JP2003099108A - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スケジュール作成時間に応じて基準時間を可
変することで、作成したスケジュールによる処理に素早
く移行できて稼働率を向上することができる。 【解決手段】 スケジュール作成時間Ｔ_C2と基準時間Ｔ
_Rとを比較し、基準時間Ｔ_Rを越えている場合には基準時
間Ｔ_Rに所定の時間Ｔ_Sを加算し、スケジュールの作成が
新たな基準時間Ｔ_R´内でできるまでスケジューリング
を繰り返す。したがって、基準時間Ｔ_R内におけるスケ
ジュールに失敗する場合には基準時間Ｔ_Rが徐々に延長
される一方、短時間でスケジュールが完了した場合には
短い基準時間Ｔ_R後に処理が開始される。その結果、作
成したスケジュールによる処理に迅速に移行することが
でき、基板処理装置の稼働率を高めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハや
液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称す
る）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作
成方法及びそのプログラムに係り、特にリソースの使用
タイミングを決定してタイムテーブルを予め作成するス
ケジューリング技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の方法では、複数枚の基板
をカセットが載置台に載置され、スタートボタンがオペ
レータによって押下された時点でスケジューリングが開
始され、リソースの使用タイミングを規定したタイムテ
ーブルが作成された後に、そのタイムテーブルのスケジ
ュールに従って処理が行なわれる。当然のことながら、
スケジューリングを行なっている間にも時間が経過して
ゆくので、複雑なレシピであったりリソースの競合など
があったりするとスケジュール作成に時間がかかること
になる。

【０００３】そのような場合には、スケジュールが完了
した時点で既にスケジュールされた時刻を過ぎていると
いった事態が生じ得るので、スケジュールに要した時間
と基準時間とを比較して、基準時間内であるか否かによ
って作成したスケジュールの実行可否を決めている。な
お、この基準時間には、スケジュール作成に要する時間
に対して余裕のある基準時間（例えば３０秒程度の長い
時間）が固定的に設定されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来の方法は基準時間が固定されてい
るので、スケジュールが短時間で完了したとしても、基
準時間が経過するまではスケジュールが実行されない。
そのためスケジュールが完了しているにも関わらず装置
が処理を開始せず、基板処理装置の稼働率が低下すると
いう問題がある。

【０００５】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、スケジュール作成時間に応じて基準
時間を可変することによって、作成したスケジュールに
よる処理に素早く移行できて稼働率を向上することがで
きる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプロ
グラムを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、このような
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、複数個のリソースを備え
た基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板
に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用す
るタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作
成する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
（ａ）スケジュールを作成する過程と、（ｂ）スケジュ
ール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを
比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えている
か否かを判断する過程と、（ｃ）前記（ｂ）過程におい
てスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合に
は、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間と
する過程と、（ｄ）前記（ｂ）過程でスケジュール作成
時間が基準時間内となるまで前記（ａ）過程から再び実
行する過程と、を含むことを特徴とするものである。

【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記
（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内となっ
た場合には、基準時間の経過時点で前記（ａ）過程で作
成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始するこ
とを特徴とするものである。

【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法におい
て、前記（ｃ）過程における所定の時間を最初の基準時
間とすることを特徴とするものである。

【０００９】請求項４に記載の発明は、複数個のリソー
スを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しな
がら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソース
を使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行な
う前に作成する基板処理装置のスケジュール作成プログ
ラムにおいて、（ａ）スケジュールを作成する処理と、
（ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間
と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時
間を越えているか否かを判断する処理と、（ｃ）前記
（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が基準時間を
越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して
新たな基準時間とする処理と、（ｄ）前記（ｂ）処理で
スケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記
（ａ）処理から再び実行する処理と、を含ませるように
コンピュータを制御することを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。すなわち、スケジュール作成時間と基準時間とを比
較し、基準時間を越えている場合には基準時間に所定の
時間を加算して新たな基準時間とし、スケジュールの作
成が基準時間内でできるまでスケジューリングを繰り返
す。したがって、基準時間内におけるスケジュールに失
敗する場合には、基準時間が徐々に延長される。一方、
短時間でスケジュールが完了した場合には、スケジュー
ル作成開始から短い基準時間後に処理が開始される。

【００１１】なお、リソースとは、例えば、基板を搬送
する搬送機構、基板を洗浄する純水洗浄処理部、薬液を
含んだ処理液で基板を洗浄する薬液処理部、基板を加熱
する加熱処理部などを含むものである。

【００１２】請求項２に記載の発明によれば、基準時間
内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が
経過した時点でスケジュールに基づく基板に対する実際
の処理を開始する。

