JP6949511B2 - 基板処理システムおよび基板処理装置 - Google Patents

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Description

この発明は、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用ガラス基板、太陽電池用基板、等（以下、単に「基板」という）に、処理を施す基板処理技術に関する。
特許文献１には、ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムにおいて、複数台の基板処理装置と、処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、ＦＯＵＰを搬送する搬送系と、を備える基板処理システムが示されている。装置前バッファは、ホストコンピュータの指示で搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、複数台の基板処理装置に対して処理のシミュレーション、すなわち、レシピに基づいたＦＯＵＰの処理のスケジュールの作成、をさせる。装置前バッファは、シミュレーションの結果に基づいて、何れの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置、または複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択する。装置前バッファは、選択された最適装置または最適順序装置に対して、搬送系によって搬送される装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する。
特開２０１１−０７７１３６号公報
しかしながら、特許文献１の基板処理システムには、装置前バッファがＦＯＵＰを最適装置等に搬送する前に、さらに他のＦＯＵＰを受け取った場合に、他のＦＯＵＰについて求められた処理のスケジュールが、先に求められた処理のスケジュールとバッティングする場合があるといった問題がある。
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、基板処理装置に到着していない未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる技術を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、第１の態様に係る基板処理システムは、基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置と、前記基板処理装置のスケジューリング部に対してロットのレシピを送信するホストコンピュータと、を備えた基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを前記スケジューリング部に送信し、前記スケジューリング部は、前記基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信し、前記ホストコンピュータは前記スケジューリング部から送信された前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを判断し、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定した場合には前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送することを示す信号を前記スケジューリング部に与え、前記スケジューリング部は前記ホストコンピュータから前記信号を受けると、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する。
第２の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する。
第３の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する。
第４の態様に係る基板処理システムは、第１から第３の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記基板処理装置の前記スケジューリング部は、前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する。
第５の態様に係る基板処理システムは、第１から第４の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置の前記スケジューリング部に前記未着ロットの到着予定時刻をさらに与え、前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信する。
第６の態様に係る基板処理システムは、第５の態様に係る基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の１つの処理中のロットの処理の終了予定時刻に応じて設定する。
第７の態様に係る基板処理システムは、第５または第６の態様に係る基板処理システムであって、前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する。
第８の態様に係る基板処理システムは、第１から第７の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
第９の態様に係る基板処理システムは、第１から第８の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。
第１０の態様に係る基板処理システムは、第９の態様に係る基板処理システムであって、前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。
第１１の態様に係る基板処理システムは、第１から第１０の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記基板処理装置を複数備え、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットのレシピを当該複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部に送信し、前記複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成して前記ホストコンピュータに送信し、前記ホストコンピュータは、前記複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する。
