KR100580403B1 - 이중 설비 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

이중 설비 시스템 및 그 제어 방법 Download PDF

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Abstract

이 발명은 이중 설비 시스템 및 그 제어 방법을 개시한다. 제1 설비 및 제2 설비가 인라인으로 구성된 이중 설비 시스템에서, 다수의 기판이 랏단위로 처리되도록 수납되어 있는 카세트가 제1 대기부 또는 제2 대기부로 이송되면 설비 제어기는 호스트로부터 각 랏의 작업 모드를 전송받아서 해당 작업 모드에 따라 각 랏에 대한 작업을 수행한다. 하나의 랏에 대하여 제1 설비의 제1 공정만을 수행하거나, 제2 설비의 제2 공정만을 수행할 수 있으며, 또한 하나의 랏에 대하여 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하거나, 제2 공정 및 제1 공정을 순차적으로 수행할 수 있다. 그리고 하나의 설비에서 기판이 처리되고 있는 도중에 다른 설비의 구동이 중지되면, 처리되던 기판의 공정을 완료한 다음에 처리된 기판을 제1 또는 제2 대기부의 빈 카세트에 언로딩시켜 대기시킨 후에, 구동이 중지된 설비가 복구되면 대기시킨 기판을 복구된 설비로 로딩시켜 해당 공정을 수행한다. 이에 따라 하나의 설비가 고장난 경우에도 작업이 계속하여 수행됨으로써 작업 지연을 방지할 수 있다. 따라서, 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 향상되어 생산성이 향상된다.
TFT, LCD, 자동화시스템, 이중설비

Description

이중 설비 시스템 및 그 제어 방법{DOUBLE EQUIPMENT SYSTEM AND CONTROL METHOD THEREOF}
도 1은 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 전체 구조도이다.
도 2a 내지 도 2c는 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 작업 모드에 따른 동작 순서도이다.
도 3a 내지 도 3c는 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 작업 모드에 따른 공정 진행 방향을 나타낸 도이다.
도 4a 내지 도 4f는 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 하나의 작업 모드를 가지는 하나의 랏이 처리되고 있는 경우의 공정 진행 상태를 나타낸 도이다.
도 5a 및 도 5b는 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 두 개의 랏이 서로 다른 설비를 동시에 사용하는 경우의 공정 진행 상태를 나타낸 도이다.
도 6a 내지 도 6f는 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 하나의 공정을 수행하는 제1 랏 및 두 개의 공정을 수행하는 제2 랏이 동시에 처리되고 있는 경우의 공정 진행 상태를 나타낸 도이다.
도 7a 내지 도 7j는 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 두 개의 공정을 수행하는 제1 랏 및 하나 또는 두 개의 공정을 수행하는 제2 랏이 동시에 처리되고 있는 경우의 공정 진행 상태를 나타낸 도이다.
이 발명은 이중 설비 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로 보다 상세하게 말하자면, 특히 반도체나 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; 이하 'TFT-LCD' 라 함) 등의 제조 공정 중 두 개의 공정이 인라인으로 수행 가능한 이중 설비 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 TFT-LCD는 사진 식각 공정을 통하여 제조되며, 사진 식각 공정은 코팅(coating) 공정, 노광(exposure) 공정, 현상(develope) 공정, 식각(etching) 공정 및 박리(strip) 공정 등으로 이루어진다.
근래에는 생산성 효율을 증대시키기 위하여 이러한 TFT-LCD의 제조 공정이 대부분 자동화되고 있다. 이에 따라, 특정 공정을 수행하는 설비에서 작업 대상물에 대한 작업을 진행하고자 하는 경우, 먼저 자동 운송 장치(automatic guided vehicle: 'AGV')를 사용하여 작업이 수행될 작업 대상물이 보관되어 있는 카세트를 특정 설비로 이송하여 설비에 로딩하고, 뒤이어 필요한 작업을 자동으로 진행한다.
일반적으로 이러한 설비들은 하나의 공정만을 수행하는 단독 설비로 이루어 지나, 하나 이상의 설비가 인라인으로 구성된 이중 설비도 사용되고 있다.
종래의 제1 및 제2 설비가 인라인으로 구성된 이중 설비 시스템에서는 AGV 등에 의하여 작업 대상물(이하, 기판이라 명명함)이 보관되어 있는 카세트가 이송되어 오면, 반송 로봇에 의하여 카세트에 보관되어 있는 기판이 제1 설비의 핸들링 스테이션으로 로딩되고, 제1 설비 상으로 로딩된 기판에 대하여 제1 공정이 수행된다. 다음에 제1 공정이 완료된 기판이 컨베이어(conveyer) 장치를 통하여 제2 설비의 핸들링 스테이션 상으로 반송되고, 제2 설비 상으로 반송된 기판에 대하여 제2 공정이 수행된다. 그리고 제2 공정이 완료된 기판은 반송 로봇에 의하여 빈 카세트에 적재되어 다른 설비로 보내진다.
이와 같이 종래의 이중 설비 시스템에서는 제1 설비 및 제2 설비가 인라인으로 설치되고 다수의 기판이 컨베이어 장치에 의하여 제1 설비에서 제2 설비로 순차적으로 반송되면서 제1 및 제2 공정이 이루어지게 된다.
그러나 이러한 종래의 이중 설비 시스템에서는 하나의 설비에 고장이 발생되거나 설비 구동이 중지되는 경우에는 처리되고 있던 기판을 반송할 수 없게 됨에 따라 나머지 설비도 작업을 수행하지 못하게 된다.
따라서, 이중 설비 시스템 이외에 다른 공정을 수행하던 다른 설비들도 작업을 수행하지 못하게 되어 전체 제조 작업이 지연되며, 이에 따라 작업 시간이 증가되어 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 떨어지게 되어 생산성이 저하된다.
또한, 설비가 구동되지 못하는 시간이 길어지는 경우에는 처리되고 있던 기판의 작업 특성이 변화됨에 따라 기판을 사용하지 못하게 되는 경우가 발생한다. 보다 상세하게 말하자면, 예를 들어 이중 설비가 에칭 공정 및 박리 공정을 수행하는 두 개의 설비로 이루어진 경우에, 박리 공정을 수행하는 제2 설비에 고장이 발생하여 전체 설비 시스템이 다운된 경우에는, 제1 설비에서 에칭 공정이 수행되고 있던 기판에 도포된 화학 약품의 특성이 변화하게 되어 요구되는 패턴을 얻을 수가 없게 된다.
따라서, 불량 기판이 발생되는 가능성이 증가됨에 따라 수율이 떨어지게 된다.
그러므로 이 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 반도체나 TFT-LCD 등을 제조하는 하나 이상의 설비가 인라인으로 이루어진 이중 설비 시스템의 작업 처리 효율을 향상시키기 위한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 이 발명의 특징에 따른 이중 설비 시스템은, 제1 공정을 수행하는 제1 설비; 제2 공정을 수행하는 제2 설비; 다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제1 대기부; 다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제2 대기부; 상기 제1 대기부의 작업 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩하여 제1 설비로 로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 제1 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 상기 제1 설비 상으로 이송시키는 제1 반송부; 상기 제2 대기부의 작업 카세트에 수납되 어 있는 기판을 로딩하여 제2 설비로 로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 제2 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 상기 제2 설비 상으로 이송시키는 제2 반송부; 설정된 작업 모드에 따라 상기 제1 및 제2 반송부의 동작과 제1 및 제2 설비의 동작을 제어하는 설비 제어기를 포함한다.
