WO2018159085A1 - 基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法 - Google Patents

基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法 Download PDF

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WO2018159085A1
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substrate processing
lot
schedule
processing apparatus
unarrived
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英樹 柴田
隆一 木村
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株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
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    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Definitions

  • the present invention includes a semiconductor wafer, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a plasma display, a substrate for an optical disk, a substrate for a magnetic disk, a substrate for a magneto-optical disk, a glass substrate for a photomask, a substrate for a solar cell, etc.
  • the present invention relates to a substrate processing technique for performing processing on a substrate simply).
  • Patent Document 1 in a substrate processing system for processing a substrate accommodated in a FOUP, a plurality of substrate processing apparatuses, a host computer for instructing transfer to a processing target FOUP, and an upstream side of the plurality of substrate processing apparatuses 1 shows a substrate processing system including a pre-device buffer and a transport system for transporting a FOUP.
  • the pre-device buffer causes a plurality of substrate processing apparatuses to perform processing simulation, that is, to create a FOUP processing schedule based on a recipe, for the FOUP received from the transfer system in response to an instruction from the host computer.
  • the pre-device buffer is an optimum device that indicates which substrate processing apparatus is optimal to process based on the result of simulation, or in which order and in which order a plurality of FOUPs are processed by which substrate processing apparatus. Select the optimal sequencer that represents the optimal.
  • the pre-device buffer instructs the selected optimal device or optimal order device to process the FOUP in the pre-device buffer transported by the transport system.
  • the present invention has been made to solve these problems, and a schedule for executing substrate processing of a non-arrival lot that has not arrived at the substrate processing apparatus is batting with a schedule of other lots to be subsequently created. It aims at providing the technology that can be made so that it does not.
  • a substrate processing system includes a plurality of processing units for processing a substrate, and a schedule for executing substrate processing of a lot using the plurality of processing units.
  • a substrate processing system including: a substrate processing apparatus including: a substrate processing apparatus including: a host computer that transmits a recipe of a lot to the scheduling unit of the substrate processing apparatus, wherein the host computer includes: A recipe for unarrived lots that have not arrived at the substrate processing apparatus is transmitted to the scheduling unit, and the scheduling unit is based on the schedule of lots that have arrived at the substrate processing apparatus and the recipe for the unarrived lots.
  • a schedule for the unprocessed lot in the substrate processing apparatus is created as a temporary schedule, and the host controller The host computer determines whether or not to transfer the unarrived lot to the substrate processing apparatus based on the temporary schedule transmitted from the scheduling unit, and the unprocessed lot is transferred to the substrate processing apparatus. If it is determined that the undelivered lot is to be transferred to the substrate processing apparatus, a signal indicating that the unarrived lot is to be transferred to the substrate processing apparatus is provided to the scheduling unit. Before arriving at the substrate processing apparatus, a reservation process is performed in which the provisional schedule of the unsettled lot is reserved in the scheduling unit as a schedule exclusive of the schedule of other lots.
  • the substrate processing system which concerns on a 2nd aspect is a substrate processing system which concerns on a 1st aspect, Comprising:
  • the said scheduling part changes the said temporary schedule of the said unarrived lot at the time of creation of the said schedule of the said other lot Reservation processing for reserving as an impossible schedule is executed.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to the first aspect, wherein the scheduling unit can change the provisional schedule of the undelivered lot when the schedule of the other lot is created. Reservation processing for reserving as a schedule is executed.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to any one of the first to third aspects, wherein the scheduling unit of the substrate processing apparatus performs the reservation process.
  • the schedule of the other lot is further created using the schedule of
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to any one of the first to fourth aspects, wherein the host computer includes the unarrived lot in the scheduling unit of the substrate processing apparatus.
  • the scheduling unit further provides a scheduled arrival time, and the scheduling unit temporarily estimates the schedule of the unarrived lot in the substrate processing apparatus based on the schedule of the arrived lot, the recipe of the unarrived lot, and the estimated arrival time.
  • a schedule is created and transmitted to the host computer.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to the fifth aspect, wherein the host computer sets the scheduled arrival time of the unarrived lot according to the processing status of the substrate processing apparatus. To do.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to the fifth or sixth aspect, wherein the unattached lot is a lot including a substrate that has been subjected to substrate processing in a previous stage substrate processing apparatus. And the host computer sets the estimated arrival time of the unarrived lot based on the time required to transport the lot from the substrate processing apparatus in the previous stage to the substrate processing apparatus.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to any one of the first to seventh aspects, wherein the scheduling unit has the unarrived lot in which processing priority is set in advance. And a schedule is created in advance and processing priority is given in advance, and based on each recipe with other lots with priority that has not yet started processing, Re-schedule the other lots with priorities so that the other lots and the unarrived lots are processed in the order according to the priority of each processing, A schedule in the substrate processing apparatus is created as a temporary schedule.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to any one of the first to eighth aspects, wherein the scheduling unit has already started processing of the unarrived lot.
  • the schedule of the other lots that have been scheduled is created again and the schedule of the unsettled lots in the substrate processing apparatus is created as a provisional schedule so that it is performed earlier than other lots that have not been scheduled. Can do.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to the ninth aspect, wherein the other lots that have been scheduled are the already arrived lots that have not started processing. Includes medium lot.
  • a substrate processing system is the substrate processing system according to any one of the first to tenth aspects, comprising a plurality of the substrate processing apparatuses, wherein the host computer is configured to receive a recipe for the undelivered lot.
  • the host computer is configured to receive a recipe for the undelivered lot.
  • To each of the scheduling units of the plurality of substrate processing apparatuses, and each of the scheduling units of the plurality of substrate processing apparatuses is based on the schedule of the arrived lot and the recipe of the unarrived lot The temporary schedule for the undelivered lot is created and transmitted to the host computer, and the host computer receives the plurality of substrates based on the temporary schedule for the unarrived lot received from each of the plurality of substrate processing apparatuses.
  • One of the processing apparatuses is selected as a substrate processing apparatus for transporting the undelivered lot. That.
  • a substrate processing apparatus includes a plurality of processing units for processing a substrate, and a scheduling unit that creates a schedule for executing substrate processing of a lot using the plurality of processing units.
  • the substrate processing apparatus wherein the scheduling unit receives a recipe of an unarrived lot that has not arrived at the substrate processing apparatus from an external host computer, and a lot that has arrived at the substrate processing apparatus.
  • a temporary schedule creating unit that creates a schedule in the substrate processing apparatus for the unarrived lot as a temporary schedule, and the temporary schedule creating unit obtain Provisional schedule providing the host computer with the provisional schedule of the undelivered lot
  • a signal receiving unit that receives from the host computer a signal indicating that the undelivered lot is transported to the substrate processing apparatus, and when the signal receiving unit receives the signal,
  • a reservation processing unit that executes a reservation process for reserving the schedule of the undelivered lots as a schedule exclusive of the schedules of other lots in the scheduling unit before arriving at the substrate processing apparatus.
  • a substrate processing method is a substrate processing method comprising a scheduling step for creating a schedule for executing substrate processing for a lot, wherein the scheduling step includes a schedule for a lot that has already arrived at a substrate processing apparatus. And a schedule in the substrate processing apparatus of the unarrived lot based on the recipe of the unarrived lot that has not arrived at the substrate processing apparatus as a temporary schedule, and the substrate processing method is based on the temporary schedule.
  • a determination step for determining whether or not to transfer the unarrived lot to the substrate processing apparatus, and the scheduling step is determined to transfer the unarrived lot to the substrate processing apparatus in the determination step.
  • Serial and schedule of the provisional schedule other lots is a process to execute the reservation process to be reserved as an exclusive schedule.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to the thirteenth aspect, wherein the scheduling step cannot change the provisional schedule of the undelivered lot when creating a schedule of the other lot. This is a step of executing a reservation process for making a reservation as a simple schedule.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to the thirteenth aspect, wherein the scheduling step can change the provisional schedule of the undelivered lot when creating a schedule of the other lot. This is a step of executing a reservation process for making a reservation as a simple schedule.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to any one of the thirteenth to fifteenth aspects, wherein the scheduling step uses a schedule of the unarrived lot that has undergone the reservation process. This is a step of further creating a schedule for the other lot.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to any one of the thirteenth to sixteenth aspects, wherein a time setting for setting an arrival time of the unarrived lot to the substrate processing apparatus is set.
  • the scheduling step further includes a step of temporarily scheduling a schedule of the unarrived lot in the substrate processing apparatus based on the arrived lot schedule, the unarrived lot recipe, and the estimated arrival time. It is a process to create as.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to the seventeenth aspect, wherein the time setting step determines the arrival time of the unarrived lot according to the processing status of the substrate processing apparatus. It is a process of setting.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to the seventeenth or eighteenth aspect, wherein the unattached lot is a lot including a substrate that has been subjected to substrate processing in a previous stage substrate processing apparatus.
  • the time setting step is a step of setting the estimated arrival time of the unarrived lot based on a time required for the lot transportation from the substrate processing apparatus in the previous stage to the substrate processing apparatus.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to any one of the thirteenth to nineteenth aspects, wherein the scheduling step includes the unarrived lots for which processing priority is set in advance. And a schedule is created in advance and processing priority is given in advance, and based on each recipe with other lots with priority that has not yet started processing, Re-schedule the other lots with priorities so that the other lots and the unarrived lots are processed in the order according to the priority of each processing, This is a step of creating a schedule in the substrate processing apparatus as a temporary schedule.
  • the substrate processing method according to a twenty-first aspect is the substrate processing method according to any one of the thirteenth to twentieth aspects, wherein the scheduling step is such that processing of the unarrived lot has not yet started processing.
  • the schedule of the other lots that have been scheduled is created again and the schedule of the unsettled lots in the substrate processing apparatus is created as a provisional schedule so that it is performed earlier than other lots that have not been scheduled. It is a process that can.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to the twenty-first aspect, wherein the other lots that have been scheduled are non-processed that have already arrived and have not started processing. Includes medium lot.
  • a substrate processing method is the substrate processing method according to any one of the thirteenth to twenty-second aspects, comprising the scheduling step for each of the plurality of substrate processing apparatuses, For each of the substrate processing apparatuses, the scheduling step is a step of creating the temporary schedule of the unarrived lot based on the schedule of the arrived lot and the recipe of the unarrived lot, and the substrate processing method Is one substrate processing apparatus among the plurality of substrate processing apparatuses based on the provisional schedule of the unarrived lot corresponding to each of the plurality of substrate processing apparatuses as a substrate processing apparatus that transports the unattached lot A selection step of selecting.
  • the host computer determines whether or not to transfer the undelivered lot to the substrate processing apparatus based on the provisional schedule transmitted from the scheduling unit, and sets the unarrived lot to the substrate processing apparatus.
  • a signal indicating that the unarrived lot is transported to the substrate processing apparatus is given to the scheduling unit, and when the scheduling unit receives a signal from the host computer, before the unarrived lot arrives at the substrate processing apparatus, Reservation processing for reserving the provisional schedule of the undelivered lots as a schedule exclusive of the schedules of other lots in the scheduling unit is executed. Therefore, it is possible to create a schedule for executing substrate processing of unarrived lots so as not to be batted with schedules of other lots created thereafter.
