JP2007005822A - ウェーハ処理ツール内のウェーハの移動をスケジューリングするシステムと方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハ処理ツール内のウェーハの移動をスケジューリングするシステムと方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ処理ツール（１００）はロード・モジュール（１０２）と、ウェーハ移送ユニット（１０４）と、処理モジュール（１１６）と、スケジューラ（１１８）とを含む。スケジューラ（１１８）は、ウェーハを処理する際ウェーハ移送ユニット（１０４）及び処理モジュール（１１６）によって行われる動作の継続時間に基づいてウェーハ処理ツール（１００）内でのウェーハの移動についてのスケジュールを生成するよう構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は一般に、ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムと方法に関し、特に、ウェーハ処理ツール内のウェーハの移動のスケジューリングに関する。

ウェーハ処理ツールは、半導体ウェーハから半導体素子を製造する様々な段階で利用される。従来のウェーハ処理ツールには通常１つかそれ以上の処理ステーションまたはモジュールが含まれ、そこで半導体ウェーハは様々な処理操作を受ける。例えば、ウェーハ処理ツールはウェーハの表面上に膜を形成する化学蒸着（ＣＶＤ）モジュールを含んでもよい。

また、ウェーハ処理ツールには通常、多数のウェーハの処理を自動化する制御システムも含まれる。しかし、ウェーハ処理ツール用の従来の制御システムは通常、行うべき動作の順序を指定する所定のプログラムによってウェーハを処理し、そこでは１つの動作の実行によって別の動作の実行が開始される。しかし、こうした従来のシステムは異なるバッチのウェーハを処理するため手動で調整または再プログラムを必要とすることが多い。これは時間と費用の両面で不可能なことがある。

本発明は一般に、ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムと方法に関する。本発明の１つの代表的な実施形態では、ウェーハ処理ツールには、ロード・モジュールと、ウェーハ移送ユニットと、処理モジュールと、スケジューラとが含まれる。本発明の１つの態様によれば、スケジューラは、ウェーハを処理する際ウェーハ移送ユニットと処理モジュールとによって行われる動作の継続時間に基づいてウェーハ処理ツール内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成される。

本発明は、添付の図面に関連してなされる以下の説明を参照することによって最もよく理解できるであろう。なお、図面では同じ部分は同じ番号によって示す。

以下の説明は、個々の構成、パラメータ等といった非常に多くの具体的な細部を示す。しかし、認識されるように、この説明は本発明の範囲に対する限定を意図するものではない。

図１には、ウェーハ処理ツール１００が示される。本発明の１つの代表的な実施形態によれば、ツール１００には、ロード・モジュール１０２と、ウェーハ移送ユニット１０４と、ウェーハ・オリエンタ１０６と、ロードロック・モジュール１０８と、処理モジュール１１６と、制御モジュール１１８とが含まれる。

本実施形態では、ロード・モジュール１０２は多数のウェーハを保持するウェーハ・カセットを受け取るよう構成する。認識されるように、ロード・モジュール１０２は様々な種類のウェーハ・カセットを受け取るよう構成してもよい。さらに、わかりやすくするため、ツール１００は図１では１つのロード・モジュール１０２を有するものとして示される。しかし、認識されるように、ツール１００は任意の数のロード・モジュール１０２を含んでもよい。

本実施形態では、ウェーハ移送ユニット１０４はウェーハを取り上げ配置するよう構成する。さらに、以下さらに詳細に説明されるように、ウェーハ移送ユニット１０４は、ロード・モジュール１０２と、ウェーハ・オリエンタ１０６と、ロードロック・モジュール１０８と、処理モジュール１１６との間でウェーハを移送するよう構成する。本発明の１つの構成では、ウェーハ移送ユニット１０４は双腕ロボットとして構成してもよい。しかし、認識されるように、ウェーハ移送ユニット１０４は、ウェーハの移送に適した任意の適切な機構または装置を含んでよい。さらに、認識されるように、ツール１００は任意の数のウェーハ移送ユニット１０４を含んでもよい。

本実施形態では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハを位置合わせするよう構成する。さらに詳しく言うと、適用例によっては、処理モジュール１１６内でウェーハを処理する前にウェーハを位置合わせするのが望ましいことがある。例えば、１つの適用例では、溝付きウェーハのような非対称形のウェーハは、ウェーハが同じ方向で処理モジュール１１６に入るように位置合わせすればよい。しかし、適用例によっては、ウェーハを位置合わせする必要がないこともある。すなわち、ツール１００はウェーハ・オリエンタ１０６なしで構成してもよく、またウェーハ・オリエンタ１０６は使用しなくてもよい。しかし、認識されるように、ツール１００は１つより多いウェーハ・オリエンタ１０６を備えるよう構成してもよい。

本実施形態では、ロードロック・モジュール１０８は、処理モジュール１１６からウェーハを出し入れするよう構成する。本実施形態の１つの構成では、ロードロック・モジュール１０８には、第１のバッファ１１０と、第２のバッファ１１４と、ウェーハを処理モジュール１１６から出し入れするよう構成されるウェーハ移送ユニット１１２とが含まれる。さらに詳しく言うと、本構成では、ウェーハ移送ユニット１０４は、処理すべきウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。次にウェーハ移送ユニット１１２は処理すべきウェーハを第１のバッファ１１０から第２のバッファ１１４上に移送する。処理モジュール１１６の準備ができると、ウェーハ移送ユニット１１２は処理すべきウェーハを第２のバッファ１１４から処理モジュール１１６に移送する。ウェーハが処理された後、ウェーハ移送ユニット１１２はウェーハを処理モジュール１１６から第１のバッファ１１０上に移送する。次に、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。しかし、認識されるように、ツール１００はロードロック・モジュール１０８なしで構成してもよい。その代わり、ウェーハ移送ユニット１０４がウェーハを処理モジュール１１６から直接出し入れするように構成すればよい。

本実施形態では、処理モジュール１１６はツール１００の残りの部分の圧力より低い圧力に維持する。１つの好適実施形態では、処理モジュール１１６は大気圧より低い圧力に維持され、ツール１００の残りの部分は大気圧に維持される。処理モジュール１１６をツール１００の他の部分に対して低い圧力に維持する利点は、処理モジュール１１６からツール１００への汚染物質の流れが低減または除去できることである。

