KR101012249B1 - 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램 - Google Patents

Abstract

기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다. 상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도(系譜圖)를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝, 상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

스케쥴작성방법

Description

기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램{SCHEDULING METHOD AND PROGRAM FOR A SUBSTRATE TREATING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼나 액정표시장치용의 유리기판(이하, 간단히 기판이라고 한다)에 세정, 에칭, 건조 등의 소정의 처리를 행하는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램에 관한 것이다.

종래, 이런 종류의 방법으로서, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가, 복수의 처리공정을 포함한 레시피에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해 각 로트의 처리순서를 미리 결정하여, 그 스케줄에 따라 각 로트를 반송시키면서 순차적으로 처리를 행하는 것이 있다.

구체적으로는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점(基点)으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치한다(예를 들면, 일본 특허공개 2003－241818호 공 보, 일본 특허공개 2003－243274호 공보 참조).

상기와 같은 기판처리장치의 스케줄작성방법은, 실제로 로트에 대한 처리를 개시하기 전에, 어떤 로트를 어떤 처리부에서 어느 시점에서 처리할까 결정해 가므로, 효율적으로 로트의 각 처리공정을 배치할 수 있어서, 기판처리장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.

상기와 같이 스케줄작성에 장시간을 필요로 하는 경우에 대처하기 위해, 스케줄작성에 필요한 시간과 미리 결정한 기준시간을 비교하여, 기준시간을 초과한경우에는, 기준시간에 소정 시간을 더해 새로운 기준시간으로 하고, 스케줄작성에 장시간을 필요로 해도, 스케줄 완료시점이 스케줄된 시각을 넘지 않게 하고 있다(일본 특허 제 3712370호 공보 참조).

그렇지만, 이러한 구성을 갖는 종래 예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 종래의 기판처리장치의 스케줄작성방법은, 대기시간을 억제해 가동률(稼動率)을 향상시킬 수 있는 효과를 얻으려고 하면, 스케줄작성에 장시간을 필요로 하는 경우가 있다. 그리고, 그에 기인한 문제를 방지하려고 하면, 다음에 배치되는 로트의 처리공정의 배치위치를 뒤로 물러나게 할 필요가 생기고, 그 결과, 오히려 대기시간이 증가해 가동률을 향상할 수 없게 될 우려가 생김과 동시에, 스케줄 대상의 로트가 줄어들어 유연한 스케줄작성을 할 수 없게 되는 문제가 있다. 또, 스케줄의 대상이 줄어들어 가동률이 저하해 버리는 문제도 있다.

본 발명은, 이러한 사정에 비추어 이루어진 것이며, 복수 종류의 배치방법을 갖춤으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 배치불가능한 이유에 따른 블록배치의 시행을 행함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 처리개시순서가 먼저인 로트의 블록을 우선적으로 배치해 감으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공하는 것에 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 대기시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공하 는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 택한다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝;을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따 른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 그들의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치하도록 해 미리 스케줄한다(기본배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 그 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 계보도에 있어서 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개해 스케줄한다(제1배치방법).

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과, 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하며, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 또한, 제1배치방법에서는, 배치불가능한 이유를 갖는 처리공정보다도 계보도에 있어서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않기 때문에, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 기본배치방법과 제1배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다: 상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따라서 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 그들의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치하도록 하여 미리 스케줄한다(기본배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 간다(제2배치방법).

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업(後作業)과 그 후의 처리공정의 전작업(前作業)을 중복시켜 배치 가능하고, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택하여 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 또한, 제2배치방법은, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것과 같은, 처리공정의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 따라서, 스케줄 시간을 단축할 수 있어서, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 기본배치방법과 제2배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하 의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 그들의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치하도록 하여 미리 스케줄한다(기본배치방법). 이와 아울러, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제3배치방법).

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하며, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 또한, 제3배치방법은, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 기본배치방법과 제3배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제4배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 그러한 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치하도록 해 미리 스케줄한다(기본배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제4배치방법).

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하고, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 그런데, 허용시간이 짧은 처리공정은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 계보도에서 되돌아감의 발생이 많아진다. 그래서, 제4배치방법은, 허용시간이 짧은 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인한 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 기본배치방법과 제4배치방법에 따라 동시에 복 수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다도 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대하여 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때, 그 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 계보도에 있어서 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하여 스케줄한다(제1배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 간다(제2배치방법).

따라서, 기본배치방법을 이용하면서도 제1배치방법에 의해 스케줄을 행함으로써, 배치불가능한 이유를 갖는 처리공정보다도 계보도에 있어서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않기 때문에, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제2배치방법은, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것과 같은, 처리공정의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 따라서, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교하여 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제1배치방법과 제2배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 그 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 계보도에 있어서 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다도 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개해 스케줄한다(제1배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제3배치방법).

따라서, 기본배치방법을 이용하면서도 제1배치방법에 의해 스케줄을 행함으로써, 배치불가능한 이유를 갖는 처리공정보다도 계보도에 있어서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않으므로, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제3배치방법에서는, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제1배치방법과 제3배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따 른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제4배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 그 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 계보도에 있어서 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개해 스케줄한다(제1배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제4배치방법).

따라서, 기본배치방법을 이용하면서도 제1배치방법에 의해 스케줄을 행함으 로써, 배치불가능한 이유를 갖는 처리공정보다도 계보도에 있어서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않기 때문에, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그런데, 허용시간이 짧은 처리공정은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 계보도에서 되돌아감의 발생이 많아진다. 그래서, 제4배치방법은, 허용시간이 짧은 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인하는 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제1배치방법과 제4배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 간다(제2배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제3배치방법).

따라서, 기본배치방법을 이용하면서도 제2배치방법에 의해 스케줄을 행함으로써, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것 같은, 처리공정의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 따라서, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제3배치방법에서는, 먼저 배치한 로트와 동일한 로 트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제2배치방법과 제3배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제 4배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 간다(제2배치방법). 이와 함께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제4배치방법).

따라서, 기본배치방법을 이용하면서도 제2배치방법에 의해 스케줄을 행함으로써, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것 같은, 처리공정의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 따라서, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그런데, 허용시간이 짧은 처리공정은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 계보도에서 되돌아감이 발생이 많아진다. 그래서, 제4배치방법은, 허용시간이 짧은 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인하는 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제2배치방법과 제4배치방법에 따라 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기 시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법과, 상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제4배치방법을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제3배치방법). 이와 함 께, 제어부는, 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다(제4배치방법).

따라서, 제3배치방법에서는, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그런데, 허용시간이 짧은 처리공정은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 계보도에서 되돌아감의 발생이 많아진다. 그래서, 제4배치방법은, 허용시간이 짧은 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인한 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 이와 같이, 각각 특징이 다른 제3배치방법과 제4배치방법에 의해 동시에 복수의 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

또, 본 발명에 있어서, 상기 스케쥴을 선택하는 스텝에서는, 상기 제어부는, 규정시간 내에 완료한 스케줄 중, 가장 빨리 처리가 완료하는 유일한 스케줄을 선택하는 것이 바람직하다.

규정시간 내에 완료한 스케줄이 다수 있는 경우에는, 그 중에서 가장 처리가 빨리 완료하는 것을 선택함으로써, 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순 서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다；상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치하는 스텝；상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 특별배치방법을 병용해 스케줄을 작성하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따라서 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 그러한 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 배치하도록 해 미리 스케줄한다(기본배치방법). 이와 함께, 제어부는, 그 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 계보도에 있어서 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개해 스케줄 하는 방법(특별배치방법)을 병용한다.

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하고, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 또한, 특별배치방법에서는, 배치불가능한 이유를 가진 처리공정보다도 계보도에 있어서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않기 때문에, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 기본배치방법만의 스케줄작성과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있어서, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치하는 스텝；다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정 을 우선적으로 배치해 스케줄을 작성하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다.

따라서, 처리의 실행전에 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있다. 또한, 처리개시순서가 먼저인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 어떤 로트의 블록을 배치한 후, 다른 로트의 블록을 배치할 때에, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것과 같은, 처리공정의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 그 결과, 스케줄 시간을 단축할 수 있어서, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따 른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치하는 스텝；다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 스케줄을 작성하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다.

따라서, 처리의 실행전에 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하고, 앞의 처리공정이 빨리 종료하는 로트의 처리공정을 다음의 처리공정으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 또한, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 발생함을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명은, 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순 서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서, 상기 방법은 이하의 스텝을 포함한다：상기 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치하는 스텝；다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 스케줄을 작성하는 스텝을 실행한다.

본 발명에 의하면, 제어부는, 각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따라서 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 처리공정을 배치한 후, 그 처리공정을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정을 탐색하여 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치한다.

따라서, 처리의 실행전에 미리 스케줄함으로써, 앞의 처리공정의 후작업과 그 후의 처리공정의 전작업을 중복시켜 배치 가능하고, 다음의 처리공정이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다. 그러나, 허용시간이 짧은 처리공정은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 계보도에서 되돌아감이 발생이 많아진다. 그래서, 허용시간이 짧은 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인한 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다. 그 결과, 스케줄작성시간 이 길어짐을 방지함과 아울러, 오히려 쓸데없는 대기시간이 생김을 방지해 가동률을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 의하면, 복수 종류의 배치방법을 갖춤으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 배치불가능한 이유에 따른 블록배치의 시행을 행함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 처리개시순서가 먼저인 로트의 블록을 우선적으로 배치해 감으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 대기시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치함으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지함과 아울러, 가동률을 향상시킬 수 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법 및 그 프로그램을 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.