  • the scheduling unit sets the temporary schedule of the undelivered lot as a schedule that is exclusive from the schedule of the other lot and cannot be changed when the schedule of the other lot is created. You can make a reservation.
  • the scheduling unit sets the temporary schedule of the undelivered lot as a schedule that is exclusive from the schedule of the other lot and can be changed when the schedule of the other lot is created. You can make a reservation.
  • the scheduling unit of the substrate processing apparatus can actually create a schedule for another lot by using a schedule for an unarrived lot that has undergone reservation processing.
  • the scheduling unit receives the unarrived lot based on the arrived lot schedule, the recipe for the unarrived lot, and the estimated arrival time of the unarrived lot given from the host computer.
  • the schedule in the substrate processing apparatus can be created as a temporary schedule. Therefore, a highly reliable provisional schedule can be created.
  • the scheduled arrival time of the unarrived lot is set according to the processing status of the substrate processing apparatus, so that a more reliable provisional schedule can be created.
  • the scheduling unit assigns the priority so that the other lots with priority and the undelivered lots are processed in an order according to the priority of each process.
  • a schedule for other lots is created again, and a schedule in a substrate processing apparatus for unsettled lots is created as a temporary schedule. Therefore, it is possible to create a temporary schedule reflecting the processing priority.
  • the scheduling unit is configured so that the process of the unsettled lot is performed earlier than the other schedule-created lots that have not yet started processing.
  • a schedule for a lot can be created again, and a schedule in a substrate processing apparatus for an unattached lot can be created as a temporary schedule. Therefore, even if it is necessary to change the processing order between lots regardless of priority, for example, when processing of other lots that have already been scheduled is delayed due to the occurrence of liquid exchange, It is possible to create a provisional schedule to be processed before other created lots.
  • the other lots that have been scheduled include non-processing lots that have arrived and have not started processing. Therefore, the processing order between lots can be changed with a higher degree of freedom.
  • the substrate processing system includes a plurality of substrate processing apparatuses, and the host computer uses a plurality of substrate processing apparatuses based on a temporary schedule of unarrived lots received from each of the plurality of substrate processing apparatuses.
  • One of the substrate processing apparatuses is selected as a substrate processing apparatus for transporting unarrived lots. Accordingly, since an optimum apparatus for processing a non-arrival lot can be selected from a plurality of substrate processing apparatuses, the throughput of the entire substrate processing system is improved.
  • the reservation processing unit when the signal receiving unit of the substrate processing apparatus receives a signal indicating that the undelivered lot is conveyed to the substrate processing apparatus from the host computer, the reservation processing unit Before the arrival lot arrives at the substrate processing apparatus, reservation processing is executed in which the scheduling unit reserves the schedule of the unarrived lot as a schedule exclusive of the schedule of other lots. Therefore, it is possible to create a schedule for executing substrate processing of unarrived lots so as not to be batted with schedules of other lots created thereafter.
  • the determining step is a step of determining whether or not to transfer the unarrived lot to the substrate processing apparatus based on the provisional schedule created in the scheduling step. If it is determined that the undelivered lot is to be transported to the substrate processing apparatus, the scheduling process will exclude the temporary schedule for the unarrived lot from the schedule of other lots before the unarrived lot arrives at the substrate processing apparatus. Reservation processing for reserving as a schedule is executed. Therefore, it is possible to create a schedule for executing substrate processing of unarrived lots so as not to be batted with schedules of other lots created thereafter.
  • the substrate processing apparatus 100 will be described with reference to the drawings.
  • the following embodiment is an example embodying the present invention, and is not an example of limiting the technical scope of the present invention.
  • the size and number of each part may be exaggerated or simplified for easy understanding.
  • symbol is attached
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of a substrate processing system 300 according to the embodiment.
  • the carrier C in which a plurality of substrates 9 are normally stored is transported between a plurality of substrate processing apparatuses.
  • the substrate processing system 300 includes a host computer 3, a trunk rail R ⁇ b> 1 for carrier conveyance, a plurality of apparatus bays 201 and 202, and a stocker 5.
  • An OHT (OverHead Transfer) 6 is slidably connected to the main rail R1.
  • the OHT 6 conveys the carrier C between the plurality of apparatus bays 201 and 202 along the main rail R1.
  • Branch lines R11 and R21 are provided in the device bays 201 and 202, respectively.
  • the branch lines R11 and R21 are rails that circulate inside the device bays 201 and 202, and are connected to the main rail R1 via lead-in lines R12 and R22.
  • the OHT 6 moves to the branch line R11 inside the first apparatus bay 201 through the lead-in line R12, and transfers the carrier C to and from a plurality of substrate processing apparatuses 100 (described later) provided in the first apparatus bay 201. I do.
  • the OHT 6 passes through the lead-in line R 22 and moves to the branch line R 21 inside the second apparatus bay 202, and carries a carrier with a plurality of substrate processing apparatuses 100 (described later) provided in the second apparatus bay 202. Deliver C.
  • the stocker 5 is disposed outside the first and second device bays 201 and 202.
  • the stocker 5 is a device that stores a plurality of carriers C, and delivers the carriers C to and from the OHT 6.
  • the first apparatus bay 201 includes a plurality of substrate processing apparatuses 100 (three substrate processing apparatuses 100 (100A, 100B, 100C) in the example of FIG. 1).
  • the second apparatus bay 202 includes a plurality of substrate processing apparatuses 100 (three substrate processing apparatuses 100 (100D, 100E, and 100F) in the example of FIG. 1).
  • the stocker 5 and the OHT 6 are collectively referred to as a transport system 4.
  • the host computer 3, each substrate processing apparatus 100, and the transport system 4 are electrically connected, for example.
  • the substrate processing apparatus 100 (100A to 100F) has a function of processing the substrate 9.
  • the substrate 9 is transported while being accommodated in the carrier C.
  • the carrier C normally contains a plurality of substrates 9.
  • the form of the carrier C may be a FOUP (Front Opening Unified Unified Pod) that accommodates the substrate 9 in a sealed space, a SMIF (Standard Mechanical Inter Inter Face) pod, or an OC that exposes the accommodated substrate 9 to the outside air ( Open Cassette).
  • the carrier C is carried into the substrate processing apparatuses 100A to 100F by the carrying system 4, and is carried out from the substrate processing apparatuses 100A to 100F by the carrying system 4.
  • the substrate processing apparatuses 100A to 100F are apparatuses that execute the same kind of substrate processing (for example, substrate cleaning).
  • Carrier C or a group of substrates accommodated in carrier C is also referred to as “lot”.
  • the substrate processing apparatus 100 receives from the host computer 3 lot information including a recipe that defines the processing content for the lot.
  • the substrate processing apparatus 100 carries in the carrier C transported by the transport system 4 and processes the substrate 9 according to a schedule created in advance according to the recipe.
  • the substrate 9 that has been processed is accommodated in the carrier C and carried out again.
  • the host computer 3 includes a manufacturing execution system (MES: Manufacturing Execution System) and a transfer control system (MCS: Material Control System).
  • MES Manufacturing Execution System
  • MCS Material Control System
  • the host computer 3 controls the transport operation of the carrier C by the transport system 4.
  • the host computer 3 controls the lot substrate processing by each substrate processing apparatus 100.
  • the host computer 3 is a lot that is scheduled to be transferred to any one of the plurality of substrate processing apparatuses 100 (100A to 100F), but is not yet transferred to any of the substrate processing apparatuses 100.
  • Temporary lot information also referred to as “unarrived lot information” K1 (also referred to as “temporary lot”) is transmitted to the scheduling unit 15 of each of the substrate processing apparatuses 100A to 100F.
  • the temporary lot information K1 includes an ID for specifying the temporary lot, a recipe that defines the processing content of the temporary lot, and the priority of the temporary lot processing (see FIG. 3).
  • the host computer 3 can also set the estimated arrival time of the temporary lot according to the processing status of each substrate processing apparatus 100. Therefore, the host computer 3 can give different scheduled arrival times to the substrate processing apparatuses 100.
  • the scheduling unit 15 of each of the substrate processing apparatuses 100A to 100F creates a temporary schedule for processing the temporary lot based on the temporary lot information K1.
  • the provisional schedule includes, for example, the scheduled end time and the scheduled start time of the provisional lot processing.
  • the scheduled start time is the time at which the carrier C corresponding to the temporary lot can be placed on the first carrier stage 111 (see FIG. 2) of the substrate processing apparatus 100, or the second carrier stage 153 (see FIG. 2). This is the time when it becomes possible to start unloading the first substrate 9 from the carrier C above.
  • the scheduled end time is the time when all the substrates belonging to the temporary lot are processed by the substrate processing apparatus 100 and unloaded to the carrier C on the second carrier stage 153, or the carrier C containing all the substrates 9 belonging to the temporary lot is stored. This is the time when payout from the first carrier stage 111 becomes possible.
  • Each of the substrate processing apparatuses 100A to 100F transmits the created temporary schedule to the host computer 3.
  • the host computer 3 transports the temporary lot to one of the plurality of substrate processing apparatuses 100 based on the temporary schedule of the temporary lot (unarrival lot) received from each of the plurality of substrate processing apparatuses 100.
  • the substrate processing apparatus 100 is selected. Specifically, for example, the host computer 3 selects the substrate processing apparatus 100 with the earliest scheduled start time or scheduled end time of the temporary lot based on each temporary schedule supplied from each substrate processing apparatus 100. That is, the host computer 3 determines whether or not the undelivered lot is to be transported to the substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule transmitted from the scheduling unit 15 and determines the substrate processing apparatus 100 that is to transport the undelivered lot.
  • the host computer 3 informs the scheduling unit 15 of the substrate processing apparatus 100 determined as the temporary lot transfer destination that a signal indicating that the undelivered lot is transferred to the substrate processing apparatus 100 (also referred to as “notice signal” or “notification signal”). Supply).
  • the transport system 4 transports the carrier C to each part according to instructions from the host computer 3. As described above, the transport system 4 includes the stocker 5 and the OHT 6.
  • first device bay 201 and the second device bay 202 have basically the same configuration, only the first device bay 201 will be described below, and the description of the second device bay 202 will be omitted. .
  • the OHT 6 receives a carrier C from a substrate processing apparatus (not shown) that performs substrate processing (for example, film formation processing, etching processing, impurity addition processing, CMP, etc.) prior to substrate processing in each substrate processing apparatus 100. And place it on the stocker 5 as necessary. The stocker 5 temporarily stores the carrier C placed thereon. The OHT 6 may transport the carrier C directly from the previous stage substrate processing apparatus to the substrate processing apparatus 100 in the first apparatus bay 201 without being placed on the stocker 5.
  • substrate processing for example, film formation processing, etching processing, impurity addition processing, CMP, etc.
  • Each substrate processing apparatus 100 executes a cleaning process such as removing the substrate from the carrier C received from the OHT 6 and removing various particles adhering to the substrate in the previous stage from the substrate.
  • the transport distance of the carrier C from the substrate processing apparatus in the previous stage to each substrate processing apparatus 100 is not the same. Accordingly, the carrier transport time for transporting the carrier C from the previous stage substrate processing apparatus to each substrate processing apparatus 100 is different for each substrate processing apparatus 100.
  • the host computer 3 can set the arrival time of an unarrived lot to a different value for each substrate processing apparatus 100 based on the length of the carrier transport time.
