JP3880348B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に薬液の寿命により液交換作業が生じる基板処理装置におけるスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
処理液を使用する薬液処理部を備えた基板処理装置においては、処理液の寿命、すなわち、処理液の使用時間に基づく寿命である「ライフタイム」と、処理液の使用回数に基づく寿命である「ライフカウント」とにより液交換を定期的に行なう必要がある。
【０００３】
従来の基板処理装置では、ライフカウントあるいはライフライムがアップしたという情報に基づいて、投入部からの新たなロットの搬入を停止するとともに、薬液処理部では処理するロットがなくなったことを受けてから液交換作業を行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の基板処理装置では、装置内に投入済みのロットが存在し、そのレシピが薬液処理部を使用するものであれば、そのロットに対する処理が完了するまでは、処理液が寿命になっているにもかかわらず処理が継続されることになる。換言すると、ロットに対する処理を最優先するので、液交換が遅れがちになり、ライフタイムやライフカウントに伴う液交換が守られないことが多いという問題がある。
【０００５】
上記のように液交換が守られないと、寿命に達している処理液による処理が行なわれることが生じるので、プロセスの再現性が低くなったり、処理不良が生じたりといったことが生じる恐れがある。
【０００６】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理液の寿命に伴う液交換予定を優先的に配置することによって、ライフタイムやライフカウントに伴う液交換を正確に実行することが可能な基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、ライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置した後は、液交換の対象となった処理部においては前記液交換予定の前への次ロットの処理部の使用タイミングの配置を回避することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、ライフカウントがアップした場合であって、ロットにおける液交換の対象となった処理部の使用間隔が液交換に要する時間よりも短い場合には、前記ロットの処理部の使用が終了した後に液交換予定を配置することを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記ロットの各リソースの使用タイミングの配置は、複数の処理工程を含むレシピに基づき、かつ、処理後にロットを待機させることが許容される処理工程で区切られたブロックごとに行なわれることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後に、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくように制御することを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、制御部は、各処理部のリソースにライフタイムに応じた液交換予定をまず配置し、その間をぬうようにして各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置するので、ライフタイムに忠実に液交換を実施可能である。各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定を削除して液交換予定をその直後に配置するので、ライフカウントがアップした直後に液交換を行なうことができる。
【００１３】
なお、本発明におけるリソースとは、例えば、基板を搬送する搬送機構、純水を含んだ処理液で基板を洗浄する純水洗浄処理部、加熱した純水を供給する温水ユニット、薬液を含んだ処理液で基板を洗浄する薬液処理部、基板を加熱する加熱処理部などを含む。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、ライフカウントは使用回数に伴う寿命であるので、これに伴って液交換予定を配置した後に、その前にロットの配置を行なうとライフカウントが増えてしまう。そこで前には配置しないようにすることでライフカウントがオーバーするのを防止できる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、ロットによる処理が複数回処理部を使用するような場合であって、ロットにおける処理部におけるロットの使用間隔が液交換時間よりも短い場合には、ロットによる処理部の使用が全て終了した後に液交換予定を配置することで、レシピの関係上ライフカウントによる液交換が正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施できる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、一つのリソースごとといった小さ過ぎる単位や一つのレシピといった大き過ぎる単位でなく、レシピのうちの待機が許容される処理工程で区切られたブロックごとに配置することでスケジュールの作成が効率的にできる。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、プログラムとして上記請求項１と同様の作用を生じる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２は本発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。
【００１９】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２０】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２１】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００２２】
