JP2753142B2 - 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 - Google Patents
半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置Info
- Publication number
- JP2753142B2 JP2753142B2 JP2324331A JP32433190A JP2753142B2 JP 2753142 B2 JP2753142 B2 JP 2753142B2 JP 2324331 A JP2324331 A JP 2324331A JP 32433190 A JP32433190 A JP 32433190A JP 2753142 B2 JP2753142 B2 JP 2753142B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- type
- production
- manufacturing
- products
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31429—Predict end of job execution, schedule new job beforehand
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45026—Circuit board, pcb
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/98—Utilizing process equivalents or options
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は計算機管理による半導体装置の生産システ
ム、生産管理装置および製造装置に関する。
ム、生産管理装置および製造装置に関する。
（従来の技術） 半導体装置の生産システムには、それぞれ複数種の半
導体製品を処理可能な複数の製造装置を並列的に備え、
複数の次投入待製品群を次投入待製品待機部に待機させ
ておき、次製品を処理可能な状態の製造装置が生じるご
とに計算機からなる生産管理装置が次処理製品の投入ス
ケジューリングを行って、次製品を処理可能な製造装置
に上記複数の次投入待製品の中から一の次投入待製品群
を投入するようになっているものがある。
導体製品を処理可能な複数の製造装置を並列的に備え、
複数の次投入待製品群を次投入待製品待機部に待機させ
ておき、次製品を処理可能な状態の製造装置が生じるご
とに計算機からなる生産管理装置が次処理製品の投入ス
ケジューリングを行って、次製品を処理可能な製造装置
に上記複数の次投入待製品の中から一の次投入待製品群
を投入するようになっているものがある。
この種の生産システムにあっては一般にその投入スケ
ジューリングを各製造装置からの生産完了報告に応答し
てリアルタイムスケジューリングとして行われるように
なっている。
ジューリングを各製造装置からの生産完了報告に応答し
てリアルタイムスケジューリングとして行われるように
なっている。
第７図は半導体装置の組立て装置のシステムによる処
理状況を時系列的に示したものである。
理状況を時系列的に示したものである。
この図において、まず、Ｔは時間軸を示し、図中、下
方ほど未来、逆に上方ほど過去の時点であることを表
す。
方ほど未来、逆に上方ほど過去の時点であることを表
す。
装置1,2,…,nは生産システムに組み込まれて各々一つ
の生産ラインを構成する半導体装置の組立て装置で、治
工具切替え等、段階替えによって上記した通り複数種の
半導体製品を処理可能で、互いに同一の処理を行う能力
を有しているものである。さらに、これら装置1,2,…,n
は第８図にフローチャートとして示すような生産完了報
告機能を有している。つまり、装置1,2,…,nは、ステッ
プS801において投入された一群の製品の全てについて生
産完了か否かをチェックし、生産が完了すると、ステッ
プS802で示すように生産官僚報告を上位計算機、つまり
生産管理装置に向けて送信するものである。
の生産ラインを構成する半導体装置の組立て装置で、治
工具切替え等、段階替えによって上記した通り複数種の
半導体製品を処理可能で、互いに同一の処理を行う能力
を有しているものである。さらに、これら装置1,2,…,n
は第８図にフローチャートとして示すような生産完了報
告機能を有している。つまり、装置1,2,…,nは、ステッ
プS801において投入された一群の製品の全てについて生
産完了か否かをチェックし、生産が完了すると、ステッ
プS802で示すように生産官僚報告を上位計算機、つまり
生産管理装置に向けて送信するものである。
p1〜p6は製品群を示しており、Ａ〜Ｄは対応する各製
品群p1〜p6の種類を示している。したがって、製品群p1
の品種はＡ、製品群p2,p3の品種はＢ、製品群p4,p5の品
種はＣ、製品群p6の品種はＤとなる。
品群p1〜p6の種類を示している。したがって、製品群p1
の品種はＡ、製品群p2,p3の品種はＢ、製品群p4,p5の品
種はＣ、製品群p6の品種はＤとなる。
実線1 11は装置１が製品群p1を処理している時、破線
1 12は装置１が製品群p2を処理している時、実線1 21は
装置２が製品群p3を処理している時、破線1 22は装置２
が製品群p4を処理している時、実線1 31は装置３が製品
群p5を処理している時、破線1 32は装置３が製品群p6を
処理している時、をそれぞれ示している。
1 12は装置１が製品群p2を処理している時、実線1 21は
装置２が製品群p3を処理している時、破線1 22は装置２
が製品群p4を処理している時、実線1 31は装置３が製品
群p5を処理している時、破線1 32は装置３が製品群p6を
処理している時、をそれぞれ示している。
装置1,2,…,nは１つの製品群の処理が終了すると図示
しない生産管理装置へ終了報告を出すようになってお
り、f1,f2,…,fnは各装置1,2,…,nが出す生産完了報告
である。
しない生産管理装置へ終了報告を出すようになってお
り、f1,f2,…,fnは各装置1,2,…,nが出す生産完了報告
である。
ｓは複数の次投入待製品群（いわゆるバッファ）を待
機させておく仕掛品棚である。一つの製品群は複数の同
種製品がまとめられているものであり、収納箱に収めら
れた状態で棚ｓより各装置1,2,…,nに投入される。
機させておく仕掛品棚である。一つの製品群は複数の同
種製品がまとめられているものであり、収納箱に収めら
れた状態で棚ｓより各装置1,2,…,nに投入される。
以上において当該生産システムの生産管理装置による
スケジューリングについて説明する。
スケジューリングについて説明する。
まず、時点t71より前の時点では、装置１は製品群p
1、装置２は製品群p3、装置ｎは製品群p5、のそれぞれ
について組立て処理を行っている。
1、装置２は製品群p3、装置ｎは製品群p5、のそれぞれ
について組立て処理を行っている。
やがて、装置１が、製品群p1についての処理を終了
し、時点t71において生産完了報告f1を生産管理装置に
上げる。
し、時点t71において生産完了報告f1を生産管理装置に
上げる。
すると、これを受けた生産管理装置は、棚ｓに待機し
ている次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製
品（次投入製品）を予め定められている優先規則に従っ
て決定する。この優先規則は、FIFO（First in First o
ut）を前提とし、生産完了報告を出した装置が処理して
いた製品群と同種の製品群が棚ｓに存在しないときには
最古の次投入待製品群を次投入製品として決定し、生産
完了報告を出した装置が処理していた製品群と同種の製
品群が棚ｓに存在するときには、この方を優先して同種
の投入待製品群を次投入製品群として決定するようにな
っている。ここで、棚ｓには図に示すように３つの製品
群p2,p4,p6しか存在せず、そのFIFO規則に従うとき製品
群p2,p4,p6の順に優先度が高いとする。よって、この場
合、装置１は、時点t71までは品種Ａの製品群p1につい
て処理していたのに対し、棚ｓには同種の製品群が存在
しないため、製品群p2が次投入製品群として決定され
る。
ている次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製
品（次投入製品）を予め定められている優先規則に従っ
て決定する。この優先規則は、FIFO（First in First o
ut）を前提とし、生産完了報告を出した装置が処理して
いた製品群と同種の製品群が棚ｓに存在しないときには
最古の次投入待製品群を次投入製品として決定し、生産
完了報告を出した装置が処理していた製品群と同種の製
品群が棚ｓに存在するときには、この方を優先して同種
の投入待製品群を次投入製品群として決定するようにな
っている。ここで、棚ｓには図に示すように３つの製品
群p2,p4,p6しか存在せず、そのFIFO規則に従うとき製品
群p2,p4,p6の順に優先度が高いとする。よって、この場
合、装置１は、時点t71までは品種Ａの製品群p1につい
て処理していたのに対し、棚ｓには同種の製品群が存在
しないため、製品群p2が次投入製品群として決定され
る。
生産管理装置は、この次投入製品を決定すると、装置
１に向けてその製品p2を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
１に向けてその製品p2を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
これにより、製品p2が装置１に投入される。
