JPH10135299A

JPH10135299A - 自己診断装置及び自己診断方法

Info

Publication number: JPH10135299A
Application number: JP28383096A
Authority: JP
Inventors: Kanetomo Nakanishi; 西謙友中
Original assignee: Toshiba Corp; Toshiba Microelectronics Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Priority date: 1996-10-25
Filing date: 1996-10-25
Publication date: 1998-05-22

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体集積回路の試験工程におけるＭ．Ｔ．
Ｔ．Ｒ．を最小限に抑制し、半導体試験装置群の性能及
び機能管理を総合的に合理化する。【解決手段】診断プログラムチャート１１には、各試
験装置Ａ〜Ｚが有する診断プログラム「あ」〜「わ」の
情報が記憶されている。全試験装置の稼働率／故障率の
累積登録データベース１４により、試験装置毎の最新稼
働率テーブル１５及び診断プログラム毎の累計故障率テ
ーブル１６が求められる。つぎに、ホストコンピュータ
１では、試験装置毎最新稼働率及び／又は診断プログラ
ム毎累計故障率に基づいて、診断プログラムチャート１
１を変更して対象診断プログラムレジスタ１２を作成す
る。これら診断プログラムレジスタ１２及び試験装置毎
対象空き時間１７のデータを基に、診断プログラムが優
先度の高い順に選択され、診断候補リスト１３が作成さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自己診断装置及び
自己診断方法に係り、特に、試験装置群の稼働情報及び
稼働予約時間枠情報等をホストコンピューターによって
統轄管理する半導体試験システムにおいて、適宜分類さ
れた自己診断プログラムから適切な診断項目を自動的に
選定し実行することができる半導体試験装置の自己診断
装置及び自己診断方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来においては、半導体試験装置の故障
箇所特定のためには、まず半導体試験装置の異常を試験
する技術者が認識する必要があった。すなわち、従来技
術では、半導体試験装置の故障箇所を特定するために
は、まず試験装置毎に異常を人間が認識し、その後シス
テムの診断手段を選定して実行するというように、全て
人間が介在して行われていた。

【０００３】また、ひとつの半導体試験装置に対し複数
の技術者が、常にその稼働状態を監視出来るような環境
であれば、試験装置の異常を比較的早期に発見すること
が可能である。この場合、故障箇所を特定するために
は、適切なシステム診断手段を各技術者が選定し、起動
する必要があった。

【０００４】一方で、現状では、半導体試験装置メーカ
ーは国内外に数多く存在し、また、各メーカーとも多種
多様な試験装置を開発・販売している。半導体集積回路
メーカーは、その中から多種多様な試験装置を多数購入
し、評価／試験工程に導入して、通電時間内には可能な
限り製品試験を実施できるように試験設備を構築してい
る。

【０００５】また、今後、半導体集積回路の高速化及び
高機能化が飛躍的に進むのに伴い、試験装置にはそれ以
上の高速化、高機能化が要求されていく。この事は、試
験装置の故障発生率の増加だけでなく、そのシステムを
診断する為の自己診断プログラムの増加及びその実行時
間の増加をまねくことになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】

（１）従来の半導体試験装置の故障箇所特定において
は、もし、試験する技術者の認識が遅れた場合には、対
象試験装置のＭ．Ｔ．Ｔ．Ｒ．の増加に伴い、被試験製
品のテストコストの増大、また、高価な試験装置のコス
トパフォーマンスの低下を招くだけでなく、故障発生
後、テストしてきた全製品の試験結果が根拠の無いもの
になってしまう。

【０００７】ここで、Ｍ．Ｔ．Ｔ．Ｒ．とは、平均修復
時間(mean time to repair) であり、エラーによるシス
テム運転停止から回復前の時間の平均を表すものであ
る。仮にエラーが発生した場合、このＭ．Ｔ．Ｔ．Ｒが
短い程、短時間で回復し、正常処理を継続できる可能性
が高い。（２）また、従来のようにひとつの半導体試験装置に対
し複数の技術者が、常にその稼働状態を監視出来るよう
な環境においては、各技術者が、適切なシステム診断手
段を選定するため、また、その診断結果から故障箇所を
特定するためには、半導体試験装置に関して精通した技
術者が必要となる。

