JP2003086481A - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 実行されているスケジュールに基づき液交換
の実行タイミングをユーザの意志によって制御すること
ができる。 【解決手段】 薬液処理部３１を備えた基板処理装置に
より複数のロットを処理する前に各リソースの使用タイ
ミングを予め作成し、その使用タイミングに基づくスケ
ジュールに従って各ロットに対する処理を実行中に、薬
液処理部３１に対する処理液の交換がユーザの指示に基
づき要求された場合には、スケジュールに基づき処理が
実行中の全てのロットが薬液処理部３１を使用した後に
液交換予定ｅｘを配置するとともに、未処理のロットだ
けを対象にして再び各リソースの使用タイミングを決定
し直す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハや
液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称す
る）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作
成方法及びそのプログラムに係り、特に薬液の寿命に基
づく液交換を必要とする基板処理装置のスケジューリン
グ技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】処理液を使用する薬液処理部を備えた基
板処理装置においては、処理液の寿命、すなわち、処理
液の使用時間に基づく寿命である「ライフタイム」と、
処理液の使用回数に基づく寿命である「ライフカウン
ト」とにより液交換を定期的に行なう必要がある。

【０００３】従来の基板処理装置では、ライフカウント
あるいはライフライムがアップしたというアラームに基
づいて、投入部からの新たなロットの搬入を停止すると
ともに、薬液処理部で処理するロットがなくなったこと
を受けてから自動的に液交換作業が実施される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来の基板処理装置では、アラームに
基づいて液交換作業が自動的に実行されるので、一旦基
板の処理が開始されるとユーザの意志が全く考慮されな
い。つまり、ユーザの意志によって液交換をどのように
扱うかに対して柔軟に対処できないという問題がある。

【０００５】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、実行されているスケジュールに基づ
き液交換の実行タイミングをユーザの意志によって制御
することができる基板処理装置のスケジュール作成方法
及びそのプログラムを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、このような
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、処理液で基板に処理を施
す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリ
ソースを使用しながら複数のロットを処理する前に各リ
ソースの使用タイミングを予め作成し、各リソースの使
用タイミングに基づくスケジュールに従って各ロットに
対する処理を実行中に、前記処理部に対する処理液の交
換が指示された場合には、処理の実行中の全てのロット
が前記処理部を使用した後に液交換予定を配置するとと
もに、未処理のロットだけを対象にして再び各リソース
の使用タイミングを決定し直すことを特徴とするもので
ある。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記
処理液の交換の指示は、基板処理装置で発せられる処理
液の寿命を知らせるアラームに対応して行なわれること
を特徴とするものである。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記
アラームは、処理部における処理液の使用時間に応じて
寿命を規定するライフタイムと、処理部における処理液
の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに
基づくことを特徴とするものである。

【０００９】請求項４に記載の発明は、処理液で基板に
処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処
理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する
前に各リソースの使用タイミングを予め作成し、各リソ
ースの使用タイミングに基づくスケジュールに従って各
ロットに対する処理を実行中に、前記処理部に対する処
理液の交換が指示された場合には、処理の実行中の全て
のロットが前記処理部を使用した後に液交換予定を配置
するとともに、未処理のロットだけを対象にして再び各
リソースの使用タイミングを決定し直すようにコンピュ
ータを制御することを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。すなわち、処理に先立って各リソースの使用タイミ
ングを作成し、そのスケジュールに基づき各ロットを処
理する。その際に処理液の交換がユーザにより指示され
た場合には、処理の実行中の全てのロットが処理部を使
用した後に液交換予定を配置して液交換を優先的に実施
できる。さらに、これに基づき未処理のロットによる各
リソースの使用タイミングを再度決定し直すので、液交
換予定を割り込ませてもその後のスケジュールをうまく
調整することができる。

【００１１】請求項２に記載の発明によれば、基板処理
装置から発せられるアラームに基づき液交換を実施する
か否かをユーザに委ねる。

【００１２】請求項３に記載の発明によれば、ライフタ
イムやライフカウントに基づくアラームが発生した場合
には液交換を行なうか否かをユーザに委ねる。

【００１３】請求項４に記載の発明によれば、プログラ
ムとして上記の請求項１と同様の作用を生じる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施例を説明する。図１及び図２はこの発明の一実施
例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成
を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。