이하, 도면을 참조해 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1은, 실시예에 따른 기판처리장치의 개략 구성을 나타낸 평면도이다.

이 기판처리장치는, 예를 들면, 기판(W)에 대해서 약액처리 및 세정처리 및 건조처리를 행하기 위한 장치이다. 기판(W)는 복수 매(예를 들면 25매)가 수평자세로 FOUP(Front Opening Unified Pod)(1)에 대해서 기립자세로 수납되어 있다. 미처리의 기판(W)을 수납한 FOUP(1)는, 투입부(3)에 재치된다. 투입부(3)는, FOUP(1)가 재치되는 재치대(5)를 2개 구비하고 있다. 기판처리장치의 중앙부를 사이에 둔 투입부(3)의 반대측에는, 인출부(7)가 배치되어 있다. 이 인출부(7)는, 처리를 마친 기판(W)을 FOUP(1)에 수납해 FOUP(1)마다 인출한다. 이와 같이 기능하는 인출부(7)는, 투입부(3)와 마찬가지로, FOUP(1)를 재치하기 위한 2개의 재치대(9)를 구비하고 있다.

투입부(3)와 인출부(7)를 따른 위치에는, 이들 사이를 이동 가능하게 구성된 제1반송기구(CTC)가 배치되어 있다. 제1반송기구(CTC)는, 투입부(3)의 재치대(5)에 재치된 FOUP(1)로부터 복수 매의 기판(W)을 꺼냄과 동시에, 기판(W)의 자세를 수평방향으로부터 수직방향으로 변환한 후, 제2반송기구(WTR)에 대해서 기판(W)을 주고 받는다. 또, 제1반송기구(CTC)는, 제2반송기구(WTR)로부터 처리를 마친 기판(W)을 받은 후에, 기판(W)의 자세를 수직방향으로부터 수평방향으로 변환하여, 인출부(7)의 FOUP(1)에 기판(W)을 수용한다. 제2반송기구(WTR)는, 기판처리장치의 길이방향 을 향해 이동 가능하게 구성되어 있다.

상기 제2반송기구(WTR)의 이동방향에 있어서의 가장 앞쪽에는, 복수 매의 기판(W)을 저압의 챔버 내에 수납해 건조시키기 위한 2개의 건조처리부(LPD1, LPD2)가 배치되어 있다.

제2반송기구(WTR)의 이동방향이며 건조처리부(LPD2)에 인접하는 위치에는, 제1처리부(19)가 배치되어 있다. 이 제1처리부(19)는, 복수 매의 기판(W)에 대해서 순수세정처리를 행하기 위한 순수세정처리부(ONB1)를 구비함과 아울러, 복수 매의 기판(W)에 대해서 처리액에 의해 약액처리를 행하기 위한 약액처리부(CHB1)를 구비하고 있다. 또, 이들 사이에서 기판(W)을 반송하는 부반송기구(LF1)를 구비하고 있다. 이 부반송기구(LF1)는, 제1처리부(19) 내에서의 기판 반송 외에, 제2반송기구(WTR)와의 사이에 기판(W)을 주고 받는다.

제1처리부(19)에 인접한 위치에는, 제2처리부(20)가 배치되어 있다. 이 제2처리부(20)는, 상술한 제1처리부(19)와 같은 구성이다. 즉, 순수세정처리부(ONB2)와, 약액처리부(CHB2)와, 부반송기구(LF2)를 구비하고 있다.

또, 제2처리부(20)에 인접한 위치에는, 제3처리부(21)가 배치되어 있다.

이 제3처리부(21)는, 순수세정처리부(ONB3)와, 약액처리부(CHB3)와, 부반송기구(LF3)를 구비하고 있다.

또한, 제3처리부(21)에 인접한 위치에는, 제4처리부(22)가 배치되고 있다. 이 제4처리부(22)는, 순수세정처리부(ONB4)와, 약액처리부(CHB4)와, 부반송기구(LF4)를 구비하고 있다.

또한, 제1반송기구(CTC)와, 제2반송기구(WTR)와, 건조처리부(LPD1, LPD2)와, 제1처리부(19)(순수세정처리부(ONB1), 약액처리부(CHB1), 부반송기구(LF1))와, 제2처리부(20)(순수세정처리부(ONB2), 약액처리부(CHB2), 부반송기구(LF2))와, 제3처리부(21)(순수세정처리부(ONB3), 약액처리부(CHB3), 부반송기구(LF3))와, 제4처리부(22)(순수세정처리부(ONB4), 약액처리부(CHB4), 부반송기구(LF4))가 본 발명에 있어서의 「처리부」에 상당한다.

상기와 같이 구성되어 있는 기판처리장치는, 도 2의 블럭도에 나타내는 바와 같이 제어부(31)에 의해 통괄적으로 제어된다.

제어부(31)는, CPU나 카운터·타이머 등으로 구성되어 있으며, 스케줄링 기능부(33)와 처리실행지시부(35)를 구비하고 있다. 제어부(31)에 접속되어 있는 기억부(37)는, 이 기판처리장치의 조작자 등에 의해 미리 작성되어, 기판을 어떻게 처리하는지를 규정한, 하나의 처리공정 혹은 복수의 처리공정을 포함한 블록으로 이루어지는 「레시피」(처리순서)와, 각종의 「스케줄작성프로그램」과, 각종의 스케줄작성프로그램을 제어하는 「스케줄작성 메인프로그램」과, 작성된 스케줄을 실행하는 「처리 프로그램」등이 미리 격납(格納)되어 있다. 또, 스케줄작성 메인프로그램에 의해 작성된 복수의 스케줄과 그 중에서 선택된 하나의 「스케줄」도 격납되어 있다.

또한, 기억부(37)에는, 스케줄링의 제한시간에 해당하는 「규정시간」이나, 블록을 배치할 때에, 다음의 블록과의 사이에 발생하는 대기시간이며, 허용할 수 있는 시간인 「허용시간」과, 블록을 배치하는 위치 정보에 관한 「배치개시위치」 나, 각 스케줄에 있어서의 복수의 로트에 있어서의 블록의 조합을 나타낸 데이터(계보도) 등이 기억되어 있다.

스케줄링 기능부(33)는, 투입부(3)에 재치된, FOUP(1)에 수용된 복수 매의 기판(W)을 하나의 로트로서 취급하여, 장치의 오퍼레이터에 의해 지시받은, 기억부(37)에 미리 기억되고 있는 레시피에 따라, 실제로 처리를 개시하기 전에, 로트 마다의 처리공정(블록)을 시계열적으로 효율적으로 배치할 수 있도록, 후술하는 각종의 스케줄작성방법을 이용해 복수의 스케줄을 작성한다.

처리실행지시부(35)는, 스케줄링 기능부(33)에 의해 작성되어, 기억부(37)에 기억되어 있는 각종의 스케줄 중, 후술하는 바와 같이 하여 선택된 하나의 스케줄에 근거하여, 적절한 타이밍에 각 처리부 등의 처리에 따른 동작지시를 행한다.

스케줄링 기능부(33)의 배치제어부(39)는, 각종의 스케줄작성방법에 의해 블록을 취사 선택함과 아울러 배치하는 시행착오를 실행한다.

스케줄링 기능부(33)의 스케줄링 시간감시부(41)는, 각종의 스케줄작성방법의 실행을 개시한 시점으로부터의 경과시간을 타이머(도시 생략)로 계시(計時)하여, 규정시간까지의 시간을 계측하는 기능을 가진다.

스케줄링 기능부(33)의 스케줄선택부(43)는, 규정시간 내에 완성한 스케줄 중에서, 가장 빨리 종료하는 스케줄을 선택함과 아울러, 그 스케줄을 처리실행지시부(35)에 대해서 알린다.

스케줄링 기능부(33)는, 기본배치방법과, 제1배치방법과, 제2배치방법과, 제3배치방법과, 제4배치방법을 가진 복수의 스케줄작성방법을 실행하지만, 이들의 스 케줄작성방법에 대해 이하에 설명한다. 그들의 스케줄작성방법은, 메인프로그램에 근거하여 제어된다. 또한, 도 3은, 스케줄의 메인프로그램을 나타낸 플로우차트(flowchart)이다.

스텝 S1, S2

대상 로트 수가 적절한지 아닌지를 판단하여 처리를 분기한다. 적절한 경우에는, 스텝 S3로 처리를 분기(分岐)하고, 부적절한 경우에는, 스텝 S2로 이행하여 이상종료(異常終了)한다.

스텝 S3~S5

이하에 설명하는 각종의 스케줄작성방법에 따라 스케줄의 작성을 개시한다(스텝 S3). 이와 함께, 스케줄링 시간감시부(41)에 의한 규정시간의 감시를 시작하여(스텝 S4), 규정시간이 경과할 때까지 계시를 계속한다(스텝 S5).

