JPH09292445A - 製品性能試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 不良発生率の低い項目の削除や、試験項目の
入れ換えを可能とし、このことにより試験時間の短縮を
図る。 【解決手段】 製品性能を試験する項目毎に設けられて
なるもので、それぞれがその項目の試験を行うための動
作のプログラムを有してなる試験部２と、これら複数の
試験部２にそれぞれ接続されて、これら試験部２のそれ
ぞれに対しその試験の動作を行わせるよう制御信号を出
力するとともに、試験部２で試験された結果を受ける制
御部４と、制御部４に接続されて、この制御部４が試験
部２から受けた結果を受けて集計し、これをデータとし
て記憶するホストコンピュータ６とから製品性能試験装
置１を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製品の品質管理の
ために用いる試験装置に適用される製品性能試験装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、製品性能試験装置としては、例え
ば図３に示すようにホストコンピュータ５１と複数の試
験手段５３のそれぞれとが、ネットワークケーブル５２
で接続されて構成されたものが知られている。各試験手
段５３は、図４に示すように試験項目Ａ〜試験項目Ｋで
表される製品性能を試験するための動作のプログラムを
有した試験部５４を備えており、このプログラムに基づ
いて製品を試験し、試験結果が製品の規格範囲内にある
か否かを判定し、さらにその結果をホストコンピュータ
５１に出力するようになっている。

【０００３】例えば製品が半導体装置である場合、試験
手段５３は所定数の半導体装置に対して各試験項目毎に
性能試験を行い、得られた試験結果が規格範囲内にある
か否かを判定する。そして、例えば所定数の試験を終え
た時点で、製品が規格範囲外である率、つまり不良発生
率を求め、この結果をホストコンピュータ５１に出力す
るようになっている。またホストコンピュータ５１で
は、受けた結果を集計し、これをデータとして記憶する
ようになっている。

【０００４】ところで、上記試験部５４のプログラム
は、これ１つで種々の項目Ａ，Ｂ，Ｃ…の試験を実施す
るための動作のプログラムを全て含んだ形に構成されて
おり、また各項目Ａ，Ｂ，Ｃ…を順に実施する構成とな
っている。また試験結果が規格範囲外であると判定した
場合に、判定された製品を不良品としてこれ以降の試験
を中止し、次の製品に対して新たに最初の項目Ａから試
験を行うようなプログラム構成となっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した従
来の製品性能試験装置では、ホストコンピュータと試験
手段との間でデータやプログラムのやり取りをすること
はできるものの、試験手段の試験部のプログラム自体を
制御することはできない。このため、試験部中に不良発
生率が著しく低い試験項目があっても、プログラムの構
成上この項目の試験を省略することができず、この項目
の前の項目で規格範囲外であると判定されない限り、こ
の項目の試験を毎回行わなくてはならないことから、試
験に多くの無駄な時間が要されている。特に近年におい
て、半導体装置製造における製品性能試験では、製品の
性能向上に伴い、不良発生率０．０１％以下の試験項目
が増えつつあり、したがって試験に非常に多くの無駄な
時間を費やす結果となっている。

【０００６】また、試験部のプログラムの構成上、不良
発生率の高い項目が最後の方にある場合には、それまで
の試験で不良と判定されなくてもこの試験で不良と判定
されて、それまでの試験時間が無駄になるケースが多く
なってしまう。

【０００７】上記問題を解決するには、不良発生率が著
しく低い試験項目を削除し、また不良発生率の高い項目
の試験が最初の方でなされるよう項目の実施順を入れ換
えることが考えられる。しかしながら、前述したように
試験部のプログラムが、これ１つで種々の項目の動作の
プログラムを全て含んだ形に構成されているので、不良
発生率が著しく低い試験項目を削除することが難しく、
当然のごとく削除の自動化も不可能である。また試験部
のプログラムが、その構成上、全体が連係したものとな
っており、このことからも試験項目の削除および入れ換
えが困難になっている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る製品性能試
験装置は、製品性能を試験する項目毎に設けられてなる
もので、それぞれがその項目の試験を行うための動作の
プログラムを有してなる試験部と、これら複数の試験部
にそれぞれ接続されて、これら試験部のそれぞれに対し
その試験の動作を行わせるよう制御信号を出力するとと
もに、この試験部で試験された結果を受ける制御部と、
制御部に接続されて、この制御部が試験部から受けた結
果を受けて集計し、これをデータとして記憶するホスト
コンピュータとを備えて構成されていることを上記課題
の解決手段とした。