第１２の態様に係る基板処理装置は、基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置であって、前記スケジューリング部は、当該基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを外部のホストコンピュータから受信するロット情報受信部と、当該基板処理装置に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、前記未着ロットの前記レシピとに基づいて、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する仮スケジュール作成部と、前記仮スケジュール作成部が取得した前記未着ロットの前記仮スケジュールを前記ホストコンピュータに与える仮スケジュール供給部と、当該基板処理装置に前記未着ロットが搬送されることを示す信号を前記ホストコンピュータから受け取る信号受信部と、前記信号受信部が前記信号を受け取った場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する予約処理部と、を備える。
第１の態様に係る発明によれば、ホストコンピュータはスケジューリング部から送信された仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置に搬送するか否かを判断し、未着ロットを基板処理装置に搬送すると決定した場合には未着ロットを基板処理装置に搬送すること示す信号をスケジューリング部に与え、スケジューリング部はホストコンピュータから信号を受けると、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。従って、未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
第２の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約することができる。
第３の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約することができる。
第４の態様に係る発明によれば、基板処理装置のスケジューリング部は、予約処理をした未着ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールを実際に作成することができる。
第５の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、到着済みのロットのスケジュールと、未着ロットのレシピと、ホストコンピュータから与えられた未着ロットの到着予定時刻とに基づいて未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成できる。従って、信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
第６の態様に係る発明によれば、未着ロットの到着予定時刻が、基板処理装置の処理状況に応じて設定されるので、さらに信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
第８の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、優先度付きの他のロットと未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。従って、処理の優先度を反映した仮スケジュールを作成することが出来る。
第９の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。従って、例えば、液交換の発生によってスケジュール作成済みの他のロットの処理が遅れる場合など、優先度に拘らずロット間の処理順を変更する必要が生じた場合においても、未着ロットを、スケジュール作成済みの他のロットよりも先に処理する仮スケジュールを作成できる。
第１０の態様に係る発明によれば、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。従って、ロット間の処理順の変更を、さらに高い自由度で行うことができる。
第１１の態様に係る発明によれば、基板処理システムは基板処理装置を複数備え、ホストコンピュータは、複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った未着ロットの仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する。従って、複数の基板処理装置から未着ロットの処理に最適な装置を選ぶことが出来るので、基板処理システム全体としてのスループットが向上する。
第１２の態様に係る発明によれば、基板処理装置に未着ロットが搬送されることを示す信号を当該基板処理装置の信号受信部がホストコンピュータから受け取った場合に、予約処理部は、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。従って、未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
実施形態に係る基板処理システムの構成例を示すブロック図である。 図１の基板処理装置の構成例を示す平面模式図である。 図１の基板処理システムにおける処理の流れを示す模式図である。 図１のホストコンピュータの動作の一例を示すフローチャートである。 図１の基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。 仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。
以下、図面を参照しながら、実施の形態に基板処理装置１００ついて説明する。以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、以下に参照する各図では、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図では、同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。
＜１．基板処理システム３００＞
図１は、実施形態に係る基板処理システム３００の構成例を示すブロック図である。
本実施例に係る基板処理システム３００では通常複数の基板９を収納されたキャリアＣが複数の基板処理装置の間で搬送される。基板処理システム３００は、ホストコンピュータ３と、キャリア搬送用の幹線レールＲ１と、複数の装置ベイ２０１、２０２と、ストッカー５とを有している。幹線レールＲ１にはＯＨＴ（OverHead Transfer）６が摺動可能に連結されており、当該ＯＨＴ６は幹線レールＲ１に沿ってキャリアＣを複数の装置ベイ２０１、２０２間で搬送する。各装置ベイ２０１、２０２には支線Ｒ１１、Ｒ２１が設けられている。支線Ｒ１１、Ｒ２１は各装置ベイ２０１、２０２の内部を周回するレールであり、幹線レールＲ１とは引き込み線Ｒ１２、Ｒ２２を介して連結されている。ＯＨＴ６は引き込み線Ｒ１２を通って、第１の装置ベイ２０１内部の支線Ｒ１１に移動し、第１の装置ベイ２０１に設けられた複数の基板処理装置１００（後述）との間でキャリアＣの受け渡しを行う。同様に、ＯＨＴ６は引き込み線Ｒ２２を通って、第２の装置ベイ２０２内部の支線Ｒ２１に移動し、第２の装置ベイ２０２に設けられた複数の基板処理装置１００（後述）との間でキャリアＣの受け渡しを行う。