すなわち、本実施形態では、ロードロック・モジュール１０８は処理モジュール１１６とツール１００の残りの部分との間のエアロックとして動作するよう構成する。さらに詳しく言うと、ロードロック・モジュール１０８は密閉され、排気され、通気されるよう構成する。本実施形態の１つの構成では、ウェーハを処理モジュール１１６から出し入れする前に、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。さらに、ウェーハ移送ユニット１０４が処理すべきウェーハを第１のバッファ１１０に配置するか処理されたウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げた後で、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００の残りの部分の圧力と等しくなるように通気される。

本実施形態では、処理モジュール１１６は、エッチング、化学蒸着（ＣＶＤ）、スパッタリング、熱酸化等といった任意の適切なウェーハ処理動作を行うよう構成する。さらに、認識されるように、ツール１００は任意の数の処理モジュール１１６を備えるよう構成してもよい。さらに詳しく言うと、以下代替実施形態及び構成に関連して説明するように、ツール１００は同じウェーハ処理動作または異なるウェーハ処理動作を行う多数の処理モジュール１１６を含んでもよい。

本実施形態では、制御モジュール１１８はツール１００を制御するよう構成する。さらに詳しく言うと、制御モジュール１１８は、ロード・モジュール１０２、ウェーハ移送ユニット１０４、ウェーハ・オリエンタ１０６、ロードロック・モジュール１０８、及び処理モジュール１１８の各動作を制御するよう構成される。制御モジュール１１８は、処理ユニット、データ記憶ユニット／媒体、ユーザ・インタフェース・ユニット、データ入力／出力ユニット等といった任意の適切なコンピュータ・ハードウェアを含んでもよい。また、制御モジュール１１８は何らかの適切なコンピュータ・プログラムを含んでもよい。

さらに、本発明の１つの態様によれば、制御モジュール１１８はツール１００内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラを含んでもよい。スケジューラは制御モジュール１１８の一部として示され説明されるが、スケジューラは、任意の適切なコンピュータ・ハードウェア及び／またはソフトウェアを有する独立したユニットとして構成してもよい。

以上、ツール１００の様々な構成要素を説明した。以下、ツール１００内のウェーハの処理を説明する。以下の説明は、ツール１００が定常状態で動作している、すなわち、未処理のウェーハがロード・モジュール１０２から取り出される前に、すでに１つかそれ以上のウェーハがツール１００のどこかで処理されていることを想定している。別言すれば、以下の説明は最初または最後に処理されるウェーハの処理を記述するものではない。さらに、ツール１００内の異なるウェーハの区別を助けるため、以下の説明では、各ウェーハに番号を割り当てる。しかし、認識されるように、こうした番号は何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

上記で触れたように、ウェーハは、ロード・モジュール１０２上に設置可能なウェーハ・カセットに入れてツール１００から出し入れする。すなわち、ツール１００内でウェーハを処理するため、ウェーハ移送ユニット１０４はまず、未処理のウェーハ（ウェーハ１）をロード・モジュール１０２から取り出す。上記で説明したように、１つの構成では、ウェーハ移送ユニット１０４は双腕ロボットとして構成される。すなわち、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１）をロード・モジュール１０２から取り上げ、前に処理されたウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２に配置する。

次に、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１）をウェーハ・オリエンタ１０６に移送する。ウェーハ移送ユニット１０４は前に位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り出し、未処理のウェーハ（ウェーハ１）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。しかし、上記で説明したが、認識されるように、適用例によってはそのウェーハ（ウェーハ１）は位置合わせされないことがある。

次にウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をロードロック・モジュール１０８に移送する。ウェーハ移送ユニット１０４は前に処理されたウェーハ（ウェーハ４）を第１のバッファ１１０から取り出し、位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。次にウェーハ移送ユニット１１２は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に移送する。上記で説明したように、処理されたウェーハ（ウェーハ４）を第１のバッファ１１０から取り出し位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する前に、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。

次にウェーハ移送ユニット１１２は第２のバッファ１１４上の位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６に移送する。処理モジュール１１６がそのウェーハ（ウェーハ３）の処理を完了した後、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６から取り出し、それを第１のバッファ１１０に移送する。上記で説明したように、ウェーハを処理モジュール１１６から取り出すかまたはウェーハを処理モジュール１１６に配置する前に、ロードロック・モジュール１１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。

上記で説明したように、ウェーハ移送ユニット１０４は、処理されたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げ、それをロード・モジュール１０２に戻す。次にウェーハ移送ユニット１０４は別の未処理のウェーハ（ウェーハ５）をロード・モジュール１０２から取り上げる。この処理を繰り返し、任意の数のウェーハ・カセット内の任意の数のウェーハを処理することができる。

上記で説明したように、本発明の１つの態様によれば、制御システム１１８には、ツール１００内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラが含まれる。さらに、制御システム１１８は、温度、圧力、時間、化学的性質、濃度等といった処理パラメータを指定するレシピを含んでもよい。さらに、異なったレシピを利用して、異なったバッチ、グループまたは組合せのウェーハをツール１００内で処理してもよい。例えば、レシピは処理モジュール１１６内の処理時間の長さを指定してもよい。あるバッチのウェーハに対して、レシピは５０秒といったある継続時間を指定してもよい。別のバッチのウェーハに対して、レシピは１００秒といった継続時間を指定してもよい。すなわち、本発明の１つの態様によれば、スケジューラは、あるバッチのウェーハを処理する前に、そのバッチのウェーハに対するレシピを使用して処理すべきバッチのウェーハに対するスケジュールを生成してもよい。

ここで図２を参照すると、スケジューラのための代表的なスケジュール生成処理２００が示される。認識されるように、処理２００の各動作及び動作の組合せ及び以下説明されるものはコンピュータ可読記憶媒体中に格納してもよく、コンピュータに対する命令として実現してもよい。また、認識されるように、各動作及び動作の組合せは、指定された機能または動作を行う専用ハードウェアによるコンピュータ・システムまたは専用ハードウェアとコンピュータ命令との組合せによって実現してもよい。さらに、前に説明したように、スケジューラは制御モジュール１１８の構成要素であってもよく、独立したユニットであってもよい。