상기 제1 대기부 및 제2 대기부의 카세트에 수납된 다수의 기판이 다수의 랏으로 나뉘어져서 랏단위로 처리되는 경우, 상기 랏에 대한 작업 모드를 관리하는 호스트를 더 포함할 수 있으며, 상기 설비 제어기는 상기 호스트로부터 랏에 대한 작업 모드를 전송받아서 상기 제1 또는 제2 반송부 및 상기 제1 설비 또는 제2 설비를 구동시키는 해당 랏에 대한 작업을 수행한다.
여기서, 작업 모드는 제1 공정만을 수행하는 제1 작업 모드, 제2 공정만을 수행하는 제2 작업 모드, 제1 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 제3 작업 모드 및 제2 및 제1 공정을 순차적으로 수행하는 제4 작업 모드로 이루어질 수 있다.
하나의 랏에 대하여 제1 작업 모드 또는 제2 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 설비 제어기는 상기 제1 또는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 또는 제2 대기부의 카세트에 수납되어 있는 해당 랏의 기판들을 순차적으로 제1 설비 또는 제2 설비로 로딩시키고, 다음에 상기 제2 또는 제1 반송부를 제어하여 제1 설비 또는 제2 설비의 작업이 완료된 기판들을 제2 대기부 또는 제1 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시킨다.
한편, 하나의 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 상기 설비 제어기는 상기 제1 설비가 해당 랏의 기판에 대하여 제1 공정을 수행하는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면 상기 제2 반송부를 제어하여 제1 공정이 완료된 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시킨 다음, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행한다.
한편, 하나의 랏에 대하여 제4 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 상기 설비 제어기는 제2 설비가 해당 랏의 기판에 대하여 제2 공정을 수행하는 도중에 상기 제1 설비의 구동이 중지되면 상기 제1 반송부를 제어하여 제2 공정이 완료된 기판들을 제1 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시킨 다음, 상기 제1 설비가 복구되면 상기 제1 반송부를 제어하여 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행한다.
상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 설비 제어기는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 랏의 기판들은 제2 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시킨 다음에, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제2 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행한다.
상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기 판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 설비 제어기는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키며, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행한다.
상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏 및 제2 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 설비 제어기는 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기판들을 제1 설비로 로딩시키는 것을 중지하고, 제2 반송부를 제어하여 제1 공정이 수행된 상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고 상기 제 1 공정이 수행된 제2 랏의 일부 기판들은 상기 임의 카세트에 언로딩시키며, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판 및 제2 랏의 일부 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제1 반송부를 제어하여 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기판들을 제1 설비로 이송시켜 제1 공정을 수행한다.
이외에도, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 설비 제어기는 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 랏 중 제1 모드로 설정된 랏은 계속하여 제1 설비로 투입하여 해당 작업 을 수행하도록 할 수도 있다.
한편, 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제4 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 설비 제어기는 상기 제1 반송부를 제어하여 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제1 랏의 기판들을 상기 제1 설비로 로딩시키고, 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 기판들을 상기 제2 설비로 로딩시킨 다음에, 상기 제1 랏의 마지막 기판이 상기 제1 설비로 로딩되는 시점에 설정된 보정 시간을 더한 시점에서, 상기 제1 반송부를 제어하여 상기 제2 설비에서 처리된 제2 랏의 기판을 상기 제1 설비로 이송시킨다.
여기서, 기판은 반도체 웨이퍼 또는 TFT-LCD의 글래스일 수 있다.
또한, 이 발명의 다른 특징에 따른 이중 설비 시스템의 제어 방법은, 제1 공정을 수행하는 제1 설비, 제2 공정을 수행하는 제2 설비, 기판이 수납되어 있는 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 임의 카세트를 포함하는 제1 및 제2 대기부, 설정된 작업 모드에 따라 상기 제1 및 제2 설비의 동작을 제어하는 설비 제어기를 포함하는 이중 설비 시스템에서,
다수의 기판이 수납된 카세트가 제1 대기부 또는 제2 대기부로 이송되면, 상기 설비 제어기가 이송된 기판의 작업 모드를 판단하는 단계; 이송된 기판의 작업 모드가 제1 공정만을 수행하도록 설정된 경우에, 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하고, 제1 공정이 수행된 기판을 제2 대기부의 설정된 카세트로 언로딩시키는 단계; 이송된 기판의 작업 모드가 제2 공정만을 수행하도록 설정된 경우에, 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제2 공정이 수행된 기판을 제1 대기부의 설정된 카세트로 언로딩시키는 단계; 이송된 기판의 작업 모드가 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하도록 설정된 경우, 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하고, 제1 공정이 수행된 기판을 제2 설비로 이송시켜 제2 공정을 수행하며, 제1 및 제2 공정이 수행된 기판을 상기 제1 대기부의 카세트로 언로딩시키는 단계; 및 이송된 기판의 작업 모드가 제2 공정 및 제1 공정을 순차적으로 수행하도록 설정된 경우, 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제2 공정이 수행된 기판을 제1 설비로 이송시켜 제1 공정을 수행하며, 제2 및 제1 공정이 수행된 기판을 상기 제2 대기부의 카세트로 언로딩시키는 단계를 포함한다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 1에 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 구조가 도시되어 있다.
첨부한 도 1에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템 은 제1 공정을 수행하는 제1 설비(10), 제1 설비(10)와 평행하게 설치되어 있으며 제2 공정을 수행하는 제2 설비(20), 제1 및 제2 설비(10,20)를 기준으로 하여 좌측에 설치되어 있으며 다수의 카세트를 포함하는 제1 대기부(30), 제1 및 제2 설비(10,20)를 기준으로 하여 우측에 설치되어 있으며 다수의 카세트를 포함하는 제2 대기부(40), 제1 대기부(30)와 제1 및 제2 설비(10,20) 사이에 위치된 제1 반송부(50), 제1 및 제2 설비(10,20)와 제2 대기부(40) 사이에 위치된 제2 반송부(60), 제1 및 제2 설비(10,20)와 제1 및 제2 반송부(60)의 동작을 제어하는 설비 제어기(70)를 포함한다.
이외에도 기판에 대한 정보를 관리하고, 설비 제어기(70)의 요청에 따라 해당 기판의 정보를 설비 제어기(70)로 전송하는 호스트(80)를 포함한다.
제1 및 제2 설비(10,20)는 해당하는 제1 및 제2 공정을 각각 수행하는 일련의 장비들을 포함하며, 제1 및 제2 공정을 수행하기 위한 기판이 위치되는 핸들링 스테이션을 각각 포함한다. 제1 및 제2 설비(10,20)에 로딩된 기판들은 컨베이어 장치에 의하여 이송되면서 처리된다.
