TWI549217B - 載具重組系統以及載具重組方法 - Google Patents

載具重組系統以及載具重組方法 Download PDF

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Description

載具重組系統以及載具重組方法
本發明是有關於一種載具之管理系統以及管理方法，且特別是有關於一種載具重組系統以及載具重組方法。
在進行半導體製程時，對於一個高積集度的積體電路而言，往往需要進行數以百計的步驟，才能製作出所需的積體電路。對同一批次的晶圓而言，由投片開始至出貨，其間可能需要在數個機台間反覆的傳遞並進行製程。
一個晶圓傳送盒(front opening unified pod，FOUP)中可以同時收納放置複數個晶圓，這些晶圓傳送盒會因應不同的製程階段而在各個製程區(bay)間或是在各個機台間移動。此外，在晶圓完成現階段的製程之後，收納有這些晶圓的晶圓傳送盒可能會因為產能調配等緣故而需要被暫時存放在晶圓倉儲設備(stocker)。
然而，當這些收納於晶圓傳送盒內的晶圓需要進行不同的製程處理時，則需要有效率並且即時地傳送分配至相應的製程區或機台。
本發明實施例提供一種載具重組系統，其在載具存放設備閒置時，依據載具的相對順位以及存放區的相對順位，以調整存放區內所存放之載具的位置。
本發明實施例提供一種載具重組系統，其適用於一載具存放設備，此載具存放設備用以將多個載具載出或載入多個存放區。所述載具重組系統包括一搬運單元、一控制單元以及一處理單 元，控制單元耦接於搬運單元，而處理單元耦接於控制單元。搬運單元用以移動載具，控制單元用以在載具存放設備閒置時而控制搬運單元移動存放區內的載具。處理單元用以在每間隔一預定時間，重新決定存放區內的載具的相對順位。再者，控制單元用以依據載具的相對順位以及存放區的相對順位，而控制搬運單元將所述多個載具中之一第N順位的載具自所述多個存放區中之一第M順位的存放區移動至所述多個存放區中之另一存放區，其中N、M為正整數且N不等於M。
本發明實施例還提供一種載具重組方法，其適用於一載具存放設備，載具存放設備用以執行一存取指令以將多個載具載出或載入多個存放區，所述載具重組方法包括以下步驟。首先，檢查載具存放設備是否完成所述存取指令並進入一閒置狀態。再者，決定存放區內的載具的相對順位。然後，在載具存放設備進入閒置狀態之後，依據存放區內的載具的相對順位以及存放區的相對順位，將所述多個載具中之一第N順位的載具自所述多個存放區中之一第M順位的存放區移動至所述多個存放區中之另一存放區，其中N、M為正整數且N不等於M。
為使能更進一步瞭解本發明之特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，但是此等說明與所附圖式僅係用來說明本發明，而非對本發明的權利範圍作任何的限制。
1‧‧‧載具重組系統
2‧‧‧載具存放設備
3‧‧‧載具
4‧‧‧天井式搬運系統
21‧‧‧倉儲單元
211‧‧‧高順位存放區
212‧‧‧中順位存放區
213‧‧‧低順位存放區
22‧‧‧入口埠
23‧‧‧出口埠
11‧‧‧搬運單元
111‧‧‧搬運主臂
112‧‧‧搬運子臂
12‧‧‧控制單元
13‧‧‧處理單元
14‧‧‧使用者介面
S100、S101~S106、S201~S202、S301~S303‧‧‧步驟
S401~S403、S501~S502、S601~S603、S701~S703‧‧‧步驟
S801~S803‧‧‧步驟
X、Y、Z‧‧‧軸
圖1為本發明一實施例之載具重組系統之功能方塊圖。
圖2A至圖2D為本發明一實施例之載具重組系統於載具存放設備之運作過程示意圖。
圖3-1及圖3-2為本發明一實施例之載具重組方法之步驟流程圖。
圖4為本發明另一實施例之載具存放方法之步驟流程圖。
圖5為本發明一實施例之決定載具相對順位之方法的流程示意圖。
請參考圖1，圖1為本發明一實施例之載具重組系統之功能方塊圖。本實施例之載具重組系統1是適用於一載具存放設備2，此載具存放設備2是用以將多個載具3載出或載入一倉儲單元21，而此倉儲單元21具有多個存放區。所述載具重組系統1包括搬運單元11、控制單元12以及處理單元13，其中控制單元12是耦接於該搬運單元11，處理單元13是耦接於控制單元12。以下配合圖式就載具重組系統1的各部件加以詳細說明。
