエレベータ118aとポッド搬送機構118bとの協調動作により、ロードポート114、回転式ポッド棚105、及び後述する載置台122との間で、ポッド110を搬送するように構成されている。
筐体111内の下部空間には、筐体111内の略中央部から後端部にわたって、サブ筐体119が設けられている。サブ筐体119の正面壁119a(筐体111内の中央部側)には、ウエハ200をサブ筐体119内外に搬送する基板搬入搬出口としての一対のウエハ搬入搬出口120が、上下段に設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口120には、ポッドオープナ121がそれぞれ設けられている。ポッドオープナ121は、ポッド110を載置する載置台122と、ポッド110の蓋体であるキャップを着脱する蓋体着脱機構としてのキャップ着脱機構123と、をそれぞれ備えている。ポッドオープナ121は、載置台122上に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することによって、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
サブ筐体119内には、移載室124が形成されている。移載室124は、ポッド搬送装置118や回転式ポッド棚105等が設けられた筐体111内の他の空間から気密に隔離されるように構成されている。移載室124内の前側領域(筐体111内の中央部側)には、基板移載機構としてのウエハ移載機構125が設けられている。ウエハ移載機構125は、基板保持体としてのツイーザ125c上にウエハ200を載置して水平方向に移動させる基板移載装置としてのウエハ移載装置125aと、ウエハ移載装置125aを昇降移動させる基板移載装置昇降機構としてのウエハ移載装置エレベータ125bと、を備えている。これら、ウエハ移載装置125aとウエハ移載装置エレベータ125bとの協調動作により、後述する基板保持具としてのボート217にウエハ200を装填(チャージング)し、また、ボート217からウエハ200を取り出す(ディスチャージング)ことが可能なように構成されている。
移載室124内の後側領域(筐体111内の後端部側)には、基板保持具としてのボート217を収容し、待機させる待機部126が構成されている。ボート217の構成については後述する。待機部126の上方には、基板を処理する処理炉202が設けられている。処理炉202の下端部には、処理炉202内と移載室124内とが連通するように開口が設けられている。処理炉202に設けられた開口は、炉口開閉機構としての炉口シャッタ147により開閉されるように構成されている。
図6に示すように、筐体111内には、ボート217を昇降移動させる基板保持具昇降
機構としてのボートエレベータ115が設けられている。ボートエレベータ115の下端部には連結具としてのアーム128が設けられており、アーム128上には蓋体としてのシールキャップ129が水平姿勢で設けられている。シールキャップ129は、ボート217を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115が上昇した時に処理炉202に設けられた開口を閉塞するように構成されている。
機構としてのボートエレベータ115が設けられている。ボートエレベータ115の下端部には連結具としてのアーム128が設けられており、アーム128上には蓋体としてのシールキャップ129が水平姿勢で設けられている。シールキャップ129は、ボート217を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115が上昇した時に処理炉202に設けられた開口を閉塞するように構成されている。
図6に示すように、移載室124内の左側端部には、クリーンユニット134が設けられている。クリーンユニット134は、供給フアンおよび防塵フィルタを備えており、清浄化したガスもしくは不活性ガスであるクリーンエア133を移載室124内に供給するように構成されている。また、図示はしないが、ウエハ移載装置125aとクリーンユニット134との間には、ウエハ200の周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置135が設けられている。クリーンユニット134から移載室124内に供給されたクリーンエア133は、ノッチ合わせ装置135、ウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217の周囲を通過した後に、図示しないダクトにより吸引される。そして、ダクトにより吸引されたガスは、筐体111の外部へと排気されるか、もしくは、クリーンユニット134の吸い込み側である一次側にまで循環されて清浄化された後、再び移載室124内に供給されるように構成されている。
(2−2)基板処理系の動作
次に、本発明の一実施形態にかかる基板処理系100の動作について説明する。
次に、本発明の一実施形態にかかる基板処理系100の動作について説明する。
図6および図7に示すように、ポッド110がロードポート114上に載置されると、フロントシャッタ113が移動してポッド搬入搬出口112が開放される。そして、ポッド搬送装置118により、ロードポート114上のポッド110が、ポッド搬入搬出口112を介して筐体111内へと搬入される。筐体111内へ搬入されたポッド110は、直接に、もしくは、回転式ポッド棚105の棚板117上に載置されて一時的に保管された後に、上下段のうちいずれか一方の載置台122上へと移載される。
この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120は、キャップ着脱機構123によって閉じられている。また、ボートエレベータ115は降下した状態となっており、処理炉202の下端部の開口は炉口シャッタ147により閉塞された状態となっている。また、移載室124内には、クリーンユニット134によりクリーンエア133が供給されている。例えば、クリーンエア133として窒素ガスを移載室124内に供給して充満させることにより、移載室124内の酸素濃度は、例えば20ppm以下と、筐体111内の他の領域よりも遥かに低くなっている。
載置台122上に載置されたポッド110は、そのキャップがウエハ搬入搬出口120の開口縁辺部に押し付けられる。そして、キャップ着脱機構123によってキャップが取り外され、ポッド110のウエハ出し入れ口が開放される。そして、ポッド110内のウエハ200は、ウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってピックアップされ、ウエハ出し入れ口を介して移載室124内に搬入され、ノッチ合わせ装置135によって周方向の向きが整合され、移載室124内の後方にある待機部126へ搬送され、ボート217に装填(チャージング)される。その後、同様の動作が繰り返され、ポッド110内に残っているウエハ200がボート217に装填される。
なお、上述の作業中には、他方の載置台122上には、回転式ポッド棚105から別のポッド110が移載される。そして、キャップ着脱機構123によってキャップが取り外され、ポッド110のウエハ出し入れ口が開放される。
予め指定された枚数のウエハ200がボート217に装填(チャージング)されると、
炉口シャッタ147が水平移動して処理炉202の下端部の開口が開放される。続いて、ボートエレベータ115が上昇して、複数のウエハ200を保持したボート217が処理炉202内へ搬入(ローディング)され、処理炉202の下端部の開口がシールキャップ219によって気密に閉塞される。
炉口シャッタ147が水平移動して処理炉202の下端部の開口が開放される。続いて、ボートエレベータ115が上昇して、複数のウエハ200を保持したボート217が処理炉202内へ搬入(ローディング)され、処理炉202の下端部の開口がシールキャップ219によって気密に閉塞される。
ボート217が処理炉202内へ搬入(ローディング)された後は、処理炉202内にてウエハ200に任意の処理が実施される。かかる処理については後述する。その後、ノッチ合わせ装置135によるウエハ200の周方向の向きの整合工程を除き、上述の手順とはほぼ逆の手順により、処理後のウエハ200を格納したポッド110が筐体111の外部へと搬出される。
(2−3)処理炉の構成
続いて、上述の処理炉202の構成について、図8を用いて説明する。
続いて、上述の処理炉202の構成について、図8を用いて説明する。
図8に示すように、処理炉202は、加熱機構としてのヒータ206を有する。ヒータ206は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース251に支持されることにより垂直に据え付けられている。