上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００２３】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する第１副搬送機構２５を備えている。この第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。
【００２４】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。
【００２５】
第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部３５は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００２６】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００２７】
制御部３７は、ＣＰＵなどから構成されており、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相当する手順に基づき、レシピに応じて上述した各構成のリソースの使用タイミングを実際に処理を開始する前に予め決定する。その後、実際にロットを処理するにあたり、作成されたスケジュールに基づき各リソースを使用してレシピに応じた処理をロットに対して施す。
【００２８】
記憶部３９には、この基板処理装置のユーザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。
【００２９】
ところで、薬液処理部２３，３１においては薬液を含む処理液を使用するが、処理液にはそれを生成した時点からの経過時間に相当する使用時間に基づき寿命を規定した「ライフタイム」と、処理液の使用回数に基づき寿命を規定する「ライフカウント」とが存在する。したがって、上述した制御部３７は、スケジュールを作成するにあたり、まずライフタイムによる液交換予定を配置し、続いてロットの処理工程（各リソースの使用タイミング）を配置してゆく、その際にライフカウントがアップした場合にはそれ以降に配置されているライフタイムを削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントアップに伴う液交換予定を配置し、ライフタイムに応じた液交換予定を再び配置した後に各ロットの処理工程を配置してゆく点が特徴的になっている。
【００３０】
次に、図３ないし７のスケジュールの作成過程を示したタイムチャートを参照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順について説明する。
【００３１】
なお、レシピは、理解を容易にするために実際のものよりも簡略化したものを例に採って説明する。
【００３２】
具体的なレシピとしては、
リソースとして、第２搬送機構１３、純水洗浄処理部２９、薬液処理部３１、純水洗浄処理部２９を使用する各処理工程からなるブロックＡと、
リソースとして、純水洗浄処理部２１、薬液処理部２３、純水洗浄処理部２１を使用する各処理工程からなるブロックＢと、
リソースとして、乾燥処理部１７、第２搬送機構１３を使用する各処理工程からなるブロックＣと、
を有するものとする。
【００３３】
なお、このレシピでは、リソースとしての第３搬送機構１５、第１副搬送機構２５、第２副搬送機構３３は省略されている。
【００３４】
また、各処理部における処理には、予め処理時間が決められてはいるものの、処理を終えた後に次の処理工程までにある程度待機させても問題ない場合がある。例えば、第２搬送機構１３等による搬送処理では基板Ｗをカセット１から取り出した状態で待機さておいてもよく、純水洗浄処理部２９等による純水洗浄処理では基板Ｗを純水中に待機させておいてもよく、乾燥処理部１７による乾燥処理では基板Ｗを乾燥させた後に待機しておいても問題はない。上述したレシピは、一部を複数回行なう９つの処理工程から構成されているが、このように待機させてもよい処理工程で区切るようにして上述したブロックＡ〜Ｃに分けている。
【００３５】
まず、ロットの処理工程を配置するのに先立って、処理液のライフタイムに基づく液交換予定ｅｘを配置する。具体的には、図３に示すように、時間ｔ０〜ｔ２にわたってリソースとしての薬液処理部２３に対して液交換予定ｅｘが配置され、そのライフタイムに応じたＴ１時間後である時間ｔ４〜ｔ６にわたって液交換予定ｅｘが配置され、さらにそのＴ１時間後である時間ｔ８〜ｔ１０にわたって液交換予定ｅｘが配置される。
【００３６】
また、同様にして、薬液処理部３１に対しても処理液のライフタイムに基づいて時間ｔ１〜ｔ３、時間ｔ５〜ｔ７、時間ｔ９〜ｔ１１にわたって液交換予定ｅｘを配置する。その時間間隔は、ライフタイムに応じた時間Ｔ２としてある。なお、ライフカウントは「３」になった時点、つまり処理液を３回使用した時点で既定値に達したとする「アップ」になったものと扱う。
【００３７】
次に、図４に示すように、液交換予定ｅｘと重複しないようにしながら、第１ロットのブロックＡ（図中では他のロットと区別するため符号１−Ａと示す）を配置し、ブロックＢ（符号１−Ｂ）を配置し、さらにブロックＣ（符号１−Ｃ）を配置する。このとき薬液処理部３１における液交換予定ｅｘが配置されていることにより、純水洗浄処理部２９において待ち時間（点線で示す）が生じる。なお、この時点において、薬液処理部２３と薬液処理部３１ともにライフカウントＬＣは「１」となる。
【００３８】
次に、図５に示すように、第２ロットのブロックＡ（符号２−Ａ）とブロックＢ（符号２−Ｂ）とを配置し、さらに第３ロットのブロックＡ（符号３−Ａ）を配置する。この時点において、薬液処理部３１だけがライフカウントＬＣ＝３となってアップとなる。
【００３９】
第３ロットのブロックＡ（符号３−Ａ）を配置した時点で薬液処理部３１のライフカウントがアップする（ＬＣ＝３）ので、図６に示すように、これ以降に配置されているライフタイムに基づく液交換予定ｅｘを一旦削除し（図中に点線で示す）、ライフカウントがアップした直後、つまり時間ｔａ〜ｔｂにわたってライフカウントに応じた新たな液交換予定ｅｘ−ｃを配置する。さらに、この液交換予定ｅｘ−ｃから時間Ｔ２後に新たな液交換予定ｅｘ´を配置する。
【００４０】
そして、図７に示すように、第２ロットと第３ロットの残りのブロックを配置する。つまり、第２ロットのブロックＣ（符号２−Ｃ）を配置し、第３ロットのブロックＢ（符号３−Ｂ）を配置した後、第３ロットのブロックＣ（符号３−Ｃ）を配置する。
【００４１】