參圖2A至圖2D，圖2A至圖2D為本發明一實施例之載具重組系統於載具存放設備之運作過程示意圖。於本實施例中，載具存放設備2例如是設置於晶圓製造廠內之固定暫存設備，並用以執行使用者或操作者所輸入的存取指令以將載具3載出或載入其倉儲單元21。倉儲單元21例如為所述固定暫存設備的倉儲棚架，且具有並排設置的兩個多層存放架，各個存放架的每一層分別具有多個存放位置。載具3例如是晶圓傳送盒(front opening unified pod，FOUP)。
如圖2A至圖2D所示，倉儲單元21例如具有三個存放區(例如高順位存放區211、中順位存放區212以及低順位存放區213)。各個存放區內分別具有多個存放位置，以供多個載具3分別存放至其中一個存放位置。
另，載具存放設備2還具有至少一個入口埠22以及至少一個出口埠23(參考圖1)，而載具3可經由入口埠22及出口埠23載入或者載出載具存放設備2，載具3還可藉由天井式搬運(overhead hoist transporter、OHT)系統4在晶圓製造廠內之其他製程設備與入口埠22、出口埠23之間傳送。
值得一提的是，倉儲單元21的這些存放區具有其相對順位，這些存放區的相對順位例如是根據各個存放區與出口埠23之間的距離而決定，其中高順位存放區211與出口埠23之間的距離最近，而低順位存放區213與出口埠23之間的距離遠。也就是 說，在這些存放區中，將高順位存放區211內的載具3載出至出口埠23所需的時間最短，而將低順位存放區213內的載具3載出至出口埠23所需的時間最長。
搬運單元11例如是設置於此兩個存放架之間的搬運手臂，此搬運單元11並具有一搬運主臂111以及一搬運子臂112。此搬運主臂111能沿著存放架的各層(例如沿著X軸)而在此兩個存放架之間左右移動，而此搬運子臂112能跨越存放架的每一層(例如沿著Z軸)而在此兩個存放架之間上下移動。藉此，搬運子臂112能移動至兩個多層存放架的各個存放位置。此外，此搬運子臂112還能(例如沿著Y軸)在此兩個存放架之間前後移動，以分別夾取此兩個存放架上所存放的載具3。搬運單元11例如是載具存放設備2的搬運手臂。
處理單元13用以在每間隔一預定時間，重新決定倉儲單元21內的這些載具3的相對順位。詳細而言，處理單元13例如是依據載具3之重要性的高低以及載具3於倉儲單元21內之存放時間的長短來決定這些載具3的相對順位。其中，載具3之重要性的高低是與載具3所乘載之晶圓的特性相關，例如載具3所乘載之晶圓的製程階段為何、載具3所乘載之晶圓是否為測試品、載具3所乘載之晶圓是提供給哪個客戶或者載具3所乘載之晶圓是否為急件等。這些載具3例如分為高重要性的載具、中重要性的載具以及低重要性的載具。
請參考圖5，圖5為本發明一實施例之決定載具的相對順位之方法的流程示意圖。處理單元13可依據載具3之重要性決定出該載具3的一第一加權值，處理單元13並可依據載具3於倉儲單元21內之存放時間決定出該載具3的一第二加權值。第一加權值以及第二加權值皆為用以決定載具3的相對順位的參數。
如圖所示，處理單元13例如是依據第一加權值以及第二加權值的總合來決定載具3的相對順位。其中，低重要性的載具3 的第一加權值為20至40，中重要性的載具3的第一加權值為40至60，高重要性的載具3的第一加權值為60至80。另，於倉儲單元21內已經存放超過七天的載具3的第二加權值為0，於倉儲單元21內已經存放五至七天的載具3的第二加權值為5，於倉儲單元21內已經存放三至五天的載具3的第二加權值為10，於倉儲單元21內已經存放一至三天的載具3的第二加權值為15，而於倉儲單元21內存放小於一天的載具3的第二加權值為20。
如圖2A至圖2D所示，對應於倉儲單元21的三個存放區，本實施例之處理單元13將倉儲單元21內的這些載具3分為高順位載具3、中順位載具3以及低順位載具3三種。其中，高順位載具3之加權值總合等於80至100，中順位載具3之加權值總合等於50至80，低順位載具3之加權值總合等於20至50。
