JP4979412B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
すなわち、従来の方法は、一つのロットを配置する際に、基板保持部が濡れると、先の搬送を終えた後であって、次に搬送部が基板を搬送する前に、一律に水洗乾燥処理が追加される。ところで、一般的に、一つのロットだけが処理されることはごく稀であり、複数のロットが順次に投入されるのが一般的である。そのため、基板保持部が濡れたとしても、その後の搬送対象となる他のロットによっては水洗乾燥処理が不要な場合が生じるにも関わらず、一律に搬送の前に水洗乾燥処理が追加される。例えば、純水洗浄処理部から第1のロットを受け取った時には、基板保持部に純水が付着するが、第2のロットが他の純水洗浄処理部によって処理された基板である場合であっても、第1のロットの搬送の後であって、第2のロットの搬送の前に基板搬送部を水洗乾燥する動的処理が配置される。その結果、スケジュール中に、不必要な水洗乾燥処理が配置されることになり、基板処理のスループットが低下するという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づき、基板を受け渡す基板保持部を備えた搬送部を操作して、各々のロットを各処理部に搬送させつつ順次に処理するために各ロットの処理順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、処理工程のうち前記搬送部によるロットの搬送を行う搬送処理工程を配置する際に、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程と、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程との組み合わせに基づき、当該搬送処理工程の前に基板保持部を純水で洗浄するとともに乾燥させるための水洗乾燥処理を配置するか否かを決定することを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図2は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
スケジューリング部33は、スケジューリング対象となるブロックがある場合には、ステップS2へ移行して配置可能な位置を検索する。一方、スケジューリング対象となるブロックが存在しない場合には処理を終える。
スケジューリング部33は、スケジューリング対象のブロックを配置する。
具体的には、例えば、図5に示すように第1のロットのブロックA(図中の符号1−A)を配置可能な位置に配置する。
配置したブロックAの前または後に別のブロックがあるか否かに応じて処理を分岐する。
具体的には、配置した第1のロットのブロックA(符号1−A)について、その時間的な前後に本ブロック以外のブロックがあるか否かを調べる。他のブロックがある場合には、ステップS5へ移行する一方、他のブロックがない場合には、ステップS6へ移行する。
ここでは、配置した第1のロットのブロックA(符号1−A)の前後に他のブロックが存在しないので、チャック洗浄部CHCLにおけるチャック部15の水洗乾燥処理が必要か否かを次のようにして判断する。
スケジューリング部33は、第1のロットのブロックB(図6中の符号1−B)と第1のロットのブロックA(図6中の符号1−A)とを比較対象とし、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程a(搬入出処理)と、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程c(薬液処理)と、図3の表とに基づき動的処理の要否を判断する。ここでは、動的処理が不要であると判断され、ステップS1へ分岐する。
スケジューリング部33は、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程c(薬液処理)と、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程a(搬入出処理)と、図3の表とに基づいて、第2のロットのブロックA(符号2−A)と、第1のロットのブロックB(符号1−B)との間に動的処理が必要か否かを判断する。ここでは、動的処理が必要であるので、ステップS7へ移行する。
スケジューリング部33は、図8のように当該搬送処理工程の前に動的処理を配置する。つまり、第2のロットのブロックA(符号2−A)のうち、処理工程bである搬送処理の前に、チャック部15の「水洗乾燥処理」を動的処理dpとして配置する。
動的処理dpに続く処理として、第2のロットのブロックA(符号2−A)を配置する。その際に、各ブロックが元の位置で配置可能である場合には、ステップS9、S10を経てステップS1に移行する。一方、他のブロックとの関係で、元の位置で配置できない場合には、ステップS11、S12を経て動的処理を一旦削除して配置可能な位置を検索して配置した後、ステップS1に移行する。
1 … カセット
11 … 第1搬送機構
13 … 第2搬送機構
WTR … 第3搬送機構
15 … チャック部
LPD … 乾燥処理部
19 … 第1処理部
ONB1,ONB2 … 純水洗浄処理部
CHB1,CHB2 … 薬液処理部
LF1,LF2 … リフタ
CHCL … チャック洗浄部
31 … 制御部
33 … スケジューリング部
37 … 処理実行指示部
39 … 記憶部
41 … 状態記憶部
Claims (4)
- 基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づき、基板を受け渡す基板保持部を備えた搬送部を操作して、各々のロットを各処理部に搬送させつつ順次に処理するために各ロットの処理順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、処理工程のうち前記搬送部によるロットの搬送を行う搬送処理工程を配置する際に、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程と、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程との組み合わせに基づき、当該搬送処理工程の前に基板保持部を純水で洗浄するとともに乾燥させるための水洗乾燥処理を配置するか否かを決定することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、当該搬送処理工程について先の搬送処理工程が存在しない場合には、基板保持部の最後の状態を記憶した状態記憶部を参照し、基板保持部の最後の状態を先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程として扱うことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程が薬液を用いた処理であり、かつ、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程が、純水による基板の水洗処理、基板の乾燥水洗処理、基板の搬入出処理のいずれかである場合に水洗乾燥処理を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含むレシピに基づき、基板を受け渡す基板保持部を備えた搬送部を操作して、各々のロットを各処理部に搬送させつつ順次に処理するために各ロットの処理順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、処理工程のうち前記搬送部によるロットの搬送を行う搬送処理工程を配置する際に、先の搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程と、当該搬送処理工程の搬送元にあたる処理工程との組み合わせに基づき、当該搬送処理工程の前に基板保持部を純水で洗浄するとともに乾燥させるための水洗乾燥処理を配置するか否かを決定することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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