JPH11214471A - ワーク搬送方法およびワーク処理装置 - Google Patents
ワーク搬送方法およびワーク処理装置Info
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- JPH11214471A JPH11214471A JP10011644A JP1164498A JPH11214471A JP H11214471 A JPH11214471 A JP H11214471A JP 10011644 A JP10011644 A JP 10011644A JP 1164498 A JP1164498 A JP 1164498A JP H11214471 A JPH11214471 A JP H11214471A
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数整列された処理装置に遊びが生じること
を極力減らすことにより、高スループットを実現する。 【解決手段】 それぞれ処理条件の固定された複数の処
理装置３を整列させて一つの処理装置群３ａを構成し、
この処理装置群３ａの一端に、処理条件の異なる複数の
ワークを収容した保管棚２を設置し、これらのワークを
それぞれ該当する処理条件の処理装置３に搬送して、所
望の処理を実施する。保管棚２から遠ざかるにつれて処
理時間が短くなるように、各処理装置３の処理時間を設
定し、最初に、保管棚２に収容されたワークのうち保管
棚２から最も遠くに配置された処理装置３を使用するも
のを、該当する処理装置３に搬送し、その後において
は、前回搬送したワークよりも保管棚２に近い処理装置
３を使用するものを、順次該当する処理装置３に搬送す
る。
を極力減らすことにより、高スループットを実現する。 【解決手段】 それぞれ処理条件の固定された複数の処
理装置３を整列させて一つの処理装置群３ａを構成し、
この処理装置群３ａの一端に、処理条件の異なる複数の
ワークを収容した保管棚２を設置し、これらのワークを
それぞれ該当する処理条件の処理装置３に搬送して、所
望の処理を実施する。保管棚２から遠ざかるにつれて処
理時間が短くなるように、各処理装置３の処理時間を設
定し、最初に、保管棚２に収容されたワークのうち保管
棚２から最も遠くに配置された処理装置３を使用するも
のを、該当する処理装置３に搬送し、その後において
は、前回搬送したワークよりも保管棚２に近い処理装置
３を使用するものを、順次該当する処理装置３に搬送す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク搬送方法お
よびワーク処理装置に関し、特に複数枚の半導体ウエハ
を収容した複数のカセットを、各種の処理装置に搬送す
るためのワーク搬送方法およびワーク処理装置に関する
ものである。
よびワーク処理装置に関し、特に複数枚の半導体ウエハ
を収容した複数のカセットを、各種の処理装置に搬送す
るためのワーク搬送方法およびワーク処理装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的にウエハプロセス技術は、イオン
注入やリソグラフィー、エッチング等の種々の技術によ
って構成されている。そして、現在に至ってはこれらを
実施する処理装置は、ロボット等が使われてほぼ自動化
されている。ここで、従来のウエットエッチングの処理
装置について、図面を参照して説明する。
注入やリソグラフィー、エッチング等の種々の技術によ
って構成されている。そして、現在に至ってはこれらを
実施する処理装置は、ロボット等が使われてほぼ自動化
されている。ここで、従来のウエットエッチングの処理
装置について、図面を参照して説明する。
【０００３】図３は、一般的なクリーンルーム内部を示
す斜視図である。同図に示すように、クリーンルーム内
には、製造工程毎に複数の処理装置群３ａが互いに並行
に配置されている。また、各処理装置群３ａは複数の処
理装置３によって構成されており、すなわちリソグラフ
ィーやウエット処理等における一連の処理装置３がまと
めて配置されて各処理装置群３ａが構成されている。さ
らに、各処理装置３が実施する処理はそれぞれ固定され
ており、ここではＡ，Ｂ，Ｃという３種類の処理条件を
