KR20100091902A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 다른 로트에 대해 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트가 발생한 경우에, 당해 특급 로트의 기판이 처리 개시를 대기하는 시간을 단축하는 것이다.
우선적으로 처리를 행하는 특급 로트의 기판을 수납한 특급 캐리어(E)가 캐리어 반입부(225)로 반입되었을 때에, 웨이퍼 반입부(211, 212) 모두가 캐리어(C)에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어(C) 중 하나를 퇴피용 적재부(22)로 이동 탑재하고, 이에 의해 비어 있는 웨이퍼 반입부[211(212)]에 상기 특급 캐리어(E)를 적재하도록 캐리어 이동 탑재 수단(3)을 제어하고, 상기 특급 캐리어(E)가 상기 웨이퍼 반입부[211(212)]에 적재되었을 때에는 당해 특급 캐리어(E) 내의 웨이퍼를 다른 캐리어보다도 먼저 불출하도록 전달 수단(A1)을 제어한다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 예를 들어 반도체 웨이퍼나 LCD 기판(액정 디스플레이용 글래스 기판) 등의 기판에 대해 레지스트액의 도포 처리나, 노광 후의 현상 처리 등의 처리를 행하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스나 LCD 기판의 제조 프로세스에 있어서는, 포토리소그래피라고 불리는 기술에 의해, 기판에 대해 레지스트 패턴의 형성이 행해지고 있다. 이 기술은, 예를 들어 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함) 등의 기판에, 레지스트액을 도포하여 당해 웨이퍼의 표면에 액막을 형성하고, 포토마스크를 사용하여 당해 레지스트막을 노광한 후, 현상 처리를 행함으로써 원하는 패턴을 얻는, 일련의 공정에 의해 행해지고 있다.
이와 같은 처리는 일반적으로 레지스트액의 도포나 현상을 행하는 도포, 현상 장치에 노광 장치를 접속한 레지스트 패턴 형성 장치를 사용하여 행해진다. 이 장치에서는, 예를 들어 도 15에 도시한 바와 같이, 다수매의 웨이퍼를 수납한 캐리어(10)가 캐리어 블록(1A)의 캐리어 스테이지(11)로 반입되어, 캐리어(10) 내의 웨이퍼는 전달 아암(12)에 의해 처리 블록(1B)으로 전달된다. 그리고, 처리 블록(1B) 내에 있어서, 반사 방지막 형성 모듈(도시하지 않음)에 있어서의 반사 방지막의 형성이나, 도포 모듈(13)에 있어서의 레지스트막의 형성이 행해진 후, 인터페이스 블록(1C)을 통해 노광 장치(1D)로 반송된다.
한편, 노광 처리 후의 웨이퍼는 다시 처리 블록(1B)으로 복귀되어 현상 모듈(14)에서 현상 처리가 행해지고, 이후 원래의 캐리어(10) 내로 복귀되도록 되어 있다. 상기 반사 방지막이나 레지스트막의 형성 처리의 전후나 현상 처리의 전후에는 웨이퍼의 가열 처리나 냉각 처리가 행해지고, 이들 가열 처리를 행하는 가열 모듈이나 냉각 처리를 행하는 냉각 모듈 등은 선반 모듈[15(15A 내지 15C)]에 다단으로 배열되어 있고, 웨이퍼는 처리 블록(1B)에 설치된 메인 아암[16(16A, 16B)]에 의해, 각 모듈끼리의 사이에서 반송되도록 되어 있다.
통상 처리의 로트마다 캐리어(10)가 준비되어 있고, 하나의 캐리어(10)로부터 처리 블록(1B)으로 불출된 웨이퍼는 당해 처리 블록(1B) 및 노광 장치(1D)에서 소정의 처리가 행해진 후, 원래의 캐리어(10)에 수납된다. 이때, 상기 캐리어 스테이지(11)에는 복수개, 예를 들어 4개의 캐리어(10)가 적재되고, 예를 들어 상기 전달 아암(12)은 이들 모든 캐리어(10)에 액세스할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 처리 블록(1B)에 웨이퍼를 불출한 후의 비어 있는 캐리어(10)는 캐리어 스테이지(11) 상에서 웨이퍼가 소정의 처리를 종료할 때까지 대기하여, 상기 캐리어(10) 내에 처리가 종료된 웨이퍼(W)가 복귀된 후, 처리 완료된 웨이퍼를 수납한 캐리어(10)가 미처리의 웨이퍼를 수납한 캐리어(10)와 교환되도록 되어 있다.
그런데, 당해 도포, 현상 장치로 반입되는 캐리어(10)는 미리 캐리어 스테이지(11)로 반입되는 순서가 결정되어 있고, 캐리어(10)가 반입된 순서대로, 캐리어(10)로부터 전달 아암(12)에 의해 처리 블록(1B)으로의 웨이퍼의 불출이 행해지고, 당해 처리 블록(1B)에서 처리가 행해져, 처리 후의 웨이퍼가 원래의 캐리어(10)로 복귀되도록 웨이퍼의 반송이 행해지고 있다.
그러나, 예를 들어 평가 테스트용 기판, 연구 개발용 기판, 시작(試作) 기판 등, 상기 결정된 캐리어(10)의 반입 순서를 무시하고, 우선적으로 처리를 행한다고 하는 특급 로트가 발생하는 경우가 있다. 이 경우에는 특급 로트의 웨이퍼를 수납한 캐리어(이하, 「특급 캐리어」라고 함)를 상기 결정된 캐리어(10)의 반입 순서에 끼어들어 캐리어 스테이지(11)로 반입하여, 당해 특급 캐리어의 웨이퍼를 전달 아암(12)에 의해 우선적으로 처리 블록(B1)에 불출하여 처리가 행해진다.
이때 캐리어 스테이지(11)로 당해 특급 캐리어를 반입하기 위한 적재부가 있으면 당해 적재부로 즉시 특급 캐리어를 반입하여, 당해 캐리어 내의 웨이퍼를 처리부(1B)에 불출하여 처리를 행할 수 있으므로 문제는 없다. 그러나, 캐리어 스테이지(11)의 적재부가 다른 캐리어(10)에 의해 차 있는 경우에는, 이들 캐리어(10)의 웨이퍼에 대해 모든 처리가 종료되어, 당해 캐리어(10)를 미처리의 캐리어(10)와 교환하는 타이밍까지 기다리지 않으면, 특급 캐리어에 대해서는 캐리어 스테이지(11)로 반입할 수 없다. 이와 같은 경우에는 특급 캐리어의 웨이퍼의 처리 블록(1B)으로의 불출이 지연되어 버려, 특급 캐리어라고 해도 처리 개시를 대기하는 시간이 길어져 버린다고 하는 문제가 있다.
일본특허출원공개제2004-193597호공보
본 발명은 이와 같은 사정 하에 이루어진 것으로, 그 목적은 다른 로트에 대해 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트가 발생한 경우에, 당해 특급 로트의 기판이 처리 개시를 대기하는 시간을 단축할 수 있는 기술을 제공하는 데 있다.