引き続き図２を参照すると、本実施形態では、動作２０２では、制限時間が決定される。再び図１を参照すると、上記で説明したように、ツール１００内でウェーハを処理することにはいくつかの動作が含まれうる。上記で説明した実施形態では、こうした動作は、処理モジュール１１６によって行われる動作を含む処理サイクルと、ロードロック・モジュール１０８によって行われる動作を含むＬＬＭサイクルと、ウェーハ移送ユニット１０４によって行われる動作を含む供給サイクルとに分類してもよい。以下さらに詳細に説明するように、各サイクルの継続時間を決定してもよい。次に、これらのサイクルの継続時間に基づいて制限時間を決定してもよい。しかし、認識されるように、制限時間を決定せずに、これらのサイクルの継続時間に基づいてスケジュールを決定してもよい。

ここで図３を参照すると、代表的な処理サイクル３００が示される。本実施形態では、処理サイクル３００には処理モジュール１１６（図１）によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作３０２では、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１１２が未処理のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作３０４（図３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作３０６（図３）では、未処理のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作３０８（図３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作３１０（図３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

一例として、動作３０２、３０４、３０８、及び３１０は各々約５秒を要し、動作３０６は約６０秒を要すると想定する。すなわち、この例では、処理サイクル３００は約８０秒を要する。しかし、認識されるように、動作３０２、３０４、３０８、及び３１０は同じ時間を費やす必要はなく、ツール１００の設定によって変化してもよい。また、認識されるように、動作３０６の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、認識されるように、動作３０２〜３１０の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。

さて図４には、代表的なＬＬＭサイクル４００が示される。本実施形態では、ＬＬＭサイクル４００には、ロードロック・モジュール１０８（図１）によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作４０２では、図１を参照すると、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内のものとほぼ等しくなるように通気される。動作４０４（図４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作４０６（図４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作４０８（図４）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内のものと等しくなるように、密閉され排気される。動作４１０（図４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作４１２（図４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。図４に示したように、本実施形態では、動作４１０及び４１２は動作４０８と同時に行ってもよい。

一例として、動作４０２及び４０８は各々約２０秒を要すると想定する。動作４０４、４０６、４１０、及び４１２は各々約５秒を要する。すなわち、この例では、ＬＬＭサイクル４００は約５０秒を要する。しかし、認識されるように、動作４０２及び４０８は同じ時間を費やす必要はない。さらに、動作４０４、４０６、４１０、及び４１２は同じ時間を費やす必要はない。さらに、動作４０２〜４１２の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、認識されるように、動作４０２〜４１２の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。

ここで図５を参照すると、代表的な供給サイクル５００が示される。本実施形態では、供給サイクル５００にはウェーハ移送ユニット１０４によって行われる動作が含まれる。さらに詳しく言うと、動作５０２では、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１０４は処理すべきウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作５０４（図５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は前に位置合わせされたウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作５０６（図５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は、位置合わせすべきウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作４０４（図５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作４０６（図５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作５０８（図５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作５１０（図５）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハを位置合わせする。さらに、図５に示すように、本実施形態では、動作５１０は動作５０６に続いて動作４０４、４０６、及び／または５０８と同時に行ってもよい。さらに、分かりやすく完全を期すため、動作４０４及び４０６は供給サイクル５００とＬＬＭサイクル４００（図４）との両方で示されている。しかし、認識されるように、動作４０４及び４０６は、供給サイクル５００とＬＬＭサイクル４００（図４）の両方ではなく何れか１つの一部として一度行われる。

一例として、動作４０４、４０６、及び５０２〜５１０は各々約５秒を要すると想定する。上記で説明したように、動作５１０は動作４０４、４０６、及び／または５０８と同時に行ってもよい。すなわち、この例では、供給サイクル５００は約３０秒を要する。しかし、認識されるように、動作４０４、４０６、及び５０２は同じ時間を費やす必要はない。さらに、こうした動作の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。さらに、こうした動作の継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。

要約すると、上記で提供した例では、処理サイクル３００（図３）は約８０秒を要し、ＬＬＭサイクル（図４）は約５０秒を要し、供給サイクル５００（図５）は約３０秒を要する。すなわち、この例では、処理サイクルが制限時間として決定される。

再び図２を参照すると、制限時間が決定されたので、動作２０４では、制限時間に基づいてスケジュールが生成される。この例では、ここで図６を参照すると、代表的なスケジュール６００が生成される。しかし、認識されるように、図６で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール１００の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール６００も、ツール１００の個々の構成と個々の適用例に応じて変化してもよい。例えば、前に指摘したように、ツール１００はロードロック・モジュール１０８なしで構成してもよい。すなわち、制限時間は処理サイクル３００（図３）と供給サイクル５００（図５）とに基づいて決定してもよい。すなわち、スケジュール６００はＬＬＭサイクル４００（図４）なしで生成してもよい。

しかし、この例では、ツール１００はロード・モジュール１０８を含むものと想定されている。さらに、上記で説明したように、処理サイクル３００（図３）、ＬＬＭサイクル４００（図４）、及び供給サイクル５００（図５）の継続時間はそれぞれ８０秒、５０秒、及び３０秒であるとされる。すなわち、処理サイクル３００（図３）が制限時間として決定される。すなわち、この例では、スケジュール６００は、処理サイクル３００（図３）、次にＬＬＭサイクル４００（図４）、次に供給サイクル５００（図５）に基づいて生成される。上記で指摘したが、認識されるように、制限時間を決定する動作は省略してもよい。そのかわり、スケジュール６００は、処理サイクル３００（図３）、ＬＬＭサイクル４００（図４）、及び供給サイクル５００（図５）の継続時間に直接基づいて決定してもよい。

本発明の１つの態様によれば、スケジュール６００は、処理サイクル３００（図３）、ＬＬＭサイクル４００（図４）、及び供給サイクル５００（図５）をそろえることによって生成してもよい。以下様々な代表的なスケジュールの記述に関連して説明されるように、２つのサイクルの間で共有しうる動作または一方のサイクル中のある動作の前後の他方のサイクルの動作を利用する２つのサイクルをそろえてもよい。