同様に、時点t72においては装置２から品種Ｂの製品p
3についての生産完了報告f2が管理装置に上げられる
が、この時においても品種Ｂの製品は既に装置１へ投入
されてしまっているために同種製品は存在せず、よって
FIFO規則に従い製品Ｃが装置２へ投入されることとな
る。
3についての生産完了報告f2が管理装置に上げられる
が、この時においても品種Ｂの製品は既に装置１へ投入
されてしまっているために同種製品は存在せず、よって
FIFO規則に従い製品Ｃが装置２へ投入されることとな
る。
さらに、時点t73においては装置Ｎから品種Ｃの製品p
5についての生産完了報告fnが管理装置に上げられる
が、この時においても品種Ｃの製品は既に装置２へ投入
されてしまっているために同種製品は存在せず、よって
FIFO規則に従い製品Ｄが装置ｎへ投入されることとな
る。
5についての生産完了報告fnが管理装置に上げられる
が、この時においても品種Ｃの製品は既に装置２へ投入
されてしまっているために同種製品は存在せず、よって
FIFO規則に従い製品Ｄが装置ｎへ投入されることとな
る。
このようにして、仕掛品棚ｓに待機している製品群
は、製品管理装置によるスケジューリングの下で、順
次、空いた装置へ投入され、処理が施されて行くことと
なる。
は、製品管理装置によるスケジューリングの下で、順
次、空いた装置へ投入され、処理が施されて行くことと
なる。
しかし、同一装置で処理品種が切替る場合、上述した
ように製品群投入の際に段取替えを伴うが、上記従来の
生産方式では、少しの時間待てば処理製品の切替えが不
要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行ってい
るケースを生じ、段取り替えの回数を多くすることとな
っている。
ように製品群投入の際に段取替えを伴うが、上記従来の
生産方式では、少しの時間待てば処理製品の切替えが不
要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行ってい
るケースを生じ、段取り替えの回数を多くすることとな
っている。
つまり、上記時点t71における製品群p2の装置１への
投入、時点t72における製品群p4の装置２への投入がそ
れに当たる。
投入、時点t72における製品群p4の装置２への投入がそ
れに当たる。
生産システムの中には特に段取り替えに手間と時間を
要するものがあり、このようなもの程、段取替えが必要
以上に多いと工期を長くし、作業者の負担を増大させる
という問題がある。
要するものがあり、このようなもの程、段取替えが必要
以上に多いと工期を長くし、作業者の負担を増大させる
という問題がある。
（発明が解決しようとする課題） 上記した通り、従来の生産システムにあっては、不要
に処理製品の切替え頻度を増大させるという問題があっ
た。
に処理製品の切替え頻度を増大させるという問題があっ
た。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、処理製品切替えの頻度を
減少させ、生産能率の向上を図った半導体装置の生産シ
ステムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造
装置を提供することを目的とする。
で、その目的とするところは、処理製品切替えの頻度を
減少させ、生産能率の向上を図った半導体装置の生産シ
ステムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造
装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 本発明の生産管理方法は、半導体装置の生産システム
において、それぞれ複数種類の半導体製品を処理するこ
とができ、かつ、互いに同等の処理能力を有する複数の
製造装置のいずれかに投入される複数の次投入待製品群
を待機部に待機させ、前記複数の製造装置の中に前記複
数の次投入待製品群のうちのいずれかと同一の種類の製
品を処理している装置があるときは、前記複数の製造装
置のそれぞれの処理進捗情報に基づいて、異なる種類の
製品を処理している製造装置が前記同一の種類の製品を
処理している装置に先行して前記複数の次投入待製品群
のうちの前記同一の種類の製品を投入できる状態となっ
た場合であっても、前記異なる種類の製品を処理してい
る製造装置に対しては投入せず、前記同一の種類の製品
を処理している製造装置に対する投入を優先させるよう
に、前記複数の製造装置に対する前記複数の次投入待製
品群の投入割付けを行う、ことを特徴とする。
において、それぞれ複数種類の半導体製品を処理するこ
とができ、かつ、互いに同等の処理能力を有する複数の
製造装置のいずれかに投入される複数の次投入待製品群
を待機部に待機させ、前記複数の製造装置の中に前記複
数の次投入待製品群のうちのいずれかと同一の種類の製
品を処理している装置があるときは、前記複数の製造装
置のそれぞれの処理進捗情報に基づいて、異なる種類の
製品を処理している製造装置が前記同一の種類の製品を
処理している装置に先行して前記複数の次投入待製品群
のうちの前記同一の種類の製品を投入できる状態となっ
た場合であっても、前記異なる種類の製品を処理してい
る製造装置に対しては投入せず、前記同一の種類の製品
を処理している製造装置に対する投入を優先させるよう
に、前記複数の製造装置に対する前記複数の次投入待製
品群の投入割付けを行う、ことを特徴とする。
また、本発明の生産管理方法は、半導体装置の生産シ
ステムにおいて、所定の待機部に配置され、それぞれ複
数種類の半導体製品を処理することができる複数の製造
装置のいずれかに投入される複数の種類の複数の半導体
製品を含む次投入待製品群を処理する第１の手順と、前
記所定の待機部で待機する前記次投入待製品群を構成す
る前記複数の半導体製品の種類を検出する第２の手順
と、前記複数の製造装置のそれぞれについて現に処理さ
れている半導体製品の種類を検出するとともに、タイマ
ーを用いることなく、将来の生産完了予想時間を検出す
る第３の手順と、前記所定の待機部に配置された次投入
待製品群に含まれる次投入待製品の種類のいずれかが、
生産完了直前にある製造装置によって処理されている半
導体製品の種類と一致するか否かを判定する第４の手順
と、前記次投入待製品の１の種類が、前記生産完了直前
にある製造装置によって処理されている半導体製品の種
類と一致する場合に、前記生産完了直前にある製造装置
に次の製品を投入すべき順序が先入先出の原則に基づく
本来の投入順序に合致するものとして、前記生産完了直
前にある製造装置に前記１の種類の前記次投入待製品を
投入する第５の手順と、前記次投入待製品のいずれの種
類も前記生産完了直前にある製造装置が処理している製
品の種類と異なる場合に、前記本来の投入手順にある半
導体製品の投入を一時中断して、前記生産完了直前にあ
る製造装置の次、２番目、３番目に処理を完了する製造
装置などの、前記生産完了直前にある製造装置に引続い
て処理を完了する他の製造装置のいずれかにおける製品
の種類が前記次投入待製品のいずれかの種類と一致する
か否かを判定する第６の手順と、前記次投入待製品のい
ずれかの種類が前記他の製造装置のいずれかが処理して
いる製品の種類と一致した場合に、当該一致する他の製
造装置の処理完了を待って、同一種類の次投入待製品を
投入する第７の手順と、前記第７の手順と同一の条件
で、異なる種類の次投入待製品に先行して前記他の製造
装置が処理している製品と同一種類の製品を選択して前
記待機部から、該他の製造装置に投入する第８の手順
と、次投入待製品の種類がいずれの製造装置で処理して
いる製品の種類とも異なる場合に、前記本来の投入順序
において引続く順序のいくつかの投入待製品の種類と異
なる種類の製品を処理している製造装置を決定する第９
の手順と、前記第９の手順により決定した製造装置の現
在の処理が完了した時点で、前記第９の手順により決定
した製造装置における製品の種類を変更して、前記製造
装置で現在処理しているいずれの製品の種類とも異なる
種類の製品を処理する第10の手順と、前記製造装置で現
在処理しているいずれの製品の種類とも異なる種類の製
品であって、前記本来の投入順序における第１順序の種
類の製品を前記第９の手順により決定した製造装置に投
入する第11の手順とを備える。
ステムにおいて、所定の待機部に配置され、それぞれ複
数種類の半導体製品を処理することができる複数の製造
装置のいずれかに投入される複数の種類の複数の半導体
製品を含む次投入待製品群を処理する第１の手順と、前
記所定の待機部で待機する前記次投入待製品群を構成す
る前記複数の半導体製品の種類を検出する第２の手順
と、前記複数の製造装置のそれぞれについて現に処理さ
れている半導体製品の種類を検出するとともに、タイマ
ーを用いることなく、将来の生産完了予想時間を検出す
る第３の手順と、前記所定の待機部に配置された次投入
待製品群に含まれる次投入待製品の種類のいずれかが、
生産完了直前にある製造装置によって処理されている半
導体製品の種類と一致するか否かを判定する第４の手順
と、前記次投入待製品の１の種類が、前記生産完了直前
にある製造装置によって処理されている半導体製品の種
類と一致する場合に、前記生産完了直前にある製造装置
に次の製品を投入すべき順序が先入先出の原則に基づく
本来の投入順序に合致するものとして、前記生産完了直
前にある製造装置に前記１の種類の前記次投入待製品を
投入する第５の手順と、前記次投入待製品のいずれの種
類も前記生産完了直前にある製造装置が処理している製
品の種類と異なる場合に、前記本来の投入手順にある半
導体製品の投入を一時中断して、前記生産完了直前にあ
る製造装置の次、２番目、３番目に処理を完了する製造
装置などの、前記生産完了直前にある製造装置に引続い