ヒータ206の内側には、ヒータ206と同心円状に、反応管としてのプロセスチューブ203が配設されている。プロセスチューブ203は、内部反応管としてのインナーチューブ204と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ205とを備えている。インナーチューブ204は、例えば石英(SiO2)や炭化珪素(SiC)等の耐熱性材料からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ204の内部には処理室201が形成されている。処理室201内には、複数枚のウエハ200を保持するボート217を収容されるように構成されている。アウターチューブ205は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、内径がインナーチューブ204の外径よりも大きく、上端が閉塞し、下端が開口した円筒形状に形成されており、インナーチューブ204に対して同心円状に設けられている。
アウターチューブ205の下方には、アウターチューブ205と同心円状にマニホールド209が設けられている。マニホールド209は、例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド209は、インナーチューブ204の下端部とアウターチューブ205の下端部とにそれぞれ接合されており、これらを支持するように構成されている。なお、マニホールド209とアウターチューブ205との間には、シール部材としてのOリング220aが設けられている。マニホールド209がヒータベース251により支持されることで、プロセスチューブ203は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ203とマニホールド209とにより反応容器が形成される。
基板保持具としてのボート217は、例えば50枚〜125枚程度の複数枚のウエハ200を、それぞれ水平姿勢で、かつ、互いに中心を揃えた状態で垂直方向に整列させて保持するように構成されている。ボート217は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料から構成されている。なお、ボート217の下部には、ヒータ206からマニホールド209側への熱伝導を抑制するように、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての複数枚の断熱板216が、水平姿勢で多段に配置されている。
上述したように、マニホールド209の下方(処理炉202の下方)には、蓋体としてのシールキャップ219が設けられている。シールキャップ219は、ボート217を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115が上昇した時にマニホールド209の下端開口部を気密に閉塞するように構成されている。シールキャップ219は、例
えばステンレス等の金属からなり、円板状に形成されている。シールキャップ219の上面とマニホールド209の下端との間には、シール部材としてのOリング220bが設けられる。シールキャップ219の下面側(処理室201とは反対側)には、ボート217を回転させる回転機構254が設けられている。回転機構254の回転軸255は、シールキャップ219を貫通してボート217の下端部を支持しており、ボート217を回転させることにより、ウエハ200を回転させることが可能なように構成されている。また、上述したように、シールキャップ219は、プロセスチューブ203の下方に設けられた基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ115によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。これにより、ボート217を処理室201内外に搬送することが可能となっている。回転機構254及びボートエレベータ115には、駆動制御部237が電気的に接続されている。回転機構254及びボートエレベータ115は、所望のタイミングにて所望の動作をするように駆動制御部237によって制御される。
えばステンレス等の金属からなり、円板状に形成されている。シールキャップ219の上面とマニホールド209の下端との間には、シール部材としてのOリング220bが設けられる。シールキャップ219の下面側(処理室201とは反対側)には、ボート217を回転させる回転機構254が設けられている。回転機構254の回転軸255は、シールキャップ219を貫通してボート217の下端部を支持しており、ボート217を回転させることにより、ウエハ200を回転させることが可能なように構成されている。また、上述したように、シールキャップ219は、プロセスチューブ203の下方に設けられた基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ115によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。これにより、ボート217を処理室201内外に搬送することが可能となっている。回転機構254及びボートエレベータ115には、駆動制御部237が電気的に接続されている。回転機構254及びボートエレベータ115は、所望のタイミングにて所望の動作をするように駆動制御部237によって制御される。
シールキャップ219には、ガス導入部としてのノズル230が処理室201内に連通するように接続されている。ノズル230の上流側端部には、ガス供給管232が接続されている。ガス供給管232の上流側(ノズル230との接続側と反対側)には、ガス流量制御器としてのMFC(マスフローコントローラ)241を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続されている。MFC241には、ガス流量制御部235が電気的に接続されている。MFC241は、処理室201内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の量となるようにガス流量制御部235によって制御される。
マニホールド209には、処理室201内の雰囲気を排気する排気管231が設けられている。排気管231は、インナーチューブ204とアウターチューブ205との隙間によって形成される筒状空間250の下端部に配置されており、筒状空間250内に連通している。排気管231の下流側(マニホールド209との接続側と反対側)には、圧力検出器としての圧力センサ245および圧力調整装置242を介して、真空ポンプ等の真空排気装置246が接続されている。また、圧力調整装置242および圧力センサ245には、圧力制御部236が電気的に接続されている。そして、真空排気装置246を作動させつつ、圧力センサ245により検出された圧力に基づいて圧力制御部236が圧力調整装置242の動作をフィードバック制御することにより、処理室201内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように構成されている。
プロセスチューブ203内には、温度検出器としての温度センサ263が設けられている。ヒータ206と温度センサ263とには、温度制御部238が電気的に接続されている。温度センサ263により検出された温度情報に基づいて、温度制御部238がヒータ206への通電量をフィードバック制御することにより、処理室201内の温度が所望のタイミングにて所望の温度分布となるように構成されている。
ガス流量制御部235、圧力制御部236、駆動制御部237、温度制御部238は、基板処理装置10全体を制御する主制御部239に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部235、圧力制御部236、駆動制御部237、温度制御部238、及び主制御部239は、基板処理装置用コントローラ240として構成されている。基板処理装置用コントローラ240の構成や動作については、後述する。
(2−4)基板処理工程
続いて、半導体装置の製造工程の一工程として、例えばCVD法によりウエハ200上に薄膜を形成する基板処理工程について説明する。なお、本実施形態にかかる基板処理工程は、上述した基板処理系100を備える基板処理装置10により実施される。また、以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ240により制御される。
続いて、半導体装置の製造工程の一工程として、例えばCVD法によりウエハ200上に薄膜を形成する基板処理工程について説明する。なお、本実施形態にかかる基板処理工程は、上述した基板処理系100を備える基板処理装置10により実施される。また、以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ240により制御される。
まず、ボートエレベータ115を上昇させ、複数枚のウエハ200を保持したボート217を処理室201内に搬入(ボートローディング)する。その結果、マニホールド209の下端は、シールキャップ219により気密に閉塞された状態となる。
続いて、処理室201内が所望の圧力となるように、真空排気装置246によって処理室201内を真空排気する。この際、真空排気装置246を作動させつつ、圧力センサ245により検出された圧力に基づいて圧力制御部236が圧力調整装置242の動作をフィードバック制御する。また、処理室201内が所望の温度分布となるように、ヒータ206によって処理室201内を加熱する。この際、温度センサ263により検出された温度情報に基づいて、温度制御部238がヒータ206への通電量をフィードバック制御する。続いて、回転機構254を作動(回転)させて、ボート217及びウエハ200を回転させる。
