JP3712370B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板(以下、単に基板と称する)に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特にリソースの使用タイミングを決定してタイムテーブルを予め作成するスケジューリング技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の方法では、複数枚の基板をカセットが載置台に載置され、スタートボタンがオペレータによって押下された時点でスケジューリングが開始され、リソースの使用タイミングを規定したタイムテーブルが作成された後に、そのタイムテーブルのスケジュールに従って処理が行なわれる。当然のことながら、スケジューリングを行なっている間にも時間が経過してゆくので、複雑なレシピであったりリソースの競合などがあったりするとスケジュール作成に時間がかかることになる。
【0003】
そのような場合には、スケジュールが完了した時点で既にスケジュールされた時刻を過ぎているといった事態が生じ得るので、スケジュールに要した時間と基準時間とを比較して、基準時間内であるか否かによって作成したスケジュールの実行可否を決めている。なお、この基準時間には、スケジュール作成に要する時間に対して余裕のある基準時間(例えば30秒程度の長い時間)が固定的に設定されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の方法は基準時間が固定されているので、スケジュールが短時間で完了したとしても、基準時間が経過するまではスケジュールが実行されない。そのためスケジュールが完了しているにも関わらず装置が処理を開始せず、基板処理装置の稼働率が低下するという問題がある。
【0005】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、スケジュール作成時間に応じて基準時間を可変することによって、作成したスケジュールによる処理に素早く移行できて稼働率を向上することができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成方法において、(a)スケジュールを作成する過程と、(b)スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する過程と、(c)前記(b)過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする過程と、(d)前記(b)過程でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記(a)過程から再び実行する過程と、を含むことを特徴とするものである。
【0007】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記(b)過程でスケジュール作成時間が基準時間内となった場合には、基準時間の経過時点で前記(a)過程で作成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始することを特徴とするものである。
【0008】
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記(c)過程における所定の時間を最初の基準時間とすることを特徴とするものである。
【0009】
請求項4に記載の発明は、複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、(a)スケジュールを作成する処理と、(b)スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する処理と、(c)前記(b)過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする処理と、(d)前記(b)処理でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記(a)処理から再び実行する処理と、を含ませるようにコンピュータを制御することを特徴とするものである。
【0010】
【作用】
請求項1に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、スケジュール作成時間と基準時間とを比較し、基準時間を越えている場合には基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とし、スケジュールの作成が基準時間内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間内におけるスケジュールに失敗する場合には、基準時間が徐々に延長される。一方、短時間でスケジュールが完了した場合には、スケジュール作成開始から短い基準時間後に処理が開始される。
【0011】
なお、リソースとは、例えば、基板を搬送する搬送機構、基板を洗浄する純水洗浄処理部、薬液を含んだ処理液で基板を洗浄する薬液処理部、基板を加熱する加熱処理部などを含むものである。
【0012】
請求項2に記載の発明によれば、基準時間内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が経過した時点でスケジュールに基づく基板に対する実際の処理を開始する。
【0013】
請求項3に記載の発明によれば、基準時間に加算する所定の時間を最初の基準時間とする。これによりスケジュールに失敗すると、新たな基準時間が最初の基準時間の整数倍にされて延長されてゆく。
【0014】
請求項4に記載の発明によれば、プログラムとして上記の請求項1と同様の作用を生じる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図1及び図2はこの発明の一実施例に係り、図1は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図2はそのブロック図である。
【0016】
この基板処理装置は、例えば、基板Wに対して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Wは複数枚(例えば25枚)がカセット1に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Wを収納したカセット1は、投入部3に載置される。投入部3は、カセット1を載置される載置台5を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部3の反対側には、払出部7が配備されている。この払出部7は、処理済みの基板Wをカセット1に収納してカセット1ごと払い出す。このように機能する払出部7は、投入部3と同様に、カセット1を載置するための二つの載置台9を備えている。
【0017】
投入部3と払出部7に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第1搬送機構11が配置されている。第1搬送機構11は、投入部3に載置されたカセット1ごと複数枚の基板Wを第2搬送機構13に対して搬送する。
【0018】
第2搬送機構13は、収納されている全ての基板Wをカセット1から取り出した後、第3搬送機構15に対して全ての基板Wを搬送する。また、第3搬送機構15から処理済みの基板Wを受け取った後に、基板Wをカセット1に収容して第1搬送機構11に搬送する。