이를 위하여, 본 발명의 기판 처리 장치는 복수매의 기판을 수납하는 캐리어가 적재되는 동시에, 캐리어마다 준비되는 전달용 적재부를 구비하여, 당해 전달용 적재부에 적재된 캐리어로부터 전달 수단에 의해 불출된 기판에 대해 처리를 행한 후, 당해 기판을 상기 전달 수단에 의해 상기 전달용 적재부 상의 원래의 캐리어로 복귀시키는 기판 처리 장치에 있어서,
상기 캐리어를 적재하기 위해, 상기 전달용 적재부와는 별개로 설치된 복수의 퇴피용 적재부와,
외부로부터 당해 기판 처리 장치에 대해 상기 캐리어를 반입하기 위해, 상기 전달용 적재부와는 별개로 설치된 반입용 적재부와,
이들 전달용 적재부 및 퇴피용 적재부 및 반입용 적재부 사이에서 상기 캐리어의 이동 탑재를 행하는 캐리어 이동 탑재 수단과,
통상 시에는 상기 반입용 적재부로 반입된 캐리어의 반입 순서에 따라서, 이들 캐리어를 직접 또는 퇴피용 적재부를 통해 상기 전달용 적재부에 순차적으로 이동 탑재하고, 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트의 기판을 수납한 특급 캐리어가 상기 반입용 적재부로 반입되었을 때에, 상기 전달용 적재부 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어 중 하나를 상기 퇴피용 적재부에 이동 탑재하고,
이에 의해 비어 있는 전달용 적재부에 상기 특급 캐리어를 적재하도록 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단과,
통상 시에는 상기 전달용 적재부에 적재된 캐리어의 반입 순서에 따라서 캐리어로부터 기판을 불출하고, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부에 적재되었을 때에는, 당해 특급 캐리어의 기판을 다른 캐리어보다도 먼저 불출하도록 상기 전달 수단을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단은, 상기 특급 캐리어가 상기 반입용 적재부로 반입되었을 때에 상기 전달용 적재부가 비어 있으면, 즉시 당해 특급 캐리어를 당해 전달용 적재부에 적재하도록 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하도록 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단은 상기 전달용 적재부가 복수개이고, 상기 특급 캐리어가 상기 반입출용 적재부로 반입되었을 때에, 이들 상기 전달용 적재부 전체가 캐리어에 의해 점유되고, 이들 캐리어 중에 상기 전달 수단에 의해 기판의 불출이 행해지고 있는 캐리어가 있으면, 당해 캐리어 이외의 캐리어를 상기 적재부에 이동 탑재하도록 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하도록 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 전달 수단을 제어하는 수단은, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부로 반입되었을 때에 다른 캐리어로부터 기판의 불출이 행해지고 있지 않으면, 우선적으로 당해 특급 캐리어로부터의 기판의 불출을 행하고, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부로 반입되었을 때에 다른 캐리어로부터 기판의 불출이 행해지고 있으면, 당해 캐리어로부터의 모든 기판의 불출이 종료된 후, 우선적으로 상기 특급 캐리어로부터 기판의 불출을 행하도록 상기 전달 수단을 제어하도록 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수의 캐리어를 일시적으로 보관하기 위한 보관부를 구비하고, 상기 퇴피용 적재부는 이 보관부에 설치된 상기 캐리어의 적재부를 겸용하고 있는 구성으로 해도 좋다. 또한, 상기 캐리어로부터 전달 수단에 의해 불출된 기판에 대해 처리를 행하는 처리부를 구비하고, 이 처리부는 상기 기판에 대해 도포막을 형성하는 동시에 노광 후의 기판에 대한 현상을 행하기 위해, 기판에 대해 처리를 행하거나, 또는 기판이 적재되는 복수의 모듈과, 이들 복수의 모듈 사이에서 기판의 반송을 행하는 기판 반송 수단을 포함하는 것이라도 좋다.
본 발명에 따르면, 다른 로트에 대해 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트가 발생한 경우에, 상기 특급 로트의 특급 캐리어가 반입출용 적재부로 반입되었을 때에, 전달용 적재부 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어를 퇴피용 적재부에 이동 탑재하고, 이에 의해 비어 있는 전달용 적재부에 상기 특급 캐리어를 적재하고 있다. 이로 인해, 특급 캐리어를 약간의 대기 시간으로 전달용 적재부에 적재할 수 있어, 특급 캐리어의 기판을 전달 수단에 의해 빠르게 불출할 수 있으므로, 당해 특급 캐리어의 기판이 처리 개시를 대기하는 시간이 단축된다.
도 1은 본 발명에 관한 레지스트 패턴 형성 장치의 실시 형태를 도시하는 평면도.
도 2는 상기 레지스트 패턴 형성 장치를 도시하는 사시도.
도 3은 상기 레지스트 패턴 형성 장치에 있어서의 캐리어 블록을 도시하는 사시도.
도 4는 상기 캐리어 블록을 캐리어 이동 탑재 수단측에서 본 정면도.
도 5는 캐리어를 도시하는 정면도.
도 6은 상기 레지스트 패턴 형성 장치에 있어서의 처리 블록 내의 웨이퍼(W)의 반송 경로를 도시하는 평면도.
도 7은 상기 레지스트 패턴 형성 장치에 있어서의 제어부의 일부를 도시하는 구성도.
도 8은 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 측면도.
도 9는 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 설명도.
도 10은 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 흐름도.
도 11은 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 공정도.
도 12는 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 공정도.
도 13은 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 공정도.
도 14는 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 작용을 설명하기 위한 공정도.
도 15는 종래의 도포, 현상 장치를 도시하는 평면도.
이하, 본 발명의 기판 처리 장치를 도포, 현상 장치에 적용한 경우를 예로 들어 설명한다. 우선, 상기 도포, 현상 장치에 노광 장치를 접속한 레지스트 패턴 형성 장치에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 상기 레지스트 패턴 형성 장치의 일실시 형태의 평면도를 도시하고, 도 2는 도 1의 개략 사시도이다. 도면 중 부호 B1은 기판, 예를 들어 웨이퍼(W)가, 예를 들어 13매 밀폐 수납된 캐리어(C)를 반입출하기 위한 캐리어 블록이고, B2는 상기 웨이퍼(W)에 대해 도포, 현상 처리를 행하는 처리 블록, B3은 인터페이스 블록, B4는 노광 장치이다. 상기 캐리어 블록(B1)은, 예를 들어 도 3에 도시한 바와 같이 캐리어(C)의 전달용 적재부[21(211 내지(214)] 및 퇴피용 적재부[22(221 내지(228)]가 다단으로 설치된 캐리어 스테이션(2)과, 이 캐리어 스테이션(2)으로부터 볼 때 전방의 벽면에 설치되는 개폐부(23)와, 상기 전달용 적재부(21)에 놓인 캐리어(C)와 후술하는 처리 블록(B2) 사이에서 상기 웨이퍼(W)의 전달을 행하기 위한 전달 수단(A1)이 설치되어 있다. 상기 캐리어 블록(B1)은, 예를 들어 하우징(20)에 의해 그 주위를 둘러싸고 있다.
