JPH11163087A - 基板処理装置及び搬送スケジューリング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各処理モジュールでの搬送待ち時間を減少さ
せて、処理能力を向上させた基板処理装置を提供する。 【解決手段】 基板を処理する処理モジュールと、基板
を供給及び収納するカセットモジュールと、モジュール
間で基板を搬送する搬送装置と、基板の供給から収納に
至る基板搬送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能、
及び前記搬送経路の条件を参照して基板の搬送先を決定
する搬送スケジューラを有する制御装置とを具備した基
板処理装置において、前記搬送スケジューラは、前記搬
送装置が１枚の基板も保持していない場合、且つ搬送可
能な基板が複数存在するときに、前記制御装置で処理開
始前に予め作成された前記搬送経路の条件を参照して、
基板を供給するカセットモジュールに最も近い搬送順序
の処理モジュール内の基板を最優先に、次に搬送する基
板として決定する構成にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ、露
光用マスク基板、液晶基板等の基板を処理する基板処理
装置、及び基板処理装置において処理すべき基板を処理
モジュールへ搬送する搬送スケジューリング方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の基板処理装置は、例えば
次のようなものがあった。

【０００３】図３は、従来の基板処理装置の構成を示す
ブロック図である。

【０００４】この基板処理装置は、基板を処理する複数
個の処理モジュール１００〜１０５と、基板の供給／収
納の両方の機能を兼ね備えたカセットモジュール１１０
〜１１３と、これらモジュールに基板を搬送する複数の
アームを有する搬送装置１２０，１２１と、基板を搬送
装置１２０から搬送装置１２１へ受け渡しするための受
け渡しモジュール１３０と、これらを制御する機能及び
搬送経路作成機能を有する制御装置１４０とから成る。
ここで、搬送経路とは、基板の供給から収納に至る基板
搬送の順序経路を表わすものである。また、制御装置１
４０のメモリには、基板の搬送先を決定する搬送スケジ
ューラがソフトウェアの形で格納されている。

【０００５】まず、処理開始指示を出す前に、制御装置
１４０で搬送経路の処理条件を作成する。本例では、図
４に示すような搬送経路の処理条件を作成したものとす
る。その後、制御装置１４０により処理開始指示を行う
ことにより搬送動作が開始される。本例では、複数のア
ームを有する搬送装置を前提としているため、この搬送
装置による搬送動作は、まずモジュール内の基板を取
り、その後に搬送してきた基板をモジュール内に置く入
れ替え動作を行うこととする。

【０００６】基板は、供給用カセットモジュール１１０
〜１１３から搬送装置１２０により排出し、基板の受け
渡しモジュール１３０に搬送される。次にその基板を、
搬送装置１２１により処理モジュール（Ａ）１０３に搬
送する。処理モジュール（Ａ）１０３の基板は、処理終
了後に再び搬送装置１２１により処理モジュール（Ｂ）
１０４に搬送される。処理モジュール（Ｂ）１０４の基
板も、処理終了後に搬送装置１２１により処理モジュー
ル（Ｃ）１００に搬送される。

【０００７】処理モジュール（Ｃ）１００の基板は、処
理終了後に搬送装置１２１により基板の受け渡しモジュ
ール１３０に搬送される。基板の受け渡しモジュール１
３０に戻ってきた基板は、搬送装置１２０により収納用
カセットモジュール１１０〜１１３に搬送される。

【０００８】図５は、搬送装置１２１に着目した場合の
搬送タイミングチャートであり、２４枚目以降の基板搬
送順序の例を示している。図中に示す「処理中」の部分
に付された番号は基板番号であり、図中のハッチング部
分は搬送動作中を表わしている。また、図中の点線矢印
は、搬送装置１２１による次の基板搬送先を示してい
る。

【０００９】本例の搬送動作について説明する。図５に
示すように、処理モジュール（Ａ）１０３では、搬送動
作中（ｔ１）に２４枚目払い出し、２５枚目受け取る。
処理モジュール（Ｂ）１０４では、搬送動作中（ｔ２）
に２３枚目を払い出し、２４枚目を受け取る。処理モジ
ュール（Ｃ）１００では、搬送動作中（ｔ３）に２２枚
目を払い出し、２３枚目を受け取る。受け渡しモジュー
ル１３０では、搬送動作中（ｔ４）に２２枚目を受け取
り、カセットモジュール１１０〜１１３へ搬送する。

