JP5022302B2 - 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム - Google Patents
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Description
すなわち、従来の基板処理装置のスケジュール作成方法は、待機時間を抑制して稼働率を向上させることができる効果を得ようとすると、スケジュール作成に長時間を要することがある。そして、それに起因する問題を防止しようとすると、次に配置されるロットの処理工程の配置位置を後ろにずらす必要が生じ、その結果、かえって待機時間が増えて稼働率が向上できなくなる恐れが生じるとともに、スケジュール対象のロットが減って柔軟なスケジュール作成ができなくなるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
対象ロット数が適切であるか否かを判断して処理を分岐する。適切である場合には、ステップS3へ処理を分岐し、不適切である場合には、ステップS2へ移行して異常終了する。
以下に説明する各種のスケジュール作成方法によってスケジュールの作成を開始する(ステップS3)。これとともに、スケジューリング時間監視部41による規定時間の監視を始め(ステップS4)、規定時間が経過するまで計時を継続する(ステップS5)。
各種のスケジュール作成方法によって作成されたスケジュールのうち、一つでも完成しているか否かによって処理を分岐する。完成していない場合には、ロット数が不適切であるとして、ステップS1から再度実行する。一方、一つでもスケジュールが完成している場合には、スケジュールを選択する。なお、一つしか完成していない場合には、そのスケジュールを選択するが、複数のスケジュールが完成している場合には、その中で最も終了予定時刻が早いものを選択する。また、規定時間内であっても、一つでもスケジュールが完成した時点でそのスケジュールを選択するようにしてもよい。
図4は、基本配置方法の流れを示したフローチャートであり、図5は、単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、(a)はロット1を、(b)はロット2を示す。
最初のブロックを取得し、その取得したブロックが存在しているか否かによって処理を分岐する。
前のブロックの終了予定時刻が最も早いものを検索する。その際、最初に配置されるものについては、前のブロックが存在しないことになるので、その場合の前のブロックは、ロットのスタートが指示された時刻(開始予定時刻)を前のブロックの終了予定時刻とする。そして、終了予定時刻が早いブロックを配置する。
ロット同士が各部において衝突しないこと、及び、配置によって前のブロックとの間に生じる待機時間が許容時間を越えないこと、という「配置条件」を満たすか否かによって処理を分岐する。配置条件を満たす場合には、その配置したブロックの次のブロックを取得する。そして、全てのブロックを配置するまで上記ステップT3から繰り返し実行する。
上記のステップT2において、ブロックが存在しない場合には、ステップT8へ移行する。そして、取得前に配置したブロックがあるか否かに応じてさらに処理を分岐する。ブロックがない場合には、ステップT9に処理を移行し、その配置開始位置を後ろにずらすように配置位置を記憶する。
上記のステップT8において、取得前に配置したブロックがある場合には、ステップT10に処理を移行し、そのブロックの配置を中止する。そして、そのブロック及び同時に取得したブロックの配置を中止し、ステップT2に戻る。
上記のステップT5において、配置条件を満たさない場合には、ステップT12において配置できないブロックを排除する。そして、ステップT2に戻る。
ロット1がロット2よりも早く処理開始の指示がなされ、図7(a)に示す時点(下向き矢印)が指示されたものとする。そして、まず終了予定時刻(開始予定時刻)が早いロット1のブロックA(符号1−A)が配置される(ステップ1)。次に、ロット1のブロックA(符号1−A)の終了予定時刻と、ロット2の終了予定時刻(開始予定時刻)とを比較すると、ロット2の終了予定時刻の方が早いので、ロット2のブロックA(符号2−A)をロット1のブロックA(符号1−A)の後に配置する(図7(b)、ステップ2)。しかし、同じ第1搬送機構CTCによる処理でロット1のブロックA(符号1−A)とロット2のブロックB(符号2−B)が衝突するので、ロット2のブロックA(符号2−A)を配置することはできない。そこで、次にロット1のブロックB(符号1−B)をロット1のブロックA(符号1−A)の後に配置する(図7(c)、ステップ3)。
