KR102349876B1

KR102349876B1 - 기판 처리 시스템, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

Info

Publication number: KR102349876B1
Application number: KR1020197025091A
Authority: KR
Inventors: 히데키 시바타; 류이치 기무라
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2017-03-02
Filing date: 2017-12-26
Publication date: 2022-01-10
Also published as: CN110352470B; JP6949511B2; TWI646621B; TW201834124A; WO2018159085A1; KR20190112069A; JP2018147952A; CN110352470A

Abstract

본 발명은, 미착 로트의 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성하는 것을 목적으로 한다. 그 목적을 달성하기 위해서 스케줄링부는, 도착 완료 로트의 스케줄과, 미착 로트의 레시피에 기초하여 미착 로트의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하여 호스트 컴퓨터에 송신하고, 호스트 컴퓨터는 당해 임시 스케줄에 기초하여 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 판단하여, 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송한다고 결정한 경우에는 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송하는 것을 나타내는 신호를 스케줄링부에 부여하고, 스케줄링부는 당해 신호를 받으면, 미착 로트가 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 미착 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다.

Description

기판 처리 시스템, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법

이 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 유리 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 태양 전지용 기판 등 (이하, 간단히「기판」이라고 한다) 에, 처리를 실시하는 기판 처리 기술에 관한 것이다.

특허문헌 1 에는, FOUP 에 수용된 기판을 처리하는 기판 처리 시스템에 있어서, 복수 대의 기판 처리 장치와, 처리 대상의 FOUP 에 대한 반송 지시를 실시하는 호스트 컴퓨터와, 복수 대의 기판 처리 장치의 상류측에 배치된 장치 전 버퍼와, FOUP 를 반송하는 반송계를 구비하는 기판 처리 시스템이 나타나 있다. 장치 전 버퍼는, 호스트 컴퓨터의 지시로 반송계로부터 수취한 FOUP 에 대하여, 복수 대의 기판 처리 장치에 대해 처리의 시뮬레이션, 즉, 레시피에 기초한 FOUP 의 처리의 스케줄의 작성을 하게 한다. 장치 전 버퍼는, 시뮬레이션의 결과에 기초하여, 어느 기판 처리 장치로 처리하는 것이 최적인지를 나타내는 최적 장치, 또는 복수 개의 FOUP 를 어떠한 순서로, 어느 기판 처리 장치로 처리하는 것이 최적인지를 나타내는 최적 순서 장치를 선택한다. 장치 전 버퍼는, 선택된 최적 장치 또는 최적 순서 장치에 대하여, 반송계에 의해 반송되는 장치 전 버퍼 내의 FOUP 의 처리를 지시한다.

일본 공개특허공보 2011-077136호

그러나, 특허문헌 1 의 기판 처리 시스템에는, 장치 전 버퍼가 FOUP 를 최적 장치 등에 반송하기 전에, 또 다른 FOUP 를 수취한 경우에, 다른 FOUP 에 대해 구해진 처리의 스케줄이, 먼저 구해진 처리의 스케줄과 배팅하는 경우가 있다는 문제가 있다.

본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 과제를 해결하기 위해서, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 기판을 처리하기 위한 복수의 처리부와, 상기 복수의 처리부를 사용하여 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링부를 포함하는 기판 처리 장치와, 상기 기판 처리 장치의 스케줄링부에 대해 로트의 레시피를 송신하는 호스트 컴퓨터를 구비한 기판 처리 시스템으로서, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피를 상기 스케줄링부에 송신하고, 상기 스케줄링부는, 상기 기판 처리 장치에 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신하고, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 스케줄링부로부터 송신된 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 판단하여, 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송한다고 결정한 경우에는 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송하는 것을 나타내는 신호를 상기 스케줄링부에 부여하고, 상기 스케줄링부는 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 신호를 받으면, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 상기 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다.

제 2 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 상기 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행한다.

제 3 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행한다.

제 4 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 내지 제 3 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 기판 처리 장치의 상기 스케줄링부는, 상기 예약 처리를 한 상기 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 상기 다른 로트의 스케줄을 추가로 작성한다.

제 5 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 내지 제 4 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치의 상기 스케줄링부에 상기 미착 로트의 도착 예정 시각을 추가로 부여하고, 상기 스케줄링부는, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피와, 상기 도착 예정 시각에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신한다.

제 6 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 5 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 기판 처리 장치의 처리 상황에 따라 설정한다.

제 7 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 5 또는 제 6 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 미착 로트는 전 단계의 기판 처리 장치에서 기판 처리가 실시된 기판을 포함하는 로트이며, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 전 단계의 기판 처리 장치로부터 상기 기판 처리 장치까지의 로트 반송에 필요로 하는 시간에 기초하여 설정한다.

제 8 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 내지 제 7 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 스케줄링부는, 미리 처리의 우선도가 설정되어 있는 상기 미착 로트와, 미리 스케줄이 작성되고, 또한, 미리 처리의 우선도가 부여되어 있음과 함께, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 우선도가 부여된 다른 로트의 각각의 레시피에 기초하여, 상기 우선도가 부여된 다른 로트와 상기 미착 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 상기 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성한다.

제 9 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 내지 제 8 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있다.

제 10 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 9 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 상기 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있다.

제 11 양태에 관련된 기판 처리 시스템은, 제 1 내지 제 10 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 시스템으로서, 상기 기판 처리 장치를 복수 구비하고, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 미착 로트의 레시피를 당해 복수의 기판 처리 장치의 각각의 상기 스케줄링부에 송신하고, 상기 복수의 기판 처리 장치의 각각의 상기 스케줄링부는, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신하고, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 복수의 기판 처리 장치의 각각으로부터 수취한 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 1 개 기판 처리 장치를, 상기 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치로서 선택한다.

제 12 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 기판을 처리하기 위한 복수의 처리부와, 상기 복수의 처리부를 사용하여 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링부를 포함하는 기판 처리 장치로서, 상기 스케줄링부는, 당해 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피를 외부의 호스트 컴퓨터로부터 수신하는 로트 정보 수신부와, 당해 기판 처리 장치에 도착 완료 로트에 미리 설정되어 있는 스케줄과, 상기 미착 로트의 상기 레시피에 기초하여, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 임시 스케줄 작성부와, 상기 임시 스케줄 작성부가 취득한 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 상기 호스트 컴퓨터에 부여하는 임시 스케줄 공급부와, 당해 기판 처리 장치에 상기 미착 로트가 반송되는 것을 나타내는 신호를 상기 호스트 컴퓨터로부터 수취하는 신호 수신부와, 상기 신호 수신부가 상기 신호를 수취한 경우에, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 상기 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행하는 예약 처리부를 구비한다.

제 13 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링 공정을 구비하는 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 기판 처리 장치에 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하고, 당해 기판 처리 방법은, 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 결정하는 결정 공정을 추가로 구비하고, 상기 스케줄링 공정은, 상기 결정 공정에 있어서, 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송한다고 결정되었을 경우에, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정이다.

제 14 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정이다.

제 15 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정이다.

제 16 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 내지 제 15 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 상기 예약 처리를 한 상기 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 상기 다른 로트의 스케줄을 추가로 작성하는 공정이다.

제 17 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 내지 제 16 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 기판 처리 장치로의 상기 미착 로트의 도착 예정 시각을 설정하는 시각 설정 공정을 추가로 구비하고, 상기 스케줄링 공정은, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피와, 상기 도착 예정 시각에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 공정이다.

제 18 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 17 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 시각 설정 공정은, 상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 기판 처리 장치의 처리 상황에 따라 설정하는 공정이다.

제 19 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 17 또는 제 18 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 미착 로트는 전 단계의 기판 처리 장치에서 기판 처리가 실시된 기판을 포함하는 로트이며, 상기 시각 설정 공정은, 상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 전 단계의 기판 처리 장치로부터 상기 기판 처리 장치까지의 로트 반송에 필요로 하는 시간에 기초하여 설정하는 공정이다.

