JP2011082276A5 - - Google Patents

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次に各液処理ユニット2への薬液の供給機構について説明すると、ノズルアーム24に設けられたノズルは上面側供給ライン47に接続されており、この上面側供給ライン47はIPA供給ライン411と薬液供給中間ライン44とに分岐している。IPA供給ライン411はIPA供給部31に接続されており、このIPA供給部31は高い揮発性を利用してウエハWを乾燥させるためのIPAをウエハWの上面側に供給する役割を果たす。IPA供給ライン411にはマスフローコントローラ42が介設されており、所定量のIPAをノズルアーム24に供給することができる。
本実施の形態において、既述のロット情報取得部53においては、例えば全ての優先ロットについて優先ウエハWPの枚数に関する情報が取得される一方、優先度や許容処理時間に関する情報は入力側の必要に応じていずれか一方の情報を取得することができるようになっている。また記憶部52には、例えば割り振り台数設定テーブル522や優先度設定テーブル523、処理時間推定テーブル524が記憶されている。そして優先度、許容処理時間のいずれの情報も取得しなかった場合、または優先度に関する情報を取得した場合には、割り振り台数設定テーブル522及び優先度設定テーブル523を用いて優先処理ユニット2Pに割り振る処理ユニット2の台数が決定される。一方、許容処理時間に関する情報を取得した場合には、処理時間推定テーブル524を用いて優先処理ユニット2Pに割り振る台数を決定するようになっている。
図6は、割り振り台数設定テーブル522、優先度設定テーブル523及びこれらのテーブル522、523を用いて優先処理ユニット2Pへの割り振り台数を決定する手法を示した説明図である。割り振り台数設定テーブル522には、優先ロットのFOUP6内に収納された優先ウエハWPの枚数に応じて選択される優先処理ユニット2Pの基準の割り振り台数が記憶されている。本例に係る割り振り台数設定テーブル522では、優先ウエハWPが1枚〜9枚のときには優先ウエハWPと同数の優先処理ユニットPが割り振られ、優先ウエハWPが10枚以上のときには10台の優先処理ユニットPが割り振られるようになっている。
次にロット情報取得部5にて取得した許容処理時間に基づいて優先処理ユニット2Pの割り振り台数を決定する手法について図7を参照しながら説明する。図7は、処理時間推定テーブル524の一例を示しており、表の左右方向の列は優先処理ユニット2Pの割り振り台数を表しており、上下方向の行は優先ウエハWPの枚数が記載されている。そしてこれら各行と列とが交差するセル内には、その優先処理ユニット2Pの割り振り台数にて対象枚数の優先ウエハWPを処理したときに、要する概略の推定処理時間が記憶されている。例えば、4枚の優先ウエハWPを3台の優先処理ユニット2Pを用いて液処理を行った場合には、処理を終えるまでの概略の推定処理時間は「T0403」であることが分かる。
ここで図8に示した模式図において図8に向かって上から2行のカラム(FOUP載置部11に接続した状態で示してある)が下段側の液処理ブロック14b内の液処理ユニット2(1〜10)を示し、その下の2行のカラムが上段側の液処理ブロック14b内の液処理ユニット2(11〜20)を示している。また当図では、搬送部12や受け渡し部13、プロセスアーム141a、141bなどの記載は省略してある。当該模式図の構成については、後述する図10〜図24においても同様である。
以上に説明した構成を備えた液処理装置1の作用について説明する。液処理装置1にて処理を開始すると、搬入出アーム121はFOUP載置11に載置されたFOUP6からウエハWを取り出し、第1の受け渡し棚133内にウエハWを載置する。昇降搬送機構134は、当該第1の受け渡し棚133からウエハWを取り出して、各液処理ブロック14a、14bに対応する第2の受け渡し棚131a、131bにウエハWを順次載置する。
液処理を終えたウエハWは搬入時とは逆の経路で第2の受け渡し棚131a、131b、昇降搬送機構134、第1の受け渡し棚133、搬入出アーム121へと受け渡され、FOUP載置11のFOUP6内に格納される。
図9のフロー図に示すように、液処理装置1の稼動を開始すると(スタート)、通常のスケジュールに基づいてFOUP載置部11に載置されたFOUP6からウエハWを搬出し、各ウエハWについての液処理を実行する。本例に係る液処理装置1では、例えば図10(a)に示すように、FOUP載置11に1番目のFOUP6(A)が載置されると、ここから1番目のウエハW(A-1)が取り出され、例えば下段側の液処理ブロック14bの前方側から見て左手、最奥位置の液処理ユニット2(1)に搬入されて液処理が開始される。
このほか上述の例では、ウエハWの枚数や優先度、許容処理時間に応じて優先処理ユニット2Pに割り振る例について説明したが、優先処理ユニット2Pの台数や位置は変更しなくてもよい。例えば図に示した下段側の10台の液処理ユニット2(1〜10)については、優先ロットが搬送されてきた場合には常に優先処理ユニット2Pに割り振るように固定してもよい。
さらには、上述の液処理装置1においては、各々10台の液処理ユニット2を備える液処理ブロック14a、14bが上下に2段積み重ねられた例を用いて説明したが、各液処理ブロック14a、14bに設けられる液処理ユニット2の台数、液処理ブロック14a、14bの数を適宜増減してもよいことは勿論である。
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