て処理を完了する他の製造装置のいずれかにおける製品
の種類が前記次投入待製品のいずれかの種類と一致する
か否かを判定する第６の手順と、前記次投入待製品のい
ずれかの種類が前記他の製造装置のいずれかが処理して
いる製品の種類と一致した場合に、当該一致する他の製
造装置の処理完了を待って、同一種類の次投入待製品を
投入する第７の手順と、前記第７の手順と同一の条件
で、異なる種類の次投入待製品に先行して前記他の製造
装置が処理している製品と同一種類の製品を選択して前
記待機部から、該他の製造装置に投入する第８の手順
と、次投入待製品の種類がいずれの製造装置で処理して
いる製品の種類とも異なる場合に、前記本来の投入順序
において引続く順序のいくつかの投入待製品の種類と異
なる種類の製品を処理している製造装置を決定する第９
の手順と、前記第９の手順により決定した製造装置の現
在の処理が完了した時点で、前記第９の手順により決定
した製造装置における製品の種類を変更して、前記製造
装置で現在処理しているいずれの製品の種類とも異なる
種類の製品を処理する第10の手順と、前記製造装置で現
在処理しているいずれの製品の種類とも異なる種類の製
品であって、前記本来の投入順序における第１順序の種
類の製品を前記第９の手順により決定した製造装置に投
入する第11の手順とを備える。
本発明の生産管理装置は、複数の種類の製品をそれぞ
れ処理する複数の製造装置のいずれかにより処理される
べき複数の次投入待製品群を待機部に待機させ、前記複
数の製造装置のいずれかが次製品を処理することができ
る状態になる度に、この次製品を処理することができる
製造装置が前記次投入待製品群のうち１の次投入製品を
選択して処理する半導体生産システムに用いられ、前記
複数の製造装置のそれぞれから生産完了予告情報を受
け、この生産完了予告情報を出力した製造装置が処理し
ている製品の種類と同一の種類の製品が次投入待製品群
にある場合に、１の製造装置が、前記生産完了予告情報
を出力した他の製造装置に先行して次投入待製品を処理
することができる状態になっても、当該１の製造装置に
先行して当該他の製造装置に前記同一種類の製品を投入
するという優先割付の対象となる製造装置を決定する手
段と、前記複数の製造装置のそれぞれから生産完了報告
を受けたとき、その生産完了報告を出力した製造装置が
処理していた製品の種類と同一の種類の製品が次投入待
製品群にある場合には、前記同一の種類の製品を次投入
製品として決定し、前記生産完了報告受信時にその生産
完了報告を出力した製造装置が処理していた製品の種類
と同一の種類の製品が次投入待製品群にない場合には、
前記優先割付の対象となっている製品以外の製品を前記
次投入製品として決定し、前記生産完了報告を出力した
製造装置に次製品投入指示を与える手段とを備える。
れ処理する複数の製造装置のいずれかにより処理される
べき複数の次投入待製品群を待機部に待機させ、前記複
数の製造装置のいずれかが次製品を処理することができ
る状態になる度に、この次製品を処理することができる
製造装置が前記次投入待製品群のうち１の次投入製品を
選択して処理する半導体生産システムに用いられ、前記
複数の製造装置のそれぞれから生産完了予告情報を受
け、この生産完了予告情報を出力した製造装置が処理し
ている製品の種類と同一の種類の製品が次投入待製品群
にある場合に、１の製造装置が、前記生産完了予告情報
を出力した他の製造装置に先行して次投入待製品を処理
することができる状態になっても、当該１の製造装置に
先行して当該他の製造装置に前記同一種類の製品を投入
するという優先割付の対象となる製造装置を決定する手
段と、前記複数の製造装置のそれぞれから生産完了報告
を受けたとき、その生産完了報告を出力した製造装置が
処理していた製品の種類と同一の種類の製品が次投入待
製品群にある場合には、前記同一の種類の製品を次投入
製品として決定し、前記生産完了報告受信時にその生産
完了報告を出力した製造装置が処理していた製品の種類
と同一の種類の製品が次投入待製品群にない場合には、
前記優先割付の対象となっている製品以外の製品を前記
次投入製品として決定し、前記生産完了報告を出力した
製造装置に次製品投入指示を与える手段とを備える。
本発明の製造装置は、生産管理装置を備えた半導体装
置の生産システムに用いられ、前記生産管理装置の管理
下で複数の種類の製品を処理する製造装置であって、所
定数の製品を次投入待製品群として待機させる待機部
と、該待機部に待機する前記次投入待製品群のうち、投
入される前の製品の残数を検出する検出手段と、前記製
品の残数が設定値に達した時に生産完了予告情報を前記
生産管理装置に与える報告手段とを備え、前記生産完了
予告情報に基づいて前記生産管理装置が行う次投入待製
品群の割当てに基づく投入指示を受けて、現に処理して
いる製品と同一の種類の製品が前記待機部の次投入待製
品群にある場合には、現に処理している製品と異なる種
類の製品に優先して前記同一の種類の製品を処理し、現
に処理している製品と同一の種類の製品が前記待機部の
次投入待製品群にない場合には、現に処理している製品
と異なる種類の製品を処理することを特徴とする。
置の生産システムに用いられ、前記生産管理装置の管理
下で複数の種類の製品を処理する製造装置であって、所
定数の製品を次投入待製品群として待機させる待機部
と、該待機部に待機する前記次投入待製品群のうち、投
入される前の製品の残数を検出する検出手段と、前記製
品の残数が設定値に達した時に生産完了予告情報を前記
生産管理装置に与える報告手段とを備え、前記生産完了
予告情報に基づいて前記生産管理装置が行う次投入待製
品群の割当てに基づく投入指示を受けて、現に処理して
いる製品と同一の種類の製品が前記待機部の次投入待製
品群にある場合には、現に処理している製品と異なる種
類の製品に優先して前記同一の種類の製品を処理し、現
に処理している製品と同一の種類の製品が前記待機部の
次投入待製品群にない場合には、現に処理している製品
と異なる種類の製品を処理することを特徴とする。
前記待機部に待機する前記次投入待製品群は、それぞ
れにバーコードが取付けられ単一のユニットとして保管
される複数のケースに収納された所要数の製品で構成さ
れ、前記バーコードには、投入予定の前記製品の数量が
記録され、前記検出手段は、前記バーコードを読み取る
読取部を含み、前記読取部により読取られた数量から既
に処理を終了した前記製品の数量を減算することにより
前記製品の残数を検出する。
れにバーコードが取付けられ単一のユニットとして保管
される複数のケースに収納された所要数の製品で構成さ
れ、前記バーコードには、投入予定の前記製品の数量が
記録され、前記検出手段は、前記バーコードを読み取る
読取部を含み、前記読取部により読取られた数量から既
に処理を終了した前記製品の数量を減算することにより
前記製品の残数を検出する。
（作用） 本発明によれば、次投入製品群をスケジューリングす
る際の情報として各製造装置における処理進捗情報を採
用し、その進捗具合がかなり進み、終りに近付いている
ものがあるとき、投入待製品群の中にその製造装置が処
理しているものと同種の製品群があるときにはその製品
群を同種優先割付けの対象として決定することにより、
前もって、その処理が終わりそうな製造装置とその製品
群との係わりを付けておき、異種製品を処理していた製
造装置が同種製品を処理していた製造装置より先に処理
が終わってもその異種製品を処理していた製造装置に同
種優先割付けの対象としての製品群が投入されないよう
にして同種割付け規則を優先させることとなる。
る際の情報として各製造装置における処理進捗情報を採
用し、その進捗具合がかなり進み、終りに近付いている
ものがあるとき、投入待製品群の中にその製造装置が処
理しているものと同種の製品群があるときにはその製品
群を同種優先割付けの対象として決定することにより、
前もって、その処理が終わりそうな製造装置とその製品
群との係わりを付けておき、異種製品を処理していた製
造装置が同種製品を処理していた製造装置より先に処理
が終わってもその異種製品を処理していた製造装置に同
種優先割付けの対象としての製品群が投入されないよう
にして同種割付け規則を優先させることとなる。
これにより、処理製品の切替え頻度が低下し、上記従
来技術のように、少しの時間待てば処理製品の切替えが
不要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行って
いるケースを生じて段取り替えの回数を多くするという
問題を生ずることがなく、工期の短縮、作業者の負担軽
減を達成することができる。
来技術のように、少しの時間待てば処理製品の切替えが
不要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行って
いるケースを生じて段取り替えの回数を多くするという
問題を生ずることがなく、工期の短縮、作業者の負担軽
減を達成することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ説明
する。
する。
まず、第７図に示す装置1,2,…,nの場合、上位計算機
への報告機能としては生産完了報告機能のみ持っていた
のに対し、本実施例の装置1,2,…,n（第１図および第２
図参照）の場合にはその生産完了報告機能に加えて、生
産完了予告機能をも有しているものである。
への報告機能としては生産完了報告機能のみ持っていた
のに対し、本実施例の装置1,2,…,n（第１図および第２
図参照）の場合にはその生産完了報告機能に加えて、生
産完了予告機能をも有しているものである。
第２図に示すように装置1,2,…,nは生産管理装置とし
ての上位計算機Ｈに生産完了報告信号と生産管理予告
信号とを出力するようになっており、生産完了予告信