想定している。
す斜視図である。同図に示すように、クリーンルーム内
には、製造工程毎に複数の処理装置群３ａが互いに並行
に配置されている。また、各処理装置群３ａは複数の処
理装置３によって構成されており、すなわちリソグラフ
ィーやウエット処理等における一連の処理装置３がまと
めて配置されて各処理装置群３ａが構成されている。さ
らに、各処理装置３が実施する処理はそれぞれ固定され
ており、ここではＡ，Ｂ，Ｃという３種類の処理条件を
想定している。
【０００４】一方、クリーンルーム内の天井にはレール
７が敷設され、このレール７には移動可能なメイン搬送
機６が設置されている。また、各処理装置群３ａのレー
ル７側の一端には、半導体ウエハを収容したカセット
（すなわち、ワーク）を収容する保管棚２が設置されて
いる。例えば、リソグラフィーの終わった半導体ウエハ
を収容したカセットは、ウエットエッチングを行う処理
装置群３ａまでメイン搬送機６によって搬送されてか
ら、保管棚２に一時的に収容される。
７が敷設され、このレール７には移動可能なメイン搬送
機６が設置されている。また、各処理装置群３ａのレー
ル７側の一端には、半導体ウエハを収容したカセット
（すなわち、ワーク）を収容する保管棚２が設置されて
いる。例えば、リソグラフィーの終わった半導体ウエハ
を収容したカセットは、ウエットエッチングを行う処理
装置群３ａまでメイン搬送機６によって搬送されてか
ら、保管棚２に一時的に収容される。
【０００５】図４は、図３に係る処理装置群３ａの詳細
な構成を示すブロック図である。同図において、図３に
おける同一または同等のものには同一符号を付してい
る。メイン搬送機６によって保管棚２内に収容されたカ
セットは、ローダ１０を介して立替機１１に搬送され
る。立替機１１は搬入されたカセットからウエハを取り
出し、取り出したウエハを耐エッチング性の容器である
ボートの中に移し替える。そして、ボートに移し替えら
れたウエハは、ロボットアーム４によって所望の処理槽
（３０，３２，３４）、水洗槽（以下、ＱＤＲという）
（３１，３３，３５）、スピンドライヤ槽３６に投入さ
れ、処理が完了すると立替機１２に搬送される。
な構成を示すブロック図である。同図において、図３に
おける同一または同等のものには同一符号を付してい
る。メイン搬送機６によって保管棚２内に収容されたカ
セットは、ローダ１０を介して立替機１１に搬送され
る。立替機１１は搬入されたカセットからウエハを取り
出し、取り出したウエハを耐エッチング性の容器である
ボートの中に移し替える。そして、ボートに移し替えら
れたウエハは、ロボットアーム４によって所望の処理槽
（３０，３２，３４）、水洗槽（以下、ＱＤＲという）
（３１，３３，３５）、スピンドライヤ槽３６に投入さ
れ、処理が完了すると立替機１２に搬送される。
【０００６】立替機１２は搬送されたボートからウエハ
を取り出し、取り出したウエハをあらかじめコンベア１
４によって運ばれているカセットに収納する。その後、
ウエハを収納したカセットは、アンローダ１３を介して
搬送車５に載せられ、再び保管棚２に搬送されるととも
に保管棚２に収容される。そして、保管棚２に収容され
たカセットは、必要に応じてメイン搬送機６によって搬
送されて次工程の処理装置群に投入される。なお、コン
ベア１４は双方向に動くように構成されており、立替機
１１，１２間において空のカセットおよび空のボートを
搬送する。
を取り出し、取り出したウエハをあらかじめコンベア１
４によって運ばれているカセットに収納する。その後、
ウエハを収納したカセットは、アンローダ１３を介して
搬送車５に載せられ、再び保管棚２に搬送されるととも
に保管棚２に収容される。そして、保管棚２に収容され
たカセットは、必要に応じてメイン搬送機６によって搬
送されて次工程の処理装置群に投入される。なお、コン
ベア１４は双方向に動くように構成されており、立替機
１１，１２間において空のカセットおよび空のボートを
搬送する。
【０００７】ここで、従来のウエット処理におけるカセ
ットの搬送手順について説明する。図５，６は、従来例
を示す説明図である。同図において、図３における同一
または同等のものには同一符号を付しており、（ａ）〜
（ｇ）は各ステップでのカセットの搬送手順を示してい