ストッカー５は第１および第２の装置ベイ２０１、２０２の外部に配置されている。ストッカー５は複数のキャリアＣを格納する装置であり、ＯＨＴ６との間でキャリアＣの受け渡しを行う。
第１の装置ベイ２０１は、複数の基板処理装置１００（図１の例では、３台の基板処理装置１００（１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ））を備えている。一方、第２の装置ベイ２０２は、複数の基板処理装置１００（図１の例では、３台の基板処理装置１００（１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ））を備えている。
なお、以下では、ストッカー５と、ＯＨＴ６とを総称して搬送系４と言う。ホストコンピュータ３と、各基板処理装置１００および搬送系４とは、例えば、電気的に接続されている。
基板処理装置１００（１００Ａ〜１００Ｆ）は、基板９を処理する機能を備えている。基板９は、キャリアＣに収容された状態で搬送される。キャリアＣには、通常、複数の基板９が収容されている。キャリアＣの形態としては、基板９を密閉空間に収納するＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや、収納された基板９を外気に曝すＯＣ(Open Cassette)であってもよい。キャリアＣは、搬送系４によって基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆに搬入され、搬送系４によって、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆから搬出される。ここで基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆは同種の基板処理（例えば基板洗浄）を実行する装置であるとする。
キャリアＣ、若しくはキャリアＣに収容された基板群は、「ロット」とも称される。基板処理装置１００は、ロットに対する処理内容を規定したレシピを含むロット情報をホストコンピュータ３から受け取る。基板処理装置１００は、搬送系４によって搬送されたキャリアＣを内部に搬入し、レシピに応じて予め作成されたスケジュールにしたがって基板９に対する処理を行う。処理を終えた基板９は、再びキャリアＣに収容されて搬出される。
ホストコンピュータ３は、製造実行システム（ＭＥＳ:Manufacturing Execution System）及び搬送制御システム（ＭＣＳ:Material Control System）を含む。ホストコンピュータ３は、搬送系４によるキャリアＣの搬送動作を制御する。また、ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００によるロットの基板処理を制御する。
また、ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００（１００Ａ〜１００Ｆ）の何れか１つの装置に搬送される予定のロットであるが、未だ、何れの基板処理装置１００にも搬送されていないロット（「仮ロット」とも、「未着ロット」とも称される）の仮ロット情報（「未着ロット情報」とも称される）Ｋ１を各基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆのスケジューリング部１５に送信する。仮ロット情報Ｋ１は、仮ロットを特定するためのＩＤ、仮ロットの処理内容を規定したレシピ、および仮ロットの処理の優先度などを含んでいる（図３参照）。ホストコンピュータ３は、仮ロットの到着予定時刻を各基板処理装置１００の処理状況に応じて設定することもできる。従って、ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００に対して、異なる到着予定時刻を与えることができる。
各基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆのスケジューリング部１５は、ホストコンピュータ３から仮ロット情報Ｋ１を受け取った場合には、仮ロット情報Ｋ１に基づいて仮ロットを処理するための仮スケジュールを作成する。仮スケジュールは、例えば、仮ロットの処理の終了予定時刻と開始予定時刻とを含んでいる。開始予定時刻とは、基板処理装置１００の第１キャリアステージ１１１（図２参照）に仮ロットに対応するキャリアＣを載置することが可能になる時刻、あるいは第２キャリアステージ１５３（図２参照）上のキャリアＣから１枚目の基板９を搬出し始めることが可能になる時刻である。終了予定時刻は仮ロットに属する全ての基板が基板処理装置１００で基板処理され第２キャリアステージ１５３上のキャリアＣに搬出され終える時刻、あるいは仮ロットに属する全ての基板９を収容したキャリアＣを第１キャリアステージ１１１から払い出すことが可能になる時刻である。各基板処理装置１００Ａ〜１００Ｆは、作成した仮スケジュールをホストコンピュータ３に送信する。
ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００のそれぞれから受け取った仮ロット（未着ロット）の仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置１００のうち１つ基板処理装置１００を、仮ロットを搬送する基板処理装置１００として選択する。具体的には、ホストコンピュータ３は、例えば、各基板処理装置１００から供給された各仮スケジュールに基づいて、仮ロットの開始予定時刻あるいは終了予定時刻が最も早い基板処理装置１００を選択する。すなわち、ホストコンピュータ３はスケジューリング部１５から送信された仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置１００に搬送するか否かを判断し、未着ロットを搬送する基板処理装置１００を決定する。ホストコンピュータ３は、仮ロットの搬送先として決定した基板処理装置１００のスケジューリング部１５に、未着ロットを基板処理装置１００に搬送すること示す信号（「予告信号」とも「通知信号」とも称される）を供給する。
搬送系４は、ホストコンピュータ３の指示により、キャリアＣを各部へ搬送する。前記の通り、搬送系４は、ストッカー５と、ＯＨＴ６とを備えている。
第１の装置ベイ２０１と第２の装置ベイ２０２は基本的に同一の構成であるため、以下では第１の装置ベイ２０１の説明のみを行い、第２の装置ベイ２０２については説明を省略する。
ＯＨＴ６は各基板処理装置１００での基板処理の前段階の基板処理（例えば、成膜処理、エッチング処理、不純物添加処理、ＣＭＰ等）を実行する基板処理装置（不図示）からキャリアＣを受領して必要に応じてストッカー５に載置する。ストッカー５は載置されたキャリアＣを一時的に保管する。ＯＨＴ６は、ストッカー５に載置することなく、前段階の基板処理装置から直接に第１の装置ベイ２０１内の基板処理装置１００にキャリアＣを搬送してもよい。