  • the host computer 3 is a time required for transporting the carrier C from the previous stage substrate processing apparatus to each substrate processing apparatus 100, that is, an unprocessed substrate group accommodated in the carrier C, as the arrival time of an unarrived lot. It can also be set based on the time required to transport the undelivered lot.
  • the substrate processing apparatus in the previous stage of the substrate processing apparatus 100 may be disposed in the same apparatus bays 201 and 202 as the substrate processing apparatus 100.
  • Stocker 5 delivers carrier C to and from OHT 6.
  • the stocker 5 temporarily holds the carrier C therein, and adjusts the difference in time during which the carrier C can be exchanged between the OHT 6 and the substrate processing apparatus 100.
  • FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a configuration example of the substrate processing apparatus.
  • the substrate processing apparatus 100 is a system that processes a plurality of substrates 9 such as semiconductor wafers.
  • the surface shape of the substrate 9 is substantially circular.
  • the substrate processing apparatus 100 includes a plurality of substrate processing units 1.
  • the substrate processing apparatus 100 can continuously process the substrates 9 one by one in each substrate processing unit 1, and processes a plurality of substrates 9 in parallel by the plurality of substrate processing units 1. You can also.
  • the substrate processing apparatus 100 includes a control unit that controls a plurality of cells (processing blocks) arranged in parallel, specifically, the indexer cell 110 and the processing cell 120, and each operation mechanism provided in the plurality of cells 110 and 120. 130.
  • the indexer cell 110 is a cell for transferring the unprocessed substrate 9 received from the outside of the apparatus to the processing cell 120 and carrying out the processed substrate 9 received from the processing cell 120 to the outside of the apparatus.
  • the indexer cell 110 also has a function of buffering the carrier C.
  • the indexer cell 110 includes a first carrier stage 111 on which a plurality of carriers C transported by the OHT 6 are placed, and an internal buffer 150.
  • the unprocessed substrates 9 are taken out one by one from the carrier C and processed in the apparatus, and the processed substrates 9 that have been processed in the apparatus are stored in the carrier C again.
  • the carrier C storing the processed substrate 9 is carried out of the apparatus by the OHT 6.
  • the first carrier stage 111 functions as a substrate integration unit that integrates the unprocessed substrate 9 and the processed substrate 9.
  • the internal buffer 150 is disposed between the first carrier stage 111 and the processing cell 120.
  • the internal buffer 150 is a second carrier stage 153 on which a carrier C for transferring the substrate 9 between the shelf 152 having a plurality of carrier storage chambers 151 for storing carriers C and the processing cell 120 is placed.
  • a carrier transport robot 154 that transports the carrier C between the first carrier stage 111, the shelf 152, and the second carrier stage 153, and a lid (not shown) of the carrier C placed on the second carrier stage 153 And a load port 155 for attaching and detaching.
  • the internal buffer 150 temporarily carries the carrier C when the carrier C is loaded from the first carrier stage 111 toward the second carrier stage 153 or when the carrier C cannot be unloaded from the first carrier stage 111 to the outside of the substrate processing apparatus 100.
  • C can be stored. That is, the internal buffer 150 has a carrier C buffering function. Further, when the unprocessed substrate 9 cannot be unloaded from the carrier C toward the processing cell 120, the internal buffer 150 temporarily places the unprocessed substrate 9 in the carrier C stored in the carrier storage chamber 151. You can also. That is, the internal buffer 150 also has a buffering function for the substrate 9.
  • the transfer robot IR supports a plurality of (for example, four) hands capable of holding the substrate 9 in a horizontal posture (a posture in which the main surface of the substrate 9 is horizontal) by supporting the substrate 9 from below, and a plurality of hands. Are provided with a plurality of arms respectively moving.
  • the transfer robot IR takes out the unprocessed substrate 9 from the carrier C placed on the second carrier stage 153, and transfers the taken-out substrate 9 to the transport robot CR (described later) at the substrate delivery position P.
  • the transfer robot IR receives the processed substrate 9 from the transfer robot CR at the substrate delivery position P, and stores the received substrate 9 in the carrier C placed on the second carrier stage 153.
  • the transfer robot IR can deliver the substrate 9 using a plurality of hands simultaneously.
  • the processing cell 120 is a cell for processing the substrate 9.
  • the processing cell 120 includes a plurality of substrate processing units (“processing units”) 1 and a transfer robot CR that loads and unloads the substrates 9 with respect to the plurality of substrate processing units 1.
  • the transfer robot CR and the control unit 130 are substrate transfer apparatuses.
  • a plurality of (for example, three) substrate processing units 1 are stacked in the vertical direction to constitute one substrate processing apparatus group 10.
  • a plurality (four in the illustrated example) of substrate processing apparatus groups 10 are installed in a cluster shape (tuft shape) so as to surround the transfer robot CR. Accordingly, the plurality of substrate processing units 1 are respectively arranged around the transport robot CR.
  • the substrate processing unit 1 detachably holds a substrate disposed on an upper side (vertical upper side) of a spin chuck (not shown) by a spin chuck, and rotates the spin chuck around a predetermined rotation axis a1 while rotating the spin chuck around a predetermined rotation axis a1.
  • a predetermined process for example, a chemical process, a rinse process, a drying process, or the like is performed.
  • the transfer robot CR is a robot that transfers the substrate 9 while cantilevering it.
  • the transfer robot CR takes out the processed substrate 9 from the designated substrate processing unit 1 and transfers the taken-out substrate 9 to the transfer robot IR at the substrate delivery position P. Further, the transfer robot CR receives the unprocessed substrate 9 from the transfer robot IR at the substrate transfer position P, and transfers the received substrate 9 to the designated substrate processing unit 1.
  • the transfer robot CR also includes a plurality of (for example, four) hands and a plurality of arms that respectively move the plurality of hands. The transfer robot CR can transfer the substrate 9 using a plurality of hands simultaneously.
  • Control unit 130 controls the operations of the carrier transfer robot 154, the load port 155, the transfer robot IR, the transfer robot CR, and the group of substrate processing units 1.
  • the configuration of the control unit 130 as hardware can be the same as that of a general computer. That is, the control unit 130 stores, for example, a CPU 11 that performs various arithmetic processes, a ROM 12 that is a read-only memory that stores basic programs, a RAM 13 that is a readable / writable memory that stores various information, a program PG, data, and the like.
  • the magnetic disk 14 to be stored is electrically connected to the bus line 29.
  • a display unit 141 such as a liquid crystal panel, an input unit 142, and an output unit 143 are also electrically connected to the bus line 29.
  • the input unit 142 and the output unit 143 for example, a USB interface including a USB control circuit and a USB connector is employed.
  • the magnetic disk 14 stores temporary lot information K1 sent from the host computer 3 in addition to the program PG.
  • the magnetic disk 14 also stores lot information of lots that have arrived at the substrate processing apparatus 100.
  • control unit 130 the CPU 11 as the main control unit performs arithmetic processing according to the procedure described in the program PG, thereby realizing various functional units that control each unit of the substrate processing apparatus 100, and the provisional lot of the temporary lot. Each functional unit for creating a schedule is also realized.
  • the CPU 11 also operates as a scheduling unit 15 that creates a schedule for executing substrate processing of a lot using a plurality of substrate processing units 1.
  • the scheduling unit 15 also operates as a lot information reception unit 16, a provisional schedule creation unit 17, a provisional schedule supply unit 18, a signal reception unit 19, and a reservation processing unit 20.
  • the lot information receiving unit 16 receives a recipe of a temporary lot that has not arrived at the substrate processing apparatus 100 from the external host computer 3 via the input unit 142.
  • the temporary schedule creation unit 17 performs substrate processing of a temporary lot based on a schedule set in advance for a lot that has already arrived at the substrate processing apparatus 100 and temporary lot information K1 such as a recipe for a temporary lot (unarrived lot).
  • a schedule in the apparatus 100 is created as a temporary schedule.
  • the temporary schedule creation unit 17 creates a temporary lot for which processing priority is set in advance in the temporary lot information K1, a schedule is created in advance, and processing priority is given in advance, and processing is still started. Based on the respective recipes with other lots that have not been prioritized, so that other lots with the priorities and temporary lots are processed in the order according to the priority of each processing, A schedule of another lot with the priority can be created again.
  • the provisional schedule creation unit 17 creates a schedule in the substrate processing apparatus 100 of the provisional lot as a provisional schedule.
  • the provisional schedule creation unit 17 determines the priority. Regardless of whether the temporary lot is processed more quickly than other scheduled lots that have not yet started processing, The schedule in the substrate processing apparatus 100 can also be created as a temporary schedule.
  • the other lots that have been scheduled include non-processing lots that have already arrived and have not started processing.
  • the temporary schedule supply unit 18 supplies the temporary schedule of the temporary lot acquired by the temporary schedule creation unit 17 to the host computer 3 via the output unit 143.
  • the signal receiving unit 19 receives from the host computer 3 a signal indicating that the undelivered lot is conveyed to the substrate processing apparatus 100.
  • the reservation processing unit 20 schedules the temporary lot schedule as an exclusive schedule from the schedules of other lots before the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus 100.
  • a reservation process for making a reservation in the unit 15 is executed.
  • the reservation processing unit 20 can execute a reservation process for reserving a temporary schedule of an unarrived lot as a schedule that cannot be changed when creating a schedule of another lot, and It is also possible to execute a reservation process for making a reservation as a schedule that can be changed when the schedule is created. Note that the scheduling unit 15 can further create a schedule for another lot by using the schedule for the undelivered lot that has undergone the reservation process.
  • the exclusive schedule is a schedule in which there is no other schedule that defines the substrate processing specified by the schedule and the substrate processing performed at the same timing in the same processing unit 1. In other words, exclusive schedules are exclusive at the same processing unit and at the same timing.
  • control unit 130 may be realized in hardware by a dedicated logic circuit or the like.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing a processing flow in the substrate processing system 300.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an example of the operation of the host computer.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate processing apparatus 100.
  • the host computer 3 acquires temporary lot information K1 related to the temporary lot by reading lot-specific information set for each lot and information transmitted from the substrate processing apparatus at the previous stage.
  • the temporary lot information K1 may be acquired by input from an operator or reading from an external storage device (step S10 in FIG. 4).
  • the host computer 3 supplies the acquired temporary lot information K1 to each substrate processing apparatus 100 (100A to 100F) (step S20 in FIGS. 3 and 4).
  • the lot information receiving unit 16 of the scheduling unit 15 of each substrate processing apparatus 100 receives the provisional lot information K1 supplied by the host computer 3 via the input unit 142 (step S110 in FIGS. 3 and 5).
  • the temporary schedule creation unit 17 creates a temporary schedule based on the temporary lot information K1 (step S120 in FIGS. 3 and 5), and the temporary schedule supply unit 18 sends the created temporary schedule via the output unit 143.
  • the provisional lot information K1 includes the estimated arrival time when the provisional lot arrives at each substrate processing apparatus 100.
  • the temporary schedule supply unit 18 creates a substrate processing schedule for the temporary lot in the substrate processing apparatus 100 starting from the estimated arrival time of the temporary lot.
  • the temporary schedule supply part 18 can produce the temporary schedule of a temporary lot with high precision.