次いで、MFC241にて流量を制御しながら、処理ガス供給源からの処理ガスを、ガス供給管232及びノズル230を介して処理室201内へと供給(導入)する。処理室201内に供給された処理ガスは、処理室201内を上昇し、インナーチューブ204の上端開口から筒状空間250に流出して、排気管231から排気される。その結果、処理ガスが処理室201内を通過する際にウエハ200の表面と接触し、熱CVD反応が発生し、ウエハ200の表面上に薄膜が堆積(デポジション)される。
予め設定された処理時間が経過したら、処理室201内への処理ガスの供給を停止する。そして、MFC241にて流量を制御しながら、不活性ガス供給源からの不活性ガスを、ガス供給管232及びノズル230を介して処理室201内へと供給(導入)する。その結果、処理室201内の残留ガスが不活性ガスに置換されるとともに、処理室201内の圧力が常圧に復帰される。
その後、ボートエレベータ115を下降させて、マニホールド209の下端部を開口させるとともに、処理済のウエハ200を保持したボート217を処理室201外に搬出(ボートアンローディング)して、上述の基板処理工程を終了する。その後、処理済のウエハ200をボート217から取り出し(ウエハディスチャージ)、ポッド110へと格納して、筐体111の外部へと搬出する。
(2−5)基板処理装置用コントローラの構成
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置10が備える基板処理装置用コントローラ240のブロック構成について、図2を用いて説明する。
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置10が備える基板処理装置用コントローラ240のブロック構成について、図2を用いて説明する。
前述の通り、基板処理装置用コントローラ240は、基板処理装置10全体を制御する主制御部239と、基板処理系100を制御する各制御部(ガス流量制御部235、圧力制御部236、駆動制御部237、温度制御部238)と、を備えている。主制御部239と各制御部235〜238とは電気的に接続されており、相互にデータ交換が可能なように構成されている。
主制御部239は、中央演算ユニットとしてのCPU239aと、メモリ239bと、CD−ROMやFD等の記録媒体の読み出し機能を有する外部記憶装置239cと、通信用ポート239dと、HDD等の記憶装置239eと、を備えている。これらの各構成部品は、内部バスを通じて相互にデータ交換可能なように構成されている。
通信用ポート239dは、ネットワーク等を介して郡管理装置20に接続されている。これにより、基板処理装置10と郡管理装置20との間におけるデータ交換が可能なよう
に構成されている。
に構成されている。
記憶装置239eには、各種アプリケーションプログラムを格納する実行アプリケーション領域239fが設けられている。実行アプリケーション領域239fに格納される各種アプリケーションプログラムは、記憶装置239eからメモリ239bに読み出され、CPU239aにより実行されて、基板処理装置用コントローラ240に種々の機能を実現するように構成されている。
また、記憶装置239eには、アップデートの対象となる新たなプログラム(アップデート用プログラム)を格納するアップデート準備領域239gが設けられている。アップデート用プログラムは、後述するように、郡管理装置20が備える郡管理装置コントローラ21から基板処理装置用コントローラ240へと送信される。基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介してアップデート用プログラムを受信して、アップデート準備領域239g内に格納するように構成されている。また、基板処理装置用コントローラ240は、後述するアップデート実行プログラム239iが実行された際に、アップデート準備領域239g内に格納されたアップデート用プログラム群を実行アプリケーション領域239f内に上書きコピーするように構成されている。
また、アップデート準備領域239g内には、プログラムのアップデートの予約情報を格納することが可能なように構成されている。後述するように、アップデートの予約情報は、郡管理装置20が備える郡管理装置コントローラ21から基板処理装置用コントローラ240へと送信することが可能なように構成されている。基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介してアップデートの予約情報を受信して、アップデート準備領域239g内に格納することが可能なように構成されている。アップデート準備領域239g内に格納されたアップデートの予約情報は、後述するアップデート実行プログラム239iにより読み出し可能なように構成されている。
また、記憶装置239eには、旧バージョン退避領域239hが設けられている。旧バージョン退避領域239hは、アップデートの直前まで使用されていた旧バージョンの各種アプリケーションプログラムを退避(格納)させるための退避領域として用いられる。すなわち、基板処理装置用コントローラ240は、後述するアップデート実行プログラム239iが実行された際に、実行アプリケーション領域239f内に格納されていた旧バージョンのアップデート用プログラム群を、旧バージョン退避領域239h内にコピーして退避させるように構成されている。
また、記憶装置239eには、実行アプリケーション領域239fに格納されている各種アプリケーションプログラムをアップデートするアップデート実行プログラム239iが格納されている。アップデート実行プログラム239iは、郡管理装置20からのアップデート実行の指示に応じて起動されるように構成されている。アップデートの実行指示は、後述するとおり郡管理装置20から基板処理装置用コントローラ240へと送信される。基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介してアップデート実行の指示を受信し、アップデート実行プログラム239iを記憶装置239eからメモリ239bに読み出して、CPU239aにより実行させるように構成されている。そして、アップデート実行プログラム239iは、基板処理装置用コントローラ240に、各種アプリケーションプログラムをアップデートさせるように構成されている。かかる動作については後述する。
(2−6)操作端末の構成
操作端末240aは、主制御部239に接続されており、保守員が基板処理装置10を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末240aは、タッチパネ
ル240bを備えており、タッチパネル240bには基板処理装置10の状態が表示されると共に、保守員が基板処理装置10に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末240aは、入出力装置としてタッチパネル240bを備えている構成に限らず、入力装置としてのキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
操作端末240aは、主制御部239に接続されており、保守員が基板処理装置10を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末240aは、タッチパネ
ル240bを備えており、タッチパネル240bには基板処理装置10の状態が表示されると共に、保守員が基板処理装置10に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末240aは、入出力装置としてタッチパネル240bを備えている構成に限らず、入力装置としてのキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
(3)郡管理装置の構成
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムが備える郡管理装置20の構成について、図3を用いて説明する。郡管理装置20は、郡管理装置コントローラ21と、操作端末22と、を備えている。
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムが備える郡管理装置20の構成について、図3を用いて説明する。郡管理装置20は、郡管理装置コントローラ21と、操作端末22と、を備えている。
(3−1)郡管理装置コントローラの構成
郡管理装置コントローラ21は、中央演算ユニットとしてのCPU21aと、メモリ21bと、CD−ROMやFD等の記録媒体の読み出し機能を有する外部記憶装置21cと、通信用ポート21dと、HDD等の記憶装置21eと、を備えている。これらの各構成部品は、内部バスを通じて相互にデータ交換可能なように構成されている。
郡管理装置コントローラ21は、中央演算ユニットとしてのCPU21aと、メモリ21bと、CD−ROMやFD等の記録媒体の読み出し機能を有する外部記憶装置21cと、通信用ポート21dと、HDD等の記憶装置21eと、を備えている。これらの各構成部品は、内部バスを通じて相互にデータ交換可能なように構成されている。