【００１３】請求項３に記載の発明によれば、基準時間
に加算する所定の時間を最初の基準時間とする。これに
よりスケジュールに失敗すると、新たな基準時間が最初
の基準時間の整数倍にされて延長されてゆく。

【００１４】請求項４に記載の発明によれば、プログラ
ムとして上記の請求項１と同様の作用を生じる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施例を説明する。図１及び図２はこの発明の一実施
例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成
を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。

【００１６】この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対
して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すため
の装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセ
ット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基
板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。
投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備
えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反
対側には、払出部７が配備されている。この払出部７
は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット
１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入
部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置
台９を備えている。

【００１７】投入部３と払出部７に沿う位置には、これ
らの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置
されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置され
たカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に
対して搬送する。

【００１８】第２搬送機構１３は、収納されている全て
の基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構
１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送
機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板
Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送す
る。

【００１９】第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手
方向に向けて移動可能に構成されており、上述した第２
搬送機構１３との間で基板Ｗの受け渡しを行なう。上記
第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、
乾燥処理部１７が配備されている。この乾燥処理装置１
７は、例えば、低圧のチャンバ内に基板Ｗを収納して乾
燥させる。

【００２０】第３搬送機構１５の移動方向であって上記
乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が
配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板
Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２
１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液
処理を施すための薬液処理部２３を備えている。

【００２１】第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内
での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗ
を受け渡しする。純水洗浄処理部２１の上方に位置する
非処理位置では、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受
け渡す動作が行なわれる一方、薬液処理部２３の上方に
位置する非処理位置では、基板Ｗの受け渡しは行なわれ
ない。また、基板Ｗを処理する際には、純水洗浄処理部
２１や薬液処理部２３の槽内に位置する処理位置にまで
下降する。第２副搬送機構５３は、上記の第１副搬送機
構２５と同様の機能を有し、純水洗浄処理部４９と薬液
処理部５１を備えた第２処理部４７内での基板搬送等を
行なう。

【００２２】第１搬送機構１１と第２搬送機構１３に隣
接する位置には、バッファ装置７１が配備されている。
このバッファ装置７１は、第２搬送機構１３と基板Ｗを
受け渡しする機能を備え、スケジュールの対象外となっ
た複数枚の基板Ｗ（以下、ロットと称する）を一時的に
収容する。そして、そのロットがスケジュールの対象と
なった時点で第２搬送機構１３によって受け取られて搬
送される。

【００２３】上記のように構成されている基板処理装置
は、図２のブロック図に示すように制御部７３によって
統括的に制御される。

【００２４】制御部７３は、ＣＰＵなどから構成されて
おり、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相
当する手順に基づき、レシピに応じて上述した薬液処理
部２３，５１などの各リソースの使用タイミングを、ロ
ットに対する処理を実際に開始する前に予め決定する。
その後、実際にロットを処理するにあたり、作成された
スケジュールに基づき各リソースを使用してレシピに応
じた処理をロットに対して施す。

【００２５】記憶部７５には、この基板処理装置のユー
ザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理
するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作
成プログラムと、作成されたスケジュールと、スケジュ
ールを実行する処理プログラム等が予め格納されてい
る。

【００２６】図３のフローチャート及び図４並びに図５
に示すタイムチャートを参照しながらスケジュール作成
プログラムに相当する手順について説明する。なお、理
解を容易にするために一部を省略して簡略化したレシピ
を例に採って説明する。

【００２７】その具体的なレシピは、第２搬送機構１３
でロットを純水洗浄処理部２１に搬送し、ここで洗浄処
理を施した後、薬液処理部２３に基板を搬送して薬液処
理を施す。その後、純水洗浄処理部２１に再度基板を搬
送して、純水洗浄を行なった後、乾燥処理部１７で乾燥
処理を施してから第２搬送機構１３で搬送するというも
のである。

【００２８】なお、本実施例では、スケジュール作成に
要する時間の目安である基準時間をＴ_Rとし、この基準
時間Ｔ_Rが図４に示すように、ｔ０時間からｔａ時間ま
での時間間隔に設定されているものとする。

【００２９】ステップＳ１ オペレータがロットを収容したカセット１を載置台５に
載置し、さらにレシピを選択指示するとともに図示しな
いスタートボタンを押下する。すると、制御部７３は、
そのロットについてスケジュールの作成を開始する。な
お、スケジュール作成の開始時点は、図４のｔ０時点で
あるとする。

【００３０】ステップＳ２ 制御部７３は、本ロットのレシピに基づき、他のロット
の状況やリソースの競合などを考慮しながら、ステップ
Ｓ１０の処理工程を第２搬送機構１３に配置し、ステッ
プＳ１１の処理工程を純水洗浄処理部２１に配置するな
どして、ステップＳ１５の処理工程まで順に各リソース
の使用タイミングを決定する。