상기 캐리어 스테이션(2)은, 예를 들어 상기 전달용 적재부[21(211 내지 214)]가 복수개 설치된 적재 스테이지(24)와, 이 적재 스테이지(24)의 상방측에 설치되어, 캐리어(C)를 일시적으로 보관하는 보관부를 이루는 스토커(25)를 구비하고 있다. 이 스토커(25)는 복수단, 예를 들어 2단에 걸쳐서 설치된 선반부(26, 27)를 구비하고 있다. 상기 전달용 적재부(21)는 캐리어마다 준비되는 동시에, 상기 전달 수단(A1)에 의해 액세스되는 적재부이고, 상기 적재 스테이지(24) 상에 도면 중 Y방향으로 복수개, 예를 들어 4개 배열되어, 적재되는 캐리어(C)가 고정되는 동시에, 도면 중 X방향으로 슬라이드 가능하게 구성되어 있고, 캐리어(C)에 형성된 도시하지 않은 웨이퍼 취출구를 상기 개폐부(23)에 접속할 수 있도록 되어 있다.
본 예에 있어서는, 상기 적재 스테이지(24) 상의 전달용 적재부(211 내지 214) 중, 예를 들어 2개의 전달용 적재부(211, 212)는 캐리어(C)로부터 처리 블록(B2)으로 웨이퍼(W)를 불출하기 위한 웨이퍼 반입부, 남은 2개의 전달용 적재부(213, 214)가 처리 블록(B2)으로부터 캐리어(C) 내로 웨이퍼(W)를 복귀시키기 위한 웨이퍼 반출부로서 할당되어 있다. 그리고, 상기 전달 수단(A1)은 이들 4개의 전달용 적재부(211 내지 214)에 대해 웨이퍼(W)의 전달을 행하기 위해, 도면 중 Y방향으로 이동 가능, 진퇴 가능 및 연직축 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다.
또한, 상기 스토커(25)에는 캐리어(C)마다 준비되어, 캐리어(C)를 그 위에 적재하여 일시적으로 보관하기 위한 적재부가 다수 배열되어 있다. 본 예에서는 스토커(25) 내의 적재부가 상기 퇴피용 적재부(22)를 겸용하고 있다. 상기 퇴피용 적재부(22)는 상기 스토커(25) 내의, 예를 들어 하단측의 선반부(26)에 복수개, 예를 들어 4개의 퇴피용 적재부(221 내지 224)가 상기 Y방향으로 배열되는 동시에, 상단측의 선반부(27)에 복수개, 예를 들어 4개의 퇴피용 적재부(225 내지 228)가 상기 Y방향으로 배열되어 있다.
여기서, 당해 상단측의 퇴피용 적재부(225 내지 228) 중, 예를 들어 2개의 퇴피용 적재부(225, 226)는 외부로부터 당해 레지스트 패턴 형성 장치로 캐리어(C)가 반입되는 반입용 적재부를 이루는 캐리어 반입부로서 사용되고, 남은 2개의 퇴피용 적재부(227, 228)는 당해 레지스트 패턴 형성 장치로부터 외부로 캐리어(C)를 반출할 때에 캐리어(C)가 놓이는 캐리어 반출부(227, 228)로서 사용된다. 또한, 이들 퇴피용 적재부(221 내지 228)는, 그 위에 캐리어(C)가 적재되어 고정되도록 구성되어 있다.
상기 상단측의 선반부(27)의 상방측에는, 도 4에 도시한 바와 같이 도면 중 Y방향으로 신장되는 레일(R)이 배치되어 있고, 이 레일(R)에는 당해 레지스트 패턴 형성 장치와 외부의 다른 처리 장치 사이에서 캐리어(C)를 반송하는 외부 캐리어 반송 수단(200)이 설치되어 있다. 이 외부 캐리어 반송 수단(200)은 캐리어(C)를 보유 지지하는 파지부(201)를 구비하고 있고, 이 파지부(201)는 캐리어(C)의 측방을 좌우 방향으로부터 끼우듯이 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 외부 캐리어 반송 수단(200)은 레일(R)을 따라서 이동 가능하게 구성되는 동시에, 승강 수단(202)에 의해 상단측의 선반부(27)의 캐리어 반입부(225, 226)에 대해 캐리어(C)를 적재하거나, 캐리어 반출부(227, 228)로부터 캐리어(C)를 수취하기 위해 승강 가능하게 구성되어 있다.
또한, 캐리어 블록(B1)은, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 캐리어 스테이션(2)의 전달용 적재부(211 내지 214) 및 퇴피용 적재부(221 내지 228)의 각 부에 대해 캐리어(C)의 전달을 행하기 위한 캐리어 이동 탑재 수단(3)을 구비하고 있다. 이 캐리어 이동 탑재 수단(3)은, 예를 들어 제1 아암(31), 제2 아암(32), 보유 지지 아암(33)으로 이루어지는 다관절 아암이고, 진퇴 가능하게 구성되는 동시에, 회전 기구(34)에 의해 연직축 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다.
여기서 캐리어(C)의 형상에 대해 설명하면, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 당해 캐리어(C)의 상면에는 지지부(41)를 통해 판 형상의 보유 지지판(42)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 보유 지지 아암(33)은, 예를 들어 도 5에 도시한 바와 같이 상기 캐리어(C)의 보유 지지판(42)의 주위를 둘러싸고, 캐리어(C)를 현수한 상태로 지지하도록 구성되어 있다.
이와 같은 캐리어 이동 탑재 수단(3)은 승강축(35)을 따라서 승강 가능하게 구성되는 동시에, 당해 승강축(35)이, 예를 들어 캐리어 블록(B1)의 천장부에 있어서, 도 1 중 Y방향으로 신장되도록 설치된 가이드 레일(36)(도 1 참조)을 따라서 이동 가능하게 구성되고, 이와 같이 하여 캐리어 스테이션(2)의 전달용 적재부(211 내지 214) 및 퇴피용 적재부(221 내지 228)의 각각에 대해, 캐리어(C)의 이동 탑재를 행하도록 구성되어 있다. 또한, 캐리어 이동 탑재 수단(3)은, 캐리어(C)의 이동 탑재 작업을 행하지 않을 때에는 퇴피 영역(30)에서 대기하도록 구성되어 있다. 이 퇴피 영역(30)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 캐리어 이동 탑재 수단(3)측으로부터 캐리어 스테이션(2)을 보았을 때에, 캐리어 스테이션(2)의 좌우 방향의 어느 한쪽으로 설정되어 있다.
이와 같은 전달용 적재부(211 내지 214) 및 상단의 퇴피용 적재부(225 내지 228)에는, 예를 들어 도 3에 도시한 바와 같이 캐리어(C)의 적재 위치를 확인하기 위한 위치 센서(231) 및 캐리어(C)의 유무를 확인하기 위한 유무 센서(232)가 각각 설치되는 동시에, 중단의 퇴피용 적재부(221 내지 224)에는 상기 위치 센서(231)가 설치되어 있다. 이들 위치 센서(231)나 유무 센서(232)로서는, 반사형 광센서나, 캐리어(C)를 이들 적재부(211 내지 214, 221 내지 228)에 적재했을 때에, 당해 캐리어(C)의 바닥부에 접하여 그 위치나 유무를 검출하는 스트라이커의 움직임을 보는 센서 등이 사용된다.
