JP2008084954A - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御部は、まずライフタイムLTが経過する時点t1で処理部のリソースに定期液交換処理XLを配置する。その後、定期液交換処理XLの配置に起因して、後続の処理工程dに待機時間が生じる場合には、延長時間ET内で定期液交換処理XLを後にずらして配置し、本来は定期液交換処理XLに後続する処理工程dを優先的に前に配置する。このように定期液交換処理XLをライフタイムLTのアップにのみ基づき一律に配置するのではなく、定期液交換処理XLを柔軟に配置するので、無駄な待機時間を低減して基板処理のスループットを向上させることができる。
【選択図】図3
Description
すなわち、従来の装置は、定期液交換処理を優先的に配置する関係上、一律にリソースの使用タイミングを後にずらすことになるので、無駄な待機時間が生じることがある。これにより基板処理のスループットが低下するという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、前記定期液交換処理を後にずらすことが可能な延長時間とを考慮し、ライフタイムが経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、前記定期液交換処理の配置に起因して、後続の処理工程に待機時間が生じる場合には、延長時間内で前記定期液交換処理を後にずらして配置し、後続の処理工程を優先的に配置することを特徴とするものである。
図6は、薬液処理部CHB1においては、時点t1でライフライムLT1がアップし、薬液処理部CHB2においては、時点t4でライフタイムLT2がアップする例を示している。このように、二つの薬液処理部CHB1,CHB2において異なるタイミングで、かつ比較的近い異なるタイミングで二つの定期液交換処理XL1,XL2が配置される場合には、無駄な待機時間wt1,wt2が生じる場合があるので、液交換調整部35が次のように調整を行うことが好ましい。
1 … カセット
3 … 投入部
5 … 載置台
7 … 払出部
9 … 載置台
11 … 第1搬送機構
13 … 第2搬送機構
WTR … 第3搬送機構
15 … チャック部
LPD … 乾燥処理部
19 … 第1処理部
ONB1 … 純水洗浄処理部
CHB1 … 薬液処理部
21 … 第2処理部
ONB2 … 純水洗浄処理部
CHB2 … 薬液処理部
CHCL … チャック洗浄部
31 … 制御部
33 … スケジューリング部
35 … 液交換調整部
37 … 処理実行指示部
39 … 記憶部
XL … 定期液交換処理
ET … 延長時間
wt … 待機時間
AT … 前倒し時間
Claims (4)
- 処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、前記定期液交換処理を後にずらすことが可能な延長時間とを考慮し、
ライフタイムが経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、前記定期液交換処理の配置に起因して、後続の処理工程に待機時間が生じる場合には、延長時間内で前記定期液交換処理を後にずらして配置し、後続の処理工程を優先的に配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部は、前記定期液交換処理を延長時間内で後にずらしたことに起因して、後続のロットの処理工程に待機時間が生じる場合には、既に優先的に配置した処理工程の配置を維持したまま、ライフタイムが経過した後に配置された処理工程と延長時間との間で前記定期液交換処理を前倒しして配置するとともに、後続のロットの処理工程を前倒しして配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
制御部は、複数の処理部において異なるタイミングでライフタイムが経過する場合、先の定期液交換処理の完了時刻をLTEとし、後の定期液交換処理の開始時刻をLT2とし、前倒し可能な時間を前倒しパラメータAPとし、LT2−ATがLTEより早い時刻になるときには、後の定期液交換処理を先の定期液交換処理と同時に行うことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 処理液によって基板に処理を行う処理部を備えた基板処理装置により、前記処理部のリソースを使用しながら複数のロットを処理するにあたって、実際に処理を開始する前に、制御部が各リソースの使用タイミングを決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
制御部は、前記処理部における処理液の使用時間に応じて処理液の寿命を規定するライフタイムに基づき、前記処理部のリソースを使用して処理液の交換を行う定期液交換処理と、前記定期液交換処理を後にずらすことが可能な延長時間とを考慮し、
ライフタイムが経過する時点で前記処理部のリソースに定期液交換処理を配置し、前記定期液交換処理の配置に起因して、後続の処理工程に待機時間が生じる場合には、延長時間内で前記定期液交換処理を後にずらして配置し、後続の処理工程を優先的に配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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