제1 및 제2 대기부(30, 40)에는 기판이 보관되어 있는 다수의 카세트 및 기판이 보관되어 있지 않은 다수의 빈 카세트가 위치되어 있다. 제1 및 제2 대기부(30,40)의 카세트에 수납되어 있는 기판들은 제1 및 제2 설비(10,20)로 로딩되어 처리되고, 제1 및 제2 설비(10,20)의 작업이 완료된 기판들은 제2 및 제1 대기부(40,30)의 카세트에 언로딩된다. 따라서, 제1 및 제2 대기부(40)의 카세트는 로딩 카세트 및 언로딩 카세트의 기능을 모두 수행하게 된다.
제1 반송부(50)는 제1 대기부(30)에 위치된 카세트에 수납되어 있는 기판들을 로딩하여 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상으로 로딩시키거나, 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션상에 위치된 기판을 제1 대기부(30)의 빈 카세트에 언로딩시키는 동작을 수행한다. 그리고, 제2 반송부(60)는 제2 대기부(40)에 위치된 카세트에 수납된 기판들을 로딩하여 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상으로 로딩시키거나, 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상에 위치된 기판을 제2 대기부(40)의 카세트에 언로딩시키는 동작을 수행한다. 여기서 제1 및 제2 반송부(50,60)는 자동화 시스템에 일반적으로 사용되는 반송 로봇이며, 반송 로봇의 구조는 이미 공지된 기술임으로 상세한 설명은 생략한다.
이하, 설명의 편의를 위하여 제1 및 제2 설비(10,20)의 작업이 수행되어야 할 기판이 수납되어 있는 제1 및 제2 대기부(30,40)의 카세트는 작업 카세트로 명명하였으며, 제1 및 제2 설비(10,20)의 작업이 완료된 기판이 언로딩되도록 설정되어 있는 카세트를 반송 카세트라고 명명하였다. 그리고, 작업 카세트에 작업이 완료된 기판이 다시 언로딩될 수 있으므로 작업 카세트가 반송 카세트가 될 수도 있다.
이 발명의 실시예에서 제1 및 제2 대기부(30,40)에 위치되는 작업 카세트에는 다수의 기판이 수납되어 있으며, 다수의 기판은 랏(lot) 단위로 나뉘어져서 처리된다. 여기서 랏은 기판이 처리되는 단위이다.
설비 제어기(70)는 호스트(80)로부터 인가되는 정보에 따라 제1 및 제2 설비(10, 20)의 작업을 제어하고, 제1 및 제2 설비(10, 20)의 구동 가능 여부에 따라 제1 및 제2 반송부(50, 60)를 제어하여 제1 및 제2 대기부(30,40)의 카세트에 수납되어 있는 기판을 제1 및 제2 설비(10,20)로 로딩시키거나, 제1 및 제2 설비(20) 상의 기판을 제2 및 제1 대기부(40,30)의 카세트로 언로딩시킨다.
여기서 설비 제어기(70)는 제1 및 제2 설비(10,20)의 동작을 모두 제어하도 록 구성하였으나, 이에 한정되지 않고 설비 제어기(70)를 제1 설비(10)의 동작을 제어하는 제어기, 제2 설비(20)의 동작을 제어하는 제어기로 나누어서 구성할 수도 있다.
이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템에서는 하나의 랏에 대하여 제1 또는 제2 설비(20)의 작업이 이루지도록 할 수 있으며, 또한 하나의 랏에 대하여 제1 및 제2 설비(10,20)의 작업이 모두 이루어지도록 할 수 있다.
이에 따라, 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템에서는 작업 모드가 하나의 랏에 대하여 제1 공정만이 수행되는 제1 작업 모드, 하나의 랏에 대하여 제2 공정만이 수행되는 제2 작업 모드, 하나의 랏에 대하여 제1 공정이 수행된 다음에 제2 공정이 순차적으로 수행되는 제3 작업 모드, 하나의 랏에 대하여 제2 공정이 수행된 다음에 제1 공정이 순차적으로 수행되는 제4 작업 모드로 나뉘어질 수 있다.
그리고, 하나의 카세트에 수납된 랏마다 서로 다른 작업 모드를 적용할 수 있다. 예를 들어, 하나의 카세트에 수납되어 있는 기판 중, 제1 랏의 기판에 대해서 제2 작업 모드를 적용하고, 제2 랏의 기판에 대해서는 제4 작업 모드를 적용할 수 있다.
이러한 이 발명의 실시예의 작업 모드에 따른 이중 설비 시스템의 동작을 첨부된 도면을 참조로 하여 설명한다.
도 2a 내지 도 2c에 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 작업 모드에 따른 동작 순서도가 도시되어 있으며, 도 3a 내지 도 3c에 작업 모드에 따른 공 정 진행 방향이 도시되어 있다.
여기서, 도 1에 도시되어 있듯이, 제1 설비(10)의 공정이 수행되는 방향이 좌측에서 우측으로 수행되고, 제2 설비(20)의 공정이 수행되는 방향이 우측에서 좌측으로 수행된다는 가정하에 다음의 동작이 이루어진다.
첨부한 도 2a에 도시되어 있듯이, 도시하지 않은 자동 운송 장치에 의하여 작업이 수행될 기판이 랏 단위로 수납되어 있는 작업 카세트가 제1 대기부(30) 또는 제2 대기부(40)로 이송되어 오면, 설비 제어기(70)는 호스트(80)로부터 해당 카세트에 수납되어 있는 랏의 정보를 전송받고, 전송된 랏의 정보에 따라 해당 작업을 수행한다(S10∼S20).
이 발명의 실시예에서는 각 랏마다 수행되어야 할 작업 모드가 미리 설정되어 있으며, 호스트(80)는 이중 설비 시스템으로 이송된 작업 카세트에 수납되어 있는 랏별로 수행하여야 할 작업 모드를 포함하는 정보를 설비 제어기(70)로 전송한다.
먼저, 작업 카세트에 수납되어 있는 하나의 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 도 3a에 도시되어 있듯이, 설비 제어기(70)는 제1 반송부(50)를 제어하여 제1 대기부(30)에 위치되어 있는 작업 카세트로부터 해당 랏의 기판들을 순차적으로 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상으로 로딩시킨다(S30∼S40).
이에 따라 제1 설비(10)는 로딩되는 기판들에 대하여 순차적으로 제1 공정을 수행한다. 다음에, 기판에 대한 제1 설비(10)의 제1 공정이 완료되면 설비 제어기(70)는 제2 반송부(60)를 제어하여 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상에 위 치된 기판을 제2 대기부(40)의 예약되어 있는 반송 카세트에 언로딩시킨다(S50∼S60).
다음, 설비 제어기(70)는 제1 작업 모드로 설정된 랏에 해당하는 모든 기판에 대하여 제1 공정이 모두 수행되었는가를 판단하여(S70), 해당 랏의 모든 기판에 대한 제1 공정이 수행되지 않은 경우에는 계속하여 해당 랏의 기판들을 제1 설비(10)로 로딩시켜 위의 동작을 반복 수행한다.
한편, 작업 카세트에 수납되어 있는 하나의 랏에 대하여 제2 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 도 3a에 도시되어 있듯이, 설비 제어기(70)는 제2 반송부(60)를 제어하여 제2 대기부(40)에 위치되어 있는 작업 카세트로부터 해당 랏의 기판들을 순차적으로 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상으로 로딩시킨다(S80).