このようにして予め作成したスケジュールを記憶部３９に格納し、制御部３７が基板Ｗを含むロットを実際に処理するために各リソースをスケジュールに従って制御する。
【００４２】
このようにライフタイムに応じた液交換予定ｅｘを先に配置し、その間を埋めるようにして各ロットのブロック、すなわち各ロットの各リソースの使用タイミングを配置することでライフタイムに忠実に液交換が実施可能となる。さらに、各ロットのブロックを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定ｅｘを削除して液交換予定ｅｘ−ｃをその直後に配置することでライフカウントのアップ直後に液交換を行なうようにスケジュールが可能である。よって液交換を優先的に配置ことで液交換を正確に実行できる。
【００４３】
なお、上記の実施例では、ロットを配置するのに複数の処理工程を含むブロックを単位に配置していった。このような配置単位とすることにより、処理工程ごとのように小さ過ぎず、レシピごとのように大き過ぎずに効率的にスケジュール作成が可能となっている。しかしながら、本発明は処理工程ごとやレシピごとの配置を行なうようにしてもよい。
【００４４】
上記のスケジュール作成によりスケジュールを予め作成するにあたり、次の二点を付加的に考慮することが好ましい。
【００４５】
＜付加処理１＞
図８（ａ）のタイムチャートを参照する。
第１ロットのブロックが、第２搬送機構１３と、純水洗浄処理部２１と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９との処理工程からなり、時間ｔｅに薬液処理部３１による処理が開始されるスケジュールが作成されたものとする。そして、これにより薬液処理部３１のライフカウントがアップしたものとする。したがって、上述したスケジュール作成方法に基づいて薬液処理部３１による処理工程の直後、時間ｔｆ〜ｔｇにわたり液交換予定ｅｘ−ｃが配置されることになる。
【００４６】
ここで、矢印で示すタイミングで新規のロット（第２ロット）が投入されるものとする。この場合には、新規ロットのレシピによっては図８（ｂ）のタイムチャート中に点線矩形で示すように、液交換予定ｅｘ−ｃの前に薬液処理部３１によるロットの処理が配置されるようにすることが可能である。しかしながら、この場合にはライフカウントがアップした後に新たに薬液を使用する処理を行なうことで、予定したライフカウントが狂うことになる。
【００４７】
そこで、ライフカウントがアップしたことに伴う液交換予定ｅｘ−ｃを配置した後は、その前へのロットの配置を回避するルールを適用する。これにより新規ロットは、薬液処理部３１による処理が液交換予定ｅｘ−ｃの後ろに隣接するように配置されることになる。これによりライフカウントがオーバーするのを防止し、スケジュールの作成を適切に行なうようにすることができる。
【００４８】
＜付加処理２＞
図９（ａ）のタイムチャートを参照する。
このロットのブロックは、第２搬送機構１３と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９との処理工程を含むものとする。通常、薬液処理を二度行なう場合には、その間に純水処理が入ってそこで待機できるのでより小さなブロックに分けてスケジュールすることが考えられる。しかし、プロセスの実際においては、二度の薬液処理を規定時間内に行なうことが必須となるものもある。
【００４９】
このような場合に、時間ｔｈ〜ｔｉにわたり薬液処理部３１において薬液処理を行ない、時間ｔｉ〜ｔｊにわたって純水洗浄処理部２９において純水処理を行ない、最初の薬液処理からＴＧ時間後に再び薬液処理部３１において薬液処理を時間ｔｊ〜ｔｋにわたって行なう場合であって、最初の薬液処理時にライフカウントがアップするような状況を想定する。しかも、図９（ｂ）に示すように薬液使用間隔に相当するＴＧ時間が液交換予定ｅｘ−ｃに要するＴｅｘ時間よりも短く、ライフカウントがアップした直後に液交換予定ｅｘ−ｃを配置することはできないものとする。
【００５０】
このような場合には、図９（ｃ）のタイムチャートに示すように、後の薬液処理が終わる時点ｔｋにおいて液交換予定ｅｘを配置する。これによりレシピの関係上ライフカウントによる液交換を正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施することができる。したがって、ロットの処理を正確に行ないつつもライフカウントに伴う液交換もほぼ正確に実施することができる。
【００５１】
なお、本発明は、予め処理の前にスケジュールを作成してから実際の処理を行なうのであれば適用可能であるが、そのなかでも次のようなスケジュール作成方法が好適である。この方法における処理工程とは、上述したブロックである場合も含む。
【００５２】
すなわち、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するのである。
【００５３】
この方法によれば、予めスケジュールすることで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率を向上することができる。
【００５４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、制御部は、処理部のリソースにライフタイムに応じた液交換予定を配置し、その間をぬうようにして各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置することでライフタイムに忠実に液交換を実施可能であり、各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定を削除して液交換予定をその直後に配置することでライフカウントのアップ直後に液交換を行なえる。このように液交換を優先的に配置ことで液交換を正確に実行することができる。
【００５５】
請求項２に記載の発明によれば、液交換予定の前へのロットの処理部の使用タイミング配置を回避することでライフカウントがオーバーするのを防止し、スケジュールの作成を適切に行なうことができる。
【００５６】
請求項３に記載の発明によれば、ロットにおける処理部の使用間隔が液交換時間よりも短い場合には、ロットによる処理部の使用が全て終了した後に液交換予定を配置することで、レシピの関係上ライフカウントによる液交換が正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施できる。したがって、ロットの処理を正確に行ないつつもライフカウントに伴う液交換もほぼ正確に実施することができる。
