JP5046683B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
すなわち、従来の方法は、レシピに処理時間を一つしか設定することができないので、処理液の劣化などに応じて処理時間を長くするなど、レシピの設定値を変える場合には、装置のオペレータがレシピを手動で編集して所望の処理時間に設定した後に、スケジューリングを開始させる必要があって煩雑であるという問題がある。また、処理時間を一つに固定する場合には、基板に対する処理が不足なく完全に行われることを考慮して、処理時間が最大の値に設定されていることが多いので、スケジュールが長くなって装置の稼働率が低下するという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液により基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、制御部は、処理液を使用するリソースの使用タイミングを配置した、同一の処理を行う処理ブロックを、処理液の使用履歴に応じてそれぞれ異なる複数の処理時間ごとに予め複数個作成し、処理液を使用するリソースが使用されるタイミングに応じて前記複数個の処理ブロックの中から、処理液の使用履歴に応じた一つの処理ブロックだけを選択的に配置することを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
スケジューリング部39は記憶部43にアクセスして、予め記憶されているレシピ(図3)のデータを取得する。
スケジューリング部39は、取得したレシピを参照して、その中の処理工程のいずれかに複数の処理時間が設定されているか否かを判断して処理を分岐する。複数の処理時間が設定されていない場合には、ステップS3〜ステップS5へ処理を分岐し、複数の処理時間が設定されている場合には、ステップS6〜S8へ処理を分岐する。これをブロックがなくなるまでステップS1から繰り返す。
処理工程に複数の処理時間が設定されていないレシピである場合には、従来どおり、単に各処理工程を処理時間に応じて配置してゆけばよい。そして、最後の処理工程を配置した時点で処理ブロックの作成処理を終える。
一つの処理工程に処理時間に複数個の値が設定されている場合は、ステップS2からステップS6に分岐する。まず、各処理工程a〜eに要する時間(準備または及び後作業を含む)に基づいて、各処理ブロックA〜Dの処理時間を求める(ステップS7)。そして、ブロックAにおける処理工程cの処理時間ごとにブロックA〜Cからなる処理ブロックを作成し、処理工程cの全ての処理時間TT1〜TT3について処理ブロックを作成するまで繰り返す(ステップS8)。
上記のようにして作成した、処理時間ごとの処理ブロックをスケジューリング部39が取得する。
処理ブロックが複数個あるか否かによって処理を分岐する。つまり、処理ブロックが一つである場合には、ステップS12〜S14へ分岐し、処理ブロックが複数個である場合には、ステップS15〜S17へと分岐する。
処理工程に一つの処理時間しか規定されていないレシピの場合には、処理ブロックが一つであるので、単に処理ブロック内の各ブロックの配置位置を検索して、配置可能な位置に各ブロックを配置すればよい。そして、処理ブロック内の全てのブロックが配置されるまで、その処理を繰り返す(ステップS14)。
処理工程に複数の処理時間が規定されていて、上述したようにして処理時間ごとに複数個の処理ブロックが作成されている場合には、まず各ブロックの配置位置を検索する(ステップS15)。そして、その配置位置におけるライフタイムを求め、ライフタイムに応じた処理ブロックを一つだけ選択的に取得する(ステップS16)。その選択した処理ブロック内のブロックをその位置に配置する(ステップS17)。そして、選択された処理ブロック内の全てのブロックが配置されるまで繰り返す(ステップS14)。
1 … カセット
CTC … 第1搬送機構
WTR … 第2搬送機構
LPD … 乾燥処理部
ONB1,ONB2 … 純水洗浄処理部
CHB1,CHB2 … 薬液処理部
LF1,LF2 … 副搬送機構
37 … 制御部
39 … スケジューリング部
41 … 処理実行処理部
43 … 記憶部
Claims (7)
- 処理液により基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部は、処理液を使用するリソースの使用タイミングを配置した、同一の処理を行う処理ブロックを、処理液の使用履歴に応じてそれぞれ異なる複数の処理時間ごとに予め複数個作成し、処理液を使用するリソースが使用されるタイミングに応じて前記複数個の処理ブロックの中から、処理液の使用履歴に応じた一つの処理ブロックだけを選択的に配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記使用履歴は、処理液が生成された時点からの経過時間であるライフタイムであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記使用履歴は、処理液を使用したロット数であるライフカウントであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記使用履歴は、処理液を使用した基板の枚数であるライフエッチングであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記処理液は、燐酸を含む処理液であり、前記処理ブロックは、前記処理液を貯留した薬液処理槽で基板をエッチングすることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、記憶部に予め記憶された、処理時間として前記複数の処理時間が対応されたレシピと、処理液の使用履歴とを参照することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
制御部は、処理液を使用するリソースの使用タイミングを配置した、同一の処理を行う処理ブロックを、処理液の使用履歴に応じてそれぞれ異なる複数の処理時間ごとに予め複数個作成し、処理液を使用するリソースが使用されるタイミングに応じて前記複数個の処理ブロックの中から、処理液の使用履歴に応じた一つの処理ブロックを配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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