通信用ポート21dは、ネットワーク等を介して基板処理装置10が備える基板処理装置用コントローラ240に接続されている。これにより、基板処理装置10と群管理装置20との間におけるデータ交換が可能なように構成されている。
記憶装置21eには、各種アプリケーションプログラムを格納する実行アプリケーション領域21fが設けられている。実行アプリケーション領域21fに格納される各種プログラムは、記憶装置21eからメモリ21bに読み出され、CPU21aにより実行されて、郡管理装置コントローラ21に種々の機能を実現するように構成されている。
また、記憶装置21eには、プログラムのアップデートの予約情報を格納するアップデート予約情報領域21gが設けられている。プログラムのアップデートの予約情報は、保守員による操作端末22の操作に応じてその内容が適宜決定され、メモリ21bに一時的に保持された後、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納されると共に、通信用ポート21dを介して基板処理装置10に送信可能なように構成されている。
また、記憶装置21eには、アップデート対象となる基板処理装置10用の新たなアプリケーションプログラム(アップデート用プログラム)を格納するアップデート用プログラム格納領域21hが設けられる。アップデート用プログラムは、CD−ROM、FD、メモリースティック等の記録媒体に予め格納されており、保守員の操作によって外部記憶装置21cから読み出され、記憶装置21eのアップデート用プログラム格納領域21h内に格納(コピー)されるように構成されている。また、アップデート用プログラム格納領域21h内に格納(コピー)されたアップデート用プログラムは、通信用ポート21dを介して基板処理装置10に送信されるように構成されている。
(3−2)操作端末の構成
操作端末22は、郡管理装置コントローラ21に接続されており、保守員が郡管理装置20を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末22は、タッチパネル22aを備えており、タッチパネル22aには種々のデータ入力待機画面などが表示されると共に、保守員が郡管理装置20に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末22は、入出力装置としてタッチパネル22aを備えている構成に限らず、入力装置としてキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
操作端末22は、郡管理装置コントローラ21に接続されており、保守員が郡管理装置20を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末22は、タッチパネル22aを備えており、タッチパネル22aには種々のデータ入力待機画面などが表示されると共に、保守員が郡管理装置20に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末22は、入出力装置としてタッチパネル22aを備えている構成に限らず、入力装置としてキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
(4)基板処理システムの動作
続いて、上述の基板処理システムの一連の動作について、図9を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、郡管理装置コントローラ21の有する機能は、記憶装置21eに格納された各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置21eに格納された各種アプリケーションプログラムがメモリ21bに読み出され、CPU21aによって実行されることによって、後述する種々の機能が郡管理装置コントローラ21に実現されるように構成されている。また同様に、基板処理装置用コントローラ240の有する機能は、記憶装置239eに格納されたアップデート実行プログラム239i及び各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置239eに格納されたアップデート実行プログラム239i及び各種アプリケーションプログラムがメモリ239bに読み出され、CPU239aによって実行されることによって、後述する種々の機能が基板処理装置用コントローラ240に実現されるように構成されている。
続いて、上述の基板処理システムの一連の動作について、図9を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、郡管理装置コントローラ21の有する機能は、記憶装置21eに格納された各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置21eに格納された各種アプリケーションプログラムがメモリ21bに読み出され、CPU21aによって実行されることによって、後述する種々の機能が郡管理装置コントローラ21に実現されるように構成されている。また同様に、基板処理装置用コントローラ240の有する機能は、記憶装置239eに格納されたアップデート実行プログラム239i及び各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置239eに格納されたアップデート実行プログラム239i及び各種アプリケーションプログラムがメモリ239bに読み出され、CPU239aによって実行されることによって、後述する種々の機能が基板処理装置用コントローラ240に実現されるように構成されている。
(4−1)アップデート実行条件の登録工程(S1)
まず、アップデート実行条件を示すプログラムのアップデートの予約情報を、郡管理装置コントローラ21に対して入力する。具体的には、郡管理装置コントローラ21が、操作端末22のタッチパネル22aに、プログラムアップデートの実行条件に関する入力待機画面を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル22aを操作して、例えば、「n回生産処理が終了したときにプログラムアップデートする」旨や、「即時アップデートする」旨を、プログラムのアップデートの予約情報として入力する。保守員により入力されたアップデートの予約情報は、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納される。
まず、アップデート実行条件を示すプログラムのアップデートの予約情報を、郡管理装置コントローラ21に対して入力する。具体的には、郡管理装置コントローラ21が、操作端末22のタッチパネル22aに、プログラムアップデートの実行条件に関する入力待機画面を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル22aを操作して、例えば、「n回生産処理が終了したときにプログラムアップデートする」旨や、「即時アップデートする」旨を、プログラムのアップデートの予約情報として入力する。保守員により入力されたアップデートの予約情報は、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納される。
(4−2)アップデートプログラムの事前コピー工程(S2)
次いで、郡管理装置コントローラ21は、操作端末22のタッチパネル22aに、アップデートの対象となる新たなプログラムの選択画面(アップデート用プログラムの選択画面)を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル22aを操作して、アップデート対象となるプログラムの種別やそのバージョンなどを選択する。アップデート対象となるプログラムが選択されたら(すなわち、アップデート用プログラムを特定する情報が入力されたら)、郡管理装置コントローラ21は、外部記憶装置21cを用いてCD−ROMやFD等の記録媒体から選択されたプログラム(特定されたアップデート用プログラム)を読み出し、記憶装置21eのアップデート用プログラム格納領域21h内に格納(コピー)して、通信用ポート21dを介して基板処理装置10に送信する。送信されたアップデート用プログラムは、基板処理装置用コントローラ240によって受信され、記憶装置239eのアップデート準備領域239g内に格納される。
次いで、郡管理装置コントローラ21は、操作端末22のタッチパネル22aに、アップデートの対象となる新たなプログラムの選択画面(アップデート用プログラムの選択画面)を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル22aを操作して、アップデート対象となるプログラムの種別やそのバージョンなどを選択する。アップデート対象となるプログラムが選択されたら(すなわち、アップデート用プログラムを特定する情報が入力されたら)、郡管理装置コントローラ21は、外部記憶装置21cを用いてCD−ROMやFD等の記録媒体から選択されたプログラム(特定されたアップデート用プログラム)を読み出し、記憶装置21eのアップデート用プログラム格納領域21h内に格納(コピー)して、通信用ポート21dを介して基板処理装置10に送信する。送信されたアップデート用プログラムは、基板処理装置用コントローラ240によって受信され、記憶装置239eのアップデート準備領域239g内に格納される。