스텝 S6, S7

각종의 스케줄작성방법에 따라 작성된 스케줄 중, 하나라도 완성하고 있는지 아닌지에 의해 처리를 분기한다. 완성하지 않은 경우에는, 로트 수가 부적절하다고 보아, 스텝 S1로부터 재차 실행한다. 한편, 하나라도 스케줄이 완성하고 있는 경우에는, 스케줄을 선택한다. 또한, 하나 밖에 완성하지 않은 경우에는, 그 스케줄을 선택하지만, 복수의 스케줄이 완성하고 있는 경우에는, 그 중에서 가장 종료예정시각이 빠른 것을 선택한다. 또, 규정시간 내라도, 하나라도 스케줄이 완성한 시점에서 그 스케줄을 선택하도록 해도 좋다.

＜기본배치방법＞

도 4는, 기본배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트이며, 도 5(a)는, 단(單)뱃치에 있어서의 로트1의 타임차트의 구체적인 예, 도 5(b)는, 단뱃치에 있어서의 로트2의 타임차트의 구체적인 예를 나타낸다.

이하에 있어서는, 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 실제의 레시피보다 간략화한 레시피로 로트가 처리되는 경우를 예로 들어설명한다. 구체적으로는, 제1반송기구(CTC)에 의한 반송처리에 관한 처리공정과(블록A), 제2반송기구(WTR)에 의한 반송처리 및 제1처리부(19)의 순수세정처리부(ONB1)에 의한 순수세정처리에 관한 처리공정과(블록B), 제2반송기구(WTR)에 의한 반송처리 및 건조처리부(LPD1)에 의한 건조처리에 관한 처리공정과(블록C), 제2반송기구(WTR)에 의한 반송처리 및 제1반송기구(CTC)에 의한 반송처리에 관한 처리공정(블록 D)으로 이루어진 레시피이다.

또한, 이하의 설명에 있어서는, 단체(單體)의 처리공정, 또는 연속해 배치할 필요가 있는 복수의 처리공정을 블록이라고 부른다. 또, 블록에 대해서는, 복수의 로트로 구별하기 쉽게 「로트-블록 부호」라는 부호로 표기하기로 한다. 즉, 부호 「1－A」는, 로트1의 블록A를 나타낸다.

상술한 레시피에 대해, 로트1을 우선하여 블록 1－A를 최초로 배치하는 것으로 했을 경우는, 도 6에 나타내는 바와 같이 블록의 조합이 존재한다. 또한, 도 6은, 기본배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다. 이 도 6중에서, 점선으로 둘러싼 숫자는, 이하의 설명에 있어서의 스텝 번호에 대응하고 있다.

스텝 T1, T2

최초의 블록을 취득해, 그 취득한 블록이 존재하고 있는지 아닌지에 의해 처리를 분기한다.

스텝 T3, T4

전의 블록의 종료예정시각이 가장 빠른 것을 검색한다. 그 때, 최초로 배치되는 것에 대해서는, 앞의 블록이 존재하지 않게 되므로, 그 경우의 앞의 블록은, 로트의 스타트가 지시된 시각(개시예정시각)을 전의 블록의 종료예정시각으로 한다. 그리고, 종료예정시각이 빠른 블록을 배치한다.

스텝 T5~T7

로트끼리가 각 부(部)에서 충돌하지 않는 것, 및, 배치에 의해 전의 블록과의 사이에 발생하는 대기시간이 허용시간을 넘기지 않는 것이라는 「배치조건」을 만족하는지 아닌지에 의해 처리를 분기한다. 배치조건을 만족하는 경우에는, 그 배치한 블록의 다음의 블록을 취득한다. 그리고, 모든 블록을 배치할 때까지 상기 스텝 T3로부터 반복해 실행한다.

스텝 T8, T9

상기의 스텝 T2에 있어서, 블록이 존재하지 않는 경우에는, 스텝 T8로 이행한다. 그리고, 취득전에 배치한 블록이 있는지 아닌지에 따라 처리를 더 분기한다. 블록이 없는 경우에는, 스텝 T9에서 처리를 이행해, 그 배치개시위치를 뒤로 물러서도록 배치위치를 기억한다.

스텝 T10, T11

상기의 스텝 T8에 대해, 취득전에 배치한 블록이 있는 경우에는, 스텝 T10에서 처리를 이행해, 그 블록의 배치를 중지한다. 그리고, 그 블록 및 동시에 취득한 블록의 배치를 중지해, 스텝 T2로 돌아온다.

스텝 T12

상기의 스텝 T5에 있어서, 배치조건을 만족하지 않는 경우에는, 스텝 T12에서 배치할 수 없는 블록을 배제한다. 그리고, 스텝 T2로 돌아간다.

여기서, 도 7~21을 참조해, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한 도 7~도 21은, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차트이다.

스텝 1~3

로트1이 로트2보다 빨리 처리개시의 지시가 이루어져, 도 7(a)에 나타내는 시점(하향 화살표)가 지시된 것으로 한다. 그리고, 우선 종료예정시각(개시예정시각)이 빠른 로트1의 블록A(부호 1－A)가 배치된다(스텝 1).

다음으로, 로트1의 블록A(부호 1－A)의 종료예정시각과, 로트2의 종료예정시각(개시예정시각)을 비교하면, 로트2의 종료예정시각이 빠르므로, 로트2의 블록A(부호 2－A)를 로트1의 블록A(부호 1－A)의 뒤에 배치한다(도 7(b), 스텝 2). 그러나, 같은 제1반송기구(CTC)에 의한 처리에서 로트1의 블록A(부호 1－A)와 로트2의 블록B(부호 2－B)가 충돌하므로, 로트2의 블록A(부호 2－A)를 배치할 수 없다. 그래서, 다음으로 로트1의 블록B(부호 1－B)를 로트1의 블록A(부호 1－A)의 뒤에 배치한다(도 7(c), 스텝 3).

스텝 4~6

로트1의 블록B(부호 1－B)의 종료예정시각과, 로트2의 종료예정시각(개시예정시각)을 비교하면, 로트2의 종료예정시각이 빠르므로, 로트2의 블록A(부호 2－A)를 배치한다(도 8(a), 스텝 4). 다음으로, 로트1의 블록B의 종료예정시각과 로트2의 블록B(부호 2－B)의 종료예정시각을 비교하여, 블록 2－A의 종료예정시각쪽이 빠르므로, 로트2의 블록B(부호 2－B)를 배치한다(도 8(b), 스텝 5). 다음으로, 로트1의 블록B(부호 1－B)의 종료예정시각과, 로트2의 블록B(부호 2－B)의 종료예정시각을 비교하면, 블록 1－B가 블록 2－B보다 종료예정시각이 빠르므로, 로트1의 블록C(부호 1－C)를 배치한다(도 8(c), 스텝 6).

스텝 7~9

블록 1－C와 블록 2－B의 종료예정시각을 비교하면, 블록 2－B쪽이 빠르므로, 로트2의 블록C(부호 2－C)를 배치한다(도 9(a), 스텝 7). 여기서, 건조처리부(LPD1)의 관계에서, 블록 2－C는 전의 블록 2－B보다 조금 시간 간격을 두고 배치해야 한다. 이 대기시간(wt)이 허용시간 이내이면, 블록 2－C를 배치할 수가 있지만, 여기서는 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하고 있으며, 배치조건을 만족하지 않는 것으로 한다. 그 때문에, 블록 2－C의 배치를 중지함과 아울러, 블록 1－D를 배치한다(도 9(b), 스텝 8). 다음으로, 로트1에 대해서는 최종의 블록인 블록 1－D를 배치했으므로, 선택사항은 블록 2－C뿐이다. 그래서, 이 블록 2－C를 배치한다(도 9(c), 스텝 9). 이 경우, 블록 2－C에는, 대기시간(wt)이 발생하며, 이것이 허용시간을 초과하고 있다고 본다.

스텝 10~12

배치조건을 만족하지 않았기 때문에, 그 전의 블록 1－D와 블록 1－C의 배치를 중지한다. 블록 1－C의 뒤에 블록 2－C를 배치하는 선택사항이 없어졌으므로, 블록 2－C를 먼저 배치한다(도 10(a), 스텝 10). 그리고, 블록 1－B와 블록 2－C의 종료예정시각은, 블록 1－B쪽이 빠르므로, 블록 1－C를 배치한다(도 10(b), 스텝 11). 그러면, 건조처리부(LPD1)로부터 반출되지 않은 로트2의 블록C(부호 2－C)와 로트1의 블록C(부호 1－C)와의 충돌이 발생한다. 그래서, 블록 2－C의 뒤에 블록 2－D를 먼저 배치하게 된다(도 10(c), 스텝 12).

스텝 13~15

블록 2－D를 배치했으므로, 선택사항은 블록 1－C만이기 때문에, 블록 1－C를 배치한다(도 11(a), 스텝 13). 그렇지만, 블록 1－C에는, 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하는 것으로 본다. 따라서, 그 전에 배치한 블록 2－D와, 블록 2－C와, 블록 2－B의 배치를 중지함과 아울러, 이들을 대신해 블록 1－C를 배치한다(도 11(b), 스텝 14). 다음으로, 블록 2－A와 블록 1－C 중, 종료예정시각이 빠른 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 11(c), 스텝 15).

스텝 16~18

블록 2－B와 블록 1－C와의 종료예정시각을 비교하여, 빠른 쪽인 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 12(a), 스텝 16). 이 경우, 건조처리부(LPD1)에 대해 로트1의 블록 1－C와 로트2의 블록 2－C가 충돌하므로, 배치조건을 만족하지 않는다. 그래서, 블록 2－C를 대신해 블록 1－D를 배치한다(도 12(b), 스텝 17). 로트1에 대해서는 전 블록을 배치를 마쳤으므로, 선택사항은 블록 2－C만 된다(도 12(c), 스텝 18). 그러나, 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하는 것으로 본다.