이에 따라 제2 설비(20)는 로딩되는 기판들에 대하여 순차적으로 제2 공정을 수행하며, 설비 제어기(70)는 기판에 대한 제2 설비(20)의 제2 공정이 완료되면 제1 반송부(50)를 제어하여 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상에 위치된 기판을 제1 대기부(30)의 예약되어 있는 반송 카세트에 언로딩시킨다(S90∼S100). 설비 제어기(70)는 위에 기술된 바와 같이, 제2 작업 모드로 설정된 랏에 해당하는 모든 기판에 대하여 제2 공정을 모두 수행한다(S110).
한편, 첨부한 도 2b에 도시되어 있듯이, 작업 카세트에 수납되어 있는 하나의 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 설비 제어기(70)는 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 반송부(50)를 제어하여 제1 대기부(30)에 위치되어 있는 작업 카세트로부터 해당 랏의 기판을 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상으로 순차적 으로 로딩시켜 제1 공정이 수행되도록 한다(S120).
다음에 설비 제어기(70)는 제2 설비(20)의 고장 여부를 판단하여(S130), 제2 설비(20)에 고장이 발생하지 않은 경우에는 제2 반송부(60)를 제어하여 제1 공정이 완료된 기판들을 제1 설비(10)로부터 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상으로 순차적으로 이송 및 로딩시킨다(S140∼S150). 이에 따라 제2 설비(20)로 로딩된 기판에 대하여 제2 공정이 수행된다.
기판에 대한 제2 공정이 완료되면 설비 제어기(70)는 제1 반송부(50)를 제어하여 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상에 위치되고 제2 공정이 완료된 기판을 순차적으로 제1 대기부(20)의 작업 카세트에 언로딩시킨다(S160∼S170).
그러나, 제1 설비(10)의 제1 공정이 수행되고 있는 상태에서 제2 설비(20)에 고장이 발생하여 구동이 중지되는 경우, 설비 제어기(70)는 처리중인 해당 랏의 기판에 대해서는 제1 공정을 계속 수행하고(S180), 제1 대기부(30)의 다음 랏을 제1 설비(10)로 로딩시키는 것을 중지시킨다(S190). 다음에 제2 반송부(60)를 제어하여 제1 공정이 완료된 기판을 제2 대기부(40)의 예약되어 있지 않은 빈 카세트에 언로딩시켜 제2 설비(20)가 복구될때까지 대기시킨다(S200∼S210). 이 때, 설비 제어기(70)는 제2 대기부(40)의 빈 카세트에 대기되어 있는 랏의 정보를 호스트(80)로 전송한다.
이 상태에서 제2 설비(20)가 복구되면, 설비 제어기(70)는 제2 반송부(60)를 제어하여 제2 대기부(40)의 카세트에 수납되어 있던 해당 랏의 기판을 제2 설비(20)로 로딩시키고(S220∼S230), 제1 대기부(30)의 작업 카세트의 다음 랏의 기판들을 제1 설비(10)로 로딩시키는 것을 허용한다(S240).
다음, 제2 설비(20)로 로딩된 기판에 대한 제2 공정이 완료되면 해당 기판을 위에 기술한 바와 같이 제1 대기부(20)의 작업 카세트에 언로딩시킨다. 이러한 동작을 설정된 랏에 포함되는 모든 기판에 대하여 순차적으로 수행한다(S250).
한편, 첨부한 도 2c에 도시되어 있듯이, 작업 카세트에 수납되어 있는 하나의 랏에 대하여 제4 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 설비 제어기(70)는 도 3c에 도시되어 있듯이, 제2 반송부(60)를 제어하여 제2 대기부(40)에 위치되어 있는 작업 카세트로부터 해당 랏의 기판을 제2 설비(20)의 핸들링 스테이션 상으로 순차적으로 로딩시켜 제2 공정이 수행되도록 한다(S260).
다음에 설비 제어기(70)는 제1 설비(10)의 고장 여부를 판단하여(S270), 제1 설비(10)에 고장이 발생하지 않은 경우에는 제1 반송부(50)를 제어하여 제2 공정이 완료된 기판들을 제2 설비(20)로부터 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상으로 순차적으로 이송 및 로딩시킨다(S280∼S290). 이에 따라 제1 설비(10)로 로딩된 기판에 대하여 제1 공정이 수행된다.
기판에 대한 제1 공정이 완료되면 설비 제어기(70)는 제2 반송부(60)를 제어하여 제1 설비(10)의 핸들링 스테이션 상에 위치되고 제1 공정이 완료된 기판을 순차적으로 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 언로딩시킨다(S300∼S310).
한편, 제2 설비(20)의 제2 공정이 수행되고 있는 상태에서 제1 설비(10)에 고장이 발생하여 제1 설비(10)의 구동이 중지되는 경우, 설비 제어기(70)는 이미 처리되고 있던 해당 랏의 기판에 대해서는 제2 공정을 계속 수행한 다음(S320), 제2 대기부(40)의 다음 랏을 제2 설비(20)로 로딩하는 것을 중지하고(S330), 제1 반송부(50)를 제어하여 제2 공정이 완료된 기판을 제1 대기부(50)의 예약되어 있지 않은 빈 카세트에 수납하여 제1 설비(10)가 복구될때까지 대기시킨다(S340∼S350). 이 때, 설비 제어기(70)는 제1 대기부(50)에 빈 카세트에 수납되어 있는 랏의 정보를 호스트(80)로 보고한다.
이 상태에서 제1 설비(10)가 복구되면, 설비 제어기(70)는 제1 반송부(50)를 제어하여 제1 대기부(30)의 카세트에 수납되어 있던 기판을 제1 설비(10)로 로딩시키고(S360∼S370), 제2 반송부(60)를 제어하여 제2 대기부(40)의 작업 카세트의 다음 랏의 기판들을 제2 설비(20)로 로딩시키는 것을 허용한다(S380).
이후에 기판에 대한 제1 공정이 완료되면 해당 기판을 위에 기술한 바와 같이 제2 대기부(20)의 작업 카세트에 재수납시킨다. 이러한 동작을 설정된 랏에 포함되는 모든 기판에 대하여 순차적으로 수행한다(S390).
제3 모드 및 제4 모드에서 구동이 중지된 설비가 복구된 경우에, 설비 제어기(70)는 호스트(80)나 도시하지 않은 작업자 인터페이스부를 통하여 작업이 대기중이던 기판이 수납되어 있던 제2 대기부(40) 또는 제1 대기부(30)의 카세트를 폐기하라는 명령이 입력되면, 해당 카세트를 폐기처리한다.
이와 같이 설정된 작업 모드에 따라 하나의 카세트에 수납된 모든 랏에 대한 작업을 수행한다(S400∼S410).
이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템은 위에 기술된 작업 모드를 토대로 하여 동작하며, 위에 기술된 바와 같이 하나의 랏에 대하여 하나의 작업 모드를 수행할 수도 있으나, 하나의 랏에 대하여 하나 이상의 작업 모드를 수행할 수도 있다.