【００１０】基板は、モジュールでの入れ替え動作を基
本として搬送されていくので、入れ替え動作により処理
モジュール内から取り出された基板は、搬送経路の処理
条件を参照することにより次に搬送すべき処理モジュー
ルが一意に決まってしまい、その結果、搬送経路に記さ
れた搬送順序が変わるようなことは起こらない。

【００１１】しかし、図５に示す処理モジュール（Ａ）
の例のように、トラブルもしくはメンテナンスなどでモ
ジュールが停止し（ｔ５）、それ以降に搬送すべきモジ
ュールと同じタイミングで基板が搬出可能となった場合
で（搬送可能な基板が複数存在）（ｔ６）、かつ搬送装
置１２１が基板を保持していない場合は、搬送順序が変
わる可能性がある。この例で搬送装置１２１が基板を保
持していない状態というのは、供給用カセットモジュー
ル１１０〜１１３から受け渡しモジュール１３０への基
板の供給が何らかの理由で遅れた、もしくは途切れた場
合に発生する。

【００１２】そこで、この場面において従来の搬送スケ
ジューラは、制御装置１４０で予め設定された処理モジ
ュールの優先度により、次に搬送する基板を決定するよ
うになっている。本例では、処理モジュール（Ｃ）１０
０が最も優先度が高く、処理モジュール（Ａ）１０３が
最も低い優先度と設定されているものとする。

【００１３】トラブル解除後、処理モジュール（Ａ）１
０３と（Ｂ）１０４が搬送可能となっているが、基板を
搬出可能な処理モジュール（Ａ）１０３と処理モジュー
ル（Ｂ）１０４を比較した場合、処理モジュール（Ｂ）
１０４の方が高い優先度であるため、次に搬送するモジ
ュールとして処理モジュール（Ｂ）１０４が選択され
る。

【００１４】そして、処理モジュール（Ｂ）１０４で
は、搬送動作中（ｔ７）に２４枚目を払い出す。処理モ
ジュール（Ｃ）１００では、搬送動作中（ｔ８）に２３
枚目を払い出し、２４枚目を受け取る。受け渡しモジュ
ール１３０では、搬送動作中（ｔ９）に２３枚目を受け
取り、カセットモジュール１１０〜１１３へ搬送する。

【００１５】さらに、処理モジュール（Ａ）１０３で
は、搬送動作中（ｔ１０）に２５枚目を払い出し、処理
モジュール（Ｂ）１０４では、搬送動作中（ｔ１１）に
２５枚目を受け取り、処理モジュール（Ｃ）１００で
は、搬送動作中（ｔ１２）に２４枚目を払い出す。そし
て、受け渡しモジュール１３０では、搬送動作中（ｔ１
３）に２４枚目を受け取り、カセットモジュール１１０
〜１１３へ搬送する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の搬送スケジューリング方法では、次のような問題点
があった。

【００１７】従来の搬送スケジューリング方法では、搬
送可能な基板が複数存在し、且つ搬送装置１２１が基板
を保持していない場合は、予め設定された処理モジュー
ルの優先度により、次に搬送する基板を決定するように
なっている。上記図５に示す例では、優先度の高い処理
モジュール（Ｂ）が選択される。

【００１８】そうすると、処理モジュール（Ａ）内の基
板番号２５の基板が、搬送待ち（ｔ１４）となり、この
例では３回分の搬送時間（ｔ７→ｔ８→ｔ９）だけ遅れ
ることになる。その遅れが、処理モジュール（Ｂ），
（Ｃ）及び受け渡しモジュールでの搬送待ち時間（ｔ１
５，ｔ１６，ｔ１７）を発生させ、処理開始指示が制御
装置１４０から出されてから処理終了するまでの総処理
時間を長くし、基板処理装置の処理能力を低下させる要
因となっていた。