  • the substrate processing apparatus that transports a temporary lot from each substrate processing apparatus 100 based on each temporary schedule. 100 is selected (determined) (step S40 in FIGS. 3 and 4).
  • the host computer 3 signals to the scheduling unit 15 of the selected substrate processing apparatus 100 (the substrate processing apparatus 100A in the example of FIG. 3) that the temporary lot is transported (“notice signal”, “notification signal”). Is transmitted to the scheduling unit 15, and a release signal indicating that the temporary schedule is to be released is transmitted to the substrate processing apparatuses 100 (100B, 100C) that have not been selected (steps in FIGS. 3 and 4). S50).
  • the reservation lot signal and the temporary schedule hold release signal are also accompanied by the temporary lot ID. For this reason, each substrate processing apparatus 100 can accurately perform the reservation process and the release process even in a state where there are a plurality of temporary lots.
  • the signal receiving unit 19 of the selected substrate processing apparatus 100 receives a notice signal informing the conveyance of the temporary lot (step S140 in FIGS. 3 and 5), and the reservation processing unit 20 processes the temporary lot as a substrate.
  • a reservation process is performed in which the schedule of the temporary lot is reserved in the scheduling unit 15 as a schedule exclusive of the schedule of other lots (step S150 in FIGS. 3 and 5).
  • the substrate processing apparatus 100 (100B, 100C) that has received the release signal releases the hold of the temporary schedule.
  • the host computer 3 conveys the temporary lot to the substrate processing apparatus 100 (100A) selected (determined) as the temporary lot transfer destination with respect to the transfer system 4. (Step S60 in FIGS. 3 and 4).
  • the transport system 4 transports the temporary lot to the selected substrate processing apparatus 100 (100A), and the substrate processing apparatus 100 (100A) applies to the arrived lot transported by the transport system 4. Then, substrate processing based on the recipe is performed (step S160 in FIGS. 3 and 5).
  • FIGS. 6 and 7 are time charts showing an example of a provisional schedule creation process.
  • FIG. 6 shows three time charts (schedules) showing an example of a process in which three substrate processing apparatuses (also simply referred to as “apparatuses”) 100A to 100C create a temporary schedule according to the state of each substrate processing. 90A to 90C are shown.
  • Each rectangle in FIG. 6 shows a time chart of processing of each processing lot, each reservation lot, or each provisional lot.
  • FIG. 7 shows three time charts (schedules) 91A to 91C showing a process of creating a temporary schedule in a temporary plan according to three priority levels “low”, “medium”, and “high”. The priority of processing decreases in the order of “high”, “medium”, and “low”.
  • the reserved lot is a state in which the temporary lot has not arrived at the substrate processing apparatus 100, and the reservation processing unit 20 sets the temporary schedule of the temporary lot as a schedule exclusive to the schedule of other lots in the scheduling unit. The lot for which processing has been reserved.
  • the provisional schedule creation unit 17 of the substrate processing apparatus 100A creates a provisional schedule that is a provisional lot processing schedule so that processing is not performed at the same substrate processing unit 1 and the same time as the reserved lot.
  • the temporary schedule includes a scheduled start time t11 and a scheduled end time t12 of substrate processing.
  • the temporary lot is transported from the previous stage substrate processing apparatus to the substrate processing apparatus 100 ⁇ / b> A by the transport system 4 and placed on the first carrier stage 111. Thereafter, the temporary lot is stored in the carrier storage chamber 151 of the shelf 152 (scheduled arrival time t10). This temporary lot is transferred to the second carrier stage 153 by the carrier transfer robot 154 so as to be in time for the scheduled start time t11.
  • a temporary schedule of a temporary lot is set for the substrate processing apparatus 100B.
  • the liquid replacement of the substrate processing apparatus 100B is scheduled to be performed after the processing of one in-process lot is completed.
  • the temporary schedule of the substrate processing apparatus 100B is set to the scheduled start time t21 so that the processing of the temporary lot is started after the liquid replacement is completed.
  • the scheduled end time t22 of the substrate processing of the temporary lot is also set.
  • the substrate processing apparatus 100A is arranged at a position closer to the substrate processing apparatus at the previous stage than the substrate processing apparatus 100B. For this reason, the scheduled time when the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus 100A (estimated arrival time t10) is earlier than the scheduled time when the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus 100B (estimated arrival time t20).
  • a provisional schedule of provisional lots is created in a state where four in-process lots are being processed for the substrate processing apparatus 100C.
  • the temporary schedule is set so that the temporary substrate is not processed at the same substrate processing unit 1 and at the same timing in any of the four processing lots.
  • a scheduled start time t31 and a scheduled end time t32 of the temporary lot substrate processing are set.
  • the substrate processing apparatus 100A is disposed at a position closer to the substrate processing apparatus at the previous stage than the substrate processing apparatuses 100B and 100C. For this reason, the scheduled time when the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus 100A (estimated arrival time t10) is earlier than the scheduled time when the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus 100B or 100C (estimated arrival times t20, t30).
  • the provisional schedule of the substrate processing apparatus 100A is started earliest. Therefore, the host computer 3 selects, for example, the substrate processing apparatus 100A as the temporary lot transport destination substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule supplied from the substrate processing apparatuses 100A to 100C.
  • the temporary schedule of the substrate processing apparatus 100A is completed earliest. Therefore, the host computer 3 selects, for example, the substrate processing apparatus 100A as the temporary lot transport destination substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule supplied from the substrate processing apparatuses 100A to 100C.
  • FIG. 7 is a time chart for explaining how the temporary schedule is performed when temporary lots having different priorities are given to the substrate processing apparatuses 100 (100A, 100B, 100C) in different scheduling states.
  • the provisional schedule of the created provisional lot is shown in a state where two processing lots are being processed and two reserved lots exist.
  • a provisional schedule of a provisional lot is set for the substrate processing apparatus 100A.
  • the priority of processing of one reserved lot is “medium”, the priority of processing of other reserved lots is “low”, and the priority of the temporary lot is also “low”.
  • the provisional schedule is created so as to start after the two reserved lots. Therefore, the scheduled start time of the temporary lot substrate processing is set to t41, and the scheduled end time is set to t42.
  • a provisional schedule for a provisional lot is set for the substrate processing apparatus 100B.
  • the processing priority of one reserved lot is “medium”
  • the processing priority of the other reserved lots is “low”
  • the priority of the temporary lot is “medium”.
  • the provisional schedule is set so that processing is performed between both reserved lots. Accordingly, the scheduled start time of the temporary lot substrate processing is set to t51, and the scheduled end time is set to t52.
  • the priority of processing of one reserved lot is “medium”, the priority of processing of other reserved lots is “low”, and the priority of the temporary lot is “high”.
  • the temporary schedule is set so that the substrate processing of the temporary lot is performed prior to the two in-process lots. Accordingly, the scheduled start time of the temporary lot substrate processing is set to t61, and the scheduled end time is set to t62.
  • the provisional schedule of the substrate processing apparatus 100C is started earliest. Therefore, the host computer 3 selects, for example, the substrate processing apparatus 100C as the temporary lot transport destination substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule supplied from the substrate processing apparatuses 100A to 100C.
  • the host computer 3 selects, for example, the substrate processing apparatus 100C as the temporary lot transport destination substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule supplied from the substrate processing apparatuses 100A to 100C.
  • the host computer 3 selects, for example, the substrate processing apparatus 100C as the temporary lot transport destination substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule supplied from the substrate processing apparatuses 100A to 100C.
  • the host computer 3 assigns a temporary lot (“unarrived lot”) to the substrate processing apparatus 100 based on the temporary schedule transmitted from the scheduling unit 15.
  • a signal indicating that the temporary lot is transferred to the substrate processing apparatus 100 is given to the scheduling unit 15, and the scheduling unit 15
  • reservation processing for reserving the temporary schedule of the temporary lot as a schedule exclusive of the schedule of other lots is executed. Therefore, the schedule for executing the substrate processing of the temporary lot can be created so as not to be batted with the schedules of other lots created thereafter.
  • the scheduling unit 15 can exclude the temporary lot provisional schedule from the other lot schedules, and cannot be changed when the other lot schedules are created. Can be reserved as a simple schedule.
  • the scheduling unit 15 can change the provisional schedule of the provisional lot exclusive to the schedule of the other lot and can be changed when the schedule of the other lot is created. Can be reserved as a simple schedule.
  • the scheduling unit 15 of the substrate processing apparatus 100 can actually create a schedule of another lot using the schedule of the provisional lot that has undergone reservation processing.
  • the scheduling unit 15 is based on the schedule of the arrived lot, the recipe of the provisional lot, and the estimated arrival time of the provisional lot given from the host computer 3.
  • a schedule in the substrate processing apparatus 100 of a temporary lot can be created as a temporary schedule. Therefore, a highly reliable provisional schedule can be created.
  • the estimated arrival time of the temporary lot is set according to the processing status of the substrate processing apparatus 100, so that a more reliable temporary schedule can be created. .
  • the scheduling unit 15 prioritizes the other lots with priority and the temporary lots so that they are processed in the order according to the priority of each processing.
  • a schedule of another lot with a degree is created again, and a schedule in the substrate processing apparatus 100 of the temporary lot is created as a temporary schedule. Therefore, it is possible to create a temporary schedule reflecting the processing priority.
  • the scheduling unit 15 has already created the schedule so that the processing of the temporary lot is performed earlier than other schedule-created lots that have not yet started processing.
  • the schedule of another lot can be created again, and the schedule in the substrate processing apparatus 100 of the temporary lot can be created as a temporary schedule.
  • the other lots that have been scheduled include non-processing lots that have arrived and have not started processing. Therefore, the processing order between lots can be changed with a higher degree of freedom.
  • a plurality of substrate processing apparatuses 100 are provided, and the host computer 3 performs a plurality of substrate processing based on a temporary schedule of temporary lots received from each of the plurality of substrate processing apparatuses 100.
  • One of the apparatuses 100 is selected as the substrate processing apparatus 100 that transports the temporary lot. Accordingly, an optimum apparatus for processing a temporary lot can be selected from the plurality of substrate processing apparatuses 100, so that the throughput of the entire substrate processing system is improved.
  • the signal receiving unit 19 receives a signal indicating that the temporary lot is conveyed to the substrate processing apparatus from the host computer 3.
  • the reservation processing unit 20 executes a reservation process in which the scheduling unit 15 reserves the schedule of the temporary lot as a schedule exclusive of the schedule of other lots before the temporary lot arrives at the substrate processing apparatus. Therefore, the schedule for executing the substrate processing of the temporary lot can be created so as not to be batted with the schedules of other lots created thereafter.