各基板処理装置１００はＯＨＴ６から受領したキャリアＣから基板を取り出して、前段階で基板に付着した各種パーティクルを基板から除去する等の洗浄処理を実行する。前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリアＣの搬送距離は同一ではない。したがって、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までキャリアＣを搬送するキャリア搬送時間は各基板処理装置１００毎に異なっている。ホストコンピュータ３はキャリア搬送時間の長短に基づいて、未着ロットの到着予定時刻を各基板処理装置１００毎に異なる値に設定することができる。ホストコンピュータ３は、未着ロットの到着予定時刻を、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリアＣの搬送に要する時間、すなわちキャリアＣに収容された未処理の基板群である未着ロットの搬送に要する時間に基づいて設定することもできる。なお、基板処理装置１００の前段階の基板処理装置は基板処理装置１００と同一の装置ベイ２０１、２０２の中に配置されていてもよい。
ストッカー５は、ＯＨＴ６との間でキャリアＣの受け渡しを行う。ストッカー５は、キャリアＣを内部に一時的に保持して、ＯＨＴ６と基板処理装置１００との間でキャリアＣを授受可能な時間の差を調整する。
＜２．基板処理装置１００＞
実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図２を参照しながら説明する。図２は、基板処理装置の構成例を示す平面模式図である。
基板処理装置１００は、半導体ウェハ等の複数枚の基板９を処理するシステムである。基板９の表面形状は略円形である。基板処理装置１００は、複数の基板処理ユニット１を備えている。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１において、基板９を、一枚ずつ、連続して処理することができるとともに、複数の基板処理ユニット１によって、複数の基板９を並行して処理することもできる。
基板処理装置１００は、並設された複数のセル（処理ブロック）、具体的には、インデクサセル１１０および処理セル１２０と、当該複数のセル１１０，１２０が備える各動作機構等を制御する制御部１３０と、を備える。
＜インデクサセル１１０＞
インデクサセル１１０は、装置外から受け取った未処理の基板９を処理セル１２０に渡すとともに、処理セル１２０から受け取った処理済みの基板９を装置外に搬出するためのセルである。インデクサセル１１０はキャリアＣをバッファする機能も有している。インデクサセル１１０は、ＯＨＴ６によって搬送された複数のキャリアＣが載置される第１キャリアステージ１１１と、内部バッファ１５０と、を備える。
未処理の基板９は、キャリアＣから１枚ずつ取り出されて装置内で処理され、装置内での処理が終了した処理済みの基板９は、再びキャリアＣに収納される。処理済みの基板９を収納したキャリアＣは、ＯＨＴ６によって装置外部に搬出される。このように、第１キャリアステージ１１１は、未処理の基板９および処理済みの基板９を集積する基板集積部として機能する。
内部バッファ１５０は第１キャリアステージ１１１と処理セル１２０との間に配置される。内部バッファ１５０はキャリアＣを収納するキャリア収納室１５１を複数室備えた棚部１５２と、処理セル１２０との間で基板９の受け渡しを行うためのキャリアＣが載置される第２キャリアステージ１５３と、第１キャリアステージ１１１、棚部１５２、および第２キャリアステージ１５３との間でキャリアＣを搬送するキャリア搬送ロボット１５４と、第２キャリアステージ１５３に載置されたキャリアＣの蓋（不図示）を着脱するロードポート１５５とを備えている。
内部バッファ１５０は、第１キャリアステージ１１１から第２キャリアステージ１５３に向けてキャリアＣを搬入したり、第１キャリアステージ１１１から基板処理装置１００の外部にキャリアＣを搬出できない場合に一時的にキャリアＣを収納することができる。すなわち、内部バッファ１５０はキャリアＣのバッファリング機能を備えている。また、内部バッファ１５０はキャリアＣから処理セル１２０に向けて未処理基板９を搬出できない場合に、当該未処理基板９をキャリア収納室１５１に収納されたキャリアＣの中で一時的に待機させることもできる。すなわち、内部バッファ１５０は基板９のバッファリング機能も備えている。
移載ロボットＩＲは、基板９を下方から支持することによって、基板９を水平姿勢（基板９の主面が水平な姿勢）で保持可能な複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備える。移載ロボットＩＲは、第２キャリアステージ１５３に載置されたキャリアＣから未処理の基板９を取り出して、当該取り出した基板９を、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲ（後述する）に渡す。また、移載ロボットＩＲは、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲから処理済みの基板９を受け取って、当該受け取った基板９を、第２キャリアステージ１５３上に載置されたキャリアＣに収納する。移載ロボットＩＲは、複数のハンドを同時に使用して基板９の受渡しを行うことができる。
＜処理セル１２０＞
処理セル１２０は、基板９に処理を行うためのセルである。処理セル１２０は、複数の基板処理ユニット（「処理部」）１と、当該複数の基板処理ユニット１に対する基板９の搬出入を行う搬送ロボットＣＲと、を備える。搬送ロボットＣＲと制御部１３０とは、基板搬送装置である。ここでは、複数個（例えば、３個）の基板処理ユニット１が鉛直方向に積層されて、１個の基板処理装置群１０を構成している。そして、複数個（図示の例では、４個）の基板処理装置群１０が、搬送ロボットＣＲを取り囲むようにクラスタ状（房状）に設置される。従って、複数の基板処理ユニット１は、搬送ロボットＣＲの周囲にそれぞれ配置される。基板処理ユニット１は、不図示のスピンチャックの上側（鉛直方向の上側）に配置された基板をスピンチャックよって着脱可能に保持し、所定の回転軸ａ１を中心にスピンチャックを回転させながら、基板に対して所定の処理（例えば、薬液処理、リンス処理、若しくは乾燥処理など）を行う。
搬送ロボットＣＲは、基板９を片持ち支持しながら搬送するロボットである。搬送ロボットＣＲは、指定された基板処理ユニット１から処理済みの基板９を取り出して、当該取り出した基板９を、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲに渡す。また、搬送ロボットＣＲは、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲから未処理の基板９を受け取って、当該受け取った基板９を、指定された基板処理ユニット１に搬送する。搬送ロボットＣＲも移載ロボットＩＲと同様に複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備えている。搬送ロボットＣＲは、複数のハンドを同時に使用して基板９の搬送を行うことができる。