【００１９】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、各処理モジュ
ールでの搬送待ち時間を減少させて、処理能力を向上さ
せた基板処理装置を提供することである。またその他の
目的は、各処理モジュールでの搬送待ち時間を減少させ
て、基板処理装置の処理能力を向上させることができる
搬送スケジューリング方法を提供することである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明である基板処理装置の特徴は、基板を処
理する複数個の処理モジュールと、基板を供給及び収納
する少なくとも１個のカセットモジュールと、前記カセ
ットモジュールと前記処理モジュール間で基板を搬送す
る搬送装置と、装置全体を制御する機能、基板の供給か
ら収納に至る基板搬送の順序経路を表わす搬送経路の作
成機能、及び前記搬送経路の条件を参照して基板の搬送
先を決定する搬送スケジューラを有する制御装置とを具
備した基板処理装置において、前記搬送スケジューラ
は、前記搬送装置が１枚の基板も保持していない場合、
且つ搬送可能な基板が複数存在するときに、前記制御装
置で処理開始前に予め作成された前記搬送経路の条件を
参照して、基板を供給するカセットモジュールに最も近
い搬送順序の処理モジュール内の基板を最優先に、次に
搬送する基板として決定する構成にしたことにある。

【００２１】この第１の発明によれば、搬送経路に指定
された各処理モジュールの基板の処理終了から搬送開始
までの時間（搬送待ち時間）を最小限に抑えることがで
きる。

【００２２】第２の発明である基板処理装置の特徴は、
基板を処理する複数個の処理モジュールと、基板を供給
及び収納する少なくとも１個のカセットモジュールと、
前記処理モジュールに対して基板の搬送を行う第１の搬
送装置と、前記カセットモジュールに対して基板の搬送
を行う第２の搬送装置と、前記第１と第２の搬送装置間
で基板の受け渡しを行う受け渡しモジュールと、装置全
体を制御する機能、基板の供給から収納に至る基板搬送
の順序経路を表わす搬送経路の作成機能、及び前記搬送
経路の条件を参照して基板の搬送先を決定する搬送スケ
ジューラを有する制御装置とを具備した基板処理装置に
おいて、前記搬送スケジューラは、前記搬送装置が１枚
の基板も保持していない場合、且つ搬送可能な基板が複
数存在する場合に、前記制御装置で処理開始前に予め作
成された前記搬送経路の条件を参照して、基板を供給す
るカセットモジュールに最も近い搬送順序の処理モジュ
ール内の基板を最優先に、次に搬送する基板として決定
する構成にしたことにある。

【００２３】この第２の発明によれば、２台の搬送装置
を備えた基板処理装置において、各処理モジュールでの
搬送待ち時間を最小限に抑えることができる。

【００２４】第３の発明である基板処理装置の特徴は、
上記第２の発明において、前記カセットモジュールは、
基板の収納用と供給用とを兼用する構成であり、前記第
１及び第２の搬送装置は、複数のアームを有し、このア
ームによりモジュール内の基板を受け取った後に、搬送
してきた基板をモジュール内に置く入れ替え動作を行う
構成としたことにある。

【００２５】この第３の発明によれば、基板の収納用と
供給用とを兼用する構成のカセットモジュールと、複数
のアームを有する２台の搬送装置を備えた基板処理装置
において、各処理モジュールでの搬送待ち時間を最小限
に抑えることができる。

【００２６】第４の発明である搬送スケジューリング方
法の特徴は、基板を処理する複数個の処理モジュール
と、基板を供給及び収納する少なくとも１個のカセット
モジュールと、前記カセットモジュールと前記処理モジ
ュールとの間で基板を搬送する搬送装置と、装置全体を
制御する機能と共に、基板の供給から収納に至る基板搬
送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能を有する制御
装置とを具備した基板処理装置を用い、前記搬送経路の
条件を予め作成しておき、前記制御装置から前記処理モ
ジュールと前記搬送装置に対して処理開始指示を出し、
その処理開始指示により前記搬送経路の条件に従って基
板を前記搬送装置により搬送する搬送スケジューリング
方法において、前記搬送装置が１枚の基板も保持してい
ない場合、且つ搬送可能な基板が複数存在する場合に、
前記搬送経路の条件を参照して、基板を供給するカセッ
トモジュールに最も近い搬送順序の処理モジュール内の
基板を最優先に、次に搬送する基板として決定すること
にある。