【００１５】この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対
して薬液処理及び洗浄処理及び乾燥処理を施すための装
置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット
１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗ
を収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入
部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えて
いる。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側
には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処
理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと
払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と
同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を
備えている。

【００１６】投入部３と払出部７に沿う位置には、これ
らの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置
されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置され
たカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に
対して搬送する。

【００１７】第２搬送機構１３は、収納されている全て
の基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構
１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送
機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板
Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送す
る。

【００１８】第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手
方向に向けて移動可能に構成されており、上述した第２
搬送機構１３との間で基板Ｗの受け渡しを行なう。上記
第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、
複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させ
るための乾燥処理部１７が配備されている。

【００１９】第３搬送機構１５の移動方向であって上記
乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が
配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板
Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２
１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液
処理を施すための薬液処理部２３を備えている。

【００２０】第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内
での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗ
を受け渡しする。純水洗浄処理部２１の上方に位置する
非処理位置では、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受
け渡す動作が行なわれる一方、薬液処理部２３の上方に
位置する非処理位置では、基板Ｗの受け渡しは行なわれ
ない。また、基板Ｗを処理する際には、純水洗浄処理部
２１や薬液処理部２３の槽内に位置する処理位置にまで
下降する。

【００２１】薬液処理部２３，５１は、薬液を含む処理
液の使用時間に応じた寿命を規定するライフタイムと、
処理液の使用回数に応じた寿命を規定するライフカウン
トとに応じてアラームを発生し、ユーザに報知するよう
になっている。しかしながら、アラームが発生した時点
で自動的に液交換が実施されるのではなく、投入部３と
払出部７との間に配備された液交換ボタン７２をユーザ
が押下した時点で液交換が考慮される。

【００２２】なお、この液交換ボタン７２に代えて、基
板処理装置に対してネットワークを介して接続されたコ
ンピュータの指示手段（例えば、キーボードやマウス）
から液交換を指示するようにしてもよい。

【００２３】上記のように構成されている基板処理装置
は、図２のブロック図に示すように制御部７３によって
統括的に制御される。

【００２４】制御部７３は、ＣＰＵなどから構成されて
おり、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相
当する手順に基づき、レシピに応じて上述した薬液処理
部２３，５１などの各リソースの使用タイミングを、複
数枚の基板Ｗからなるロットに対する処理を実際に開始
する前に予め決定する。

【００２５】その後、実際にロットを処理するにあた
り、作成されたスケジュールに基づき各リソースを使用
してレシピに応じた処理をロットに対して施す。また、
薬液処理部２３，５１からアラームが発生した場合に
は、液交換ボタン７２の押下を確認した後に、以下に詳
細に説明するように、液交換予定を優先的に割り込ませ
るようにして配置するとともに未投入のロットだけを対
象にして再スケジュールする点が特徴的になっている。

【００２６】記憶部７５には、この基板処理装置のユー
ザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理
するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作
成プログラムと、作成されたスケジュールと、スケジュ
ールを実行する処理プログラム等が予め格納されてい
る。

【００２７】図３ないし図５に示すタイムチャートを参
照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順
について説明するが、理解を容易にするために一部を省
略して簡略化したレシピを例に採って説明する。

【００２８】ここでは一例として、第１ロットと第２ロ
ットが投入部３に載置されてユーザにより処理開始が指
示され、第１ロットが投入部３から搬送され終わった後
にそこへ第３ロットが載置されたとする。そして、第３
ロットの処理開始が指示された後であって、第３ロット
が投入部３から搬送される前に処理液のライフタイムが
アップしたことによるアラームが発生し、その時点でユ
ーザが液交換ボタン７２を押下したものとして説明す
る。

【００２９】なお、各ロットのスケジュール作成は、投
入部３にロットが載置された後、処理の開始がユーザに
よって指示された時点で行なわれる。

【００３０】図３中に白色矩形で示すように、第１ロッ
トがステップＳ１−１にて第２搬送機構１３を使用し、
ステップＳ１−２で純水洗浄処理部２１を使用するよう
に配置される。続いて、ステップＳ１−３で薬液処理部
２３を使用し、ステップＳ１−４にて純水洗浄処理部２
１を使用し、ステップＳ１−５にて乾燥処理部１７を使
用し、ステップＳ１−６にて第２搬送機構１３を使用す
るように第１ロットが配置される。