号は処理が予め設定されている程度まで進んだ時に発
生されるもので、つまり生産完了報告信号に先立って
発生される。
ての上位計算機Ｈに生産完了報告信号と生産管理予告
信号とを出力するようになっており、生産完了予告信
号は処理が予め設定されている程度まで進んだ時に発
生されるもので、つまり生産完了報告信号に先立って
発生される。
第３図および第４図はかかる各組立装置1,2,…,nの持
つスケジューリング用の機能を示すフローチャートであ
る。
つスケジューリング用の機能を示すフローチャートであ
る。
第３図において、まず、ステップS301においては第５
図に示すようなバーコードリーダＲによる読込み或いは
上位計算機Ｈからの信号による読込みによって投入する
製品群の製品数、つまり生産予定製品数を取入れる。
図に示すようなバーコードリーダＲによる読込み或いは
上位計算機Ｈからの信号による読込みによって投入する
製品群の製品数、つまり生産予定製品数を取入れる。
バーコードによる場合にはバーコードリーダＲを各組
立装置1,2,…,nに設置しておき、バーコードを例えば第
５図に示すようなシールＣとして収納ケースに張付けた
り、あるいは収納ケース自体に印刷するなどして設け、
製品群の投入前にこれを読込ませるようにする。
立装置1,2,…,nに設置しておき、バーコードを例えば第
５図に示すようなシールＣとして収納ケースに張付けた
り、あるいは収納ケース自体に印刷するなどして設け、
製品群の投入前にこれを読込ませるようにする。
上位計算機Ｈからの信号による場合、上位計算機Ｈに
各製品群の製品数を予め知らせておき、投入指示に伴わ
せて第６図に示すように上位計算機Ｈから各組立装置1,
2,…,nへ生産予定数データを送信させるようにする。
各製品群の製品数を予め知らせておき、投入指示に伴わ
せて第６図に示すように上位計算機Ｈから各組立装置1,
2,…,nへ生産予定数データを送信させるようにする。
次に、ステップS302においては生産残数を計算する。
これは一製品の処理終了毎に行うものであり、サブルー
チンM1の実行により求める。このサブルーチンM1は第６
図に示すようにステップS301において読込んだ生産予定
製品数から厳正算数を差し引いたものとして求められ
る。
これは一製品の処理終了毎に行うものであり、サブルー
チンM1の実行により求める。このサブルーチンM1は第６
図に示すようにステップS301において読込んだ生産予定
製品数から厳正算数を差し引いたものとして求められ
る。
その終了後、ステップS303においてはステップS303で
求めた生産残数が設定値に等しいかどうかを判断する。
これは、つまり、生産完了予告信号を出すタイミング
になったか否かを確認しているものである。
求めた生産残数が設定値に等しいかどうかを判断する。
これは、つまり、生産完了予告信号を出すタイミング
になったか否かを確認しているものである。
このステップS303における判断がＮ（No）である場合
にはステップS302に戻る。このため、生産完了予告信号
を出すタイミングになるまでこのステップS302,S303
を繰返し実行することとなる。
にはステップS302に戻る。このため、生産完了予告信号
を出すタイミングになるまでこのステップS302,S303
を繰返し実行することとなる。
ステップS303における判断がＹ（YES）である場合に
はステップS304に進む。
はステップS304に進む。
このステップS304では上位計算機Ｈへ生産完了予告信
号を上記計算機Ｈに与えるものである。
号を上記計算機Ｈに与えるものである。
次にステップS305においてはステップS302と同じ処理
を行うものであり、ここで求められた値はステップS306
で“0"と比較判断される。つまり、ここでは、製品群の
全ての製品について生産が完了したか否かをチェックし
ている。
を行うものであり、ここで求められた値はステップS306
で“0"と比較判断される。つまり、ここでは、製品群の
全ての製品について生産が完了したか否かをチェックし
ている。
このステップS306の判断がＮである場合、ステップS3
05に戻る。よって、生産完了報告信号を出すタイミン
グになるまで、このステップS305,S306を繰返し実行す
る。
05に戻る。よって、生産完了報告信号を出すタイミン
グになるまで、このステップS305,S306を繰返し実行す
る。
ステップS306の判断がＹになると、ステップS307にお
いて、上記計算機Ｈへ生産完了報告信号を上げること
となる。
いて、上記計算機Ｈへ生産完了報告信号を上げること
となる。
上位計算機Ｈは、上述したような組立装置1,2,…,nか
らの生産完了予告信号を受けると、その受信時、投入
待製品群の中にその製造装置が処理しているものと同種
の製品群があるときにはその製品群を同種優先割付けの
対象として決定する。これは、前もって、その処理が終
わりそうな組立装置とその製品群との係わりを付けてお
き、異種製品を処理していた組立装置が同種製品を処理
していた組立装置より先に処理が終わってもその異種製
品を処理していた組立装置に同種優先割付けの対象とし
ての製品群が投入されないようにするためのものであ
る。
らの生産完了予告信号を受けると、その受信時、投入
待製品群の中にその製造装置が処理しているものと同種
の製品群があるときにはその製品群を同種優先割付けの
対象として決定する。これは、前もって、その処理が終
わりそうな組立装置とその製品群との係わりを付けてお
き、異種製品を処理していた組立装置が同種製品を処理
していた組立装置より先に処理が終わってもその異種製
品を処理していた組立装置に同種優先割付けの対象とし
ての製品群が投入されないようにするためのものであ
る。
すなわち、この上位計算機Ｈにおいては、各組立装置
1,2,…,nから生産完了報告を受信する毎に、次のような
規則に従って投入スケジューリングを行うようになって
いる。
1,2,…,nから生産完了報告を受信する毎に、次のような
規則に従って投入スケジューリングを行うようになって
いる。
まず、その生産完了報告受信時においてその生産完了
報告を出した製造装置が処理していた製品と同種の製品
が次投入待製品群の中に存在するか否かを判断する。
報告を出した製造装置が処理していた製品と同種の製品
が次投入待製品群の中に存在するか否かを判断する。
この判断の結果、同種製品が存在する場合には、その
製品群を次投入製品群として決定する。
製品群を次投入製品群として決定する。
また、その判断の結果、同種製品が存在しない場合、
上記優先割付けの対象となっている製品以外の製品の中
からFIFO規制に従い最古の製品群を次投入製品として決
定するものである。
上記優先割付けの対象となっている製品以外の製品の中
からFIFO規制に従い最古の製品群を次投入製品として決
定するものである。
第１図は本発明の上記のように構成された半導体装置
の組立てシステムによる処理状況を時系列的に示したも
のである。ここでは、第７図に示す要素と同一の要素に
ついては同一符号を付してあり、以下においては第７図
と異なる部分に重点を置いて説明する。
の組立てシステムによる処理状況を時系列的に示したも
のである。ここでは、第７図に示す要素と同一の要素に
ついては同一符号を付してあり、以下においては第７図
と異なる部分に重点を置いて説明する。
この図において、実線11は装置１が製品群p1を処理し
ている時、破線112は装置１が製品群p2を処理している
時、実線1 21は装置２が製品群p3を処理している時、破
線1 22は装置２が製品群p4を処理している時、実線1 31
は装置３が製品群p5を処理している時、破線1 32は装置
３が製品群p6を処理している時、をそれぞれ示してい
る。
ている時、破線112は装置１が製品群p2を処理している
時、実線1 21は装置２が製品群p3を処理している時、破
線1 22は装置２が製品群p4を処理している時、実線1 31
は装置３が製品群p5を処理している時、破線1 32は装置
３が製品群p6を処理している時、をそれぞれ示してい
る。
m1,m2,…,mnは各組立装置1,2,…,nからの上記生産完
了予告信号による生産完了予告である。
了予告信号による生産完了予告である。
以上において当該生産システムの生産管理装置による
スケジューリングについて説明する。
スケジューリングについて説明する。
まず、時点t11より前の時点では、装置１は製品群p
1、装置２は製品群p3、装置ｎは製品群p5、のそれぞれ
について組立て処理を行っている。
1、装置２は製品群p3、装置ｎは製品群p5、のそれぞれ
について組立て処理を行っている。
やがて、装置１が、製品群p1についての処理の終了が
近付き、時点t11において生産完了予告m1を上位計算機
Ｈに上げる。
近付き、時点t11において生産完了予告m1を上位計算機
Ｈに上げる。
すると、計算機Ｈは投入時製品群p2,p4,p6の中にその
組立装置１が処理しているものと同種の製品群があるか
否かを判断する。この場合には、装置１は品種Ａの製品
群p1を処理しているため、これと同種の製品は無く、同
種優先割り付け対象の決定は無い。
組立装置１が処理しているものと同種の製品群があるか
否かを判断する。この場合には、装置１は品種Ａの製品
群p1を処理しているため、これと同種の製品は無く、同
種優先割り付け対象の決定は無い。
次に、装置２が、製品群p3についての処理の終了が近
付き、時点t12において生産完了予告m2を上位計算機Ｈ
に上げる。
付き、時点t12において生産完了予告m2を上位計算機Ｈ
に上げる。
すると、計算機Ｈは、予告m1を受取ったときと同様の
判断を組立装置２が処理している製品群p3について行
う。この場合、製品群p3の品種はＢであるため、これと
同種の製品である製品群p2を同種優先割り付けの対象と
して決定する。
判断を組立装置２が処理している製品群p3について行