需要注意的是，本實施例之處理單元13是每間隔一預定時間，例如每間隔五分鐘，依據獲得的資訊重新決定載具3之第一加權值以及第二加權值，以重新決定倉儲單元21內的這些載具3的相對順位。
此外，於本發明另一實施例中，處理單元13還可用以決定這些存放區的相對順位。舉例而言，於另一未繪示實施例中，載具存放設備2例如有多個出口埠23，而處理單元13可選擇性地依據各個存放區與其中一個出口埠23之間的距離來決定這些存放區的相對順位。或者，處理單元13還可用以將倉儲單元21劃分為多個存放區。
控制單元12用以依據這些載具3的相對順位以及這些存放區的相對順位，控制搬運單元11將這些載具3中之一第N順位的載具3自該些存放區中之一第M順位的存放區移動至該些存放區中之另一存放區，其中N、M為正整數且N不等於M。
雖然在圖1中未明確繪示，但控制單元12可包括一檢查模組、一查詢模組以及一感應模組。檢查模組是用以檢查在這些存 放區中之一第M順位的存放區內是否存放有這些載具3中之一第N順位的載具3。查詢模組是耦接於檢查模組，並用以查詢這些存放區中之一第N順位的存放區是否存滿。感應模組是耦接於檢查模組，並用以辨識這些載具3的相對順位。
另，控制單元12可包含一個或數個中央處理單元13、唯讀記憶體(ROM)元件及/或隨機存取記憶體(RAM)元件。控制單元12亦可包含發送器及/或接收器(例如LAN轉接器，或有助於聯繫其它系統單元及/或網路環境內的通訊埠)、一個或數個用於儲存任何適當資料及/或資訊的資料庫、一個或數個用於執行本發明之方法的程式或指令集，以及/或其它任何包括週邊裝置在內的電腦單元或系統。
控制單元12還耦接於一使用者介面14，使用者介面14可包含輸入裝置(例如鍵盤、滑鼠或觸控面板)、輸出裝置(例如印表機或其它可藉以取得資料及/或資訊的裝置)以及(顯示裝置(例如將資訊呈現給使用者或操作者的監視器)。於本發明另一實施例中，載具3之重要性的高低可由使用者或操作者決定，並由使用者或操作者透過使用者介面14輸入至控制單元12。
以下配合圖式詳細說明上述載具重組系統1之運作以及本發明實施例之載具重組方法。如圖2A至圖2D並參圖3-1及圖3-2所示，其中圖3-1及圖3-為本發明一實施例之載具重組方法之步驟流程圖。
請參圖3-1之步驟S100，首先，載具重組系統1偵測載具存放設備2是否仍有其他未完成的存取指令。載具重組系統1是在載具存放設備2完成載入載出的存取指令並進入一閒置狀態之後始移動倉儲單元21內的載具3。需要說明的是，此閒置狀態是指載具存放設備2沒有將載具3載出或載入倉儲單元21的狀態。
接著，如圖2A並參圖3-1之步驟S101所示，如果載具重組系統1偵測得載具存放設備2已執行完存取指令並進入閒置狀態 時，控制單元12的一檢查模組則檢查在高順位存放區211內是否存放有低順位載具3。接著，請參圖3-1之步驟S102，當檢查模組檢查出在高順位存放區211內存放有低順位載具3(例如載具38)時，控制單元12的一查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢低順位存放區213是否存滿，亦即，查詢模組則查詢在低順位存放區213內是否有空的、未被占用的存放位置。
接著，請參圖3-1之步驟S103，當查詢模組查詢低順位存放區213未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在高順位存放區211內的低順位載具3(例如載具38)移動至低順位存放區213內。
如圖2A並參圖3-2之步驟S104所示，接著，檢查模組檢查在低順位存放區213內是否存放有高順位載具3。接著，請參圖3-2之步驟S105，當檢查模組檢查出低順位存放區213內存放有高順位載具3(例如載具92)時，查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢高順位存放區211是否存滿。
接著，如圖2A並參圖3-2之步驟S106，當查詢模組查詢出高順位存放區211未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在低順位存放區213內的高順位載具3(例如載具92)移動至高順位存放區211內。