이하에서는 이러한 이 발명의 실시예에 따른 작업 모드를 토대로 하여 하나의 랏에 대하여 하나의 작업 모드를 수행하거나 하나의 랏에 대하여 하나 이상의 작업 모드를 수행하는 경우 또는 하나 이상의 랏이 이중 설비 시스템에서 동시에 처리되고 있는 경우 등을 보다 상세히 설명하고자 한다.
여기서는 이러한 이 발명의 실시예에 따른 이중 설비 시스템의 동작을, 예를 들어, TFT-LCD 제조 공정 중 에칭 공정 및 스트립 공정을 수행하는 이중 설비 시스템에 적용하여 설명한다.
설명의 편의를 위하여, 제1 설비(10)는 에칭 설비(10)로 명명하고, 제2 설비(20)는 스트립 설비(20)로 명명하였다. 따라서 제1 작업 모드에서는 에칭 공정을 수행하고, 제2 작업 모드에서는 스트립 공정을 수행하며, 제3 작업 모드에서는 에칭 공정 및 스트립 공정을 순차적으로 수행하고, 제4 작업 모드에서는 스트립 공정 및 에칭 공정을 순차적으로 수행하게 된다.
도 4a 내지 도 4f에 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 하나의 작업 모드를 가지는 하나의 랏이 처리되는 경우의 공정 진행 상태가 도시되어 있다.
이 경우에는 위에 기술된 실시예와 동일하게 공정 진행이 이루어진다.
즉, 이송된 카세트의 제1 랏(LOT1)에 대하여 에칭 공정을 수행하는 제1 작업 모드가 설정되어 있는 경우에는, 첨부한 도 4a에 도시되어 있듯이, 제1 대기부(30) 의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)에 포함되는 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)의 핸들링 스테이션으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 에칭 공정이 완료된 기판들을 제2 대기부(40)의 예약되어 있는 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
한편, 이송된 카세트의 제1 랏(LOT1)에 대하여 스트립 공정을 수행하는 제2 작업 모드가 설정되어 있으면, 첨부한 도 4b에 도시되어 있듯이, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)에 포함되는 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)의 핸들링 스테이션으로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 스트립 공정이 완료된 기판들을 제1 대기부(30)의 예약되어 있는 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
한편, 이송된 카세트의 제1 랏(LOT1)에 대하여 에칭 공정 및 스트립 공정을 순차적으로 수행하는 제3 작업 모드가 설정되어 있으면, 첨부한 도 4c에 도시되어 있듯이, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)에 포함되는 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)의 핸들링 스테이션으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한 다음, 에칭 공정이 완료된 기판을 순차적으로 스트립 설비(20)의 핸들링 스테이션상으로 이송 및 로딩시킨다. 따라서 에칭 공정 처리된 기판에 대하여 스트립 공정이 이루어지며, 스트립 공정이 완료된 기판들은 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩된다.
그러나, 도 4d에 도시되어 있듯이, 기판에 대하여 에칭 공정이 수행되는 도중에 스트립 설비(20)에 고장이 발생하면, 다음 랏의 투입을 중지하고 처리되고 있 던 제1 랏(LOT1)의 기판에 대해서는 계속하여 에칭 공정을 수행한 다음에, 에칭 공정이 완료된 기판들을 제2 대기부(40)의 예약되어 있지 않은 빈 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다. 그리고 스트립 설비(20)가 복구되면 제2 대기부(40)의 빈 카세트에 수납되어 있던 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)의 핸들링 스테이션상으로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들을 제1 대기부(30)의 작업카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
한편, 이송된 카세트의 제1 랏(LOT1)에 대하여 스트립 공정 및 에칭 공정이 순차적으로 수행되는 제4 작업 모드가 설정되어 있으면, 첨부한 도 4e에 도시되어 있듯이, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)에 포함되는 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)의 핸들링 스테이션으로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한 다음, 스트립 공정이 완료된 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)로 이송시켜 에칭 공정을 수행한다. 다음에, 에칭 공정이 완료된 기판들을 다시 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
그러나 첨부한 도 4f에 도시되어 있듯이, 스트립 공정이 이루어지고 있는 상태에서 에칭 설비(10)에 고장이 발생하면, 다음 랏의 투입을 중지하고 이미 처리되고 있는 제1 랏(LOT1)의 기판에 대해서는 계속하여 스트립 공정을 수행하고, 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판을 제1 대기부(30)의 빈 카세트에 수납시켰다가 에칭 설비(10)가 복구되면 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다. 이와 같이 스트립 공정 및 에칭 공정이 순차적으로 수행된 기판들이 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 언로딩된다.
다음에는 두 개의 랏이 동시에 처리되는 경우에 대하여 설명한다.
도 5a 및 도 5b에 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 두 개의 랏이 서로 다른 설비를 동시에 사용하는 경우의 공정 진행 상태가 도시되어 있다.
예를 들어, 제1 랏(LOT1)에 대하여 에칭 공정만이 수행되는 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 스트립 공정만이 수행되는 제2 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 첨부한 도 5a에 도시되어 있듯이, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1)의 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 동시에 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제2 랏(LOT2)의 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
한편, 제1 랏(LOT1)에 대하여 스트립 공정만이 수행되는 제2 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 에칭 공정만이 수행되는 제1 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 첨부한 도 5b에 도시되어 있듯이, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1)의 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 동시에 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제2 랏(LOT2)의 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다.
도 6a 내지 도 6f는 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 하나의 공정을 수행하는 제1 랏 및 두 개 의 공정을 수행하는 제2 랏이 동시에 처리되고 있는 경우의 공정 진행 상태가 도시되어 있다.
첨부한 도 6a에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 에칭 공정만이 수행되는 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 에칭 공정 및 스트립 공정이 순차적으로 수행되는 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 먼저, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1)의 기판들을 에칭 설비(10)로 순차적으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩된 다음에 작업 카세트의 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 제2 랏(LOT2)에 대한 에칭 공정을 수행한다.
그러나 첨부한 도 6b에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 에칭 설비(10)내에서 진행되고 있는 경우에 스트립 설비(20)에 고장이 발생하여 스트립 설비(20)의 구동이 중지되면, 에칭 설비(10)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여 제1 대기부(30)측에 있던 제1 및 제2 랏(LOT1,LOT2)을 제외한 다음 랏의 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시키는 것을 중지하고, 에칭 설비(10)내에서 처리되던 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들은 계속하여 에칭 공정 처리를 수행한다. 그리고 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들을 제2 대기부(40)의 예약된 반송 카세트에 언로딩시키고, 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들은 제2 대기부(40)의 예약되지 않은 빈 카세트에 언로딩시킨다. 이후에, 스트립 설비(20)가 복구되면 제1 대기부(30)의 다음 랏의 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시키는 것을 허용하고, 제2 대기부(40)의 빈 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 기판들을 스트립 설비(20)에 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
도 6c에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 스트립 공정 및 에칭 공정이 순차적으로 수행되는 제4 모드가 설정되어 있는 경우에, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1)의 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
다음에, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩되는 시점에 보정 시간을 더한 시점이 되면, 즉, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩되는 시점에서 기판 두장 정도가 에칭 설비(10)로 더 투입될 수 시간 여유를 둔 다음에, 스트립 설비(20)에서 처리된 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 제2 랏(LOT2)에 대한 에칭 공정을 수행한다.
