CN114548708B - 空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质 - Google Patents

空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于仓库管理领域，方法包括通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识；基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。通过本申请的处理方案，可以对空晶圆盒进行区分，从而及时地响应生产中更换FOUP的需求。

Description

空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质
技术领域
本发明涉及仓库管理领域，具体涉及一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质。
背景技术
在晶圆生产过程中，常常需要空且清洁的晶盘盒(空FOUP)，例如，有时需要对同一工单的一批晶圆做拆批(即将该批晶圆分为多个批次)，需要采用空晶圆盒对被拆分出来的晶圆进行承装；或是对晶圆进行抽检量测，也需要另外干净的空晶圆盒；而且当晶圆在不同工艺步骤传递时，也需要空闲且清洁的晶盘盒。因此，在晶圆生产过程中，为了保证最终的晶圆的洁净度，系统需要对清洁的和非清洁的空FOUP区分，并且需要协调整个系统中每个存储仓(STOCKER)中空FOUP的数量是均衡的。
发明内容
因此，为了克服上述现有技术的缺点，本发明提供一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质。
为了实现上述目的，本发明提供一种空晶圆盒管理方法，包括：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制所述本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识；基于所述晶盒标识，通过所述本地管理设备生成输送所述空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
在其中一个实施例中，在所述根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：获取所述第一存储货架接收所述空晶圆盒的时长信息；判断所述时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
在其中一个实施例中，所述清洁请求的获取方法，包括：通过本地管理设备定时获取所述第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，所述本地管理设备生成清洁请求。
在其中一个实施例中，所述通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：当所述本地管理设备根据负载平衡控制原则判定所述第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，所述本地管理设备获取与所述第一存储货架相邻的第二存储货架；所述本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
在其中一个实施例中，所述负载平衡控制原则包括控制所述第一存储货架中空晶圆盒的数量不小于预设阈值。
在其中一个实施例中，方法还包括：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则以及第一工艺流程控制第一存储货架接收空晶圆盒，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁，并将所述空晶圆盒与所述第一工艺流程对应存储；当执行第二工艺流程，根据所述第一工艺流程获取未清洁的所述空晶圆盒。
本发明还提供了一种空晶圆盒管理装置，所述装置包括：状态设置模块，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；请求接收模块，用于控制所述本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；标识获取模块，用于根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识；路径生成模块，用于基于所述晶盒标识，通过所述本地管理设备生成输送所述空晶圆盒到清洁系统的输送路径；存储控制模块，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
本发明还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法的步骤。
本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。
与现有技术相比，本发明的优点在于：可以根据负载平衡控制原则控制各存储货架接收空晶圆盒，并对未清洁的空晶圆盒及时清洁，从而减少生产的等待时间，并可以对空晶圆盒进行区分，从而及时地响应生产中更换FOUP的需求。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本发明的实施例中空晶圆盒管理方法的流程示意图；
图2是本发明的实施例中空晶圆盒管理装置的结构框图；以及
图3是本发明的实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
以下通过特定的具体实施例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实施例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。
如图1所示，本申请实施例提供一种空晶圆盒管理方法，可以应用在终端或服务器上，终端可以但不限于是各种个人计算机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑和便携式智能设备，服务器可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现，在一个实施例中，空晶圆盒管理方法可以应用在MES系统中的终端或服务器上，方法包括以下步骤：
步骤101，通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
MCS(Material Control System)为物料管控系统，主要应用于半导体工厂对晶圆传送盒(Foup)的运送管理，也即为晶圆盒，运送的范围包括洁净室(FAB)内部运送、洁净室(FAB)与洁净室(FAB)之间的运送、跨楼层的运送，运送的地点包括机台、存储仓、悬挂式暂存货架(OHB)、传送机(Convery)，其目标是减少机台之间运送时间，提升运送效率。在半导体工艺中晶圆的加工步骤由MES(面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统)统一管理，晶圆下一站去哪里由MES通知给MCS，MCS收到MES的运输请求后，对运输请求进行拆解，依据不同的出发地对象及目的地对象拆解生成不同的指令，生成指令可以从晶圆批次类型、批次优先级、目标存储器容量、中继存储站的最优路径等方面综合考量。