  • Substrate processing system 100 Substrate processing apparatus 100A-100F Substrate processing apparatus 10 Substrate processing apparatus group 1 Substrate processing unit (processing part) 130 Control unit 3 Host computer 4 Transport system 5 Stocker 6 OHT 11 CPU 15 Scheduling part 9 Substrate C Carrier

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Abstract

本発明は、未着ロットのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成することを目的とする。該目的を達成するためにスケジューリング部は、到着済みのロットのスケジュールと、未着ロットのレシピとに基づいて未着ロットのスケジュールを仮スケジュールとして作成してホストコンピュータに送信し、ホストコンピュータは当該仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置に搬送するか否かを判断し、未着ロットを基板処理装置に搬送すると決定した場合には未着ロットを基板処理装置に搬送すること示す信号をスケジューリング部に与え、スケジューリング部は当該信号を受けると、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。

Description

基板処理システム、基板処理装置、および基板処理方法
　この発明は、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用ガラス基板、太陽電池用基板、等（以下、単に「基板」という）に、処理を施す基板処理技術に関する。
　特許文献１には、ＦＯＵＰに収容された基板を処理する基板処理システムにおいて、複数台の基板処理装置と、処理対象のＦＯＵＰに対する搬送指示を行うホストコンピュータと、複数台の基板処理装置の上流側に配置された装置前バッファと、ＦＯＵＰを搬送する搬送系と、を備える基板処理システムが示されている。装置前バッファは、ホストコンピュータの指示で搬送系から受け取ったＦＯＵＰについて、複数台の基板処理装置に対して処理のシミュレーション、すなわち、レシピに基づいたＦＯＵＰの処理のスケジュールの作成、をさせる。装置前バッファは、シミュレーションの結果に基づいて、何れの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適装置、または複数個のＦＯＵＰをどのような順序で、どの基板処理装置で処理するのが最適かを表す最適順序装置を選択する。装置前バッファは、選択された最適装置または最適順序装置に対して、搬送系によって搬送される装置前バッファ内のＦＯＵＰの処理を指示する。
特開２０１１－０７７１３６号公報
　しかしながら、特許文献１の基板処理システムには、装置前バッファがＦＯＵＰを最適装置等に搬送する前に、さらに他のＦＯＵＰを受け取った場合に、他のＦＯＵＰについて求められた処理のスケジュールが、先に求められた処理のスケジュールとバッティングする場合があるといった問題がある。
　本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、基板処理装置に到着していない未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる技術を提供することを目的とする。
　上記の課題を解決するために、第１の態様に係る基板処理システムは、基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置と、前記基板処理装置のスケジューリング部に対してロットのレシピを送信するホストコンピュータと、を備えた基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを前記スケジューリング部に送信し、前記スケジューリング部は、前記基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信し、前記ホストコンピュータは前記スケジューリング部から送信された前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを判断し、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定した場合には前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すること示す信号を前記スケジューリング部に与え、前記スケジューリング部は前記ホストコンピュータから前記信号を受けると、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する。
　第２の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットの前記スケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する。
　第３の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する。
　第４の態様に係る基板処理システムは、第１から第３の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記基板処理装置の前記スケジューリング部は、前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する。
　第５の態様に係る基板処理システムは、第１から第４の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置の前記スケジューリング部に前記未着ロットの到着予定時刻をさらに与え、前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信する。
　第６の態様に係る基板処理システムは、第５の態様に係る基板処理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の処理状況に応じて設定する。
　第７の態様に係る基板処理システムは、第５または第６の態様に係る基板処理システムであって、前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する。
　第８の態様に係る基板処理システムは、第１から第７の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
　第９の態様に係る基板処理システムは、第１から第８の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記スケジューリング部は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。
　第１０の態様に係る基板処理システムは、第９の態様に係る基板処理システムであって、前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。
　第１１の態様に係る基板処理システムは、第１から第１０の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、前記基板処理装置を複数備え、前記ホストコンピュータは、前記未着ロットのレシピを当該複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部に送信し、前記複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成して前記ホストコンピュータに送信し、前記ホストコンピュータは、前記複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する。
　第１２の態様に係る基板処理装置は、基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置であって、前記スケジューリング部は、当該基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを外部のホストコンピュータから受信するロット情報受信部と、当該基板処理装置に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、前記未着ロットの前記レシピとに基づいて、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する仮スケジュール作成部と、前記仮スケジュール作成部が取得した前記未着ロットの前記仮スケジュールを前記ホストコンピュータに与える仮スケジュール供給部と、当該基板処理装置に前記未着ロットが搬送されることを示す信号を前記ホストコンピュータから受け取る信号受信部と、前記信号受信部が前記信号を受け取った場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する予約処理部と、を備える。
　第１３の態様に係る基板処理方法は、ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング工程を備える基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成し、当該基板処理方法は、前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを決定する決定工程、をさらに備え、前記スケジューリング工程は、前記決定工程において、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定された場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である。
　第１４の態様に係る基板処理方法は、第１３の態様に係る基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である。
　第１５の態様に係る基板処理方法は、第１３の態様に係る基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である。
　第１６の態様に係る基板処理方法は、第１３から第１５の何れか１つの態様に係る基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する工程である。
　第１７の態様に係る基板処理方法は、第１３から第１６の何れか１つの態様に係る基板処理方法であって、前記基板処理装置への前記未着ロットの到着予定時刻を設定する時刻設定工程、をさらに備え、前記スケジューリング工程は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する工程である。
　第１８の態様に係る基板処理方法は、第１７の態様に係る基板処理方法であって、前記時刻設定工程は、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の処理状況に応じて設定する工程である。
　第１９の態様に係る基板処理方法は、第１７または第１８の態様に係る基板処理方法であって、前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、前記時刻設定工程は、前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する工程である。
　第２０の態様に係る基板処理方法は、第１３から第１９の何れか１つの態様に係る基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する工程である。
　第２１の態様に係る基板処理方法は、第１３から第２０の何れか１つの態様に係る基板処理方法であって、前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる工程である。
　第２２の態様に係る基板処理方法は、第２１の態様に係る基板処理方法であって、前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。
　第２３の態様に係る基板処理方法は、第１３から第２２の何れか１つの態様に係る基板処理方法であって、複数の前記基板処理装置のそれぞれについて、前記スケジューリング工程を備え、当該複数の基板処理装置のそれぞれについて、前記スケジューリング工程は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成する工程であり、当該基板処理方法は、前記複数の基板処理装置のそれぞれに対応する前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する選択工程、をさらに備える。
　第１の態様に係る発明によれば、ホストコンピュータはスケジューリング部から送信された仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置に搬送するか否かを判断し、未着ロットを基板処理装置に搬送すると決定した場合には未着ロットを基板処理装置に搬送すること示す信号をスケジューリング部に与え、スケジューリング部はホストコンピュータから信号を受けると、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。従って、未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
　第２の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約することができる。
　第３の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約することができる。
　第４の態様に係る発明によれば、基板処理装置のスケジューリング部は、予約処理をした未着ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールを実際に作成することができる。
　第５の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、到着済みのロットのスケジュールと、未着ロットのレシピと、ホストコンピュータから与えられた未着ロットの到着予定時刻とに基づいて未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成できる。従って、信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
　第６の態様に係る発明によれば、未着ロットの到着予定時刻が、基板処理装置の処理状況に応じて設定されるので、さらに信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
　第８の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、優先度付きの他のロットと未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。従って、処理の優先度を反映した仮スケジュールを作成することが出来る。
　第９の態様に係る発明によれば、スケジューリング部は、未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、未着ロットの基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。従って、例えば、液交換の発生によってスケジュール作成済みの他のロットの処理が遅れる場合など、優先度に拘らずロット間の処理順を変更する必要が生じた場合においても、未着ロットを、スケジュール作成済みの他のロットよりも先に処理する仮スケジュールを作成できる。
　第１０の態様に係る発明によれば、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。従って、ロット間の処理順の変更を、さらに高い自由度で行うことができる。
　第１１の態様に係る発明によれば、基板処理システムは基板処理装置を複数備え、ホストコンピュータは、複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った未着ロットの仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する。従って、複数の基板処理装置から未着ロットの処理に最適な装置を選ぶことが出来るので、基板処理システム全体としてのスループットが向上する。