ロット1のブロックB(符号1−B)の終了予定時刻と、ロット2の終了予定時刻(開始予定時刻)とを比較すると、ロット2の終了予定時刻の方が早いので、ロット2のブロックA(符号2−A)を配置する(図8(a)、ステップ4)。次に、ロット1のブロックBの終了予定時刻と、ロット2のブロックB(符号2−B)の終了予定時刻とを比較し、ブロック2−Aの終了予定時刻の方が早いので、ロット2のブロックB(符号2−B)を配置する(図8(b)、ステップ5)。次に、ロット1のブロックB(符号1−B)の終了予定時刻と、ロット2のブロックB(符号2−B)の終了予定時刻とを比較すると、ブロック1−Bの方がブロック2−Bよりも終了予定時刻が早いので、ロット1のブロックC(符号1−C)を配置する(図8(c)、ステップ6)。
ブロック1−Cとブロック2−Bの終了予定時刻を比較すると、ブロック2−Bの方が早いので、ロット2のブロックC(符号2−C)を配置する(図9(a)、ステップ7)。ここで、乾燥処理部LPD1の関係で、ブロック2−Cは前のブロック2−Bよりも少し時間間隔をあけて配置せざるを得ない。この待機時間wtが許容時間以内であれば、ブロック2−Cを配置することができるが、ここでは待機時間wtが許容時間を越えており、配置条件を満たさないものとする。そのため、ブロック2−Cの配置を中止するとともに、ブロック1−Dを配置する(図9(b)、ステップ8)。次に、ロット1については最終のブロックであるブロック1−Dを配置したので、選択肢はブロック2−Cのみである。そこで、このブロック2−Cを配置する(図9(c)、ステップ9)。この場合、ブロック2−Cには、待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているとする。
配置条件を満たさなかったので、その前のブロック1−Dとブロック1−Cの配置を中止する。ブロック1−Cの後にブロック2−Cを配置する選択肢がなくなったので、ブロック2−Cを先に配置する(図10(a)、ステップ10)。そして、ブロック1−Bとブロック2−Cの終了予定時刻は、ブロック1−Bの方が早いので、ブロック1−Cを配置する(図10(b)、ステップ11)。すると、乾燥処理部LPD1から搬出されていないロット2のブロックC(符号2−C)とロット1のブロックC(符号1−C)との衝突が生じる。そこで、ブロック2−Cの後にブロック2−Dを先に配置することになる(図10(c)、ステップ12)。
ブロック2−Dを配置したので、選択肢はブロック1−Cのみであるので、ブロック1−Cを配置する(図11(a)、ステップ13)。しかしながら、ブロック1−Cには、待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えるものとする。したがって、その前に配置したブロック2−Dと、ブロック2−Cと、ブロック2−Bの配置を中止するとともに、これらに代えてブロック1−Cを配置する(図11(b)、ステップ14)。次に、ブロック2−Aとブロック1−Cのうち、終了予定時刻が早いブロック2−Aに続けてブロック2−Bを配置する(図11(c)、ステップ15)。
ブロック2−Bとブロック1−Cとの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Bに続けてブロック2−Cを配置する(図12(a)、ステップ16)。この場合、乾燥処理部LPD1においてロット1のブロック1−Cとロット2のブロック2−Cとが衝突するので、配置条件を満たさない。そこで、ブロック2−Cに代えてブロック1−Dを配置する(図12(b)、ステップ17)。ロット1については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック2−Cだけとなる(図12(c)、ステップ18)。しかし、待機時間wtが許容時間を越えるものとする。
ブロック2−Bの後にブロック1−Dを配置する選択肢がなくなったので、ブロック2−Bの前にブロック1−Dを先に配置する(図13(a)、ステップ19)。そして、ブロック2−Aとブロック1−Dの終了予定時刻のうち、早い方のブロック2−Aに続けてブロック2−Bを配置する(図13(b)、ステップ20)。そして、ブロック2−Bとブロック1−Dのうち、終了予定時刻が早いブロックブロック2−Bに続けてブロック2−Cを配置する(図13(c)、ステップ21)。ここで、待機時間wtが許容時間を越えるものとする。
上述したような手順を同様に繰り返して、二つのロットについてブロック配置を試行錯誤する(図14〜図18(a)、ステップ22〜34)。この試行錯誤は、図6において点線で囲った符号1〜34までに示されている。
しかしながら、上述した試行錯誤においては、結局、全てのブロックを配置することができないので、ロット1とロット2の投入間隔を、図18(c)に示すように広げて再び試行錯誤を繰り返す(図18(b)〜図21、ステップ35〜44)。
図22は、第1配置方法の流れを示したフローチャートであり、図23は、第1配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図(系譜図)である。
