JP5118530B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
すなわち、従来の装置は、液交換予定を配置した後に、重複を回避してロットのリソースの使用タイミングを配置するので、ライフタイムを厳密に守ることができるものの、液交換予定と当該処理部の使用タイミングとの間に待機時間が生じることがある。そのため、ライフタイムが無駄に消費され、処理液の利用効率が低下するという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、実際に処理を開始する前に、処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムを考慮し、ライフタイムがアップする時点で、処理部のリソースに液交換予定を配置する過程と、各ロットの各リソースの使用タイミングを、前記液交換予定と重複しないように配置する過程と、前記液交換予定と前記処理部のリソースの使用タイミングとの間に待機時間が生じている場合には、前記液交換予定を前記処理部のリソースの使用タイミングに合わせて後ろにずらす過程と、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図2は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
すなわち、処理工程P1,P9は、第1搬送機構CTC(リソースa)による搬送処理であり、処理工程P2,P4,P6,P8は、例えば、第2搬送機構WTR(リソースb)による搬送処理であり、処理工程P3は、例えば、純水洗浄処理部OHB1(リソースc)による純水洗浄処理であり、処理工程P5は、例えば、薬液処理部CHB1(リソースd)による薬液処理であり、処理工程P7は、例えば、純水洗浄処理部OHB2(リソースe)による純水洗浄処理である。また、各処理工程P1〜P9において、ハッチングした部分の前にあたる部分は、リソースを使用するための準備にあたる前作業であり、ハッチングした部分の後ろにあたる部分は、使用したリソースの片付けにあたる後作業である。
装置のオペレータは、未処理の基板Wが収納されたカセット1を投入台3の載置台5に載置する(ステップS1)。図示しない指示部から上述したレシピを指示する(ステップS2)。すると、制御部31は、記憶部37に記憶されているレシピのデータを読み込む(ステップS3)。
スケジューリング部33は、薬液を含む処理液の寿命を規定するライフタイムを記憶部37から読み出し、ライフタイムT1が規定された処理部、例えば、薬液処理部CHB1について、図4に示すように液交換予定exを配置する。ここでは、一例として、時刻t1においてライフタイムがアップする(ライフタイムに達する)として、まず液交換予定exを配置し、この液交換予定exが終了した時刻t2からライフタイムT1が経過した時刻t3に次の液交換予定exを配置する。なお、最初の液交換予定exは、初めて処理液を生成する処理である。
スケジューリング部33は、ロットについてレシピに応じた各リソースの使用タイミングを配置してゆく。その際には、既に配置した液交換予定exと重複しないように配置する。その結果、例えば、図5に示すようにスケジューリングされたとする。作成されたスケジュールは、一旦、記憶部37に格納される。
液交換調整スケジューリング部34は、記憶部37のスケジュールを参照し、液交換予定exと、液交換予定exが行われる処理部(この例では薬液処理部CHB1)の使用タイミングとの間に空き時間が存在するか否かを確認する。空き時間がある場合には、それをなくすように液交換予定exを後ろにずらす。この例では、図5に示すように、薬液処理部CHB1の液交換予定exが完了する時刻t2と、薬液処理部CHB1の使用開始時刻t2aとの間に待機時間wtが存在する。したがって、液交換調整スケジューリング部34は、薬液処理部CHB1の液交換予定exの終了時点が時刻t2aとなるように、液交換予定exを後ろにずらす調整を行う。このようにして調整されたスケジュールは、記憶部37に格納される。
処理実行指示部35は、記憶部37のスケジュールを参照して、各リソースの使用タイミングに合わせて各部を制御し、ロットに対する処理をスケジュールに合わせて実行する。
1 … カセット
CTC … 第1搬送機構
WTR … 第2搬送機構
LPD … 乾燥処理部
19 … 第1処理部
ONB1〜ONB3 … 純水洗浄処理部
CHB1〜CHB3 … 薬液処理部
LF1〜LF6 … リフタ
31 … 制御部
33 … スケジューリング部
34 … 液交換調整スケジューリング部
35 … 処理実行指示部
37 … 記憶部
P1〜P9 … 処理工程
T1 … ライフタイム
wt … 待機時間
Claims (3)
- 処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
実際に処理を開始する前に、処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムを考慮し、ライフタイムがアップする時点で、処理部のリソースに液交換予定を配置する過程と、
各ロットの各リソースの使用タイミングを、前記液交換予定と重複しないように配置する過程と、
前記液交換予定と前記処理部のリソースの使用タイミングとの間に待機時間が生じている場合には、前記液交換予定を前記処理部のリソースの使用タイミングに合わせて後ろにずらす過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記液交換予定をずらした後は、当該液交換予定の前に次ロットの処理部の使用タイミングの配置を回避することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
実際に処理を開始する前に、処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムを考慮し、ライフタイムがアップする時点で、処理部のリソースに液交換予定を配置するステップと、
各ロットの各リソースの使用タイミングを、前記液交換予定と重複しないように配置するステップと、
前記液交換予定と前記処理部のリソースの使用タイミングとの間に待機時間が生じている場合には、前記液交換予定を前記処理部のリソースの使用タイミングに合わせて後ろにずらすステップと、
を前記制御部であるコンピュータに実行させることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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JP2008081293A JP5118530B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
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