(4−3)アップデート条件の判定工程(S3)
その後、郡管理装置コントローラ21は、アップデート予約情報領域21gに格納されたアップデートの予約情報に基づいて、判定処理を実施する。具体的には、入力された予約情報が、例えば「n回生産処理が終了したときにプログラムをアップデートする」であれば、郡管理装置コントローラ21は、郡管理装置コントローラ21が備える生産処理回数カウンタを初期化して(カウンタ値をゼロにして)、後述する稼動状態の監視工程(S4)を実施する。また、入力されたアップデートの予約情報が、例えば「即時アップデートする」であれば、稼動状態の監視工程(S4)を実行せずに、後述のアップデート実行プログラムの起動工程(S5)を即座に実施する。
その後、郡管理装置コントローラ21は、アップデート予約情報領域21gに格納されたアップデートの予約情報に基づいて、判定処理を実施する。具体的には、入力された予約情報が、例えば「n回生産処理が終了したときにプログラムをアップデートする」であれば、郡管理装置コントローラ21は、郡管理装置コントローラ21が備える生産処理回数カウンタを初期化して(カウンタ値をゼロにして)、後述する稼動状態の監視工程(S4)を実施する。また、入力されたアップデートの予約情報が、例えば「即時アップデートする」であれば、稼動状態の監視工程(S4)を実行せずに、後述のアップデート実行プログラムの起動工程(S5)を即座に実施する。
(4−4)稼動状態の監視工程(S4)
生産処理回数カウンタを初期化した郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して基板処理装置10の稼動状態(生産処理の開始、生産処理の終了など)を監視
する。かかる監視は、郡管理装置20から基板処理装置10に対して定期的に問い合わせメッセージを送信し、郡管理装置20が基板処理装置10からの応答メッセージを受信することにより行っても良いし、基板処理装置10から自発的に送信される処理終了メッセージ(トラップ)を郡管理装置20が受信することにより行っても良い。そして、基板処理装置10の生産処理の終了を検出したら、生産処理回数カウンタの値を更新するとともに、現在の生産処理回数カウンタの値と、予約情報にて指定された生産処理回数(すなわち上述の“n”)とを比較する。そして、生産処理回数カウンタが、予約情報にて指定された生産処理回数(n)以上であった場合には、後述するアップデート実行プログラムの起動工程(S5)を実施する。一方、生産処理回数カウンタが予約情報にて指定された生産処理回数(n)未満であった場合には、稼動状態の監視工程(S4)を継続する。
生産処理回数カウンタを初期化した郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して基板処理装置10の稼動状態(生産処理の開始、生産処理の終了など)を監視
する。かかる監視は、郡管理装置20から基板処理装置10に対して定期的に問い合わせメッセージを送信し、郡管理装置20が基板処理装置10からの応答メッセージを受信することにより行っても良いし、基板処理装置10から自発的に送信される処理終了メッセージ(トラップ)を郡管理装置20が受信することにより行っても良い。そして、基板処理装置10の生産処理の終了を検出したら、生産処理回数カウンタの値を更新するとともに、現在の生産処理回数カウンタの値と、予約情報にて指定された生産処理回数(すなわち上述の“n”)とを比較する。そして、生産処理回数カウンタが、予約情報にて指定された生産処理回数(n)以上であった場合には、後述するアップデート実行プログラムの起動工程(S5)を実施する。一方、生産処理回数カウンタが予約情報にて指定された生産処理回数(n)未満であった場合には、稼動状態の監視工程(S4)を継続する。
(4−5)アップデート実行プログラムの起動工程(S5)
入力されたアップデートの予約情報が「即時アップデートする」であった場合、または生産処理回数カウンタの値が予約情報にて指定された生産処理回数(n)以上となった場合には、郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して、基板処理装置10に対してアップデート実行の指示を送信する。そして、基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介してアップデート実行の指示を受信し、アップデート実行プログラム239iを記憶装置239eからメモリ239bに読み出して、CPU239aに実行させる。
入力されたアップデートの予約情報が「即時アップデートする」であった場合、または生産処理回数カウンタの値が予約情報にて指定された生産処理回数(n)以上となった場合には、郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して、基板処理装置10に対してアップデート実行の指示を送信する。そして、基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介してアップデート実行の指示を受信し、アップデート実行プログラム239iを記憶装置239eからメモリ239bに読み出して、CPU239aに実行させる。
(4−6)全アプリケーションプログラムの停止工程(S6)
その後、基板処理装置用コントローラ240は、アップデートの対象である実行中のアプリケーションプログラム(旧アプリケーションプログラム)を停止させる。但し、このとき、アップデート実行プログラム239iは停止させない。
その後、基板処理装置用コントローラ240は、アップデートの対象である実行中のアプリケーションプログラム(旧アプリケーションプログラム)を停止させる。但し、このとき、アップデート実行プログラム239iは停止させない。
(4−7)旧アプリケーションプログラムの退避工程(S7)
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eの実行アプリケーション領域239f内に格納されている全てのアプリケーションプログラムを、旧バージョン退避領域239h内にコピー(退避)させる。
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eの実行アプリケーション領域239f内に格納されている全てのアプリケーションプログラムを、旧バージョン退避領域239h内にコピー(退避)させる。
(4−8)新プログラムの上書き工程(S8)
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eのアップデート準備領域239g内に格納されているアップデート用プログラムを実行アプリケーション領域239f内に上書きコピーする。
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eのアップデート準備領域239g内に格納されているアップデート用プログラムを実行アプリケーション領域239f内に上書きコピーする。
(4−9)全アプリケーションプログラムの再起動工程(S9)
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eの実行アプリケーション領域239f内に格納されているアップデート用プログラムを起動させる。
その後、基板処理装置用コントローラ240は、記憶装置239eの実行アプリケーション領域239f内に格納されているアップデート用プログラムを起動させる。
(4−10)アップデート実行プログラムの終了工程(S10)
アップデート用プログラムの起動が成功したら、基板処理装置用コントローラ240は、アップデート実行プログラム239iを終了させる。なお、アプリケーションプログラム(すなわちアップデート用プログラム)の再起動が失敗した場合には、基板処理装置用コントローラ240は、旧バージョン退避領域239h内に退避してある全てのアプリケーションプログラム(旧アプリケーションプログラムを含む)を実行アプリケーション領域239f内に上書きコピーし、これらのアプリケーションプログラムを起動させ、基板処理装置10を復旧させてもよい。
アップデート用プログラムの起動が成功したら、基板処理装置用コントローラ240は、アップデート実行プログラム239iを終了させる。なお、アプリケーションプログラム(すなわちアップデート用プログラム)の再起動が失敗した場合には、基板処理装置用コントローラ240は、旧バージョン退避領域239h内に退避してある全てのアプリケーションプログラム(旧アプリケーションプログラムを含む)を実行アプリケーション領域239f内に上書きコピーし、これらのアプリケーションプログラムを起動させ、基板処理装置10を復旧させてもよい。
(5)本発明の一実施形態による効果
本発明の一実施形態によれば、保守員が基板処理装置10の稼動計画を確認することな
く、郡管理装置20から基板処理装置10に対するプログラムのアップデートの予約作業を行うだけで、基板処理装置10のプログラムのアップデートを自動で実施することが可能となる。
本発明の一実施形態によれば、保守員が基板処理装置10の稼動計画を確認することな