＜制御部１３０＞
制御部１３０は、キャリア搬送ロボット１５４、ロードポート１５５、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲ、および、一群の基板処理ユニット１の各々の動作を制御する。制御部１３０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部１３０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１３およびプログラムＰＧやデータなどを記憶しておく磁気ディスク１４をバスライン２９に電気的に接続して構成されている。バスライン２９には、液晶パネルなどの表示部１４１、入力部１４２、および出力部１４３も電気的に接続されている。入力部１４２、出力部１４３としては、例えば、ＵＳＢ制御回路とＵＳＢコネクタからなるＵＳＢインタフェースなどが採用される。
磁気ディスク１４には、プログラムＰＧの他に、ホストコンピュータ３から送られた仮ロット情報Ｋ１などが記憶される。また、磁気ディスク１４には、基板処理装置１００に到着済みのロットのロット情報も記憶されている。
制御部１３０において、プログラムＰＧに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵ１１が演算処理を行うことにより、基板処理装置１００の各部を制御する各種の機能部が実現されるとともに、仮ロットの仮スケジュールを作成するための各機能部も実現される。
具体的には、ＣＰＵ１１は、例えば、複数の基板処理ユニット１を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部１５としても動作する。スケジューリング部１５は、ロット情報受信部１６、仮スケジュール作成部１７、仮スケジュール供給部１８、信号受信部１９、および予約処理部２０としても動作する。
ロット情報受信部１６は、基板処理装置１００に到着していない仮ロットのレシピを、外部のホストコンピュータ３から入力部１４２を介して受信する。
仮スケジュール作成部１７は、基板処理装置１００に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、仮ロット（未着ロット）のレシピ等の仮ロット情報Ｋ１とに基づいて、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
仮スケジュール作成部１７は、仮ロット情報Ｋ１において予め処理の優先度が設定されている仮ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、当該優先度付きの他のロットと仮ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、当該優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成することができる。その際に、仮スケジュール作成部１７は、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
また、例えば、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットを処理する基板処理ユニット１に対して、液交換が必要となった場合などにおいては、仮スケジュール作成部１７は、優先度に関係無く、仮ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することもできる。なお、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。
仮スケジュール供給部１８は、仮スケジュール作成部１７が取得した仮ロットの仮スケジュールを、出力部１４３を介してホストコンピュータ３に供給する。信号受信部１９は、基板処理装置１００に未着ロットが搬送されることを示す信号をホストコンピュータ３から受け取る。予約処理部２０は、信号受信部１９が当該信号を受け取った場合に、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。予約処理部２０は、未着ロットの仮スケジュールを、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行することができるとともに、未着ロットの仮スケジュールを、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行することもできる。なお、スケジューリング部１５は、予約処理をした未着ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールをさらに作成することができる。
排他的なスケジュールとは、当該スケジュールが規定する基板処理と、同一の基板処理ユニット１において同一のタイミングで行われる基板処理を規定する他のスケジュールが存在しないスケジュールである。換言すれば、排他的なスケジュールは、同一の基板処理ユニット１、かつ、同一のタイミングにおいて排他的である。
なお、制御部１３０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。
＜基板処理システム３００の動作＞
実施形態に係る基板処理システム３００の動作について、図３〜図４を参照しながら説明する。図３は、基板処理システム３００における処理の流れを示す模式図である。図４は、ホストコンピュータの動作の一例を示すフローチャートである。図５は、基板処理装置１００の動作の一例を示すフローチャートである。
ホストコンピュータ３は、ロット毎に設定されたロット特有情報や、前段階の基板処理装置から送信される情報を読み込むことによって、仮ロットに関する仮ロット情報Ｋ１を取得する。仮ロット情報Ｋ１はオペレータからの入力や外部記憶装置からの読み出しによって取得されてもよい（図４のステップＳ１０）。ホストコンピュータ３は取得した仮ロット情報Ｋ１を各基板処理装置１００（１００Ａ〜１００Ｆ）に供給する（図３、図４のステップＳ２０）。
各基板処理装置１００のスケジューリング部１５のロット情報受信部１６は、ホストコンピュータ３が供給する仮ロット情報Ｋ１を、入力部１４２を介して受け取る（図３、図５のステップＳ１１０）。仮スケジュール作成部１７は、仮ロット情報Ｋ１に基づいて、仮スケジュールを作成し（図３、図５のステップＳ１２０）、仮スケジュール供給部１８は、作成された仮スケジュールを、出力部１４３を介してホストコンピュータ３に供給する（図３、図５のステップＳ１３０）。前記の通り、仮ロット情報Ｋ１には仮ロットが各基板処理装置１００に到着する到着予定時刻が含まれている。仮スケジュール供給部１８は仮ロットの到着予定時刻を起点にして基板処理装置１００での仮ロットの基板処理スケジュールを作成する。このため、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリア搬送に長い時間を要する場合や、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリア搬送時間にばらつきがある場合であっても、仮スケジュール供給部１８は高い精度で仮ロットの仮スケジュールを作成することができる。
ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００から仮スケジュールを受信すると（図３、図４のステップＳ３０）、各仮スケジュールに基づいて、各基板処理装置１００の中から仮ロットを搬送する基板処理装置１００を選択（決定）する（図３、図４のステップＳ４０）。ホストコンピュータ３は、選択した基板処理装置１００（図３の例では、基板処理装置１００Ａ）のスケジューリング部１５に対して、仮ロットを搬送すること示す信号（「予告信号」、「通知信号」）をスケジューリング部１５に送信するとともに、選択しなかった基板処理装置１００（１００Ｂ、１００Ｃ）に対して、仮スケジュールの保留を解除すべき旨を示す解除信号を送信する（図３、図４のステップＳ５０）。なお、予約信号や、仮スケジュールの保留の解除信号には、仮ロットのＩＤも附される。このため、複数の仮ロットが存在している状態でも、各基板処理装置１００は、正確に予約処理と、解除処理とを行うことができる。
選択された基板処理装置１００（１００Ａ）の信号受信部１９は、仮ロットの搬送を知らせる予告信号を受信し（図３、図５のステップＳ１４０）、予約処理部２０が、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する（図３、図５のステップＳ１５０）。また、解除信号を受信した基板処理装置１００（１００Ｂ、１００Ｃ）は、仮スケジュールの保留を解除する。
ホストコンピュータ３は、図４のステップＳ５０の処理を実行した後に、搬送系４に対して、仮ロットの搬送先として選択（決定）した基板処理装置１００（１００Ａ）に仮ロットを搬送すべき旨の指示を行う（図３、図４のステップＳ６０）。指示を受けた搬送系４は、仮ロットを選択された基板処理装置１００（１００Ａ）に搬送し、当該基板処理装置１００（１００Ａ）は、搬送系４によって搬送された到着済みのロットに対して、レシピに基づいた基板処理を行う（図３、図５のステップＳ１６０）。
＜仮スケジュールの作成過程＞
基板処理装置１００による仮スケジュールの作成過程について、図６、図７を参照しながら説明する。図６、図７は、仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。図６は、３台の基板処理装置（単に、「装置」とも称する）１００Ａ〜１００Ｃが、それぞれの基板処理の状況に応じて仮スケジュールを作成する過程の一例を示す３つのタイムチャート（スケジュール）９０Ａ〜９０Ｃを示している。図６中の各矩形は、各処理中ロット、各予約ロット、若しくは各仮ロットの処理のタイムチャートを示している。図７は、処理の３つの優先度「低」「中」「高」に応じた仮計画における仮スケジュールの作成過程を示す３つのタイムチャート（スケジュール）９１Ａ〜９１Ｃを示している。処理の優先度は、「高」、「中」、「低」の順に低くなる。
図６、図７の処理中ロットとは、基板処理装置１００（１００Ａ〜１００Ｃ）に到着済みのロットであって、既に基板処理を開始されているロットである。また、予約ロットとは、仮ロットが基板処理装置１００に到着していない状態で、予約処理部２０が、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において基板処理を予約したロットである。
タイムチャート９０Ａにおいては、２つの処理中ロットに対する基板処理が行われているとともに、仮スケジュールを排他的なスケジュールとして予約された予約ロットが存在している。基板処理装置１００Ａの仮スケジュール作成部１７は、予約ロットと同一の基板処理ユニット１および同一の時間に処理されないように、仮ロットの処理スケジュールである仮スケジュールを作成している。仮スケジュールは、基板処理の開始予定時刻ｔ１１と終了予定時刻ｔ１２とを含んでいる。仮ロットは搬送系４によって前段階の基板処理装置から基板処理装置１００Ａまで搬送され、第１キャリアステージ１１１に載置される。その後、仮ロットは棚部１５２のキャリア収納室１５１に収納される（到着予定時刻ｔ１０）。この仮ロットは、開始予定時刻ｔ１１に間に合うように、キャリア搬送ロボット１５４によって第２キャリアステージ１５３に搬送される。
タイムチャート９０Ｂでは、基板処理装置１００Ｂを対象として、仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９０Ｂでは、１つの処理中ロットの処理の終了後に、基板処理装置１００Ｂの液交換が行われる予定となっている。そこで、基板処理装置１００Ｂの仮スケジュールは、液交換の終了後に仮ロットの処理が開始されるように開始予定時刻ｔ２１が設定されている。当該仮スケジュールには、仮ロットの基板処理の終了予定時刻ｔ２２も設定されている。ここで、基板処理装置１００Ａは基板処理装置１００Ｂよりも前段階の基板処理装置から近接した位置に配置されている。このため、仮ロットが基板処理装置１００Ａに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ１０）は仮ロットが基板処理装置１００Ｂに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ２０）よりも早くなる。
タイムチャート９０Ｃでは、基板処理装置１００Ｃを対象として、４つの処理中ロットが処理を行われている状態で、仮ロットの仮スケジュールが作成されている。当該仮スケジュールは、当該４つの処理中ロットの何れとも、同一の基板処理ユニット１、かつ、同一タイミングで仮ロットの処理が行われないように設定されている。当該仮スケジュールには、仮ロットの基板処理の開始予定時刻ｔ３１と終了予定時刻ｔ３２とが設定されている。ここで、基板処理装置１００Ａは基板処理装置１００Ｂおよび１００Ｃよりも前段階の基板処理装置から近接した位置に配置されている。このため、仮ロットが基板処理装置１００Ａに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ１０）は仮ロットが基板処理装置１００Ｂまたは１００Ｃに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ２０、ｔ３０）よりも早くなる。
タイムチャート９０Ａ〜９０Ｃでは、基板処理装置１００Ａの仮スケジュールが最も早期に開始される。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ａを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