【００３１】続いて、図３中に微細ハッチングの矩形で
示すように、第２ロットがステップＳ２−１にて第２搬
送機構１３を使用し、ステップＳ２−２で純水洗浄処理
部２９を使用し、ステップＳ２−３で薬液処理部３１を
使用し、ステップＳ２−４で純水洗浄処理部２９を使用
し、ステップＳ２−５にて乾燥処理部１７を使用し、ス
テップＳ２−６にて第２搬送機構１３を使用するように
配置される。

【００３２】このように第１ロットと第２ロットが各リ
ソースを使用するようにスケジュールされた後、このス
ケジュールが記憶部７５に記憶され、制御部７３によっ
て各リソースが統括制御される。そして、それぞれのス
ケジュールにしたがって投入部３から第１ロット及び第
２ロットが搬送され始める。

【００３３】さらに、第１ロットが搬送され、投入部３
から全て搬送された場合には、ユーザが空きになった投
入部３に第３ロットのカセット１を載置するとともに、
その処理開始を指示する。すると、図３中に粗いハッチ
ングの矩形で示すように、第３ロットが第１ロットのス
テップＳ１−６に続いて配置され、ステップ３−１から
ステップ３−６で各リソースを使用するように配置され
る。このスケジュールも記憶部７５に記憶されるが、処
理が実際に開始されるのは暫く後である。

【００３４】ここで、第１ロットのステップＳ１−２が
実行され、かつ第２ロットのステップＳ２−２が実行さ
れているｔａ時点において、薬液処理部３１のアラーム
がアップし、それがユーザに報知されたとする。さら
に、それとともにユーザが液交換ボタン７２を押下した
ものとする。

【００３５】すると制御部７３は、液交換ボタン７２が
押下されたことを検知して次のように動作する。

【００３６】まず、現時点（ｔａ時点）においてスケジ
ュールに基づき投入部３から搬送されて実際に「投入さ
れているロット」のうち、薬液処理部３１を使い始める
のが最も遅いロットを調べる。この例では、投入されて
いるロットが第１ロット及び第２ロットであるので、そ
れらの中で最後に薬液処理部３１を使用するロットを調
べる。この場合には、第２ロットのステップＳ２−３が
最も遅いことが判明する。

【００３７】そこで、図４に示すように、未投入の第３
ロットのスケジュールについては全て削除し、第２ロッ
トのステップＳ２−３が終わった時点ｔｂ〜ｔｃにわた
って液交換予定ｅｘを配置するように使用タイミングを
決定する。

【００３８】これに基づいて制御部７３は、投入部３か
ら未だ処理が実行されていないロットだけを対象にして
再スケジューリングを行なって、各リソースの使用タイ
ミングを決め直す。具体的には、投入部３に載置されて
はいるものの未処理の状態にある第３ロットだけを対象
にして再スケジュールを行なう。

【００３９】この再スケジューリングによる結果は、例
えば図５に示すようになる。つまり、第３ロットの投入
タイミングは再スケジューリング前と変わらないが、液
交換予定ｅｘが存在している関係上、薬液処理部３１に
よる処理がすぐに行えず、ステップＳ３−２からステッ
プＳ３−３に移行する間に待機時間ｗｔが生じるという
予定になる。

【００４０】このようにスケジュールに基づき各ロット
を処理するが、処理液の寿命に伴う薬液処理部３１につ
いての処理液交換がユーザにより指示された場合には、
投入済みの全てのロットが薬液処理部３１を使用した後
に液交換予定ｅｘを配置することによって液交換を優先
的に実施できる。また、この液交換予定ｅｘに基づき未
投入の第３ロットによる各リソースの使用タイミングを
再度決定し直すので、液交換予定ｅｘを優先的に処理す
るために割り込ませてもその後のスケジュールをうまく
調整することができる。そのためスケジュールを大きく
乱すことなく、液交換の実行タイミングをユーザの意志
によって制御することができる。

【００４１】なお、上記の実施例では処理液に寿命がき
たことに基づきアラームを発生し、これに対してユーザ
が液交換を指示した場合を例に採って説明した。しかし
ながら、例えば、処理液の寿命にかかわらず、ユーザが
処理後の基板検査結果に基づき処理液を交換した方が適
切であろうと判断して液交換を指示したような場合であ
っても同様である。

【００４２】本発明において予め処理の前にスケジュー
ルする方法としては、次のようなものが好適である。以
下の方法における処理工程とは、上述した純水洗浄処理
部２１における洗浄処理や薬液処理部３１における薬液
処理であり、またそれらを一連の処理として扱うブロッ
クとした場合も含む。