【００２７】この第４の発明によれば、上記第１の発明
と同等の作用を呈する。

【００２８】第５の発明である基板処理装置の特徴は、
基板を処理する複数個の処理モジュールと、基板を供給
及び収納する少なくとも１個のカセットモジュールと、
前記処理モジュールに対して基板の搬送を行う第１の搬
送装置と、前記カセットモジュールに対して基板の搬送
を行う第２の搬送装置と、前記第１と第２の搬送装置間
で基板の受け渡しを行う受け渡しモジュールと、装置全
体を制御する機能と共に、基板の供給から収納に至る基
板搬送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能を有する
制御装置とを具備した基板処理装置を用い、前記搬送経
路を予め作成しておき、前記制御装置から前記処理モジ
ュールと前記第１と第２の搬送装置に対して処理開始指
示を出し、その処理開始指示により前記搬送経路の条件
に従って基板を前記第１と第２の搬送装置により搬送す
る搬送スケジューリング方法において、前記搬送装置が
１枚の基板も保持していない場合、且つ搬送可能な基板
が複数存在する場合に、前記搬送経路の条件を参照し
て、基板を供給するカセットモジュールに最も近い搬送
順序の処理モジュール内の基板を最優先に、次に搬送す
る基板として決定することにある。

【００２９】この第５の発明によれば、上記第２の発明
と同等の作用を呈する。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係
る基板処理装置の搬送スケジューリング方法を示すタイ
ミングチャートである。

【００３１】本実施形態の基板処理装置の構成は、図３
に示す従来装置と同様に、複数個の処理モジュール１０
０〜１０５と、カセットモジュール１１０〜１１３と、
搬送装置１２０，１２１と、受渡しモジュール１３０
と、制御装置１４０とから成る。但し、制御装置１４０
のメモリにソフトウェアの形で格納された搬送スケジュ
ーラの内容が異なる。

【００３２】すなわち、従来の搬送スケジューラは、搬
送装置１２１が１枚の基板も保持していない場合、且つ
処理モジュール１００〜１０５において搬送可能な基板
が複数存在する場合に、制御装置１４０で予め設定され
た処理モジュール別の搬送優先度に基づき、その優先度
が高い順に次に搬送する基板を決定する搬送スケジュー
リング方法を採っている。これに対して、本実施形態の
搬送スケジューラは、搬送装置１２１が１枚の基板も保
持していない場合、且つ処理モジュール１００〜１０５
において搬送可能な基板が複数存在する場合には、制御
装置１４０で処理開始前に予め作成された搬送経路の処
理条件（例えば図４参照）を参照して、供給カセットモ
ジュールに最も近い搬送順序の処理モジュールを調べ、
その処理モジュールの基板を最優先に、次に搬送する基
板として決定する。

【００３３】以下、図１を用いて搬送装置１２１に着目
した場合の搬送動作を説明する。なお、図１に示した従
来例と同様に、図１中に示す「処理中」の部分に付され
た番号は基板番号であり、図中のハッチング部分は搬送
動作中を表わしている。また、図中の点線矢印は搬送装
置１２１の基板搬送先を示している。また、本例では、
２５枚目の最終基板という設定で、それ以降の基板が供
給されないことを前提としている。

【００３４】本例の収納用カセットモジュールと、供給
用カセットモジュールとは同一であっても構わない。本
例では、複数のアームを有する搬送装置を前提としてい
るため、上記の搬送動作は、まずモジュール内の基板を
取り、その後に搬送してきた基板をモジュール内に置く
入れ替え動作を行うこととする。但し、基板の取る動
作、もしくは置く動作のみの搬送の場合は、この限りで
はない。

【００３５】まず、先述したように、処理開始指示を出
す前に制御装置１４０で、搬送経路の処理条件を作成す
る。本例では、従来装置と同様に図４に示すような搬送
経路の処理条件を作成したものとする。その後、制御装
置１４０によって処理開始指示を行うことにより予め作
成された搬送経路の処理条件に従って搬送動作が開始さ
れる。

【００３６】図１に示すように、処理モジュール（Ａ）
１０３では、例えば基板の洗浄処理が完了し、搬送装置
１２１による搬送動作中（Ｔ１）に２４枚目払い出し、
２５枚目受け取る。処理モジュール（Ｂ）１０４では、
例えばヒータによって基板を所定温度まで加熱する処理
が完了し、搬送動作中（Ｔ２）に２３枚目を払い出し、
２４枚目を受け取る。さらに、処理モジュール（Ｃ）１
００では、基板にレジストを塗布する処理が完了し、搬
送動作中（Ｔ３）に２２枚目を払い出し、２３枚目を受
け取る。そして、受渡しモジュール１３０では、搬送動
作中（Ｔ４）に２２枚目を受け取り、カセットモジュー
ル１１０〜１１３へ搬送する。