さらに、本発明の別の態様によれば、サイクルの継続時間によってサイクルをそろえる順序を決定してもよい。すなわち、制限時間として決定されるサイクルは残りのサイクルがそろえられるサイクルである。

この例では、図６に示すように、ＬＬＭサイクル４００（図４）が処理サイクル３００（図３）にそろえられ、次に供給サイクル５００（図５）がＬＬＭサイクル４００（図４）にそろえられる。さらに詳しく言うと、ロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２が、ウェーハ移送ユニット１１２（図１）がウェーハを処理モジュール１１６（図１）に配置する動作に対応する動作３０４に続くように、ＬＬＭサイクル４００（図４）が処理サイクル３００（図３）にそろえられる。さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット１０４が処理されたウェーハを第１のバッファ１１０（図１）から取り上げる動作に対応する動作４０４が、やはりロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２の完了に続くように、供給サイクル５００（図５）がＬＬＭサイクル４００（図４）にそろえられる。

しかし、前に触れたように、スケジュール６００は、ツール１００が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール１００によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。したがって、図７に見られるように、本発明の１つの態様によれば、スケジュール６００は開始スケジュール７００を含んでもよい。

さらに詳しく言うと、１つの実施形態では、開始スケジュール７００には動作７０２〜７２２が含まれる。動作７０２では、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作７０４（図７）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作７０６（図７）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作７０８では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第１のウェーハを位置合わせする。動作７１０（図７）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作７１２（図７）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作７１４（図７）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作７１６（図７）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作７１８（図７）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作７２０（図７）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作７２２（図７）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。さらに、図７に示すように、動作７２０は、ウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作７１４が開始される前に完了する。さらに、動作７２２は、ウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作７１４の後で開始される。

本発明の別の態様によれば、図８を参照すると、スケジュール６００は終了スケジュール８００を含んでもよい。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール８００は、ツール１００（図１）内で処理される最後のウェーハが、ツール１００（図１）内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。

図８に示すように、動作８０２〜８２６では、最後のウェーハがウェーハ・オリエンタ１０６（図１）から取り上げられ最後の２つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）から戻される間に、最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作８０２（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作８０４（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作８０６（図８）では、最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作８０８（図８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作８１０（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作８１２（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の２つ前のウェーハは動作３１０（図８）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作８１４（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作８１６（図８）では、ロードロック・モジュールは、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように排気される。動作８１８（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作８２０（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作８２２（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作８２４（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作８２６（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図８に示すように、動作８２８〜８４４では、最後のウェーハは、最後の１つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される間に、処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作８２８（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作８３０（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作８３２（図８）では、最後のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作８３４（図８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作８３６（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の１つ前のウェーハは動作８２６（図８）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作８３８（図８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように排気される。動作８４０（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作８４２（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作８４４（図８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図８に示すように、動作８４６〜８５０では、最後のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作８４６（図８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作８４８（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後のウェーハは動作８４４（図８）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作８５０（図８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。

すなわち、終了スケジュール６００では、（ウェーハ移送ユニット１０４（図１）がそれぞれ、最後の２つ前のウェーハ、最後の１つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロード・モジュール１０２（図１）に戻す動作に対応する）動作８１８、８４０、及び８５０は、処理モジュール１１６（図１）内でのウェーハの処理に続き同じ時間行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴は均一に保持できる。

上記の説明では、処理サイクル３００（図３）が制限時間であると想定されていた。以下の説明は、ＬＬＭサイクル４００（図４）または供給サイクル５００（図５）が制限時間として決定される適用例でスケジュール６００を生成する例を提供する。しかし、本発明の適用例の大部分では、処理サイクル３００（図３）は、処理モジュール１１６（図１）内でウェーハを処理する動作に対応する動作３１０（図３）として制限時間となる見込みが高く、最長の制限時間を有する見込みが高い。

図９を参照すると、一例として、処理サイクル３００を完了するには約４５秒を要すると想定する。さらに詳しく言うと、処理サイクル３００では、動作３０６は約２５秒を要する。また、ＬＬＭサイクル４００（図４）及び供給サイクル５００（図５）はそれぞれ約５０秒及び約３０秒を要すると想定する。従って、この例では、ＬＬＭサイクル４００（図４）が制限時間である。

ここで図１０を参照すると、スケジュール１０００はＬＬＭサイクル４００（図９）を制限時間として利用して生成すればよい。さらに詳しく言うと、図１０に示すように、（図９に示される）処理サイクル３００はＬＬＭサイクル４００（図４）にそろえられ、供給サイクル５００（図５）はＬＬＭサイクル４００（図４）にそろえられる。

この例では、ウェーハ移送ユニット１１２（図１）がウェーハを処理モジュール１１６（図１）に配置する動作に対応する動作３０４が、ロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２の前になるように、処理サイクル３００（図９）がＬＬＭサイクル（図４）にそろえられる。さらに、この例では、処理されたウェーハを処理モジュール１１６（図１）から取り出す動作に対応する動作３０８が、ロードロック・モジュール１０８（図１）が密閉され排気される動作に対応する動作４０８の完了に続くように、待機動作１００２が動作３０６に続いて提供される。すなわち、この例では、動作１００２は２５秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作１００２は動作３０６を延長する任意の適当な継続時間でよい。

この例では、次に、ウェーハ移送ユニット１０４が処理されたウェーハを第１のバッファ１１０（図１）から取り出す動作に対応する動作４０４が、やはりロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２の完了に続くように、供給サイクル５００（図５）が処理サイクル３００（図９）にそろえられる。

しかし、スケジュール１０００は、ツール１００（図１）が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール１０００によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。すなわち、本発明の１つの態様によれば、図１１を参照すると、スケジュール１０００は開始スケジュール１１００を含む。