需要注意的是，如前所述，無論載具存放設備2是否已經進入閒置狀態，載具重組系統1的處理單元13在每間隔一預定時間會重新決定倉儲單元21內這些載具3的相對順位，而控制單元12是依據這些重新決定的相對順位，而控制搬運單元11重新調整載具3的放置位置。
綜上所述，載具重組系統1在載具3存放系統進入閒置狀態之後，可將倉儲單元21內這些載具3的放置位置重新調整，使得存放在高順位存放區211內的低順位載具3(例如載具38)被移動至低順位存放區213內，並使得存放在低順位存放區213內的高順 位載具3(例如載具92)被移動至高順位存放區211內。亦即，載具重組系統1是將第N順位的載具3移動至第N順位的存放區。
以下將說明本發明載具重組系統1及載具重組方法之其它實施例。需先敘明，以下各實施例之載具重組系統1的各部件及以下各實施例之載具重組方法的各步驟未作說明的其它特性與前述實施例相同，後續不再贅述。
首先說明本發明第二實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-2之步驟S201，步驟S201是承接步驟S105。當查詢模組查詢出高順位存放區211存滿時，查詢模組則繼續查詢中順位存放區212是否存滿。
接著，請參圖3-2之步驟S202，當查詢模組查詢出中順位存放區212未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在低順位存放區213內的高順位載具3(例如載具92)移動至中順位存放區212內。然而，當查詢模組查詢出中順位存放區212存滿時，載具重組系統1則暫時終止其移動倉儲單元21內載具3的工作。
綜上所述，本實施例與前述第一實施例的主要差異在於，當高順位存放區211存滿時，查詢模組會查詢存放區中之次高順位的存放區是否存滿，且當次高順位的存放區未存滿時，搬運單元11會將此存放在低順位存放區213內的高順位載具3移動至次高順位的存放區內。亦即，搬運單元11在最高順位的存放區存滿時，會選擇先將存放在最低順位的存放區內的最高順位的載具3移動至次高順位的存放區。
以下說明本發明第三實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-2之步驟S301，步驟S301是承接步驟S104。本實施例與前述第一實施例的主要差異在於，當檢查模組檢查出在低順位存放區213內沒有高順位載具3時，檢查模組則繼續檢查在中順位存放區212內是否存放有高順位載具3。接 著，請參圖3-2之步驟S302，當檢查模組檢查出在中順位存放區212內存放有高順位載具3(例如載具90)時，查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢高順位存放區211是否存滿。
然後，請參圖3-2之步驟S303，當查詢模組查詢出高順位存放區211未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在中順位存放區212內的高順位載具3(例如載具90)移動至高順位存放區211內。然而，當查詢模組查詢出在高順位存放區211存滿時，載具重組系統1則暫時終止其移動倉儲單元21內載具3的工作。
綜上所述，本實施例與前述第一實施例的主要差異在於，載具重組系統1會選擇先檢查這些載具3中之最高順位的載具3，且選擇先檢查這些存放區中之最低順位的存放區。然後，在第M順位的存放區內沒有第N順位的載具3時，載具重組系統1會選擇先檢查這些存放區中之第(M+1)順位的存放區內是否存放有第N順位的載具3，並選擇先移動第(M+1)順位的存放區內的第N順位的載具3。
以下說明本發明第四實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-2之步驟S401，步驟S401是承接步驟S301的。當檢查模組檢查出在中順位存放區212內沒有高順位載具3時，檢查模組則繼續檢查在低順位存放區213內是否存放有中順位載具3。接著，請參圖3-2之步驟S402，當檢查模組檢查出在低順位存放區213內存放有中順位載具3(例如載具50)時，查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢中順位存放區212是否存滿。