【０００８】さらに、精通した技術者であっても、各診
断工程では待ち時間を要し、更には診断ミスの介入が懸
念される場合がある。（３）また、多種多様な各試験設備の機能管理には、設
置されている全ての試験装置についての機能、性能、稼
働スケジュール及びシステム診断手段など全てを熟知し
た技術者が必要不可欠となる。

【０００９】しかし、従来のような試験設備では、出来
る限りの自動化／無人化が望まれており、そのうえ膨大
な量のデータを少数の技術者が完全に統轄するのは至難
である。

【００１０】本発明の目的は、以上の点に鑑み、半導体
集積回路の試験工程における、多種多様の半導体試験装
置群の全てのＭ．Ｔ．Ｔ．Ｒ．を最小限に抑制し、且
つ、試験対象ウェーハ又はＩＣ等の品質レベルを保証す
ることにある。そして、全試験装置の稼働情報及び稼働
予約時間枠情報等を統轄管理し、また、試験装置別、種
類別、構成ユニット別又は設置環境別に、稼動率別並び
に故障率別又はそれらの組み合わせによって、予め分類
された自己診断プログラムを上記情報に基づいて、個別
に実行することができる命令手段を備えることにより、
半導体試験装置群の性能及び機能管理を総合的に合理化
したインテリジェント自己診断システムを提供すること
にある。

【００１１】また、本発明の目的は、試験装置群の中か
ら故障或いは異常の認められる試験装置を可能な限り早
急に発見し、Ｍ．Ｔ．Ｔ．Ｒ．を短縮し、製品試験結果
への悪影響の介入を避けようというものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、近年のコンピ
ューター技術やネットワーク技術の進歩によって、比較
的安価なシステムで高機能且つ高速な処理能力を有する
情報処理システムが構築出来ることに基づいている。ま
た、試験技術及び試験装置技術の著しい進歩によって、
試験装置の自己診断システム実行に必要なハードウェ
ア、ソフトウェア及び周辺装置を、全て試験装置システ
ム内部に搭載するようにしている。

【００１３】本発明においては、試験工程におけるウェ
ーハ、ＩＣの試験スケジュールの許す限り、試験装置毎
にシステム診断を実施することによって、最も合理的に
試験装置毎の故障箇所の特定を行う。そして、試験装置
毎の故障履歴情報に基づき、診断項目、診断ポイントを
試験装置毎に設定することで、最も効率的にシステム診
断の実行を行う。

【００１４】さらに、故障が認められた試験装置には、
テストモード起動を禁止することにより、異常状態に製
品試験を行うことを避け、更には、異常状態に試験され
たおそれのある全製品の情報を抜粋し、操作者に通知す
るという手段を有する。

【００１５】本発明は、以上のように、任意の範囲に存
在する全ての半導体試験装置について、合理的にその性
能／機能を統轄管理できることを特徴とする。

【００１６】本発明の解決手段によると、半導体製品を
試験するための複数の試験装置を備え、前記試験装置を
自己診断するための自己診断装置において、複数の自己
診断処理のうち、前記試験装置を診断するための所定の
自己診断処理を、前記試験装置毎に記憶した診断処理記
憶手段と、前記試験装置毎の前記自己診断処理別の所定
パラメータを記憶したパラメータ記憶手段と、前記パラ
メータ記憶手段に記憶された前記所定パラメータに応じ
て、前記試験装置毎に、前記診断処理記憶手段に記憶さ
れた前記所定の自己診断処理に前記所定パラメータに応
じて優先度を与える優先手段と、前記試験装置毎の対象
空き時間を記憶した空き時間記憶手段と、前記空き時間
記憶手段に記憶された前記対象空き時間に応じて、前記
対象診断記憶手段における各々の前記試験装置に対する
所定の前記自己診断処理を、前記優先手段による優先度
に基づいて選択する選択手段とを備えた自己診断装置を
提供する。