【００４３】すなわち、基板に処理を施すための処理部
を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処
理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づい
て各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロ
ットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール
作成方法において、いずれかのロットについて最初の処
理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のう
ち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早
いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置す
るのである。

【００４４】この方法によれば、予めスケジュールする
ことで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前
作業とを重複させて配置することができるとともに、配
置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロッ
トの処理工程を次の処理工程として選択して配置するこ
とで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮するこ
とができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効
利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率
を向上することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、処理に先立ち作成されたスケ
ジュールに基づき各ロットを処理するが、処理液の交換
がユーザにより指示された場合には、処理が実行中の全
てのロットが処理部を使用した後に液交換予定を配置し
て液交換を優先的に実施できる。また、これに基づき未
処理のロットによる各リソースの使用タイミングを再度
決定し直すので、液交換予定を優先的に処理するために
割り込ませてもその後のスケジュールをうまく調整する
ことができる。したがって、スケジュールを大きく乱す
ことなく、液交換の実行タイミングをユーザの意志によ
って制御することが可能である。

【００４６】請求項２に記載の発明によれば、基板処理
装置から発せられるアラームに基づき液交換を実施する
か否かをユーザに委ねることができる。

【００４７】請求項３に記載の発明によれば、ライフタ
イムやライフカウントに基づくアラームが発生した場合
には液交換を行なうか否かをユーザに委ねることができ
る。

【００４８】請求項４に記載の発明によれば、プログラ
ムとして上記請求項１に記載の効果と同様の効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した
平面図である。

【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した
ブロック図である。

【図３】スケジュール例の一部を示すタイムチャートで
ある。

【図４】液交換予定の配置例を示すタイムチャートであ
る。

【図５】再スケジュールの例を示すタイムチャートであ
る。

【符号の説明】

Ｗ … 基板 ３ … 投入部 ５ … 載置台 １１ … 第１搬送機構 １３ … 第２搬送機構 １５ … 第３搬送機構 １７ … 乾燥処理部 １９ … 第１処理部 ２１ … 純水洗浄処理部 ２３ … 薬液処理部 ２５ … 第１副搬送機構 ２７ … 第２処理部 ２９ … 純水洗浄処理部 ３１ … 薬液処理部 ３３ … 第２副搬送機構 ７２ … 液交換ボタン ｅｘ … 液交換予定

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４８Ｈ ６４８ 21/30 ５６９Ａ (72)発明者 河合 淳 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 赤尾 喜代志 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 堀口 修 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 3B201 AA02 AA03 AB23 BB03 BB92 BB93 CB15 CC01 CC11 3C100 AA05 AA62 BB03 EE06 5F046 LA03 LA09 LA19

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理液で基板に処理を施す処理部を備え
   た基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用し
   ながら複数のロットを処理する前に各リソースの使用タ
   イミングを予め作成し、 各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従
   って各ロットに対する処理を実行中に、前記処理部に対
   する処理液の交換が指示された場合には、処理の実行中
   の全てのロットが前記処理部を使用した後に液交換予定
   を配置するとともに、未処理のロットだけを対象にして
   再び各リソースの使用タイミングを決定し直すことを特
   徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置のスケジ
   ュール作成方法において、 前記処理液の交換の指示は、基板処理装置で発せられる
   処理液の寿命を知らせるアラームに対応して行なわれる
   ことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方
   法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の基板処理装置のスケジ
   ュール作成方法において、 前記アラームは、処理部における処理液の使用時間に応
   じて寿命を規定するライフタイムと、処理部における処
   理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウント
   とに基づくことを特徴とする基板処理装置のスケジュー
   ル作成方法。
4. 【請求項４】 処理液で基板に処理を施す処理部を備え
   た基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用し
   ながら複数のロットを処理する前に各リソースの使用タ
   イミングを予め作成し、 各リソースの使用タイミングに基づくスケジュールに従
   って各ロットに対する処理を実行中に、前記処理部に対
   する処理液の交換が指示された場合には、処理の実行中
   の全てのロットが前記処理部を使用した後に液交換予定
   を配置するとともに、未処理のロットだけを対象にして
   再び各リソースの使用タイミングを決定し直すようにコ
   ンピュータを制御することを特徴とする基板処理装置の
   スケジュール作成プログラム。