然後，參圖3-2之步驟S403，當查詢模組查詢出中順位存放區212未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在低順位存放區213內的中順位載具3(例如載具50)移動至中順位存放區212內。然而，當檢查模組檢查出低順位存放區213內沒有中順位載具3時，或者，當查詢模組查詢出中順位存放區212存滿 時，載具重組系統1則暫時終止其移動倉儲單元21內載具3的工作。
綜上所述，本實施例與前述第三實施例的主要差異在於，載具重組系統1會在第(M+1)順位的存放區內沒有第N順位的載具3時，選擇先檢查第M順位的存放區內是否存放有第(N-1)順位的載具，並選擇先移動第M順位的存放區內的第(N-1)順位的載具3。
以下說明為本發明第五實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-1之步驟S501，步驟S501是承接步驟S102。當查詢模組查詢出低順位存放區213存滿時，查詢模組則繼續查詢中順位存放區212是否存滿。
接著，請參圖3-1之步驟S502，當查詢模組查詢出中順位存放區212未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在高順位存放區211內的低順位載具3(例如載具38)移動至中順位存放區212內。接著，載具重組系統1則繼續執行步驟圖3-2之S104。然而，當查詢模組查詢出中順位存放區212存滿時，載具重組系統1則直接繼續執行步驟圖3-2之S104。本實施例的後續步驟，於上述各實施例大致相同，在此不予贅述。
綜上所述，本實施例與前述第一實施例的主要差異在於，當最低順位的存放區存滿時，載具重組系統1之查詢模組會查詢存放區中之次低順位的存放區是否存滿，且當次低順位的存放區未存滿時，搬運單元11會將此在最高順位的存放區內的最低順位的載具3移動至次低順位的存放區內。亦即，搬運單元11在最低順位的存放區存滿時，會選擇先將在最高順位的存放區內的最低順位的載具3移動至次低順位的存放區。
以下說明本發明第六實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-1之步驟S601，步驟S601是承接步驟S101。本實施例與本發明的第一實施例的主要差異在於，當檢查 模組檢查出在高順位存放區211內沒有低順位載具3時，檢查模組則繼續檢查在高順位存放區211內是否存放有中順位載具3。接著，請參圖3-1之步驟S602，當檢查模組檢查出在高順位存放區211內存放有中順位載具3(例如載具51)時，查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢中順位存放區212是否存滿。
然後，請參圖3-1之步驟S603，當查詢模組查詢出中順位存放區212未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在高順位存放區211內的中順位載具3(例如載具51)移動至中順位存放區212內。接著，載具重組系統1則繼續執行步驟圖3-2之S104。然而，當查詢模組查詢出中順位存放區212存滿時，載具重組系統1則直接繼續執行圖3-2之步驟S104。本實施例的後續步驟，於上述各實施例大致相同，在此不予贅述。
綜上所述，本實施例與前述第四實施例的主要差異在於，載具重組系統1會選擇先檢查這些存放區中之最高順位的存放區，且選擇先檢查這些載具3中之最低順位的載具3。然後，在第M順位的存放區內沒有第N順位的載具3時，選擇先檢查在第M順位的存放區內是否存放有第(N+1)順位的載具3，並選擇先移動第M順位的存放區內的第(N+1)順位的載具3。
以下說明本發明第七實施例之載具重組系統1的運作以及載具重組方法。請參圖3-1之步驟S701，步驟S701是承接步驟S601。當檢查模組檢查出在高順位存放區211內沒有中順位載具3時，檢查模組則繼續檢查在中順位存放區212內是否存放有低順位載具3。接著，請參圖3-1之步驟S702，當檢查模組檢查出在中順位存放區212內存放有低順位載具3(例如載具30)時，查詢模組則回應檢查模組的訊號而查詢低順位存放區213是否存滿。