ステップU5において、配置条件を満たしていない場合には、その理由が待機時間が許容時間を越えることであるか否かに応じて処理を分岐する(ステップU12)。つまり、待機時間が許容時間を越えることが理由である場合には、取得したブロックを全て排除する(ステップU13)。
上記のステップU12において、ブロックが配置不可能な理由が待機時間でない場合には、配置できないブロックだけを排除して、ステップU2へと分岐する。
これらのステップにおいては、配置不可能となる理由がロットの衝突だけであるので、上述した基本配置方法と同様の配置過程を辿る(図24(ステップ1〜3)及び図25(ステップ4〜6)。
ブロック1−Cとブロック2−Bについて終了予定時刻を比較すると、ブロック2−Bの終了予定時刻の方が早いので、ロット2のブロックC(符号2−C)を配置する(図26(a)、ステップ7)。ここで生じる待機時間wtが許容時間以内であれば、ブロック2−Cを配置することができるが、ここでは待機時間wtが許容時間を越えており、配置条件を満たさないものとする。そのため、ブロック1−Cを排除してから、ブロック2−Bの後にブロック2−Cを配置する(図26(b)、ステップ8)。次に、ブロック1−Bとブロック2−Cの終了予定時刻から、ブロック1−Cを配置する(図26(c)、ステップ9)。
ステップ9において、ブロック1−Cには待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック2−C及びブロック2−Bを排除した後、ブロック1−Cを配置する(図27(a)、ステップ10)。次に、ブロック2−Aとブロック1−Cの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Bを配置する(図27(b)、ステップ11)。そして、ブロック2−Bとブロック1−Cの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図27(c)、ステップ12)。
ステップ12において、ブロック2−Cには待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック2−C及びブロック2−Bを排除した後、ブロック2−Bの後にブロック2−Cを配置する選択肢がなくなったので、先にブロック1−Dを配置する(図28(a)、ステップ13)。ブロック2−Aとブロック1−Dの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Bを配置する(図28(b)、ステップ14)。そして、ブロック2−Bとブロック1−Dの終了予定時刻から、ブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図28(c)、ステップ15)。
ステップ15において、ブロック2−Cには待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック2−C、ブロック2−B、ブロック2−Aを排除し、ブロック2−Aの後にブロック1−Cを配置する選択肢がなくなったので、ブロック2−Aより先にブロック1−Cを先に配置する(図29(a)、ステップ16)。そして、ブロック1−Cの終了予定時刻とロット2の終了予定時刻(開始予定時刻)とを比較すると、ロット2の終了予定時刻(開始予定時刻)の方が早いので、ブロック2−Aを配置する(図29(b)、ステップ17)。次に、ブロック2−Aとブロック1−Cの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Aに続いてブロック2−Bを配置する(図29(c)、ステップ18)。
ブロック1−Cとブロック2−Bの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図30(a)、ステップ19)。しかしながら、ここで待機時間wtが許容時間を越えているとする。そこで、ブロック2−Cとブロック2−Bを排除し、これに代えてブロック1−Dを配置する(図30(b)、ステップ20)。ロット1については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック2−Bだけとなるのでブロック2−Bを配置する(図30(c)、ステップ21)。
選択肢は、ブロック2−Bに続くブロック2−Cだけであるので、ブロック2−Cを配置する(図31(a)、ステップ22)。ここでブロック2−Cには、待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているものとする。したがって、ブロック2−C、ブロック2−B、ブロック2−Aを排除する(図31(b)、ステップ23)。選択肢は、ブロック2−Aのみであるので、ブロック2−Aを配置する(図31(c)、ステップ24)。