う。この場合、製品群p3の品種はＢであるため、これと
同種の製品である製品群p2を同種優先割り付けの対象と
して決定する。
時点13における装置ｎからの予告mnを受けたときも同
様の処理が行われ、製品群p5と同種の製品群p4が同種優
先割り付けの対象として決定される。
様の処理が行われ、製品群p5と同種の製品群p4が同種優
先割り付けの対象として決定される。
そして、まず、装置１が製品群p1についての処理を完
了し、時点t14において生産完了報告f1を上記計算機Ｈ
に上げる。
了し、時点t14において生産完了報告f1を上記計算機Ｈ
に上げる。
すると、これを受けた上位計算機Ｈは、棚ｓに待機し
ている次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製
品（次投入製品）を予め定められている上記した優先規
則に従って決定する。ここで、棚ｓには図に示すように
３つの製品群p2,p4,p6しか存在せす、そのFIFO規則に従
うとき製品群p4,p2,p6の順に優先度が高いとする。この
場合、装置１は、時点t14までは品種Ａの製品群p1につ
いて処理していたのに対し、棚ｓには同種の製品群が存
在しない。そのため、同種優先割り付けの対象となって
いない製品群p6が次投入製品群として決定され、FIFO規
則では先に投入されるべき製品群p2は装置１へ投入され
ない。
ている次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製
品（次投入製品）を予め定められている上記した優先規
則に従って決定する。ここで、棚ｓには図に示すように
３つの製品群p2,p4,p6しか存在せす、そのFIFO規則に従
うとき製品群p4,p2,p6の順に優先度が高いとする。この
場合、装置１は、時点t14までは品種Ａの製品群p1につ
いて処理していたのに対し、棚ｓには同種の製品群が存
在しない。そのため、同種優先割り付けの対象となって
いない製品群p6が次投入製品群として決定され、FIFO規
則では先に投入されるべき製品群p2は装置１へ投入され
ない。
上位計算機Ｈは、この次投入製品を決定すると、装置
１に向けてその製品p6を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
１に向けてその製品p6を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
同様に、時点t15においては装置２から品種Ｂの製品p
3についての生産完了報告f2が計算機Ｈに上げられる。
この時には、既に同種優先対象として決定されていた品
種Ｂの製品群p2が装置２へ投入されることとなり、段取
り替えの指示は伴わない。
3についての生産完了報告f2が計算機Ｈに上げられる。
この時には、既に同種優先対象として決定されていた品
種Ｂの製品群p2が装置２へ投入されることとなり、段取
り替えの指示は伴わない。
さらに、時点t16においては装置ｎから品種Ｃの製品p
5についての生産完了報告fnが管理装置に上げられる。
この時にも同種優先対象として決定されていた同種の製
品群p4が装置ｎに投入され、段取り替えの指示は伴わな
い。
5についての生産完了報告fnが管理装置に上げられる。
この時にも同種優先対象として決定されていた同種の製
品群p4が装置ｎに投入され、段取り替えの指示は伴わな
い。
このようにして、仕掛品棚ｓに待機している製品群
は、製品管理装置によるスケジューリングの下で、順
次、空いた装置へ投入され、処理が施されて行くことと
なる。
は、製品管理装置によるスケジューリングの下で、順
次、空いた装置へ投入され、処理が施されて行くことと
なる。
以上のようにして、本実施例によれば、従来のよう
に、少しの時間待てば処理製品の切替えが不要となって
いたにもかかわらず製品の切替えを行っているケースを
排除するようにしたため、処理製品の切替え頻度が低下
し、段取り替えの回数が減少する。
に、少しの時間待てば処理製品の切替えが不要となって
いたにもかかわらず製品の切替えを行っているケースを
排除するようにしたため、処理製品の切替え頻度が低下
し、段取り替えの回数が減少する。
以上説明したように本発明によれば、次投入製品群を
スケジューリングする際の情報として各製造装置におけ
る処理進捗情報を採用し、その進捗具合がかなり進み、
終りに近付いているものがあるとき、投入待製品群の中
にその製造装置が処理しているものと同種の製品群があ
るときにはその製品群を同種優先割付けの対象として決
定することにより、前もって、その処理が終わりそうな
製造装置とその製品群との係わりを付けておき、異種製
品を処理していた製造装置が同種製品を処理していた製
造装置より先に処理が終わってもその異種製品を処理し
ていた製造装置に同種優先割付けの対象としての製品群
が投入されないようにして同種割付け規則を優先させる
ようにしたから、少しの時間待てば処理製品の切替えが
不要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行って
いたケースを排除するようにしたため、処理製品の切替
え頻度が低下し、段取り替えの回数が減少して、工期短
縮ならびに作業者の負担軽減を図ることができる。
スケジューリングする際の情報として各製造装置におけ
る処理進捗情報を採用し、その進捗具合がかなり進み、
終りに近付いているものがあるとき、投入待製品群の中
にその製造装置が処理しているものと同種の製品群があ
るときにはその製品群を同種優先割付けの対象として決
定することにより、前もって、その処理が終わりそうな
製造装置とその製品群との係わりを付けておき、異種製
品を処理していた製造装置が同種製品を処理していた製
造装置より先に処理が終わってもその異種製品を処理し
ていた製造装置に同種優先割付けの対象としての製品群
が投入されないようにして同種割付け規則を優先させる
ようにしたから、少しの時間待てば処理製品の切替えが
不要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行って
いたケースを排除するようにしたため、処理製品の切替
え頻度が低下し、段取り替えの回数が減少して、工期短
縮ならびに作業者の負担軽減を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例に係る組立システムによるス
ケジューリングを時系列的に示す説明図、第２図はその
組立システムのブロック図、第３図はその組立装置の上
位計算機に対する報告処理内容を示すフローチャート、
第４図はその生産残数計算処理の処理内容を示すフロー
チャート、第５図は組立装置における生産予定製品数デ
ータの取込みに用いる一手段としてのバーコードリーダ
ならびにバーコードラベルの説明図、第６図は他の手段
としての上位計算機から組立装置へのデータ供給状態の
説明図、第７図は従来の組立システムによるスケジュー
リングを時系列的に示す説明図、第８図はその組立装置
の上位計算機に対する報告機能の処理内容を示すフロー
チャートである。 １〜ｎ…組立装置、Ｈ…上位計算機、p1,p3,p5…処理中
の製品群、p2,p4,p5…次投入待製品群、ｓ…仕掛品棚、
f1〜fn…生産完了報告、m1〜mn…生産完了予告、Ａ〜Ｄ
…品種。
ケジューリングを時系列的に示す説明図、第２図はその
組立システムのブロック図、第３図はその組立装置の上
位計算機に対する報告処理内容を示すフローチャート、
第４図はその生産残数計算処理の処理内容を示すフロー
チャート、第５図は組立装置における生産予定製品数デ
ータの取込みに用いる一手段としてのバーコードリーダ
ならびにバーコードラベルの説明図、第６図は他の手段
としての上位計算機から組立装置へのデータ供給状態の
説明図、第７図は従来の組立システムによるスケジュー
リングを時系列的に示す説明図、第８図はその組立装置
の上位計算機に対する報告機能の処理内容を示すフロー
チャートである。 １〜ｎ…組立装置、Ｈ…上位計算機、p1,p3,p5…処理中
の製品群、p2,p4,p5…次投入待製品群、ｓ…仕掛品棚、
f1〜fn…生産完了報告、m1〜mn…生産完了予告、Ａ〜Ｄ
…品種。
Claims (5)
- 【請求項１】それぞれ複数種類の半導体製品を処理する
ことができ、かつ、互いに同等の処理能力を有する複数
の製造装置のいずれかに投入される複数の次投入待製品
群を待機部に待機させ、 前記複数の製造装置の中に前記複数の次投入待製品群の
うちのいずれかと同一の種類の製品を処理している装置
があるときは、前記複数の製造装置のそれぞれの処理進
捗情報に基づいて、異なる種類の製品を処理している製
造装置が前記同一の種類の製品を処理している装置に先
行して前記複数の次投入待製品群のうちの前記同一の種
類の製品を投入できる状態となった場合であっても、前
記異なる種類の製品を処理している製造装置に対しては
投入せず、前記同一の種類の製品を処理している製造装
置に対する投入を優先させるように、前記複数の製造装
置に対する前記複数の次投入待製品群の投入割付けを行
う、 ことを特徴とする半導体装置の生産システムにおける生
産管理方法。 - 【請求項２】所定の待機部に配置され、それぞれ複数種
類の半導体製品を処理することができる複数の製造装置
のいずれかに投入される複数の種類の複数の半導体製品
を含む次投入待製品群を処理する第１の手順と、 前記所定の待機部で待機する前記次投入待製品群を構成
する前記複数の半導体製品の種類を検出する第２の手順
と、 前記複数の製造装置のそれぞれについて現に処理されて
いる半導体製品の種類を検出するとともに、タイマーを
用いることなく、将来の生産完了予想時間を検出する第
３の手順と、 前記所定の待機部に配置された次投入待製品群に含まれ
る次投入待製品の種類のいずれかが、生産完了直前にあ
