JP5552265B2 - 基板処理装置の制御方法及び記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、基板処理装置の制御方法及び記憶媒体に関し、特に、ロット単位で基板を処理する基板処理装置の制御方法に関する。

複数のウエハを処理する基板処理装置は、枚葉でウエハを処理する処理室としてのプロセスモジュール（以下、「ＰＭ」という。）を複数備え、それぞれ所定枚数のウエハを収容する複数の容器、例えば、複数のＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）からウエハが枚葉で基板処理装置に投入される。

通常、基板処理装置における各処理は所定の作業単位で制御される。例えば、基板処理装置における所定の作業単位としては、各ウエハに施される同一内容の処理からなる処理群（ロット）に相当する作業単位であるプロセスジョブ（以下、「ＰＪ」という。）と、１つのＦＯＵＰに格納される複数のウエハに施される処理群に相当し、且つ複数のＰＪからなる作業単位群であるコントロールジョブ（以下、「ＣＪ」という。）とが用いられる。

図５は、ＣＪ及びＰＪを説明するための図である。

図５において、例えば、ＰＪ４−３は３枚のウエハに施される処理群に相当する作業単位であり、ＰＪ６−３は１枚のウエハに施される処理に相当する作業単位である。また、ＣＪ−４及びＣＪ−６はそれぞれ１つのＦＯＵＰ１００に含まれるウエハに施される処理群に相当する。各ＣＪは複数のＰＪを含み、各ＰＪには搬送先（搬送経路）としての各ＰＭ、実行される処理のレシピ及び当該ＰＪに属するウエハのＦＯＵＰにおけるスロット番号が設定されている。各ＰＪは当該ＰＪに属するウエハのＦＯＵＰにおけるスロット番号によって区別されるため、各ＣＪは同じＰＪを含むことがない。

各ＰＪに関しては、属するウエハに施される処理内容（以下、「レシピ」という。）や該レシピを実行可能なＰＭ等が予め定義され、基板処理装置は定義された実行可能なＰＭ（以下、単に「実行可能ＰＭ」という。）に基づいてＰＭを選択する。基板処理装置では、或るＣＪが複数のＰＪを含み、各該ＰＪに関して複数の実行可能ＰＭが定義されている場合、作業効率を向上するために、複数のＰＪを単一のＰＭで実行することなく、複数のＰＭで手分けして実行する（ＯＲ搬送）（例えば、特許文献１参照。）。

また、複数のＦＯＵＰからウエハが基板処理装置に投入される場合、各ＰＭにおいて、より作業効率を向上するために、属するＣＪに関係なく各ＰＪを順次実行する。その結果、或るＰＭにおいて、或るＣＪに属する２つのＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されることがある。

通常、同じＣＪに属する各ＰＪのレシピ同士は似ているか又は関連があるが、属するＣＪが異なると各ＰＪのレシピは大幅に異なり、相互の関連性がほとんど無い。ここで、或るＰＭにおいて、或るＣＪに属するＰＪの実行後に他のＣＪに属するＰＪが実行されると、ＰＭ内の雰囲気が先に実行されたＰＪの影響を受けて後に実行されるＰＪにとって理想的な状態にならず、後に実行されるＰＪにおいて所望の処理結果が得られないことがある。そこで、後に実行されるＰＪの前にダミーウエハを用いたシーズニング処理やクリーニング処理を実行してＰＭ内の雰囲気を強制的に後に実行されるＰＪにとって理想的な状態へ変更するために、図５に示すように、各ＦＯＵＰ１００において各ＰＪの間にダミーウエハ１０１が配置される。

特開２００３−３３２４０５号公報（段落[００３３]）

しかしながら、同じＣＪに属する複数のＰＪを連続的に実行して所望の形状を形成する場合（例えば、複数積層された膜を数回のエッチング工程によって加工してビアホールを形成する場合）、加工精度を向上するために、先に実行されたＰＪによって作られたＰＭ内の雰囲気をそのまま後に実行されるＰＪにおいて利用することが所望される。このとき、同じＣＪに属する２つのＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されると、先に実行されたＰＪによって作られたＰＭ内の雰囲気を後に実行されるＰＪにおいてそのまま利用することができず、所望の加工精度を得ることができない。