る。また、説明の便宜上、図４のローダ１０、アンロー
ダ１３等についてはその記載を省略している。
ットの搬送手順について説明する。図５，６は、従来例
を示す説明図である。同図において、図３における同一
または同等のものには同一符号を付しており、（ａ）〜
（ｇ）は各ステップでのカセットの搬送手順を示してい
る。また、説明の便宜上、図４のローダ１０、アンロー
ダ１３等についてはその記載を省略している。
【０００８】まず、図５（ａ）に示すように、メイン搬
送機６（図３）によって保管棚２に搬送されたカセット
１は、保管棚２内に順次載置され、搬入された順番で管
理される。例えば図５においては、１番目に処理条件Ａ
のカセット（以下、Ａ１という）、２番目に処理条件Ｂ
のカセット（以下、Ｂ１という）、３番面に処理条件Ａ
のカセット（以下、Ａ２という）が搬入され、その後同
様にして複数のカセット（以下、Ｃ１，Ｂ２，Ｃ２、Ａ
３，Ｃ３，Ｃ４という）が、保管棚２に順次収容され
る。
送機６（図３）によって保管棚２に搬送されたカセット
１は、保管棚２内に順次載置され、搬入された順番で管
理される。例えば図５においては、１番目に処理条件Ａ
のカセット（以下、Ａ１という）、２番目に処理条件Ｂ
のカセット（以下、Ｂ１という）、３番面に処理条件Ａ
のカセット（以下、Ａ２という）が搬入され、その後同
様にして複数のカセット（以下、Ｃ１，Ｂ２，Ｃ２、Ａ
３，Ｃ３，Ｃ４という）が、保管棚２に順次収容され
る。
【０００９】こうして保管棚２に収容されたカセット
は、各処理装置３に搬送されて各種のウエット処理が実
施されるが、従来においては、図５（ｂ）に示すように
処理条件に関係なく、保管棚２に搬送された順番で処理
を行っていた。すなわち、保管棚２に１番目に搬入され
たＡ１がロボットアーム４によって最初に搬出され、処
理条件Ａの処理が行われる処理装置Ａ内に搬入され、例
えば２０分間に亘るウエット処理が行われる。
は、各処理装置３に搬送されて各種のウエット処理が実
施されるが、従来においては、図５（ｂ）に示すように
処理条件に関係なく、保管棚２に搬送された順番で処理
を行っていた。すなわち、保管棚２に１番目に搬入され
たＡ１がロボットアーム４によって最初に搬出され、処
理条件Ａの処理が行われる処理装置Ａ内に搬入され、例
えば２０分間に亘るウエット処理が行われる。
【００１０】その後、図５（ｃ）に示すように処理の行
われたＡ１（以下、Ａ１’という）は、水洗槽（ＱＤ
Ｒ）での洗浄およびスピンドライヤ槽での乾燥処理等が
行われてから再び搬送車５によって搬送され、保管棚２
に収容される。その後、同様にしてＢ１が処理装置Ｂに
搬送されて処理が行われる。以降、図５（ｄ）、図６
（ｅ）〜（ｇ）まで同様に実施され、図６（ｇ）に示す
ように処理の終わったＣ４’を保管棚２に収容すること
により、一連の処理が完了する。
われたＡ１（以下、Ａ１’という）は、水洗槽（ＱＤ
Ｒ）での洗浄およびスピンドライヤ槽での乾燥処理等が
行われてから再び搬送車５によって搬送され、保管棚２
に収容される。その後、同様にしてＢ１が処理装置Ｂに
搬送されて処理が行われる。以降、図５（ｄ）、図６
（ｅ）〜（ｇ）まで同様に実施され、図６（ｇ）に示す
ように処理の終わったＣ４’を保管棚２に収容すること
により、一連の処理が完了する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
処理においては一般的に制御手順の複雑化を避けるた
め、複数の処理装置が同時に稼働しないように構成され
ている。例えば、処理装置Ａが使用されているときに
は、処理装置Ａを飛び越してそれ以降の処理装置Ｂ，Ｃ
を使用しないように構成されている。その理由は、次の
ようなものである。複数の処理装置で同時に処理が完了
すると、エッチング液に浸ったウエハを同時に引き上げ
る必要が生じるが、一般的にコストを抑制するために、
一つの処理装置群に対してロボットアーム４は１台しか
設置されていない。そのため、同時に複数の処理装置の
要求に答えることはできず、その結果、処理装置によっ
てはウエハの引き上げタイミングが狂ってしまい、オー
バーエッチングが生じるなどの問題があった。一方、カ
セットを、収容された順番で１個ずつ処理していたので