이후의 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제2 대기부(40)의 예약된 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시키고, 스트립 공정 및 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들도 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
도 6d에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 스트립 공정만이 수행되는 제2 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 제4 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 순차적으로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩된 다음에 제2 대기부(40)의 작 업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
그러나 첨부한 도 6e에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 스트립 설비(20)내에서 진행되고 있는 상태에서 에칭 설비(10)에 고장이 발생하여 구동이 중지되면, 스트립 설비(20)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여, 제2 대기부(40)측에 있던 제1 및 제2 랏(LOT1, LOT2)을 제외한 다음 랏의 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시키는 것을 중지하고, 스트립 설비(20)내에 이미 로딩된 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들에 대해서는 계속하여 스트립 공정을 수행한다. 그리고 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제1 대기부(30)의 예약된 반송 카세트에 언로딩시키고, 스트립 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들은 제1 대기부(30)의 예약되지 않은 빈 카세트에 언로딩시킨다.
이후에, 에칭 설비(10)가 복구되면 제2 대기부(40)의 작업 카세트의 다음 랏의 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시키는 것을 허용하고, 제1 대기부(30)의 빈 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 기판들을 에칭 설비(10)에 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다. 그리고 스트립 및 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들을 순차적으로 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
한편, 도 6f에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제2 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏(LOT2)에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 순차적으로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 기판들을 에칭 설비(10)로 순차적으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다.
다음에, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩되는 시점에 보정 시간을 더한 시점이 되면, 즉, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩되는 시점에서 기판 두장 정도가 스트립 설비(20)로 더 투입될 수 시간 여유를 둔 다음에, 에칭 설비(10)에서 처리된 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 제2 랏(LOT2)에 대한 스트립 공정을 수행한다.
이후에, 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들을 제1 대기부(30)의 예약된 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시키고, 에칭 공정 및 스트립 공정이 순차적으로 수행된 제2 랏(LOT2)의 기판들을 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
도 7a 내지 도 7j에 이 발명의 다른 실시예에 따른 에칭 공정 및 스트립 공정이 이루어지는 이중 설비 시스템에서, 두 개의 공정을 수행하는 제1 랏 및 하나 또는 두 개의 공정을 수행하는 제2 랏이 동시에 처리되고 있는 경우의 공정 진행 상태가 도시되어 있다.
첨부한 도 7a에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제2 모드가 설정되어 있는 경우, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 에칭 설비(10)로 순차적으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들을 이송시켜 스트립 설비(20)의 핸들링 스테이션상으로 로딩시킨다. 다음에, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩된 다음에 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
이후에, 에칭 공정 및 스트립 공정이 순차적으로 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들을 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시키고, 스트립 공정이 수행된 제2 랏(LOT2)의 기판들을 제1 대기부(30)의 예약된 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
도 7b에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제1 모드가 설정되어 있는 경우, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 제1 설비(10)로 순차적으로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩된 다음에 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다.
그러나 첨부한 도 7c에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 에칭 설비(10)내에서 진행하고 있는 경우에 스트립 설비(20)에 고장이 발생하면, 에칭 설비(10)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여, 제1 대기부(30)측에 있던 다음 랏 중 제1 모드로 설정된 랏 이외의 투입을 중지하고, 에칭 설비(10)내에서 처리되던 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들은 계속하여 에칭 공정 처리를 수행한다. 그리고 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제2 대기부(40)의 예약되지 않은 빈 카세트에 언로딩시키고, 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기 판들은 제2 대기부(40)의 예약된 반송 카세트에 언로딩시킨다. 이후에, 스트립 설비(20)가 복구되면 제2 대기부(40)의 빈 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다. 그리고 에칭 공정 및 스트립 공정이 순차적으로 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
도 7d에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있는 경우, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 이송시켜 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시킨다. 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩된 다음에 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행한다.
스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 다시 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 언로딩시키고, 스트립 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)들의 기판들은 이송시켜 순차적으로 에칭 설비(10)로 로딩시킨다. 이후에 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들을 제2 대기부(40)측의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
도 7e에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있는 경우, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩된 다음에 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시킨다.
그러나 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 에칭 설비(10)내에서 진행하고 있는 경우에 스트립 설비(20)에 고장이 발생하면, 에칭 설비(10)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여, 제1 대기부(30)측에 있던 제2 랏(LOT2)의 나머지 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시키는 것을 중지하고, 에칭 설비(10)내에서 처리되던 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들은 계속하여 에칭 공정 처리를 수행하고, 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)의 기판들을 제2 대기부(40)의 예약되지 않은 빈 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다. 이에 따라, 첨부한 도 7e에 도시되어 있듯이, 제2 대기부(40)의 빈 카세트에 제1 랏(LOT1)의 기판들이 순차적으로 수납된 다음에 이어서 제2 랏(LOT2)의 기판들이 제1 랏(LOT1) 위에 순차적으로 수납된다.
이후에, 스트립 설비(20)가 복구되면, 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 남아 있던 제2 랏(LOT2)의 나머지 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시키고, 제2 대기부(40)의 빈카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)을 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시킨다. 다음에, 스트립 공정 및 에칭 공정이 순차적으로 수행된 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)의 기판들이 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 순차적으로 언로??된다.
도 7f에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제2 모드가 설정되어 있는 경우, 제2 대기부(40)의 작업 카 세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩된 다음에 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시킨다.
그러나 도 7g에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 스트립 설비(20)내에서 진행하고 있는 경우에 에칭 설비(10)에 고장이 발생하면, 스트립 설비(20)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여, 제2 대기부(40)측에 있던 다음 랏 중 제2 모드로 설정된 랏을 제외한 랏의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩하는 것을 중지하고, 스트립 설비(20)내에서 처리되던 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들은 계속하여 스트립 공정 처리를 수행하고, 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제1 대기부(30)의 예약되지 않은 빈 카세트에 언로딩시키고, 스트립 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들은 제1 대기부(30)의 예약된 반송 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다.
이후에, 에칭 설비(10)가 복구되면, 제1 대기부(30)의 예약되지 않은 빈 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 순차적으로 에칭 설비(10)로 로딩시켜 에칭 공정을 수행한다.
도 7h에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제1 모드가 설정되어 있는 경우, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 스트립 공정이 완료된 기판을 이송시켜 에칭 설비(10)로 로 딩시킨다.
제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩된 다음에 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시킨다. 이후에, 스트립 공정 및 에칭 공정이 순차적으로 수행된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 순차적으로 언로딩된다.
도 7i에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제3 모드가 설정되어 있는 경우, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 스트립 공정이 완료된 기판을 이송시켜 에칭 설비(10)로 로딩시킨다. 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 에칭 설비(10)로 로딩된 다음에 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 에칭 설비(10)로 로딩시킨다.
다음에, 에칭 공정이 완료된 제1 랏(LOT1)의 기판들은 다시 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 언로딩시키고, 에칭 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들은 순차적으로 스트립 설비(20)로 로딩시킨다. 스트립 공정이 완료된 제2 랏(LOT2)의 기판들은 제1 대기부(30)의 작업 카세트에 다시 순차적으로 언로딩시킨다.