【０００９】本発明に係る製品性能試験装置では、試験
項目毎に設けられた試験部がその項目の試験を行うため
の動作のプログラムを有して構成されていることから、
それぞれのプログラムが他の項目のプログラムと連係し
ておらず、独立した状態になっている。しかも試験部に
それぞれ制御部が接続されて、試験部のそれぞれに対し
制御信号を出力するようになっている。このため、制御
部から試験部に制御信号が出力されるか否かによって、
容易に試験の項目が選択されあるいは削除され、また出
力の順番によって試験項目の順序が容易に入れ換えられ
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る製品性能試験
装置の一実施形態を図１を用いて説明する。ここでは、
半導体装置の製品性能試験装置に本発明を適用した例を
述べる。図１に示すように、この実施形態の製品性能試
験装置１は、製品性能を試験する項目Ａ，Ｂ，Ｃ…毎、
例えば消費電流、端子電圧等毎に設けられた複数の試験
部２と、これら試験部２にネットワークケーブル３を介
してそれぞれ接続された制御部４と、制御部４にネット
ワークケーブル５を介して接続されたホストコンピュー
タ６とを備えて構成されている。この実施形態では、複
数の試験部２と制御部４とにより試験手段７を構成して
おり、このような試験手段７をホストコンピュータ６に
複数接続した（図示略）ものとなっている。

【００１１】複数の試験部２はそれぞれ、自身の項目の
試験を行うための動作のプログラムを有してなるもの
で、このプログラムに基づいて製品を試験し、試験結果
が製品の規格範囲内にあるか否かを判定し、規格範囲外
である、つまり不良であるとの判定結果が得られた場合
にこの結果を制御部４に送るものである。また各試験部
２は、ある単位の製品、例えば例えば４０００〜１００
００個程度を１ロットとした場合の１ロットの製品の判
定結果から、自身の項目での１ロットにおける不良発生
率を求め、この結果を制御部４に出力するものである。

【００１２】制御部４は、試験部２からそれぞれ送られ
た結果を受けるものであるとともに、試験部２から送ら
れた製品１ロット分の不良発生率の結果をホストコンピ
ュータ６に出力するものである。また、後述するごとく
ホストコンピュータ６に記憶されたデータをこのホスト
コンピュータ６から受け、受けたデータを基に、試験部
２それぞれに対してその試験の動作を行わせるよう制御
信号を出力するものである。

【００１３】またホストコンピュータ６は、各試験手段
７の制御部４から送られた製品１ロット分の項目毎の不
良発生率の結果を受け、ロット間のバラツキを含めて項
目毎の不良発生率を品種別（製品別）に集計し、これを
データとして記憶するものである。ホストコンピュータ
６には、例えば過去半年分のデータが記憶されている状
態になっている。

【００１４】このように構成された製品性能試験装置１
では、例えば制御部４がホストコンピュータ６から試験
する製品と同じ製品の過去半年分の項目毎の不良発生率
のデータを受け、このデータを基に試験部２に制御信号
を出力する。例えば制御部４は、試験項目のうち、製品
を保証するうえで必ず試験する必要がある項目（以下、
仕様項目と記す）と、仕様項目でないが顧客仕様で不良
の発生する可能性がある項目（以下、仕様項目外の項目
と記す）とを分け、仕様項目外の項目において過去半年
分の不良発生率が例えば０．０１％以下と低い項目の試
験部２に制御信号を出力せず、それ以外の試験部２にそ
れぞれ制御信号を出力する。

【００１５】またこのとき制御部４は、不良発生率の高
い項目順に試験部２に制御信号を出力し、不良発生率の
高い項目順に試験が行われるようにする。制御部４はホ
ストコンピュータ６に所定時間毎、例えば１時間毎にア
クセスしてデータを受け、このような試験部２の制御を
行う。また制御部４は、試験部２から製品が不良である
との判定結果を受けた場合に、これ以降の項目の試験部
２に制御信号を出力せず、次の製品の試験を行うようそ
の時点で最初に試験する項目の試験部２に制御信号を出
力する。

【００１６】このように本実施形態の製品性能試験装置
１によれば、試験項目毎に設けられた試験部２がその項
目の試験を行うための動作のプログラムを有して構成さ
れていることから、それぞれのプログラムが他の項目の
プログラムと連係しておらず、独立した状態になってい
る。また、試験部２のそれぞれに対し制御信号を出力す
る制御部２を備えているため、制御部２からの制御信号
の出力によって、不良発生率の低い項目の削除や試験項
目の順序の入れ換えを容易に行うことができる。さらに
制御部２がホストコンピュータ６に接続されて、ホスト
コンピュータ６から受けたデータを基に試験部２の制御
を行うので、自動的にかつ定期的に不良発生率の低い項
目の削除や試験項目の順序の入れ換えを実施することが
できる。