は、他の処理装置は使用されずに遊んでしまい、スルー
プットの向上が困難であるという問題点もあった。例え
ば、図５（ｂ）においては処理装置Ｂ，Ｃ、図５（ｃ）
においては処理装置Ａ，Ｃ、図５（ｄ）においては処理
装置Ｂ，Ｃ、図６（ｅ）においては処理装置Ａ，Ｂ、図
６（ｆ）においては処理装置Ａ，Ｂが遊んだ状態となっ
ている。本発明は、このような課題を解決するためのも
のであり、複数整列された処理装置に遊びが生じること
を極力減らすことにより、高スループットを実現できる
ワーク搬送方法およびワーク処理装置を提供することを
目的とする。
処理においては一般的に制御手順の複雑化を避けるた
め、複数の処理装置が同時に稼働しないように構成され
ている。例えば、処理装置Ａが使用されているときに
は、処理装置Ａを飛び越してそれ以降の処理装置Ｂ，Ｃ
を使用しないように構成されている。その理由は、次の
ようなものである。複数の処理装置で同時に処理が完了
すると、エッチング液に浸ったウエハを同時に引き上げ
る必要が生じるが、一般的にコストを抑制するために、
一つの処理装置群に対してロボットアーム４は１台しか
設置されていない。そのため、同時に複数の処理装置の
要求に答えることはできず、その結果、処理装置によっ
てはウエハの引き上げタイミングが狂ってしまい、オー
バーエッチングが生じるなどの問題があった。一方、カ
セットを、収容された順番で１個ずつ処理していたので
は、他の処理装置は使用されずに遊んでしまい、スルー
プットの向上が困難であるという問題点もあった。例え
ば、図５（ｂ）においては処理装置Ｂ，Ｃ、図５（ｃ）
においては処理装置Ａ，Ｃ、図５（ｄ）においては処理
装置Ｂ，Ｃ、図６（ｅ）においては処理装置Ａ，Ｂ、図
６（ｆ）においては処理装置Ａ，Ｂが遊んだ状態となっ
ている。本発明は、このような課題を解決するためのも
のであり、複数整列された処理装置に遊びが生じること
を極力減らすことにより、高スループットを実現できる
ワーク搬送方法およびワーク処理装置を提供することを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明に係るワーク搬送方法は、それぞれ処
理条件の固定された複数の処理装置を整列させて一つの
処理装置群を構成し、この処理装置群の一端に、処理条
件の異なる複数のワークを収容した保管棚を設置し、こ
れらのワークをそれぞれ該当する処理条件の上記処理装
置に搬送して、所望の処理を実施するワーク搬送方法に
おいて、上記保管棚から遠ざかるにつれて処理時間が短
くなるように、上記各処理装置の処理時間を設定し、最
初に、上記保管棚に収容されたワークのうち上記保管棚
から最も遠くに配置された処理装置を使用するものを、
該当する処理装置に搬送し、その後においては、前回搬
送したワークよりも上記保管棚に近い処理装置を使用す
るものを、順次該当する処理装置に搬送するものであ
る。また、本発明に係るワーク処理装置は、複数の処理
装置によって構成された処理装置群と、上記処理装置群
に設けられかつワークを収容する保管棚とを備えたワー
ク処理装置において、上記各処理装置の処理時間は、上
記保管棚から遠ざかるにつれて処理時間が短くなるよう
に設定されている。このように構成することにより本発
明は、異なる処理条件のワークを、処理装置に遊びを生
じさせることなく、効率よく処理することができる。ま
た、複数の処理が同時に完了することがないため、処理
装置からワークを取り出す際には、１台のロボットアー
ムがあれば十分である。
るために、本発明に係るワーク搬送方法は、それぞれ処
理条件の固定された複数の処理装置を整列させて一つの
処理装置群を構成し、この処理装置群の一端に、処理条
件の異なる複数のワークを収容した保管棚を設置し、こ
れらのワークをそれぞれ該当する処理条件の上記処理装
置に搬送して、所望の処理を実施するワーク搬送方法に
おいて、上記保管棚から遠ざかるにつれて処理時間が短
くなるように、上記各処理装置の処理時間を設定し、最
初に、上記保管棚に収容されたワークのうち上記保管棚
から最も遠くに配置された処理装置を使用するものを、
該当する処理装置に搬送し、その後においては、前回搬
送したワークよりも上記保管棚に近い処理装置を使用す
るものを、順次該当する処理装置に搬送するものであ