【００１７】また、本発明の解決手段によると、半導体
製品を試験するための複数の試験装置を備え、前記試験
装置を自己診断するための自己診断方法において、複数
の自己診断処理手順のうち、前記試験装置を診断するた
めの所定の自己診断処理手順を、前記試験装置毎に記憶
する診断処理記憶手順と、前記試験装置毎の前記自己診
断処理手順別の所定パラメータを記憶するパラメータ記
憶手順と、前記試験装置毎に、前記所定の自己診断処理
手順に前記所定パラメータに応じて優先度を与える優先
手順と、前記試験装置毎の対象空き時間を記憶する空き
時間記憶手順と、前記対象空き時間に応じて、前記対象
診断記憶手順における各々の前記試験装置に対する所定
の前記自己診断処理手順を、前記優先手順による優先度
に基づいて選択する選択手順とを備えた自己診断方法を
提供する。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、以
下に具体的に説明する。図１に、本発明のシステム構成
図を示す。図１に示されるように、本発明のシステム
は、ホストコンピュータ１、管理端末２−１〜２−ｎ、
試験装置３−ａ〜３−ｉを備える。

【００１９】ホストコンピュータ１には、複数の管理端
末２−１〜２−ｎが接続される。ホストコンピュータ１
からは、管理端末２−１〜２−ｎに対して、試験装置診
断情報（１）を送信する。一方、管理端末２−１〜２−
ｎからは、ホストコンピュータ１に対して、試験装置稼
働スケジュール情報（２）が送信される。試験装置稼働
スケジュール情報（２）は、管理端末２−１〜２−ｎ又
は試験装置３−ａ〜３−ｉ等により入力された情報であ
る。

【００２０】管理端末２−１〜２−ｎには、それぞれ複
数の試験装置３−ａ〜３−ｃ、３−ｄ〜３−ｅ、３−ｆ
〜３−ｉが接続される。これら試験装置３−ａ〜３−ｉ
はそれぞれ別個の種類の試験を実行する端末である。管
理端末２−１〜２−ｎからは、各試験装置３−ａ〜３−
ｉに対して、テストモード起動命令（３）が送信され
る。一方、各試験装置３−ａ〜３−ｉからは、管理端末
２−１〜２−ｎに対して、試験装置稼働情報（４）が送
信される。管理端末２−１〜２−ｎは、受信した試験装
置稼働情報（４）により、接続されている各試験装置３
−ａ〜３−ｉについて、動作中、不動作中、故障中、未
使用中等の情報を得る。

【００２１】また、ホストコンピュータ１には、複数の
試験装置３−ａ〜３−ｉが接続される。ホストコンピュ
ータ１からは、試験装置３−ａ〜３−ｉに対して、シス
テム診断プログラム起動命令（５）を送信する。ホスト
コンピュータ１は、空き時間をみて、試験装置３−ａ〜
３−ｉをシステム診断するために、各試験装置３−ａ〜
３−ｉに対してシステム診断プログラム起動命令（５）
を出力する。一方、試験装置３−ａ〜３−ｉからは、ホ
ストコンピュータ１に対して、システム診断プログラム
実行結果（６）が送信される。このシステム診断プログ
ラム実行結果（６）は、ホストコンピュータ１に送信さ
れ、ホストコンピュータ１は、この情報を対応する管理
端末２−１〜２−ｎに転送する。