상기 캐리어 블록(B1)의 안측에는 처리 블록(B2)이 접속되어 있고, 이 처리 블록(B2)에는 전방측으로부터 순서대로 가열ㆍ냉각계의 모듈을 다단화한 선반 모듈(U1 내지 U3)과, 이들 선반 모듈(U1 내지 U3) 및 후술하는 액처리 모듈(U4, U5)의 각 모듈 사이의 웨이퍼(W)의 전달을 행하는 메인 아암(A2, A3)이 교대로 배열되어 설치되어 있다. 즉, 선반 모듈(U1, U2, U3) 및 메인 아암(A2, A3)은 캐리어 블록(B1)측으로부터 볼 때 전후 일렬로 배열되어 있어, 각각의 접속 부위에는 도시하지 않은 웨이퍼 반송용 개구부가 형성되어 있고, 웨이퍼(W)는 처리 블록(B2) 내를 일단부측의 선반 모듈(U1)로부터 타단부측의 선반 모듈(U3)까지 자유롭게 이동할 수 있게 되어 있다.
상기 선반 모듈(U1 내지 U3)은 액처리 모듈(U4, U5)에서 행해지는 처리의 전처리 및 후처리를 행하기 위한 각종 모듈을 복수단, 예를 들어 10단으로 적층한 구성으로 되어 있고, 전달 모듈(TRS), 웨이퍼(W)를 소정 온도로 조정하기 위한 온도 조절 모듈(CPL), 웨이퍼(W)의 가열 처리를 행하기 위한 가열 모듈(CLH), 레지스트액의 도포 후에 웨이퍼(W)의 가열 처리를 행하기 위한 가열 모듈(CPH), 현상 처리 전에 웨이퍼(W)를 가열 처리하는 가열 모듈(PEB), 현상 처리 후의 웨이퍼(W)를 가열 처리하는 가열 모듈(POST) 등이 포함되어 있다.
또한, 액처리 모듈(U4, U5)은, 예를 들어 도 2에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(W)에 대해 반사 방지막 형성용 약액을 도포하는 반사 방지막 형성 모듈(BCT), 웨이퍼(W)에 레지스트액을 도포하는 도포 모듈(COT), 웨이퍼(W)에 현상액을 공급하여 현상 처리하는 현상 모듈(DEV) 등을 복수단, 예를 들어 5단으로 적층하여 구성되어 있다.
상기 처리 블록(B2)에 있어서의 선반 모듈(U3)의 안측에는 인터페이스 블록(B3)을 통해 노광 장치(B4)가 접속되어 있다. 이 인터페이스 블록(B3)은 처리 블록(B2)과 노광 장치(B4) 사이에 전후로 설치되는 제1 반송실(51) 및 제2 반송실(52)에 의해 구성되어 있고, 각각에 승강 가능 및 연직축 주위로 회전 가능하고, 또한 진퇴 가능한 제1 반송 아암(53) 및 제2 반송 아암(54)을 구비하고 있다. 또한, 제1 반송실(51)에는, 예를 들어 전달 모듈 등이 상하로 적층되어 설치된 선반 모듈(U6)이 설치되어 있다.
상기 메인 아암[A(A2, A3)]은 상기 처리 블록(B2) 내의 모든 모듈[웨이퍼(W)가 놓이는 장소], 예를 들어 선반 모듈(U1 내지 U3)의 각 모듈, 액처리 모듈(U4, U5)의 각 모듈 사이에서 웨이퍼의 전달을 행하도록 구성되어 있다. 이로 인해, 진퇴 가능, 승강 가능, 연직축 주위로 회전 가능, Y방향으로 이동 가능하게 구성되는 동시에, 웨이퍼(W)의 이면측 주연 영역을 지지하기 위한 2개의 보유 지지 아암을 구비하고 있고, 이들 보유 지지 아암이 서로 독립되어 진퇴할 수 있도록 구성되어 있다.
이와 같은 레지스트 패턴 형성 시스템에 있어서의 웨이퍼(W)의 흐름의 일례에 대해 도 6을 참조하여 설명하면, 캐리어 블록(B1)의 웨이퍼 반입부[211(212)]에 적재된 캐리어(C) 내의 웨이퍼(W)는 처리 블록(B2)의 선반 모듈(U1)의 전달 모듈(TRS)로 전달되고, 여기서 온도 조절 모듈(CPL1) → 반사 방지막 형성 모듈(BCT) → 가열 모듈(CLH) → 온도 조절 모듈(CPL2) → 도포 모듈(COT) → 가열 모듈(CPH) → 인터페이스 블록(B3) → 노광 장치(B4)의 경로로 반송되고, 여기서 노광 처리가 행해진다. 한편 노광 처리 후의 웨이퍼(W)는 처리 블록(B2)으로 복귀되어, 가열 모듈(PEB) → 온도 조절 모듈(CPL3) → 현상 모듈(DEV) → 가열 모듈(POST) → 온도 조절 모듈(CPL4)의 경로로 반송되고, 여기서 캐리어 블록(B1)의 웨이퍼 반출부[213(214)]에 적재된 원래의 캐리어(C) 내로 복귀된다.
이때, 메인 아암(A2, A3)은, 처리 블록(B2) 내에서는 선반 모듈(U1)의 전달 모듈(TRS)로부터 웨이퍼를 수취하여, 당해 웨이퍼를 온도 조절 모듈(CPL) 등을 통해, 상술한 반송 경로를 따라서 순차적으로 가열 모듈(CPH)까지 반송한 후, 노광 처리 후의 웨이퍼(W)를 인터페이스 블록(B3)으로부터 수취하여, 당해 웨이퍼를 가열 모듈(PEB) 등을 통해, 상술한 반송 경로를 따라서 순차적으로 온도 조절 모듈(CPL4)까지 반송하도록, 각 모듈에 놓여 있는 웨이퍼(W)를, 하류측의 모듈로부터 상류측의 모듈로 1매씩 이동하는 일련의 조작(반송 사이클)을 행하도록 제어되어 있다.
그리고, 상술한 레지스트 패턴 형성 장치는 각 처리 모듈의 레시피의 관리나, 웨이퍼(W)의 반송 플로우(반송 경로)의 레시피의 관리, 각 처리 모듈이 있어서의 처리나, 외부 캐리어 반송 수단(200), 캐리어 이동 탑재 수단(3), 전달 수단(A1), 메인 아암(A2, A3) 등의 구동 제어를 행하는 컴퓨터로 이루어지는 제어부(6)를 구비하고 있다. 이 제어부(6)는, 예를 들어 컴퓨터 프로그램으로 이루어지는 프로그램 저장부를 갖고 있고, 이 프로그램 저장부에는 레지스트 패턴 형성 장치 전체의 작용, 즉 웨이퍼(W)에 대해 소정의 레지스트 패턴을 형성하기 위한, 각 모듈에 있어서의 처리나 웨이퍼(W)의 반송 등이 실시되도록 스텝(명령)군을 구비한, 예를 들어 소프트웨어로 이루어지는 프로그램이 저장된다. 그리고, 이들 프로그램이 제어부(6)에 판독됨으로써, 제어부(6)에 의해 레지스트 패턴 형성 장치 전체의 작용이 제어된다. 또한, 이 프로그램은, 예를 들어 플렉시블 디스크, 하드 디스크, 콤팩트 디스크, 마그네트 옵티컬 디스크, 메모리 카드 등의 기억 매체에 수납된 상태로 프로그램 저장부에 저장된다.