る。また、本発明に係るワーク処理装置は、複数の処理
装置によって構成された処理装置群と、上記処理装置群
に設けられかつワークを収容する保管棚とを備えたワー
ク処理装置において、上記各処理装置の処理時間は、上
記保管棚から遠ざかるにつれて処理時間が短くなるよう
に設定されている。このように構成することにより本発
明は、異なる処理条件のワークを、処理装置に遊びを生
じさせることなく、効率よく処理することができる。ま
た、複数の処理が同時に完了することがないため、処理
装置からワークを取り出す際には、１台のロボットアー
ムがあれば十分である。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一つの実施の形態
について説明する。さて、本実施の形態では、以下のよ
うにして処理装置の遊びを排除する。
について説明する。さて、本実施の形態では、以下のよ
うにして処理装置の遊びを排除する。
【００１４】例えば、図４に記載したような処理装置群
を想定すると、保管棚２から遠ざかるにつれて処理時間
が短くなるように各処理槽の処理時間を設定し、なるべ
く保管棚２から離れた処理槽（ここでは、処理槽Ｃ）を
使用するカセットから順番にウエハを投入してやれば、
複数の処理槽間で同時に処理が完了する事態を避けるこ
とができる。
を想定すると、保管棚２から遠ざかるにつれて処理時間
が短くなるように各処理槽の処理時間を設定し、なるべ
く保管棚２から離れた処理槽（ここでは、処理槽Ｃ）を
使用するカセットから順番にウエハを投入してやれば、
複数の処理槽間で同時に処理が完了する事態を避けるこ
とができる。
【００１５】したがって、例えば処理槽Ａでの処理時間
が５分、処理槽Ｂでの処理時間が１０分、処理槽Ｃでの
処理時間が１５分となるように処理槽を並べ、さらには
保管棚２内のカセットを、処理条件Ｃ，Ｂ，Ａの順番で
処理槽へ搬送するようにする。その結果、処理の完了も
Ｃ，Ｂ，Ａの順番で完了する。また、立替機１２までの
距離も、Ｃ，Ｂ，Ａの順番で近いため、立替機１２まで
搬送する時間はＣが最も短く、次いでＢ，Ａとなる。
が５分、処理槽Ｂでの処理時間が１０分、処理槽Ｃでの
処理時間が１５分となるように処理槽を並べ、さらには
保管棚２内のカセットを、処理条件Ｃ，Ｂ，Ａの順番で
処理槽へ搬送するようにする。その結果、処理の完了も
Ｃ，Ｂ，Ａの順番で完了する。また、立替機１２までの
距離も、Ｃ，Ｂ，Ａの順番で近いため、立替機１２まで
搬送する時間はＣが最も短く、次いでＢ，Ａとなる。
【００１６】ただし、処理条件Ｃのカセットが必ずしも
保管棚２内にあるとは限らないため、なければ優先順位
として処理条件Ｂ，Ａの順番で探し、見つかったものを
搬送するようにする。また、同一の処理条件のものが複
数あったときは、保管棚２に搬入された順番の若いもの
から優先的に搬送するものとし、以上の手順をまとめる
と表１のようになる。
保管棚２内にあるとは限らないため、なければ優先順位
として処理条件Ｂ，Ａの順番で探し、見つかったものを
搬送するようにする。また、同一の処理条件のものが複
数あったときは、保管棚２に搬入された順番の若いもの
から優先的に搬送するものとし、以上の手順をまとめる
と表１のようになる。
【００１７】
【表１】 ※第１回目の搬送時および現在の処理の完了後は、処理条件Ｃ，Ｂ，Ａの順で 新たな候補を選択し、その後は表１に従う。
【００１８】次に、具体例を示すことにより、本実施の
形態の有効性を示す。図１は、本発明の一つの実施の形
態を示す説明図である。同図において、図５，６におけ
る同一または同等のものには同一符号を付している。ま
た、保管棚２には図５のときと同様のカセットが収容さ
れている。ただし、ここでは説明の便宜上カセットの配
置を変更しているが、図５に記載のものと同等であるこ
とは明らかである。
形態の有効性を示す。図１は、本発明の一つの実施の形
態を示す説明図である。同図において、図５，６におけ
る同一または同等のものには同一符号を付している。ま
た、保管棚２には図５のときと同様のカセットが収容さ
れている。ただし、ここでは説明の便宜上カセットの配
置を変更しているが、図５に記載のものと同等であるこ
とは明らかである。
【００１９】まず、図１（ａ）に示すように、保管棚２