스텝 19~21

블록 2－B의 뒤에 블록 1－D를 배치하는 선택사항이 없어졌으므로, 블록 2－B의 앞에 블록 1－D를 먼저 배치한다(도 13(a), 스텝 19).

그리고, 블록 2－A와 블록 1－D의 종료예정시각 중, 빠른 쪽인 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 13(b), 스텝 20).

그리고, 블록 2－B와 블록 1－D 중, 종료예정시각이 빠른 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 13(c), 스텝 21).

여기서, 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하는 것으로 한다.

스텝 22~34

상술한 바와 같은 순서를 마찬가지로 반복하여, 2개의 로트에 대해 블록배치를 시행착오한다(도 14~도 18(a), 스텝 22~34). 이 시행착오는, 도 6에 있어서 점선으로 둘러싼 부호 1~34까지로 나타내고 있다.

스텝 35~44

그렇지만, 상술한 시행착오에 있어서는, 결국, 모든 블록을 배치할 수가 없기 때문에, 로트1과 로트2의 투입간격을, 도 18(c)에 나타내는 바와 같이 넓혀 다시 시행착오를 반복한다(도 18(b)~도 21, 스텝 35~44).

상술한 기본배치방법에 의하면, 스텝 44에서 모든 블록배치가 완료하게 된다. 이 시행착오는, 도 6에 대해 점선으로 둘러싼 부호 1~44로 나타나고 있다.

이와 같이 기본배치방법을 실행하는 제어부(31)의 스케줄링 기능부(33)는, 각 로트의 각 블록에 대한 레시피에 따른 조합을 나타내는 데이터(도 6의 계보도)에 근거하여, 어떤 로트의 최초의 블록을 배치한 후, 그 블록을 기점으로 하여 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 블록 중, 그들의 앞의 블록에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 블록을 다음의 블록으로 하여 배치하도록 하여 미리 스케줄한다.

따라서, 기본배치방법에 의해 미리 스케줄함으로써, 전의 블록의 후작업과 그 후의 블록의 전작업을 중복시켜 배치 가능하고, 앞의 블록이 빨리 종료하는 로트의 블록을 다음의 블록으로서 우선적으로 선택해 배치함으로써, 다음의 블록이 종료할 때까지의 시간을 단축할 수 있는 스케줄을 미리 작성할 수 있다.

〈제1배치방법〉(배치불가능이유)

도 22는, 제1배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트이며, 도 23은, 제1배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다.

또한, 스텝 U1~U7에 대해서는, 상술한 기본배치방법에 있어서의 스텝 T1~T7와 마찬가지임으로, 설명에 대해서는 생략한다. 또, 스텝 U8~U11에 있어서는, 상술한 기본배치방법에 있어서의 스텝 T8~T11와 마찬가지임으로, 설명에 대해서는 생략한다. 이 제1배치방법은, 본 발명에 있어서의 특별배치방법에 상당한다.

스텝 U12, U13

스텝 U5에 있어서, 배치조건을 만족하지 않는 경우에는, 그 이유가 대기시간이 허용시간을 초과하는지 아닌지에 따라 처리를 분기한다(스텝 U12). 즉, 대기시간이 허용시간을 초과하는 것이 이유인 경우에는, 취득한 블록을 모두 배제한다(스 텝 U13).

스텝 U14

상기의 스텝 Ul2에 있어서, 블록이 배치불가능한 이유가 대기시간이 아닌 경우에는, 배치할 수 없는 블록만을 배제하여, 스텝 U2로 분기한다.

상술한 레시피에 있어서, 로트1을 먼저 스타트시키는 것으로 하여, 제1배치방법에 있어서 스케줄을 행하는 경우는, 도 23에 나타내는 바와 같이 블록의 조합이 존재한다. 또한, 도 23은, 제1배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다. 이 도 23중에서, 점선으로 둘러싼 숫자는, 이하의 설명에 있어서의 스텝 번호에 대응하고 있다.

여기서, 도 24~도 35를 참조해, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한, 도 24~도 35는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차트이다.

스텝 1~6

이들의 스텝에 대해서는, 배치불가능이 되는 이유가 로트의 충돌뿐이므로, 상술한 기본배치방법과 같은 배치과정을 따라간다(도 24(스텝 1~3) 및 도 25(스텝 4~6).

스텝 7~9

블록 1－C와 블록 2－B에 대해 종료예정시각을 비교하면, 블록 2－B의 종료예정시각이 빠르므로, 로트2의 블록C(부호 2－C)를 배치한다(도 26(a), 스텝 7). 여기서 발생하는 대기시간(wt)이 허용시간 이내이면, 블록 2－C를 배치할 수가 있지만, 여기에서는 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하고 있으며, 배치조건을 만족하 지 않는 것으로 한다. 그 때문에, 블록 1－C를 배제하고 나서, 블록 2－B의 뒤에 블록 2－C를 배치한다(도 26(b), 스텝 8). 다음으로, 블록 1－B와 블록 2－C의 종료예정시각부터, 블록 1－C를 배치한다(도 26(c), 스텝 9).

스텝 10~12

스텝 9에서, 블록 1－C에는 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 블록 2－C 및 블록 2－B를 배제한 후, 블록 1－C를 배치한다(도 27(a), 스텝 10). 다음으로, 블록 2－A와 블록 1－C의 종료예정시각을 비교해, 빠른 쪽인 블록 2－B를 배치한다(도 27(b), 스텝 11). 그리고, 블록 2－B와 블록 1－C의 종료예정시각을 비교해, 빠른 쪽인 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 27(c), 스텝 12).

스텝 13~15

스텝 12에서, 블록 2－C에는 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 블록 2－C 및 블록 2－B를 배제한 후, 블록 2－B의 뒤에 블록 2－C를 배치하는 선택사항이 없어졌으므로, 먼저 블록 1－D를 배치한다(도 28(a), 스텝 13). 블록 2－A와 블록 1－D의 종료예정시각을 비교해, 빠른 쪽인 블록 2－B를 배치한다(도 28(b), 스텝 14). 그리고, 블록 2－B와 블록 1－D의 종료예정시각부터, 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 28(c), 스텝 15).

스텝 16~18

스텝 15에서, 블록 2－C에는 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 블록 2－C, 블록 2－B, 블록 2－A를 배제하여, 블록 2 －A의 뒤에 블록 1－C를 배치하는 선택사항이 없어졌으므로, 블록 2－A보다 먼저 블록 1－C를 먼저 배치한다(도 29(a), 스텝 16). 그리고, 블록 1－C의 종료예정시각과 로트2의 종료예정시각(개시예정시각)을 비교하면, 로트2의 종료예정시각(개시예정시각)쪽이 빠르므로, 블록 2－A를 배치한다(도 29(b), 스텝 17). 다음으로, 블록 2－A와 블록 1－C의 종료예정시각을 비교하여, 빠른 쪽인 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 29(c), 스텝 18).

스텝 19~21

블록 1－C와 블록 2－B의 종료예정시각을 비교하여, 빠른 쪽인 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 30(a), 스텝 19). 그렇지만, 여기서 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 그래서, 블록 2－C와 블록 2－B를 배제하여, 이에 대신해 블록 1－D를 배치한다(도 30(b), 스텝 20). 로트1에 대해서는 전 블록을 배치를 마쳤으므로, 선택사항은 블록 2－B만 되므로 블록 2－B를 배치한다(도 30(c), 스텝 21).

스텝 22~24

선택사항은, 블록 2－B에서 계속되는 블록 2－C뿐이므로, 블록 2－C를 배치한다(도 31(a), 스텝 22). 여기서 블록 2－C에는, 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 따라서, 블록 2－C, 블록 2－B, 블록 2－A를 배제한다(도 31(b), 스텝 23). 선택사항은, 블록 2－A뿐이므로, 블록 2－A를 배치한다(도 31(c), 스텝 24).

스텝 25~27

선택사항은, 블록 2－A에서 계속된 블록 2－B뿐이므로, 블록 2－B를 배치한다(도 32(a), 스텝 25). 다음의 선택사항은, 블록 2－B에서 계속되는 블록 2－C뿐이므로, 블록 2－C를 배치한다(도 32(b), 스텝 26). 여기서 블록 2－C에는, 대기시간(wt)이 발생하여, 이것이 허용시간을 초과하고 있는 것으로 한다. 도 23의 조합에 있어서, 전 경로에서 배치불가능이 되었으므로, 로트1과 로트2의 투입간격을 넓혀 재차 계획을 행한다. 우선, 개시예정시각이 빠른 블록 1－A를 배치한다(도 32(c), 스텝 27).

스텝 28~30

블록 1－A의 종료예정시각과 로트2의 개시예정시각에서는, 로트2의 개시예정시각쪽이 빠르므로, 블록 2－A를 배치한다(도 33(a), 스텝 28). 로트1과 로트2가 제1반송기구(CTC)에서 충돌하므로, 블록 2－A의 배치를 회피해, 블록 1－B를 배치한다(도 33(b), 스텝 29). 로트2의 개시예정시각과 블록 1－B의 종료예정시각을 비교해, 빠른 쪽인 블록 2－A를 배치한다(도 33(c), 스텝 30).

