JP2011082276A5

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Publication number: JP2011082276A5
Application number: JP2009231969A
Authority: JP
Filing date: 2009-10-05
Publication date: 2012-02-23
Anticipated expiration: 2029-10-05

Description

次に各液処理ユニット２への薬液の供給機構について説明すると、ノズルアーム２４に設けられたノズルは上面側供給ライン４７に接続されており、この上面側供給ライン４７はＩＰＡ供給ライン４１１と薬液供給中間ライン４４とに分岐している。ＩＰＡ供給ライン４１１はＩＰＡ供給部３１に接続されており、このＩＰＡ供給部３１は高い揮発性を利用してウエハＷを乾燥させるためのＩＰＡをウエハＷの上面側に供給する役割を果たす。ＩＰＡ供給ライン４１１にはマスフローコントローラ４２が介設されており、所定量のＩＰＡをノズルアーム２４に供給することができる。

本実施の形態において、既述のロット情報取得部５３においては、例えば全ての優先ロットについて優先ウエハＷＰの枚数に関する情報が取得される一方、優先度や許容処理時間に関する情報は入力側の必要に応じていずれか一方の情報を取得することができるようになっている。また記憶部５２には、例えば割り振り台数設定テーブル５２２や優先度設定テーブル５２３、処理時間推定テーブル５２４が記憶されている。そして優先度、許容処理時間のいずれの情報も取得しなかった場合、または優先度に関する情報を取得した場合には、割り振り台数設定テーブル５２２及び優先度設定テーブル５２３を用いて優先処理ユニット２Ｐに割り振る処理ユニット２の台数が決定される。一方、許容処理時間に関する情報を取得した場合には、処理時間推定テーブル５２４を用いて優先処理ユニット２Ｐに割り振る台数を決定するようになっている。

図６は、割り振り台数設定テーブル５２２、優先度設定テーブル５２３及びこれらのテーブル５２２、５２３を用いて優先処理ユニット２Ｐへの割り振り台数を決定する手法を示した説明図である。割り振り台数設定テーブル５２２には、優先ロットのＦＯＵＰ６内に収納された優先ウエハＷＰの枚数に応じて選択される優先処理ユニット２Ｐの基準の割り振り台数が記憶されている。本例に係る割り振り台数設定テーブル５２２では、優先ウエハＷＰが１枚〜９枚のときには優先ウエハＷＰと同数の優先処理ユニット２Ｐが割り振られ、優先ウエハＷＰが１０枚以上のときには１０台の優先処理ユニット２Ｐが割り振られるようになっている。

次にロット情報取得部５３にて取得した許容処理時間に基づいて優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を決定する手法について図７を参照しながら説明する。図７は、処理時間推定テーブル５２４の一例を示しており、表の左右方向の列は優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数を表しており、上下方向の行は優先ウエハＷＰの枚数が記載されている。そしてこれら各行と列とが交差するセル内には、その優先処理ユニット２Ｐの割り振り台数にて対象枚数の優先ウエハＷＰを処理したときに、要する概略の推定処理時間が記憶されている。例えば、４枚の優先ウエハＷＰを３台の優先処理ユニット２Ｐを用いて液処理を行った場合には、処理を終えるまでの概略の推定処理時間は「Ｔ_０４０３」であることが分かる。

ここで図８に示した模式図において図８に向かって上から２行のカラム（ＦＯＵＰ載置部１１に接続した状態で示してある）が下段側の液処理ブロック１４ｂ内の液処理ユニット２（１〜１０）を示し、その下の２行のカラムが上段側の液処理ブロック１４ｂ内の液処理ユニット２（１１〜２０）を示している。また当図では、搬送部１２や受け渡し部１３、プロセスアーム１４１ａ、１４１ｂなどの記載は省略してある。当該模式図の構成については、後述する図１０〜図２４においても同様である。

以上に説明した構成を備えた液処理装置１の作用について説明する。液処理装置１にて処理を開始すると、搬入出アーム１２１はＦＯＵＰ載置部１１に載置されたＦＯＵＰ６からウエハＷを取り出し、第１の受け渡し棚１３３内にウエハＷを載置する。昇降搬送機構１３４は、当該第１の受け渡し棚１３３からウエハＷを取り出して、各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに対応する第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂにウエハＷを順次載置する。

液処理を終えたウエハＷは搬入時とは逆の経路で第２の受け渡し棚１３１ａ、１３１ｂ、昇降搬送機構１３４、第１の受け渡し棚１３３、搬入出アーム１２１へと受け渡され、ＦＯＵＰ載置部１１のＦＯＵＰ６内に格納される。

図９のフロー図に示すように、液処理装置１の稼動を開始すると（スタート）、通常のスケジュールに基づいてＦＯＵＰ載置部１１に載置されたＦＯＵＰ６からウエハＷを搬出し、各ウエハＷについての液処理を実行する。本例に係る液処理装置１では、例えば図１０（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ載置部１１に１番目のＦＯＵＰ６（Ａ）が載置されると、ここから１番目のウエハＷ（Ａ-１）が取り出され、例えば下段側の液処理ブロック１４ｂの前方側から見て左手、最奥位置の液処理ユニット２（１）に搬入されて液処理が開始される。

このほか上述の例では、ウエハＷの枚数や優先度、許容処理時間に応じて優先処理ユニット２Ｐに割り振る例について説明したが、優先処理ユニット２Ｐの台数や位置は変更しなくてもよい。例えば図８に示した下段側の１０台の液処理ユニット２（１〜１０）については、優先ロットが搬送されてきた場合には常に優先処理ユニット２Ｐに割り振るように固定してもよい。
さらには、上述の液処理装置１においては、各々１０台の液処理ユニット２を備える液処理ブロック１４ａ、１４ｂが上下に２段積み重ねられた例を用いて説明したが、各液処理ブロック１４ａ、１４ｂに設けられる液処理ユニット２の台数、液処理ブロック１４ａ、１４ｂの数を適宜増減してもよいことは勿論である。