選択肢は、ブロック2−Aに続くブロック2−Bのみであるので、ブロック2−Bを配置する(図32(a)、ステップ25)。次の選択肢は、ブロック2−Bに続くブロック2−Cのみであるので、ブロック2−Cを配置する(図32(b)、ステップ26)。ここでブロック2−Cには、待機時間wtが生じ、これが許容時間を越えているものとする。図23の組み合わせにおいて、全経路で配置不可能となったので、ロット1とロット2の投入間隔を広げて再度計画を行う。まず、開始予定時刻が早いブロック1−Aを配置する(図32(c)、ステップ27)。
ブロック1−Aの終了予定時刻とロット2の開始予定時刻とでは、ロット2の開始予定時刻の方が早いので、ブロック2−Aを配置する(図33(a)、ステップ28)。ロット1とロット2が第1搬送機構CTCにて衝突するので、ブロック2−Aの配置を回避して、ブロック1−Bを配置する(図33(b)、ステップ29)。ロット2の開始予定時刻とブロック1−Bの終了予定時刻とを比較し、早い方のブロック2−Aを配置する(図33(c)、ステップ30)。
ブロック1−Bとブロック2−Aの終了予定時刻を比較し、ブロック2−Aの方が早いので、ブロック2−Aに続いてブロック2−Bを配置する(図34(a)、ステップ31)。次に、ブロック1−Bとブロック1−Cの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック1−Bに続いてブロック1−Cを配置する(図34(b)、ステップ32)。そして、ブロック1−Cとブロック2−Bとでは、ブロック2−Bの方が終了予定時刻が早いので、ブロック2−Bに続けてブロック2−Cを配置する(図34(c)、ステップ33)。
しかしながら、ロット1が乾燥処理部LPD1から搬出されていないので、ロット1のブロック1−Cとロット2のブロック2−Cとの衝突が発生する。つまり、ブロック1−Cとブロック2−Cとを隣接して配置することはできない。そこで、ブロック2−Cを排除すると、選択肢はブロック1−Dだけとなるので、ブロック1−Dを配置する(図35(a)、ステップ34)。ロット1については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック2−Cだけとなるので、ブロック2−Cを配置する(図35(b)、ステップ35)。ブロック2−Cを配置した後は、選択肢はブロック2−Dのみとなるので、ブロック2−Dを配置する(図35(c)、ステップ36)。
図36は、第2配置方法の流れを示したフローチャートであり、図37は、第2配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図(系譜図)である。
取得したブロックの中で、そのロットの開始予定時刻が早いものを検索する。
基本配置方法におけるステップT8〜T11及び第1配置方法におけるステップU8〜11とは、ステップV9及びV11のみが相違する。つまり、ステップV9は、待機時間が許容時間を越えたブロックを有するロットについて、そのロットの最初のブロックの配置開始位置を時間的に後ろにずらすように記憶する。ステップV11は、配置を中止したブロックと、待機時間が許容時間を越えたブロックとを排除する。
第1配置方法におけるステップU12〜U14とは、ステップV13が相違する。つまり、ステップV13は、待機時間が許容時間を越えるロットのブロックであることを記憶する。
まず、終了予定時刻(開始予定時刻)が早いロット1について、ブロック1−Aを配置する(図38(a)、ステップ1)。次に、ブロック1−Aとブロック2−Aのうち、ロットの開始予定時刻はブロック1−Aの方が早いので、そのブロック1−Aに続くブロック1−Bを配置する(図38(b)、ステップ2)。ブロック1−Cとブロック2−Aとでは、ブロック1−Cの方が開始予定時刻が早いので、そのブロック1−Cに続くブロック1−Dを配置する(図38(c)、ステップ3)。
ブロック1−Cとブロック2−Aとでは、ロット1のブロック1−Cの方が開始予定時刻が早いので、そのブロック1−Cに続くブロック1−Dを配置する(図39(a)、ステップ4)。ロット1について全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック2−Aだけであるので、ブロック2−Aを配置する(図39(b)、ステップ5)。次に、ブロック2−Aに続いてブロック2−Bを配置する(図39(c)、ステップ6)。
選択肢はブロック2−Cだけであるので、ブロック2−Cを配置する(図40(a)、ステップ7)。しかしながら、この待機時間wtが許容時間を越えているとする。そこで、待機時間が許容時間を越えていることが理由で配置不可能であることを記憶するとともに、配置不可能なブロックを排除する。具体的には、ロット2の全ブロックと、ロット1のブロック1−Aを除く全てである(図40(b)、ステップ8)。この後、ロット1とロット2の投入間隔を広げて再度スケジュールを行う。まず、ロット1とロット2では、開始予定時刻がロット1の方が早いので、ブロック1−Aを配置する(図40(b)、ステップ8)。ロット1のブロック1−Bとロット2のブロック2−Aでは、ロット1の方が開始予定時刻が早いので、ロット1のブロック1−Bを配置する(図40(c)、ステップ9)。