도 7j에 도시되어 있듯이, 제1 랏(LOT1)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있고 제2 랏(LOT2)에 대하여 제4 모드가 설정되어 있는 경우에는, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제1 랏(LOT1)의 기판들을 스트립 설비(20)로 로딩시켜 스트립 공정을 수행하고, 제1 랏(LOT1)의 마지막 기판이 스트립 설비(20)로 로딩된 다음에 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 수납되어 있던 제2 랏(LOT2)의 첫 번째 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시킨다.
그러나 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)이 동시에 스트립 설비(20)내에서 진행하고 있는 경우에 에칭 설비(10)에 고장이 발생하면, 스트립 설비(20)에서의 기판 정체를 방지하기 위하여, 제2 대기부(40)측에 있던 제2 랏(LOT2)의 나머지 기판을 스트립 설비(20)로 로딩시키는 것을 중지하고, 스트립 설비(20)내에서 처리되던 제1 랏(LOT1)과 제2 랏(LOT2)의 기판들은 계속하여 스트립 공정 처리를 수행하며, 스트립 공정이 완료된 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)의 기판들은 이송시켜 제1 대기부(30)의 예약되지 않은 빈 카세트에 순차적으로 언로딩시킨다. 이에 따라, 첨부한 도 7j에 도시되어 있듯이, 제1 대기부(30)의 빈 카세트에 제1 랏(LOT1)의 기판들이 순차적으로 수납된 다음에 이어서 제2 랏(LOT2)의 기판들이 제1 랏(LOT1) 위에 순차적으로 수납된다.
이후에, 에칭 설비(10)가 복구되면, 제2 대기부(40)의 작업 카세트에 남아 있던 제2 랏(LOT2)의 나머지 기판들을 에칭 설비(10)로 로딩시키고, 제1 대기부(30)의 빈카세트에 수납되어 있는 제1 랏(LOT1) 및 제2 랏(LOT2)을 순차적으로 에칭 설비(10)로 로딩시킨다.
위에 기술된 실시예에서는 제1 또는 제2 설비가 고장난 경우에 제1 또는 제2 설비의 공정을 수행하도록 설정된 랏을 제1 또는 제2 대기부의 빈 카세트에 수납시켜 제1 또는 제2 설비가 복구될때까지 대기시켰지만, 이에 한정되지 않고 해당 랏을 빈 카세트 뿐만 아니라 제1 또는 제2 대기부의 임의 카세트(반송 카세트, 기판 이 일부 수납되어 있는 카세트, 빈 카세트 등 모두 포함)에 수납시킬 수도 있다.
이 발명에 따른 이중 설비 시스템을 에칭 공정 및 스트립 공정을 수행하는 액정 표시 장치용 이중 설비 시스템에 대하여 기술하였지만, 이에 한정되지 않고 반도체 웨이퍼 제조 공정, PDP(plasma display pane) 등의 디스플레이 장치 제조 공정에도 적용이 가능하다. 이에 따라 기판은 TFT-LCD의 글래스이거나 반도체 웨이퍼 일 수도 있으며, 이에 한정되지 않고 PDP 등의 디스플레이 장치 제조를 위하여 사용되는 기판일 수 있다.
이 발명은 다음의 기술되는 청구 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경 및 실시가 가능하다.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에 따라 두 개의 설비로 이루어진 이중 설비 시스템에서, 하나의 설비가 고장난 경우에도 고장나지 않은 설비에서 처리되던 기판의 공정을 모두 완료한 다음에 별도의 대기 장소에서 대기시켰다가 해당 설비가 복구되면 해당 설비로 로딩시킨다. 이에 따라 하나의 설비가 고장난 경우에도 작업이 계속하여 수행됨으로써 작업 지연을 방지할 수 있다.
따라서, 설비 이용 효율 및 작업 진행 효율 등이 향상되어 생산성이 향상된다.
또한, 공정 처리되던 기판들은 해당 공정을 완료시킨 다음에 언로딩시킴에 따라, 불량 기판이 발생되는 가능성이 감소되어 수율이 증가된다.

Claims (18)

  1. 제1 공정을 수행하는 제1 설비;
    제2 공정을 수행하는 제2 설비;
    다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제1 대기부;
    다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제2 대기부;
    상기 제1 대기부의 작업 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩하여 제1 설비로 로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 제1 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 상기 제1 설비 상으로 이송시키는 제1 반송부;
    상기 제2 대기부의 작업 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩하여 제2 설비로 로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 제2 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 상기 제2 설비 상으로 이송시키는 제2 반송부;
    설정된 작업 모드에 따라 상기 제1 및 제2 반송부의 동작과 제1 및 제2 설비의 동작을 제어하는 설비 제어기
    를 포함하는 이중 설비 시스템 .
  2. 제1 공정을 수행하는 제1 설비;
    상기 제1 설비와 평행하게 설치되어 있으며 제2 공정을 수행하는 제2 설비;
    상기 제1 및 제2 설비의 일측에 설치되어 있으며, 다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제1 대기부;
    상기 제1 및 제2 설비의 타측에 설치되어 있으며, 다수의 기판이 수납되어 있는 작업 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제2 대기부;
    상기 제1 대기부와 상기 제1 및 제2 설비 사이에 위치되어 있으며, 상기 제1 대기부의 작업 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩하여 제1 설비로 로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 제1 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제2 설비 상에 위치된 기판을 상기 제1 설비 상으로 이송시키는 제1 반송부;
    상기 제1 및 제2 설비와 상기 제2 대기부 사이에 위치되어 있으며, 상기 제2 대기부의 작업 카세트에 수납되어 있는 기판을 로딩하여 제2 설비로 로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 제2 대기부의 카세트에 언로딩시키거나, 상기 제1 설비 상에 위치된 기판을 상기 제2 설비 상으로 이송시키는 제2 반송부;
    설정된 작업 모드에 따라 상기 제1 및 제2 반송부의 동작과 제1 및 제2 설비의 동작을 제어하는 설비 제어기
    를 포함하는 이중 설비 시스템 .
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 대기부 및 제2 대기부의 카세트에 수납된 다수의 기판이 다수의 랏으로 나뉘어져서 랏단위로 처리되는 경우,
    상기 랏에 대한 작업 모드를 관리하는 호스트를 더 포함하고,
    상기 설비 제어기는 상기 호스트로부터 랏에 대한 작업 모드를 전송받아서 상기 제1 또는 제2 반송부 및 상기 제1 설비 또는 제2 설비를 구동시켜 해당 랏에 대한 작업을 수행하고,
    상기 작업 모드는 제1 공정만을 수행하는 제1 작업 모드, 제2 공정만을 수행하는 제2 작업 모드, 제1 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 제3 작업 모드 및 제2 및 제1 공정을 순차적으로 수행하는 제4 작업 모드로 이루어지는 이중 설비 시스템 .