스텝 31~33

블록 1－B와 블록 2－A의 종료예정시각을 비교하여, 블록 2－A쪽이 빠르므로, 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 34(a), 스텝 31). 다음으로, 블록 1－B와 블록 1－C의 종료예정시각을 비교하여, 빠른 쪽인 블록 1－B에 이어 블록 1－C를 배치한다(도 34(b), 스텝 32). 그리고, 블록 1－C와 블록 2－B에서는, 블록 2－B쪽이 종료예정시각이 빠르므로, 블록 2－B에 이어서 블록 2－C를 배치한다(도 34(c), 스텝 33).

스텝 34~36

그렇지만, 로트1이 건조처리부(LPD1)로부터 반출되지 않기 때문에, 로트1의 블록 1－C와 로트2의 블록 2－C의 충돌이 발생한다. 즉, 블록 1－C와 블록 2－C를 인접해 배치할 수 없다. 그래서, 블록 2－C를 배제하면, 선택사항은 블록 1－D만 되므로, 블록 1－D를 배치한다(도 35(a), 스텝 34). 로트1에 대해서는 전 블록을 배치를 마쳤으므로, 선택사항은 블록 2－C만 되므로, 블록 2－C를 배치한다(도 35(b), 스텝 35). 블록 2－C를 배치한 후에는, 선택사항은 블록 2－D만 되므로, 블록 2－D를 배치한다(도 35(c), 스텝 36).

상술한 제1배치방법에 의하면, 기본배치방법의 스텝 44보다 적은 스텝 36에서 모든 블록배치를 완료할 수 있다. 이 시행착오는, 도 23에서 점선으로 둘러싼 부호 1~36으로 나타내고 있다.

이와 같이 제1배치방법에 의하면, 상기의 기본배치방법에 근거하여 블록을 배치함과 아울러, 그 블록에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 블록의 배치를 회피함과 아울러, 각 로트의 각 블록에 대한 레시피에 따른 조합을 나타내는 데이터(도 23의 계보도)에 근거하여, 그 블록보다 위쪽에 있는 분기점보다도 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개해 스케줄한다. 따라서, 배치불가능한 이유를 갖는 블록보다도 계보도에서 아래쪽에 있는 것에 대해서 배치의 시행을 행하지 않기 때문에, 시행 회수를 줄일 수 있다. 그 결과, 상기의 기본배치방법과 비교해 스케줄 시간을 단축할 수 있다.

〈제2배치방법〉(투입로트 순(順))

도 36은, 제2배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트이며, 도 37은, 제2배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다.

또한, 스텝 V1, V2, V4~V7에 대해서는, 상술한 기본배치방법에 있어서의 스텝 T1, T2, T4~T7와 마찬가지임으로, 상세한 설명에 대해서는 생략한다. 이 제2배치방법이 본 발명에 있어서의 「기판처리장치의 스케줄작성방법」에 상당한다.

스텝 V3

취득한 블록 중에서, 그 로트의 개시예정시각이 빠른 것을 검색한다.

스텝 V8~V11

기본배치방법에 있어서의 스텝 T8~T11 및 제1배치방법에 있어서의 스텝 U8~11는, 스텝 V9 및 V11만이 상위하다. 즉, 스텝 V9는, 대기시간이 허용시간을 넘긴 블록을 갖는 로트에 대해, 그 로트의 최초의 블록의 배치개시위치를 시간적으로 뒤로 물러서도록 기억한다. 스텝 V11는, 배치를 중지한 블록과, 대기시간이 허용시간을 넘긴 블록을 배제한다.

스텝 V12~V14

제1배치방법에 있어서의 스텝 U12~U14는, 스텝 V13가 상위하다. 즉, 스텝 V13는, 대기시간이 허용시간을 초과하는 로트의 블록인 것을 기억한다.

상술한 레시피에 있어서, 로트1을 먼저 스타트시키는 것으로 하여, 제2배치방법에 대해 스케줄을 행하는 경우는, 도 37에 나타내는 바와 같이 블록의 조합이 존재한다. 또한, 이 도 37중에 있어서, 점선으로 둘러싼 숫자는, 이하의 설명에 있어서의 스텝 번호에 대응하고 있다.

여기서, 도 38~도 43을 참조하여, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한, 도 38~도 43은, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차트이다.

스텝 1~3

우선, 종료예정시각(개시예정시각)이 빠른 로트1에 대해서, 블록 1－A를 배치한다(도 38(a), 스텝 1). 다음으로, 블록 1－A와 블록 2－A 중, 로트의 개시예정시각은 블록 1－A쪽이 빠르므로, 그 블록 1－A에 계속되는 블록 1－B를 배치한다(도 38(b), 스텝 2). 블록 1－B와 블록 2－A와는, 블록 1－B쪽이 개시예정시각이 빠르므로, 그 블록 1－B에 계속되는 블록 1－C를 배치한다(도 38(c), 스텝 3).

스텝 4~6

블록 1－C와 블록 2－A에서는, 로트1의 블록 1－C가 개시예정시각이 빠르므로, 그 블록 1－C에서 계속되는 블록 1－D를 배치한다(도 39(a), 스텝 4). 로트1에 대해 전 블록을 배치를 마쳤으므로, 선택사항은 블록 2－A 뿐이므로, 블록 2－A를 배치한다(도 39(b), 스텝 5). 다음으로, 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 39(c), 스텝 6).

스텝 7~9

선택사항은 블록 2－C뿐이므로, 블록 2－C를 배치한다(도 40(a), 스텝 7). 그렇지만, 이 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하는 것으로 한다. 그래서, 대기시간이 허용시간을 초과함을 이유로써 배치불가능함을 기억함과 아울러, 배치불가능한 블록을 배제한다. 구체적으로는, 로트2의 전 블록과, 로트1의 블록 1－A를 제외한 모든 것이다(도 40(b), 스텝 8). 이 후, 로트1과 로트2의 투입간격을 넓혀 재차 스 케줄을 행한다. 우선, 로트1과 로트2에서는, 개시예정시각이 로트1이 빠르므로, 블록 1－A를 배치한다(도 40(b), 스텝 8). 로트1의 블록 1－B와 로트2의 블록 2－A에서는, 로트1쪽이 개시예정시각이 빠르므로, 로트1의 블록 1－B를 배치한다(도 40(c), 스텝 9).

스텝 10~12

로트1의 블록 1－C와 로트2의 블록 2－A에서는, 로트1쪽이 개시예정시각이 빠르므로, 로트1의 블록 1－C를 배치한(도 41(a), 스텝 10) 다음에, 블록 1－C와 블록 2－A에서는, 블록 1－C의 로트1쪽이 개시예정시각은 빠르므로, 블록 1－D를 배치한다(도 41(b), 스텝 11). 그리고, 로트1에 대해서는, 전 블록을 배치를 마쳤으므로, 로트2의 블록 2－A를 배치한다(도 41(c), 스텝 12). 단, 블록 1－A와 블록 2－A와의 시간 간격은, 앞의 시간 간격보다 넓혀져 있다.

스텝 13~15

선택사항은 블록 2－B 뿐이므로, 블록 2－B를 배치한다(도 42(a), 스텝 13). 선택사항은 블록 2－C뿐이므로, 블록 2－C를 배치한다(도 42(b), 스텝 14). 다음에, 선택사항은 블록 2－D 뿐이므로, 블록 2－D를 배치한다(도 42(c), 스텝 15).

상술한 바와 같은 제2배치방법에 의하면, 기본배치방법의 스텝 44보다 적은 스텝 15에서 모든 블록배치를 완료할 수 있다. 이 시행착오는, 도 37에 대해 점선으로 둘러싼 부호 1~15로 나타나고 있다.

이와 같이 제2배치방법에 의하면, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에서는 앞의 로트의 블록을 우선적으로 배치해 감으로써, 어떤 로트의 블록을 배치한 후, 다른 로트의 블록을 배치할 때에, 물리적 제한에 의해 배치불가능이 되어, 계보도를 거슬러 올라가는 것과 같은, 블록의 배치에 있어서의 되돌아감이 발생함을 억제할 수 있다. 따라서, 스케줄 시간을 단축할 수 있다.

〈제3배치방법〉(계속 블록)

이 제3배치방법을 설명할 때에, 기본배치방법과의 차이를 알기 쉽도록, 상술한 레시피와는 다른 도 43에 나타내는 것을 적용하면서, 3로트를 대상으로 하여 스케줄을 행하는 경우를 예로 든다. 또한, 도 43(a)는, 단뱃치에 있어서의 로트1의 타임차트의 구체적인 예, 도 43(b)는, 단뱃치에 있어서의 로트2의 타임차트의 구체적인 예, 도 43(c)는, 단뱃치에 있어서의 로트3의 타임차트의 구체적인 예를 나타낸다.

로트수가 3개가 된 경우로서, 상술한 레시피가 적용되는 경우는, 도 44 및 도 45에 나타내는 바와 같이 블록의 조합이 존재한다. 또한 도 44는, 기본배치방법에 의해 3로트를 처리하는 경우에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다. 이 도 44중에서, 점선으로 둘러싼 숫자는, 이하의 설명에 있어서의 스텝 번호에 대응하고 있다.