제 20 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 내지 제 19 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 미리 처리의 우선도가 설정되어 있는 상기 미착 로트와, 미리 스케줄이 작성되고, 또한, 미리 처리의 우선도가 부여되어 있음과 함께, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 우선도가 부여된 다른 로트의 각각의 레시피에 기초하여, 상기 우선도가 부여된 다른 로트와 상기 미착 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 상기 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 공정이다.

제 21 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 내지 제 20 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있는 공정이다.

제 22 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 21 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 상기 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있다.

제 23 양태에 관련된 기판 처리 방법은, 제 13 내지 제 22 중 어느 하나의 양태에 관련된 기판 처리 방법으로서, 복수의 상기 기판 처리 장치의 각각에 대하여, 상기 스케줄링 공정을 구비하고, 당해 복수의 기판 처리 장치의 각각에 대하여, 상기 스케줄링 공정은, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 작성하는 공정이고, 당해 기판 처리 방법은, 상기 복수의 기판 처리 장치의 각각에 대응하는 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 1 개 기판 처리 장치를, 상기 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치로서 선택하는 선택 공정을 추가로 구비한다.

제 1 양태에 관련된 발명에 의하면, 호스트 컴퓨터는 스케줄링부로부터 송신된 임시 스케줄에 기초하여 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 판단하여, 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송한다고 결정한 경우에는 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송하는 것을 나타내는 신호를 스케줄링부에 부여하고, 스케줄링부는 호스트 컴퓨터로부터 신호를 받으면, 미착 로트가 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 미착 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 따라서, 미착 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있다.

제 2 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄링부는, 미착 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적이고, 또한, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약할 수 있다.

제 3 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄링부는, 미착 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적이고, 또한, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약할 수 있다.

제 4 양태에 관련된 발명에 의하면, 기판 처리 장치의 스케줄링부는, 예약 처리를 한 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 다른 로트의 스케줄을 실제로 작성할 수 있다.

제 5 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄링부는, 도착 완료 로트의 스케줄과, 미착 로트의 레시피와, 호스트 컴퓨터로부터 부여된 미착 로트의 도착 예정 시각에 기초하여 미착 로트의 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 높은 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

제 6 양태에 관련된 발명에 의하면, 미착 로트의 도착 예정 시각이, 기판 처리 장치의 처리 상황에 따라 설정되므로, 더욱 신뢰성이 높은 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

제 8 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄링부는, 우선도가 부여된 다른 로트와 미착 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 미착 로트의 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성한다. 따라서, 처리의 우선도를 반영한 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

제 9 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄링부는, 미착 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 미착 로트의 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있다. 따라서, 예를 들어, 액 교환의 발생에 의해 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 처리가 늦어지는 경우 등, 우선도에 관계없이 로트 간의 처리순을 변경할 필요가 발생한 경우에 있어서도, 미착 로트를, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 먼저 처리하는 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

제 10 양태에 관련된 발명에 의하면, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있다. 따라서, 로트 간의 처리순의 변경을, 더욱 높은 자유도로 실시할 수 있다.

제 11 양태에 관련된 발명에 의하면, 기판 처리 시스템은 기판 처리 장치를 복수 구비하고, 호스트 컴퓨터는, 복수의 기판 처리 장치의 각각으로부터 수취한 미착 로트의 임시 스케줄에 기초하여 복수의 기판 처리 장치 중 1 개 기판 처리 장치를, 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치로서 선택한다. 따라서, 복수의 기판 처리 장치로부터 미착 로트의 처리에 최적인 장치를 선택할 수 있으므로, 기판 처리 시스템 전체로서의 스루풋이 향상된다.

제 12 양태에 관련된 발명에 의하면, 기판 처리 장치에 미착 로트가 반송되는 것을 나타내는 신호를 당해 기판 처리 장치의 신호 수신부가 호스트 컴퓨터로부터 수취한 경우에, 예약 처리부는, 미착 로트가 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 미착 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 따라서, 미착 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있다.

제 13 양태에 관련된 발명에 의하면, 결정 공정은, 스케줄링 공정에 있어서 작성된 임시 스케줄에 기초하여 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 결정하는 공정이고, 결정 공정에 있어서, 미착 로트를 기판 처리 장치에 반송한다고 결정되었을 경우에, 스케줄링 공정은, 미착 로트가 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 미착 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 따라서, 미착 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있다.

도 1 은 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 2 는 도 1 의 기판 처리 장치의 구성예를 나타내는 평면 모식도이다.
도 3 은 도 1 의 기판 처리 시스템에 있어서의 처리의 흐름을 나타내는 모식도이다.
도 4 는 도 1 의 호스트 컴퓨터의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다.
도 5 는 도 1 의 기판 처리 장치의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다.
도 6 은 임시 스케줄 작성 과정의 일례를 나타내는 타임 차트이다.
도 7 은 임시 스케줄 작성 과정의 일례를 나타내는 타임 차트이다.

이하, 도면을 참조하면서, 실시형태에 기판 처리 장치 (100) 에 대해 설명한다. 이하의 실시형태는, 본 발명을 구체화한 일례이며, 본 발명의 기술적 범위를 한정하는 사례는 아니다. 또, 이하에 참조하는 각 도면에서는, 이해를 용이하게 하기 위하여, 각 부의 치수나 수가 과장 또는 간략화되어 도시되어 있는 경우가 있다. 또, 각 도면에서는, 동일한 구성 및 기능을 갖는 부분에 동일한 부호가 붙고, 하기 설명에서는 중복 설명이 생략된다.

＜1. 기판 처리 시스템 (300)＞

도 1 은 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템 (300) 의 구성예를 나타내는 블록도이다.

본 실시예에 관련된 기판 처리 시스템 (300) 에서는 통상 복수의 기판 (9) 이 수납된 캐리어 (C) 가 복수의 기판 처리 장치 사이에서 반송된다. 기판 처리 시스템 (300) 은, 호스트 컴퓨터 (3) 와, 캐리어 반송용의 간선 레일 (R1) 과, 복수의 장치 베이 (201, 202) 와, 스토커 (5) 를 갖고 있다. 간선 레일 (R1) 에는 OHT (OverHead Transfer) (6) 가 슬라이딩 가능하게 연결되어 있고, 당해 OHT (6) 는 간선 레일 (R1) 을 따라 캐리어 (C) 를 복수의 장치 베이 (201, 202) 사이에서 반송한다. 각 장치 베이 (201, 202) 에는 지선 (R11, R21) 이 형성되어 있다. 지선 (R11, R21) 은 각 장치 베이 (201, 202) 의 내부를 주회하는 레일이며, 간선 레일 (R1) 과는 인입선 (R12, R22) 을 통하여 연결되어 있다. OHT (6) 는 인입선 (R12) 을 통과하여, 제 1 장치 베이 (201) 내부의 지선 (R11) 으로 이동하고, 제 1 장치 베이 (201) 에 형성된 복수의 기판 처리 장치 (100) (후술) 와의 사이에서 캐리어 (C) 의 수수를 실시한다. 동일하게, OHT (6) 는 인입선 (R22) 을 통과하여, 제 2 장치 베이 (202) 내부의 지선 (R21) 으로 이동하고, 제 2 장치 베이 (202) 에 형성된 복수의 기판 처리 장치 (100) (후술) 와의 사이에서 캐리어 (C) 의 수수를 실시한다.

스토커 (5) 는 제 1 및 제 2 장치 베이 (201, 202) 의 외부에 배치되어 있다. 스토커 (5) 는 복수의 캐리어 (C) 를 격납하는 장치이며, OHT (6) 와의 사이에서 캐리어 (C) 의 수수를 실시한다.

제 1 장치 베이 (201) 는, 복수의 기판 처리 장치 (100) (도 1 의 예에서는, 3 대의 기판 처리 장치 (100) (100A, 100B, 100C)) 를 구비하고 있다. 한편, 제 2 장치 베이 (202) 는, 복수의 기판 처리 장치 (100) (도 1 의 예에서는, 3 대의 기판 처리 장치 (100) (100D, 100E, 100F)) 를 구비하고 있다.