　第１２の態様に係る発明によれば、基板処理装置に未着ロットが搬送されることを示す信号を当該基板処理装置の信号受信部がホストコンピュータから受け取った場合に、予約処理部は、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において予約する予約処理を実行する。従って、未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
　第１３の態様に係る発明によれば、決定工程は、スケジューリング工程において作成された仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置に搬送するか否かを決定する工程であり、決定工程において、未着ロットを基板処理装置に搬送すると決定された場合に、スケジューリング工程は、未着ロットが基板処理装置に到着する前に、未着ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして予約する予約処理を実行する。従って、未着ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
実施形態に係る基板処理システムの構成例を示すブロック図である。 図１の基板処理装置の構成例を示す平面模式図である。 図１の基板処理システムにおける処理の流れを示す模式図である。 図１のホストコンピュータの動作の一例を示すフローチャートである。 図１の基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。 仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。
　以下、図面を参照しながら、実施の形態に基板処理装置１００ついて説明する。以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、以下に参照する各図では、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図では、同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。
　＜１．基板処理システム３００＞
　図１は、実施形態に係る基板処理システム３００の構成例を示すブロック図である。
　本実施例に係る基板処理システム３００では通常複数の基板９を収納されたキャリアＣが複数の基板処理装置の間で搬送される。基板処理システム３００は、ホストコンピュータ３と、キャリア搬送用の幹線レールＲ１と、複数の装置ベイ２０１、２０２と、ストッカー５とを有している。幹線レールＲ１にはＯＨＴ（OverHead Transfer）６が摺動可能に連結されており、当該ＯＨＴ６は幹線レールＲ１に沿ってキャリアＣを複数の装置ベイ２０１、２０２間で搬送する。各装置ベイ２０１、２０２には支線Ｒ１１、Ｒ２１が設けられている。支線Ｒ１１、Ｒ２１は各装置ベイ２０１、２０２の内部を周回するレールであり、幹線レールＲ１とは引込み線Ｒ１２、Ｒ２２を介して連結されている。ＯＨＴ６は引き込み線Ｒ１２を通って、第１の装置ベイ２０１内部の支線Ｒ１１に移動し、第１の装置ベイ２０１に設けられた複数の基板処理装置１００（後述）との間でキャリアＣの受け渡しを行う。同様に、ＯＨＴ６は引き込み線Ｒ２２を通って、第２の装置ベイ２０２内部の支線Ｒ２１に移動し、第２の装置ベイ２０２に設けられた複数の基板処理装置１００（後述）との間でキャリアＣの受け渡しを行う。
　ストッカー５は第１および第２の装置ベイ２０１、２０２の外部に配置されている。ストッカー５は複数のキャリアＣを格納する装置であり、ＯＨＴ６との間でキャリアＣの受け渡しを行う。
　第１の装置ベイ２０１は、複数の基板処理装置１００（図１の例では、３台の基板処理装置１００（１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ））を備えている。一方、第２の装置ベイ２０２は、複数の基板処理装置１００（図１の例では、３台の基板処理装置１００（１００Ｄ，１００Ｅ，１００Ｆ））を備えている。
　なお、以下では、ストッカー５と、ＯＨＴ６とを総称して搬送系４と言う。ホストコンピュータ３と、各基板処理装置１００および搬送系４とは、例えば、電気的に接続されている。
　基板処理装置１００（１００Ａ～１００Ｆ）は、基板９を処理する機能を備えている。基板９は、キャリアＣに収容された状態で搬送される。キャリアＣには、通常、複数の基板９が収容されている。キャリアＣの形態としては、基板９を密閉空間に収納するＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや、収納された基板９を外気に曝すＯＣ(Open Cassette)であってもよい。キャリアＣは、搬送系４によって基板処理装置１００Ａ～１００Ｆに搬入され、搬送系４によって、基板処理装置１００Ａ～１００Ｆから搬出される。ここで基板処理装置１００Ａ～１００Ｆは同種の基板処理（例えば基板洗浄）を実行する装置であるとする。
　キャリアＣ、若しくはキャリアＣに収容された基板群は、「ロット」とも称される。基板処理装置１００は、ロットに対する処理内容を規定したレシピを含むロット情報をホストコンピュータ３から受け取る。基板処理装置１００は、搬送系４によって搬送されたキャリアＣを内部に搬入し、レシピに応じて予め作成されたスケジュールにしたがって基板９に対する処理を行う。処理を終えた基板９は、再びキャリアＣに収容されて搬出される。
　ホストコンピュータ３は、製造実行システム（ＭＥＳ:Manufacturing Execution System）及び搬送制御システム（ＭＣＳ:Material Control System）を含む。ホストコンピュータ３は、搬送系４によるキャリアＣの搬送動作を制御する。また、ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００によるロットの基板処理を制御する。
　また、ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００（１００Ａ～１００Ｆ）の何れか１つの装置に搬送される予定のロットであるが、未だ、何れの基板処理装置１００にも搬送されていないロット（「仮ロット」とも、「未着ロット」とも称される）の仮ロット情報（「未着ロット情報」とも称される）Ｋ１を各基板処理装置１００Ａ～１００Ｆのスケジューリング部１５に送信する。仮ロット情報Ｋ１は、仮ロットを特定するためのＩＤ、仮ロットの処理内容を規定したレシピ、および仮ロットの処理の優先度などを含んでいる（図３参照）。ホストコンピュータ３は、仮ロットの到着予定時刻を各基板処理装置１００の処理状況に応じて設定することもできる。従って、ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００に対して、異なる到着予定時刻を与えることができる。
　各基板処理装置１００Ａ～１００Ｆのスケジューリング部１５は、ホストコンピュータ３から仮ロット情報Ｋ１を受け取った場合には、仮ロット情報Ｋ１に基づいて仮ロットを処理するための仮スケジュールを作成する。仮スケジュールは、例えば、仮ロットの処理の終了予定時刻と開始予定時刻とを含んでいる。開始予定時刻とは、基板処理装置１００の第１キャリアステージ１１１（図２参照）に仮ロットに対応するキャリアＣを載置することが可能になる時刻、あるいは第２キャリアステージ１５３（図２参照）上のキャリアＣから１枚目の基板９を搬出し始めることが可能になる時刻である。終了予定時刻は仮ロットに属する全ての基板が基板処理装置１００で基板処理され第２キャリアステージ１５３上のキャリアＣに搬出され終える時刻、あるいは仮ロットに属する全ての基板９を収容したキャリアＣを第１キャリアステージ１１１から払い出すことが可能になる時刻である。各基板処理装置１００Ａ～１００Ｆは、作成した仮スケジュールをホストコンピュータ３に送信する。
　ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００のそれぞれから受け取った仮ロット（未着ロット）の仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置１００のうち１つ基板処理装置１００を、仮ロットを搬送する基板処理装置１００として選択する。具体的には、ホストコンピュータ３は、例えば、各基板処理装置１００から供給された各仮スケジュールに基づいて、仮ロットの開始予定時刻あるいは終了予定時刻が最も早い基板処理装置１００を選択する。すなわち、ホストコンピュータ３はスケジューリング部１５から送信された仮スケジュールに基づいて未着ロットを基板処理装置１００に搬送するか否かを判断し、未着ロットを搬送する基板処理装置１００を決定する。ホストコンピュータ３は、仮ロットの搬送先として決定した基板処理装置１００のスケジューリング部１５に、未着ロットを基板処理装置１００に搬送すること示す信号（「予告信号」とも「通知信号」とも称される）を供給する。
　搬送系４は、ホストコンピュータ３の指示により、キャリアＣを各部へ搬送する。前記の通り、搬送系４は、ストッカー５と、ＯＨＴ６とを備えている。
　第１の装置ベイ２０１と第２の装置ベイ２０２は基本的に同一の構成であるため、以下では第１の装置ベイ２０１の説明のみを行い、第２の装置ベイ２０２については説明を省略する。
　ＯＨＴ６は各基板処理装置１００での基板処理の前段階の基板処理（例えば、成膜処理、エッチング処理、不純物添加処理、ＣＭＰ等）を実行する基板処理装置（不図示）からキャリアＣを受領して必要に応じてストッカー５に載置する。ストッカー５は載置されたキャリアＣを一時的に保管する。ＯＨＴ６は、ストッカー５に載置することなく、前段階の基板処理装置から直接に第１の装置ベイ２０１内の基板処理装置１００にキャリアＣを搬送してもよい。
　各基板処理装置１００はＯＨＴ６から受領したキャリアＣから基板を取り出して、前段階で基板に付着した各種パーティクルを基板から除去する等の洗浄処理を実行する。前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリアＣの搬送距離は同一ではない。したがって、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までキャリアＣを搬送するキャリア搬送時間は各基板処理装置１００毎に異なっている。ホストコンピュータ３はキャリア搬送時間の長短に基づいて、未着ロットの到着予定時刻を各基板処理装置１００毎に異なる値に設定することができる。ホストコンピュータ３は、未着ロットの到着予定時刻を、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリアＣの搬送に要する時間、すなわちキャリアＣに収容された未処理の基板群である未着ロットの搬送に要する時間に基づいて設定することもできる。なお、基板処理装置１００の前段階の基板処理装置は基板処理装置１００と同一の装置ベイ２０１、２０２の中に配置されていてもよい。
　ストッカー５は、ＯＨＴ６との間でキャリアＣの受け渡しを行う。ストッカー５は、キャリアＣを内部に一時的に保持して、ＯＨＴ６と基板処理装置１００との間でキャリアＣを授受可能な時間の差を調整する。
　＜２．基板処理装置１００＞
　実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図２を参照しながら説明する。図２は、基板処理装置の構成例を示す平面模式図である。
　基板処理装置１００は、半導体ウェハ等の複数枚の基板９を処理するシステムである。基板９の表面形状は略円形である。基板処理装置１００は、複数の基板処理ユニット１を備えている。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１において、基板９を、一枚ずつ、連続して処理することができるとともに、複数の基板処理ユニット１によって、複数の基板９を並行して処理することもできる。
　基板処理装置１００は、並設された複数のセル（処理ブロック）、具体的には、インデクサセル１１０および処理セル１２０と、当該複数のセル１１０，１２０が備える各動作機構等を制御する制御部１３０と、を備える。
　＜インデクサセル１１０＞
　インデクサセル１１０は、装置外から受け取った未処理の基板９を処理セル１２０に渡すとともに、処理セル１２０から受け取った処理済みの基板９を装置外に搬出するためのセルである。インデクサセル１１０はキャリアＣをバッファする機能も有している。インデクサセル１１０は、ＯＨＴ６によって搬送された複数のキャリアＣが載置される第１キャリアステージ１１１と、内部バッファ１５０と、を備える。
　未処理の基板９は、キャリアＣから１枚ずつ取り出されて装置内で処理され、装置内での処理が終了した処理済みの基板９は、再びキャリアＣに収納される。処理済みの基板９を収納したキャリアＣは、ＯＨＴ６によって装置外部に搬出される。このように、第１キャリアステージ１１１は、未処理の基板９および処理済みの基板９を集積する基板集積部として機能する。
　内部バッファ１５０は第１キャリアステージ１１１と処理セル１２０との間に配置される。内部バッファ１５０はキャリアＣを収納するキャリア収納室１５１を複数室備えた棚部１５２と、処理セル１２０との間で基板９の受け渡しを行うためのキャリアＣが載置される第２キャリアステージ１５３と、第１キャリアステージ１１１、棚部１５２、および第２キャリアステージ１５３との間でキャリアＣを搬送するキャリア搬送ロボット１５４と、第２キャリアステージ１５３に載置されたキャリアＣの蓋（不図示）を着脱するロードポート１５５とを備えている。
　内部バッファ１５０は、第１キャリアステージ１１１から第２キャリアステージ１５３に向けてキャリアＣを搬入したり、第１キャリアステージ１１１から基板処理装置１００の外部にキャリアＣを搬出できない場合に一時的にキャリアＣを収納することができる。すなわち、内部バッファ１５０はキャリアＣのバッファリング機能を備えている。また、内部バッファ１５０はキャリアＣから処理セル１２０に向けて未処理基板９を搬出できない場合に、当該未処理基板９をキャリア収納室１５１に収納されたキャリアＣの中で一時的に待機させることもできる。すなわち、内部バッファ１５０は基板９のバッファリング機能も備えている。
　移載ロボットＩＲは、基板９を下方から支持することによって、基板９を水平姿勢（基板９の主面が水平な姿勢）で保持可能な複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備える。移載ロボットＩＲは、第２キャリアステージ１５３に載置されたキャリアＣから未処理の基板９を取り出して、当該取り出した基板９を、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲ（後述する）に渡す。また、移載ロボットＩＲは、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲから処理済みの基板９を受け取って、当該受け取った基板９を、第２キャリアステージ１５３上に載置されたキャリアＣに収納する。移載ロボットＩＲは、複数のハンドを同時に使用して基板９の受渡しを行うことができる。
　＜処理セル１２０＞
　処理セル１２０は、基板９に処理を行うためのセルである。処理セル１２０は、複数の基板処理ユニット（「処理部」）１と、当該複数の基板処理ユニット１に対する基板９の搬出入を行う搬送ロボットＣＲと、を備える。搬送ロボットＣＲと制御部１３０とは、基板搬送装置である。ここでは、複数個（例えば、３個）の基板処理ユニット１が鉛直方向に積層されて、１個の基板処理装置群１０を構成している。そして、複数個（図示の例では、４個）の基板処理装置群１０が、搬送ロボットＣＲを取り囲むようにクラスタ状（房状）に設置される。従って、複数の基板処理ユニット１は、搬送ロボットＣＲの周囲にそれぞれ配置される。基板処理ユニット１は、不図示のスピンチャックの上側（鉛直方向の上側）に配置された基板をスピンチャックよって着脱可能に保持し、所定の回転軸ａ１を中心にスピンチャックを回転させながら、基板に対して所定の処理（例えば、薬液処理、リンス処理、若しくは乾燥処理など）を行う。
　搬送ロボットＣＲは、基板９を片持ち支持しながら搬送するロボットである。搬送ロボットＣＲは、指定された基板処理ユニット１から処理済みの基板９を取り出して、当該取り出した基板９を、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲに渡す。また、搬送ロボットＣＲは、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲから未処理の基板９を受け取って、当該受け取った基板９を、指定された基板処理ユニット１に搬送する。搬送ロボットＣＲも移載ロボットＩＲと同様に複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備えている。搬送ロボットＣＲは、複数のハンドを同時に使用して基板９の搬送を行うことができる。
　＜制御部１３０＞