또한, 이 제3배치방법이 본 발명에 있어서의 「기판처리장치의 스케줄작성방법」에 상당한다.

〈3로트인 경우의 기본배치방법〉

여기서, 도 46~도 51을 참조해, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한 도 46~도 51은, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차 트이다.

또한, 로트1 및 로트2에 이어 로트3의 개시예정시각이 설정되어 있으며, 그 타이밍은, 예를 들면, 도 46(a)에 나타내는 것 같은 것으로 한다. 즉, 로트1이 순수세정처리부(ONB1)에서 처리되고, 로트2가 순수세정처리부(ONB2)에서 처리되고 있을 때에 로트3의 개시예정시각이 설정되는 것으로 한다. 그래서, 우선, 이 시점에서 처리중이 되는 블록 1－B 및 블록 2－B보다 뒤의 블록을 배제한다(도 46(b)).

스텝 1

이 시점에서는, 블록 1－B의 종료예정시각과, 블록 2－B의 종료예정시각과, 로트3의 개시예정시각에서는, 로트3의 개시예정시각이 가장 빠르므로, 블록 3－A를 배치한다(도 46(c), 스텝 1).

스텝 2~4

블록 1－B와, 블록 2－B와, 블록 3－A 중에서 블록 3－A가 가장 종료예정시각이 빠르므로, 블록 3－B를 배치한다(도 47(a), 스텝 2). 그렇지만, 블록 2－B가 순수세정처리부(ONB2)로부터 반출되지 않기 때문에, 로트의 충돌이 발생한다. 따라서, 블록 3－B를 배치할 수 없다. 그래서, 로트3의 블록 3－A의 배치위치를 시간적으로 뒤로 물러나게 하여 배치한다(도 47(b), 스텝 3). 블록 1－B와, 블록 2－B와, 블록 3－A에서는, 블록 3－A가 가장 빠른 종료예정시각이므로, 블록 3－B를 배치한다(도 47(c), 스텝 4).

스텝 5~7

로트2와 로트3이 순수세정처리부(ONB2)에서 충돌하므로, 블록 3－B를 배치할 수 없다. 따라서, 블록 3－B를 배제하여, 재차 블록 3－A를 시간적으로 뒤로 물러나게 한다(도 48(a), 스텝 5). 다음으로, 블록 1－B와, 블록 2－B와, 블록 3－A 중에서 종료예정시각이 가장 빠른 블록 2－B에 이어서 블록 2－C를 배치한다(도 48(b), 스텝 6).

다음으로, 블록 1－B와, 블록 2－C와, 블록 3－A에 대해서, 종료예정시각이 가장 빠른 블록 3－A에 이어 블록 3－B를 배치한다(도 48(c), 스텝 7).

스텝 8~10

블록 1－B와, 블록 2－C와, 블록 3－B에 대해서, 가장 종료예정시각이 빠른 블록 1－B에 이어서 블록 1－C를 배치한다(도 49(a), 스텝 8). 그러나, 로트의 충돌이 발생하므로, 블록 1－C를 배제함과 아울러, 블록 2－C와 블록 3－B 중 종료예정시각이 빠른 블록 2－C에 이어 블록 2－D를 배치한다(도 49(b), 스텝 9).

다음으로, 블록 1－B와, 블록 2－D와, 블록 3－B 중, 가장 빠른 종료예정시각인 블록 1－B에 이어 블록 1－C를 배치한다(도 49(c), 스텝 10).

스텝 11~13

블록 1－C와, 블록 3－B 중에서 가장 종료예정시각이 빠른 블록 3－B에 이어 블록 3－C를 배치한다(도 50(a), 스텝 11). 단, 블록 1－C와 블록 3－C가 충돌하므로, 블록 3－C의 배치를 회피해, 이에 대신해 블록 1－C에 이어 블록 1－D를 배치한다(도 50(b), 스텝 12). 다음으로, 선택사항은 블록 3－C뿐이므로, 블록 3－C를 배치한다(도 50(c), 스텝 13).

스텝 14

선택사항은 블록 3－D 뿐이므로, 블록 3－C에 이어 블록 3－D를 배치한다(도 51, 스텝 14).

상술한 바와 같이, 3로트의 경우의 기본배치방법에 의하면, 스텝 14에서 모든 블록배치가 완료하게 된다. 이 시행착오는, 도 44에서 점선으로 둘러싼 부호 1~14로 나타나고 있다.

다음으로, 제3배치방법에 대해 설명한다. 또한, 도 52는, 제3배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트이며, 도 53 및 도 54는, 제3배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다.

스텝 W1, W2

배치불가능한 상태로 되지 않은 로트 중, 아직 개시되지 않은 최초의 블록을 취득한다. 블록이 존재하는지 아닌지에 따라 처리를 분기한다.

스텝 W3~W8

취득한 블록 중에서, 그 전의 블록의 종료예정시각이 가장 빠른 블록을 검색하여(스텝 W3), 그 블록을 배치한다(스텝 W4). 그리고, 배치조건을 만족하고 있는지 아닌지에 따라 처리를 분기한다(스텝 W5).

배치조건을 만족하고 있는 경우에는, 배치한 블록에 계속된 블록을 취득하여(스텝 W6), 같은 로트의 것으로, 그 블록의 다음의 블록이 존재하는지 아닌지에 따라 처리를 분기한다(스텝 W7). 다음의 블록이 없는 경우에는, 모든 블록을 배치했는지 아닌지에 따라 처리를 분기하여, 모든 블록이 배치완료가 될 때까지, 스텝 W3로부터 반복해 실행한다(스텝 W8).

스텝 W9

스텝 W2에 대해 블록이 존재하지 않는 경우, 배치불가능한 상태를 리셋트 하여, 그 로트의 최초의 블록의 배치개시위치를 시간적으로 뒤로 물러나게 하여 기억한다.

스텝 W10

스텝 W5에 있어서, 배치조건을 만족하지 않는 경우에는, 배치불가능한 로트의 블록을 배제하여, 배치불가능함을 기억한다.

스텝 W11

스텝 W7에 있어서, 같은 로트의 것이 있는 경우에는, 배치조건을 만족하여 배치할 수 있는지 아닌지에 따라 처리를 분기한다. 배치조건을 만족하여 배치 가능한 경우에는, 스텝 W6에서 분기하고, 배치불가능한 경우에는, 스텝 W10에서 분기한다.

여기서, 도 55~도 59를 참조해, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한, 도 55~도 59는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차트이다.

또한, 상술한 기본배치방법과 마찬가지로, 로트1 및 로트2에 이어 로트3의 개시예정시각이 설정되어 있으며, 그 타이밍은, 예를 들면, 도 55(a)에 나타낸 것과 같은 것으로 한다. 그래서, 우선, 이 시점에서 처리 중이 되는 블록 1－B 및 블록 2－B보다 나중의 블록을 배제한다(도 55(b)).

스텝 1

이 시점에서는, 블록 1－B의 종료예정시각과, 블록 2－B의 종료예정시각과, 로트3의 개시예정시각에서는, 로트3의 개시예정시각이 가장 빠르므로, 블록 3－A를 배치한다(도 55(c), 스텝 1).

스텝 2~4

블록 3－A를 배치했으므로, 계속하여 블록 3－B를 배치한다(도 56(a), 스텝 2). 단, 블록 2－B와 블록 3－B가 충돌하므로, 블록 3－B의 배치를 회피하여, 그것을 기억해 둔다. 로트3의 블록 3－B를 배치할 수 없었기 때문에, 블록 3－A, 3－B를 삭제하여, 다음으로 종료예정시각이 빠른 블록 2－C를 배치한다(도 56(b), 스텝 3). 그리고, 같은 로트3의 블록 2－D가 있으므로, 블록 2－C에 이어 블록 2－D를 배치한다(도 56(c), 스텝 4).

스텝 5~7

로트2에 대해서는 모든 블록을 배치 완료했으므로, 다음으로 개시예정시각이 빠른 로트3의 블록 3－A를 배치한다(도 57(a), 스텝 5). 단, 전회(前回), 배치불가능했으므로, 그 배치개시위치는 시간적으로 뒤로 물러서도록 기억되어 있다. 따라서, 스텝 2(도 56(a))와 비교해, 그 배치위치가 시간적으로 물러나게 되어 있다. 블록 3－A를 배치했으므로, 계속하여 블록 3－B를 배치한다(도 57(b), 스텝 6). 그러나, 배치조건을 만족하여 배치할 수 없기 때문에, 블록 3－B를 배제함과 아울러, 블록 3－A를 배제하고, 로트1의 블록 1－C를 배치한다(도 57(c), 스텝 7).

스텝 8~10

스텝 1－C를 배치했으므로, 이어서 블록 1－D를 배치한다(도 58(a), 스텝 8). 로트1의 전 블록의 배치를 완료했으므로, 로트3에 대해 배치한다. 그 때, 앞의 스텝 5(도 57(a))에서 배치위치를 물러나게 했으므로, 블록 3－A는 시간적으로 뒤로 물러난 위치에 배치된다(도 58(b), 스텝 9). 블록 3－A를 배치했으므로, 이어서 블록 3－B를 배치한다(도 58(c), 스텝 10).

스텝 11, 12

블록 3－B를 배치했으므로, 이어서 블록 3－C를 배치한다(도 59(a), 스텝 11). 블록 3－C를 배치했으므로, 블록 3－D를 배치한다(도 59(b), 스텝 12).