【００２２】つぎに、図２に、ホストコンピューター１
におけるシステム診断プログラムの説明図を示す。

【００２３】すなわち、図２は、ホストコンピューター
１における各試験装置３１〜３９に関するシステム診断
プログラムの管理体系、及び、選定処理の一実施例を示
している。本情報内では、特に、各種試験装置のシステ
ム診断プログラムの分類を各試験装置個別に設定ができ
るところに特徴がある。それにより、各試験装置の稼働
率／故障率累計登録データベースからのシステム診断ス
ケジュールの強化／緩和、及び診断項目、診断ポイント
の追加／削除が、各試験装置毎にフィードバックするこ
とが出来る。また、分類されたシステム診断プログラム
には、その診断結果を保証する最大保証時間が設けられ
ており、その最大保証時間情報と各試験装置の稼働スケ
ジュール情報からシステム診断スケジュールを各試験装
置毎にリアルアイムで設定することが可能となる。

【００２４】以下に具体的に説明する。

【００２５】この図では、ホストコンピュータ１におい
て、診断プログラムチャート１１、対象診断プログラム
レジスタ１２を経て、診断候補リスト１３を作成するフ
ローを示している。

【００２６】まず、診断プログラムチャート１１には、
各試験装置Ａ〜Ｚが有する診断プログラム「あ」〜
「わ」の情報が記憶されている。例えば装置Ａは、診断
プログラム「あ」、「い」、「う」‥‥「わ」を備え
る。また、装置Ｃは、診断プログラム「あ」と「い」を
備え、診断プログラム「う」‥‥「わ」は有しない。さ
らに、ホストコンピュータ１には、各診断プログラムの
実行時間及び最大保証時間のデータ等を有する。これら
診断プログラムの実行時間及び最大保証時間のデータ等
は、各試験装置にも備えることができる。

【００２７】一方、全試験装置の稼働率／故障率の累積
登録データベース１４により、試験装置毎の最新稼働率
テーブル１５及び診断プログラム毎の累計故障率テーブ
ル１６が求められ、所定の記憶手段に記憶されている。
例えば、試験装置Ａの最新稼働率は７０％であることが
記憶されている。また、試験装置Ａの診断プログラム別
故障率は、診断プログラム「あ」については３％、
「い」については１％等であることが記憶されている。

【００２８】つぎに、ホストコンピュータ１では、試験
装置毎最新稼働率テーブル１５及び／又は診断プログラ
ム毎累計故障率テーブル１６の記憶内容に基づいて、診
断プログラムチャート１１を変更して対象診断プログラ
ムレジスタ１２を作成する。ここでは、一例として、故
障率の高い順に各装置毎の診断プログラムの優先度を高
くした。例えば、装置Ｂでは、診断プログラム「う」は
故障率８％、「あ」は故障率２％であるから、診断プロ
グラム「う」が優先度が高くなっている。（ここで、診
断プログラム「さ」は故障率が２％〜８％の間であるも
のとする。）一方、試験装置毎の対象空き時間１７が所
定の記憶手段に記憶されている。例えば、装置Ａの空き
時間は２０分である。

【００２９】これら診断プログラムレジスタ１２及び試
験装置毎対象空き時間テーブル１７のデータを基に、診
断候補リスト１３が作成される。例えば、装置Ａにおい
て、診断プログラム「あ」を実行するの要する時間が１
０分、診断プログラム「い」が５分、診断プログラム
「か」が８分であるとする。この場合、装置Ａの対象空
き時間は、２０分であるので、診断プログラムの優先度
の高い順に「あ」及び「い」については、２０分以内で
実行することができるものの、診断プログラム「か」は
実行しないことになる。装置Ｂ〜Ｚについても同様に、
優先度順に斜線の診断プログラムのみが実行される。

【００３０】図３は、管理端末２−１〜２−ｎの試験装
置群スケジュール管理に関する構成図を示す。

【００３１】ホストコンピュータ１から受信した試験装
置診断情報（１）は試験装置自己診断情報記憶部２０２
に記憶される。一方、入力部２０３から入力された試験
装置稼働スケジュール情報は、試験装置稼働スケジュー
ル情報記憶部２０４に記憶され、ホストコンピュータ１
に送信される。