【００５７】
請求項４に記載の発明によれば、レシピのうちの待機させることが許容される処理工程で区切られたブロックごとに配置することでスケジュールの作成を効率的に行なうことができる。
【００５８】
請求項５に記載の発明によれば、プログラムとして上記請求項１と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図４】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図５】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図６】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図７】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図８】スケジュールの作成過程における付加処理を示すタイムチャートである。
【図９】スケジュールの作成過程における付加処理を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
１ … カセット
３ … 投入部
１１ … 第１搬送機構
１３ … 第２搬送機構
１５ … 第３搬送機構
１７ … 乾燥処理部
１９ … 第１処理部
２１ … 純水洗浄処理部
２３ … 薬液処理部
２５ … 第１副搬送機構
２７ … 第２処理部
２９ … 純水洗浄処理部
３１ … 薬液処理部
３３ … 第２副搬送機構
３７ … 制御部
３９ … 記憶部
ｅｘ … 液交換予定
ｅｘ−ｃ … ライフカウントのアップに伴う液交換予定
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に薬液の寿命により液交換作業が生じる基板処理装置におけるスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
処理液を使用する薬液処理部を備えた基板処理装置においては、処理液の寿命、すなわち、処理液の使用時間に基づく寿命である「ライフタイム」と、処理液の使用回数に基づく寿命である「ライフカウント」とにより液交換を定期的に行なう必要がある。
【０００３】
従来の基板処理装置では、ライフカウントあるいはライフライムがアップしたという情報に基づいて、投入部からの新たなロットの搬入を停止するとともに、薬液処理部では処理するロットがなくなったことを受けてから液交換作業を行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の基板処理装置では、装置内に投入済みのロットが存在し、そのレシピが薬液処理部を使用するものであれば、そのロットに対する処理が完了するまでは、処理液が寿命になっているにもかかわらず処理が継続されることになる。換言すると、ロットに対する処理を最優先するので、液交換が遅れがちになり、ライフタイムやライフカウントに伴う液交換が守られないことが多いという問題がある。
【０００５】
上記のように液交換が守られないと、寿命に達している処理液による処理が行なわれることが生じるので、プロセスの再現性が低くなったり、処理不良が生じたりといったことが生じる恐れがある。
【０００６】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理液の寿命に伴う液交換予定を優先的に配置することによって、ライフタイムやライフカウントに伴う液交換を正確に実行することが可能な基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、ライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置した後は、液交換の対象となった処理部においては前記液交換予定の前への次ロットの処理部の使用タイミングの配置を回避することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、ライフカウントがアップした場合であって、ロットにおける液交換の対象となった処理部の使用間隔が液交換に要する時間よりも短い場合には、前記ロットの処理部の使用が終了した後に液交換予定を配置することを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記ロットの各リソースの使用タイミングの配置は、複数の処理工程を含むレシピに基づき、かつ、処理後にロットを待機させることが許容される処理工程で区切られたブロックごとに行なわれることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後に、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくように制御することを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、制御部は、各処理部のリソースにライフタイムに応じた液交換予定をまず配置し、その間をぬうようにして各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置するので、ライフタイムに忠実に液交換を実施可能である。各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定を削除して液交換予定をその直後に配置するので、ライフカウントがアップした直後に液交換を行なうことができる。
【００１３】