ロット1のブロック1−Cとロット2のブロック2−Aでは、ロット1の方が開始予定時刻が早いので、ロット1のブロック1−Cを配置する(図41(a)、ステップ10)次に、ブロック1−Cとブロック2−Aでは、ブロック1−Cのロット1の方が開始予定時刻は早いので、ブロック1−Dを配置する(図41(b)、ステップ11)。そして、ロット1については、全ブロックを配置し終えたので、ロット2のブロック2−Aを配置する(図41(c)、ステップ12)。但し、ブロック1−Aとブロック2−Aとの時間間隔は、先の時間間隔よりも広げてある。
選択肢はブロック2−Bだけであるので、ブロック2−Bを配置する(図42(a)、ステップ13)。選択肢はブロック2−Cだけであるので、ブロック2−Cを配置する(図42(b)、ステップ14)。次に、選択肢はブロック2−Dだけであるので、ブロック2−Dを配置する(図42(c)、ステップ15)。
この第3配置方法を説明するにあたり、基本配置方法との差異がわかりやすいように、上述したレシピとは異なる図43に示すものを適用し、かつ3ロットを対象にしてスケジュールを行う場合を例に採る。なお、図43は、単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、(a)はロット1を、(b)はロット2を、(c)はロット3を示す。
ここで、図46〜図51を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図46〜図51は、3ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
この時点では、ブロック1−Bの終了予定時刻と、ブロック2−Bの終了予定時刻と、ロット3の開始予定時刻では、ロット3の開始予定時刻が最も早いので、ブロック3−Aを配置する(図46(c)、ステップ1)。
ブロック1−Bと、ブロック2−Bと、ブロック3−Aの中でブロック3−Aが最も終了予定時刻が早いので、ブロック3−Bを配置する(図47(a)、ステップ2)。しかしながら、ブロック2−Bが純水洗浄処理部ONB2から搬出されていないので、ロットの衝突が生じる。したがって、ブロック3−Bを配置することはできない。そこで、ロット3のブロック3−Aの配置位置を時間的に後ろにずらして配置する(図47(b)、ステップ3)。ブロック1−Bと、ブロック2−Bと、ブロック3−Aとでは、ブロック3−Aが最も早い終了予定時刻であるので、ブロック3−Bを配置する(図47(c)、ステップ4)。
ロット2とロット3とが純水洗浄処理部ONB2で衝突するので、ブロック3−Bを配置することはできない。したがって、ブロック3−Bを排除し、再度ブロック3−Aを時間的に後ろにずらす(図48(a)、ステップ5)。次に、ブロック1−Bと、ブロック2−Bと、ブロック3−Aの中で終了予定時刻が最も早いブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図48(b)、ステップ6)。次に、ブロック1−Bと、ブロック2−Cと、ブロック3−Aについて、終了予定時刻が最も早いブロック3−Aに続いてブロック3−Bを配置する(図48(c)、ステップ7)。
ブロック1−Bと、ブロック2−Cと、ブロック3−Bとについて、最も終了予定時刻が早いブロック1−Bに続けてブロック1−Cを配置する(図49(a)、ステップ8)。しかしながら、ロットの衝突が生じるので、ブロック1−Cを排除するとともに、ブロック2−Cとブロック3−Bのうち終了予定時刻が早いブロック2−Cに続いてブロック2−Dを配置する(図49(b)、ステップ9)。次に、ブロック1−Bと、ブロック2−Dと、ブロック3−Bのうち、最も早い終了予定時刻であるブロック1−Bに続いてブロック1−Cを配置する(図49(c)、ステップ10)。
ブロック1−Cと、ブロック3−Bの中で最も終了予定時刻が早いブロック3−Bに続いてブロック3−Cを配置する(図50(a)、ステップ11)。但し、ブロック1−Cとブロック3−Cが衝突するので、ブロック3−Cの配置を回避し、これに代えてブロック1−Cに続いてブロック1−Dを配置する(図50(b)、ステップ12)。次に、選択肢はブロック3−Cだけなので、ブロック3−Cを配置する(図50(c)、ステップ13)。
選択肢はブロック3−Dだけであるので、ブロック3−Cに続いてブロック3−Dを配置する(図51、ステップ14)。
配置不可能な状態になっていないロットのうち、まだ開始されていない最初のブロックを取得する。ブロックが存在するか否かに応じて処理を分岐する。
取得したブロックの中で、その前のブロックの終了予定時刻が最も早いブロックを検索し(ステップW3)、そのブロックを配置する(ステップW4)。そして、配置条件を満たしているか否かに応じて処理を分岐する(ステップW5)。配置条件を満たしている場合には、配置したブロックに続くブロックを取得し(ステップW6)、同じロットのもので、そのブロックの次のブロックが存在するか否かに応じて処理を分岐する(ステップW7)。次のブロックがない場合には、全てのブロックを配置したか否かに応じて処理を分岐し、全てのブロックが配置完了となるまで、ステップW3から繰り返し実行する(ステップW8)。