　制御部１３０は、キャリア搬送ロボット１５４、ロードポート１５５、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲ、および、一群の基板処理ユニット１の各々の動作を制御する。制御部１３０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部１３０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１３およびプログラムＰＧやデータなどを記憶しておく磁気ディスク１４をバスライン２９に電気的に接続して構成されている。バスライン２９には、液晶パネルなどの表示部１４１、入力部１４２、および出力部１４３も電気的に接続されている。入力部１４２、出力部１４３としては、例えば、ＵＳＢ制御回路とＵＳＢコネクタからなるＵＳＢインタフェースなどが採用される。
　磁気ディスク１４には、プログラムＰＧの他に、ホストコンピュータ３から送られた仮ロット情報Ｋ１などが記憶される。また、磁気ディスク１４には、基板処理装置１００に到着済みのロットのロット情報も記憶されている。
　制御部１３０において、プログラムＰＧに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵ１１が演算処理を行うことにより、基板処理装置１００の各部を制御する各種の機能部が実現されるとともに、仮ロットの仮スケジュールを作成するための各機能部も実現される。
　具体的には、ＣＰＵ１１は、例えば、複数の基板処理ユニット１を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部１５としても動作する。スケジューリング部１５は、ロット情報受信部１６、仮スケジュール作成部１７、仮スケジュール供給部１８、信号受信部１９、および予約処理部２０としても動作する。
　ロット情報受信部１６は、基板処理装置１００に到着していない仮ロットのレシピを、外部のホストコンピュータ３から入力部１４２を介して受信する。
　仮スケジュール作成部１７は、基板処理装置１００に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、仮ロット（未着ロット）のレシピ等の仮ロット情報Ｋ１とに基づいて、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
　仮スケジュール作成部１７は、仮ロット情報Ｋ１において予め処理の優先度が設定されている仮ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、当該優先度付きの他のロットと仮ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、当該優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成することができる。その際に、仮スケジュール作成部１７は、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。
　また、例えば、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットを処理する基板処理ユニット１に対して、液交換が必要となった場合などにおいては、仮スケジュール作成部１７は、優先度に関係無く、仮ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することもできる。なお、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。
　仮スケジュール供給部１８は、仮スケジュール作成部１７が取得した仮ロットの仮スケジュールを、出力部１４３を介してホストコンピュータ３に供給する。信号受信部１９は、基板処理装置１００に未着ロットが搬送されることを示す信号をホストコンピュータ３から受け取る。予約処理部２０は、信号受信部１９が当該信号を受け取った場合に、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。予約処理部２０は、未着ロットの仮スケジュールを、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行することができるとともに、未着ロットの仮スケジュールを、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行することもできる。なお、スケジューリング部１５は、予約処理をした未着ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールをさらに作成することができる。
　排他的なスケジュールとは、当該スケジュールが規定する基板処理と、同一の処理ユニット１において同一のタイミングで行われる基板処理を規定する他のスケジュールが存在しないスケジュールである。換言すれば、排他的なスケジュールは、同一の処理ユニット、かつ、同一のタイミングにおいて排他的である。
　なお、制御部１３０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。
　＜基板処理システム３００の動作＞
　実施形態に係る基板処理システム３００の動作について、図３～図４を参照しながら説明する。図３は、基板処理システム３００における処理の流れを示す模式図である。図４は、ホストコンピュータの動作の一例を示すフローチャートである。図５は、基板処理装置１００の動作の一例を示すフローチャートである。
　ホストコンピュータ３は、ロット毎に設定されたロット特有情報や、前段階の基板処理装置から送信される情報を読み込むことによって、仮ロットに関する仮ロット情報Ｋ１を取得する。仮ロット情報Ｋ１はオペレータからの入力や外部記憶装置からの読み出しによって取得されてもよい（図４のステップＳ１０）。ホストコンピュータ３は取得した仮ロット情報Ｋ１を各基板処理装置１００（１００Ａ～１００Ｆ）に供給する（図３、図４のステップＳ２０）。
　各基板処理装置１００のスケジューリング部１５のロット情報受信部１６は、ホストコンピュータ３が供給する仮ロット情報Ｋ１を、入力部１４２を介して受け取る（図３、図５のステップＳ１１０）。仮スケジュール作成部１７は、仮ロット情報Ｋ１に基づいて、仮スケジュールを作成し（図３、図５のステップＳ１２０）、仮スケジュール供給部１８は、作成された仮スケジュールを、出力部１４３を介してホストコンピュータ３に供給する（図３、図５のステップＳ１３０）。前記の通り、仮ロット情報Ｋ１には仮ロットが各基板処理装置１００に到着する到着予定時刻が含まれている。仮スケジュール供給部１８は仮ロットの到着予定時刻を起点にして基板処理装置１００での仮ロットの基板処理スケジュールを作成する。このため、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリア搬送に長い時間を要する場合や、前段階の基板処理装置から各基板処理装置１００までのキャリア搬送時間にばらつきがある場合であっても、仮スケジュール供給部１８は高い精度で仮ロットの仮スケジュールを作成することができる。
　ホストコンピュータ３は、各基板処理装置１００から仮スケジュールを受信すると（図３、図４のステップＳ３０）、各仮スケジュールに基づいて、各基板処理装置１００の中から仮ロットを搬送する基板処理装置１００を選択（決定）する（図３、図４のステップＳ４０）。ホストコンピュータ３は、選択した基板処理装置１００（図３の例では、基板処理装置１００Ａ）のスケジューリング部１５に対して、仮ロットを搬送すること示す信号（「予告信号」、「通知信号」）をスケジューリング部１５に送信するとともに、選択しなかった基板処理装置１００（１００Ｂ、１００Ｃ）に対して、仮スケジュールの保留を解除すべき旨を示す解除信号を送信する（図３、図４のステップＳ５０）。なお、予約信号や、仮スケジュールの保留の解除信号には、仮ロットのＩＤも附される。このため、複数の仮ロットが存在している状態でも、各基板処理装置１００は、正確に予約処理と、解除処理とを行うことができる。
　選択された基板処理装置１００（１００Ａ）の信号受信部１９は、仮ロットの搬送を知らせる予告信号を受信し（図３、図５のステップＳ１４０）、予約処理部２０が、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する（図３、図５のステップＳ１５０）。また、解除信号を受信した基板処理装置１００（１００Ｂ、１００Ｃ）は、仮スケジュールの保留を解除する。
　ホストコンピュータ３は、図４のステップＳ５０の処理を実行した後に、搬送系４に対して、仮ロットの搬送先として選択（決定）した基板処理装置１００（１００Ａ）に仮ロットを搬送すべき旨の指示を行う（図３、図４のステップＳ６０）。指示を受けた搬送系４は、仮ロットを選択された基板処理装置１００（１００Ａ）に搬送し、当該基板処理装置１００（１００Ａ）は、搬送系４によって搬送された到着済みのロットに対して、レシピに基づいた基板処理を行う（図３、図５のステップＳ１６０）。
　＜仮スケジュールの作成過程＞
　基板処理装置１００による仮スケジュールの作成過程について、図６、図７を参照しながら説明する。図６、図７は、仮スケジュール作成過程の一例を示すタイムチャートである。図６は、３台の基板処理装置（単に、「装置」とも称する）１００Ａ～１００Ｃが、それぞれの基板処理の状況に応じて仮スケジュールを作成する過程の一例を示す３つのタイムチャート（スケジュール）９０Ａ～９０Ｃを示している。図６中の各矩形は、各処理中ロット、各予約ロット、若しくは各仮ロットの処理のタイムチャートを示している。図７は、処理の３つの優先度「低」「中」「高」に応じた仮計画における仮スケジュールの作成過程を示す３つのタイムチャート（スケジュール）９１Ａ～９１Ｃを示している。処理の優先度は、「高」、「中」、「低」の順に低くなる。
　図６、図７の処理中ロットとは、基板処理装置１００（１００Ａ～１００Ｃ）に到着済みのロットであって、既に基板処理を開始されているロットである。また、予約ロットとは、仮ロットが基板処理装置１００に到着していない状態で、予約処理部２０が、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部において基板処理を予約したロットである。
　タイムチャート９０Ａにおいては、２つの処理中ロットに対する基板処理が行われているとともに、仮スケジュールを排他的なスケジュールとして予約された予約ロットが存在している。基板処理装置１００Ａの仮スケジュール作成部１７は、予約ロットと同一の基板処理ユニット１および同一の時間に処理されないように、仮ロットの処理スケジュールである仮スケジュールを作成している。仮スケジュールは、基板処理の開始予定時刻ｔ１１と終了予定時刻ｔ１２とを含んでいる。仮ロットは搬送系４によって前段階の基板処理装置から基板処理装置１００Ａまで搬送され、第１キャリアステージ１１１に載置される。その後、仮ロットは棚部１５２のキャリア収納室１５１に収納される（到着予定時刻ｔ１０）。この仮ロットは、開始予定時刻ｔ１１に間に合うように、キャリア搬送ロボット１５４によって第２キャリアステージ１５３に搬送される。
　タイムチャート９０Ｂでは、基板処理装置１００Ｂを対象として、仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９０Ｂでは、１つの処理中ロットの処理の終了後に、基板処理装置１００Ｂの液交換が行われる予定となっている。そこで、基板処理装置１００Ｂの仮スケジュールは、液交換の終了後に仮ロットの処理が開始されるように開始予定時刻ｔ２１が設定されている。当該仮スケジュールには、仮ロットの基板処理の終了予定時刻ｔ２２も設定されている。ここで、基板処理装置１００Ａは基板処理装置１００Ｂよりも前段階の基板処理装置から近接した位置に配置されている。このため、仮ロットが基板処理装置１００Ａに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ１０）は仮ロットが基板処理装置１００Ｂに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ２０）よりも早くなる。
　タイムチャート９０Ｃでは、基板処理装置１００Ｃを対象として、４つの処理中ロットが処理を行われている状態で、仮ロットの仮スケジュールが作成されている。当該仮スケジュールは、当該４つの処理中ロットの何れとも、同一の基板処理ユニット１、かつ、同一タイミングで仮ロットの処理が行われないように設定されている。当該仮スケジュールには、仮ロットの基板処理の開始予定時刻ｔ３１と終了予定時刻ｔ３２とが設定されている。ここで、基板処理装置１００Ａは基板処理装置１００Ｂおよび１００Ｃよりも前段階の基板処理装置から近接した位置に配置されている。このため、仮ロットが基板処理装置１００Ａに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ１０）は仮ロットが基板処理装置１００Ｂまたは１００Ｃに到着する予定時刻（到着予定時刻ｔ２０、ｔ３０）よりも早くなる。
　タイムチャート９０Ａ～９０Ｃでは、基板処理装置１００Ａの仮スケジュールが最も早期に開始される。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ～１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ａを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
　タイムチャート９０Ａ～９０Ｃでは、基板処理装置１００Ａの仮スケジュールが最も早く終了する。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ～１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ａを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
　図７は異なるスケジューリング状態の基板処理装置１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ）に優先度が異なる仮ロットを与えた場合に、どのように仮スケジュールが行われるかを説明するためのタイムチャートである。図７のタイムチャート９１Ａ～９１Ｃでは、２つの処理中ロットの処理が行われているともに、２つの予約ロットが存在している状態で、作成された仮ロットの仮スケジュールが示されている。
　タイムチャート９１Ａでは、基板処理装置１００Ａを対象として仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９１Ａでは、１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度も「低」である。このため、仮スケジュールは、２つの予約ロットよりも後で開始されるように作成されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ４１に、終了予定時刻はｔ４２に設定されている。
　タイムチャート９１Ｂでは、基板処理装置１００Ｂを対象として仮ロットの仮スケジュールが設定されている。タイムチャート９１Ｂでは１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度は「中」である。そして、仮スケジュールは、双方の予約ロットの間に処理が行われるように設定されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ５１に、終了予定時刻はｔ５２に設定されている。
　タイムチャート９１Ｃでは、１つの予約ロットの処理の優先度が「中」で、他の予約ロットの処理の優先度が「低」であり、仮ロットの優先度は「高」である。このため、仮スケジュールは、２つの処理中ロットに先立って仮ロットの基板処理が行われるように設定されている。したがって、仮ロットの基板処理の開始予定時刻はｔ６１に、終了予定時刻はｔ６２に設定されている。
　タイムチャート９１Ａ～９１Ｃでは、基板処理装置１００Ｃの仮スケジュールが最も早期に開始される。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ～１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
　あるいは、仮ロットの終了予定時刻が最も早い基板処理装置１００を選択することも可能である。図７の例では、基板処理装置１００Ｃでの仮ロットの終了予定時刻ｔ６２は他の基板処理装置１００Ａ、１００Ｂでの仮ロットの終了予定時刻ｔ４２、ｔ５２よりも早い。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ～１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
　あるいは、基板処理装置１００の内部での待機時間の長さを基準に仮ロットの搬送先を選択することも可能である。例えば、タイムチャート９１Ａ～９１Ｃでは、基板処理装置１００Ｃでの待機時間（ｔ６０～ｔ６１）が他の基板処理装置１００Ａ、Ｂでの待機時間よりも短い。このため、ホストコンピュータ３は、基板処理装置１００Ａ～１００Ｃから供給される仮スケジュールに基づいて、例えば、基板処理装置１００Ｃを仮ロットの搬送先の基板処理装置１００として選択する。