服务器通过本地管理设备(MCS)根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。MCS可以存储所有晶盘盒的晶盒标识以及晶盘盒所在货架/存储仓上的地理地址。晶盒标识可以用FOUPID表示。空FOUP可分两种类型即为：空-清洁，以及空-不清洁两种状态，可分别用FAB-A和FAB-B表示。MES系统控制MCS系统根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，当空晶圆盒是从产线上替换下来的，此时无论空晶圆盒是否清洁，MCS系统的服务器均可以将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁、或者根据使用次数设定其未清洁状态。
步骤102，控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求。
服务器控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求。服务器控制MCS系统接收MES系统发来的对空晶圆盒的清洁请求。
步骤103，根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识。
服务器根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识。
步骤104，基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径。
服务器基于晶盒标识通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径。服务器基于晶盒标识获取空晶圆盒在存储仓中的地理地址，根据地理地址生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径。其中，不同空晶圆盒的输送顺序需要根据负载平衡控制原则进行输送，避免存储仓中空闲晶盘盘的数量低于或超出极限阈值。服务器将空晶圆盒输送给清洁中心(Non-Productive Wafer)，清洁中心清洁未清洁的空晶圆盒，并将清洁后的空晶圆盒的存储状态更改为清洁。清洁中心根据MCS的指令将已经清洁完成的空晶圆盒传送至STK上对应的位置处，本申请中的清洁中心还可以设置存储未清洁的空FOUP，或者已经清洁完成等待传送到各个相应位置处的清洁晶圆盒的存储货架。
步骤105，通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
服务器通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。每个空晶圆盒可以存储并携带自身的存储状态，当空晶圆盒被MCS系统控制存储仓接收时，空晶圆盒可以将存储状态上传给存储仓或MCS系统，MCS系统还可以根据接收到的存储状态变更数据库中存储的晶盒存储状态，此时MCS系统可以通过空晶圆盒携带的存储状态对整个管理系统进行核验，从而避免清洁过程中出错。
上述空晶圆盒管理方法，可以根据负载平衡控制原则控制各存储货架接收空晶圆盒，并对未清洁的空晶圆盒及时清洁，从而减少生产的等待时间，并可以对空晶圆盒进行区分，从而及时地响应生产中更换FOUP的需求。
在其中一个实施例中，在根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：获取第一存储货架接收空晶圆盒的时长信息；判断时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
服务器对位于第一存储货架上的所有空晶圆盒进行检测，避免空晶圆盒长时间未被使用而发生污染等情况。服务器获取第一存储货架接收空晶圆盒的时长信息；判断时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
在其中一个实施例中，清洁请求的获取方法，包括：通过本地管理设备定时获取第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，本地管理设备生成清洁请求。
服务器通过本地管理设备定时获取第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，本地管理设备生成清洁请求，MCS可以创建一个本地传输命令(M15)来将未清洁空FOUP移动到清洁中心。
在其中一个实施例中，通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：当本地管理设备根据负载平衡控制原则判定第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，本地管理设备获取与第一存储货架相邻的第二存储货架；本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
第二存储货架可以是与第一存储货架无关的货架，也可以是第一存储货架的备用货架，第二存储货架可以专门用于存储清洁的空晶圆盒。当第一存储货架上所有晶盘盒被占用，又急需清洁的空晶圆盒时，MCS系统可以控制晶盘盒输送设备将空晶圆盒从第二存储货架调用至第一存储货架。
在其中一个实施例中，负载平衡控制原则包括控制第一存储货架中空晶圆盒的数量不小于预设阈值。
MES可以以存储仓列表为目标，向MCS发出传输命令(S1)。根据负载平衡控制原则，MCS可以使同一组仓库(即存储同一类型FOUP的仓库)中各仓库的占用率一致。预设阈值可以根据同一组仓库的占用率进行设定，MCS使用存储仓组作为基础来进行负载平衡。预设阈值可以根据各仓库的优先级、各仓库的命令平衡计数、各仓库的占用率计算得到。
命令平衡计数是指每一个Stocker执行的命令数，为达到负载平衡对于选择执行Stocker时，一般为如果一个Stocker执行10次，另一个Stocker执行了100次，那下一次搬送指令就尽可能的发给那个执行10次的Stocker。
在本申请中，可以通过三种方式判断空晶圆盒的清洗状态，分别有搬运次数、空晶圆盒的时长信息、以及通过本地管理设备定时获取所述第一存储货架的空晶圆盒的存储状态，在一个实施例中，系统可以判断在三种状态中哪一个状态先满足条件，则即可控制进行清洗；例如同一个空晶圆盒时长信息为达到时，搬运次数已经达到时，即可开始执行清洗。
在其中一个实施例中，方法还包括：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则以及第一工艺流程控制第一存储货架接收空晶圆盒，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁，并将空晶圆盒与第一工艺流程一一对应存储；当执行第二工艺流程，根据第一工艺流程获取未清洁的空晶圆盒。
上述方法，可以保证在晶圆处理流程中晶盘盒的原进原出。而且也可以根据晶盒处理的需要，获取清洁或未清洁的空晶圆盒。
在一个实施例中，如图2所示，提供了一种空晶圆盒管理装置，装置包括状态设置模块201、请求接收模块202、标识获取模块203、路径生成模块204和存储控制模块205。
状态设置模块201，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
请求接收模块202，用于控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求。
标识获取模块203，用于根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识。
路径生成模块204，用于基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径。
存储控制模块205，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
在一个实施例中，装置还包括：
时长获取模块，用于获取第一存储货架接收空晶圆盒的时长信息。
判断模块，用于判断时长信息是否超出预设阈值。