なお、本発明におけるリソースとは、例えば、基板を搬送する搬送機構、純水を含んだ処理液で基板を洗浄する純水洗浄処理部、加熱した純水を供給する温水ユニット、薬液を含んだ処理液で基板を洗浄する薬液処理部、基板を加熱する加熱処理部などを含む。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、ライフカウントは使用回数に伴う寿命であるので、これに伴って液交換予定を配置した後に、その前にロットの配置を行なうとライフカウントが増えてしまう。そこで前には配置しないようにすることでライフカウントがオーバーするのを防止できる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、ロットによる処理が複数回処理部を使用するような場合であって、ロットにおける処理部におけるロットの使用間隔が液交換時間よりも短い場合には、ロットによる処理部の使用が全て終了した後に液交換予定を配置することで、レシピの関係上ライフカウントによる液交換が正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施できる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、一つのリソースごとといった小さ過ぎる単位や一つのレシピといった大き過ぎる単位でなく、レシピのうちの待機が許容される処理工程で区切られたブロックごとに配置することでスケジュールの作成が効率的にできる。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、プログラムとして上記請求項１と同様の作用を生じる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２は本発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。
【００１９】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２０】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２１】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００２２】
上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００２３】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する第１副搬送機構２５を備えている。この第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。
【００２４】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２７が配備されている。この第２処理部２７は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。
【００２５】
第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部３５は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００２６】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３７によって統括的に制御される。
【００２７】
制御部３７は、ＣＰＵなどから構成されており、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相当する手順に基づき、レシピに応じて上述した各構成のリソースの使用タイミングを実際に処理を開始する前に予め決定する。その後、実際にロットを処理するにあたり、作成されたスケジュールに基づき各リソースを使用してレシピに応じた処理をロットに対して施す。
【００２８】
記憶部３９には、この基板処理装置のユーザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。
【００２９】
ところで、薬液処理部２３，３１においては薬液を含む処理液を使用するが、処理液にはそれを生成した時点からの経過時間に相当する使用時間に基づき寿命を規定した「ライフタイム」と、処理液の使用回数に基づき寿命を規定する「ライフカウント」とが存在する。したがって、上述した制御部３７は、スケジュールを作成するにあたり、まずライフタイムによる液交換予定を配置し、続いてロットの処理工程（各リソースの使用タイミング）を配置してゆく、その際にライフカウントがアップした場合にはそれ以降に配置されているライフタイムを削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントアップに伴う液交換予定を配置し、ライフタイムに応じた液交換予定を再び配置した後に各ロットの処理工程を配置してゆく点が特徴的になっている。
【００３０】
次に、図３ないし７のスケジュールの作成過程を示したタイムチャートを参照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順について説明する。
【００３１】
なお、レシピは、理解を容易にするために実際のものよりも簡略化したものを例に採って説明する。
【００３２】
具体的なレシピとしては、
リソースとして、第２搬送機構１３、純水洗浄処理部２９、薬液処理部３１、純水洗浄処理部２９を使用する各処理工程からなるブロックＡと、
リソースとして、純水洗浄処理部２１、薬液処理部２３、純水洗浄処理部２１を使用する各処理工程からなるブロックＢと、
リソースとして、乾燥処理部１７、第２搬送機構１３を使用する各処理工程からなるブロックＣと、
を有するものとする。
【００３３】
なお、このレシピでは、リソースとしての第３搬送機構１５、第１副搬送機構２５、第２副搬送機構３３は省略されている。
【００３４】
また、各処理部における処理には、予め処理時間が決められてはいるものの、処理を終えた後に次の処理工程までにある程度待機させても問題ない場合がある。例えば、第２搬送機構１３等による搬送処理では基板Ｗをカセット１から取り出した状態で待機さておいてもよく、純水洗浄処理部２９等による純水洗浄処理では基板Ｗを純水中に待機させておいてもよく、乾燥処理部１７による乾燥処理では基板Ｗを乾燥させた後に待機しておいても問題はない。上述したレシピは、一部を複数回行なう９つの処理工程から構成されているが、このように待機させてもよい処理工程で区切るようにして上述したブロックＡ〜Ｃに分けている。
【００３５】
まず、ロットの処理工程を配置するのに先立って、処理液のライフタイムに基づく液交換予定ｅｘを配置する。具体的には、図３に示すように、時間ｔ０〜ｔ２にわたってリソースとしての薬液処理部２３に対して液交換予定ｅｘが配置され、そのライフタイムに応じたＴ１時間後である時間ｔ４〜ｔ６にわたって液交換予定ｅｘが配置され、さらにそのＴ１時間後である時間ｔ８〜ｔ１０にわたって液交換予定ｅｘが配置される。
【００３６】