さらに詳しく言うと、１つの実施形態では、開始スケジュール１１００には動作１１０２〜１１２２が含まれる。動作１１０２では、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１１０４（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１１０６（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１１０８（図１１）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第１のウェーハを位置合わせする。動作１１１０（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１１１２（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１１１４（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作１１１６（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作１１１８（図１１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作１１２０（図１１）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作１１２２（図１１）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。さらに、図１１に示すように、動作１１２０は、ウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作１１１４が開始される前に完了する。さらに、動作１１２２は、ウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作１１１４の後で開始される。

本発明の別の態様によれば、図１２を参照すると、スケジュール１０００は終了スケジュール１２００を含む。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール１２００は、ツール１００（図１）内で処理される最後のウェーハが、ツール１００（図１）内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。

図１２に示すように、動作１２０２〜１２２６では、最後のウェーハがウェーハ・オリエンタ１０６（図１）から取り上げられ最後の２つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される間に、最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１２０２（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１２０４（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作１２０６（図１２）では、最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作１００２（図１２）では、最後の１つ前のウェーハは処理モジュール１１６内で待機する。動作１２０８（図１２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１２１０（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１２１２（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の２つ前のウェーハは動作３１０（図１２）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作１２１４（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作１２１６（図１２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように排気される。動作１２１８（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作１２２０（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作１２２２（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作１２２４（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作１２２６（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図１２に示すように、動作１２２８〜１２４４では、最後のウェーハは、最後の１つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される間に、処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１２２８（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１２３０（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作１２３２（図１２）では、最後のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作１００２（図１２）では、最後のウェーハは処理モジュール１１６内で待機する。動作１２３４（図１２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１２３６（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の１つ前のウェーハは動作１２２６（図１２）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作１２３８（図１２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作１２４０（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作１２４２（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作１２４４（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図１２に示すように、動作１２４６〜１２５０では、最後のウェーハはロード・モジュール１０２（図１）に戻される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１２４６（図１２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１２４８（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後のウェーハは動作１２４４（図１２）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作１２５０（図１２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。

すなわち、終了スケジュール１２００では、（ウェーハ移送ユニット１０４（図１）がそれぞれ、最後の２つ前のウェーハ、最後の１つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロード・モジュール１０２（図１）に戻す動作に対応する）動作１２１８、１２４０、及び１２５０は、処理モジュール１１６（図１）内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。

上記で提供した例では、処理サイクル３００（図９）はＬＬＭサイクル４００（図４）より短い継続時間を有した。しかし、認識されるように、処理サイクル３００（図９）がＬＬＭサイクル４００（図４）と等しいかそれより長い適用例では、動作３０６の後に適当な待機動作１００２が続いてもよい。例えば、動作３０６が約３０秒を要すると想定する。すなわち、処理サイクル３００（図９）は約５０秒を要する。処理サイクル３００（図９）の継続時間はＬＬＭサイクル４００（図４）の継続時間と等しいが、好適には、動作４０８が完了した後に動作３０８が行われるように、動作３０６の後に待機動作１００２が続く。この例では、待機動作１００２は約２０秒間となろう。

ここで図１３を参照すると、一例として、供給サイクル５００を完了するには約９０秒を要すると想定する。さらに詳しく言うと、供給サイクル５００では、動作５０２及び５０８は各々完了するには約３５秒を要する。また、処理サイクル３００（図３）及びＬＬＭサイクル（図４）はそれぞれ約７０秒及び約５０秒を要する。従って、この例では、供給サイクル５００が制限時間として決定される。

ここで図１４を参照すると、スケジュール１４００は（図１３に示される）供給サイクル５００を制限時間として利用して生成すればよい。さらに詳しく言うと、図１３に示すように、処理サイクル３００（図３）は供給サイクル５００（図１３）にそろえられ、次にＬＬＭサイクル４００（図４）は供給サイクル５００（図１３）及び処理サイクル３００（図３）にそろえられる。

この例では、ウェーハ移送ユニット１０４（図１）がウェーハをロード・モジュール１０２（図１）から取り上げる動作に対応する動作５０２が、ウェーハ移送ユニット１１２（図１）がウェーハを第２のバッファ１１４（図１）から取り上げる動作に対応する動作３０２と同時に開始されるように、処理サイクル３００（図３）が供給サイクル５００（図１３）にそろえられる。また、この例では、ロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２が、ウェーハ移送ユニット１１２（図１）がウェーハを処理モジュール１１６（図１）に配置する動作に対応する動作３０４に続くように、ＬＬＭサイクル４００（図４）が処理サイクル３００（図３）にそろえられる。

さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット１０４（図１）がウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作に対応するＬＬＭサイクル４００（図４）の動作４０４が供給サイクル５００（図１３）の動作４０４とそろえるように、ＬＬＭサイクル４００（図４）が供給サイクル５００（図１３）にそろえられる。すなわち、この例では、ロードロック・モジュール１０８（図１）が通気される動作に対応する動作４０２に続いて待機動作１４０２が提供される。この例では、待機動作１４０２は約１５秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作１４０２は任意の適当な長さでよい。

さらに、この例では、ウェーハ移送ユニット１１２（図１）が処理されたウェーハを処理モジュール１１６（図１）から取り上げる動作に対応する動作３０８が、ロードロック・モジュール１０８（図１）が排気される動作に対応する動作４０８の完了に続くように、動作３０６に続いて待機動作１４０４が提供される。この例では、待機動作１４０４は約５秒を要する。しかし、認識されるように、待機動作１４０４は任意の適当な長さでよい。

しかし、スケジュール１４００はツール１００（図１）が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール１４００によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。すなわち、本発明の１つの態様によれば、図１５を参照すると、スケジュール１４００は開始スケジュール１５００を含む。

さらに詳しく言うと、１つの実施形態では、開始スケジュール１５００には動作１５０２〜１５２２が含まれる。動作１５０２では、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１５０４（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１５０６（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１５０８（図１５）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第１のウェーハを位置合わせする。動作１５１０（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１５１２（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１５１４（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作１５１６（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作１５１８（図１５）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作１５２０（図１５）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作１５２２（図１５）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。さらに、図１５に示すように、動作１５２０は、ウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する動作１５１４が開始される前に完了する。さらに、動作１５２２は、ウェーハを第１のバッファ１１０（図１）上に配置する動作１５１４の後で開始される。