然後，參圖3-1之步驟S703，當查詢模組查詢出低順位存放區213未存滿時，控制單元12則控制搬運單元11將此存放在中順位存放區212內的低順位載具3(例如載具30)移動至低順位存放 區213內。接著，載具重組系統1則繼續執行如圖3-2之步驟S104。然而，當檢查模組檢查出在中順位存放區212內沒有低順位載具3時，或者，當查詢模組查詢出低順位存放區213存滿時，載具重組系統1則直接繼續執行圖3-2之步驟S104。本實施例的後續步驟，於上述各實施例大致相同，在此不予贅述。
綜上所述，本實施例與前述第六實施例的主要差異在於，載具重組系統1會在第M順位的存放區內沒有第(N+1)順位的載具3時，選擇先檢查在第(M-1)順位的存放區內是否存放有第N順位的載具3，並選擇先移動第(M-1)順位的存放區內的第N順位的載具3。
上述實施例可歸納出本發明一實施例之載具重組方法，所述載具重組方法是適用於一載具3存放系統，載具3存放系統用以執行一存取指令，以將多個載具3載出或載入一具有多個存放區的倉儲單元21。請參照圖之流程圖，所述載具重組方法包括以下步驟。首先，檢查該載具3存放系統是否完成存取指令並進入閒置狀態(步驟S801)；再者，決定倉儲單元21內的載具3的相對順位(步驟S802)；最後，在載具3存放系統進入閒置狀態之後，依據倉儲單元21內的載具3的相對順位以及存放區的相對順位，將載具3中之第N順位的載具3自存放區中之第M順位的存放區移動至存放區中之第N順位的存放區，其中N、M為正整數且N不等於M(步驟S803)。
於一具體實施例中，上述移動倉儲單元21內的載具3的步驟可包括下述步驟。首先，檢查在第M順位的存放區內是否存放有第N順位的載具3；接著，查詢第N順位的存放區是否存滿；然後，當第N順位的存放區未存滿時，將第M順位的存放區內的第N順位的載具3移動至第N順位的存放區內。
綜上所述，上述實施例之載具重組系統1以及載具重組方法透過在載具存放設備2閒置時，依據這些載具的相對順位以及這 些存放區的相對順位，調整這些存放區內所存放之載具的位置，使得載具的相對順位與存放區的相對順位能相對應。尤其，所述載具重組系統1以及載具重組方法透過調整存放區內載具的位置，可將具有最高順位的載具重新配置於具有最高順位的存放區或者具有次高順位的存放區，以縮短這些最高順位的載具之存放位置與出口埠之間的距離。藉此，載具存放設備在傳送這些載具時，能更有效率地將這些存放區內的載具傳送至出口埠。
以上所述僅為本發明的實施例，其並非用以限定本發明的專利保護範圍。任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明的精神與範圍內，所作的更動及潤飾的等效替換，仍為本發明的專利保護範圍內。
1‧‧‧載具重組系統
2‧‧‧載具存放設備
4‧‧‧天井式搬運系統
21‧‧‧倉儲單元
22‧‧‧入口埠
23‧‧‧出口埠
11‧‧‧搬運單元
12‧‧‧控制單元
13‧‧‧處理單元
14‧‧‧使用者介面

Claims (10)

  1. 一種載具重組系統，適用於一載具存放設備，該載具存放設備用以將多個載具載出或載入多個存放區，該載具重組系統包括：一搬運單元，用以移動該些載具；一控制單元，耦接於該搬運單元，用以在該載具存放設備閒置時，控制該搬運單元移動該些存放區內的該些載具；以及一處理單元，耦接於該控制單元，用以在每間隔一預定時間，重新決定該些存放區內的該些載具的相對順位；其中，該控制單元用以依據該些載具的相對順位以及該些存放區的相對順位，控制該搬運單元將該些載具中之一第N順位的載具自該些存放區中之一第M順位的存放區移動至該些存放區中之另一存放區，其中N、M為正整數且N不等於M。
  2. 如請求項1所述之載具重組系統，其中該控制單元用以控制該搬運單元選擇先將該第N順位的載具移動至該些存放區中之一第N順位的存放區。
  3. 如請求項2所述之載具重組系統，其中該搬運單元選擇先移動該些存放區中之一最高順位的存放區內的該些載具，且該搬運單元選擇先移動該些載具中之一最低順位的載具；該搬運單元在該些存放區中之一最低順位的存放區存滿時，選擇先將該最高順位的存放區內的該最低順位的載具移動至該些存放區中之一次低順位的存放區。