상술한 바와 같은 제3배치방법에 의하면, 기본배치방법의 스텝 14보다 적은 스텝 12에서 모든 블록배치를 완료할 수 있다. 이 시행착오는, 도 53 및 도 54에 대해 점선으로 둘러싼 부호 1~14로 나타나고 있다.

이와 같이 제3배치방법에서는, 먼저 배치한 로트와 동일한 로트의 블록을 우선적으로 배치함으로써, 장치가 정지한 상태로부터 처리를 재개하는 스케줄에 관해서 스케줄 시간을 단축할 수 있다.

＜제4배치방법＞

도 60은, 제4배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트이며, 도 61은, 제4배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도(계보도)이다.

또한, 스텝 X1, X2, X4~X7에 대해서는, 상술한 기본배치방법에 있어서의 스텝 T1, T2, T4~T7와 마찬가지임으로, 설명에 대해서는 생략한다.

이 제4배치방법이 본 발명에 있어서의 「기판처리장치의 스케줄작성방법」에 상당한다.

스텝 X3

취득한 블록 중에서, 앞의 블록 중 허용시간이 가장 짧은 것을 검색한다. 단, 최초의 블록끼리의 비교에서는, 각각의 개시예정시각을 비교해 빠른 편을 선택한다.

스텝 X8~X11

기본배치방법과는, 스텝 X9 및 스텝 X11가 상위하다. 즉, 스텝 X9에서는, 대기시간이 허용시간을 넘긴 로트의 블록이면, 배치개시위치를 뒤로 물러서도록 기억한다. 스텝 X11에서는, 배치를 멈춘 블록과 동시에 취득한 블록을 재차 취득하여, 배치를 멈춘 블록 및 대기시간이 허용시간을 초과한 로트의 블록을 배제한다.

스텝 X12~X14

이들의 스텝은, 상술한 제2배치방법과 같다.

상술한 기본배치방법 및 제1배치방법 및 제2배치방법에 있어서의 레시피에 있어서, 로트1을 먼저 스타트시키는 것으로 하고, 제4배치방법에 있어서 스케줄을 행하는 경우는, 도 61에 나타내는 바와 같이 블록의 조합이 존재한다. 또한, 이 도 61중에서, 점선으로 둘러싼 숫자는, 이하의 설명에 있어서의 스텝 번호에 대응하고 있다.

여기서, 도 62~도 66을 참조하여, 구체적인 스케줄작성에 대해 설명한다. 또한, 도 62~도 66은, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 타임차트이다. 단, 이 예에 있어서는, 제1반송기구(CTC)에 있어서의 허용시간=0이며, 건조처리부(LPD1)에 있어서의 허용시간=∞이며, 제1처리부의 순수세정처리부(ONB1) 및 제2처리부의 순수세정처리부(ONB2)에 있어서의 허용시간=∞인 것으로 한다.

스텝 1~3

우선, 종료예정시각(개시예정시각)이 빠른 로트1에 대해서, 블록 1－A를 배치한다(도 62(a), 스텝 1). 다음으로, 배치 가능한 것은 블록 1－B와 블록 2－A이며, 각각의 앞의 블록 1－A와 로트2의 개시예정시각 중, 허용시간은 블록 1－A쪽이 짧기 때문에, 그에 이어지는 블록 1－B쪽을 배치한다(도 62(b), 스텝 2). 다음으로, 배치 가능한 것은 블록 1－C와, 블록 2－A이며, 각각의 앞의 블록 1－B와 로트2의 개시예정시각 중, 허용시간은 블록 1－B쪽이 허용시간이 짧기 때문에, 블록 1－B에 계속된 블록 1－C를 배치한다(도 62(c), 스텝 2).

스텝 4~5

다음으로 배치 가능한 것은, 블록 1－D와 로트2의 블록 2－A이며, 각각의 앞의 블록 1－C와 로트2의 개시예정시각은 허용시간이 동일하기 때문에, 블록 1－C와 블록 2－A의 개시예정시각을 비교해, 빠른 쪽인 블록 2－A를 배치한다(도 63(a), 스텝 4). 그리고, 배치 가능한 블록 1－D와 블록 2－B의 앞의 블록인 블록 1－C(허용시간=∞)와 블록 2－A(허용시간=0)의 허용시간을 비교하여, 허용시간이 짧은 블록 2－A에서 계속된 블록 2－B를 배치한다(도 63(b), 스텝 5). 다음으로, 배치 가능한 블록 1－D와 블록 2－C의 앞의 블록인 블록 1－C(허용시간=∞)와 블록 2－B(허용시간=180초)의 허용시간을 비교해, 허용시간이 짧은 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 63(c), 스텝 6).

스텝 7~9

그렇지만, 여기에서는, 블록 2－C의 대기시간(wt)이 허용시간을 초과하고 있 는 것으로 한다. 그래서, 로트1과 로트2의 투입간격을 넓혀 재차 스케줄을 행한다. 우선, 개시예정시각이 빠른 로트1의 블록 1－A를 배치한다(도 64(a), 스텝 7). 배치 가능한 블록 1－B의 앞에 해당하는 블록 1－A와, 배치 가능한 블록 2－A의 앞에 해당하는 로트2의 개시예정시각에서는, 블록 1－A쪽이 허용시간이 짧기 때문에, 블록 1－A에 이어 블록 1－B를 배치한다(도 64(b), 스텝 8). 이어서, 허용시간이 짧은 블록 1－C를 배치한다(도 64(c), 스텝 9).

스텝 10~12

배치 가능한 블록 1－D와 블록 2－A의 각각 앞의 블록에 해당하는 블록 1－C와 개시예정시각에서는, 블록 2－A가 개시예정시각이 빠르므로, 블록 2－A를 배치한다(도 65(a), 스텝 10). 다음으로, 앞의 블록에 상당하는 블록 1－C(허용시간=∞)와 블록 2－A(허용시간=Osec)에서는, 블록 2－A쪽이 허용시간이 짧기 때문에, 블록 2－A에 이어 블록 2－B를 배치한다(도 65(b), 스텝 11). 그리고, 앞의 블록에 상당하는 블록 1－C(허용시간=∞)와 블록 2－B(허용시간=180sec)에서는, 블록 2－B쪽이 허용시간이 짧기 때문에, 블록 2－B에 이어 블록 2－C를 배치한다(도 65(c), 스텝 12).

스텝 13~15

단, 블록 2－C를 배치하면, 건조처리부(LPD1)에서 로트1과 로트2가 충돌하므로, 블록 2－C를 배제해 블록 1－D를 배치한다(도 66(a), 스텝 13). 로트1에 대해서는 전 블록을 배치 완료했으므로, 선택사항은 블록 2－C만 되므로, 블록 2－C를 배치한다(도 66(b), 스텝 14). 선택사항은 블록 2－D만 되므로, 블록 2－D를 배치 한다(도 66(c), 스텝 15).

상술한 바와 같은 제4배치방법에 의하면, 기본배치방법의 스텝 44보다 적은 스텝 15에서 모든 블록배치를 완료할 수 있다. 이 시행착오는, 도 61에서 점선으로 둘러싼 부호 1~15로 나타내고 있다.

상기의 제4배치방법에 의하면, 허용시간이 짧은 블록은, 물리적으로 배치할 수 있어도, 허용시간을 지키지 못하고 배치불가능이 되어 조합(계보도)에서 되돌아감의 발생이 많아진다. 그래서, 허용시간이 짧은 블록을 우선적으로 배치함으로써, 허용시간에 기인한 배치불가능을 회피하기 쉽게 할 수 있으므로, 스케줄 시간을 단축할 수 있다.

상기의 기본배치방법과, 제1배치방법과, 제2배치방법과, 제3배치방법과, 제4배치방법의 스케줄작성방법을 이용해 스케줄을 작성하여, 규정시간 내에 스케줄이 작성된 스케줄 중, 종료예정시각이 빠른 스케줄을 실행함으로써, 기판처리장치의 가동률을 향상시킬 수 있다. 또한, 복수 종류의 배치방법을 갖춤으로써, 스케줄작성시간이 길어짐을 방지할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않고, 아래와 같이 변형실시할 수 있다.

(1) 상술한 실시예에서는, 기본배치방법으로, 제1배치방법과 제2배치방법과 제3배치방법과 제4배치방법을 조합한 스케줄 방법을 예로 들어 설명했지만, 본 발명은, 기본배치방법으로 적어도 어느 하나의 배치방법을 조합하는 것만으로도 좋다.

(2) 상술한 실시예에서는, 2개의 로트 또는 3개의 로트를 동시에 처리해 가는 경우의 스케줄을 예로 들었지만, 4로트 이상을 대상으로 하여 스케줄하는 경우라도 본 발명을 적용할 수 있다.

(3) 상술한 실시예에서는, 로트에 대해서 수세처리(水洗處理)와 건조처리를 행하는 레시피를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이 레시피로 한정되는 것이 아니라, 여러 가지의 레시피라도 적용할 수 있다.

※본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 행할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타냄으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 청구항을 참조해야 한다.

※발명을 설명하기 위해서 현재 적합하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 구성 및 방책으로 한정되는 것이 아니라고 이해해야 한다.

도 1은, 실시예에 의한 기판처리장치의 개략 구성을 나타낸 평면도.