本発明の別の態様によれば、図１６を参照すると、スケジュール１４００は終了スケジュール１６００を含む。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール１６００は、ツール１００（図１）内で処理される最後のウェーハが、ツール１００（図１）内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。

図１６に示すように、動作１６０２〜１６２６では、最後のウェーハがウェーハ・オリエンタ１０６（図１）から取り上げられ最後の２つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される間に最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１６０２（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１６０４（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作１６０６（図１６）では、最後の１つ前のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作１４０４（図１６）では、最後の１つ前のウェーハは処理モジュール１１６内で待機する。動作１６０８（図１６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１６１０（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１６１２（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の２つ前のウェーハは動作３１０（図１６）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。また、待機動作１４０２（図１６）は、ウェーハ移送ユニット１０４が最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる位置になるまで動作１６０８（図１６）を延長することに注意されたい。動作１６１４（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作１６１６（図１６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくかつツール１００内の圧力より小さくなるように排気される。動作１６１８（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作１６２０（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作１６２２（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作１６２４（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作１６２６（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図１６に示すように、動作１６２８〜１６４４では、最後のウェーハは、最後の１つ前のウェーハがロード・モジュール１０２（図１）に戻される間に処理モジュール１１６（図１）内で処理される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１６２８（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１６３０（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作１６３２（図１６）では、最後のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作１４０４（図１６）では、最後の１つ前のウェーハは処理モジュール１１６内で待機する。動作１６３４（図１６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１６３６（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後の１つ前のウェーハは動作１６２６（図１６）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。また、待機動作１４０２（図１６）は、ウェーハ移送ユニット１０４が最後の１つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる位置になるまで動作１６３４（図１６）を延長することに注意されたい。動作１６３８（図１６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように排気される。動作１６４０（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の１つ前のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。動作１６４２（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作１６４４（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

図１６に示すように、動作１６４６〜１６５０では、最後のウェーハはロード・モジュール１０２（図１）に戻される。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、動作１６４６（図１６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１６４８（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。最後のウェーハは動作１６４４（図１６）で第１のバッファ１１０上に配置されたことに注意されたい。動作１６５０（図１６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをロード・モジュール１０２に配置する。

すなわち、終了スケジュール１６００では、（ウェーハ移送ユニット１０４（図１）がそれぞれ、最後の２つ前のウェーハ、最後の１つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロード・モジュール１０２（図１）に戻す動作に対応する）動作１６１８、１６４０、及び１６５０は、処理モジュール１１６（図１）内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に指摘したように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。

上記で提供した例では、供給サイクル５００（図１３）は処理サイクル３００（図３）より長い継続時間を有した。しかし、認識されるように、供給サイクル５００（図１３）が処理サイクル３００（図３）と等しいかそれより短い適用例では、動作４０２の後に適当な待機動作１４０２が続いてもよい。例えば、図１７を参照すると、動作５０２及び５０８は各々約２５秒を要すると想定する。すなわち、処理サイクル３００（図３）の継続時間は供給サイクル５００（図１３）より長い。しかし、好適には、ウェーハ移送ユニット１０４（図１）が動作４０４を行う位置にあるように、動作４０２の後に待機動作１４０２が続く。この例では、待機動作１４０２は約５秒間となろう。

再び図２を参照すると、制限時間に基づいてスケジュールを開発して、動作２０６で、そのスケジュールを実行する。上記で説明したように、再び図１を参照すると、１つの代表的な実施形態では、ツール１００は、スケジュールを実行するよう構成された適当なコンピュータ・ハードウェア及びソフトウェアを有する制御モジュール１１８を含んでもよい。

本発明の１つの態様によれば、スケジュールの実行は、イベント駆動型、タイマ駆動型、またはイベント及びタイマ駆動型の組合せでよい。以下説明するように、実行すべき個々のスケジュールに応じて、スケジュールを実行するこうした方式の１つが好適になりうる。

イベント駆動型の実行では、スケジュールの動作は別の動作の実行に応答して実行される。例えば、図６を参照すると、スケジュール６００では、動作４０２の実行は動作３０４の完了によってトリガすればよい。さらに詳しく言うと、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１１２がウェーハを処理モジュール１１６に配置し終えると（図６の動作３０４）、ロードロック・モジュール１０８は通気を開始する（図６の動作４０２）。１つの代表的な実施形態では、ウェーハ移送ユニット１１２がウェーハを処理モジュール１１６に配置する動作を完了した時制御モジュール１１８に信号を送るセンサをロードロック・モジュール１０８及び／または処理モジュール１１６内に提供する。そして制御モジュール１１８は通気を開始する適当な制御信号をロードロック・モジュール１０８に送る。

イベント駆動型の実行の１つの利点は、処理時間、メモリ空間等といったコンピュータ・リソースの利用が少なくてよいことである。さらに、ウェーハ移送ユニット１０４の能力が時間制限である場合、イベント駆動型はタイマ駆動型より高速に実行される。例えば、図１４に示されるスケジュール１４００はタイマ駆動型ではなくイベント駆動型を利用して実行すればよい。

タイマ駆動型では、スケジュールの動作は所定の時間設定または間隔で実行される。例えば、再び図６を参照すると、スケジュール６００では、動作３０４及び４０２は、それぞれ５秒及び１０秒といった個々の時間設定で実行すればよい。また、動作４０４は動作３０４の５秒後に実行してもよい。すなわち、制御モジュール１１８はタイミング機構を含んでもよい。

タイマ駆動型実行の１つの利点は、ウェーハの熱履歴のより高い均一性を提供できることである。すなわち、ウェーハ移送ユニット１０４の能力が時間制限でない場合、厳密なイベント駆動型実行よりもタイマ駆動型実行が好適である。例えば、図６に示されるスケジュール６００はイベント駆動型ではなくタイマ駆動型を利用して実行すればよい。

上記で指摘したように、別の代替案はイベント駆動型及びタイマ駆動型の組合せであり、その場合一部の動作はイベント駆動型で実行され他の動作はタイマ駆動型で実行される。例えば、再び図６を参照すると、スケジュール６００では、動作４０２、及び５０２の実行はタイマ駆動型でよいが、スケジュール６００の残りの動作の実行はイベント駆動型である。