る製造装置によって処理されている半導体製品の種類と
一致するか否かを判定する第４の手順と、 前記次投入待製品の１の種類が、前記生産完了直前にあ
る製造装置によって処理されている半導体製品の種類と
一致する場合に、前記生産完了直前にある製造装置に次
の製品を投入すべき順序が先入先出の原則に基づく本来
の投入順序に合致するものとして、前記生産完了直前に
ある製造装置に前記１の種類の前記次投入待製品を投入
する第５の手順と、 前記次投入待製品のいずれの種類も前記生産完了直前に
ある製造装置が処理している製品の種類と異なる場合
に、前記本来の投入手順にある半導体製品の投入を一時
中断して、前記生産完了直前にある製造装置の次、２番
目、３番目に処理を完了する製造装置などの、前記生産
完了直前にある製造装置に引続いて処理を完了する他の
製造装置のいずれかにおける製品の種類が前記次投入待
製品のいずれかの種類と一致するか否かを判定する第６
の手順と、 前記次投入待製品のいずれかの種類が前記他の製造装置
のいずれかが処理している製品の種類と一致した場合
に、当該一致する他の製造装置の処理完了を待って、同
一種類の次投入待製品を投入する第７の手順と、 前記第７の手順と同一の条件で、異なる種類の次投入待
製品に先行して前記他の製造装置が処理している製品と
同一種類の製品を選択して前記待機部から、該他の製造
装置に投入する第８の手順と、 次投入待製品の種類がいずれの製造装置で処理している
製品の種類とも異なる場合に、前記本来の投入順序にお
いて引続く順序のいくつかの投入待製品の種類と異なる
種類の製品を処理している製造装置を決定する第９の手
順と、 前記第９の手順により決定した製造装置の現在の処理が
完了した時点で、前記第９の手順により決定した製造装
置における製品の種類を変更して、前記製造装置で現在
処理しているいずれの製品の種類とも異なる種類の製品
を処理する第10の手順と、 前記製造装置で現在処理しているいずれの製品の種類と
も異なる種類の製品であって、前記本来の投入順序にお
ける第１順序の種類の製品を前記第９の手順により決定
した製造装置に投入する第11の手順と、 を備える半導体装置の生産システムにおける生産管理方
法。 - 【請求項３】複数の種類の製品をそれぞれ処理する複数
の製造装置のいずれかにより処理されるべき複数の次投
入待製品群を待機部に待機させ、前記複数の製造装置の
いずれかが次製品を処理することができる状態になる度
に、この次製品を処理することができる製造装置が前記
次投入待製品群のうち１の次投入製品を選択して処理す
る半導体生産システムに用いられ、 前記複数の製造装置のそれぞれから生産完了予告情報を
受け、この生産完了予告情報を出力した製造装置が処理
している製品の種類と同一の種類の製品が次投入待製品
群にある場合に、 １の製造装置が、前記生産完了予告情報を出力した他の
製造装置に先行して次投入待製品を処理することができ
る状態になっても、当該１の製造装置に先行して当該他
の製造装置に前記同一種類の製品を投入するという優先
割付の対象となる製造装置を決定する手段と、 前記複数の製造装置のそれぞれから生産完了報告を受け
たとき、その生産完了報告を出力した製造装置が処理し
ていた製品の種類と同一の種類の製品が次投入待製品群
にある場合には、前記同一の種類の製品を次投入製品と
して決定し、前記生産完了報告受信時にその生産完了報
告を出力した製造装置が処理していた製品の種類と同一
の種類の製品が次投入待製品群にない場合には、前記優
先割付の対象となっている製品以外の製品を前記次投入
製品として決定し、前記生産完了報告を出力した製造装
置に次製品投入指示を与える手段と、 を備えた生産管理装置。 - 【請求項４】生産管理装置を備えた半導体装置の生産シ
ステムに用いられ、前記生産管理装置の管理下で複数の
種類の製品を処理する製造装置であって、 所定数の製品を次投入待製品群として待機させる待機部
と、 該待機部に待機する前記次投入待製品群のうち、投入さ
れる前の製品の残数を検出する検出手段と、 前記製品の残数が設定値に達した時に生産完了予告情報
を前記生産管理装置に与える報告手段とを備え、 前記生産完了予告情報に基づいて前記生産管理装置が行
う次投入待製品群の割当てに基づく投入指示を受けて、
現に処理している製品と同一の種類の製品が前記待機部
の次投入待製品群にある場合には、現に処理している製
品と異なる種類の製品に優先して前記同一の種類の製品
を処理し、現に処理している製品と同一の種類の製品が
前記待機部の次投入待製品群にない場合には、現に処理
している製品と異なる種類の製品を処理する、 ことを特徴とする製造装置。 - 【請求項５】前記待機部に待機する前記次投入待製品群
は、それぞれにバーコードが取付けられ単一のユニット
として保管される複数のケースに収納された所要数の製
品で構成され、 前記バーコードには、投入予定の前記製品の数量が記録
され、 前記検出手段は、前記バーコードを読み取る読取部を含
み、前記読取部により読取られた数量から既に処理を終
了した前記製品の数量を減算することにより前記製品の
残数を検出することを特徴とする請求項４に記載の製造
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2324331A JP2753142B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 |
| KR1019910021005A KR950000506B1 (ko) | 1990-11-27 | 1991-11-23 | 반도체장치의 생산시스템에 있어서 생산관리방법과 생산관리장치 및 제조장치 |
| US07/799,181 US5375061A (en) | 1990-11-27 | 1991-11-27 | Manufacturing management and apparatus for a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2324331A JP2753142B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04192512A JPH04192512A (ja) | 1992-07-10 |
| JP2753142B2 true JP2753142B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=18164595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2324331A Expired - Fee Related JP2753142B2 (ja) | 1990-11-27 | 1990-11-27 | 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5375061A (ja) |
| JP (1) | JP2753142B2 (ja) |
| KR (1) | KR950000506B1 (ja) |
Families Citing this family (48)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05121521A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウエハ製造装置および製造方法 |
| US6801820B1 (en) * | 1994-05-27 | 2004-10-05 | Lilly Software Associates, Inc. | Method and apparatus for scheduling work orders in a manufacturing process |
| US5607642A (en) * | 1994-06-10 | 1997-03-04 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Interactive control system for packaging control of contact lenses |
| US5745364A (en) * | 1994-12-28 | 1998-04-28 | Nec Corporation | Method of producing semiconductor wafer |
| KR0160386B1 (ko) * | 1995-10-13 | 1999-02-01 | 김광호 | 반도체소자 제조 공정의 제어 시스템 및 그 제어 방법 |
| JP3501896B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2004-03-02 | トーヨーエイテック株式会社 | ウェハ製造装置 |
| US5928389A (en) * | 1996-10-21 | 1999-07-27 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for priority based scheduling of wafer processing within a multiple chamber semiconductor wafer processing tool |
| JPH10199784A (ja) * | 1997-01-06 | 1998-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | アライメント補正方法及び半導体装置 |
| US5942739A (en) * | 1997-01-22 | 1999-08-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process timer monitor |