또한, 이하에서는, 스토커 (5) 와, OHT (6) 를 총칭하여 반송계 (4) 라고 한다. 호스트 컴퓨터 (3) 와, 각 기판 처리 장치 (100) 및 반송계 (4) 는, 예를 들어, 전기적으로 접속되어 있다.

기판 처리 장치 (100) (100A ∼ 100F) 는, 기판 (9) 을 처리하는 기능을 구비하고 있다. 기판 (9) 은, 캐리어 (C) 에 수용된 상태로 반송된다. 캐리어 (C) 에는, 통상적으로 복수의 기판 (9) 이 수용되어 있다. 캐리어 (C) 의 형태로는, 기판 (9) 을 밀폐 공간에 수납하는 FOUP (Front Opening Unified Pod) 여도 되고, SMIF (Standard Mechanical Inter Face) 포드나, 수납된 기판 (9) 을 외기에 노출하는 OC (Open Cassette) 여도 된다. 캐리어 (C) 는, 반송계 (4) 에 의해 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 에 반입되고, 반송계 (4) 에 의해, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 로부터 반출된다. 여기서 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 는 동종의 기판 처리 (예를 들어 기판 세정) 를 실행하는 장치인 것으로 한다.

캐리어 (C), 혹은 캐리어 (C) 에 수용된 기판군은,「로트」라고도 칭해진다. 기판 처리 장치 (100) 는, 로트에 대한 처리 내용을 규정한 레시피를 포함하는 로트 정보를 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 수취한다. 기판 처리 장치 (100) 는, 반송계 (4) 에 의해 반송된 캐리어 (C) 를 내부에 반입하고, 레시피에 따라 미리 작성된 스케줄에 따라서 기판 (9) 에 대한 처리를 실시한다. 처리를 끝낸 기판 (9) 은, 다시 캐리어 (C) 에 수용되어 반출된다.

호스트 컴퓨터 (3) 는, 제조 실행 시스템 (MES:Manufacturing Execution System) 및 반송 제어 시스템 (MCS:Material Control System) 을 포함한다. 호스트 컴퓨터 (3) 는, 반송계 (4) 에 의한 캐리어 (C) 의 반송 동작을 제어한다. 또, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 각 기판 처리 장치 (100) 에 의한 로트의 기판 처리를 제어한다.

또, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 복수의 기판 처리 장치 (100) (100A ∼ 100F) 중 어느 하나의 장치에 반송될 예정의 로트이지만, 아직, 어느 기판 처리 장치 (100) 에도 반송되어 있지 않은 로트 (「임시 로트」또는「미착 로트」라고도 칭해진다) 의 임시 로트 정보 (「미착 로트 정보」라고도 칭해진다) (K1) 를 각 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 의 스케줄링부 (15) 에 송신한다. 임시 로트 정보 (K1) 는, 임시 로트를 특정하기 위한 ID, 임시 로트의 처리 내용을 규정한 레시피 및 임시 로트의 처리의 우선도 등을 포함하고 있다 (도 3 참조). 호스트 컴퓨터 (3) 는, 임시 로트의 도착 예정 시각을 각 기판 처리 장치 (100) 의 처리 상황에 따라 설정할 수도 있다. 따라서, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 각 기판 처리 장치 (100) 에 대하여, 상이한 도착 예정 시각을 부여할 수 있다.

각 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 의 스케줄링부 (15) 는, 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 임시 로트 정보 (K1) 를 수취한 경우에는, 임시 로트 정보 (K1) 에 기초하여 임시 로트를 처리하기 위한 임시 스케줄을 작성한다. 임시 스케줄은, 예를 들어, 임시 로트의 처리의 종료 예정 시각과 개시 예정 시각을 포함하고 있다. 개시 예정 시각이란, 기판 처리 장치 (100) 의 제 1 캐리어 스테이지 (111) (도 2 참조) 에 임시 로트에 대응하는 캐리어 (C) 를 재치 (載置) 하는 것이 가능해지는 시각, 혹은 제 2 캐리어 스테이지 (153) (도 2 참조) 상의 캐리어 (C) 로부터 1 장째의 기판 (9) 을 반출하기 시작하는 것이 가능해지는 시각이다. 종료 예정 시각은 임시 로트에 속하는 모든 기판이 기판 처리 장치 (100) 에서 기판 처리되어 제 2 캐리어 스테이지 (153) 상의 캐리어 (C) 에 반출되어 끝내는 시각, 혹은 임시 로트에 속하는 모든 기판 (9) 을 수용한 캐리어 (C) 를 제 1 캐리어 스테이지 (111) 로부터 내보내는 것이 가능해지는 시각이다. 각 기판 처리 장치 (100A ∼ 100F) 는, 작성한 임시 스케줄을 호스트 컴퓨터 (3) 에 송신한다.

호스트 컴퓨터 (3) 는, 복수의 기판 처리 장치 (100) 의 각각으로부터 수취한 임시 로트 (미착 로트) 의 임시 스케줄에 기초하여 복수의 기판 처리 장치 (100) 중 1 개 기판 처리 장치 (100) 를, 임시 로트를 반송하는 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다. 구체적으로는, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 예를 들어, 각 기판 처리 장치 (100) 로부터 공급된 각 임시 스케줄에 기초하여, 임시 로트의 개시 예정 시각 혹은 종료 예정 시각이 가장 빠른 기판 처리 장치 (100) 를 선택한다. 즉, 호스트 컴퓨터 (3) 는 스케줄링부 (15) 로부터 송신된 임시 스케줄에 기초하여 미착 로트를 기판 처리 장치 (100) 에 반송할지의 여부를 판단하여, 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치 (100) 를 결정한다. 호스트 컴퓨터 (3) 는, 임시 로트의 반송처로서 결정한 기판 처리 장치 (100) 의 스케줄링부 (15) 에, 미착 로트를 기판 처리 장치 (100) 에 반송하는 것을 나타내는 신호 (「예고 신호」또는「통지 신호」라고도 칭해진다) 를 공급한다.

반송계 (4) 는, 호스트 컴퓨터 (3) 의 지시에 의해, 캐리어 (C) 를 각 부에 반송한다. 상기와 같이, 반송계 (4) 는, 스토커 (5) 와, OHT (6) 를 구비하고 있다.

제 1 장치 베이 (201) 와 제 2 장치 베이 (202) 는 기본적으로 동일한 구성이기 때문에, 이하에서는 제 1 장치 베이 (201) 의 설명만을 실시하고, 제 2 장치 베이 (202) 에 대해서는 설명을 생략한다.

OHT (6) 는 각 기판 처리 장치 (100) 에서의 기판 처리의 전 단계의 기판 처리 (예를 들어, 성막 처리, 에칭 처리, 불순물 첨가 처리, CMP 등) 를 실행하는 기판 처리 장치 (도시 생략) 로부터 캐리어 (C) 를 수령하여 필요에 따라 스토커 (5) 에 재치한다. 스토커 (5) 는 재치된 캐리어 (C) 를 일시적으로 보관한다. OHT (6) 는, 스토커 (5) 에 재치하지 않고, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 직접 제 1 장치 베이 (201) 내의 기판 처리 장치 (100) 에 캐리어 (C) 를 반송해도 된다.

각 기판 처리 장치 (100) 는 OHT (6) 로부터 수령한 캐리어 (C) 로부터 기판을 취출하고, 전 단계에서 기판에 부착된 각종 파티클을 기판으로부터 제거하는 등의 세정 처리를 실행한다. 전 단계의 기판 처리 장치로부터 각 기판 처리 장치 (100) 까지의 캐리어 (C) 의 반송 거리는 동일하지 않다. 따라서, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 각 기판 처리 장치 (100) 까지 캐리어 (C) 를 반송하는 캐리어 반송 시간은 각 기판 처리 장치 (100) 마다 상이하다. 호스트 컴퓨터 (3) 는 캐리어 반송 시간의 장단에 기초하여, 미착 로트의 도착 예정 시각을 각 기판 처리 장치 (100) 마다 상이한 값으로 설정할 수 있다. 호스트 컴퓨터 (3) 는, 미착 로트의 도착 예정 시각을, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 각 기판 처리 장치 (100) 까지의 캐리어 (C) 의 반송에 필요로 하는 시간, 즉 캐리어 (C) 에 수용된 미처리의 기판군인 미착 로트의 반송에 필요로 하는 시간에 기초하여 설정할 수도 있다. 또한, 기판 처리 장치 (100) 의 전 단계의 기판 처리 장치는 기판 처리 장치 (100) 와 동일한 장치 베이 (201, 202) 중에 배치되어 있어도 된다.