状态更改模块，用于当判定为是时，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
在一个实施例中，装置还包括：
状态获取模块，用于通过本地管理设备定时获取第一存储货架的空晶圆盒的存储状态。
清洁请求生成模块，用于当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，本地管理设备生成清洁请求。
在一个实施例中，存储控制模块包括：
第二存储货架获取单元，用于当本地管理设备根据负载平衡控制原则判定第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，本地管理设备获取与第一存储货架相邻的第二存储货架。
存储控制单元，用于本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
本申请的提供的一种空晶圆盒管理装置的实施方式中各模块的具体实施方式参见本申请中空晶圆盒管理方法的各实施例，再次不在进行赘述。
在本申请中为了能够实现多台存储仓(STOCKER，即简称STK)中每个存储仓中的阁位能够均衡合理有效的利用，同时也可是均衡有效的管理，本申请通过MCS控制传输清洁空晶圆盒在放置在各阁位内时，或取出未清洁晶圆盒时采用的是负载平衡控制，具体以以下的实施进行阐述：
本申请中将为每个STK设置对应的供应STK，以从供应STK获得清洁空晶圆盒(空晶圆盒即为空FOUP)。例如，下表所示，目的STK(GP301)可以具有两个对应的供应STK(1-GN301和1-GN302)，GP301存储仓中的空FOUP来源于GN301、GN302；目的STK(GP302)可以具有两个对应的供应STK(2-GN301和2-GN302)，GP302存储仓中的空FOUP来源于GN301、GN302。
目的STK 源STK 源STK
GP301 1-GN301 1-GN302
GP302 2-GN301 2-GN302
在不同供应STK中，存储的空FOUP的数量以及存储次数可以完全不一致，如下表所示，Total:物理格位；H/WM:高水位(最高存放格位数)；L/WM:低水位(最低存放格位数)；当高水位＝低水位＝Total时该项的设定不启用。具体地，GN301中有3个清洁空FOUP、GN302中有1个清洁空FOUP。
GP301存储仓中的总容量为10，由于当前清洁空FOUP的数量3小于设定的最小数量5，则还需要从供应仓中调2个空FOUP到GP301中，使其达到设定的最小存储数量。
GP302存储仓中的总容量为10，由于当前清洁空FOUP的数量2小于设定的最小数量5，则还需要从供应仓中调3个空FOUP到GP302中，使其达到设定的最小存储数量。
由于此时GN301中有3个清洁空FOUP，GN302中有1个清洁空FOUP，所以此时将GN301中的2个清洁空FOUP调至GP301中，再将GN301中剩余的1个清洁空FOUP和GN302中1个清洁空FOUP调至GP302中，等到GN301或GN302中再有清洁空FOUP时，再调一个清洁空FOUP去GP302，以达到存放的最小值
当前状态小于最小值时，则放置个数为最小值-当前状态。
当前状态大于等于最小值时，则不需要继续放置。
Figure BDA0003495771520000141
关于空晶圆盒管理装置的具体限定可以参见上文中对于空晶圆盒管理方法的限定，在此不再赘述。上述空晶圆盒管理装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图3所示。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口和数据库。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的数据库用于存储存储状态、晶盒标识等信息。该计算机设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种空晶圆盒管理方法。
本领域技术人员可以理解，图3中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。
在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，该存储器存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识；基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的在根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：获取第一存储货架接收空晶圆盒的时长信息；判断时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的清洁请求的获取方法，包括：通过本地管理设备定时获取第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，本地管理设备生成清洁请求。
在一个实施例中，处理器执行计算机程序时实现的通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：当本地管理设备根据负载平衡控制原则判定第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，本地管理设备获取与第一存储货架相邻的第二存储货架；本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识；基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的在根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：获取第一存储货架接收空晶圆盒的时长信息；判断时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的清洁请求的获取方法，包括：通过本地管理设备定时获取第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，本地管理设备生成清洁请求。
在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时实现的通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：当本地管理设备根据负载平衡控制原则判定第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，本地管理设备获取与第一存储货架相邻的第二存储货架；本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种空晶圆盒管理方法，其特征在于，包括：
通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；
控制所述本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；
根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识；
基于所述晶盒标识，通过所述本地管理设备生成输送所述空晶圆盒到清洁系统的输送路径；
通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：
获取所述第一存储货架接收所述空晶圆盒的时长信息；
判断所述时长信息是否超出预设阈值；
当判定为是时，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洁请求的获取方法，包括：