  4. 如請求項3所述之載具重組系統，其中該搬運單元在該第M順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先移動該第M順位的存放區內的該些載具中之一第(N+1)順位的載具；且該搬運單元在該第M順位的存放區內沒有該第(N+1)順位的載具時，選擇先移動該些存放區中之一第(M-1)順位的存放區內的該第N順位的載具；其中，M-N>1。
  5. 如請求項2所述之載具重組系統，其中該搬運單元選擇先移動該些載具中之一最高順位的載具，且該搬運單元選擇先移動該些存放區中之一最低順位的存放區內的該些載具；該搬運單元在該些存放區中之一最高順位的存放區存滿時，選擇先將該最低順位的存放區內的該最高順位的載具移動至該些存放區中之一次高順位的存放區。
  6. 如請求項5所述之載具重組系統，其中該搬運單元在該第M順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先移動該些存放區中之一第(M+1)順位的存放區內的該第N順位的載具；且該搬運單元在該第(M+1)順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先移動該第M順位的存放區內的該些載具中之一第(N-1)順位的載具；其中，N-M>1。
  7. 一種載具重組方法，適用於一載具存放設備，該載具存放設備用以執行一存取指令，以將多個載具載出或載入多個存放區，該載具重組方法包括：檢查該載具存放設備是否完成該存取指令並進入一閒置狀態；決定該些存放區內的該些載具的相對順位；以及在該載具存放設備進入該閒置狀態之後，依據該些存放區內的該些載具的相對順位以及該些存放區的相對順位，將該些載具中之一第N順位的載具自該些存放區中之一第M順位的存放區移動至該些存放區中之另一存放區，其中N、M為正整數且N不等於M。
  8. 如請求項7所述之載具重組方法，其中移動該些存放區內的該些載具的步驟包括：檢查在該第M順位的存放區內是否存放有該第N順位的載具；查詢該第N順位的存放區是否存滿；以及當該第N順位的存放區未存滿時，將該第M順位的存放區內的 該第N順位的載具移動至該第N順位的存放區內。
  9. 如請求項8所述之載具重組方法，其中檢查該第M順位的存放區的步驟包括選擇先檢查該些存放區中之一最高順位的存放區以及選擇先檢查該些載具中之一最低順位的載具；且該載具重組方法更包括：在該第M順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先檢查在該第M順位的存放區內是否存放有該些載具中之一第(N+1)順位的載具；在該第M順位的存放區內沒有該第(N+1)順位的載具時，選擇先檢查在該些存放區中之一第(M-1)順位的存放區內是否存放有該第N順位的載具；以及當該些存放區中之一最低順位的存放區存滿時，查詢該些存放區中之一次低順位的存放區是否存滿，且當該次低順位的存放區未存滿時，將該最高順位的存放區內的該最低順位的載具移動至該次低順位的存放區內；其中，M-N>1。
  10. 如請求項8所述之載具重組方法，其中檢查該第M順位的存放區的步驟包括選擇先檢查該些載具中之一最高順位的載具以及選擇先檢查該些存放區中之一最低順位的存放區；且該載具重組方法更包括：在該第M順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先檢查該些存放區中之一第(M+1)順位的存放區內是否存放有該第N順位的載具；在該第(M+1)順位的存放區內沒有該第N順位的載具時，選擇先檢查該第M順位的存放區內是否存放有該些載具中之一第(N-1)順位的載具；以及當該些存放區中之一最高順位的存放區存滿時，查詢該些存放區中之一次高順位的存放區是否存滿，且當該次高順位的存放 區未存滿時，將該最低順位的存放區內的該最高順位的載具移動至該次高順位的存放區內；其中，N-M>1。
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