タイムチャート９０Ａ〜９０Ｃでは、基板処理装置１００Ａの仮スケジュールが最も早く終了する。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ａを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
図７は異なるスケジューリング状態の基板処理装置１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ）に優先度が異なる仮ロットを与えた場合に、どのように仮スケジュールが行われるかを説明するためのタイムチャートである。図７のタイムチャート９１Ａ〜９１Ｃでは、２つの処理中ロットの処理が行われているともに、２つの予約ロットが存在している状態で、作成された仮ロットの仮スケジュールが示されている。
タイムチャート９１Ａでは、基板処理装置１００Ａを対象として仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９１Ａでは、１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度も「低」である。このため、仮スケジュールは、２つの予約ロットよりも後で開始されるように作成されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ４１に、終了予定時刻はｔ４２に設定されている。
タイムチャート９１Ｂでは、基板処理装置１００Ｂを対象として仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９１Ｂでは１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度は「中」である。そして、仮スケジュールは、双方の予約ロットの間に処理が行われるように設定されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ５１に、終了予定時刻はｔ５２に設定されている。
タイムチャート９１Ｃでは、１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度は「高」である。このため、仮スケジュールは、２つの処理中ロットに先立って仮ロットの基板処理が行われるように設定されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ６１に、終了予定時刻はｔ６２に設定されている。
タイムチャート９１Ａ〜９１Ｃでは、基板処理装置１００Ｃの仮スケジュールが最も早期に開始される。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
あるいは、仮ロットの終了予定時刻が最も早い基板処理装置１００を選択することも可能である。図７の例では、基板処理装置１００Ｃでの仮ロットの終了予定時刻ｔ６２は他の基板処理装置１００Ａ、１００Ｂでの仮ロットの終了予定時刻ｔ４２、ｔ５２よりも早い。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
あるいは、基板処理装置１００の内部での待機時間の長さを基準に仮ロットの搬送先を選択することも可能である。例えば、タイムチャート９１Ａ〜９１Ｃでは、基板処理装置１００Ｃでの待機時間（ｔ６０〜ｔ６１）が他の基板処理装置１００Ａ、Ｂでの待機時間よりも短い。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ〜１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
以上のように構成された本実施形態に係る基板処理システムによれば、ホストコンピュータ３はスケジューリング部１５から送信された仮スケジュールに基づいて仮ロット（「未着ロット」）を基板処理装置１００に搬送するか否かを判断し、仮ロットを基板処理装置１００に搬送すると決定した場合には仮ロットを基板処理装置１００に搬送すること示す信号をスケジューリング部１５に与え、スケジューリング部１５はホストコンピュータ３から信号を受けると、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。従って、仮ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約することができる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約することができる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、基板処理装置１００のスケジューリング部１５は、予約処理をした仮ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールを実際に作成することができる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、到着済みのロットのスケジュールと、仮ロットのレシピと、ホストコンピュータ３から与えられた仮ロットの到着予定時刻とに基づいて仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成できる。従って、信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、仮ロットの到着予定時刻が、基板処理装置１００の処理状況に応じて設定されるので、さらに信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、優先度付きの他のロットと仮ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。従って、処理の優先度を反映した仮スケジュールを作成することが出来る。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。従って、ロット間の処理順の変更を、さらに高い自由度で行うことができる。
また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、基板処理装置１００を複数備え、ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００のそれぞれから受け取った仮ロットの仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置１００のうち１つ基板処理装置１００を、仮ロットを搬送する基板処理装置１００として選択する。従って、複数の基板処理装置１００から仮ロットの処理に最適な装置を選ぶことが出来るので、基板処理システム全体としてのスループットが向上する。