すなわち、作業効率を優先し過ぎると、先に実行されたＰＪによって作られたＰＭ内の雰囲気を後に実行するＰＪにおいて柔軟に利用することができず、加工において不便を招くという問題がある。

本発明の目的は、所定の処理室において、先に実行された処理作業単位によって作られた雰囲気を後に実行する処理作業単位において柔軟に利用することができる基板処理装置の制御方法及び記憶媒体を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の制御方法は、複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法であって、前記第１の処理作業単位群に属する処理作業単位が前記第２の処理作業単位群に属する処理作業単位よりも先に実行された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする。

上記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の制御方法は、複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法であって、前記第１の処理作業単位群が前記第２の処理作業単位群よりも先に作成された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の前記処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする。

本発明によれば、第１の処理作業単位群に属する処理作業単位が第２の処理作業単位群に属する処理作業単位よりも先に実行された場合において、第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な処理作業単位を有さないときに、第１の処理作業単位群に属する全ての処理作業単位の実行が終了していなくても、第２の処理作業単位群に属する当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位の実行が許可される。したがって、第１の処理作業単位群が当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位を有するときは、当該処理作業単位が、第２の処理作業単位群に属する当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位よりも優先的に実行される。これにより、当該所定の処理室において、第１の処理作業単位群に属する複数の処理作業単位の実行の間に、第２の処理作業単位群に属する処理作業単位が実行されることがない。その結果、処理作業単位を実行する度に所定の処理室内の雰囲気が大幅に変化するのを防止することができ、もって、所定の処理室において、先に実行された処理作業単位によって作られた処理室内の雰囲気を後に実行する処理作業単位において柔軟に利用することができる。

本発明によれば、第１の処理作業単位群が前記第２の処理作業単位群よりも先に作成された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、第２の処理作業単位群に属する当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位の実行が許可される。したがって、第１の処理作業単位群が当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位を有するときは、当該処理作業単位が、第２の処理作業単位群に属する当該所定の処理室において実行可能な処理作業単位よりも優先的に実行される。これにより、当該所定の処理室において、第１の処理作業単位群に属する複数の処理作業単位の実行の間に、第２の処理作業単位群に属する処理作業単位が実行されることがない。その結果、処理作業単位を実行する度に所定の処理室内の雰囲気が大幅に変化するのを防止することができ、もって、所定の処理室において、先に実行された処理作業単位によって作られた処理室内の雰囲気を後に実行する処理作業単位において柔軟に利用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る制御方法が適用される基板処理装置の構成を概略的に示す平面図である。 従来の優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。 本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。 本発明の第２の実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。 ＣＪ及びＰＪを説明するための図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

まず、本発明の第１の実施の形態に係る制御方法が適用される基板処理装置について説明する。この基板処理装置は基板としての半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という。）にプラズマを用いたドライエッチング処理等を施すことによってウエハＷ上に積層された各種層に所望の形状、例えば、ビアホールを形成する。

図１は、本実施の形態に係る制御方法が適用される基板処理装置の構成を概略的に示す平面図である。

図１において、基板処理装置１０は、平面視六角形のトランスファモジュール（以下、「ＴＭ」という。）１１と、該ＴＭ１１の一側面に接続する２つのＰＭ１２、１３（処理室）と、該２つのＰＭ１２、１３に対向するようにＴＭ１１の他側面に接続する２つのＰＭ１４、１５（処理室）と、ＰＭ１３に隣接し且つＴＭ１１に接続するＰＭ１６（処理室）と、ＰＭ１５に隣接し且つＴＭ１１に接続するＰＭ１７（処理室）と、矩形状の搬送室としてのローダーモジュール（以下、「ＬＭ」という。）１８と、ＴＭ１１及びＬＭ１８の間に配置されてこれらを連結する２つのロード・ロックモジュール（以下、「ＬＭＭ」という。）１９、２０とを備える。

ＴＭ１１はその内部に配置された屈伸及び旋回自在な搬送アーム２１を有し、該搬送アーム２１は、ＰＭ１２〜１７やＬＭＭ１９、２０の間においてウエハＷを搬送する。

各ＰＭ１２〜１７はウエハＷを内部に収容し、該内部において処理ガスが励起されて発生したプラズマを用いてウエハＷにプラズマ処理、例えば、ドライエッチング処理を施す。

ＴＭ１１、ＰＭ１２〜１７の内部は減圧状態に維持され、ＴＭ１１と、ＰＭ１２〜１７のそれぞれとは真空ゲートバルブを介して接続される。

基板処理装置１０では、ＬＭ１８の内部圧力が大気圧に維持される一方、ＴＭ１１の内部圧力は真空に維持される。そのため、各ＬＭＭ１９、２０は、それぞれＴＭ１１との連結部に真空ゲートバルブを備えると共に、ＬＭ１８との連結部に大気ドアバルブを備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。

ＬＭ１８には、ＬＭＭ１９、２０の他、例えば２５枚のウエハＷを収容するＦＯＵＰ（フープ）２２が載置される、例えば、３つのフープ載置台２３と、フープ２２から搬出されたウエハＷの位置をプリアライメントするオリエンタ２４とが接続されている。

ＬＭＭ１９、２０は、ＬＭ１８の長手方向に沿う側壁に接続されると共にＬＭ１８を挟んで３つのフープ載置台２３と対向するように配置され、オリエンタ２４はＬＭ１８の長手方向に関する一端に配置される。

ＬＭ１８は、内部に配置された、ウエハＷを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム２５と、各フープ載置台２３に対応するように側壁に配置されたウエハＷの投入口としての３つのロードポート２６とを有する。搬送アーム２５は、フープ載置台２３に載置されたフープ２２からウエハＷをロードポート２６経由で取り出し、該取り出したウエハＷをＬＭＭ１９、２０やオリエンタ２４へ搬出入する。

基板処理装置１０は、ＬＭ１８の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションパネル２７を備える。オペレーションパネル２７は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部を有し、該表示部は基板処理装置１０の各構成要素の動作状況を表示する。また、基板処理装置１０はコントローラ（図示しない）を備え、該コントローラは基板処理装置１０の各構成要素の動作を制御する。

コントローラは基板処理装置１０に投入された各ウエハＷの処理をプロセスジョブ（ＰＪ）（処理作業単位）やコントロールジョブ（ＣＪ）（処理作業単位群）で管理する。ＰＪやＣＪはユーザによってオペレーションパネル２７において作成されるか、外部のＰＣ等からダウンロードされてコントローラのメモリ等に格納される。各ＣＪは、当該ＣＪに属する各ウエハＷのフープ２２におけるスロット番号、当該ＣＪに属する各ＰＪのＩＤ番号、各ＰＪを実行可能なＰＭの名称（又はＩＤ番号）、及び各ＰＪの実行に要する時間（以下、「処理時間」という。）を有する。

下記表１〜３はＣＪ及びＰＪの具体例を示す。ＣＪ−１〜ＣＪ−３のそれぞれでは、各ＰＪにおいて１枚のウエハＷに処理が施される。ここで、各ＰＪにはタイトルとして識別子ＰＪＩＤが設定される。各ＰＪのＰＪＩＤが同じであれば、当該各ＰＪで実行される処理のレシピが同じであることを意味するが、上述したように、各ＰＪは当該ＰＪに属するウエハのＦＯＵＰにおけるスロット番号によって区別されるため、各ＰＪのＰＪＩＤが同じであっても各ＰＪは他のＰＪと異なると認識される。

本実施の形態では、ＣＪ−１は９つのＰＪ（ＰＪＩＤがＰＪ１−１〜ＰＪ１−９）を有Ｊ−２は５つのＰＪ（ＰＪＩＤが全てＰＪ２−１）を有し、ＣＪ−３は１２個のＰＪ（ＰＪＩＤが全てＰＪ３−１）を有する。

また、ＣＪ−１の各ＰＪは１つのＰＭでしか実行できないのに対し、ＣＪ−２の各ＰＪは２つのＰＭ（ＰＭ１３，ＰＭ１４）で実行可能であり、ＣＪ−３の各ＰＪは３つのＰＭ（ＰＭ１２，ＰＭ１３，ＰＭ１４）で実行可能である。なお、ＣＪ−１からＣＪ−３はこの順に作成されている。

従来、コントローラが各ＣＪに基づいて各ＰＪを実行する際、各ＰＭにおいて以下の優先順位(ルール)に従って各ＰＭで各ＰＪを実行する。
（１） 本ＰＭ又は他のＰＭで実行中のＰＪ（アクティブなＰＪ）と同じＰＪ（なお、実行中のＰＪが複数種存在するときは最先に実行された（最先にアクティブになった）ＰＪ）
（２） アクティブなＰＪを有するＣＪ（アクティブなＣＪ）に属する他の本ＰＭで実行可能なＰＪ（アクティブなＣＪが複数存在するときは最先に作成されたＣＪに属する他の本ＰＭで実行可能なＰＪ）
（３） アクティブとなっていないＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ（アクティブとなっていないＣＪが複数存在するときは最先に作成されたＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ）
図２は、従来の優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。図２において、横軸は時間を示し、矩形で表現される各ＰＪの横の長さは当該ＰＪの処理時間を示す。

図２において、最初はアクティブなＣＪが存在しないので、ＰＭ１２では、ルール（３）及びルール（２）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−１、ＰＪ１−４、ＰＪ１−７が順に実行される。その後（時間Ｔ１）には、ＰＭ１２で実行可能なＣＪ−１のＰＪが存在しないため、ルール（３）に従ってＣＪ−３のＰＪ３−１が実行され、その後、ルール（１）に従って複数のＰＪ３−１が実行される。

ＰＭ１３では、まず、ルール（３）及びルール（２）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−２、ＰＪ１−５が順に実行されるが、ＰＪ１−５の終了後（時間Ｔ２）、ＣＪ−３のＰＪ３−１がＰＭ１２で既に実行されているので、ルール（１）に従ってＰＪ１−８よりもＰＪ３−１が優先的に実行され、続けてルール（１）に従って複数のＰＪ３−１が実行される。その後（時間Ｔ３）、ルール（２）に従ってＰＪ１−８が実行され、次いで、時間Ｔ４において、ルール（３）に従ってＰＪ２−１が実行される。なお、ＰＭ１４については説明を省略する。

上述したように、従来のルールの優先順位に基づいて各ＰＪを実行する場合、ＰＭ１３ではＣＪ−１のＰＪ１−５及びＰＪ１−８の実行の間にＣＪ−３のＰＪ３−１が実行される。このとき、もし、ＰＪ１−８において、ＰＪ１−５の実行によって作られたＰＭ１３内の雰囲気をそのまま利用することを予定していた場合、ＰＪ１−８の実行によって得られる処理結果（例えば、ビアホールのプロファイル）が所望の結果となり得ない。

本実施の形態では、これに対応して、或るＣＪに属する複数のＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されるのを防止する。

以下は、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位である。コントローラは各ＣＪに基づいて各ＰＪを実行する際、各ＰＭにおいて以下の優先順位（ルール）に従って各ＰＭで各ＰＪを実行する。
（１−１）本ＰＭ又は他のＰＭで実行中のＰＪ（アクティブなＰＪ）を有するＣＪ（アクティブなＣＪ）（仕掛かり処理作業単位群）に属する本ＰＭで実行可能なＰＪ（アクティブなＣＪが複数存在する場合には、最先にアクティブになったＣＪ（属するＰＪが本ＰＭ又は他のＰＭで最先に実行されたＣＪ）（先行処理作業単位群）に属する本ＰＭで実行可能なＰＪ）
（１−２）本ＰＭ及び他のＰＭで実行されていないＰＪ（未実行ＰＪ）を有するＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ（未実行ＰＪを有するＣＪよりも先にアクティブとなったＣＪが少なくとも１つ存在する場合には、最先にアクティブになったＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ、又は、先にアクティブとなったＣＪが存在しない場合には、最先に作成されたＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ）
図３は、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。図３においても、横軸は時間を示し、矩形で表現される各ＰＪの横の長さは当該ＰＪの処理時間を示す。

図３において、最初はアクティブなＣＪが存在しないので、ＰＭ１２では、ルール（１−２）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−１が実行され、次いで、ルール（１−１）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−４、ＰＪ１−７が順に実行される。その後（時間Ｔ１−１）には、ＰＭ１２で実行可能なＣＪ−１のＰＪが存在せず、且つＣＪ−２はＰＭ１２で実行可能なＰＪを有していないので、ルール（１−２）に従ってＣＪ−３のＰＪ３−１が実行され、その後、ルール（１−１）に従って複数のＰＪ３−１が実行される。