스토커 (5) 는, OHT (6) 와의 사이에서 캐리어 (C) 의 수수를 실시한다. 스토커 (5) 는, 캐리어 (C) 를 내부에 일시적으로 유지하고, OHT (6) 와 기판 처리 장치 (100) 사이에서 캐리어 (C) 를 수수 가능한 시간의 차를 조정한다.

＜2. 기판 처리 장치 (100)＞

실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (100) 의 구성에 대하여, 도 2 를 참조하면서 설명한다. 도 2 는 기판 처리 장치의 구성예를 나타내는 평면 모식도이다.

기판 처리 장치 (100) 는, 반도체 웨이퍼 등의 복수 장의 기판 (9) 을 처리하는 장치이다. 기판 (9) 의 표면 형상은 대략 원형이다. 기판 처리 장치 (100) 는, 복수의 기판 처리 유닛 (1) 을 구비하고 있다. 기판 처리 장치 (100) 는, 각 기판 처리 유닛 (1) 에 있어서, 기판 (9) 을, 한 장씩, 연속하여 처리할 수 있음과 함께, 복수의 기판 처리 유닛 (1) 에 의해, 복수의 기판 (9) 을 병행하여 처리할 수도 있다.

기판 처리 장치 (100) 는, 병설된 복수의 셀 (처리 블록), 구체적으로는, 인덱서 셀 (110) 및 처리 셀 (120) 과, 당해 복수의 셀 (110, 120) 이 구비하는 각 동작 기구 등을 제어하는 제어부 (130) 를 구비한다.

＜인덱서 셀 (110)＞

인덱서 셀 (110) 은, 장치 밖으로부터 수취한 미처리 기판 (9) 을 처리 셀 (120) 에 건넴과 함께, 처리 셀 (120) 로부터 수취한 처리 완료 기판 (9) 을 장치 밖으로 반출하기 위한 셀이다. 인덱서 셀 (110) 은 캐리어 (C) 를 버퍼하는 기능도 갖고 있다. 인덱서 셀 (110) 은, OHT (6) 에 의해 반송된 복수의 캐리어 (C) 가 재치되는 제 1 캐리어 스테이지 (111) 와, 내부 버퍼 (150) 를 구비한다.

미처리 기판 (9) 은, 캐리어 (C) 로부터 1 장씩 취출되어 장치 내에서 처리되고, 장치 내에서의 처리가 종료된 처리 완료 기판 (9) 은, 다시 캐리어 (C) 에 수납된다. 처리 완료 기판 (9) 을 수납한 캐리어 (C) 는, OHT (6) 에 의해 장치 외부로 반출된다. 이와 같이, 제 1 캐리어 스테이지 (111) 는, 미처리 기판 (9) 및 처리 완료 기판 (9) 을 집적하는 기판 집적부로서 기능한다.

내부 버퍼 (150) 는 제 1 캐리어 스테이지 (111) 와 처리 셀 (120) 사이에 배치된다. 내부 버퍼 (150) 는 캐리어 (C) 를 수납하는 캐리어 수납실 (151) 을 복수 실 구비한 선반부 (152) 와, 처리 셀 (120) 사이에서 기판 (9) 의 수수를 실시하기 위한 캐리어 (C) 가 재치되는 제 2 캐리어 스테이지 (153) 와, 제 1 캐리어 스테이지 (111), 선반부 (152) 및 제 2 캐리어 스테이지 (153) 사이에서 캐리어 (C) 를 반송하는 캐리어 반송 로봇 (154) 과, 제 2 캐리어 스테이지 (153) 에 재치된 캐리어 (C) 의 덮개 (도시 생략) 를 착탈하는 로드 포트 (155) 를 구비하고 있다.

내부 버퍼 (150) 는, 제 1 캐리어 스테이지 (111) 로부터 제 2 캐리어 스테이지 (153) 를 향하여 캐리어 (C) 를 반입하거나 제 1 캐리어 스테이지 (111) 로부터 기판 처리 장치 (100) 의 외부에 캐리어 (C) 를 반출할 수 없는 경우에 일시적으로 캐리어 (C) 를 수납할 수 있다. 즉, 내부 버퍼 (150) 는 캐리어 (C) 의 버퍼링 기능을 구비하고 있다. 또, 내부 버퍼 (150) 는 캐리어 (C) 로부터 처리 셀 (120) 을 향하여 미처리 기판 (9) 을 반출할 수 없는 경우에, 당해 미처리 기판 (9) 을 캐리어 수납실 (151) 에 수납된 캐리어 (C) 중에서 일시적으로 대기시킬 수도 있다. 즉, 내부 버퍼 (150) 는 기판 (9) 의 버퍼링 기능도 구비하고 있다.

이재 로봇 (IR) 은, 기판 (9) 을 하방으로부터 지지함으로써, 기판 (9) 을 수평 자세 (기판 (9) 의 주면이 수평인 자세) 로 유지 가능한 복수 (예를 들어, 4 개) 의 핸드와, 복수의 핸드를 각각 이동하는 복수의 아암을 구비한다. 이재 로봇 (IR) 은, 제 2 캐리어 스테이지 (153) 에 재치된 캐리어 (C) 로부터 미처리 기판 (9) 을 취출하고, 당해 취출한 기판 (9) 을, 기판 수수 위치 (P) 에 있어서 반송 로봇 (CR) (후술한다) 에 건네준다. 또, 이재 로봇 (IR) 은, 기판 수수 위치 (P) 에 있어서 반송 로봇 (CR) 으로부터 처리 완료 기판 (9) 을 수취하고, 당해 수취한 기판 (9) 을, 제 2 캐리어 스테이지 (153) 상에 재치된 캐리어 (C) 에 수납한다. 이재 로봇 (IR) 은, 복수의 핸드를 동시에 사용하여 기판 (9) 의 수수를 실시할 수 있다.

＜처리 셀 (120)＞

처리 셀 (120) 은, 기판 (9) 에 처리를 실시하기 위한 셀이다. 처리 셀 (120) 은, 복수의 기판 처리 유닛 (「처리부」) (1) 과, 당해 복수의 기판 처리 유닛 (1) 에 대한 기판 (9) 의 반출입을 실시하는 반송 로봇 (CR) 을 구비한다. 반송 로봇 (CR) 과 제어부 (130) 는, 기판 반송 장치이다. 여기에서는, 복수 개 (예를 들어, 3 개) 의 기판 처리 유닛 (1) 이 연직 방향으로 적층되어, 1 개의 기판 처리 장치군 (10) 을 구성하고 있다. 그리고, 복수 개 (도시의 예에서는, 4 개) 의 기판 처리 장치군 (10) 이, 반송 로봇 (CR) 을 둘러싸도록 클러스터상 (방상 (房狀)) 으로 설치된다. 따라서, 복수의 기판 처리 유닛 (1) 은, 반송 로봇 (CR) 의 주위에 각각 배치된다. 기판 처리 유닛 (1) 은, 도시 생략의 스핀 척의 상측 (연직 방향의 상측) 에 배치된 기판을 스핀 척에 의해 착탈 가능하게 유지하고, 소정의 회전축 (a1) 을 중심으로 스핀 척을 회전시키면서, 기판에 대해 소정의 처리 (예를 들어, 약액 처리, 린스 처리, 혹은 건조 처리 등) 를 실시한다.

반송 로봇 (CR) 은, 기판 (9) 을 외팔보 지지하면서 반송하는 로봇이다. 반송 로봇 (CR) 은, 지정된 기판 처리 유닛 (1) 으로부터 처리 완료 기판 (9) 을 취출하고, 당해 취출한 기판 (9) 을, 기판 수수 위치 (P) 에 있어서 이재 로봇 (IR) 에 건네준다. 또, 반송 로봇 (CR) 은, 기판 수수 위치 (P) 에 있어서 이재 로봇 (IR) 으로부터 미처리 기판 (9) 을 수취하여, 당해 수취한 기판 (9) 을, 지정된 기판 처리 유닛 (1) 에 반송한다. 반송 로봇 (CR) 도 이재 로봇 (IR) 과 마찬가지로 복수 (예를 들어, 4 개) 의 핸드와, 복수의 핸드를 각각 이동하는 복수의 아암을 구비하고 있다. 반송 로봇 (CR) 은, 복수의 핸드를 동시에 사용하여 기판 (9) 의 반송을 실시할 수 있다.

＜제어부 (130)＞

제어부 (130) 는, 캐리어 반송 로봇 (154), 로드 포트 (155), 이재 로봇 (IR), 반송 로봇 (CR) 및 일군의 기판 처리 유닛 (1) 의 각각의 동작을 제어한다. 제어부 (130) 의 하드웨어로서의 구성은, 일반적인 컴퓨터와 동일한 것을 채용할 수 있다. 즉, 제어부 (130) 는, 예를 들어, 각종 연산 처리를 실시하는 CPU (11), 기본 프로그램을 기억하는 판독 출력 전용의 메모리인 ROM (12), 각종 정보를 기억하는 자유롭게 판독 기록하는 메모리인 RAM (13) 및 프로그램 (PG) 이나 데이터 등을 기억해 두는 자기 디스크 (14) 를 버스 라인 (29) 에 전기적으로 접속하여 구성되어 있다. 버스 라인 (29) 에는, 액정 패널 등의 표시부 (141), 입력부 (142) 및 출력부 (143) 도 전기적으로 접속되어 있다. 입력부 (142), 출력부 (143) 로는, 예를 들어, USB 제어 회로와 USB 커넥터로 이루어지는 USB 인터페이스 등이 채용된다.

자기 디스크 (14) 에는, 프로그램 (PG) 이외에, 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 보내진 임시 로트 정보 (K1) 등이 기억된다. 또, 자기 디스크 (14) 에는, 기판 처리 장치 (100) 에 도착 완료 로트의 로트 정보도 기억되어 있다.

제어부 (130) 에 있어서, 프로그램 (PG) 에 기술된 순서에 따라서 주제어부로서의 CPU (11) 가 연산 처리를 실시함으로써, 기판 처리 장치 (100) 의 각 부를 제어하는 각종 기능부가 실현됨과 함께, 임시 로트의 임시 스케줄을 작성하기 위한 각 기능부도 실현된다.

구체적으로는, CPU (11) 는, 예를 들어, 복수의 기판 처리 유닛 (1) 을 사용하여 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링부 (15) 로서도 동작한다. 스케줄링부 (15) 는, 로트 정보 수신부 (16), 임시 스케줄 작성부 (17), 임시 스케줄 공급부 (18), 신호 수신부 (19) 및 예약 처리부 (20) 로서도 동작한다.

로트 정보 수신부 (16) 는, 기판 처리 장치 (100) 에 도착하지 않은 임시 로트의 레시피를, 외부의 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 입력부 (142) 를 통하여 수신한다.

임시 스케줄 작성부 (17) 는, 기판 처리 장치 (100) 에 도착 완료 로트에 미리 설정되어 있는 스케줄과, 임시 로트 (미착 로트) 의 레시피 등의 임시 로트 정보 (K1) 에 기초하여, 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성한다.

임시 스케줄 작성부 (17) 는, 임시 로트 정보 (K1) 에 있어서 미리 처리의 우선도가 설정되어 있는 임시 로트와, 미리 스케줄이 작성되고, 또한, 미리 처리의 우선도가 부여되어 있음과 함께, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 우선도가 부여된 다른 로트의 각각의 레시피에 기초하여, 당해 우선도가 부여된 다른 로트와 임시 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 당해 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성할 수 있다. 그 때에, 임시 스케줄 작성부 (17) 는, 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성한다.

또, 예를 들어, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트를 처리하는 기판 처리 유닛 (1) 에 대하여, 액 교환이 필요해진 경우 등에 있어서는, 임시 스케줄 작성부 (17) 는, 우선도에 관계없이, 임시 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수도 있다. 또한, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있다.

임시 스케줄 공급부 (18) 는, 임시 스케줄 작성부 (17) 가 취득한 임시 로트의 임시 스케줄을, 출력부 (143) 를 통하여 호스트 컴퓨터 (3) 에 공급한다. 신호 수신부 (19) 는, 기판 처리 장치 (100) 에 미착 로트가 반송되는 것을 나타내는 신호를 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 수취한다. 예약 처리부 (20) 는, 신호 수신부 (19) 가 당해 신호를 수취한 경우에, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100) 에 도착하기 전에, 임시 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부 (15) 에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 예약 처리부 (20) 는, 미착 로트의 임시 스케줄을, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행할 수 있음과 함께, 미착 로트의 임시 스케줄을, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행할 수도 있다. 또한, 스케줄링부 (15) 는, 예약 처리를 한 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 다른 로트의 스케줄을 추가로 작성할 수 있다.

배타적인 스케줄이란, 당해 스케줄이 규정하는 기판 처리와, 동일한 처리 유닛 (1) 에 있어서 동일한 타이밍에 실시되는 기판 처리를 규정하는 다른 스케줄이 존재하지 않는 스케줄이다. 바꾸어 말하면, 배타적인 스케줄은, 동일한 처리 유닛, 또한, 동일한 타이밍에 있어서 배타적이다.

또한, 제어부 (130) 에 있어서 실현되는 일부 혹은 전부의 기능부는, 전용의 논리 회로 등에서 하드웨어적으로 실현되어도 된다.

＜기판 처리 시스템 (300) 의 동작＞

실시형태에 관련된 기판 처리 시스템 (300) 의 동작에 대하여, 도 3 ∼ 도 4 를 참조하면서 설명한다. 도 3 은 기판 처리 시스템 (300) 에 있어서의 처리의 흐름을 나타내는 모식도이다. 도 4 는 호스트 컴퓨터의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다. 도 5 는 기판 처리 장치 (100) 의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다.

호스트 컴퓨터 (3) 는, 로트마다 설정된 로트 특유 정보나, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 송신되는 정보를 판독 입력함으로써, 임시 로트에 관한 임시 로트 정보 (K1) 를 취득한다. 임시 로트 정보 (K1) 는 오퍼레이터로부터의 입력이나 외부 기억 장치로부터의 판독 출력에 의해 취득되어도 된다 (도 4 의 스텝 S10). 호스트 컴퓨터 (3) 는 취득한 임시 로트 정보 (K1) 를 각 기판 처리 장치 (100) (100A ∼ 100F) 에 공급한다 (도 3, 도 4 의 스텝 S20).

각 기판 처리 장치 (100) 의 스케줄링부 (15) 의 로트 정보 수신부 (16) 는, 호스트 컴퓨터 (3) 가 공급하는 임시 로트 정보 (K1) 를, 입력부 (142) 를 통하여 수취한다 (도 3, 도 5 의 스텝 S110). 임시 스케줄 작성부 (17) 는, 임시 로트 정보 (K1) 에 기초하여, 임시 스케줄을 작성하고 (도 3, 도 5 의 스텝 S120), 임시 스케줄 공급부 (18) 는, 작성된 임시 스케줄을, 출력부 (143) 를 통하여 호스트 컴퓨터 (3) 에 공급한다 (도 3, 도 5 의 스텝 S130). 상기와 같이, 임시 로트 정보 (K1) 에는 임시 로트가 각 기판 처리 장치 (100) 에 도착하는 도착 예정 시각이 포함되어 있다. 임시 스케줄 공급부 (18) 는 임시 로트의 도착 예정 시각을 기점으로 하여 기판 처리 장치 (100) 에서의 임시 로트의 기판 처리 스케줄을 작성한다. 이 때문에, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 각 기판 처리 장치 (100) 까지의 캐리어 반송에 긴 시간을 필요로 하는 경우나, 전 단계의 기판 처리 장치로부터 각 기판 처리 장치 (100) 까지의 캐리어 반송 시간에 편차가 있는 경우라도, 임시 스케줄 공급부 (18) 는 높은 정밀도로 임시 로트의 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

호스트 컴퓨터 (3) 는, 각 기판 처리 장치 (100) 로부터 임시 스케줄을 수신 하면 (도 3, 도 4 의 스텝 S30), 각 임시 스케줄에 기초하여, 각 기판 처리 장치 (100) 중에서 임시 로트를 반송하는 기판 처리 장치 (100) 를 선택 (결정) 한다 (도 3, 도 4 의 스텝 S40). 호스트 컴퓨터 (3) 는, 선택한 기판 처리 장치 (100) (도 3 의 예에서는, 기판 처리 장치 (100A)) 의 스케줄링부 (15) 에 대하여, 임시 로트를 반송하는 것을 나타내는 신호 (「예고 신호」,「통지 신호」) 를 스케줄링부 (15) 에 송신함과 함께, 선택하지 않았던 기판 처리 장치 (100) (100B, 100C) 에 대하여, 임시 스케줄의 보류를 해제해야 한다는 취지를 나타내는 해제 신호를 송신한다 (도 3, 도 4 의 스텝 S50). 또한, 예약 신호나, 임시 스케줄의 보류의 해제 신호에는, 임시 로트의 ID 도 부가된다. 이 때문에, 복수의 임시 로트가 존재하고 있는 상태에서도, 각 기판 처리 장치 (100) 는, 정확하게 예약 처리와 해제 처리를 실시할 수 있다.

선택된 기판 처리 장치 (100) (100A) 의 신호 수신부 (19) 는, 임시 로트의 반송을 알리는 예고 신호를 수신하고 (도 3, 도 5 의 스텝 S140), 예약 처리부 (20) 가, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100) 에 도착하기 전에, 임시 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부 (15) 에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다 (도 3, 도 5 의 스텝 S150). 또, 해제 신호를 수신한 기판 처리 장치 (100) (100B, 100C) 는, 임시 스케줄의 보류를 해제한다.

호스트 컴퓨터 (3) 는, 도 4 의 스텝 S50 의 처리를 실행한 후에, 반송계 (4) 에 대하여, 임시 로트의 반송처로서 선택 (결정) 한 기판 처리 장치 (100) (100A) 에 임시 로트를 반송해야 한다는 취지의 지시를 실시한다 (도 3, 도 4 의 스텝 S60). 지시를 받은 반송계 (4) 는, 임시 로트가 선택된 기판 처리 장치 (100) (100A) 에 반송하고, 당해 기판 처리 장치 (100) (100A) 는, 반송계 (4) 에 의해 반송된 도착 완료 로트에 대하여, 레시피에 기초한 기판 처리를 실시한다 (도 3, 도 5 의 스텝 S160).

＜임시 스케줄의 작성 과정＞

기판 처리 장치 (100) 에 의한 임시 스케줄의 작성 과정에 대하여, 도 6, 도 7 을 참조하면서 설명한다. 도 6, 도 7 은, 임시 스케줄 작성 과정의 일례를 나타내는 타임 차트이다. 도 6 은 3 대의 기판 처리 장치 (간단히,「장치」라고도 칭한다) (100A ∼ 100C) 가, 각각의 기판 처리의 상황에 따라 임시 스케줄을 작성하는 과정의 일례를 나타내는 3 개의 타임 차트 (스케줄) (90A ∼ 90C) 를 나타내고 있다. 도 6 중의 각 사각형은, 각 처리 중 로트, 각 예약 로트, 혹은 각 임시 로트의 처리의 타임 차트를 나타내고 있다. 도 7 은 처리의 3 개의 우선도「저」「중」「고」에 따른 임시 계획에 있어서의 임시 스케줄의 작성 과정을 나타내는 3 개의 타임 차트 (스케줄) (91A ∼ 91C) 를 나타내고 있다. 처리의 우선도는,「고」,「중」,「저」의 순으로 낮아진다.

도 6, 도 7 의 처리 중 로트란, 기판 처리 장치 (100) (100A ∼ 100C) 에 도착 완료 로트로서, 이미 기판 처리가 개시되어 있는 로트이다. 또, 예약 로트란, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100) 에 도착하지 않은 상태로, 예약 처리부 (20) 가, 임시 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부에 있어서 기판 처리를 예약한 로트이다.

타임 차트 (90A) 에 있어서는, 2 개의 처리 중 로트에 대한 기판 처리가 실시되고 있음과 함께, 임시 스케줄을 배타적인 스케줄로서 예약된 예약 로트가 존재하고 있다. 기판 처리 장치 (100A) 의 임시 스케줄 작성부 (17) 는, 예약 로트와 동일한 기판 처리 유닛 (1) 및 동일한 시간에 처리되지 않도록, 임시 로트의 처리 스케줄인 임시 스케줄을 작성하고 있다. 임시 스케줄은, 기판 처리의 개시 예정 시각 t11 과 종료 예정 시각 t12 를 포함하고 있다. 임시 로트는 반송계 (4) 에 의해 전 단계의 기판 처리 장치로부터 기판 처리 장치 (100A) 까지 반송되고, 제 1 캐리어 스테이지 (111) 에 재치된다. 그 후, 임시 로트는 선반부 (152) 의 캐리어 수납실 (151) 에 수납된다 (도착 예정 시각 t10). 이 임시 로트는, 개시 예정 시각 t11 에 맞도록, 캐리어 반송 로봇 (154) 에 의해 제 2 캐리어 스테이지 (153) 에 반송된다.

타임 차트 (90B) 에서는, 기판 처리 장치 (100B) 를 대상으로 하여, 임시 로트의 임시 스케줄이 설정되어 있다. 타임 차트 (90B) 에서는, 1 개의 처리 중 로트의 처리의 종료 후에, 기판 처리 장치 (100B) 의 액 교환이 실시될 예정으로 되어 있다. 그래서, 기판 처리 장치 (100B) 의 임시 스케줄은, 액 교환의 종료 후에 임시 로트의 처리가 개시되도록 개시 예정 시각 t21 이 설정되어 있다. 당해 임시 스케줄에는, 임시 로트의 기판 처리의 종료 예정 시각 t22 도 설정되어 있다. 여기서, 기판 처리 장치 (100A) 는 기판 처리 장치 (100B) 보다 전 단계의 기판 처리 장치로부터 근접한 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100A) 에 도착할 예정 시각 (도착 예정 시각 t10) 은 임시 로트가 기판 처리 장치 (100B) 에 도착할 예정 시각 (도착 예정 시각 t20) 보다 빨라진다.

타임 차트 (90C) 에서는, 기판 처리 장치 (100C) 를 대상으로 하여, 4 개의 처리 중 로트가 처리가 실시되고 있는 상태에서, 임시 로트의 임시 스케줄이 작성되고 있다. 당해 임시 스케줄은, 당해 4 개의 처리 중 로트의 어느 것과도, 동일한 기판 처리 유닛 (1), 또한, 동일 타이밍에 임시 로트의 처리가 실시되지 않도록 설정되어 있다. 당해 임시 스케줄에는, 임시 로트의 기판 처리의 개시 예정 시각 t31 과 종료 예정 시각 t32 가 설정되어 있다. 여기서, 기판 처리 장치 (100A) 는 기판 처리 장치 (100B 및 100C) 보다 전 단계의 기판 처리 장치로부터 근접한 위치에 배치되어 있다. 이 때문에, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100A) 에 도착할 예정 시각 (도착 예정 시각 t10) 은 임시 로트가 기판 처리 장치 (100B 또는 100C) 에 도착할 예정 시각 (도착 예정 시각 t20, t30) 보다 빨라진다.

타임 차트 (90A ∼ 90C) 에서는, 기판 처리 장치 (100A) 의 임시 스케줄이 가장 조기에 개시된다. 이 때문에, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100C) 로부터 공급되는 임시 스케줄에 기초하여, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100A) 를 임시 로트의 반송처의 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다.

타임 차트 (90A ∼ 90C) 에서는, 기판 처리 장치 (100A) 의 임시 스케줄이 가장 빨리 종료된다. 이 때문에, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100C) 로부터 공급되는 임시 스케줄에 기초하여, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100A) 를 임시 로트의 반송처의 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다.

도 7 은 상이한 스케줄링 상태의 기판 처리 장치 (100) (100A, 100B, 100C) 에 우선도가 상이한 임시 로트를 부여한 경우에, 어떻게 임시 스케줄이 실시되는지를 설명하기 위한 타임 차트이다. 도 7 의 타임 차트 (91A ∼ 91C) 에서는, 2 개의 처리 중 로트의 처리가 실시되고 있음과 함께, 2 개의 예약 로트가 존재하고 있는 상태에서, 작성된 임시 로트의 임시 스케줄이 나타나 있다.

타임 차트 (91A) 에서는, 기판 처리 장치 (100A) 를 대상으로 하여 임시 로트의 임시 스케줄이 설정되어 있다. 타임 차트 (91A) 에서는, 1 개의 예약 로트의 처리의 우선도가「중」이고, 다른 예약 로트의 처리의 우선도가「저」이며, 임시 로트의 우선도도「저」이다. 이 때문에, 임시 스케줄은, 2 개의 예약 로트보다 이후에 개시되도록 작성되어 있다. 따라서, 임시 로트의 기판 처리의 개시 예정 시각은 t41 로, 종료 예정 시각은 t42 로 설정되어 있다.

타임 차트 (91B) 에서는, 기판 처리 장치 (100B) 를 대상으로 하여 임시 로트의 임시 스케줄이 설정되어 있다. 타임 차트 (91B) 에서는 1 개의 예약 로트의 처리의 우선도가「중」이고, 다른 예약 로트의 처리의 우선도가「저」이며, 임시 로트의 우선도는「중」이다. 그리고, 임시 스케줄은, 쌍방의 예약 로트 사이에 처리가 실시되도록 설정되어 있다. 따라서, 임시 로트의 기판 처리의 개시 예정 시각은 t51 로, 종료 예정 시각은 t52 로 설정되어 있다.

타임 차트 (91C) 에서는, 1 개의 예약 로트의 처리의 우선도가「중」이고, 다른 예약 로트의 처리의 우선도가「저」이며, 임시 로트의 우선도는「고」이다. 이 때문에, 임시 스케줄은, 2 개의 예약 로트에 앞서 임시 로트의 기판 처리가 실시되도록 설정되어 있다. 따라서, 임시 로트의 기판 처리의 개시 예정 시각은 t61 로, 종료 예정 시각은 t62 로 설정되어 있다.

타임 차트 (91A ∼ 91C) 에서는, 기판 처리 장치 (100C) 의 임시 스케줄이 가장 조기에 개시된다. 이 때문에, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100C) 로부터 공급되는 임시 스케줄에 기초하여, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100C) 를 임시 로트의 반송처의 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다.

혹은, 임시 로트의 종료 예정 시각이 가장 빠른 기판 처리 장치 (100) 를 선택하는 것도 가능하다. 도 7 의 예에서는, 기판 처리 장치 (100C) 에서의 임시 로트의 종료 예정 시각 t62 는 다른 기판 처리 장치 (100A, 100B) 에서의 임시 로트의 종료 예정 시각 t42, t52 보다 빠르다. 이 때문에, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100C) 로부터 공급되는 임시 스케줄에 기초하여, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100C) 를 임시 로트의 반송처의 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다.

혹은, 기판 처리 장치 (100) 의 내부에서의 대기 시간의 길이를 기준으로 임시 로트의 반송처를 선택하는 것도 가능하다. 예를 들어, 타임 차트 (91A ∼ 91C) 에서는, 기판 처리 장치 (100C) 에서의 대기 시간 (현재 예정 시각 t60 ∼ t61) 이 다른 기판 처리 장치 (100A, 100B) 에서의 대기 시간보다 짧다. 이 때문에, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 기판 처리 장치 (100A ∼ 100C) 로부터 공급되는 임시 스케줄에 기초하여, 예를 들어, 기판 처리 장치 (100C) 를 임시 로트의 반송처의 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다.

이상과 같이 구성된 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 호스트 컴퓨터 (3) 는 스케줄링부 (15) 로부터 송신된 임시 스케줄에 기초하여 임시 로트 (「미착 로트」) 를 기판 처리 장치 (100) 에 반송할지의 여부를 판단하여, 임시 로트를 기판 처리 장치 (100) 에 반송한다고 결정한 경우에는 임시 로트를 기판 처리 장치 (100) 에 반송하는 것을 나타내는 신호를 스케줄링부 (15) 에 부여하고, 스케줄링부 (15) 는 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 신호를 받으면, 임시 로트가 기판 처리 장치 (100) 에 도착하기 전에, 임시 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부 (15) 에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 따라서, 임시 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄링부 (15) 는, 임시 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적이고, 또한, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄링부 (15) 는, 임시 로트의 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적이고, 또한, 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 기판 처리 장치 (100) 의 스케줄링부 (15) 는, 예약 처리를 한 임시 로트의 스케줄을 사용하여, 다른 로트의 스케줄을 실제로 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄링부 (15) 는, 도착 완료 로트의 스케줄과, 임시 로트의 레시피와, 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 부여된 임시 로트의 도착 예정 시각에 기초하여 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있다. 따라서, 신뢰성이 높은 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 임시 로트의 도착 예정 시각이, 기판 처리 장치 (100) 의 처리 상황에 따라 설정되므로, 더욱 신뢰성이 높은 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄링부 (15) 는, 우선도가 부여된 다른 로트와 임시 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성한다. 따라서, 처리의 우선도를 반영한 임시 스케줄을 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄링부 (15) 는, 임시 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 임시 로트의 기판 처리 장치 (100) 에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있다. 따라서, 로트 간의 처리순의 변경을, 더욱 높은 자유도로 실시할 수 있다.

또, 본 실시형태에 관련된 기판 처리 시스템에 의하면, 기판 처리 장치 (100) 를 복수 구비하고, 호스트 컴퓨터 (3) 는, 복수의 기판 처리 장치 (100) 의 각각으로부터 수취한 임시 로트의 임시 스케줄에 기초하여 복수의 기판 처리 장치 (100) 중 1 개 기판 처리 장치 (100) 를, 임시 로트를 반송하는 기판 처리 장치 (100) 로서 선택한다. 따라서, 복수의 기판 처리 장치 (100) 로부터 임시 로트의 처리에 최적인 장치를 선택할 수 있으므로, 기판 처리 시스템 전체로서의 스루풋이 향상된다.

또, 이상과 같이 구성된 본 실시형태에 관련된 기판 처리 장치에 의하면, 당해 기판 처리 장치에 임시 로트가 반송되는 것을 나타내는 신호를 신호 수신부 (19) 가 호스트 컴퓨터 (3) 로부터 수취했을 경우에, 예약 처리부 (20) 는, 임시 로트가 당해 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 임시 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 스케줄링부 (15) 에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행한다. 따라서, 임시 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을, 그 후에 작성되는 다른 로트의 스케줄과 배팅하지 않도록 작성할 수 있다.

본 발명은 상세하게 나타내어 기술되었지만, 상기의 기술은 모든 양태에 있어서 예시로서 한정적이지 않다. 따라서, 본 발명은, 그 발명의 범위 내에 있어서, 실시형태를 적절히, 변형, 생략하는 것이 가능하다.