ステップW2においてブロックが存在しない場合、配置不可能な状態をリセットし、そのロットの最初のブロックの配置開始位置を時間的に後ろにずらして記憶する。
ステップW5において、配置条件を満たさない場合には、配置不可能なロットのブロックを排除し、配置不可能であることを記憶する。
ステップW7において、同じロットのものがある場合には、配置条件を満たして配置することができるか否かに応じて処理を分岐する。配置条件を満たして配置可能である場合には、ステップW6に分岐し、配置不可能である場合には、ステップW10に分岐する。
この時点では、ブロック1−Bの終了予定時刻と、ブロック2−Bの終了予定時刻と、ロット3の開始予定時刻では、ロット3の開始予定時刻が最も早いので、ブロック3−Aを配置する(図55(c)、ステップ1)。
ブロック3−Aを配置したので、継続してブロック3−Bを配置する(図56(a)、ステップ2)。但し、ブロック2−Bとブロック3−Bが衝突するので、ブロック3−Bの配置を回避し、そのことを記憶しておく。ロット3のブロック3−Bが配置できなかったので、ブロック3−A,3−Bを削除して、次に終了予定時刻が早いブロック2−Cを配置する(図56(b)、ステップ3)。そして、同じロット3のブロック2−Dがあるので、ブロック2−Cに続いてブロック2−Dを配置する(図56(c)、ステップ4)。
ロット2については全てのブロックを配置完了したので、次に開始予定時刻が早いロット3のブロック3−Aを配置する(図57(a)、ステップ5)。但し、前回、配置不可能であったので、その配置開始位置は時間的に後ろにずらすように記憶されている。したがって、ステップ2(図56(a))に比較して、その配置位置が時間的にずらされている。ブロック3−Aを配置したので、継続してブロック3−Bを配置する(図57(b)、ステップ6)。しかし、配置条件を満たして配置できないので、ブロック3−Bを排除するとともに、ブロック3−Aを排除し、ロット1のブロック1−Cを配置する(図57(c)、ステップ7)。
ステップ1−Cを配置したので、継続してブロック1−Dを配置する(図58(a)、ステップ8)。ロット1の全ブロックの配置を完了したので、ロット3について配置する。その際、先のステップ5(図57(a))において配置位置をずらしたので、ブロック3−Aは時間的により後ろにずれた位置に配置される(図58(b)、ステップ9)。ブロック3−Aを配置したので、継続してブロック3−Bを配置する(図58(c)、ステップ10)。
ブロック3−Bを配置したので、継続してブロック3−Cを配置する(図59(a)、ステップ11)。ブロック3−Cを配置したので、ブロック3−Dを配置する(図59(b)、ステップ12)。
図60は、第4配置方法の流れを示したフローチャートであり、図61は、第4配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図(系譜図)である。
取得したブロックの中で、前のブロックのうち許容時間が最も短いものを検索する。但し、最初のブロック同士の比較では、それぞれの開始予定時刻を比較して早いほうを選択する。
基本配置方法とは、ステップX9及びステップX11が相違する。つまり、ステップX9では、待機時間が許容時間を越えたロットのブロックであれば、配置開始位置を後ろにずらすように記憶する。ステップX11では、配置をやめたブロックと同時に取得したブロックを再度取得して、配置をやめたブロック及び待機時間が許容時間をオーバしたロットのブロックを排除する。
これらのステップは、上述した第2配置方法と同様である。
まず、終了予定時刻(開始予定時刻)が早いロット1について、ブロック1−Aを配置する(図62(a)、ステップ1)。次に、配置可能なのはブロック1−Bとブロック2−Aであり、それぞれの前のブロック1−Aとロット2の開始予定時刻のうち、許容時間はブロック1−Aの方が短いので、それに続くブロック1−Bの方を配置する(図62(b)、ステップ2)。次に、配置可能なのはブロック1−Cと、ブロック2−Aであり、それぞれの前のブロック1−Bとロット2の開始予定時刻のうち、許容時間はブロック1−Bの方が許容時間が短いので、ブロック1−Bに続くブロック1−Cを配置する(図62(c)、ステップ2)。
次に配置可能なのは、ブロック1−Dとロット2のブロック2−Aであり、それぞれの前のブロック1−Cとロット2の開始予定時刻は許容時間が等しいので、ブロック1−Cとブロック2−Aの開始予定時刻とを比較し、早い方のブロック2−Aを配置する(図63(a)、ステップ4)。そして、配置可能なブロック1−Dとブロック2−Bの前のブロックであるブロック1−C(許容時間=∞)とブロック2−A(許容時間=0)の許容時間を比較し、許容時間が短いブロック2−Aに続くブロック2−Bを配置する(図63(b)、ステップ5)。次に、配置可能なブロック1−Dとブロック2−Cの前のブロックであるブロック1−C(許容時間=∞)とブロック2−B(許容時間=180秒)の許容時間を比較し、許容時間が短いブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図63(c)、ステップ6)。