また、同様にして、薬液処理部３１に対しても処理液のライフタイムに基づいて時間ｔ１〜ｔ３、時間ｔ５〜ｔ７、時間ｔ９〜ｔ１１にわたって液交換予定ｅｘを配置する。その時間間隔は、ライフタイムに応じた時間Ｔ２としてある。なお、ライフカウントは「３」になった時点、つまり処理液を３回使用した時点で既定値に達したとする「アップ」になったものと扱う。
【００３７】
次に、図４に示すように、液交換予定ｅｘと重複しないようにしながら、第１ロットのブロックＡ（図中では他のロットと区別するため符号１−Ａと示す）を配置し、ブロックＢ（符号１−Ｂ）を配置し、さらにブロックＣ（符号１−Ｃ）を配置する。このとき薬液処理部３１における液交換予定ｅｘが配置されていることにより、純水洗浄処理部２９において待ち時間（点線で示す）が生じる。なお、この時点において、薬液処理部２３と薬液処理部３１ともにライフカウントＬＣは「１」となる。
【００３８】
次に、図５に示すように、第２ロットのブロックＡ（符号２−Ａ）とブロックＢ（符号２−Ｂ）とを配置し、さらに第３ロットのブロックＡ（符号３−Ａ）を配置する。この時点において、薬液処理部３１だけがライフカウントＬＣ＝３となってアップとなる。
【００３９】
第３ロットのブロックＡ（符号３−Ａ）を配置した時点で薬液処理部３１のライフカウントがアップする（ＬＣ＝３）ので、図６に示すように、これ以降に配置されているライフタイムに基づく液交換予定ｅｘを一旦削除し（図中に点線で示す）、ライフカウントがアップした直後、つまり時間ｔａ〜ｔｂにわたってライフカウントに応じた新たな液交換予定ｅｘ−ｃを配置する。さらに、この液交換予定ｅｘ−ｃから時間Ｔ２後に新たな液交換予定ｅｘ´を配置する。
【００４０】
そして、図７に示すように、第２ロットと第３ロットの残りのブロックを配置する。つまり、第２ロットのブロックＣ（符号２−Ｃ）を配置し、第３ロットのブロックＢ（符号３−Ｂ）を配置した後、第３ロットのブロックＣ（符号３−Ｃ）を配置する。
【００４１】
このようにして予め作成したスケジュールを記憶部３９に格納し、制御部３７が基板Ｗを含むロットを実際に処理するために各リソースをスケジュールに従って制御する。
【００４２】
このようにライフタイムに応じた液交換予定ｅｘを先に配置し、その間を埋めるようにして各ロットのブロック、すなわち各ロットの各リソースの使用タイミングを配置することでライフタイムに忠実に液交換が実施可能となる。さらに、各ロットのブロックを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定ｅｘを削除して液交換予定ｅｘ−ｃをその直後に配置することでライフカウントのアップ直後に液交換を行なうようにスケジュールが可能である。よって液交換を優先的に配置ことで液交換を正確に実行できる。
【００４３】
なお、上記の実施例では、ロットを配置するのに複数の処理工程を含むブロックを単位に配置していった。このような配置単位とすることにより、処理工程ごとのように小さ過ぎず、レシピごとのように大き過ぎずに効率的にスケジュール作成が可能となっている。しかしながら、本発明は処理工程ごとやレシピごとの配置を行なうようにしてもよい。
【００４４】
上記のスケジュール作成によりスケジュールを予め作成するにあたり、次の二点を付加的に考慮することが好ましい。
【００４５】
＜付加処理１＞
図８（ａ）のタイムチャートを参照する。
第１ロットのブロックが、第２搬送機構１３と、純水洗浄処理部２１と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９との処理工程からなり、時間ｔｅに薬液処理部３１による処理が開始されるスケジュールが作成されたものとする。そして、これにより薬液処理部３１のライフカウントがアップしたものとする。したがって、上述したスケジュール作成方法に基づいて薬液処理部３１による処理工程の直後、時間ｔｆ〜ｔｇにわたり液交換予定ｅｘ−ｃが配置されることになる。
【００４６】
ここで、矢印で示すタイミングで新規のロット（第２ロット）が投入されるものとする。この場合には、新規ロットのレシピによっては図８（ｂ）のタイムチャート中に点線矩形で示すように、液交換予定ｅｘ−ｃの前に薬液処理部３１によるロットの処理が配置されるようにすることが可能である。しかしながら、この場合にはライフカウントがアップした後に新たに薬液を使用する処理を行なうことで、予定したライフカウントが狂うことになる。
【００４７】
そこで、ライフカウントがアップしたことに伴う液交換予定ｅｘ−ｃを配置した後は、その前へのロットの配置を回避するルールを適用する。これにより新規ロットは、薬液処理部３１による処理が液交換予定ｅｘ−ｃの後ろに隣接するように配置されることになる。これによりライフカウントがオーバーするのを防止し、スケジュールの作成を適切に行なうようにすることができる。
【００４８】
＜付加処理２＞
図９（ａ）のタイムチャートを参照する。
このロットのブロックは、第２搬送機構１３と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９と、薬液処理部３１と、純水洗浄処理部２９との処理工程を含むものとする。通常、薬液処理を二度行なう場合には、その間に純水処理が入ってそこで待機できるのでより小さなブロックに分けてスケジュールすることが考えられる。しかし、プロセスの実際においては、二度の薬液処理を規定時間内に行なうことが必須となるものもある。
【００４９】
このような場合に、時間ｔｈ〜ｔｉにわたり薬液処理部３１において薬液処理を行ない、時間ｔｉ〜ｔｊにわたって純水洗浄処理部２９において純水処理を行ない、最初の薬液処理からＴＧ時間後に再び薬液処理部３１において薬液処理を時間ｔｊ〜ｔｋにわたって行なう場合であって、最初の薬液処理時にライフカウントがアップするような状況を想定する。しかも、図９（ｂ）に示すように薬液使用間隔に相当するＴＧ時間が液交換予定ｅｘ−ｃに要するＴｅｘ時間よりも短く、ライフカウントがアップした直後に液交換予定ｅｘ−ｃを配置することはできないものとする。
【００５０】
このような場合には、図９（ｃ）のタイムチャートに示すように、後の薬液処理が終わる時点ｔｋにおいて液交換予定ｅｘを配置する。これによりレシピの関係上ライフカウントによる液交換を正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施することができる。したがって、ロットの処理を正確に行ないつつもライフカウントに伴う液交換もほぼ正確に実施することができる。