도 2는, 실시예에 의한 기판처리장치의 개략 구성을 나타낸 블럭도.

도 3은, 스케줄의 메인프로그램을 나타낸 플로우차트.

도 4는, 기본배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트.

도 5(a)는, 단뱃치에 있어서의 로트1의 타임차트의 구체적인 예.

도 5(b)는, 단뱃치에 있어서의 로트2의 타임차트의 구체적인 예.

도 6은, 기본배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 7(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 7(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 7(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 8(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 8(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 8(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 9(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 9(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 9(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 10(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 10(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 10(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 11(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 13의 타임차트.

도 11(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 14의 타임차트.

도 11(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 15의 타임차트.

도 12(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 16의 타임차트.

도 12(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 17의 타임차트.

도 12(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 18의 타임차트.

도 13(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 19의 타임차트.

도 13(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 20의 타임차트.

도 13(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 21의 타임차트,

도 14(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 22의 타임차트.

도 14(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 23의 타임차트.

도 14(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 24의 타임차트.

도 15(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 25의 타임차트.

도 15(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 26의 타임차트.

도 15(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 27의 타임차트.

도 16(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 28의 타임차트.

도 16(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 29의 타임차트.

도 16(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 30의 타임차트.

도 17(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 31의 타임차트.

도 17(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 32의 타임차트.

도 17(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 33의 타임차트.

도 18(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 34의 타임차트.

도 18(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 35의 타임차트.

도 18(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 36의 타임차트.

도 19(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 37의 타임차트.

도 19(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 38의 타임차트.

도 19(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 39의 타임차트.

도 20(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 40의 타임차트.

도 20(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 41의 타임차트.

도 20(c)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 42의 타임차트.

도 21(a)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 43의 타임차트.

도 21(b)는, 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 44의 타임차트.

도 22는, 제1배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트.

도 23은, 제1배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도

도 24(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 24(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 24(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 25(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 25(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 25(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 26(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 26(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 26(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 27(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 27(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 27(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 28(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 13의 타임차트.

도 28(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 14의 타임차트.

도 28(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 15의 타임차트.

도 29(a)는, 제유배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 16의 타임차트.

도 29(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 17의 타임차트.

도 29(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 18의 타임차트.

도 30(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 19의 타임차트.

도 30(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 20의 타임차트.

도 30(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 21의 타임차트.

도 31(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 22의 타임차트.

도 31(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 23의 타임차트.

도 31(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 24의 타임차트.

도 32(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 25의 타임차트.

도 32(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 26의 타임차트.

도 32(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 27의 타임차트.

도 33(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 28의 타임차트.

도 33(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 29의 타임차트.

도 33(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 30의 타임차트.

도 34(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 31의 타임차트.

도 34(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 32의 타임차트.

도 34(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 33의 타임차트.

도 35(a)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 34의 타임차트.

도 35(b)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 35의 타임차트.

도 35(c)는, 제1배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 36의 타임차트.

도 36은, 제2배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트.

도 37은, 제2배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 38(a)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 38(b)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 38(c)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 39(a)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 39(b)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 39(c)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 40(a)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 40(b)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 40(c)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 41(a)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 41(b)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 41(c)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 42(a)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 13의 타임차트.

도 42(b)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 14의 타임차트.

도 42(c)는, 제2배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 15의 타임차트.

도 43(a)는, 단뱃치에 있어서의 로트1의 타임차트의 구체적인 예.

도 43(b)는, 단뱃치에 있어서의 로트2의 타임차트의 구체적인 예.

도 43(c)는, 단뱃치에 있어서의 로트3의 타임차트의 구체적인 예.

도 44는, 기본배치방법에 의해 3로트를 처리하는 경우에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 45는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 46(a), 46(b)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내며, 스타트전 상태를 나타내는 타임차트.

도 46(c)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 47(a)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 47(b)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 47(c)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 48(a)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 48(b)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 48(c)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 49(a)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 49(b)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 49(c)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 50(a)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 50(b)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 50(c)는, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 13의 타임차트.

도 51은, 3로트의 경우의 기본배치방법에 따른 배치과정에 있어서의 스텝 14를 나타내는 타임차트.

도 52는, 제3배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트.

도 53은, 제3배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 54는, 제3배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 55(a), 55(b)는, 제3배치방법에 따른 배치과정이며, 스타트전 상태를 나타내는 타임차트.

도 55(c)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 56(a)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 56(b)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 56(c)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 57(a)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 57(b)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 57(c)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 58(a)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 58(b)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 58(c)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 59(a)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 59(b)는, 제3배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 60은, 제4배치방법의 흐름을 나타낸 플로우차트.

도 61은, 제4배치방법에 있어서의 스케줄의 조합예를 나타낸 모식도.

도 62(a)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 1의 타임차트.

도 62(b)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 2의 타임차트.

도 62(c)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 3의 타임차트.

도 63(a)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 4의 타임차트.

도 63(b)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 5의 타임차트.

도 63(c)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 6의 타임차트.

도 64(a)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 7의 타임차트.

도 64(b)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 8의 타임차트.

도 64(c)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 9의 타임차트.

도 65(a)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 10의 타임차트.

도 65(b)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 11의 타임차트.

도 65(c)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 12의 타임차트.

도 66(a)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 13의 타임차트.

도 66(b)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 14의 타임차트.

도 66(c)는, 제4배치방법에 따른 배치과정을 나타내는 스텝 15의 타임차트.

Claims (40)

1. 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서,

   상기 제어부는,

   각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치함과 아울러, 상기 처리공정에서 발생한 대기시간이, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간을 초과하는 경우에는, 그 처리공정의 배치를 회피함과 아울러, 그 처리공정보다 위쪽에 있는 분기점보다 하나 앞의 분기점으로부터 탐색을 재개하는 제1배치방법,

   을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；

   상기 복수의 스케줄을 작성하는 스텝에서는, 각 배치방법에 더하여,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 앞인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법을 구비하고,

   상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝；

   을 실행하는 기판처리장치의 스케줄작성방법.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 복수의 스케줄을 작성하는 스텝에서는, 각 배치방법에 더하여,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법을 구비하고 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법.
4. 삭제
5. 제1항 또는 제3항에 있어서,

   상기 복수의 스케줄을 작성하는 스텝에서는, 각 배치방법에 더하여,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제4배치방법을 구비하고 있는 기판처리장치의 스케줄작성방법.
6. 기판에 처리를 행하기 위한 처리부를 복수 개 구비한 기판처리장치에 의해 복수의 로트를 처리할 때에, 제어부가 복수의 처리공정을 포함한 처리순서에 근거하여 각각의 로트를 각 처리부에서 순차적으로 처리하기 위해서 각 로트의 처리순서를 결정하는 기판처리장치의 스케줄작성방법으로서,

   상기 제어부는,

   각 로트의 각 처리공정에 대한 처리순서에 따른 조합을 나타내는 계보도에 근거하여, 어떤 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 상기 처리공정을 기점으로 하여 상기 계보도를 따라가면서, 각 로트의 다음 처리공정 중, 각각의 앞의 처리공정에 있어서의 종료예정시각이 가장 빠른 로트에 대한 처리공정을 다음의 처리공정으로서 탐색하여 배치하는 기본배치방법과,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 최초로 지정된 각 로트의 처리개시순서에 따라 각 로트에 대해 최초의 처리공정을 배치한 후, 각 로 트의 다음 처리공정 중, 상기 처리개시순서가 앞인 로트의 처리공정을 우선적으로 배치해 가는 제2배치방법,

   을 실행하여 복수의 스케줄을 작성하는 스텝；

   상기 복수의 스케줄을 작성함과 아울러, 그 중에서 규정시간 내에 스케줄이 완료한 하나의 스케줄을 선택하는 스텝；

   을 실행하는 기판처리장치의 스케줄작성방법.
7. 제6항에 있어서,

   상기 복수의 스케줄을 작성하는 스텝에서는, 각 배치방법에 더하여,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 먼저 배치한 로트의 처리공정에 이어 배치 가능한 상기 로트의 처리공정이 있는 경우, 상기 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제3배치방법을 구비하고 있는 기판처리장치의 스케쥴작성방법.
8. 제6항 또는 제7항에 있어서,

   상기 복수의 스케줄을 작성하는 스텝에서는, 각 배치방법에 더하여,

   상기 기본배치방법에 근거하여 처리공정을 배치할 때에, 처리부에서 대기시킬 수 있는 허용시간이 짧은 처리공정을 갖는 로트의 처리공정을 우선적으로 배치하는 제4배치방법을 구비하고 있는 기판처리장치의 스케쥴작성방법.
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제
16. 삭제
17. 삭제
18. 삭제
19. 삭제
20. 삭제
21. 삭제
22. 제1항 또는 제6항에 있어서,

    상기 스케쥴을 선택하는 스텝에서는, 상기 제어부는, 규정시간 내에 완료한 스케줄 중, 가장 빨리 처리가 완료하는 유일한 스케줄을 선택하는 기판처리장치의 스케쥴작성방법.
23. 삭제
24. 삭제
25. 삭제
26. 삭제
27. 삭제
28. 삭제
29. 삭제
30. 삭제
31. 삭제
32. 삭제
33. 삭제
34. 삭제
35. 삭제
36. 삭제
37. 삭제
38. 삭제
39. 삭제
40. 삭제

Images