【００３７】ここで、例えば処理モジュール（Ａ）が、
トラブルもしくはメンテナンスなどで停止したとする
（Ｔ５）。このときは、処理モジュール（Ａ）とそれ以
降に搬送すべき処理モジュール（Ｂ）とは、同じタイミ
ングで基板が搬出可能となり（Ｔ６）、かつ搬送装置１
２１が基板を保持していない状態となっている。

【００３８】この場面で従来の搬送スケジューラは、ト
ラブル解除後もしくはメンテナンス終了後に、制御装置
１４０で予め設定された処理モジュールの優先度によ
り、次に搬送する基板を決定している。これに対して、
本発明の搬送スケジューラは、制御装置１４０で処理開
始前に予め作成された搬送経路の処理条件を参照して、
供給用カセットモジュールに最も近い搬送順序の処理モ
ジュール内の基板を最優先に、次に搬送する基板を決定
する。

【００３９】トラブル解除後もしくはメンテナンス終了
後、処理モジュール（Ａ）１０３と（Ｂ）１０４が搬送
可能となっているが、処理モジュール（Ａ）１０３が搬
送経路内で最も供給カセットモジュールに近い処理モジ
ュールであるため、次の搬送モジュールとして処理モジ
ュール（Ａ）１０３が選択される。

【００４０】そして、処理モジュール（Ａ）１０３で
は、搬送装置１２１による搬送動作中（Ｔ７）に２５枚
目を払い出し、続く処理モジュール（Ｂ）１０４では、
搬送動作中（Ｔ８）に２４枚目を払い出し、２５枚目を
受け取る。処理モジュール（Ｃ）１００では、搬送動作
中（Ｔ９）に２３枚目を払い出し、２４枚目を受け取
る。さらに、受渡しモジュール１３０では、搬送動作中
（Ｔ１０）に２３枚目を受け取り、これをカセットモジ
ュールへ搬送する。

【００４１】その後は、処理モジュール（Ｂ）１０４に
おいて、搬送動作中（Ｔ１１）に２５枚目を払い出し、
処理モジュール（Ｃ）１００では、搬送動作中（Ｔ１
２）に２４枚目を払い出し、２５枚目を受け取る。そし
て、受渡しモジュール１３０では、搬送動作中（Ｔ１
３）に２４枚目を受け取り、カセットモジュールへ搬送
する。

【００４２】上述したように、本実施形態では、基板を
搬出可能な処理モジュール（Ａ）１０３と処理モジュー
ル（Ｂ）１０４とを比較した場合に、搬送経路に基づい
て供給カセットモジュールに近い方は、処理モジュール
（Ａ）１０３となる。この処理モジュール（Ａ）１０３
が、トラブル解除後の次の搬送すべきモジュールとして
選択されると、処理モジュール（Ａ）１０３内の基板番
号２５の搬送待ち時間は、トラブル等による停止時間
（Ｔ５）のみに抑えられる。つまり、従来で発生してい
た処理モジュール（Ａ）の搬送待ち時間ｔ１４は発生し
ない。これにより、図１からも明らかなように、処理モ
ジュール（Ｂ），（Ｃ）及び受渡しモジュール１３０で
の搬送待ち時間（Ｔ１４，Ｔ１５，Ｔ１６）は、処理モ
ジュール（Ａ）の停止時間（Ｔ５）によるものだけで済
み、処理開始指示が制御装置１４０から出されてから処
理終了するまでの総処理時間を従来よりも短縮すること
ができる。

【００４３】図２は、本発明の第２実施形態に係る基板
処理装置の構成を示す模式図である。

【００４４】本実施形態は、搬送装置を１台で構成した
例である。図中の５０，５１は、基板の供給／収納の両
方の機能を兼ね備えたカセットモジュールであり、５
２，５３は、各種の基板処理を行う処理モジュールであ
る。５４は、トランスファーチャンバーであり、５５，
５６はカセットモジュール５０，５１に収納された基板
のカセットである。５７は搬送装置である。５８，５
９，６０，６１はゲート弁である。この他に図示はしな
いが、上記各構成要素の動作を制御する制御装置が設け
られている。