通过本地管理设备定时获取所述第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；
当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，所述本地管理设备生成清洁请求。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：
当所述本地管理设备根据负载平衡控制原则判定所述第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，所述本地管理设备获取与所述第一存储货架相邻的第二存储货架；
所述本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述负载平衡控制原则包括控制所述第一存储货架中空晶圆盒的数量不小于预设阈值。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：
获取所述空晶圆盒的搬运次数；
判断所述搬运次数是否超出预设阈值；
当判定为是时，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，方法还包括：
通过本地管理设备根据负载平衡控制原则以及第一工艺流程控制第一存储货架接收空晶圆盒，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁，并将所述空晶圆盒与所述第一工艺流程对应存储；
当执行第二工艺流程，根据所述第一工艺流程获取未清洁的所述空晶圆盒。
8.一种空晶圆盒管理装置，其特征在于，所述装置包括：
状态设置模块，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；
请求接收模块，用于控制所述本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；
标识获取模块，用于根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识；
路径生成模块，用于基于所述晶盒标识，通过所述本地管理设备生成输送所述空晶圆盒到清洁系统的输送路径；
存储控制模块，用于通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。
9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114850162B (zh) * 2022-03-31 2024-02-20 上海哥瑞利软件股份有限公司 半导体12寸MES系统中FOUP Clean的自动化流程设计方法及系统

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW556252B (en) * 2001-01-10 2003-10-01 Asyst Technologies Transportable container including an internal environment monitor
JP2005203498A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Renesas Technology Corp ウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法
TWI290861B (en) * 2001-08-31 2007-12-11 Applied Materials Inc A method and apparatus for processing a wafer
CN101393427A (zh) * 2007-09-17 2009-03-25 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种晶圆盒清洗提示系统以及方法
JP2010241515A (ja) * 2009-04-01 2010-10-28 Murata Machinery Ltd 保管倉庫
CN209216929U (zh) * 2018-11-08 2019-08-06 上海华力集成电路制造有限公司 传送不同污染程度硅片的导片机
TW202003353A (zh) * 2018-05-24 2020-01-16 日商昕芙旎雅股份有限公司 基板收納容器管理系統、裝載埠、基板收納容器管理方法
CN113161254A (zh) * 2021-03-24 2021-07-23 创微微电子(常州)有限公司 晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6778879B2 (en) * 2002-10-10 2004-08-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Automated material handling system and method of use
JP4670808B2 (ja) * 2006-12-22 2011-04-13 ムラテックオートメーション株式会社 コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ
US9875921B2 (en) * 2015-05-07 2018-01-23 Fabmatics Gmbh Flexible purge management system
CN110534455A (zh) * 2018-05-24 2019-12-03 昕芙旎雅有限公司 基板收纳容器管理系统、装载端口、基板收纳容器管理方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW556252B (en) * 2001-01-10 2003-10-01 Asyst Technologies Transportable container including an internal environment monitor
TWI290861B (en) * 2001-08-31 2007-12-11 Applied Materials Inc A method and apparatus for processing a wafer
JP2005203498A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Renesas Technology Corp ウエハストッカ、半導体装置の搬送システムおよび搬送方法
CN101393427A (zh) * 2007-09-17 2009-03-25 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种晶圆盒清洗提示系统以及方法
JP2010241515A (ja) * 2009-04-01 2010-10-28 Murata Machinery Ltd 保管倉庫
TW202003353A (zh) * 2018-05-24 2020-01-16 日商昕芙旎雅股份有限公司 基板收納容器管理系統、裝載埠、基板收納容器管理方法
CN209216929U (zh) * 2018-11-08 2019-08-06 上海华力集成电路制造有限公司 传送不同污染程度硅片的导片机
CN113161254A (zh) * 2021-03-24 2021-07-23 创微微电子(常州)有限公司 晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法

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