| US5828989A (en) * | 1997-01-22 | 1998-10-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Semiconductor manufacturing system having a bar-code interface |
| US6092000A (en) * | 1997-10-28 | 2000-07-18 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Method for maximizing the throughput of a multiple-step workstation in a plant |
| US6256548B1 (en) * | 1998-05-08 | 2001-07-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for controlling lots dispatches of tool groups |
| US6768930B2 (en) | 1998-12-31 | 2004-07-27 | Asml Holding N.V. | Method and apparatus for resolving conflicts in a substrate processing system |
| US6678572B1 (en) * | 1998-12-31 | 2004-01-13 | Asml Holdings, N.V. | Recipe cascading in a wafer processing system |
| US6865437B1 (en) * | 1998-12-31 | 2005-03-08 | Asml Holdings N.V. | Robot pre-positioning in a wafer processing system |
| US6418356B1 (en) | 1998-12-31 | 2002-07-09 | Silicon Valley Group, Inc. | Method and apparatus for resolving conflicts in a substrate processing system |
| US6356797B1 (en) * | 1999-01-04 | 2002-03-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for automatic scheduling of production plan |
| SG74705A1 (en) | 1999-03-12 | 2001-06-19 | Sony Electronics Singapore Pte | A monitoring system for monitoring processing equipment |
| JP3365551B2 (ja) * | 1999-05-20 | 2003-01-14 | 日本電気株式会社 | ロット供給システム及びロット供給方法 |
| KR100580403B1 (ko) * | 1999-11-18 | 2006-05-15 | 삼성전자주식회사 | 이중 설비 시스템 및 그 제어 방법 |
| JP2001189363A (ja) * | 2000-01-04 | 2001-07-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置製造設備およびその制御方法 |
| US6584369B2 (en) * | 2000-02-02 | 2003-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Method and system for dispatching semiconductor lots to manufacturing equipment for fabrication |
| US6714830B2 (en) * | 2000-02-28 | 2004-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Push-type scheduling for semiconductor fabrication |
| US6418350B1 (en) * | 2000-06-09 | 2002-07-09 | Brooks Automation Inc. | Periodic scheduler for dual-arm robots in cluster tools with process-module residency constraints |
| JP2002075813A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | プロセス制御方法及びプロセス制御装置 |
| US6701203B2 (en) * | 2000-09-08 | 2004-03-02 | International Business Machines Corporation | Determining the capacity components of multi chamber systems |
| FR2815746B1 (fr) * | 2000-10-19 | 2005-04-08 | Patrick Yves Raymond Jost | Systeme de pilotage par lot, d'ordre de realisation monophase a processus connexe, destine a toute realisation technique, materialisee ou non, devant respecter un sequence operation de mise en oeuvre |
| US6571371B1 (en) * | 2000-12-27 | 2003-05-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for using latency time as a run-to-run control parameter |
| US7752266B2 (en) | 2001-10-11 | 2010-07-06 | Ebay Inc. | System and method to facilitate translation of communications between entities over a network |
| US7720559B1 (en) * | 2002-04-26 | 2010-05-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Dynamic tool scheduling based upon defects |
| US6907305B2 (en) | 2002-04-30 | 2005-06-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Agent reactive scheduling in an automated manufacturing environment |
| US7512454B1 (en) | 2002-05-31 | 2009-03-31 | Advanced Micro Devices, Inc. | Display unit with processor and communication controller |
| US7069097B1 (en) | 2002-08-30 | 2006-06-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for reducing scheduling conflicts for a resource |
| US6801819B1 (en) | 2002-08-30 | 2004-10-05 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for evaluating bids for scheduling a resource |
| US6904329B1 (en) | 2002-08-30 | 2005-06-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for generating a multi-dimensional cost function |
| US7127310B1 (en) | 2002-08-30 | 2006-10-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for determining cost functions using parameterized components |
| US7813993B1 (en) | 2002-08-30 | 2010-10-12 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for scheduling a resource |
| US6782302B1 (en) * | 2002-08-30 | 2004-08-24 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for scheduling workpieces with compatible processing requirements |