内の棚にはワークである複数のカセット（以下、Ａ１，
Ａ２，Ａ３，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４とい
う）が載置されている。その後、図１（ｂ）に示すよう
に、表１に基づいて、処理条件Ｃのカセットうち保管棚
２に搬送された順番の若いものから探し、その結果Ｃ１
を搬出して処理装置Ｃに投入する。その後、Ｂ１，Ａ１
を搬出してそれぞれ処理装置Ｂ，Ａに投入する。
内の棚にはワークである複数のカセット（以下、Ａ１，
Ａ２，Ａ３，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４とい
う）が載置されている。その後、図１（ｂ）に示すよう
に、表１に基づいて、処理条件Ｃのカセットうち保管棚
２に搬送された順番の若いものから探し、その結果Ｃ１
を搬出して処理装置Ｃに投入する。その後、Ｂ１，Ａ１
を搬出してそれぞれ処理装置Ｂ，Ａに投入する。
【００２０】ここで、例えば処理装置Ａでの処理時間が
５分、処理装置Ｂでの処理時間が１０分、処理装置Ｃで
の処理時間が１５分となるように処理装置を並べている
のであれば、投入した順序（Ｃ１，Ｂ１，Ａ１）で処理
が完了するため、同一のタイミングで処理が完了するこ
とを避けることができる。そして、処理の完了したもの
はその都度ロボットアーム４で引き上げ、ボートに収容
されたウエハをカセットへ移し替えるなどし、これら処
理済みのカセット（以下、Ａ１’，Ｂ１’，Ｃ１’とい
う）を保管棚２に収容する。
５分、処理装置Ｂでの処理時間が１０分、処理装置Ｃで
の処理時間が１５分となるように処理装置を並べている
のであれば、投入した順序（Ｃ１，Ｂ１，Ａ１）で処理
が完了するため、同一のタイミングで処理が完了するこ
とを避けることができる。そして、処理の完了したもの
はその都度ロボットアーム４で引き上げ、ボートに収容
されたウエハをカセットへ移し替えるなどし、これら処
理済みのカセット（以下、Ａ１’，Ｂ１’，Ｃ１’とい
う）を保管棚２に収容する。
【００２１】図１（ｃ）において、図１（ｂ）と同様に
Ｃ２，Ｂ２，Ａ２を、該当する処理装置に投入して処理
を行ってから保管棚２に収容する。以降、図１（ｄ），
図２（ｅ），図２（ｆ）における手順も同様に行う。な
お、念のために述べると、図２（ｅ）においては、処理
条件Ｂのカセットがないため、Ｃ３を投入した後はＡ３
を投入してそれぞれ処理を行う。また、図２（ｆ）にお
いては、処理条件Ａ，Ｂのカセットがないため、Ｃ３の
処理のみを行う。以上の結果、図２（ｇ）に示すよう
に、最後のカセットであるＣ４’を保管棚２に収容して
全工程が完了する。このように、本実施の形態では複数
の処理を同時に並行して実施できるため、従来例よりも
高スループットを実現することができる。
Ｃ２，Ｂ２，Ａ２を、該当する処理装置に投入して処理
を行ってから保管棚２に収容する。以降、図１（ｄ），
図２（ｅ），図２（ｆ）における手順も同様に行う。な
お、念のために述べると、図２（ｅ）においては、処理
条件Ｂのカセットがないため、Ｃ３を投入した後はＡ３
を投入してそれぞれ処理を行う。また、図２（ｆ）にお
いては、処理条件Ａ，Ｂのカセットがないため、Ｃ３の
処理のみを行う。以上の結果、図２（ｇ）に示すよう
に、最後のカセットであるＣ４’を保管棚２に収容して
全工程が完了する。このように、本実施の形態では複数
の処理を同時に並行して実施できるため、従来例よりも
高スループットを実現することができる。
【００２２】なお、上記においては、ウエットエッチン
グに本発明を適用した場合について説明したが、これに
限られるものではなく、その他のウエハプロセス技術に
も適用することができる。また、処理装置に投入するワ
ークを、カセット単位とするのではなくウエハ単位とし
てもよい。
グに本発明を適用した場合について説明したが、これに
限られるものではなく、その他のウエハプロセス技術に
も適用することができる。また、処理装置に投入するワ
ークを、カセット単位とするのではなくウエハ単位とし
てもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したとおり本発明は、保管棚か