く、郡管理装置20から基板処理装置10に対するプログラムのアップデートの予約作業を行うだけで、基板処理装置10のプログラムのアップデートを自動で実施することが可能となる。
以下に、本発明の実施例1について説明する。本実施例にかかる郡管理装置コントローラ21は、操作端末22のタッチパネル22aに、図4(a)に示すプログラムアップデートの予約画面23を表示するように構成されている。
そして、保守員が「アップデート実行条件」入力欄23aにタッチすることにより、図4(b)に示すアップデート実行条件入力画面24が、タッチパネル22aに表示されるように構成されている。そして、保守員が「n回生産処理終了時」ボタン24aにタッチすることにより、数値入力用キーボード24bがタッチパネル22aに表示されるように構成されている。そして、保守員が、入力用キーボード24bの任意の数値キーにタッチすることにより、上記の“n”の値を指定(入力)することが可能なように構成されている。また、保守員が「即時実行」ボタン24cにタッチすることにより、基板処理装置10の状態によらず、実行プログラムのアップデート作業を即時実施するような実行条件が指定(入力)されるように構成されている。
また、保守員が「アップデート用プログラム」入力欄23bにタッチすることにより、図4(c)に示すアップデート用プログラム入力画面25が、タッチパネル22aに表示されるように構成されている。そして、保守員が、アップデート用プログラム入力画面25に表示された複数のバージョン群からいずれか1つのバージョンを選択して、さらに、「設定」ボタン25bにタッチすることにより、アップデート用プログラムのバージョンが指定(入力)されるように構成されている。
実施例1によれば、保守員が基板処理装置10の稼動計画を確認することなく、タッチパネル22aから基板処理装置10に対するプログラムアップデートの予約作業を行うだけで、自動でアップデートすることが可能となる。
続いて、本発明の実施例2について説明する。本実施例にかかる郡管理装置コントローラ21は、操作端末22のタッチパネル22aに、図5(a)に示すプログラムアップデートの予約画面26を表示させるように構成されている。
アップデート用プログラムの種類は、例えば基板処理装置10の種類に応じて異なる場合がある。そのため、本実施例では、保守員が「No」選択欄26aにタッチすることにより、アップデート用プログラムの種類を指定(入力)することが可能なように構成されている。アップデート用プログラムの種類の指定(入力)は、プログラムの種類ごとに割り当てられた番号(例えば1〜10)を用いて簡易に行うことが可能なように構成されている。
そして、保守員が「アップデート用プログラム」選択欄26bにタッチすることにより、各アップデート用プログラムのバージョンを指定(入力)することが可能なように構成されている。
そして、保守員が「アップデート用実行条件」選択欄26cにタッチすることにより、各アップデート用プログラムの実行条件(例えば「n回生産処理終了時」や「即時実行」などの条件)を指定(入力)することが可能なように構成されている。
そして、保守員が「アップデート対象装置」選択欄26dにタッチすることにより、アップデートする基板処理装置10を指定(入力)することが可能なように構成されている。なお、基板処理装置10の指定(入力)は、図5(b)に示すアップデート対象装置選択画面26hを用いて簡易に行うことが可能なように構成されている。また、図5(b)に示すように、同時に複数の基板処理装置10を指定(入力)することが可能なように構成されている。
半導体製造工場によっては、数十台から数百台の半導体製造装置が設置されている場合がある。仮に基板処理装置10が100台あるとして、各基板処理装置10に対して1台づつプログラムのアップデートの予約を行うこととすると、1台あたりの予約作業時間が10分として、合計17時間も必要となってしまう。これに対して本実施例によれば、同時に複数の基板処理装置10に対してプログラムアップデートの予約を行うことが可能となるため、保守員の負担が大幅に軽減される。
続いて、本発明の実施例3について図10を参照しながら説明する。図10は、本発明の実施例3にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、現在実施している生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに、即時にプログラムをアップデートすることが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
具体的には、アップデート実行条件の登録工程(S1)において、保守員は、タッチパネル22aを操作して、「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にプログラムをアップデートする」旨を、プログラムのアップデートの予約情報として入力する。保守員により入力されたアップデートの予約情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納される。
そして、郡管理装置コントローラ21は、アップデートプログラムの事前コピー工程(S2)を実施した後、アップデート条件の判定工程(S3)を実施して、アップデート予約情報領域21gに格納されたアップデートの予約情報が、「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にアップデートする」旨を示していれば、郡管理装置コントローラ21は、以下に示す稼動状態の監視工程(S4’)を実施する。
稼動状態の監視工程(S4’)において、郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して基板処理装置10の稼動状態(生産処理が終了したか否か)を監視する。なお、現在行われている生産処理が終了したら、郡管理装置コントローラ21は生産予約の有無の判定工程(S4a)を即座に実施する。なお、本実施例では、郡管理装置コントローラ21は生産処理回数カウンタの値を更新しないない。
生産予約の有無の判定工程(S4a)において、郡管理装置コントローラ21は、次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置10から収集し、次の生産予約がない場合にはプログラムをアップデートし、次の生産予約がある場合には次の生産予約が無くなるまで待つ。
具体的には、郡管理装置コントローラ21は、基板処理装置用コントローラ240に、通信用ポート21dを介して応答要求メッセージを送信する。基板処理装置用コントローラ240は、通信用ポート239dを介して応答要求メッセージを受信し、記憶装置239eに予め記録されている生産計画を読み出す。そして、基板処理装置用コントローラ240は、「次の生産計画の予約がある」旨あるいは「次の生産計画の予約がない」旨を示す応答メッセージを作成し、かかる応答メッセージを通信用ポート239dを介して郡管
理装置コントローラ21に送信する。郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート39dを介して応答メッセージを受信し、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がない」旨を示していれば、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートし、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がある」旨を示していれば、稼動状態の監視工程(S4)を繰り返し実施することにより次の生産予約が無くなるまで待つ。
理装置コントローラ21に送信する。郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート39dを介して応答メッセージを受信し、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がない」旨を示していれば、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートし、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がある」旨を示していれば、稼動状態の監視工程(S4)を繰り返し実施することにより次の生産予約が無くなるまで待つ。
一般に、基板処理装置10のプログラムの再起動は短時間で終わる場合も多く、次の生産処理が開始されるまでの空時間に実行できる場合が多い。そのような場合、n回の生産処理の終了を待たずに、プログラムをアップデートする方が有効な場合がある。本実施例によれば、現在の生産処理の終了時であって次の生産予約のないときには、n回の生産処理の終了を待たずして即時にプログラムをアップデートすることが可能となる。