| US7027885B1 (en) | 2002-12-30 | 2006-04-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Determining batch start versus delay |
| US7337032B1 (en) | 2004-10-04 | 2008-02-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Scheduling ahead for various processes |
| US7463939B1 (en) | 2004-11-18 | 2008-12-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Scheduling tools with queue time constraints |
| US8428761B2 (en) * | 2005-03-31 | 2013-04-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Production system and production method |
| US8639782B2 (en) | 2006-08-23 | 2014-01-28 | Ebay, Inc. | Method and system for sharing metadata between interfaces |
| US8989887B2 (en) * | 2009-02-11 | 2015-03-24 | Applied Materials, Inc. | Use of prediction data in monitoring actual production targets |
| JP5552265B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置の制御方法及び記憶媒体 |
| JP6625098B2 (ja) * | 2017-07-20 | 2019-12-25 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理システム、半導体装置の製造方法およびプログラム |
| CN108873848A (zh) * | 2018-07-25 | 2018-11-23 | 珠海格力智能装备有限公司 | 流水线控制程序的切换方法和装置 |
| CN113762797B (zh) * | 2021-09-14 | 2023-10-24 | 长鑫存储技术有限公司 | 晶圆制备的控制方法及其装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4459663A (en) * | 1981-07-02 | 1984-07-10 | American Business Computer | Data processing machine and method of allocating inventory stock for generating work orders for producing manufactured components |
| US4457772A (en) * | 1981-07-08 | 1984-07-03 | Ball Corporation | Management control system for forming glassware |
| US4646238A (en) * | 1984-10-26 | 1987-02-24 | Analog Devices, Inc. | Material requirements planning system and procedures for use in process industries |
| JP2533495B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1996-09-11 | 株式会社日立製作所 | ワ−クスケジユ−リング方法及び装置 |
| JPS6471652A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-16 | Fanuc Ltd | Automatic work scheduling method based on expert system |
| US4866628A (en) * | 1987-12-18 | 1989-09-12 | International Business Machines Corp. | Automated production dispatch system with feedback control |
| US5170355A (en) * | 1988-12-14 | 1992-12-08 | Siemens Corporate Research, Inc. | Apparatus and a method for controlling the release of jobs from a pool of pending jobs into a factory |
-
1990
- 1990-11-27 JP JP2324331A patent/JP2753142B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-23 KR KR1019910021005A patent/KR950000506B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-11-27 US US07/799,181 patent/US5375061A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04192512A (ja) | 1992-07-10 |
| KR920010748A (ko) | 1992-06-27 |
| US5375061A (en) | 1994-12-20 |
| KR950000506B1 (ko) | 1995-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2753142B2 (ja) | 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 | |
| US4698629A (en) | Method and apparatus for coordination among distributed subsystems | |
| EP0645724B1 (en) | Method of and apparatus for scheduling parts deliverer running and method of managing parts deliverers | |
| KR19990082950A (ko) | 생산 진척 정보 출력장치 | |
| US6618639B2 (en) | System, process, apparatus and program for controlling special lot carrying in semiconductor carrying facility | |
| KR20010062659A (ko) | 반도체 장치 제조 라인의 레퍼런스 웨이퍼의 관리 방법 및시스템 및 기록 매체 | |
| JPH06218659A (ja) | 段取り替え指示装置及び製造システム | |
| EP1072993A2 (en) | Method of processing the preceding work for workflow system | |
| US6842655B1 (en) | Method and apparatus for processing an object | |
| JPH0790582B2 (ja) | 射出成形生産管理システム | |
| JPH0929589A (ja) | 製造ライン管理方式 | |
| JP2562519B2 (ja) | 製造制御システム | |
| JPH0816206A (ja) | 着工順序決定方法及び装置 | |
| JPH10135299A (ja) | 自己診断装置及び自己診断方法 | |
| JPH1158186A (ja) | 設備間無人搬送システムの能力評価方法及びその方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | |
| JP3161330B2 (ja) | 入荷処理および入出荷処理の指示装置 | |
| EP0425764A2 (en) | Input data control system and data management apparatus for use therewith | |
| JPS62249409A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH0911089A (ja) | 投入制御装置 | |
| JP3920035B2 (ja) | 物流制御システム及びその方法 | |
| KR0159819B1 (ko) | 금전등록기에서의 정시업무 자동처리방법 | |
| JPH08174387A (ja) | 工順編成装置 | |
| JPH07186012A (ja) | 工具交換時期予測装置 | |
| JPS6293102A (ja) | 自動倉庫における入出庫制御装置 | |
| JPH10263992A (ja) | 生産ラインにおける治具搬送システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |