JP7004144B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
理液交換部による処理液の交換を所定の処理の開始時まで延期する延期部と、を備える。さらに、濃度制御部は、延期部によって処理液の交換が延期されている間も、濃度を所定の処理に適した濃度範囲内に制御する。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は、本願発明の一態様であり、本願発明の技術的範囲を限定するものではない。図1は実施形態に係る基板処理装置1の概略構成の一例を示す斜視図である。この基板処理装置1は、主として基板Wに対してエッチング処理や洗浄処理(以下、単に“処理”ともいう)を施すものである。基板処理装置1においては、図1において右奥側に、基板Wをストックするバッファ部2が配置され、バッファ部2のさらに右奥側には、基板処理装置1を操作するための正面パネル(不図示)が設けられている。また、バッファ部2における正面パネルと反対側には、基板搬出入口3が設けられている。また、基板処理装置1の長手方向における、バッファ部2の反対側(図1において左手前側)から、基板Wに対して処理を行う処理部5、7及び9が並設されている。
搬送機構17における二本のアーム17aは、図1中の右斜め下方向から見て、「V」の字状から逆「V」の字状に揺動することにより、各基板Wを開放する。そして、この動作により、基板Wは、主搬送機構17とリフタ11、13及び15との間で授受されることが可能となっている。以下、本明細書において、複数枚の基板Wをバッファ部2から取り出し、取り出した基板Wに対して処理部5、7及び9による処理を行う一連の流れを、バッチとも称する。基板処理装置1は、繰り返しバッチを実行することで、バッファ部2にストックされた基板Wに対する処理を実行する。
槽7aに圧送還流させる配管経路であり、具体的には処理槽7aの外槽50bと内槽50aとを流路接続して構成されている。また、循環ライン20から分岐して排液ライン30が分岐しており、混酸水溶液を処理槽7aに戻さず排液する場合には、排液切換えバルブ26及び、排液バルブ27を開閉することにより、外槽50bから排出された混酸水溶液をそのまま排液ライン30を介して廃棄する。
ときは、供給速度が必要となるので太い配管から内槽50aに向けて処理液が投入されるが、処理液を補充するときは外槽50bに向けて補充され場合がある。薬液ライン42の各々のラインには、通過する薬液(リン酸、硝酸、酢酸)の流量を各々測定可能な薬液流量計44と、リン酸、硝酸、酢酸の各々の流量を調整可能な薬液補充バルブ45が備えられている。一方、純水ライン47には、純水ライン47を通過する純水の流量を測定する純水流量計48と、純水の流量を調整する純水補充バルブ49が備えられている。また、前述の制御部55が濃度計24の測定結果に基づいて薬液補充バルブ45及び、純水補充バルブ49を制御し、処理槽7a内の混酸水溶液の濃度を、処理に最適な濃度となるように制御する。以下、本明細書において、処理に最適な濃度の範囲を「規定濃度範囲」と称する。
る制御部55は、「延期部」の一例であり、その処理は「延期工程」の一例である。
N」は所定の定量レベルに達している状態を例示し、「OFF」は所定の定量レベルに達していない状態を例示する。図7の下段(レベル補充と表記された段)では補充される混酸水溶液の量とタイミングが例示される。すなわち、図7では、外槽50bの混酸水溶液の液面の高さが定量レベルに達していない場合、定量レベルに達するまで混酸水溶液が内槽50aまたは外槽50bに対して補充される。図7の点線箇所において、基板処理装置1は通常期間から延期期間に遷移しているが、通常期間および延期期間のいずれにおいても外槽50b内の混酸水溶液の液面の高さが所定の定量レベルに達しなくなると内槽50aまたは外槽50bに対して混酸水溶液の補充が行われる。すなわち、実施形態に係る基板処理装置1の制御部55は、通常期間において実施する混酸水溶液の補充を延期期間にも継続して実施する。
2・・・バッファ部
3・・・基板搬出入口
5,7,9・・・処理部
5a、5b、7a、7b、9a、9b・・・処理槽
11、13、15・・・リフタ
17・・・主搬送機構
20・・・循環ライン
24・・・濃度計
40・・・濃度制御装置
43・・・副搬送機構
50a・・・内槽
50b・・・外槽
55・・・制御部
57・・・記憶部
Claims (14)
- 一種以上の薬液及び純水を含む処理液に基板を浸漬させることで該基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、
前記基板に前記所定の処理を行うための前記処理液が貯留された処理槽と、
前記処理槽中の前記処理液のライフタイムが経過すると前記処理液を交換する処理液交換部と、
前記処理液における純水または他の所定成分の濃度を検出する検出部と、
前記ライフタイムが経過するまでの間、前記濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御する濃度制御部と、
前記処理液交換部による前記処理液の交換を前記所定の処理の開始時まで延期する延期部と、を備え、
前記濃度制御部は、前記延期部によって前記処理液の交換が延期されている間も、前記濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御することを特徴とする、
基板処理装置。 - 前記所定の処理はバッチ制御により行われることを特徴とする、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記濃度制御部は、前記処理液の温度を前記所定の処理に適した温度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記処理液は、リン酸、硝酸、酢酸の少なくとも一つ及び、純水を含む混酸水溶液であり、
前記濃度制御部は、前記混酸水溶液に純水を供給することで前記混酸水溶液の純水濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記濃度制御部は、所定間隔で所定量の純水を前記処理槽に供給することで、前記純水濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記濃度制御部は、前記処理槽内の処理液の液面の高さが前記所定の処理に適した高さに満たない場合、前記処理液を前記処理槽に補充することを特徴とする、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記検出部によって検出された前記濃度が前記所定の処理に適した濃度範囲から逸脱した場合、前記所定の処理の開始を抑制する抑制部をさらに備え、
前記抑制部は、前記延期部が前記処理液の交換を延期している間は、前記所定の処理の開始を抑制する処理を実行しない、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 一種以上の薬液及び純水を含む処理液を処理槽に貯留し、前記処理液に基板を浸漬させることで該基板に対して所定の処理を行う基板処理方法であって、
前記処理槽中の前記処理液のライフタイムが経過すると前記処理液を交換する処理液交換工程と、
前記処理液における純水または他の所定成分の濃度を検出する検出工程と、
前記ライフタイムが経過するまでの間、前記濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御する濃度制御工程と、
前記処理液交換工程における前記処理液の交換を前記所定の処理の開始時まで延期する延期工程と、を含み、
前記濃度制御工程は、前記延期工程において前記処理液の交換が延期されている間も、前記濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御する処理を含むことを特徴とする、
基板処理方法。 - 前記所定の処理はバッチ制御により行われることを特徴とする、
請求項8に記載の基板処理方法。 - 前記濃度制御工程においては、前記処理液の温度を前記所定の処理に適した温度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項8または9に記載の基板処理方法。 - 前記処理液は、リン酸、硝酸、酢酸の少なくとも一つ及び、純水を含む混酸水溶液であり、
前記濃度制御工程においては、前記混酸水溶液に純水を供給することで前記混酸水溶液の純水濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項8乃至10のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記濃度制御工程においては、所定間隔で所定量の前記純水を前記処理槽に供給することで、前記純水濃度を前記所定の処理に適した濃度範囲内に制御することを特徴とする、
請求項11に記載の基板処理方法。 - 前記濃度制御工程においては、前記処理槽内の処理液が規定量に満たない場合、前記処理液を前記処理槽に補充することを特徴とする、
請求項8乃至12のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記検出工程によって検出された前記濃度が前記所定の処理に適した濃度範囲から逸脱した場合、前記所定の処理の開始を抑制する抑制工程をさらに含み、
前記抑制工程においては、前記延期工程において前記処理液の交換を延期している間は、前記抑制する処理を実行しないことを特徴とする、
請求項8乃至13のいずれか一項に記載の基板処理方法。
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