続いて、本発明の実施例4について図11を参照しながら説明する。図11は、本発明の実施例2にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、n回の生産処理の終了時であって次の生産予約がないときにプログラムをアップデートするように構成されている点が、上述の実施例と異なる。また、本実施例にかかる基板処理システムは、たとえ次の生産予約がある場合であっても、プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先することが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
具体的には、アップデート実行条件の登録工程(S1)において、保守員は、タッチパネル22aを操作して、「n回の生産処理の終了時にプログラムをアップデートする」旨を示す情報、および「プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先するか否か」を示す優先度情報を、プログラムのアップデートの予約情報としてそれぞれ入力する。保守員により入力されたこれらの予約情報は、上述の実施例と同様に記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納される。
そして、郡管理装置コントローラ21は、アップデートプログラムの事前コピー工程(S2)を実施した後、アップデート条件の判定工程(S3)を実施する。すなわち、アップデート予約情報領域21gに格納されたアップデートの予約情報が「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にアップデートする」旨を示していれば、郡管理装置コントローラ21は、郡管理装置コントローラ21が備える生産処理回数カウンタを初期化する(カウンタ値をゼロにする)とともに、アップデート実行状態フラグを初期化して(アップデート実行状態フラグの値を“未実行状態”にして)、後述する稼動状態の監視工程(S4)を実施する。
本実施例にかかる稼動状態の監視工程(S4)では、板処理装置10の稼動状態(生産処理の開始、生産処理の終了など)を監視するとともに、生産処理回数カウンタ値及びアップデート実行状態フラグの値を操作する。すなわち、生産処理回数カウンタ及びアップデート実行状態フラグを初期化した郡管理装置コントローラ21は、通信用ポート21dを介して基板処理装置10の稼動状態を監視する。そして、生産処理終了を検出したら、アップデート実行状態フラグの判定を行う。そして、アップデート実行状態フラグの値が“未実行状態”であれば、生産処理回数カウンタの値を更新するとともに、現在の生産処理回数カウンタの値と、予約情報にて指定された生産処理回数(すなわち上述の“n”)とを比較する。そして、生産処理回数カウンタの値が、予約情報にて指定された生産処理回数(n)以上であった場合には、後述する生産予約の有無の判定工程(S4a)を実施する。また、アップデート実行状態フラグの値が“中断状態”であれば、アップデート実行状態フラグの値を“未実行”に書き換えた後に、後述する生産予約の有無の判定工程(S4a)を実施する。
生産予約の有無の判定工程(S4a)において、郡管理装置コントローラ21は、上述の実施例と同様に次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置10から収集し、次の生産予約がない場合には上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートする。ただし、次の生産予約がある場合には、上述の実施例とは異なり、以下に示す優先度判定工程(S4d)を実施する。
優先度判定工程(S4d)において、郡管理装置コントローラ21は、処理の優先度を判断する。すなわち、郡管理装置コントローラ21は、プログラムのアップデートと次の生産処理とのいずれを優先すべきであるかを判断する。具体的には、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納されている優先度情報を読み出して、かかる優先度情報が「プログラムのアップデートを優先すべき」旨を示している場合には、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートし、かかる優先度情報が「生産処理を優先すべき」旨を示している場合には、アップデート実行状態フラグの値を“中断”に書き換えて、稼動状態の監視工程(S4)を繰り返し実施することにより次の生産予約が無くなるまで待つ。
ブログラムのアップデートは、その目的により、稼動計画(次の生産処理の予約の有無)よりも優先的に実施されるべき場合がある。例えば、基板処理装置の損傷防止や発火防止を図るためのアップデート作業は、一般に、稼動計画よりも優先されるべきである。一方で、基板処理装置10への新規機能追加や軽微なバグ対処を目的とするアップデート作業は、稼動計画(生産処理)よりも後回しにされるべき場合もある。本実施例によれば、プログラムのアップデート作業の優先度をプログラムごとに設定し、設定した優先度に応じて、プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先することが可能となる。
続いて、本発明の実施例5について図12及び図13を参照しながら説明する。図12は、本発明の実施例5にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、(a)は同時に複数の基板処理装置に対してプログラムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、(b)は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。また、図13は、本発明の実施例5にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、「アップデートの予定日」及び「アップデートの予定日における生産予約の有無」をプログラムのアップデートの予約情報として入力することが可能なように構成されている点が、上述の実施例とは異なる。
具体的には、本実施例にかかる郡管理装置コントローラ21は、操作端末22のタッチパネル22aに、図12(a)に示すプログラムアップデートの予約画面27を表示するように構成されている。そして、保守員が、「アップデート用実行条件」選択欄26cにタッチすることにより、予約情報として「アップデートの予定日(年月日)」を入力することが出来るように構成されている。また、保守員が、「基板処理の予約」選択欄27jにタッチすることにより、予約情報として「アップデートの予定日における生産予約の有無」を入力することが出来るように構成されている。
本実施例のフローを図13に示す。まず、アップデート実行条件の登録工程(S1)において、保守員は、タッチパネル22aを操作して、「アップデートの予定日」、および「アップデートの予定日における生産予約の有無」をプログラムのアップデートの予約情報としてそれぞれ入力する。なお、生産処理の予定の有無について入力がない場合には、デフォルト値として、生産処理の予定“無”とすることも可能である。保守員により入力されたこれらの情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置21eのアップデート予約情報
領域21g内に格納される。
領域21g内に格納される。
そして、郡管理装置コントローラ21は、アップデートプログラムの事前コピー工程(S2)を実施した後、アップデート条件の判定工程(S3)を実施し、アップデート予約情報領域21gに格納されたアップデートの予約情報がアップデートの予定日を示していれば、実施例3に示した稼動状態の監視工程(S4’)を実施する。
生産処理が終了したら、郡管理装置コントローラ21は、日付判定工程(S4d)を実施する。すなわち、日付判定工程(S4d)を実施する日とアップデートの予定日とが一致するか否かを比較する。そして、これらが一致する場合には、生産予約の有無の判定工程(S4a)を実施する。また、日付判定工程(S4d)を実施する日がアップデートの予定日よりも前であった場合には、稼動状態の監視工程(S4’)を繰り返し実施することにより、アップデートの予定日が到来するまで待つ。
生産予約の有無の判定工程(S4a)において、郡管理装置コントローラ21は、次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置10から収集し、次の生産予約がない場合にのみ、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートする。また、アップデートの予定日に生産予約がある場合には、アップデートを中止する。
本実施例によれば、「アップデートの予定日」を予約情報として用いることから、例えばアップデートを稼動計画のない休日等に実行するような場合に予約作業が容易になる。また、「アップデートの予定日における生産予約の有無」を併せて予約情報として用いることから、例外的に休日に稼動を行う場合にかんする予約作業も容易になる。なお、上記においては、予約情報として、アップデートの予定日を年月日形式で入力することとしたが、かかる場合に限らず、年月日にさらに時間を加えた情報を入力してもよい。
続いて、本発明の実施例6について説明する。本実施例にかかる基板処理システムは、基板処理装置10に対する停止操作を実行する前に、停止操作よりもプログラムのアップデートを優先することが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