【００４５】制御装置は、予め作成された搬送経路に従
いゲート弁５８，６０の開閉動作を行い、搬送装置５７
は、トランスファーチャンバー５４内において、カセッ
トモジュール５５，５６と処理モジュール５２，５３間
での基板の受渡しを行う。

【００４６】このような構成においても、上記第１実施
形態と同様の効果を奏する。

【００４７】また、チャンバーに接続している処理モジ
ュール、カセットモジュールが２から３以上に増加して
も同様の効果が得られる。

【００４８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第１の発明
である基板処理装置によれば、搬送スケジューラは、搬
送装置が１枚の基板も保持していない場合、且つ搬送可
能な基板が複数存在するときに、制御装置で処理開始前
に予め作成された搬送経路の条件を参照して、基板を供
給するカセットモジュールに最も近い搬送順序の処理モ
ジュール内の基板を最優先に、次に搬送する基板として
決定する構成にしたので、処理モジュールでの搬送待ち
時間を最小限に抑えることができ、基板処理装置の処理
能力を向上させる効果がある。また、これらの効果は、
処理モジュールの数が多いほど、顕著となる。

【００４９】第２の発明である基板処理装置によれば、
搬送スケジューラは、搬送装置が１枚の基板も保持して
いない場合、且つ搬送可能な基板が複数存在する場合
に、制御装置で処理開始前に予め作成された搬送経路の
条件を参照して、基板を供給するカセットモジュールに
最も近い搬送順序の処理モジュール内の基板を最優先
に、次に搬送する基板として決定する構成にしたので、
２台の搬送装置を備えた基板処理装置において、処理モ
ジュールでの搬送待ち時間を最小限に抑えることがで
き、基板処理装置の処理能力を向上させる効果がある。

【００５０】第３の発明である基板処理装置によれば、
上記第２の発明において、カセットモジュールは、基板
の収納用と供給用とを兼用する構成であり、第１及び第
２の搬送装置は、複数のアームを有し、このアームによ
りモジュール内の基板を受け取った後に、搬送してきた
基板をモジュール内に置く入れ替え動作を行う構成とし
たので、基板の収納用と供給用とを兼用する構成のカセ
ットモジュールと、複数のアームを有する２台の搬送装
置を備えた基板処理装置において、処理モジュールでの
搬送待ち時間を最小限に抑えることができ、基板処理装
置の処理能力を向上させる効果がある。

【００５１】第４の発明である搬送スケジューリング方
法によれば、搬送装置が１枚の基板も保持していない場
合、且つ搬送可能な基板が複数存在する場合に、搬送経
路の条件を参照して、基板を供給するカセットモジュー
ルに最も近い搬送順序の処理モジュール内の基板を最優
先に、次に搬送する基板として決定するようにしたの
で、上記第１の発明と同等の効果を奏する。

【００５２】第５の発明である搬送スケジューリング方
法によれば、搬送装置が１枚の基板も保持していない場
合、且つ搬送可能な基板が複数存在する場合に、搬送経
路の条件を参照して、基板を供給するカセットモジュー
ルに最も近い搬送順序の処理モジュール内の基板を最優
先に、次に搬送する基板として決定するようにしたの
で、上記第２の発明と同等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の搬
送スケジューリング方法を示すタイミングチャートであ
る。