【００３１】これにより、例えば、図４のタイムチャー
ト中に示すｔａ時間以降のステップＳ１０〜Ｓ１５のよ
うに使用タイミングが決定されたとする（ステップＳ
３）。また、スケジュールの作成は、例えば、ｔ０時点
からＴ_C1時間経過したｔ１時点で完了したものとする。
つまり、時間Ｔ_C1がスケジュール作成時間である。

【００３２】ステップＳ４ スケジュール作成時間Ｔ_C1と基準時間Ｔ_Rとを比較し
て、スケジュール作成時間Ｔ_C1が基準時間Ｔ_R以内であ
ればステップＳ６に移行し、作成した上記のスケジュー
ルを確定し、このスケジュールを記憶部７５に対して書
き込む。そして、現在の時間ｔ１から時間ｔａまでの短
い待ち時間Ｔ_W1が経過した後に、制御部７３によりスケ
ジュールに基づいた実際の処理が行なわれる。

【００３３】なお、従来例では、ｔ０時間からｔｂ時間
までのように十分に長い基準時間Ｔ _R0（例えば、３０秒
程度）に設定されているので、基準時間Ｔ_R0とスケジュ
ール作成時間Ｔ_C1との差分である、時間ｔ１から時間ｔ
ｂまでの時間Ｔ_W2が待ち時間となる。したがって、上述
した待ち時間Ｔ_W1よりも待機する時間が長くなることが
分かる。

【００３４】次に、上記のステップＳ４における比較の
結果、スケジュール作成時間Ｔ_C1が基準時間Ｔ_Rを超え
る場合について、図５のタイムチャートを参照しながら
説明する。

【００３５】この場合には、スケジュール作成時間をＴ
_C2とし、ステップＳ２０からＳ２５までの処理工程を配
置し終えた時点を、ｔ０時点からスケジュール作成時間
Ｔ_C2が経過したｔ１時点とする。するとスケジュール作
成時間Ｔ_C2が基準時間Ｔ_Rを越えていることになり、図
３のステップＳ４からステップＳ５に分岐する。

【００３６】ステップＳ５ 現在の基準時間Ｔ_Rではスケジュール作成が間に合わな
かったので、基準時間Ｔ_Rを延長する。ここでは新たな
基準時間Ｔ_R´を、元の基準時間Ｔ_Rに対して所定の時間
Ｔ_S、例えば、最初の基準時間Ｔ_Rを加算したものとす
る。そして、ステップＳ２に戻って再びスケジューリン
グ作成を行ない、ステップＳ４でスケジュール作成時間
Ｔ_C2が新たな基準時間Ｔ_R´以内となるまで繰り返す。

【００３７】なお、上記の基準時間Ｔ_Rはレシピ等によ
って適宜に設定されるものであるが、例えば、７秒ある
いは１０秒程度であり、所定の時間Ｔ_Sはそれとほぼ同
じ値が例示される。

【００３８】また、上述したステップＳ２が本発明にお
ける（ａ）過程に相当し、ステップＳ４が（ｂ）過程に
相当し、ステップＳ５が（ｃ）過程に相当し、ステップ
Ｓ２ないしＳ４が（ｄ）に相当する。

【００３９】上記のように新たな基準時間Ｔ_R´を設定
した後、再びスケジューリングを行なった場合に、スケ
ジュール作成時間が先のものと同じＴ_C2であったとす
る。すると、スケジュールはｔ３時間に完了し、時間ｔ
３からの待ち時間Ｔ_W3が経過するｔ５時点でスケジュー
ルに基づく処理が開始される。

【００４０】このようにスケジュール作成時間Ｔ_Cと基
準時間Ｔ_Rとを比較し、基準時間Ｔ_Rを越えている場合に
は基準時間Ｔ_Rに基準時間Ｔ_R（所定の時間Ｔ_S）を加算
し、スケジュールの作成が基準時間Ｔ_R内でできるまで
スケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間Ｔ
_R内におけるスケジュールに失敗する場合には基準時間
Ｔ_Rが徐々に延長される一方、短時間でスケジュールが
完了した場合には短い基準時間Ｔ_R後に処理が開始され
る。その結果、作成したスケジュールによる処理に迅速
に移行することができ、基板処理装置の稼働率を高める
ことができるようになっている。

【００４１】なお、上記の説明では、基準時間Ｔ_Rに加
算する所定の時間を最初の基準時間Ｔ_Rとすることで、
スケジュールに失敗するたびに基準時間Ｔ_Rが最初の基
準時間Ｔ_Rの整数倍にされて延長されるようにしてい
る。このような延長の仕方に代えて、例えば、基準時間
Ｔ_Rの半分を加算するようにしたり、基準時間Ｔ_Rとは何
ら関連のない定数を加算したり、スケジューリングに失
敗した際のリソースの競合状態に応じて加算する時間を
可変したりするようにしてもよい。