さらに詳しく言うと、動作３０２は、スケジュール６００の前の実行に由来する動作３１０の完了によってトリガしてもよい。すなわち、図１を参照すると、ウェーハ移送ユニット１１２は、前に処理されたウェーハを第１のバッファ１１０上に配置した後未処理のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。

再び図６を参照すると、動作４０２は特定の時間設定または間隔で実行される。図６に示すように、動作４０２は、スケジュール６００の実行が最初に開始されてから１０秒後に実行される。動作４０４は動作４０２が完了すると実行される。すなわち、図１を参照すると、ロードロック・モジュール１０８は、スケジュール６００の実行が始まってから１０秒過ぎたところで通気を開始する。しかし、ウェーハ移送ユニット１０４は、ロードロック・モジュール１０８が通気を完了して初めて処理されたウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。

イベント駆動型及びタイマ駆動型を組み合わせて実行することの１つの利点は、コンピュータ・リソースの利用を少なくしつつ熱履歴のより高い均一性が維持できることである。すなわち、図６に示されるスケジュール６００は好適には、イベント駆動型及びタイマ駆動型の組合せを利用して実行される。

図１を参照すると、これまで１つのロードロック・モジュール１０８及び処理モジュール１１６を有するツール１００に関連してウェーハの処理に関するスケジュールの生成が説明された。しかし、前に触れたように、ツール１００は任意の数のロードロック・モジュール１０８及び処理モジュール１１６を備えるよう構成してもよい。以下代替の代表的な実施形態に関連して代表的なするように、１つのロードロック・モジュール１０８及び処理モジュール１１６を有するツール１００について図２で示され上記で説明されたスケジュール生成処理を利用して、多数のロードロック・モジュール１０８及び処理モジュール１１６を有するツール１００についてのスケジュールを生成してもよい。

図１８を参照すると、１つの代替実施形態では、追加のロードロック・モジュール１８０８及び処理モジュール１８１６を有するツール１００が示される。認識されるように、処理モジュール１１６及び１８１６は同じかまたは異なったウェーハ処理動作を行うことができる。さらに、処理モジュール１１６及び１８１６は並列または直列に動作してもよい。以下さらに詳細に説明するように、処理モジュール１１６及び１８１６が並列に動作する場合、ウェーハは処理モジュール１１６または処理モジュール１８１６の何れかで処理される。それと対照的に、処理モジュール１１６及び１８１６が直列に動作する場合、ウェーハは処理モジュール１１６及び処理モジュール１８１６の両方で処理される。

便宜上かつわかりやすくするため、処理サイクル３００（図３）は処理モジュール１１６及び処理モジュール１８１６についての処理サイクルを示すと想定する。同様に、ＬＬＭサイクル４００（図４）及び供給サイクル５００は処理モジュール１１６及び処理モジュール１８１６についてのＬＬＭサイクル及び供給サイクルを示すと想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール１１６及び１８１６は異なった処理サイクル、ＬＬＭサイクル、及び／または供給サイクルを有してもよい。さらに、上記で説明したように、こうしたサイクルの継続時間は明示的に計算してもよく、また経験的に決定してもよい。

上記で説明したように、図２を参照すると、スケジュール生成処理２００を利用して、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）を有するツール１００におけるウェーハ移動スケジュールを生成してもよい。一例として、ここでは処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）が並列に動作すると想定する。すなわち、ウェーハは処理モジュール１１６（図１８）または１８１６（図１８）の何れかで処理され、両方で処理されることはない。

図２に示すように、動作２０２で、制限時間が決定される。上記で指摘したように、この例では、処理モジュール１１６及び１８１６は、それぞれ図３、図４、及び図５で示されるような処理、ＬＬＭ、及び供給サイクルを有すると想定する。すなわち、本発明の前の実施形態に関連して説明したように、処理サイクル３００（図３）が制限時間として決定される。

動作２０２では、制限時間に基づいてスケジュールが生成される。ここで図１９を参照すると、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）を有するツール１００（図１８）内でウェーハを処理するスケジューリングについての代表的なスケジュール１９００が示される。しかし、認識されるように、図１９で示され説明される個々の動作、動作の順序及び動作の継続時間はツール１００（図１８）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール１９００も、ツール１００（図１８）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。

スケジュール１９００の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図１８を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作１９０２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１９０４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作１９０６（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作１９０８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作１９１０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作１９１２（図１９）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１９２０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１９２２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１９２４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１９４４（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ２）が位置合わせされる。動作１９２６（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は、第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り出す。動作１９２８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作１９１４（図１９）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作１９１６（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作１９１８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作１９３０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ４）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作１９５６（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作１９５８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６に配置する。動作１９６０（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作１９６２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作１９６４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作１９５２（図１９）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作１９３２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１９３４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１９３６（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作１９４６（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ６）が位置合わせされる。動作１９３８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ７）を取り上げる。動作１９４０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作１９５４（図１９）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作１９４８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作１９５０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作１９４２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図１９を参照すると、動作１９８０〜１９９２は処理モジュール１１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作１９８０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１９８２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を処理モジュール１１６に配置する。動作１９８４（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ２）が処理モジュール１１６内で処理される。動作１９８８（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１９９０（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１９９２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。

再び図１９を参照すると、動作１９７０〜１９７６は処理モジュール１８１６についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作１９７０（図１９）では、ウェーハ（ウェーハ７）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作１９７２（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作１９７４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作１９７６では、ロードロック・モジュール１８０８は密閉され排気される過程にある。

スケジュール１９００は、ツール１００が定常状態で動作している、すなわち、スケジュール１９００によって処理されるウェーハが処理される最初または最後のウェーハでないと想定している。したがって、本発明の１つの態様によれば、図２０のように、スケジュール１９００は開始スケジュール２０００を含んでもよい。