【００３２】また、入力部２０３から入力された試験装
置のテストモード起動命令及び解除命令は、それぞれ、
試験装置使用開始命令記憶部２０６及び試験装置使用終
了命令記憶部２０７に記憶され、所定の試験装置３−ａ
〜３−ｉに送信される。一方試験装置３−ａ〜３−ｉか
ら受信した試験装置稼働情報（４）は、試験装置稼働情
報記憶部２０８に記憶される。また、試験装置が自己診
断プログラムを実行した結果、その試験装置に故障が存
在すると判明した場合、対象となる試験装置のテストモ
ード起動は禁止される。

【００３３】また、入力部２０３からは、被試験製品情
報が入力され、被試験製品情報記憶部２０５に記憶され
る。試験装置に関して前回の試験結果が正常であり今回
の試験結果が異常である場合、その間に当該試験装置に
より試験された製品は、良品又は不良品の識別が明瞭で
ない。この間の製品は危険製品として判断し、危険製品
情報が出力される。この危険製品情報は、ホストコンピ
ュータ１、管理端末又は試験装置等に適宜出力すること
ができる。

【００３４】ここで特に、各試験装置のテストモード起
動及び解除は、管理端末からの命令でのみ操作出来るこ
とが重要であり、このことによって、管理端末による各
試験装置毎の稼働スケジュールを厳重に監視することが
可能となっている。また、各試験装置群よりも上位に存
在する管理端末で、各試験装置の稼働スケジューリング
及びテストモード起動が統轄出来ることによってのみ、
初めて実現される。

【００３５】また、ここでは、任意の範囲に存在する全
ての半導体試験装置を管理する側と、その反対に不特定
の試験装置を使用する側との、両方の運営方式の簡素化
を目的とした一実施例として、ホストコンピューターと
各試験装置群との間に管理端末が介在しているが、特に
その存在は重要ではなく、管理端末を介して行われる情
報処理部を全てホストコンピューター上で処理する形態
も可能である。

【００３６】つぎに、以下に、本発明のホストコンピュ
ータにおける試験装置毎の自己診断プログラムの選定処
理動作について説明する。図４に、管理対象となる全て
の試験装置群の稼働スケジュール管理処理のフローチャ
ートを示す。

【００３７】まず、プログラムが開始されると、所定の
タイマーがスタートする（Ｓ４０１）。次に、予め設定
された時刻であるか否かが判断される（Ｓ４０２）。

【００３８】ここで、予め設定された時刻である場合
（Ｓ４０２）、試験装置群の空き時間監視処理を実行す
る（Ｓ４０４）。これにより一定時間毎にこの処理が実
行されることになる。つぎに、スケジューリング機能停
止であればプログラム終了となり、一方、スケジューリ
ング機能停止でなければ次の処理（Ｓ４０２）に移行す
る。

【００３９】ステップＳ４０２で予め設定された時刻で
ない場合、稼働スケジュールに変更があるか否か判断さ
れる（Ｓ４０３）。ここで、変更がある場合は、上述の
ように試験装置群の空き時間監視処理等を実行する（Ｓ
４０４）。一方、変更がない場合は、診断プログラムチ
ャート更新処理を実行する（Ｓ４０６）。この処理の詳
細は後述する。

【００４０】つぎに、試験装置番号Ｌを「１」に初期設
定する（Ｓ４０７）。そして、第Ｌ試験装置の空き時間
が開始か否か判断し（Ｓ４０８）、空き時間が開始であ
る場合は、第Ｌ試験装置に対して診断候補リスト（図２
参照）に登録された診断プログラム実行を命令する（Ｓ
４０９）。空き時間が開始でない場合は、このステップ
Ｓ４０９をスキップする。以下、順次に試験装置の総数
に達するまで診断プログラム実行命令（Ｓ４０９）が繰
り返されると（Ｓ４１０、Ｓ４１１）。ステップＳ４０
２に戻る。