　以上のように構成された本実施形態に係る基板処理システムによれば、ホストコンピュータ３はスケジューリング部１５から送信された仮スケジュールに基づいて仮ロット（「未着ロット」）を基板処理装置１００に搬送するか否かを判断し、仮ロットを基板処理装置１００に搬送すると決定した場合には仮ロットを基板処理装置１００に搬送すること示す信号をスケジューリング部１５に与え、スケジューリング部１５はホストコンピュータ３から信号を受けると、仮ロットが基板処理装置１００に到着する前に、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。従って、仮ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約することができる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的であって、かつ、他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約することができる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、基板処理装置１００のスケジューリング部１５は、予約処理をした仮ロットのスケジュールを用いて、他のロットのスケジュールを実際に作成することができる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、到着済みのロットのスケジュールと、仮ロットのレシピと、ホストコンピュータ３から与えられた仮ロットの到着予定時刻とに基づいて仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成できる。従って、信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、仮ロットの到着予定時刻が、基板処理装置１００の処理状況に応じて設定されるので、さらに信頼性の高い仮スケジュールを作成することが出来る。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、優先度付きの他のロットと仮ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する。従って、処理の優先度を反映した仮スケジュールを作成することが出来る。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジューリング部１５は、仮ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、仮ロットの基板処理装置１００におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、スケジュール作成済みの他のロットは、到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる。従って、ロット間の処理順の変更を、さらに高い自由度で行うことができる。
　また、本実施形態に係る基板処理システムによれば、基板処理装置１００を複数備え、ホストコンピュータ３は、複数の基板処理装置１００のそれぞれから受け取った仮ロットの仮スケジュールに基づいて複数の基板処理装置１００のうち１つ基板処理装置１００を、仮ロットを搬送する基板処理装置１００として選択する。従って、複数の基板処理装置１００から仮ロットの処理に最適な装置を選ぶことが出来るので、基板処理システム全体としてのスループットが向上する。
　また、以上のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、当該基板処理装置に仮ロットが搬送されることを示す信号を信号受信部１９がホストコンピュータ３から受け取った場合に、予約処理部２０は、仮ロットが当該基板処理装置に到着する前に、仮ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとしてスケジューリング部１５において予約する予約処理を実行する。従って、仮ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを、その後に作成される他のロットのスケジュールとバッティングしないように作成できる。
　本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
　３００　基板処理システム
　１００　基板処理装置
　１００Ａ～１００Ｆ　基板処理装置
　１０　基板処理装置群
　１　基板処理ユニット（処理部）
　１３０　制御部
　３　ホストコンピュータ
　４　搬送系
　５　ストッカー
　６　ＯＨＴ
　１１　ＣＰＵ
　１５　スケジューリング部
　９　基板
　Ｃ　キャリア

Claims (23)

  1. 　基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置と、
    　前記基板処理装置のスケジューリング部に対してロットのレシピを送信するホストコンピュータと、
    を備えた基板処理システムであって、
    　前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを前記スケジューリング部に送信し、
    　前記スケジューリング部は、前記基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信し、
    　前記ホストコンピュータは前記スケジューリング部から送信された前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを判断し、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定した場合には前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すること示す信号を前記スケジューリング部に与え、
    　前記スケジューリング部は前記ホストコンピュータから前記信号を受けると、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  2. 　請求項１に記載の基板処理システムであって、
    　前記スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  3. 　請求項１に記載の基板処理システムであって、
    　前記スケジューリング部は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する、基板処理システム。
  4. 　請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    　前記基板処理装置の前記スケジューリング部は、
    　前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する、基板処理システム。
  5. 　請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    　前記ホストコンピュータは、前記基板処理装置の前記スケジューリング部に前記未着ロットの到着予定時刻をさらに与え、
    　前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成して前記ホストコンピュータに送信する、基板処理システム。
  6. 　請求項５に記載の基板処理システムであって、
    　前記ホストコンピュータは、
    　前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の処理状況に応じて設定する、基板処理システム。
  7. 　請求項５または請求項６に記載の基板処理システムであって、
    　前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、
    　前記ホストコンピュータは、
    　前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する、基板処理システム。
  8. 　請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    　前記スケジューリング部は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する、基板処理システム。
  9. 　請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    　前記スケジューリング部は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる、基板処理システム。
  10. 　請求項９に記載の基板処理システムであって、
    　前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる、基板処理システム。
  11. 　請求項１から請求項１０の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
    　前記基板処理装置を複数備え、
    　前記ホストコンピュータは、前記未着ロットのレシピを当該複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部に送信し、
    　前記複数の基板処理装置のそれぞれの前記スケジューリング部は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成して前記ホストコンピュータに送信し、
    　前記ホストコンピュータは、前記複数の基板処理装置のそれぞれから受け取った前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する、基板処理システム。
  12. 　基板を処理するための複数の処理部と、前記複数の処理部を用いてロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング部と、を含む基板処理装置であって、
    　前記スケジューリング部は、
    　当該基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピを外部のホストコンピュータから受信するロット情報受信部と、
    　当該基板処理装置に到着済みのロットに予め設定されているスケジュールと、前記未着ロットの前記レシピとに基づいて、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する仮スケジュール作成部と、
    　前記仮スケジュール作成部が取得した前記未着ロットの前記仮スケジュールを前記ホストコンピュータに与える仮スケジュール供給部と、
    　当該基板処理装置に前記未着ロットが搬送されることを示す信号を前記ホストコンピュータから受け取る信号受信部と、
    　前記信号受信部が前記信号を受け取った場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットのスケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして前記スケジューリング部において予約する予約処理を実行する予約処理部と、
    を備える、基板処理装置。
  13. 　ロットの基板処理を実行するためのスケジュールを作成するスケジューリング工程を備える基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、基板処理装置に到着済みのロットのスケジュールと、前記基板処理装置に到着していない未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成し、
    　当該基板処理方法は、
    　前記仮スケジュールに基づいて前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送するか否かを決定する決定工程、をさらに備え、
    　前記スケジューリング工程は、前記決定工程において、前記未着ロットを前記基板処理装置に搬送すると決定された場合に、前記未着ロットが前記基板処理装置に到着する前に、前記未着ロットの前記仮スケジュールを他のロットのスケジュールとは排他的なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である、基板処理方法。
  14. 　請求項１３に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更不能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である、基板処理方法。
  15. 　請求項１３に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの前記仮スケジュールを、前記他のロットのスケジュールの作成時に変更可能なスケジュールとして予約する予約処理を実行する工程である、基板処理方法。
  16. 　請求項１３から請求項１５の何れか１つの請求項に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、
    　前記予約処理をした前記未着ロットのスケジュールを用いて、前記他のロットのスケジュールをさらに作成する工程である、基板処理方法。
  17. 　請求項１３から請求項１６の何れか１つの請求項に記載の基板処理方法であって、
    　前記基板処理装置への前記未着ロットの到着予定時刻を設定する時刻設定工程、をさらに備え、
    　前記スケジューリング工程は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピと、前記到着予定時刻とに基づいて前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する工程である、基板処理方法。
  18. 　請求項１７に記載の基板処理方法であって、
    　前記時刻設定工程は、
    　前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記基板処理装置の処理状況に応じて設定する工程である、基板処理方法。
  19. 　請求項１７または請求項１８に記載の基板処理方法であって、
    　前記未着ロットは前段階の基板処理装置で基板処理が行われた基板を含むロットであり、
    　前記時刻設定工程は、
    　前記未着ロットの前記到着予定時刻を前記前段階の基板処理装置から前記基板処理装置までのロット搬送に要する時間に基づいて設定する工程である、基板処理方法。
  20. 　請求項１３から請求項１９の何れか１つの請求項に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、予め処理の優先度が設定されている前記未着ロットと、予めスケジュールが作成され、かつ、予め処理の優先度が与えられているとともに、未だ処理を開始されていない優先度付きの他のロットとのそれぞれのレシピに基づいて、前記優先度付きの他のロットと前記未着ロットとが、それぞれの処理の優先度に応じた順序で処理されるように、前記優先度付きの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成する工程である、基板処理方法。
  21. 　請求項１３から請求項２０の何れか１つの請求項に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジューリング工程は、前記未着ロットの処理が、未だ処理を開始されていないスケジュール作成済みの他のロットよりも早く行われるように、前記スケジュール作成済みの他のロットのスケジュールを再度作成するとともに、前記未着ロットの前記基板処理装置におけるスケジュールを仮スケジュールとして作成することができる工程である、基板処理方法。
  22. 　請求項２１に記載の基板処理方法であって、
    　前記スケジュール作成済みの他のロットは、前記到着済みのロットであって処理を開始されていない非処理中ロットを含んでいる、基板処理方法。
  23. 　請求項１３から請求項２２の何れか１つの請求項に記載の基板処理方法であって、
    　複数の前記基板処理装置のそれぞれについて、前記スケジューリング工程を備え、
    　当該複数の基板処理装置のそれぞれについて、前記スケジューリング工程は、前記到着済みのロットのスケジュールと、前記未着ロットのレシピとに基づいて前記未着ロットの前記仮スケジュールを作成する工程であり、
    　当該基板処理方法は、前記複数の基板処理装置のそれぞれに対応する前記未着ロットの前記仮スケジュールに基づいて前記複数の基板処理装置のうち１つ基板処理装置を、前記未着ロットを搬送する基板処理装置として選択する選択工程、をさらに備える、基板処理方法。
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