【0019】
第3搬送機構15は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されており、上述した第2搬送機構13との間で基板Wの受け渡しを行なう。上記第3搬送機構15の移動方向における最も手前側には、乾燥処理部17が配備されている。この乾燥処理装置17は、例えば、低圧のチャンバ内に基板Wを収納して乾燥させる。
【0020】
第3搬送機構15の移動方向であって上記乾燥処理部17に隣接する位置には、第1処理部19が配備されている。この第1処理部19は、複数枚の基板Wに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部21を備えているとともに、複数枚の基板Wに対して薬液処理を施すための薬液処理部23を備えている。
【0021】
第1副搬送機構25は、第1処理部19内での基板搬送の他に、第3搬送機構15との間で基板Wを受け渡しする。純水洗浄処理部21の上方に位置する非処理位置では、第3搬送機構15との間で基板Wを受け渡す動作が行なわれる一方、薬液処理部23の上方に位置する非処理位置では、基板Wの受け渡しは行なわれない。また、基板Wを処理する際には、純水洗浄処理部21や薬液処理部23の槽内に位置する処理位置にまで下降する。第2副搬送機構53は、上記の第1副搬送機構25と同様の機能を有し、純水洗浄処理部49と薬液処理部51を備えた第2処理部47内での基板搬送等を行なう。
【0022】
第1搬送機構11と第2搬送機構13に隣接する位置には、バッファ装置71が配備されている。このバッファ装置71は、第2搬送機構13と基板Wを受け渡しする機能を備え、スケジュールの対象外となった複数枚の基板W(以下、ロットと称する)を一時的に収容する。そして、そのロットがスケジュールの対象となった時点で第2搬送機構13によって受け取られて搬送される。
【0023】
上記のように構成されている基板処理装置は、図2のブロック図に示すように制御部73によって統括的に制御される。
【0024】
制御部73は、CPUなどから構成されており、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相当する手順に基づき、レシピに応じて上述した薬液処理部23,51などの各リソースの使用タイミングを、ロットに対する処理を実際に開始する前に予め決定する。その後、実際にロットを処理するにあたり、作成されたスケジュールに基づき各リソースを使用してレシピに応じた処理をロットに対して施す。
【0025】
記憶部75には、この基板処理装置のユーザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールと、スケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。
【0026】
図3のフローチャート及び図4並びに図5に示すタイムチャートを参照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順について説明する。なお、理解を容易にするために一部を省略して簡略化したレシピを例に採って説明する。
【0027】
その具体的なレシピは、第2搬送機構13でロットを純水洗浄処理部21に搬送し、ここで洗浄処理を施した後、薬液処理部23に基板を搬送して薬液処理を施す。その後、純水洗浄処理部21に再度基板を搬送して、純水洗浄を行なった後、乾燥処理部17で乾燥処理を施してから第2搬送機構13で搬送するというものである。
【0028】
なお、本実施例では、スケジュール作成に要する時間の目安である基準時間をTRとし、この基準時間TRが図4に示すように、t0時間からta時間までの時間間隔に設定されているものとする。
【0029】
ステップS1
オペレータがロットを収容したカセット1を載置台5に載置し、さらにレシピを選択指示するとともに図示しないスタートボタンを押下する。すると、制御部73は、そのロットについてスケジュールの作成を開始する。なお、スケジュール作成の開始時点は、図4のt0時点であるとする。
【0030】
ステップS2
制御部73は、本ロットのレシピに基づき、他のロットの状況やリソースの競合などを考慮しながら、ステップS10の処理工程を第2搬送機構13に配置し、ステップS11の処理工程を純水洗浄処理部21に配置するなどして、ステップS15の処理工程まで順に各リソースの使用タイミングを決定する。
【0031】
これにより、例えば、図4のタイムチャート中に示すta時間以降のステップS10〜S15のように使用タイミングが決定されたとする(ステップS3)。また、スケジュールの作成は、例えば、t0時点からTC1時間経過したt1時点で完了したものとする。つまり、時間TC1がスケジュール作成時間である。
【0032】
ステップS4
スケジュール作成時間TC1と基準時間TRとを比較して、スケジュール作成時間TC1が基準時間TR以内であればステップS6に移行し、作成した上記のスケジュールを確定し、このスケジュールを記憶部75に対して書き込む。そして、現在の時間t1から時間taまでの短い待ち時間TW1が経過した後に、制御部73によりスケジュールに基づいた実際の処理が行なわれる。
【0033】
なお、従来例では、t0時間からtb時間までのように十分に長い基準時間TR0(例えば、30秒程度)に設定されているので、基準時間TR0とスケジュール作成時間TC1との差分である、時間t1から時間tbまでの時間TW2が待ち時間となる。したがって、上述した待ち時間TW1よりも待機する時間が長くなることが分かる。
【0034】
次に、上記のステップS4における比較の結果、スケジュール作成時間TC1が基準時間TRを超える場合について、図5のタイムチャートを参照しながら説明する。
【0035】
この場合には、スケジュール作成時間をTC2とし、ステップS20からS25までの処理工程を配置し終えた時点を、t0時点からスケジュール作成時間TC2が経過したt1時点とする。するとスケジュール作成時間TC2が基準時間TRを越えていることになり、図3のステップS4からステップS5に分岐する。
【0036】
ステップS5
現在の基準時間TRではスケジュール作成が間に合わなかったので、基準時間TRを延長する。ここでは新たな基準時間TR´を、元の基準時間TRに対して所定の時間TS、例えば、最初の基準時間TRを加算したものとする。そして、ステップS2に戻って再びスケジューリング作成を行ない、ステップS4でスケジュール作成時間TC2が新たな基準時間TR´以内となるまで繰り返す。
【0037】
なお、上記の基準時間TRはレシピ等によって適宜に設定されるものであるが、例えば、7秒あるいは10秒程度であり、所定の時間TSはそれとほぼ同じ値が例示される。
【0038】
また、上述したステップS2が本発明における(a)過程に相当し、ステップS4が(b)過程に相当し、ステップS5が(c)過程に相当し、ステップS2ないしS4が(d)に相当する。
【0039】
上記のように新たな基準時間TR´を設定した後、再びスケジューリングを行なった場合に、スケジュール作成時間が先のものと同じTC2であったとする。すると、スケジュールはt3時間に完了し、時間t3からの待ち時間TW3が経過するt5時点でスケジュールに基づく処理が開始される。
【0040】