まず、上述の実施例と同様に、アップデート実行条件の登録工程(S1)が実施される。具体的には、保守員は、タッチパネル22aを操作して、プログラムのアップデートの予約情報として、プログラムのアップデートを基板処理装置10に対する停止操作よりも優先的に実施するか否かを示す優先度情報を入力する。保守員により入力されたこれらの情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置21eのアップデート予約情報領域21g内に格納される。そして、上述の実施例と同様に、郡管理装置コントローラ21により、アップデートプログラムの事前コピー工程(S2)が実施される。
そして、基板処理装置10に対する停止操作の有無を監視する停止操作の監視工程(S110)が実施される。具体的には、保守員がタッチパネル240bを操作して基板処理装置10を停止させるコマンドを入力した際に、基板処理装置用コントローラ240が、「停止操作が実施されようとしている」旨を示す通知メッセージを作成し、通信用ポート239dを介して群管理装置20へと送信する。群管理コントローラ21は、通信用ポート39dを介して通知メッセージを受信して、後述する優先度判定処理工程(S120)を実施する。
優先度判定処理工程(S120)において、群管理コントローラ21は、「プログラムのアップデート」と「基板処理装置10に対する停止操作」とのいずれを優先すべきであるかを判断する。具体的には、群管理コントローラ21は、記憶装置21eのアップデー
ト予約情報領域21g内に格納されている優先度情報を読み出し、かかる優先度情報が「プログラムのアップデートを優先すべき」旨を示している場合には、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートし、基板処理装置10の停止工程(S140)を実施する。また、かかる優先度情報が「基板処理装置10に対する停止操作を優先すべき」旨を示している場合には、群管理コントローラ21は、アップデートすることなく、基板処理装置10の停止工程を実行(140)する。
ト予約情報領域21g内に格納されている優先度情報を読み出し、かかる優先度情報が「プログラムのアップデートを優先すべき」旨を示している場合には、上述のS5〜S10の工程を実施してプログラムをアップデートし、基板処理装置10の停止工程(S140)を実施する。また、かかる優先度情報が「基板処理装置10に対する停止操作を優先すべき」旨を示している場合には、群管理コントローラ21は、アップデートすることなく、基板処理装置10の停止工程を実行(140)する。
本実施例によれば、基板処理装置10を停止する前に、基板処理装置10の停止操作よりもプログラムのアップデートを優先することが可能となる。なお、本実施例においては、プログラムのアップデートを停止操作よりも優先するか否かを示す優先度情報を、アップデート実行条件の登録工程(S1)にて保守員が予め入力する場合を例にとって説明したが、本発明は上述の形態に限定されない。すなわち、通知メッセージを受信した群管理コントローラ21が、タッチパネル22aにその旨を表示して、保守員に優先度情報の入力を促す(すなわちアップデートと停止操作とのいずれを優先すべきかを問い合わせる)ように構成されていてもよい。
続いて、本発明の実施例8について説明する。本実施例にかかる基板処理システムは、上述のアップデート実行条件の登録工程(S1)及びアップデートプログラムの事前コピー工程(S2)を実施した後、アップデート実行プログラムの起動工程(S5)から新プログラムの上書き工程(S8)を即座に実施し、アプリケーションプログラムの再起動工程(S9)の実施を一時的に保留することが可能なように構成されている点が、上述の実施例とは異なる。具体的には、郡管理装置コントローラ21は、新プログラムの上書き工程(S8)の実施を完了させた後、アプリケーションプログラムの再起動工程(S9)の実施に関する許可の入力を求める画面(例えば「再起動しますか?」という問い合わせ画面)をタッチパネル22aに表示させるように構成されている。そして、郡管理装置コントローラ21は、アプリケーションプログラムの再起動工程(S9)を実施する旨の入力があるまでは、アプリケーションプログラムの再起動工程(S9)の実施を一時的に保留するように構成されている。
本実施例によれば、基板処理工程の実施中に新プログラムの上書き工程(S8)までを予め済ませておくことで、次の生産処理の予約を優先させる運用が可能となる。従って、当初の生産計画では予定していなかった新たな生産処理を急きょ実施する必要が生じた場合にも対応が可能となる。又、保守員が誤ってアップロードを実行した場合にも、アップロードのキャンセルすることも可能である。
<本発明の好ましい態様>
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
第1の態様は、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも1台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
第2の態様は、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予
約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
第3の態様は、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
第4の態様は、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも1台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
第5の態様は、基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
第6の態様は、基板を処理する基板処理装置であって、前記基板処理装置と接続される郡管理装置により、前記基板処理装置の稼動状態が監視され、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングが把握され、前記タイミングに達したら前記プログラムがアップデートされる基板処理装置である。
第7の態様は、少なくとも1台以上の基板処理装置に接続される郡管理装置であって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする群管理装置である。
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする群管理装置である。
<他の実施の形態>
なお、上記では基板処理装置の一例として半導体製造装置を示しているが、半導体製造装置に限らず、LCD装置のようなガラス基板を処理する装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばCDV、PVD、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。
なお、上記では基板処理装置の一例として半導体製造装置を示しているが、半導体製造装置に限らず、LCD装置のようなガラス基板を処理する装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばCDV、PVD、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。
10 基板処理装置
20 郡管理装置
21 郡管理装置コントローラ
22 操作端末
100 基板処理系
240 基板処理装置用コントローラ
240a 操作端末
20 郡管理装置
21 郡管理装置コントローラ
22 操作端末
100 基板処理系
240 基板処理装置用コントローラ
240a 操作端末
Claims (5)
- 基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システム。 - 基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システム。 - 基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システム。 - 基板を処理する基板処理装置と、少なくとも1台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、
前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システム。 - 基板を処理する少なくとも1台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、
前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラ
ムをアップデートする基板処理システム。
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