【００４１】つぎに、図５に、管理対象となる全ての試
験装置群の空き時間監視処理のフローチャートを示す。
これは、図４のステップＳ４０４の処理に相当する。ま
ず、プログラムが開始されると、試験装置番号Ｍを
「１」に初期設定する（Ｓ５０１）。そして、第Ｍ試験
装置の稼働スケジュールに空き時間が有るか否か判断し
（Ｓ５０２）、空き時間が有る場合は、第Ｍ試験装置に
対して診断プログラムの選択処理を実行する（Ｓ５０
３）。診断プログラムの選択処理（Ｓ５０３）の具体的
処理については後述する。一方、空き時間がない場合
は、この選択処理（Ｓ５０３）をスキップする。以下、
順次に試験装置の総数に達するまで診断プログラムの選
択処理（Ｓ５０３）が繰り返される（Ｓ５０４、Ｓ５０
５）。

【００４２】ここで、図６に、診断プログラムの選択処
理のフローチャートを示す。これは、試験装置の空き時
間を考慮した、実行可能診断プログラム選定処理を示す
ものである。

【００４３】プログラムが開始されると、対象診断プロ
グラムを適宜の記憶手段における選択リストに登録する
（Ｓ６０１）。つぎに、診断結果最大保証時間の残り時
間の少ない順に選択リスト内をソートする（Ｓ６０
２）。

【００４４】つぎに、診断プログラム番号Ｎを「１」に
初期設定する（Ｓ６０３）。そして、第Ｎ診断プログラ
ムの実行時間を、対処試験装置の空き時間と比較する
（Ｓ６０４）。ここで、第Ｎ診断プログラムの実行時間
が、対象試験装置の空き時間以下である場合は、第Ｎ診
断プログラムを対象試験装置の診断候補リスト１３（図
２参照）に登録する（Ｓ６０５）。つぎに、対象診断装
置の空き時間から第Ｎ診断プログラムの実行時間を差し
引くことにより新たな対象診断装置の空き時間を求める
（Ｓ６０６）。さらに診断プログラム番号を繰り上げ
て、ステップＳ６０４に戻り処理を繰り返す（Ｓ６０
７）。

【００４５】一方、ステップＳ６０４において、第Ｎ診
断プログラムの実行時間が、対象試験装置の空き時間よ
り大きい場合は、診断候補リストに登録する処理を行わ
ず、以下、診断プログラムの総数に達するまで繰り返さ
れる（Ｓ６０８、Ｓ６０９）。このように、対象試験装
置の空き時間内まで、順次に第Ｎ診断プログラムを対象
試験装置の診断候補リスト１３への登録処理が行われ、
診断プログラム選択処理が実行される。

【００４６】つぎに、図７に、診断プログラムチャート
更新処理のフローチャートを示す。これは、図４のステ
ップＳ４０６の処理に相当し、試験装置に稼働率／故障
率を考慮した、診断プログラムの強化／緩和、及び、実
行優先度の変更処理に関するものである。プログラムが
開始されると、全試験装置の稼働率／故障率を集計し、
データベース１４に累計登録する（Ｓ７０１）（図２の
全試験装置稼働率／故障率データベース１４参照）。つ
ぎに、データベース１４から故障率を参照し、各チャー
トの診断プログラムの優先度を変更する（Ｓ７０２）。
ここで、故障率による診断プログラムの優先度の変更に
おいては、「診断プログラム別故障率（診断結果フェイ
ル率）」を「診断プログラム優先度」に対応させること
ができる。なお、診断プログラム別故障率は、システム
稼働中の累計故障率とすることができる。但し、フェイ
ル原因を対策した時点で、システム管理者が診断プログ
ラム毎にリセット（０％）とすることが可能である。