ら遠ざかるにつれて処理時間が短くなるように各処理装
置の処理時間を設定し、なるべく保管棚から離れた処理
装置から先にワークを投入するようにしているため、複
数の処理が同時に完了することがなく、処理装置からワ
ークを取り出す際には１台のロボットアームがあれば十
分である。また、複数の処理装置を同時に使用できるた
め処理装置に遊びが生じにくく、従来よりも高スループ
ットでワークを処理することができる。
ら遠ざかるにつれて処理時間が短くなるように各処理装
置の処理時間を設定し、なるべく保管棚から離れた処理
装置から先にワークを投入するようにしているため、複
数の処理が同時に完了することがなく、処理装置からワ
ークを取り出す際には１台のロボットアームがあれば十
分である。また、複数の処理装置を同時に使用できるた
め処理装置に遊びが生じにくく、従来よりも高スループ
ットでワークを処理することができる。
【図１】 本発明の一つの実施の形態を示す説明図であ
る。
る。
【図２】 図１の続きの工程を示す説明図である。
【図３】 一般的なクリーンルーム内の様子を示す斜視
図である。
図である。
【図４】 処理装置群の詳細な構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図５】 従来例を示す説明図である。
【図６】 図５の続きの工程を示す説明図である。
１…カセット、２…保管棚、３…処理装置、４…処理装
置群、５…搬送車、６…メイン搬送機、７…レール、１
０…ローダ、１１，１２…立替機、１３…アンローダ、
１４…コンベア、３０，３２，３４…処理槽、３１，３
３，３５…水洗槽（ＱＤＲ）、３６…スピンドライヤ。
置群、５…搬送車、６…メイン搬送機、７…レール、１
０…ローダ、１１，１２…立替機、１３…アンローダ、
１４…コンベア、３０，３２，３４…処理槽、３１，３
３，３５…水洗槽（ＱＤＲ）、３６…スピンドライヤ。
Claims (6)
- 【請求項１】 それぞれ処理条件の固定された複数の処
理装置を整列させて一つの処理装置群を構成し、この処
理装置群の一端に、処理条件の異なる複数のワークを収
容した保管棚を設置し、これらのワークをそれぞれ該当
する処理条件の前記処理装置に搬送して、所望の処理を
実施するワーク搬送方法において、 前記保管棚から遠ざかるにつれて処理時間が短くなるよ
うに、前記各処理装置の処理時間を設定し、 最初に、前記保管棚に収容されたワークのうち前記保管
棚から最も遠くに配置された処理装置を使用するもの
を、該当する処理装置に搬送し、 その後においては、前回搬送したワークよりも前記保管
棚に近い処理装置を使用するものを、順次該当する処理
装置に搬送することを特徴とするワーク搬送方法。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記保管棚に収容されたワークのうち前記保管棚の最も
近くに配置された処理装置を使用するものを搬送した後
は、 残りのワークのうち前記保管棚から最も遠くに配置され
た処理装置を使用するものを、該当する処理装置に搬送
し、 その後においては、前回搬送したワークよりも前記保管
棚に近い処理装置を使用するものを、順次該当する処理
装置に搬送することを特徴とするワーク搬送方法。 - 【請求項３】 請求項１において、 前記処理装置群は、複数並行して配置されていることを
特徴とするワーク搬送方法。 - 【請求項４】 請求項１において、 前記処理装置は、ウエット処理装置であることを特徴と
するワーク搬送方法。 - 【請求項５】 請求項４において、 前記ワークは、複数枚の半導体ウエハを収容したカセッ
トであることを特徴とするワーク搬送方法。 - 【請求項６】 複数の処理装置によって構成された処理
装置群と、前記処理装置群に設けられかつワークを収容
する保管棚とを備えたワーク処理装置において、 前記各処理装置における処理時間は、前記保管棚から遠
ざかるにつれて処理時間が短くなるように設定されてい
ることを特徴とするワーク処理装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10011644A JPH11214471A (ja) | 1998-01-23 | 1998-01-23 | ワーク搬送方法およびワーク処理装置 |