  4. 제3항에 있어서,
    하나의 랏에 대하여 제1 작업 모드 또는 제2 작업 모드가 설정된 경우에,
    상기 설비 제어기는 상기 제1 또는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 또는 제2 대기부의 카세트에 수납되어 있는 해당 랏의 기판들을 순차적으로 제1 설비 또는 제2 설비로 로딩시키고, 다음에 상기 제2 또는 제1 반송부를 제어하여 제1 설비 또는 제2 설비의 작업이 완료된 기판들을 제2 대기부 또는 제1 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키는 이중 설비 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    하나의 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 상기 설비 제어기는 상기 제1 설비가 해당 랏의 기판에 대하여 제1 공정을 수행하는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면 상기 제2 반송부를 제어하여 제1 공정이 완료된 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시킨 다음, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하며,
    하나의 랏에 대하여 제4 작업 모드가 설정되어 있는 경우, 상기 설비 제어기는 제2 설비가 해당 랏의 기판에 대하여 제2 공정을 수행하는 도중에 상기 제1 설비의 구동이 중지되면 상기 제1 반송부를 제어하여 제2 공정이 완료된 기판들을 제1 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시킨 다음, 상기 제1 설비가 복구되면 상기 제1 반송부를 제어하여 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하는 이중 설비 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면,
    상기 설비 제어기는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 랏의 기판들은 제2 대 기부의 설정된 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시킨 다음에, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제2 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 이중 설비 시스템.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면,
    상기 설비 제어기는 제2 반송부를 제어하여 상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키며, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 이중 설비 시스템.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏 및 제2 랏에 대하여 제3 작업 모드가 설정되어 있는 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면,
    상기 설비 제어기는 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기 판들을 제1 설비로 로딩시키는 것을 중지하고, 제2 반송부를 제어하여 제1 공정이 수행된 상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고 상기 제 1 공정이 수행된 제2 랏의 일부 기판들은 상기 임의 카세트에 언로딩시키며, 상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판 및 제2 랏의 일부 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제1 반송부를 제어하여 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기판들을 제1 설비로 이송시켜 제1 공정을 수행하는 이중 설비 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 설비 제어기는 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 랏 중 제1 모드로 설정된 랏은 계속하여 제1 설비로 투입하여 해당 작업을 수행하도록 하는 이중 설비 시스템.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제4 작업 모드가 설정된 경우에,
    상기 설비 제어기는 상기 제1 반송부를 제어하여 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제1 랏의 기판들을 상기 제1 설비로 로딩시키고, 상기 제2 반송부를 제어하여 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 기판들을 상기 제2 설비로 로 딩시킨 다음에, 상기 제1 랏의 마지막 기판이 상기 제1 설비로 로딩되는 시점에 설정된 보정 시간을 더한 시점에서, 상기 제1 반송부를 제어하여 상기 제2 설비에서 처리된 제2 랏의 기판을 상기 제1 설비로 이송시키는 이중 설비 시스템.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판은 반도체 웨이퍼 또는 TFT-LCD의 글래스인 이중 설비 시스템 .
  12. 제1 공정을 수행하는 제1 설비, 제2 공정을 수행하는 제2 설비, 기판이 수납되어 있는 카세트 및 기판이 수납되어 있지 않은 빈 카세트를 포함하는 제1 및 제2 대기부, 설정된 작업 모드에 따라 상기 제1 및 제2 설비의 동작을 제어하는 설비 제어기를 포함하는 이중 설비 시스템에서,
    다수의 기판이 수납된 카세트가 제1 대기부 또는 제2 대기부로 이송되면, 상기 설비 제어기가 이송된 기판의 작업 모드를 판단하는 단계;
    이송된 기판의 작업 모드가 제1 공정만을 수행하도록 설정된 경우에, 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하고, 제1 공정이 수행된 기판을 제2 대기부의 설정된 카세트로 언로딩시키는 단계;
    이송된 기판의 작업 모드가 제2 공정만을 수행하도록 설정된 경우에, 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제2 공정이 수행된 기판을 제1 대기부의 설정된 카세트로 언로딩시키는 단계;
    이송된 기판의 작업 모드가 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하도록 설정된 경우, 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하고, 제1 공정이 수행된 기판을 제2 설비로 이송시켜 제2 공정을 수행하며, 제1 및 제2 공정이 수행된 기판을 상기 제1 대기부의 카세트로 언로딩시키는 단계;
    이송된 기판의 작업 모드가 제2 공정 및 제1 공정을 순차적으로 수행하도록 설정된 경우, 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하고, 제2 공정이 수행된 기판을 제1 설비로 이송시켜 제1 공정을 수행하며, 제2 및 제1 공정이 수행된 기판을 상기 제2 대기부의 카세트로 언로딩시키는 단계
    를 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    이송된 기판에 대하여 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 단계는,
    상기 제1 설비가 로딩된 기판에 대하여 제1 공정을 수행하는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면 상기 제1 공정이 완료된 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시키는 단계;
    상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    이송된 기판에 대하여 제2 공정 및 제1 공정을 순차적으로 수행하는 단계는,
    상기 제2 설비가 로딩된 기판에 대하여 제2 공정을 수행하는 도중에 상기 제1 설비의 구동이 중지되면 상기 제2 공정이 완료된 기판들을 제1 대기부의 임의 카세트에 언로딩시켜 대기시키는 단계;
    상기 제1 설비가 복구되면 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 기판들을 상기 제1 설비로 로딩시켜 제1 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 제1 대기부 및 제2 대기부의 카세트에 수납된 다수의 기판이 다수의 랏으로 나뉘어져서 랏단위로 처리되고, 상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 공정을 수행하는 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제1 공정 및 제2 공정이 순차적으로 수행되도록 작업 모드가 설정되어 있는 경우에,
    상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 상기 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 제1 랏의 기판들은 제2 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키는 단계;
    상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제2 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제1 공정을 수행하는 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면,
    상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고, 상기 제2 랏의 기판들은 제2 대기부의 설정된 카세트에 언로딩시키는 단계;
    상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 카세트에 수납되어 있는 제1 랏에 대하여 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 작업 모드가 설정되어 있고, 제2 랏에 대하여 제1 공정 및 제2 공정을 순차적으로 수행하는 작업 모드가 설정된 경우에, 상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면,
    상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기판들을 제1 설비로 로딩시키는 것을 중지하는 단계;
    상기 제1 공정이 수행된 상기 제1 랏의 기판들을 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩시키고, 상기 제 1 공정이 수행된 제2 랏의 일부 기판들은 상기 임의 카세트에 언로딩시키는 단계;
    상기 제2 설비가 복구되면 상기 제2 대기부의 임의 카세트에 언로딩된 제1 랏의 기판 및 제2 랏의 일부 기판들을 제2 설비로 로딩시켜 제2 공정을 수행하는 단계; 및
    상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 제2 랏의 나머지 기판들을 제1 설비로 이송시켜 제1 공정을 수행하는 단계
    를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 제1 랏 및 제2 랏의 기판이 제1 설비에서 처리되고 있는 도중에 제2 설비의 구동이 중지되면, 상기 제1 대기부의 카세트에 수납된 랏 중 제2 모드로 설정된 랏들의 기판들은 제1 설비로 계속 투입하여 해당 작업을 수행하는 단계를 더 포함하는 이중 설비 시스템의 제어 방법.
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