JP5821689B2 - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
複数の基板を収納するための搬送容器を載置するための載置台と、
基板の処理を行うための複数の処理モジュールと、
前記載置台と前記処理モジュールとの間で基板を搬送するための基板搬送機構と、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する選択部と、
動作確認用の複数のコントロールジョブを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定するジョブ設定部と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の複数のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する回数設定部と、
前記選択部から動作確認モードが選択され、前記複数のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断し、実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行する制御部と、を備えたことを特徴とする。
また、他の発明に係る基板処理装置は、複数の基板に対して処理を行う基板処理装置において、
複数の基板を収納するための搬送容器を載置するための載置台と、
基板の処理を行うための複数の処理モジュールと、
前記載置台と前記処理モジュールとの間で基板を搬送するための基板搬送機構と、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する選択部と、
動作確認用の第1のコントロールジョブと第2のコントロールジョブとを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定するジョブ設定部と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の第1、第2のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する回数設定部と、
前記選択部から動作確認モードが選択され、前記第1、第2のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断し、実行可能な場合は、前記一のコントロールジョブと順番が一つ後のコントロールジョブとを並列に実行し、前記一のコントロールジョブのレシピが終了しない間に、並列で実行されている前記順番が一つ後のコントロールジョブが終了する場合は、前記終了していない一のコントロールジョブのレシピと、前記終了していない一のコントロールジョブと種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断する制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記他の発明に係る基板処理装置において、前記制御部は、前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行可能な場合には、前記一のコントロールジョブと並列に実行してもよい。また、前記順番が一つ後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行してもよい。
(a)前記制御部は、前記回数設定部に設定された実行回数を、前記動作確認運転の実行中に変更することができること。
(b)前記ジョブ設定部は、コントロールジョブに複数のプロセスジョブを設定することができること。
(c)前記制御部は、一のコントロールジョブと、この一のコントロールジョブに対して順番が一つ後のコントロールジョブ(他の発明に係る基板処理装置の場合は、前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブも含む)とにおいて、レシピ上の搬送経路に重複が生じないか否かによって、これらのコントロールジョブを並列で実行することが可能かどうかを判断すること。
(d)前記制御部は、実行している前記動作確認運転を途中で止めることができること。
(e)前記制御部は、前記動作確認運転のコントロールジョブの実行中に、製品となる基板を処理するための実運転用のコントロールジョブを割り込ませることができること。
モード選択部31は、洗浄装置1の運転操作部18を介して、ユーザーや検収担当者などから指示を受け付け、洗浄装置1が実行する運転モードを処理モードと動作確認モードとに切り替える。
上記(1)の機能に関し、まず、ユーザーが運転操作部18を操作して、モード選択部31にて動作確認モードを選択する。次に、ユーザーが運転操作部18を操作して、CJの情報を設定する。具体的には、ジョブ設定部32が当該CJの個別番号であるIDを自動で付与し(ユーザーなどからIDの付与を受け付けてもよい)、ユーザーが行ったそのCJが実行されるFOUP1〜4の選択を受け付ける。
動作確認モードでは、FOUP1〜4からウエハWを取り出し、搬送スケジュールに従って各洗浄モジュール2にウエハWを搬送し、元のFOUP1〜4に戻す搬送動作のみを行い、実際のスクラブ洗浄は行わない場合や、ウエハWの搬送及びスクラブ洗浄の双方を実行する場合などの様々なPJの設定をすることができる。
1 洗浄装置
2 洗浄モジュール
3 制御部
31 モード選択部
32 ジョブ設定部
33 CJ回数設定部
Claims (21)
- 複数の基板に対して処理を行う基板処理装置において、
複数の基板を収納するための搬送容器を載置するための載置台と、
基板の処理を行うための複数の処理モジュールと、
前記載置台と前記処理モジュールとの間で基板を搬送するための基板搬送機構と、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する選択部と、
動作確認用の複数のコントロールジョブを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定するジョブ設定部と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の複数のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する回数設定部と、
前記選択部から動作確認モードが選択され、前記複数のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断し、実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行する制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 複数の基板に対して処理を行う基板処理装置において、
複数の基板を収納するための搬送容器を載置するための載置台と、
基板の処理を行うための複数の処理モジュールと、
前記載置台と前記処理モジュールとの間で基板を搬送するための基板搬送機構と、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する選択部と、
動作確認用の第1のコントロールジョブと第2のコントロールジョブとを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定するジョブ設定部と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の第1、第2のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する回数設定部と、
