JP5445006B2 - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、
前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする。
ここで、前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されてもよい。
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には処理に許容される許容処理時間が決められ、
前記制御部は、優先基板の許容処理時間を取得し、実際の処理時間が前記許容処理時間に近くなるように、優先処理ユニットの台数に対応させて記憶した優先基板の推定処理時間に基づいて優先処理ユニットに割り振る処理ユニットの数を決定することを特徴とする。
上記基板処理装置は、以下の特徴を備えていてもよい。
(a)前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されること。
(b)前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部を有し、優先基板には前記優先度が割り当てられ、前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更すること。
以上に説明したFOUP載置部11、搬送部12、受け渡し部13は、本実施の形態の基板搬入ブロックを構成している。
さらには、上述の液処理装置1においては、各々10台の液処理ユニット2を備える液処理ブロック14a、14bが上下に2段積み重ねられた例を用いて説明したが、各液処理ブロック14a、14bに設けられる液処理ユニット2の台数、液処理ブロック14a、14bの数を適宜増減してもよいことは勿論である。
WP 優先ウエハ
1 液処理装置
11 FOUP載置部
12 搬送部
121 搬入出アーム
13 受け渡し部
14a、14b
液処理ブロック
141a、141b
プロセスアーム
2 液処理ユニット
2P 優先処理ユニット
5 制御部
Claims (5)
- 基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、
前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする基板処理装置。 - 前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 基板を収納した複数の基板搬送容器を載置可能な容器載置部と、この容器載置部に載置された基板搬送容器に対して基板の受け渡しを行う受け渡し機構と、を含む基板搬入ブロックと、
この基板搬入ブロックから搬入された基板に対して同種の処理を行うため複数の処理ユニットと、前記基板搬入ブロックと各処理ユニットとの間で基板を搬送する基板搬送部とを含む処理ブロックと、
他の基板よりも処理を優先する優先基板が基板搬送容器により前記容器載置部に搬送されたときに、前記複数の処理ユニットの一部が割り振られた優先処理ユニットのうち、次の基板の搬入が可能になった優先処理ユニットに、他の基板に優先して優先基板を搬入して処理を行うと共に、前記優先処理ユニット以外の処理ユニットでは、前記他の基板を搬入して処理を並行して行うように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記優先処理ユニットの割り振りは、前記容器載置部に優先基板を含む基板搬送容器が載置された後に行われ、
優先基板には処理に許容される許容処理時間が決められ、
前記制御部は、優先基板の許容処理時間を取得し、実際の処理時間が前記許容処理時間に近くなるように、優先処理ユニットの台数に対応させて記憶した優先基板の推定処理時間に基づいて優先処理ユニットに割り振る処理ユニットの数を決定することを特徴とする基板処理装置。 - 前記優先処理ユニットの数は、優先基板の枚数に応じて変更されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記優先基板の処理の優先度と優先処理ユニットの数とを対応付けるためのデータを記憶する記憶部を有し、
優先基板には前記優先度が割り当てられ、
前記制御部は、基板搬送容器内の優先基板の優先度に応じて優先処理ユニットの数を変更することを特徴とする請求項3または4に記載の基板処理装置。
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