| TW088100872A TW387853B (en) | 1998-01-23 | 1999-01-20 | Work transfer method and system |
| KR1019990002054A KR19990068083A (ko) | 1998-01-23 | 1999-01-22 | 워크 반송 방법 및 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10011644A JPH11214471A (ja) | 1998-01-23 | 1998-01-23 | ワーク搬送方法およびワーク処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11214471A true JPH11214471A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11783671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10011644A Pending JPH11214471A (ja) | 1998-01-23 | 1998-01-23 | ワーク搬送方法およびワーク処理装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11214471A (ja) |
| KR (1) | KR19990068083A (ja) |
| TW (1) | TW387853B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017150005A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210242057A1 (en) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Automated material handling systems |
-
1998
- 1998-01-23 JP JP10011644A patent/JPH11214471A/ja active Pending
-
1999
- 1999-01-20 TW TW088100872A patent/TW387853B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-01-22 KR KR1019990002054A patent/KR19990068083A/ko active IP Right Grant
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017150005A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2017-09-08 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| CN108698757A (zh) * | 2016-03-03 | 2018-10-23 | 村田机械株式会社 | 输送系统 |
| JPWO2017150005A1 (ja) * | 2016-03-03 | 2018-12-06 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
| US10497594B2 (en) | 2016-03-03 | 2019-12-03 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance system |
| CN108698757B (zh) * | 2016-03-03 | 2020-11-24 | 村田机械株式会社 | 输送系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990068083A (ko) | 1999-08-25 |
| TW387853B (en) | 2000-04-21 |
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