【００５１】
なお、本発明は、予め処理の前にスケジュールを作成してから実際の処理を行なうのであれば適用可能であるが、そのなかでも次のようなスケジュール作成方法が好適である。この方法における処理工程とは、上述したブロックである場合も含む。
【００５２】
すなわち、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するのである。
【００５３】
この方法によれば、予めスケジュールすることで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率を向上することができる。
【００５４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、制御部は、処理部のリソースにライフタイムに応じた液交換予定を配置し、その間をぬうようにして各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置することでライフタイムに忠実に液交換を実施可能であり、各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆく上でライフカウントがアップした場合には、それ以降に配置されているライフタイムに伴う液交換予定を削除して液交換予定をその直後に配置することでライフカウントのアップ直後に液交換を行なえる。このように液交換を優先的に配置ことで液交換を正確に実行することができる。
【００５５】
請求項２に記載の発明によれば、液交換予定の前へのロットの処理部の使用タイミング配置を回避することでライフカウントがオーバーするのを防止し、スケジュールの作成を適切に行なうことができる。
【００５６】
請求項３に記載の発明によれば、ロットにおける処理部の使用間隔が液交換時間よりも短い場合には、ロットによる処理部の使用が全て終了した後に液交換予定を配置することで、レシピの関係上ライフカウントによる液交換が正確に実施できない場合であっても液交換をできるだけ早く実施できる。したがって、ロットの処理を正確に行ないつつもライフカウントに伴う液交換もほぼ正確に実施することができる。
【００５７】
請求項４に記載の発明によれば、レシピのうちの待機させることが許容される処理工程で区切られたブロックごとに配置することでスケジュールの作成を効率的に行なうことができる。
【００５８】
請求項５に記載の発明によれば、プログラムとして上記請求項１と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図４】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図５】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図６】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図７】スケジュールの作成過程を示すタイムチャートである。
【図８】スケジュールの作成過程における付加処理を示すタイムチャートである。
【図９】スケジュールの作成過程における付加処理を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
１ … カセット
３ … 投入部
１１ … 第１搬送機構
１３ … 第２搬送機構
１５ … 第３搬送機構
１７ … 乾燥処理部
１９ … 第１処理部
２１ … 純水洗浄処理部
２３ … 薬液処理部
２５ … 第１副搬送機構
２７ … 第２処理部
２９ … 純水洗浄処理部
３１ … 薬液処理部
３３ … 第２副搬送機構
３７ … 制御部
３９ … 記憶部
ｅｘ … 液交換予定
ｅｘ−ｃ … ライフカウントのアップに伴う液交換予定
Claims (5)
- 処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、
実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
ライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置した後は、液交換の対象となった処理部においては前記液交換予定の前への次ロットの処理部の使用タイミングの配置を回避することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
ライフカウントがアップした場合であって、ロットにおける液交換の対象となった処理部の使用間隔が液交換に要する時間よりも短い場合には、前記ロットの処理部の使用が終了した後に液交換予定を配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記ロットの各リソースの使用タイミングの配置は、複数の処理工程を含むレシピに基づき、かつ、処理後にロットを待機させることが許容される処理工程で区切られたブロックごとに行なわれることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 処理液によって基板に処理を施す処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理する際に、各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて寿命を規定するライフタイムと、前記処理部における処理液の使用回数に応じて寿命を規定するライフカウントとに基づき前記処理部のリソースを液交換で使用することを考慮し、
実際に処理を開始する前に、ライフタイムに応じた液交換予定を前記処理部のリソースに配置した後に、各ロットの各リソースの使用タイミングを液交換予定と重複しないように配置し、ライフカウントがアップした場合には、それ以降に既に配置されているライフタイムに応じた液交換予定を削除するとともに、ライフカウントがアップした直後にライフカウントのアップに伴う液交換予定を配置し、その後に、再び各ロットの各リソースの使用タイミングを配置してゆくように制御することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273223A JP3880348B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| US10/141,213 US6889105B2 (en) | 2001-05-16 | 2002-05-07 | Scheduling method and program for a substrate processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273223A JP3880348B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003086562A JP2003086562A (ja) | 2003-03-20 |
| JP3880348B2 true JP3880348B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=19098464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001273223A Expired - Lifetime JP3880348B2 (ja) | 2001-05-16 | 2001-09-10 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3880348B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4731372B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-07-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP4762025B2 (ja) * | 2006-03-29 | 2011-08-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5132111B2 (ja) * | 2006-09-26 | 2013-01-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5046683B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2012-10-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5466380B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2014-04-09 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5374203B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2013-12-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5432654B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2014-03-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP5275282B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-08-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP6499563B2 (ja) * | 2015-11-06 | 2019-04-10 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム |
| JP6792502B2 (ja) * | 2017-04-03 | 2020-11-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理システム、基板処理システムの制御方法およびプログラム |
| JP7112836B2 (ja) * | 2017-05-18 | 2022-08-04 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
| JP7019399B2 (ja) * | 2017-12-15 | 2022-02-15 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理システムおよび基板処理システムの制御方法 |
-
2001
- 2001-09-10 JP JP2001273223A patent/JP3880348B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003086562A (ja) | 2003-03-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060627 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060815 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091117 Year of fee payment: 3 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091117 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101117 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101117 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111117 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121117 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121117 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131117 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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