このようにスケジュール作成時間TCと基準時間TRとを比較し、基準時間TRを越えている場合には基準時間TRに基準時間TR(所定の時間TS)を加算し、スケジュールの作成が基準時間TR内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間TR内におけるスケジュールに失敗する場合には基準時間TRが徐々に延長される一方、短時間でスケジュールが完了した場合には短い基準時間TR後に処理が開始される。その結果、作成したスケジュールによる処理に迅速に移行することができ、基板処理装置の稼働率を高めることができるようになっている。
【0041】
なお、上記の説明では、基準時間TRに加算する所定の時間を最初の基準時間TRとすることで、スケジュールに失敗するたびに基準時間TRが最初の基準時間TRの整数倍にされて延長されるようにしている。このような延長の仕方に代えて、例えば、基準時間TRの半分を加算するようにしたり、基準時間TRとは何ら関連のない定数を加算したり、スケジューリングに失敗した際のリソースの競合状態に応じて加算する時間を可変したりするようにしてもよい。
【0042】
また、上記の説明では単一のロットを処理するものとして説明しているが、複数のロットを並行して処理する場合であって本発明においてスケジュールする方法としては、次のようなものが好適である。
【0043】
なお、以下の方法における処理工程とは、上述した純水洗浄処理部21における洗浄処理や薬液処理部51における薬液処理であり、またそれらを一連の処理として扱うブロックとした場合も含む。
【0044】
すなわち、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するのである。
【0045】
この方法によれば、予めスケジュールすることで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率を向上することができる。
【0046】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1に記載の発明によれば、スケジュール作成時間と基準時間とを比較し、基準時間を越えている場合には基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とし、スケジュールの作成が基準時間内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間内におけるスケジュールに失敗する場合には基準時間が徐々に延長される一方、短時間でスケジュールが完了した場合には短い基準時間後に処理が開始される。その結果、作成したスケジュールによる処理に迅速に移行することができ、基板処理装置の稼働率を高めることができる。
【0047】
請求項2に記載の発明によれば、基準時間内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が経過した時点でスケジュールを開始して、基板に対して実際の処理を施す。
【0048】
請求項3に記載の発明によれば、新たな基準時間として基準時間に加算する所定の時間を最初の基準時間とすることで、スケジュールに失敗するたびに新たな基準時間が最初の基準時間の整数倍にされて延長されるようにできる。
【0049】
請求項4に記載の発明によれば、プログラムとして上記の請求項1と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図2】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図3】スケジュール作成の流れを示すフローチャートである。
【図4】スケジュール例の一部を示すタイムチャートである。
【図5】スケジュール例の一部を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
W … 基板
1 … カセット
3 … 投入部
5 … 載置台
11 … 第1搬送機構
13 … 第2搬送機構
15 … 第3搬送機構
17 … 乾燥処理部
19 … 第1処理部
21 … 純水洗浄処理部
23 … 薬液処理部
25 … 第1副搬送機構
47 … 第2処理部
49 … 純水洗浄処理部
51 … 薬液処理部
53 … 第1副搬送機構
71 … バッファ装置
73 … 制御部
TR … 基準時間
TR´ … 基準時間
TS … 所定の時間
TC1,TC2 … スケジュール作成時間
TW1,TW2,TW3 … 待ち時間
Claims (4)
- 複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
(a)スケジュールを作成する過程と、
(b)スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する過程と、
(c)前記(b)過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする過程と、
(d)前記(b)過程でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記(a)過程から再び実行する過程と、
を含むことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記(b)過程でスケジュール作成時間が基準時間内となった場合には、基準時間の経過時点で前記(a)過程で作成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記(c)過程における所定の時間を最初の基準時間とすることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
(a)スケジュールを作成する処理と、
(b)スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する処理と、
(c)前記(b)過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする処理と、
(d)前記(b)処理でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記(a)処理から再び実行する処理と、
を含ませるようにコンピュータを制御することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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JP2010201552A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Honda Motor Co Ltd | 締付装置の制御方法 |
TWI402642B (zh) * | 2007-07-10 | 2013-07-21 | Dainippon Screen Mfg | 基板處理裝置之排程作成方法及其資訊記錄媒體 |
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- 2001-09-20 JP JP2001286311A patent/JP3712370B2/ja not_active Expired - Fee Related
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