【００４２】また、上記の説明では単一のロットを処理
するものとして説明しているが、複数のロットを並行し
て処理する場合であって本発明においてスケジュールす
る方法としては、次のようなものが好適である。

【００４３】なお、以下の方法における処理工程とは、
上述した純水洗浄処理部２１における洗浄処理や薬液処
理部５１における薬液処理であり、またそれらを一連の
処理として扱うブロックとした場合も含む。

【００４４】すなわち、基板に処理を施すための処理部
を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処
理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づい
て各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロ
ットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール
作成方法において、いずれかのロットについて最初の処
理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のう
ち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早
いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置す
るのである。

【００４５】この方法によれば、予めスケジュールする
ことで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前
作業とを重複させて配置することができるとともに、配
置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロッ
トの処理工程を次の処理工程として選択して配置するこ
とで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮するこ
とができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効
利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率
を向上することができる。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、スケジュール作成時間と基準
時間とを比較し、基準時間を越えている場合には基準時
間に所定の時間を加算して新たな基準時間とし、スケジ
ュールの作成が基準時間内でできるまでスケジューリン
グを繰り返す。したがって、基準時間内におけるスケジ
ュールに失敗する場合には基準時間が徐々に延長される
一方、短時間でスケジュールが完了した場合には短い基
準時間後に処理が開始される。その結果、作成したスケ
ジュールによる処理に迅速に移行することができ、基板
処理装置の稼働率を高めることができる。

【００４７】請求項２に記載の発明によれば、基準時間
内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が
経過した時点でスケジュールを開始して、基板に対して
実際の処理を施す。

【００４８】請求項３に記載の発明によれば、新たな基
準時間として基準時間に加算する所定の時間を最初の基
準時間とすることで、スケジュールに失敗するたびに新
たな基準時間が最初の基準時間の整数倍にされて延長さ
れるようにできる。

【００４９】請求項４に記載の発明によれば、プログラ
ムとして上記の請求項１と同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した
平面図である。

【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した
ブロック図である。

【図３】スケジュール作成の流れを示すフローチャート
である。

【図４】スケジュール例の一部を示すタイムチャートで
ある。

【図５】スケジュール例の一部を示すタイムチャートで
ある。

【符号の説明】

Ｗ … 基板 １ … カセット ３ … 投入部 ５ … 載置台 １１ … 第１搬送機構 １３ … 第２搬送機構 １５ … 第３搬送機構 １７ … 乾燥処理部 １９ … 第１処理部 ２１ … 純水洗浄処理部 ２３ … 薬液処理部 ２５ … 第１副搬送機構 ４７ … 第２処理部 ４９ … 純水洗浄処理部 ５１ … 薬液処理部 ５３ … 第１副搬送機構 ７１ … バッファ装置 ７３ … 制御部 ＴＲ … 基準時間 ＴＲ´ … 基準時間 Ｔ_S … 所定の時間 Ｔ_C1，Ｔ_C2 … スケジュール作成時間 Ｔ_W1，Ｔ_W2，Ｔ_W3 … 待ち時間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河合 淳 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 赤尾 喜代志 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 堀口 修 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H090 JC00 JC06 JC14 JC19 JD08 3C100 AA05 BB12 BB14 BB22 EE06

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個のリソースを備えた基板処理装置
   により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を
   施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを
   実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理
   装置のスケジュール作成方法において、 （ａ）スケジュールを作成する過程と、 （ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間
   と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時
   間を越えているか否かを判断する過程と、 （ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が
   基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間
   を加算して新たな基準時間とする過程と、 （ｄ）前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時
   間内となるまで前記（ａ）過程から再び実行する過程
   と、 を含むことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作
   成方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置のスケジ
   ュール作成方法において、 前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内と
   なった場合には、基準時間の経過時点で前記（ａ）過程
   で作成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始す
   ることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の基板処理装置
   のスケジュール作成方法において、 前記（ｃ）過程における所定の時間を最初の基準時間と
   することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成
   方法。
4. 【請求項４】 複数個のリソースを備えた基板処理装置
   により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を
   施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを
   実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理
   装置のスケジュール作成プログラムにおいて、 （ａ）スケジュールを作成する処理と、 （ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間
   と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時
   間を越えているか否かを判断する処理と、 （ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が
   基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間
   を加算して新たな基準時間とする処理と、 （ｄ）前記（ｂ）処理でスケジュール作成時間が基準時
   間内となるまで前記（ａ）処理から再び実行する処理
   と、 を含ませるようにコンピュータを制御することを特徴と
   する基板処理装置のスケジュール作成プログラム。