しかしながら、ここでは、ブロック2−Cの待機時間wtが許容時間を越えているとする。そこで、ロット1とロット2の投入間隔を広げて再度スケジュールを行う。まず、開始予定時刻が早いロット1のブロック1−Aを配置する(図64(a)、ステップ7)。配置可能なブロック1−Bの前にあたるブロック1−Aと、配置可能なブロック2−Aの前にあたるロット2の開始予定時刻とでは、ブロック1−Aの方が許容時間が短いので、ブロック1−Aに続いてブロック1−Bを配置する(図64(b)、ステップ8)。続いて、許容時間が短いブロック1−Cを配置する(図64(c)、ステップ9)。
配置可能なブロック1−Dとブロック2−Aのそれぞれ前のブロックにあたるブロック1−Cと開始予定時刻とでは、ブロック2−Aの方が開始予定時刻が早いので、ブロック2−Aを配置する(図65(a)、ステップ10)。次に、前のブロックに相当するブロック1−C(許容時間=∞)とブロック2−A(許容時間=0sec)とでは、ブロック2−Aの方が許容時間が短いので、ブロック2−Aに続いてブロック2−Bを配置する(図65(b)、ステップ11)。そして、前のブロックに相当するブロック1−C(許容時間=∞)とブロック2−B(許容時間=180sec)とでは、ブロック2−Bの方が許容時間が短いので、ブロック2−Bに続いてブロック2−Cを配置する(図65(c)、ステップ12)。
但し、ブロック2−Cを配置すると、乾燥処理部LPD1でロット1とロット2とが衝突するので、ブロック2−Cを排除してブロック1−Dを配置する(図66(a)、ステップ13)。ロット1については全ブロックを配置完了したので、選択肢はブロック2−Cだけとなるので、ブロック2−Cを配置する(図66(b)、ステップ14)。選択肢はブロック2−Dだけとなるので、ブロック2−Dを配置する(図66(c)、ステップ15)。
1 … FOUP
3 … 投入部
5 … 載置台
7 … 払出部
9 … 載置台
CTC … 第1搬送機構
WTR … 第2搬送機構
LPD1、LPD2 … 乾燥処理部
ONB1〜4 … 純水洗浄処理部
CHB1〜4 … 薬液処理部
LF1〜4 … 副搬送機構
31 … 制御部
33 … スケジューリング機能部
35 … 処理実行処理部
37 … 配置制御部
41 … スケジューリング時間監視部
43 … スケジューリング選択部
Claims (31)
- 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項5に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項5または6に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項8に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項11に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項11または12に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項14に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項17に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 請求項1から20のうちいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、規定時間内に完了したスケジュールのうち、最も早く処理が完了する唯一のスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第1配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第2配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。 - 基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第3配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第4配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
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