300 : 기판 처리 시스템
100 : 기판 처리 장치
100A ∼ 100F : 기판 처리 장치
10 : 기판 처리 장치군
1 : 기판 처리 유닛 (처리부)
130 : 제어부
3 : 호스트 컴퓨터
4 : 반송계
5 : 스토커
6 : OHT
11 : CPU
15 : 스케줄링부
9 : 기판
C : 캐리어

Claims

기판을 처리하기 위한 복수의 처리부와, 상기 복수의 처리부를 사용하여 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링부를 포함하는 기판 처리 장치와,
상기 기판 처리 장치의 스케줄링부에 대해 로트의 레시피를 송신하는 호스트 컴퓨터를 구비한 기판 처리 시스템으로서,
상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피를 상기 스케줄링부에 송신하고,
상기 스케줄링부는, 상기 기판 처리 장치에 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신하고,
상기 호스트 컴퓨터는 상기 스케줄링부로부터 송신된 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 판단하여, 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송한다고 결정한 경우에는 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송하는 것을 나타내는 신호를 상기 스케줄링부에 부여하고,
상기 스케줄링부는 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 신호를 받으면, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 상기 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항에 있어서,
상기 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치의 상기 스케줄링부는,
상기 예약 처리를 한 상기 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 상기 다른 로트의 스케줄을 추가로 작성하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 호스트 컴퓨터는, 상기 기판 처리 장치의 상기 스케줄링부에 상기 미착 로트의 도착 예정 시각을 추가로 부여하고,
상기 스케줄링부는, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피와, 상기 도착 예정 시각에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신하는, 기판 처리 시스템.
제 5 항에 있어서,
상기 호스트 컴퓨터는,
상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 기판 처리 장치의 처리 상황에 따라 설정하는, 기판 처리 시스템.
제 5 항에 있어서,
상기 미착 로트는 전 단계의 기판 처리 장치에서 기판 처리가 실시된 기판을 포함하는 로트이며,
상기 호스트 컴퓨터는,
상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 전 단계의 기판 처리 장치로부터 상기 기판 처리 장치까지의 로트 반송에 필요로 하는 시간에 기초하여 설정하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스케줄링부는, 미리 처리의 우선도가 설정되어 있는 상기 미착 로트와, 미리 스케줄이 작성되고, 또한, 미리 처리의 우선도가 부여되어 있음과 함께, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 우선도가 부여된 다른 로트의 각각의 레시피에 기초하여, 상기 우선도가 부여된 다른 로트와 상기 미착 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 상기 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는, 기판 처리 시스템.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스케줄링부는, 상기 미착 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있는, 기판 처리 시스템.
제 9 항에 있어서,
상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 상기 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있는, 기판 처리 시스템.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치를 복수 구비하고,
상기 호스트 컴퓨터는, 상기 미착 로트의 레시피를 당해 복수의 기판 처리 장치의 각각의 상기 스케줄링부에 송신하고,
상기 복수의 기판 처리 장치의 각각의 상기 스케줄링부는, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 작성하여 상기 호스트 컴퓨터에 송신하고,
상기 호스트 컴퓨터는, 상기 복수의 기판 처리 장치의 각각으로부터 수취한 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 1 개 기판 처리 장치를, 상기 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치로서 선택하는, 기판 처리 시스템.
기판을 처리하기 위한 복수의 처리부와, 상기 복수의 처리부를 사용하여 로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링부를 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 스케줄링부는,
당해 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피를 외부의 호스트 컴퓨터로부터 수신하는 로트 정보 수신부와,
당해 기판 처리 장치에 도착 완료 로트에 미리 설정되어 있는 스케줄과, 상기 미착 로트의 상기 레시피에 기초하여, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 임시 스케줄 작성부와,
상기 임시 스케줄 작성부가 취득한 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 상기 호스트 컴퓨터에 부여하는 임시 스케줄 공급부와,
당해 기판 처리 장치에 상기 미착 로트가 반송되는 것을 나타내는 신호를 상기 호스트 컴퓨터로부터 수취하는 신호 수신부와,
상기 신호 수신부가 상기 신호를 수취한 경우에, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 상기 스케줄링부에 있어서 예약하는 예약 처리를 실행하는 예약 처리부를 구비하는, 기판 처리 장치.
로트의 기판 처리를 실행하기 위한 스케줄을 작성하는 스케줄링 공정을 구비하는 기판 처리 방법으로서,
상기 스케줄링 공정은, 기판 처리 장치에 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 기판 처리 장치에 도착하지 않은 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하고,
당해 기판 처리 방법은,
상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송할지의 여부를 결정하는 결정 공정을 추가로 구비하고,
상기 스케줄링 공정은, 상기 결정 공정에 있어서, 상기 미착 로트를 상기 기판 처리 장치에 반송한다고 결정되었을 경우에, 상기 미착 로트가 상기 기판 처리 장치에 도착하기 전에, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 다른 로트의 스케줄과는 배타적인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항에 있어서,
상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 불능인 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항에 있어서,
상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을, 상기 다른 로트의 스케줄의 작성시에 변경 가능한 스케줄로서 예약하는 예약 처리를 실행하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스케줄링 공정은,
상기 예약 처리를 한 상기 미착 로트의 스케줄을 사용하여, 상기 다른 로트의 스케줄을 추가로 작성하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치로의 상기 미착 로트의 도착 예정 시각을 설정하는 시각 설정 공정을 추가로 구비하고,
상기 스케줄링 공정은, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피와, 상기 도착 예정 시각에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 17 항에 있어서,
상기 시각 설정 공정은,
상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 기판 처리 장치의 처리 상황에 따라 설정하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 17 항에 있어서,
상기 미착 로트는 전 단계의 기판 처리 장치에서 기판 처리가 실시된 기판을 포함하는 로트이며,
상기 시각 설정 공정은,
상기 미착 로트의 상기 도착 예정 시각을 상기 전 단계의 기판 처리 장치로부터 상기 기판 처리 장치까지의 로트 반송에 필요로 하는 시간에 기초하여 설정하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스케줄링 공정은, 미리 처리의 우선도가 설정되어 있는 상기 미착 로트와, 미리 스케줄이 작성되고, 또한, 미리 처리의 우선도가 부여되어 있음과 함께, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 우선도가 부여된 다른 로트의 각각의 레시피에 기초하여, 상기 우선도가 부여된 다른 로트와 상기 미착 로트가, 각각의 처리의 우선도에 따른 순서로 처리되도록, 상기 우선도가 부여된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성하는 공정인, 기판 처리 방법.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스케줄링 공정은, 상기 미착 로트의 처리가, 아직 처리가 개시되어 있지 않은 스케줄 작성이 완료된 다른 로트보다 빨리 실시되도록, 상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트의 스케줄을 재차 작성함과 함께, 상기 미착 로트의 상기 기판 처리 장치에 있어서의 스케줄을 임시 스케줄로서 작성할 수 있는 공정인, 기판 처리 방법.
제 21 항에 있어서,
상기 스케줄 작성이 완료된 다른 로트는, 상기 도착 완료 로트로서 처리가 개시되어 있지 않은 비처리 중 로트를 포함하고 있는, 기판 처리 방법.
제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 상기 기판 처리 장치의 각각에 대하여, 상기 스케줄링 공정을 구비하고,
당해 복수의 기판 처리 장치의 각각에 대하여, 상기 스케줄링 공정은, 상기 도착 완료 로트의 스케줄과, 상기 미착 로트의 레시피에 기초하여 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄을 작성하는 공정이고,
당해 기판 처리 방법은, 상기 복수의 기판 처리 장치의 각각에 대응하는 상기 미착 로트의 상기 임시 스케줄에 기초하여 상기 복수의 기판 처리 장치 중 1 개 기판 처리 장치를, 상기 미착 로트를 반송하는 기판 처리 장치로서 선택하는 선택 공정을 추가로 구비하는, 기판 처리 방법.