ＰＭ１３では、最初にＣＪ−１のみがアクティブになっているので、ルール（１−１）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−２、ＰＪ１−５、ＰＪ１−８が順に実行される。ここで、ＰＪ１−５の終了時点（時間Ｔ１−２）で、ＣＪ−３がアクティブになっているが、ＣＪ−３よりもＣＪ−１が先にアクティブになっているため、ルール（１−１）に従い、ＣＪ−１のＰＪ１−８がＣＪ−３のＰＪ３−１よりも優先的に実行される。

そして、ＰＪ１−８の実行後（時間Ｔ１−３）には、ＰＭ１３で実行可能なＣＪ−１のＰＪが存在せず、且つＣＪ−２はアクティブになっていないので、ルール（１−１）に従い、ＣＪ−３のＰＪ３−１が実行される。その後（時間Ｔ１−４）、ＰＭ１３で実行可能なＰＪ３−１が存在しなくなると、ルール（１−２）に従ってＣＪ−２のＰＪ２−１が実行される。なお、ＰＭ１４については説明を省略する。

上述したように、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて各ＰＪを実行する場合、ＰＭ１３ではＣＪ−１のＰＪ１−５及びＰＪ１−８の実行の間にＣＪ−３のＰＪ３−１が実行されることがない。

すなわち、本実施の形態に係る制御方法によれば、ルール（１−１）や同（１−２）に示すように、或るＰＭにおいて先にアクティブになったＣＪが当該ＰＭで実行可能なＰＪを有するときは、当該ＰＪが、他のＣＪに属する当該ＰＭで実行可能なＰＪよりも優先的に実行される。換言すれば、或るＰＭにおいて先にアクティブになったＣＪ（先に実行された処理作業単位が属する処理作業単位群）が当該ＰＭにおいて実行可能なＰＪを有さないときに、始めて他のＣＪに属する当該ＰＭにおいて実行可能なＰＪの実行が許可される（処理作業単位実行許可ステップ）ので、或るＣＪに属する複数のＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されることがない。その結果、ＰＪを実行する度に当該ＰＭ内の雰囲気が大幅に変化するのを防止することができ、もって、当該ＰＭにおいて、先に実行されたＰＪによって作られたＰＭ内の雰囲気を後に実行するＰＪにおいて柔軟に利用することができる。

上述した本実施の形態に係る制御方法では、アクティブになったＣＪが有する、当該ＰＭにおいて実行可能なＰＪの実行が優先的に許可される。すなわち、アクティブになったＣＪが有する全てのＰＪが早期に実行されるため、作業効率を向上することができる。

さらに、上述した本実施の形態に係る制御方法では、ＰＭ内の雰囲気が変化するのを防止することができるので、各ＰＪの実行の前にシーズニング処理やクリーニング処理を実行する必要が無く、これにより、スループットを向上することができる。

次に、本発明の第２の実施の形態に係る制御方法について詳述する。

本実施の形態でも、第1の実施の形態と同様に、或るＣＪに属する複数のＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されるのを防止する。

以下は、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位である。
（２−１）実行すべきＰＪを有するＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ（該当するＣＪよりも先に作成されたＣＪが少なくとも１つ存在する場合には、最先に作成されたＣＪに属する本ＰＭで実行可能なＰＪ）
図４は、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて実行される各ＰＪと該ＰＪを実行するＰＭとの関係を示す図である。図４においても、横軸は時間を示し、矩形で表現される各ＰＪの横の長さは当該ＰＪの処理時間を示す。

図４において、ＰＭ１２では、ルール（２−１）に従い、最先に作成されたＣＪ−１のＰＪ１−１が実行され、次いで、ルール（２−１）に従ってＣＪ−１のＰＪ１−４、ＰＪ１−７が順に実行される。その後（時間Ｔ２−１）には、ＰＭ１２で実行可能なＣＪ−１のＰＪが存在せず、且つＣＪ−２はＰＭ１２で実行可能なＰＪを有していないので、ルール（２−１）に従ってＣＪ−３のＰＪ３−１が実行され、次いで、ルール（２−１）に従って複数のＰＪ３−１が実行される。