前記選択部から動作確認モードが選択され、前記第1、第2のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断し、実行可能な場合は、前記一のコントロールジョブと順番が一つ後のコントロールジョブとを並列に実行し、前記一のコントロールジョブのレシピが終了しない間に、並列で実行されている前記順番が一つ後のコントロールジョブが終了する場合は、前記終了していない一のコントロールジョブのレシピと、前記終了していない一のコントロールジョブと種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断する制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行可能な場合には、前記一のコントロールジョブと並列に実行することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記順番が一つ後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行することを特徴とする請求項2または3に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記回数設定部に設定された実行回数を、前記動作確認運転の実行中に変更することができることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記ジョブ設定部は、コントロールジョブに複数のプロセスジョブを設定することができることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、一のコントロールジョブと、この一のコントロールジョブに対して順番が一つ後のコントロールジョブとにおいて、レシピ上の搬送経路に重複が生じないか否かによって、これらのコントロールジョブを並列で実行することが可能かどうかを判断することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、一のコントロールジョブと、この一のコントロールジョブに対して順番が一つ後のコントロールジョブ、または前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブとにおいて、レシピ上の搬送経路に重複が生じないか否かによって、これらのコントロールジョブを並列で実行することが可能かどうかを判断することを特徴とする請求項2ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、実行している前記動作確認運転を途中で止めることができることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記動作確認運転のコントロールジョブの実行中に、製品となる基板を処理するための実運転用のコントロールジョブを割り込ませることができることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 複数の基板を収納するための搬送容器を載置台に載置し、基板搬送機構により当該搬送容器から基板を取り出して、複数の処理モジュールのいずれかに搬送して処理を行い、処理後の基板を元の搬送容器に戻す基板処理方法において、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する工程と、
動作確認用の複数のコントロールジョブを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定する工程と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の複数のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する工程と、
動作確認モードが選択され、前記複数のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと、順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断する工程と、
実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行する工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 複数の基板を収納するための搬送容器を載置台に載置し、基板搬送機構により当該搬送容器から基板を取り出して、複数の処理モジュールのいずれかに搬送して処理を行い、処理後の基板を元の搬送容器に戻す基板処理方法において、
少なくとも基板搬送機構または処理モジュールの動作確認運転を行うための動作確認モードを選択する工程と、
動作確認用の第1のコントロールジョブと第2のコントロールジョブとを設定すると共に、これらコントロールジョブ毎に、前記搬送容器と当該搬送容器のスロットの位置とで特定される基板に対して実行するレシピを入力してプロセスジョブを設定する工程と、
前記搬送容器を交換することなく当該搬送容器内に収納されている基板を繰り返し用いて、前記動作確認用の第1、第2のコントロールジョブを、予め指定された順番でかつ周期的に実行する際に、全てのコントロールジョブの合計の実行回数を設定する工程と、
動作確認モードが選択され、前記第1、第2のコントロールジョブを実行する際に、一のコントロールジョブのレシピと、順番が一つ後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断する工程と、
実行可能な場合は、前記一のコントロールジョブと順番が一つ後のコントロールジョブとを並列に実行する工程と、
前記一のコントロールジョブのレシピが終了しない間に、並列で実行されている前記順番が一つ後のコントロールジョブが終了する場合は、前記終了していない一のコントロールジョブのレシピと、前記終了していない一のコントロールジョブと種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピとが並列で実行可能か判断する工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行可能な場合には、前記一のコントロールジョブと並列に実行する工程を含むことを特徴とする請求項12に記載の基板処理方法。
- 前記順番が一つ後のコントロールジョブのレシピが、前記一のコントロールジョブのレシピと並列で実行することが可能でない場合には、前記一のコントロールジョブの最終基板が搬送容器に収納された後、引き続いて前記順番が一つ後のコントロールジョブを実行する工程を含むことを特徴とする請求項12または13に記載の基板処理方法。
- 前記動作確認用のコントロールジョブの実行回数は、前記動作確認運転の実行中に変更することができることを特徴とする請求項11ないし14のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 前記コントロールジョブには、複数のプロセスジョブを設定することができることを特徴とする請求項11ないし15のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 前記一のコントロールジョブと、この一のコントロールジョブに対して順番が一つ後のコントロールジョブとは、レシピ上の搬送経路に重複が生じないか否かによって並列で実行することが可能かどうか判断されることを特徴とする請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記一のコントロールジョブと、この一のコントロールジョブに対して順番が一つ後のコントロールジョブ、または前記種別が異なり、かつ順番が後のコントロールジョブとは、レシピ上の搬送経路に重複が生じないか否かによって並列で実行することが可能かどうか判断されることを特徴とする請求項12ないし14のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 前記動作確認運転は、実行している途中で止めることができることを特徴とする請求項11ないし18のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 前記動作確認運転のコントロールジョブの実行中に、製品となる基板を処理するための実運転用のコントロールジョブを割り込ませることができることを特徴とする請求項11ないし19のいずれか一つに記載の基板処理方法。
- 複数の基板を収納するための搬送容器を載置台に載置し、基板搬送機構により当該搬送容器から基板を取り出して、複数の処理モジュールのいずれかに搬送して処理を行い、処理後の基板を元の搬送容器に戻す基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項11ないし20のいずれか一つに記載された基板処理方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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