また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、当該基板処理装置に仮ロットが搬送されることを示す信号を信号受信部１９がホストコンピュータ３から受け取った場合に、予約処理部２０は、仮ロットが当該基板処理装置に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。従って、仮ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
３００ 基板処理システム
１００ 基板処理装置
１００Ａ〜１００Ｆ 基板処理装置
１０ 基板処理装置群
１ 基板処理ユニット（処理部）
１３０ 制御部
３ ホストコンピュータ
４ 搬送系
５ ストッカー
６ ＯＨＴ
１１ ＣＰＵ
１５ スケジューリング部
９ 基板
Ｃ キャリア

Claims (12)

  1. 基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置と、
    前記基板処理装置のスケジューリング部に対してロットのレシピを送信するホストコンピュータと、
    を備えた基板処理システムであって、
    前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを前記スケジューリング部に送信し、
    前記スケジューリング部は、前記基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信し、
    前記ホストコンピュータは前記スケジューリング部から送信された前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを判断し、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定した場合には前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送することを示す信号を前記スケジューリング部に与え、
    前記スケジューリング部は前記ホストコンピュータから前記信号を受けると、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  2. 請求項１に記載の基板処理システムであって、
    前記スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  3. 請求項１に記載の基板処理システムであって、スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  4. 請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    前記基板処理装置の前記スケジューリング部は、
    前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する、基板処理システム。
  5. 請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置の前記スケジューリング部に前記未着ロットの到着予定時刻をさらに与え、
    前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信する、基板処理システム。
  6. 請求項５に記載の基板処理システムであって、
    前記ホストコンピュータは、
    前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の１つの処理中のロットの処理の終了予定時刻に応じて設定する、基板処理システム。
  7. 請求項５または請求項６に記載の基板処理システムであって、
    前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、
    前記ホストコンピュータは、
    前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する、基板処理システム。
  8. 請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    前記スケジューリング部は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する、基板処理システム。
  9. 請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    前記スケジューリング部は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる、基板処理システム。
  10. 請求項９に記載の基板処理システムであって、
    前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる、基板処理システム。
  11. 請求項１から請求項１０の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    前記基板処理装置を複数備え、
    前記ホストコンピュータは、前記未着ロットのレシピを当該複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部に送信し、
    前記複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成して前記ホストコンピュータに送信し、
    前記ホストコンピュータは、前記複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する、基板処理システム。
  12. 基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置であって、
    前記スケジューリング部は、
    当該基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを外部のホストコンピュータから受信するロット情報受信部と、
    当該基板処理装置に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、前記未着ロットの前記レシピとに基づいて、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する仮スケジュール作成部と、
    前記仮スケジュール作成部が取得した前記未着ロットの前記仮スケジュールを前記ホストコンピュータに与える仮スケジュール供給部と、
    当該基板処理装置に前記未着ロットが搬送されることを示す信号を前記ホストコンピュータから受け取る信号受信部と、
    前記信号受信部が前記信号を受け取った場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する予約処理部と、
    を備える、基板処理装置。
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