【図２】本発明の第２実施形態に係る基板処理装置の構
成を示す模式図である。

【図３】従来の基板処理装置の構成を示すブロック図で
ある。

【図４】搬送経路の処理条件の一例を示す図である。

【図５】搬送装置１２１に着目した場合の搬送タイミン
グチャートである。

【符号の説明】

５２，５３，１００〜１０５ 処理モジュール ５０，５１，１１０〜１１３ カセットモジュール ５４ トランスファーチャンバー ５５，５６ カセットモジュール ５７ 搬送装置 ５８，５９，６０，６１ ゲート弁 １２０，１２１ 搬送装置 １３０ 受渡しモジュール １４０ 制御装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を処理する複数個の処理モジュール
   と、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、前
   記カセットモジュールと前記処理モジュール間で基板を
   搬送する搬送装置と、装置全体を制御する機能、基板の
   供給から収納に至る基板搬送の順序経路を表わす搬送経
   路の作成機能、及び前記搬送経路の条件を参照して基板
   の搬送先を決定する搬送スケジューラを有する制御装置
   とを具備した基板処理装置において、 前記搬送スケジューラは、 前記搬送装置が基板も保持していない場合、且つ搬送可
   能な基板が複数存在するときに、前記制御装置で処理開
   始前に予め作成された前記搬送経路の条件を参照して、
   基板を供給するカセットモジュールに最も近い処理モジ
   ュール内の基板を、次に搬送する基板として決定するこ
   とを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 基板を処理する複数個の処理モジュール
   と、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、前
   記処理モジュールに対して基板の搬送を行う第１の搬送
   装置と、前記カセットモジュールに対して基板の搬送を
   行う第２の搬送装置と、前記第１と第２の搬送装置間で
   基板の受け渡しを行う受け渡しモジュールと、装置全体
   を制御する機能、基板の供給から収納に至る基板搬送の
   順序経路を表わす搬送経路の作成機能、及び前記搬送経
   路の条件を参照して基板の搬送先を決定する搬送スケジ
   ューラを有する制御装置とを具備した基板処理装置にお
   いて、 前記搬送スケジューラは、 前記搬送装置が基板を保持していない場合、且つ搬送可
   能な基板が複数存在する場合に、前記制御装置で処理開
   始前に予め作成された前記搬送経路の条件を参照して、
   基板を供給するカセットモジュールに最も近い処理モジ
   ュール内の基板を、次に搬送する基板として決定するこ
   とを特徴とする基板処理装置。
3. 【請求項３】 前記カセットモジュールは、基板の収納
   用と供給用とを兼用する構成であり、 前記第１及び第２の搬送装置は、複数のアームを有し、
   このアームによりモジュール内の基板を受け取った後
   に、搬送してきた基板をモジュール内に置く入れ替え動
   作を行う構成であることを特徴とする請求項２記載の基
   板処理装置。
4. 【請求項４】 基板を処理する複数個の処理モジュール
   と、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、前
   記カセットモジュールと前記処理モジュールとの間で基
   板を搬送する搬送装置と、装置全体を制御する機能と共
   に、基板の供給から収納に至る基板搬送の順序経路を表
   わす搬送経路の作成機能を有する制御装置とを具備した
   基板処理装置を用い、前記搬送経路の条件を予め作成し
   ておき、前記制御装置から前記処理モジュールと前記搬
   送装置に対して処理開始指示を出し、その処理開始指示
   により前記搬送経路の条件に従って基板を搬送する搬送
   スケジューリング方法において、 前記搬送装置が基板を保持していない場合、且つ搬送可
   能な基板が複数存在する場合に、前記搬送経路の条件を
   参照して、基板を供給するカセットモジュールに最も近
   い処理モジュール内の基板を、次に搬送する基板として
   決定することを特徴とする搬送スケジューリング方法。
5. 【請求項５】 基板を処理する複数個の処理モジュール
   と、基板を供給及び収納するカセットモジュールと、前
   記処理モジュールに対して基板の搬送を行う第１の搬送
   装置と、前記カセットモジュールに対して基板の搬送を
   行う第２の搬送装置と、前記第１と第２の搬送装置間で
   基板の受け渡しを行う受け渡しモジュールと、装置全体
   を制御する機能と共に、基板の供給から収納に至る基板
   搬送の順序経路を表わす搬送経路の作成機能を有する制
   御装置とを具備した基板処理装置を用い、前記搬送経路
   を予め作成しておき、前記制御装置から前記処理モジュ
   ールと前記第１と第２の搬送装置に対して処理開始指示
   を出し、その処理開始指示により前記搬送経路の条件に
   従って基板を搬送する搬送スケジューリング方法におい
   て、 前記搬送装置が基板を保持していない場合、且つ搬送可
   能な基板が複数存在する場合に、前記搬送経路の条件を
   参照して、基板を供給するカセットモジュールに最も近
   い処理モジュール内の基板を、次に搬送する基板として
   決定することを特徴とする基板の搬送スケジューリング
   方法。