【００４７】つぎに、データベースから故障率を参照
し、各チャートの診断プログラムの診断ポイントを強化
又は緩和する（Ｓ７０３）。その後、データベースから
稼働率を参照し、各チャートの診断プログラムの診断結
果最大保証時間を延長又は短縮する（Ｓ７０４）。その
後、チャート毎の診断プログラムを対象診断プログラム
レジスタ１２に優先度順に格納する（Ｓ７０５）。そし
て、各チャートにおける全診断プログラムについて、診
断ポイント及び診断結果最大保証時間を初期化する（Ｓ
７０６）。

【００４８】図８に、稼働率による診断結果最大保証時
間の対応図を示す。

【００４９】これは、診断結果最大保証時間の変更手法
に係り、図７のステップＳ７０４等に関するものであ
る。ここで、左欄に示される「稼働率」は、予め設定さ
れた期間内の最新稼働率である。例えば、試験装置Ａに
ついて、図２にしめされる試験装置毎最新稼働率テーブ
ル１５において、稼働率が「７０％」である。したがっ
て、図８によると、稼働率「６０〜７９．９％」の行と
なり、診断結果最大保証時間は、「×８０％」と変更さ
れる。すなわち、この時間は、試験装置Ａは正常であ
り、これを超えると、例えば、作業者等に正常動作を保
証できない旨を表示する。

【００５０】以上の実施の形態では、故障率にもとづい
て説明したが、これに限らず稼働率等のパラメータを採
用しても良い。

【００５１】また、各チャート、レジスタ、テーブル等
は試験装置毎に設けているが、種類毎、構成ユニット毎
又は設置環境毎に設けても良い。

【００５２】

【発明の効果】

（１）本発明によると、Ｍ．Ｔ．Ｔ．Ｒ．を短縮するこ
とができる。即ち、試験装置の故障、異常状態を極めて
早期に発見することが可能となる。このことは、現在半
導体集積回路の評価／試験工程に導入されている多数の
各種半導体試験装置のコストパフォーマンスの向上、ま
た、被試験製品のテストコストの削減にも貢献出来るこ
とを意味している。（２）現在、半導体集積回路メーカーの所有する半導体
集積回路生産ラインにおいては、製品需要を製品供給量
が下回らないように、特に試験工程においてボトルネッ
クを発生させない為に、高価な半導体試験装置が様々な
環境に数多く導入され、且つ、通電時間内には可能な限
り製品試験が実施されている。この様なラインに、本シ
ステムを導入した場合、多数の各種試験装置の機能／性
能管理に欠かせなかった人間、特に試験装置に精通した
技術者の負担を大幅に軽減することが可能となる。その
結果、従来、理想ではあるがその実現は極めて困難とさ
れてきた半導体集積回路生産ラインの自動化、無人化を
推進する上で、その問題の一端を解消するものといえ
る。（３）従来、試験装置の異常を発見する際のきっかけと
しては、製品試験における試験結果が期待している結果
と異なる場合、特に良品としてパスするべき製品が、不
良品としてフェイルと判断されたケースが挙げられる。
しかし、量産ラインにおいて、フェイルするべき製品
が、試験装置の異常によって偶然パスと判別されてしま
った場合、その誤りに必ずしも気付くことが出来るとは
限らない。しかし、本システムの採用によって、製品試
験の結果に全く依存せずに、多数の試験装置の機能／性
能管理が可能となる為、従来技術とは比較にならない
程、素早い試験装置の異常検出が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシステム構成図。

