JP4762025B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
すなわち、処理部のリソースを使用するにあたり、必ず液交換を行ってからロットの処理を行ったり、ロットの処理を行った後に必ず液交換を行ったりする、「付随液交換処理」を伴う特定処理工程というものがある。そのため、このような特定処理工程が定期液交換処理に隣接して配置されると、定期液交換、処理、付随液交換のように短時間の間に二回の液交換が行われることになる。したがって、付随液交換処理がある場合に、定期液交換処理を固定的に配置する従来の方法でスケジューリングを行うと、処理液の浪費につながるとともにスループットが低下するという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、基板をどのようにして処理するかを規定した処理工程に付随するとともに、ロットを処理するにあたり、特定のロットだけを新液で処理するために処理液の交換を行う付随液交換処理とを考慮し、前の定期液交換処理または前の付随液交換処理からライフタイムだけ経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、付随液交換処理を伴う特定処理工程が前記定期液交換処理に時間的に重複もしくは隣接または近接して配置される場合には、前記定期液交換処理を削除して前記特定処理工程を優先して配置することにより、処理工程の直前に前記付随液交換処理を行うとともに、前記付随液交換処理からライフタイム後に定期液交換処理を配置することを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図2は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
1 … カセット
11 … 第1搬送機構
13 … 第2搬送機構
15 … 第3搬送機構
17 … 乾燥処理部
19 … 第1処理部
21 … 純水洗浄処理部
23 … 薬液処理部
25 … 副搬送機構
27 … 第2処理部
29 … 純水洗浄処理部
31 … 薬液処理部
33 … 副搬送機構
35 … カセット洗浄部
37 … 制御部
39 … スケジューリング部
41 … 処理実行指示部
43 … 記憶部
ex−b … 薬液交換処理
ex … 定期液交換処理
Claims (3)
- 処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、基板をどのようにして処理するかを規定した処理工程に付随するとともに、ロットを処理するにあたり、特定のロットだけを新液で処理するために処理液の交換を行う付随液交換処理とを考慮し、
前の定期液交換処理または前の付随液交換処理からライフタイムだけ経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、付随液交換処理を伴う特定処理工程が前記定期液交換処理に時間的に重複もしくは隣接または近接して配置される場合には、前記定期液交換処理を削除して前記特定処理工程を優先して配置することにより、処理工程の直前に前記付随液交換処理を行うとともに、前記付随液交換処理からライフタイム後に定期液交換処理を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
優先して配置される前記特定処理工程は、その付随液交換処理が、前の付随液交換処理または前の定期液交換処理からライフタイム内であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、基板をどのようにして処理するかを規定した処理工程に付随するとともに、ロットを処理するにあたり、特定のロットだけを新液で処理するために処理液の交換を行う付随液交換処理とを考慮し、
前の定期液交換処理または前の付随液交換処理からライフタイムだけ経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、付随液交換処理を伴う特定処理工程が前記定期液交換処理に時間的に重複もしくは隣接または近接して配置される場合には、前記定期液交換処理を削除して前記特定処理工程を優先して配置することにより、処理工程の直前に前記付随液交換処理を行うとともに、前記付随液交換処理からライフタイム後に定期液交換処理を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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