도 7은 이 제어부의 구성을 도시하는 것으로, 실제로는 CPU(중앙 처리 모듈), 프로그램 및 메모리 등에 의해 구성되지만, 본 발명에서는 특급 로트 발생 시의 당해 특급 로트의 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어의 반송에 특징이 있으므로, 여기서는 그것에 관련되는 구성 요소의 일부를 블록화하여 설명하는 것으로 한다. 도 7 중 부호 60은 버스이고, 이 버스(60)에 레시피 저장부(61), 레시피 선택부(62), 반송 스케줄 저장부(63), 이동 탑재 스케줄 저장부(64), 특급 로트 처리 제어부(65), 반송 제어부(66)가 접속되어 있다.
레시피 저장부(61)는, 예를 들어 웨이퍼(W)의 반송 경로가 기록되어 있는 반송 레시피나, 웨이퍼(W)에 대해 행하는 처리 조건 등이 기록된 복수의 레시피가 저장되어 있다. 반송 스케줄 저장부(63)라 함은, 상기 반송 레시피에 기초하여, 로트 내의 모든 웨이퍼에 대해 어느 타이밍에서 어느 모듈로 반송할지 등의 내용의 스케줄, 예를 들어 웨이퍼에 순서를 할당하여, 웨이퍼의 순서와 각 모듈을 대응시켜 반송 사이클을 지정한 반송 사이클 데이터를 시계열로 배열하여 작성된 반송 스케줄을 저장하는 수단이다.
이동 탑재 스케줄 저장부(64)라 함은, 캐리어 스테이션(2)에 있어서의 캐리어(C)의 이동 탑재 스케줄을 저장하는 수단이다. 여기서, 상기 전달용 적재부(211 내지 214) 및 퇴피용 적재부(221 내지 228)에는 각각 어드레스가 부여되어 있고, 캐리어(C)에도 각각 고유의 ID가 부여되어 있으므로, 이 이동 탑재 스케줄에는 캐리어(C)와 전달용 적재부(211 내지 214) 및 퇴피용 적재부(221 내지 228)를 시계열로 대응시켜, 어느 타이밍에서 캐리어(C)를 어느 적재부(211 내지 214, 221 내지 228)로 이동 탑재할지가 시계열로 기재되어 있다.
특급 로트 처리 제어부(65)라 함은, 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트가 발생했을 때에, 당해 특급 로트의 웨이퍼를 최우선으로 처리하도록, 캐리어 이동 탑재 수단(3)이나 전달 수단(A1)을 제어하는 수단이다. 여기서, 특급 로트라 함은, 먼저 상기 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되고, 또한 상기 처리 블록(B2)으로 웨이퍼가 전달되고 있지 않은 선행 캐리어보다도 먼저 상기 처리 블록(B2)으로 웨이퍼의 전달이 행해지는 로트이고, 이 특급 로트의 웨이퍼를 수납하는 캐리어를 특급 캐리어라고 한다.
이로 인해, 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 대해서는, 상기 특급 캐리어가 상기 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되었을 때에, 상기 웨이퍼 반입부(211, 212) 전체가 캐리어(C)에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어 중 하나를 상기 퇴피용 적재부(22)로 이동 탑재하고, 이에 의해 비어 있는 웨이퍼 반입부(211, 212)에 상기 특급 캐리어를 적재하도록 제어된다.
보다 구체적으로는, 도 8에 도시한 바와 같이,
(1) 캐리어 반입부[225(226)]에 특급 캐리어가 적재되었을 때에, 캐리어가 적재되어 있지 않은 웨이퍼 반입부(211, 212)가 있으면, 즉시 특급 캐리어를 당해 웨이퍼 반입부[211(212)]로 이동 탑재하도록 제어하고,
(2) 캐리어 반입부[225(226)]에 특급 캐리어가 적재되었을 때에, 웨이퍼 반입부(211, 212) 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있으면, 당해 웨이퍼 반입부(211, 212)에 적재되어 있는 한쪽의 캐리어를 퇴피용 적재부(22)에 퇴피시키고, 특급 캐리어를 비어 있는 웨이퍼 반입부[211(212)]에 이동 탑재하도록 제어한다. 이때 당해 실시 형태와 같이 복수의 웨이퍼 반입부(211, 212) 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있는 경우이며, 그 중 하나의 캐리어가 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있는 경우에는, 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있지 않은 캐리어를 즉시 퇴피용 적재부(22)에 퇴피시킨다. 또한, 웨이퍼 반입부가 하나의 경우이며, 여기에 적재되어 있는 캐리어가 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있는 경우에는, 당해 캐리어로부터 모든 웨이퍼(W)의 불출을 행한 후에, 즉시 당해 캐리어를 퇴피용 적재부(22)에 퇴피시키도록 제어를 행한다.
또한, 전달 수단(A1)에 대해서는, 상기 특급 캐리어가 상기 웨이퍼 반입부(211, 212)에 적재되었을 때에는, 당해 특급 캐리어의 웨이퍼를 다른 캐리어(C)보다도 먼저 불출하도록 제어된다. 보다 구체적으로는, 도 8에 도시한 바와 같이,
(1) 웨이퍼 반입부(211, 212)에 특급 캐리어가 적재되었을 때에, 전달 수단(A1)이 다른 캐리어로부터의 웨이퍼의 불출을 행하고 있지 않으면, 즉시 특급 캐리어의 웨이퍼(W)의 불출을 행하도록 제어하고,
(2) 웨이퍼 반입부(211, 212)에 특급 캐리어가 적재되었을 때에, 전달 수단(A1)이 다른 캐리어로부터의 웨이퍼의 불출을 행하고 있으면, 이 캐리어로부터 모든 웨이퍼(W)의 불출을 행한 후, 우선적으로 특급 캐리어로부터 웨이퍼를 불출하도록 제어를 행한다.
상기 반송 제어부(66)는 캐리어 이동 탑재 수단(3)이나, 전달 수단(A1), 메인 아암(A2, A3) 등을 제어하는 수단이고, 반송 스케줄이나 이동 탑재 스케줄을 참조하여 소정의 반송 작업을 실행하도록 구성되어 있다.
계속해서, 본 실시 형태의 작용 설명을 행한다. 우선, 통상의 처리에 대해 설명하면, 기판인 웨이퍼(W)에 대한 처리를 개시하는 데 앞서서, 오퍼레이터가 처리를 행하는 로트와, 처리 레시피와, 반송 스케줄 및 이동 탑재 스케줄을 선택한다. 이에 의해 로트의 처리 순서가 결정되어, 당해 처리 순서에 따라서 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)가 처리 블록(B2)으로 불출되고, 제어부(6)는 선택된 반송 스케줄 및 이동 탑재 스케줄을 참조하면서, 각 부에 지시를 출력하여, 결정된 순서로 웨이퍼를 처리 블록(B2)에 불출하여 처리를 실행한다.
본 예에서는, 예를 들어 로트(L1) 내지 로트(L6)에 대해, 로트(L1) → 로트(L2) → 로트(L3) → 로트(L4) → 로트(L5) → 로트(L6)의 순서로 처리가 행해지는 것으로 한다. 여기서, 로트마다 캐리어가 준비되어 있으므로, 로트의 처리 순서는 로트에 대응하는 캐리어가 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되는 순서 및 상기 캐리어가 웨이퍼 반입부(211, 212)로 반입되는 순서에 각각 대응하고 있다.
따라서, 캐리어 블록(B1)에서는, 우선 외부 캐리어 반송 수단(200)에 의해, 로트(L1)의 캐리어(C1)로부터 순서대로, 로트(L2)의 캐리어(C2) → 로트(L3)의 캐리어(C3) → 로트(L4)의 캐리어(C4) → 로트(L5)의 캐리어(C5) → 로트(L6)의 캐리어(C6)의 순서로 캐리어 반입부(225, 226)로 순차적으로 반입되고, 여기서 캐리어(C1 내지 C6)는 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 의해, 예를 들어 이동 탑재 스케줄에 따라서 웨이퍼 반입부(211, 212)에 직접 또는 스토커(25) 내에 있어서의 다른 퇴피용 적재부(22)를 통해, 상기 캐리어(C1)로부터 순서대로, 캐리어(C2) → 캐리어(C3) → 캐리어(C4) → 캐리어(C5) → 캐리어(C6)의 순서로 웨이퍼 반입부(211, 212)로 순차적으로 이동 탑재된다.
이와 같이 하여, 우선 캐리어(C1)가 웨이퍼 반입부(211)에 이동 탑재되어 덮개가 개방된 후, 캐리어(C1) 내의 웨이퍼(W1)가 전달 수단(A1)에 의해 수취되어 처리 블록(B2)으로 불출된다. 계속해서, 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 의해, 다음의 캐리어(C2)가, 예를 들어 웨이퍼 반입부(212) 상에 이동 탑재되어, 캐리어(C2)의 웨이퍼(W2)가 처리 블록(B2)으로 불출된다. 이와 같이 하여 캐리어(C3) → 캐리어(C4) → 캐리어(C5) → 캐리어(C6)의 순서로 캐리어(C)가 웨이퍼 반입부(211, 212)의 어느 하나에 이동 탑재되어, 전달 수단(A1)에 의해 순차적으로 처리 블록(B2)으로 불출되지만, 이때 웨이퍼(W)가 불출되어 비게 된 캐리어(C)는, 미리 이동 탑재 스케줄에서 결정된 비어 있는 퇴피용 적재부(22)에 이동 탑재되어, 웨이퍼 반입부(211, 212)에는 다음의 캐리어가 반입된다.
한편, 처리 블록(B2)에서는 캐리어 블록(B1)으로부터 불출된 순서대로, 즉 캐리어(C1)의 웨이퍼로부터 순서대로 상기 반송 스케줄에 따라서, 메인 아암(A2, A3)에 의해 소정의 모듈로 반송된다. 여기서, 메인 아암(A2, A3)에서는 상술한 바와 같이 2개 이상의 보유 지지 아암에 의해, 하류측의 모듈 내의 웨이퍼로부터 순차적으로 순서가 하나 뒤인 모듈로 재이동함으로써, 순서가 작은 웨이퍼가 순서가 큰 웨이퍼보다도 하류측의 모듈에 위치하는 상태를 형성하고, 이에 의해 하나의 사이클(반송 사이클)을 실행하여, 당해 사이클을 종료한 후, 다음의 사이클로 이행하여, 각 사이클을 순차적으로 실행함으로써, 상술한 경로로 순서대로 웨이퍼가 순차적으로 반송되어 소정의 처리가 행해지도록 되어 있다.
이와 같이 하여 처리가 종료된 캐리어(C1)의 웨이퍼는 웨이퍼 반출부(213, 214)에 놓인 원래의 캐리어(C1) 내로 전달 수단(A1)에 의해 복귀된다. 여기서 캐리어(C1)는 캐리어 스테이션(2) 내에 있어서 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 의해, 이동 탑재 스케줄에 따라서 웨이퍼 반입부(211) → 퇴피용 적재부(22) → 웨이퍼 반출부[213(214)]의 경로로 이동 탑재되고 있다. 이와 같이 캐리어(C2 내지 C6)의 웨이퍼(W)에 대해서도, 처리가 종료된 후, 순차적으로 웨이퍼 반출부(213, 214)에 이동 탑재된 원래의 캐리어(C2 내지 C6) 내로 복귀된다.
계속해서, 특급 로트가 발생한 경우에 대해 도 9 내지 도 12를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 11, 도 12는 캐리어 스테이션(2)을 캐리어 이동 탑재 수단(3)측에서 본 도면이다. 이 경우, 예를 들어 오퍼레이터가 당해 레지스트 패턴 형성 장치를 포함하는 복수의 장치의 제어를 행하는 호스트 컴퓨터에 특급 로트가 발생한 취지를 지시하고, 호스트 컴퓨터에서는 특급 로트의 특급 캐리어를 당해 레지스트 패턴 형성 장치로 반입하는 순서를 결정하여, 이 캐리어의 반입 순서를 당해 레지스트 패턴 형성 장치의 제어부(6)에 출력한다. 예를 들어, 도 9에 도시한 바와 같이, 캐리어(C1) → 캐리어(C2) → 캐리어(C3) → 캐리어(C4) → 캐리어(C5) → 캐리어(C6)의 순으로 캐리어가 외부로부터 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되는 경우에 있어서, 캐리어(C4)와 캐리어(C5) 사이에 특급 캐리어(E)가 반송되는 경우를 예로 들어 설명한다. 이 경우, 캐리어 반입부[225(226)]로 반입되는 캐리어의 순서는, 도 9에 도시한 바와 같이 C1 → C2 → C3 → C4 → E → C5 → C6으로 된다.
그리고, 당해 캐리어 반입부[225(226)]로 특급 캐리어(E)가 반입되면(스텝 S1), 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 의해, 우선적으로 특급 캐리어(E)를 웨이퍼 반입부[211(212)]에 이동 탑재한다(스텝 S2). 즉, 도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 캐리어(C)가 적재되어 있지 않은 웨이퍼 반입부(211)가 있으면, 당해 웨이퍼 반입부(211)에 특급 캐리어(E)를 이동 탑재한다[도 11의 (b) 참조]. 또한, 도 12의 (a)에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 반입부(211, 212) 전체가 캐리어(C1, C2)에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어(C1, C2) 중 어느 한쪽을 퇴피시키고, 비어 있는 웨이퍼 반입부(211, 212)에 특급 캐리어(E)를 이동 탑재한다. 본 예에서는, 한쪽의 캐리어(C1)로부터 전달 수단(A1)에 의해 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있으므로, 도 12의 (b)에 도시한 바와 같이, 다른 쪽의 캐리어(C2)를 비어 있는 퇴피용 적재부(223)로 퇴피시키고, 비어 있는 웨이퍼 반입부(212)에 특급 캐리어(E)를 이동 탑재한다[도 12의 (c) 참조].
이와 같이 하여 웨이퍼 반입부[211(212)]로 특급 캐리어(E)가 반입되면, 전달 수단(A1)에 의해 특급 캐리어(E)로부터의 웨이퍼(W)의 불출을 우선적으로 행한다(스텝 S3). 즉, 특급 캐리어(E)가 웨이퍼 반입부[211(212)]에 적재되었을 때에, 전달 수단(A1)이 다른 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있지 않으면, 즉시 특급 캐리어(E)로부터 웨이퍼(W)의 불출을 행하고, 특급 캐리어(E)가 웨이퍼 반입부[211(212)]에 적재되었을 때에, 전달 수단(A1)이 다른 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)의 불출을 행하고 있으면, 당해 캐리어로부터의 모든 웨이퍼(W)의 불출 종료 후, 즉시 특급 캐리어(E)로부터 웨이퍼(W)의 불출을 행한다.
이와 같이 하여 처리 블록(B2)에 불출된 특급 캐리어(E)의 웨이퍼(W)는 처리 블록(B2)에 불출된 순서로 소정의 반송 경로를 따라서 각 모듈 사이로 반송되어, 소정의 처리가 행해지고(스텝 S4), 처리 후의 웨이퍼는 원래의 특급 캐리어(E) 내로 복귀된다(스텝 S5). 이와 같이 하여 처리 후의 웨이퍼(W)를 수납한 특급 캐리어(E)는 캐리어 이동 탑재 수단(3)에 의해 빠르게 캐리어 반출부[227(228)]로 이동 탑재되고(스텝 S6), 외부 캐리어 반송 수단(200)에 의해 당해 레지스트 패턴 형성 장치로부터 반출되어(스텝 S7), 다음의 공정으로 반송된다.
본 예에서는, 특급 캐리어(E)의 웨이퍼는 캐리어(C1)의 다음에 처리 블록(B1)에 불출되고, 이 특급 캐리어(E)의 뒤에는, 예를 들어 도 9에 도시한 바와 같이, 캐리어(C2) → 캐리어(C3) → 캐리어(C4) → 캐리어(C5) → 캐리어(C6)의 순으로 처리 블록(B1)에 웨이퍼가 불출되어 처리가 행해진다. 따라서, 본 예에 있어서는, 특급 캐리어(E)의 웨이퍼는 먼저 상기 캐리어 반입부(225, 226)로 반입된 캐리어(C2 내지 C4)보다도 우선적으로 웨이퍼 반입부(211, 212)에 이동 탑재되고, 특급 캐리어(E) 내의 웨이퍼는 이들 캐리어(C2 내지 C4) 내의 웨이퍼보다도 우선적으로 상기 처리 블록(B2)으로 불출되어 처리가 행해지게 된다.
이때, 특급 캐리어(E)의 모든 웨이퍼가 전달 수단(A1)에 의해 처리 블록(B2)에 불출된 후, 도 11의 (c) 또는 도 13의 (a)에 도시한 바와 같이, 다음 처리 순서의 캐리어(C2)로부터 처리 블록(B2)으로의 웨이퍼의 불출을 행하는 동시에, 당해 특급 캐리어(E)를 퇴피용 적재부(224)에 이동 탑재한다. 이와 같이 하여 도 13의 (a) 내지 도 14의 (b)에 도시한 바와 같이, 캐리어(C3 내지 C6)를 순차적으로 웨이퍼 반입부(211, 212)에 이동 탑재하여, 이들 캐리어(C3 내지 C6)로부터 처리 블록(B2)으로의 웨이퍼의 불출을 순차적으로 행한다.
이 경우, 처리 블록(B2)에 있어서의 웨이퍼(W)의 처리가 종료되는 타이밍에 맞추어, 당해 처리를 행하고 있는 웨이퍼(W)에 대응하는 캐리어를 웨이퍼 반출부(213, 214)에 이동 탑재하는 것도 행해져, 예를 들어 도 13의 (b), (c)에 도시한 바와 같이, 특급 캐리어(E)의 웨이퍼의 처리 종료의 타이밍에 맞추어, 특급 캐리어(E)가 퇴피용 적재부(224)로부터 웨이퍼 반출부(214)로 이동 탑재된다. 그리고, 처리 완료된 웨이퍼가 복귀된 특급 캐리어(E)는, 도 14의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 캐리어 반출부(227)에 이동 탑재되고, 이곳으로부터 외부 캐리어 반송 수단(200)에 의해 다음 공정으로 반송된다.
이와 같은 캐리어 이동 탑재 수단(3) 및 전달 수단(A1)의 제어는, 예를 들어 특급 로트가 발생한 취지가 호스트 컴퓨터로부터 당해 도포, 현상 장치의 제어부(6)로 출력되어, 특급 캐리어(E)가 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되기 전에, 상기 이동 탑재 스케줄이나, 반송 스케줄을 재기록함으로써 행해진다.
즉, 특급 캐리어(E)의 반입 순서를 알고 있으므로, 특급 캐리어(E)가 반입되기 전의 통상의 처리의 이동 탑재 스케줄이나 반입 스케줄에 기초하여, 특급 캐리어(E)가 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되는 타이밍에 있어서의 캐리어 스테이션(2) 내에 있어서의 캐리어의 적재 상황을 파악하여, 상술한 바와 같이 특급 캐리어가 우선적으로 웨이퍼 반입부(211, 212)로 반입되고, 또한 일단 퇴피용 적재부(22)로 퇴피한 후, 처리 후의 특급 캐리어의 웨이퍼가 복귀되는 타이밍에서 웨이퍼 반입부(211, 212)에 이동 탑재되도록 이동 탑재 스케줄을 재기록하는 동시에, 특급 캐리어 내의 웨이퍼가 우선적으로 처리 블록(B2)으로 불출되도록 반송 스케줄의 재기록이 행해진다.
그리고, 캐리어 반입부(225, 226)로 특급 캐리어(E)가 반입되면, 재기록된 이동 탑재 스케줄 및 반송 스케줄에 따라서, 캐리어 이동 탑재 수단(3) 및 전달 수단(A1), 메인 아암(A2, A3)에 의해, 캐리어의 이동 탑재 작업 및 웨이퍼의 반송이 행해진다.
또한, 이동 탑재 스케줄을 재기록하는 대신에, 상기 전달용 적재부(21) 및 퇴피용 적재부(22)에 부여된 어드레스와, 이들에 설치된 캐리어(C)의 유무 센서(232)로부터의 정보와, 캐리어(C)에 부여된 ID에 기초하여, 웨이퍼 반입부(211, 212)에 캐리어(C)가 있는지 여부, 어느 퇴피용 적재부(22)가 비어 있는지를 판단하여, 특급 캐리어 및 캐리어(C)의 이동 탑재를 행하도록 해도 좋다.
이와 같은 실시 형태에 따르면, 캐리어 스테이션(2)에 캐리어(C)를 일시적으로 보관하는 스토커(25)를 설치하고, 여기에 캐리어(C)의 적재부를 다수 배열하여, 이 적재부를 캐리어(C)를 퇴피시키는 퇴피용 적재부(22)로서 겸용하고 있으므로, 스토커(25)의 이용 가치가 향상된다. 즉, 다른 로트에 대해 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트가 발생한 경우에, 상기 특급 로트의 특급 캐리어(E)가 캐리어 블록(B1)의 캐리어 반입부(225, 226)로 반입되었을 때에, 웨이퍼 반입부(211, 212) 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어를 퇴피용 적재부(22)에 이동 탑재하고, 이에 의해 비어 있는 웨이퍼 반입부(211, 212)에 상기 특급 캐리어(E)를 적재할 수 있다. 이로 인해, 특급 캐리어(E)를 약간의 대기 시간으로 웨이퍼 반입부(211, 212)에 이동 탑재할 수 있어, 특급 캐리어(E)의 웨이퍼를 처리 블록(B2)으로 빠르게 전달할 수 있으므로, 당해 특급 캐리어(E)의 웨이퍼가 처리 개시를 대기하는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 특급 캐리어(E)가 발생한 경우에도, 웨이퍼의 불출이 종료된 특급 캐리어(E)나 캐리어(C1 내지 C6)를 퇴피용 적재부(22)에 이동 탑재함으로써, 특급 캐리어(E)나 다른 캐리어(C1 내지 C6)를 순차적으로 웨이퍼 반입부(211, 212)에 이동 탑재하여, 웨이퍼의 불출을 순차적으로 행하고 있으므로, 처리 블록(B2)으로 빠르게 웨이퍼(W)를 공급할 수 있어, 처리량의 저하를 억제할 수 있다.