【００１７】また、このように試験項目の削除や試験項
目の順序の入れ換えを行える試験手段７がホストコンピ
ュータ６に複数接続されているので、それぞれの試験手
段７において異なるロットや異種製品の試験を迅速に実
施することができる。したがって、試験に要する時間を
大幅に短縮することができ、製品の生産性を向上させる
ことができる。

【００１８】また前述したように各試験部２が独立した
プログラムを有しており、各試験部２が制御部４によっ
てそれぞれ制御されることから、制御部４により試験す
る製品の試験項目に対応する試験部２を選択することが
できる。よって、異種の製品間での試験部２の共用が可
能になる。また試験する製品によって、試験部２を増設
することもできる。

【００１９】なお、本実施形態では、本発明に係る試験
部が製品を試験して製品の良、不良を判定し、不良であ
るとの判定結果が得られた場合にこの結果を制御部に送
るものである場合について述べたが、これに限定されな
い。例えば試験部は、良、不良のいずれの判定結果にも
かかわらず、この結果を制御部に送るよう構成されたも
のであってもよい。またこの場合、試験部でなく制御部
がある単位の製品の判定結果から、各項目でのその単位
における不良発生率を求めるように、試験部、制御部を
構成してもよい。

【００２０】また本実施形態では、制御部４と試験部２
とから各試験手段７を構成したが、例えば、図２に示す
ように各試験手段８とホストコンピュータ６との間に制
御部４を設けてもよい。この場合の各試験手段８は、上
記実施形態と同様の試験部２（図示略）を複数備えたも
のであり、各試験部２がそれぞれ制御部４に接続されて
いるものである。さらに、制御部４がホストコンピュー
タ６で記憶されたデータを受け、このデータを基に試験
部２の制御を自動的に行う場合について述べたが、例え
ばホストコンピュータ６のデータを基に、手動で制御部
４を操作して試験部２へ制御信号を送ることもできる。

【００２１】また本実施形態では、本発明を半導体装置
製造における製品性能試験装置に適用した例を述べた
が、本発明が製造業全てにおける製品性能試験装置に適
用可能であるのは言うまでもない。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る製品性
能試験装置によれば、試験項目毎に設けられた試験部が
その項目の試験を行うための動作のプログラムをそれぞ
れ独立して有しており、しかも制御部が試験部のそれぞ
れに対し制御信号を出力するようになっているので、制
御部によって不良発生率の小さい項目を削除すること
や、不良発生率の高い項目を試験の始めの方に行うよう
試験項目の順序を入れ換えることなどを容易に実施する
ことができる。また制御部がホストコンピュータから受
けたデータを基に試験部の制御を行うものであれば、自
動的にかつ定期的に不良発生率の低い項目の削除や試験
項目の順序の入れ換えを実施することができる。したが
って、試験時間を短縮することができ、製品生産性を向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製品性能試験装置の一実施形態の要部
構成を示すブロック図である。

【図２】一実施形態の変形例を示すブロック図である。

【図３】従来の製品性能試験装置の全体構成を示すブロ
ック図である。

【図４】従来の製品性能試験装置の要部構成を示すブロ
ック図である。

【符号の説明】

１ 製品性能試験装置 ２ 試験部 ４ 制御部 ６ ホストコンピュータ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製品性能を試験する項目毎に設けられて
   なるもので、それぞれがその項目の試験を行うための動
   作のプログラムを有してなる試験部と、 これら複数の試験部にそれぞれ接続されて、これら試験
   部のそれぞれに対しその試験の動作を行わせるよう制御
   信号を出力するとともに、該試験部で試験された結果を
   受ける制御部と、 該制御部に接続されて、この制御部が前記試験部から受
   けた結果を受けて集計し、これをデータとして記憶する
   ホストコンピュータとを備えてなることを特徴とする製
   品性能試験装置。
2. 【請求項２】 前記制御部は、前記ホストコンピュータ
   で記憶された前記データを該ホストコンピュータから受
   けるとともに、受けたデータに基づいて前記試験部の制
   御を行うものであることを特徴とする請求項１記載の製
   品性能試験装置。