【図２】ホストコンピューター１におけるシステム診断
プログラムの説明図。

【図３】管理端末２−１〜２−ｎの試験装置群スケジュ
ール管理に関する構成図。

【図４】管理対象となる全ての試験装置群の稼働スケジ
ュール管理処理のフローチャート。

【図５】管理対象となる全ての試験装置群の空き時間監
視処理のフローチャート。

【図６】診断プログラムの選択処理のフローチャート。

【図７】診断プログラムチャート更新処理のフローチャ
ート。

【図８】稼働率による診断結果最大保証時間の対応図。

【符号の説明】

１ホストコンピュータ２−１〜２−ｎ管理端末３−ａ〜３−ｉ試験装置１１診断プログラムチャート１２対象診断プログラムレジスタ１３診断候補リスト１４累計登録データベース１５試験装置毎最新稼働率１６診断プログラム毎累計故障率１７試験装置毎対処空き時間

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体装置を試験するための複数の試験装
置を備え、前記試験装置を自己診断するための自己診断
装置において、複数の自己診断処理のうち、前記試験装置を診断するた
めの所定の自己診断処理を、前記試験装置毎に記憶した
診断処理記憶手段と、前記試験装置毎の前記自己診断処理別の所定パラメータ
を記憶したパラメータ記憶手段と、前記パラメータ記憶手段に記憶された前記所定パラメー
タに応じて、前記試験装置毎に、前記診断処理記憶手段
に記憶された前記所定の自己診断処理に前記所定パラメ
ータに応じて優先度を与える優先手段と、前記試験装置毎の対象空き時間を記憶した空き時間記憶
手段と、前記空き時間記憶手段に記憶された前記対象空き時間に
応じて、前記対象診断記憶手段における各々の前記試験
装置に対する所定の前記自己診断処理を、前記優先手段
による優先度に基づいて選択する選択手段とを備えた自
己診断装置。
【請求項２】前記パラメータ記憶手段は、各々の前記試験装置の前記自己診断処理の実行結果に基
づいて、前記自己診断処理別に累計された前記所定パラ
メータを記憶することを特徴とする請求項１に記載の自
己診断装置。
【請求項３】各々の前記試験装置の前記自己診断処理の
最新の実行した結果、前記試験装置に故障が存在した場
合、対象となる前記試験装置のテストモード起動を禁止
する手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記
載の自己診断装置。
【請求項４】各々の前記試験装置毎に試験された半導体
装置の製品情報及び将来試験予定の半導体装置の製品情
報を記憶する製品情報記憶手段をさらに備え、前記自己診断処理による試験結果が故障である場合、前
記製品情報記憶手段に記憶された製品情報に基づいて、
対象となる前記試験装置の最新の前記自己診断処理によ
る全項目正常時から現在までの期間に試験された半導体
装置の前記製品情報を表示する表示手段をさらに備えた
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の自
己診断装置。
【請求項５】前記選択手段は、前記空き時間記憶手段に記憶された前記対象空き時間内
で実行可能なように、前記試験装置毎に、前記自己診断
処理の実行時間に基づき、所定の前記自己診断処理を前
記優先度に応じて選択することを特徴とする請求項１乃
至４のいずれかに記載の自己診断装置。
【請求項６】前記所定パラメータは、故障率又は稼働率
であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記
載の自己診断装置。
【請求項７】前記試験装置毎とは、装置毎、種類毎、構成ユニット毎又は設置環境毎である
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の自
己診断装置。
【請求項８】半導体装置を試験するための複数の試験装
置を備え、前記試験装置を自己診断するための自己診断
方法において、複数の自己診断処理手順のうち、前記試験装置を診断す
るための所定の自己診断処理手順を、前記試験装置毎に
記憶する診断処理記憶手順と、前記試験装置毎の前記自己診断処理手順別の所定パラメ
ータを記憶するパラメータ記憶手順と、前記試験装置毎に、前記所定の自己診断処理手順に前記
所定パラメータに応じて優先度を与える優先手順と、前記試験装置毎の対象空き時間を記憶する空き時間記憶
手順と、前記対象空き時間に応じて、前記対象診断記憶手順にお
ける各々の前記試験装置に対する所定の前記自己診断処
理手順を、前記優先手順による優先度に基づいて選択す
る選択手順とを備えた自己診断方法。