또한, 특급 캐리어(E)는 웨이퍼의 불출이 종료된 후, 퇴피용 적재부(22)에 이동 탑재되고, 처리 후의 웨이퍼(W)가 당해 특급 캐리어(E)로 복귀되는 타이밍에서 다시 웨이퍼 반출부(213, 214)에 이동 탑재되므로, 처리 후의 웨이퍼(W)가 빠르게 특급 캐리어(E)에 회수된다. 또한, 이 처리 완료 웨이퍼를 수납한 특급 캐리어(E)는 빠르게 캐리어 반출부(226, 227)에 이동 탑재되므로, 외부 캐리어 반송 수단(200)에 의해 원활하게 다음 공정으로 반송된다.
본 발명은 반도체 웨이퍼뿐만 아니라 액정 디스플레이용 글래스 기판(LCD 기판) 등의 기판을 처리하는 레지스트 패턴 형성 장치에도 적용할 수 있다. 또한, 캐리어 이동 탑재 수단(3)의 형상은 상술한 구성으로 한정되지 않는다. 또한 캐리어를 일시적으로 보관하는 보관부(스토커)의 구성도 상술한 예로는 한정되지 않고, 전달 스테이지(24)의 하방측에 캐리어용 적재부를 설치하도록 해도 좋고, 전달 스테이지(24)와 대향하도록 캐리어용 적재부를 설치하도록 해도 좋다. 또한, 이 보관부의 적재부에 대해서는, 미처리의 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어(C)나 처리 완료된 웨이퍼(W)를 수납한 캐리어, 비어 있는 캐리어 등이 일시적으로 보관되고, 반드시 모든 적재부를 퇴피용 적재부로서 사용할 필요는 없다.
또한, 전달용 적재부는 캐리어 블록(B1)으로부터 처리 블록(B2)으로 웨이퍼(W)를 불출할 때에 사용되는 적재부와, 처리 블록(B2)으로부터 캐리어 블록(B1)으로 웨이퍼(W)를 복귀시킬 때에 사용되는 적재부를 겸용시켜도 좋고, 전달 수단(A1)에 의해 액세스하는 전달용 적재부의 개수는 적절하게 선택된다.
또한, 본 발명의 기판 처리 장치는 종형 열처리 장치나 다수매의 웨이퍼를 뱃치 처리하는 타입의 세정 장치에도 적용할 수 있다.
W : 반도체 웨이퍼
C : 캐리어
B1 : 캐리어 블록
B2 : 처리 블록
B3 : 인터페이스 블록
B4 : 노광 장치
A1 : 전달 수단
A2, A3 : 메인 아암
21(211 내지 214) : 전달용 적재부
22(221 내지 228) : 퇴피용 적재부
3 : 캐리어 이동 탑재 수단
6 : 제어부
63 : 반송 스케줄 저장부
64 : 이동 탑재 스케줄 저장부
65 : 특급 로트 처리 제어부

Claims (6)

  1. 복수매의 기판을 수납하는 캐리어가 적재되는 동시에, 캐리어마다 준비되는 전달용 적재부를 구비하고, 당해 전달용 적재부에 적재된 캐리어로부터 전달 수단에 의해 불출된 기판에 대해 처리를 행한 후, 당해 기판을 상기 전달 수단에 의해 상기 전달용 적재부 상의 원래의 캐리어로 복귀시키는 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 캐리어를 적재하기 위해, 상기 전달용 적재부와는 별개로 설치된 복수의 퇴피용 적재부와,
    외부로부터 당해 기판 처리 장치에 대해 상기 캐리어를 반입하기 위해, 상기 전달용 적재부와는 별개로 설치된 반입용 적재부와,
    이들 전달용 적재부 및 퇴피용 적재부 및 반입용 적재부 사이에서 상기 캐리어의 이동 탑재를 행하는 캐리어 이동 탑재 수단과,
    통상 시에는 상기 반입용 적재부로 반입된 캐리어의 반입 순서에 따라서, 이들 캐리어를 직접 또는 퇴피용 적재부를 통해 상기 전달용 적재부에 순차적으로 이동 탑재하고, 우선적으로 처리를 행하는 특급 로트의 기판을 수납한 특급 캐리어가 상기 반입용 적재부로 반입되었을 때에, 상기 전달용 적재부 전체가 캐리어에 의해 점유되어 있으면, 당해 캐리어 중 하나를 상기 퇴피용 적재부에 이동 탑재하고, 이에 의해 비게 된 전달용 적재부에 상기 특급 캐리어를 적재하도록 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단과,
    통상 시에는 상기 전달용 적재부에 적재된 캐리어의 반입 순서에 따라서 캐리어로부터 기판을 불출하고, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부에 적재되었을 때에는, 당해 특급 캐리어의 기판을 다른 캐리어보다도 먼저 불출하도록 상기 전달 수단을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단은, 상기 특급 캐리어가 상기 반입용 적재부로 반입되었을 때에 상기 전달용 적재부가 비어 있으면, 즉시 당해 특급 캐리어를 당해 전달용 적재부에 적재하도록 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 수단은 상기 전달용 적재부가 복수개이고, 상기 특급 캐리어가 상기 반입출용 적재부로 반입되었을 때에, 이들 상기 전달용 적재부 전체가 캐리어에 의해 점유되고, 이들 캐리어 중에 상기 전달 수단에 의해 기판의 불출이 행해지고 있는 캐리어가 있으면, 당해 캐리어 이외의 캐리어를 상기 적재부에 이동 탑재하도록 상기 캐리어 이동 탑재 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전달 수단을 제어하는 수단은, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부로 반입되었을 때에 다른 캐리어로부터 기판의 불출이 행해지고 있지 않으면, 우선적으로 당해 특급 캐리어로부터의 기판의 불출을 행하고, 상기 특급 캐리어가 상기 전달용 적재부로 반입되었을 때에 다른 캐리어로부터 기판의 불출이 행해지고 있으면, 당해 캐리어로부터 모든 기판의 불출이 종료된 후, 우선적으로 상기 특급 캐리어로부터 기판의 불출을 행하도록 상기 전달 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 캐리어를 일시적으로 보관하기 위한 보관부를 구비하고, 상기 퇴피용 적재부는 이 보관부에 설치된 상기 캐리어의 적재부를 겸용하고 있는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어로부터 전달 수단에 의해 불출된 기판에 대해 처리를 행하는 처리 블록을 구비하고,
    이 처리 블록은 상기 기판에 대해 도포막을 형성하는 동시에 노광 후의 기판에 대한 현상을 행하기 위해, 기판에 대해 처리를 행하거나 또는 기판이 적재되는 복수의 모듈과, 이들 복수의 모듈 사이에서 기판의 반송을 행하는 기판 반송 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치.
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