ＰＭ１３では、ルール（２−１）に従い、最先に作成されたＣＪ−１のＰＪ１−２、ＰＪ１−５、ＰＪ１−８が順に実行される。ここで、ＰＪ１−５の終了時点（時間Ｔ２−２）で、ＣＪ−３がアクティブになっているが、ＣＪ−３よりもＣＪ−１が先に作成されているため、ルール（２−１）に従い、ＣＪ−１のＰＪ１−８がＣＪ−３のＰＪ３−１よりも優先的に実行される。

そして、ＰＪ１−８の実行後（時間Ｔ２−３）には、ＰＭ１３で実行可能なＣＪ−１のＰＪが存在しないので、ルール（２−１）に従い、ＣＪ−３よりも先に作成されたＣＪ２−１のＰＪ２−１が優先的に実行される。その後（時間Ｔ２−４）、ＰＭ１３で実行可能なＰＪ２−１が存在しなくなると、ルール（２−１）に従ってＣＪ−３のＰＪ３−１が実行される。なお、ＰＭ１４については説明を省略する。

上述したように、本実施の形態に係る制御方法において用いられる優先順位に基づいて各ＰＪを実行する場合も、ＰＭ１３ではＣＪ−１のＰＪ１−５及びＰＪ１−８の実行の間にＣＪ−３のＰＪ３−１やＣＪ−２のＰＪ２−１が実行されることがない。

すなわち、本実施の形態に係る制御方法によれば、ルール（２−１）に示すように、或るＰＭにおいて先に作成されたＣＪが当該ＰＭで実行可能なＰＪを有するときは、当該ＰＪが、他のＣＪに属する当該ＰＭで実行可能なＰＪよりも優先的に実行される。換言すれば、或るＰＭにおいて先に作成されたＣＪが当該ＰＭにおいて実行可能なＰＪを有さないときに、始めて他のＣＪに属する当該ＰＭにおいて実行可能なＰＪの実行が許可される（処理作業単位実行許可ステップ）ので、或るＣＪに属する複数のＰＪの実行の間に他のＣＪに属するＰＪが実行されることがない。その結果、先に実行されたＰＪによって作られたＰＭ内の雰囲気を後に実行するＰＪにおいて柔軟に利用することができる。

本発明の目的は、上述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムを記録した記憶媒体を、基板処理装置１０のコントローラ等に供給し、該コントローラのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムを読み出して実行することによっても達成される。

この場合、記憶媒体から読み出されたプログラム自体が上述した各実施の形態の機能を実現することになり、プログラム及びそのプログラムを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。

また、プログラムを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコントローラに供給されてもよい。

また、コントローラのＣＰＵが読み出したプログラムを実行することにより、上記各実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。

更に、記憶媒体から読み出されたプログラムが、コントローラに挿入された機能拡張ボードやコントローラに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。

上記プログラムの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラム、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。

１０ 基板処理装置
１２〜１７ ＰＭ
ＣＪ−１，ＣＪ−２，ＣＪ−３ コントロールジョブ
ＰＪ１−１〜ＰＪ１−９，ＰＪ２−１，ＰＪ３−１ プロセスジョブ

Claims (5)

1. 複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法であって、
   前記第１の処理作業単位群に属する処理作業単位が前記第２の処理作業単位群に属する処理作業単位よりも先に実行された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする基板処理装置の制御方法。
2. 前記処理作業単位実行許可ステップにおいて、前記所定の処理室又は他の前記処理室において実行されている前記処理作業単位が属する前記第１の処理作業単位群が有する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を優先的に許可することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置の制御方法。
3. 複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法であって、
   前記第１の処理作業単位群が前記第２の処理作業単位群よりも先に作成された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の前記処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする基板処理装置の制御方法。
4. 複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、前記制御方法は、
   前記第１の処理作業単位群に属する処理作業単位が前記第２の処理作業単位群に属する処理作業単位よりも先に実行された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする記憶媒体。
5. 複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも１つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位が属する第１の処理作業単位群と、複数の前記処理作業単位が属する第２の処理作業単位群とを少なくとも用いる基板処理装置の制御方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、前記制御方法は、
   前記第１の処理作業単位群が前記第２の処理作業単位群よりも先に作成された場合において、前記第１の処理作業単位群が所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位の実行が終了していなくても、前記第２の前記処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可して前記第１の処理作業単位群に属する全ての前記処理作業単位を連続して実行させない処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする記憶媒体。

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