さらに詳しく言うと、１つの実施形態では、開始スケジュール２０００には動作２００２〜２０１０４が含まれる。動作２００２では、図１８を参照し処理モジュール１１６に関連して、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２００４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２００６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２０３２（図２０）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第１のウェーハを位置合わせする。動作２００８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２０１０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２０２２（図２０）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作２０１２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作２０２４（図２０）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。動作２０２６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２０２８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作２０３６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２０３８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを処理モジュール１１６内に配置する。動作２０４０（図２０）では、第１のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作２０４２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作２０４４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第１のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

処理モジュール１８１６に関連して、動作２０１４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第３のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２０１６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２０１８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第３のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２０３０（図２０）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第３のウェーハを位置合わせする。動作２０３４（図２０）では、ロードロック・モジュール１８０８が通気される。動作２０２０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第２のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２０９４（図２０）では、ロードロック・モジュール１８０８が密閉され排気される。動作２０７２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第２のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２０７４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第２のウェーハを第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２０９６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第１のウェーハを第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２０９８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第１のウェーハを処理モジュール１８１６内に配置する。動作２０１０４（図２０）では、第２のウェーハが処理モジュール１８１６内で処理される。

図２０を参照すると、動作２０１０４はスケジュール１９００の動作１９７０として継続されることに注意されたい。すなわち、再び図１８を参照すると、動作１９７２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第２のウェーハを処理モジュール１８１６から取り上げる。動作１９７４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第２のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。

再び処理モジュール１１６に関連して、動作２０５０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第４のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２０５２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第３のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２０５４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第４のウェーハを位置合わせす装置１０６上に配置する。動作２０７６（図２０）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第４のウェーハを位置合わせする。動作２０４６（図２０）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作２０５６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第３のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作２０４８（図２０）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。動作２０７８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第３のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２０８０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第３のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。動作１９０２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第３のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作１９０４（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１１２は第３のウェーハを処理モジュール１１６に配置する。動作１９０６（図２０）では、第３のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。

再び処理モジュール１８１６に関連して、動作２０５８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第５のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２０６０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第４のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２０６２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第５のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２０８２（図２０）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は第５のウェーハを位置合わせする。動作２０１００（図２０）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作２０６８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第４のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２０１０２（図２０）では、ロードロック・モジュール１８０８が密閉され排気される。

図２０を参照すると、動作２０１０２はスケジュール１９００の動作１９７６として継続されることに注意されたい。再び図１８を参照すると、動作２０９０（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第４のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２０９２（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第４のウェーハを第２のバッファ１８１４上に配置する。動作１９５６（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第４のウェーハを第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作１９５８（図２０）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は第４のウェーハを処理モジュール１８１６に配置する。動作１９６０（図２０）では、第４のウェーハが処理モジュール１８１６内で処理される。

本発明の別の態様によれば、図２１を参照すると、スケジュール１９００は終了スケジュール２１００を含んでもよい。以下さらに詳細に説明するように、終了スケジュール２１００は、ツール１００（図１８）内で処理される最後のウェーハが、ツール１００（図１８）内で処理された前のウェーハと同じ熱履歴を有するように生成される。

処理モジュール１１６（図１８）に関連して、図２１に示すように、最後の４つ前のウェーハが動作１９８４で処理される。図１８を参照すると、動作２１０２（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の４つ前のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作２１０４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の４つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

動作１９８８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをロード・モジュール１０２から取り上げる。動作１９９０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作１９９２（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２１２２（図２１）では、ウェーハ・オリエンタ１０６は最後のウェーハを位置合わせする。動作２１０６（２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。動作２１０８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の６つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２１１２（図２１）では、ウェーハ移送ユニットは最後の６つ前のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。動作２１１０（図２１）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。動作２１９２（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２１９４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを第２のバッファ１１４上に配置する。

処理モジュール１８１６に関連して、動作２１３２（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後の３つ前のウェーハを第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２１３４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後の３つ前のウェーハを処理モジュール１８１６内に配置する。動作２１３６（図２１）では、最後の３つ前のウェーハが処理モジュール１８１６内で処理される。動作２１６４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後の３つ前のウェーハを処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２１６６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後の３つ前のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２１１４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２１２４（図２１）では、ロードロック・モジュール１８０８が通気される。動作２１１６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の５つ前のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。最後の５つ前のウェーハは動作１９６２（図２１）で処理モジュール１８１６から取り出され、動作１９６４（図２１）で第１のバッファ１８１０上に配置されたことに注意されたい。動作２１１８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２１２０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の５つ前のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。動作２１３０（図２１）では、ロードロック・モジュール１８０８が密閉され排気される。動作２１２６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２１２８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを第２のバッファ１８１４上に配置する。

処理モジュール１１６に関連して、動作２１３８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２１４０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを処理モジュール１１６内に配置する。動作２１４２（図２１）では、最後の２つ前のウェーハが処理モジュール１１６内で処理される。動作２１４４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを処理モジュール１１６から取り上げる。動作２１４６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１１２は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２１４８（図２１）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作２１５０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の４つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２１５４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の４つ前のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。動作２１５２（図２１）では、ロードロック・モジュール１０８が密閉され排気される。

処理モジュール１８１６に関連して、動作２１６８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２１７０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを処理モジュール１８１６内に配置する。動作２１７２（図２１）では、最後のウェーハが処理モジュール１８１６内で処理される。動作２１７４（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２１７６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は最後のウェーハを第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２１６０（図２１）では、ロードロック・モジュール１８０８が通気される。動作２１５６（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の３つ前のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２１５８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の３つ前のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。動作２１６２（図２１）では、ロードロック・モジュール１８０８が密閉され排気される。

再び処理モジュール１１６に関連して、動作２１８６（図２１）では、ロードロック・モジュール１０８が通気される。動作２１８８（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハを第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２１９０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後の２つ前のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。

再び処理モジュール１８１６に関連して、動作２１７８（図２１）では、ロードロック・モジュール１８０８が通気される。動作２１８０（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１８０４は最後のウェーハを第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２１８２（図２１）では、ウェーハ移送ユニット１０４は最後のウェーハをロード・モジュール１０２内に配置する。

すなわち、終了スケジュール２１００では、（ウェーハ移送ユニット１０４（図１８）がそれぞれ、最後の６つ前のウェーハ、最後の５つ前のウェーハ、最後の４つ前のウェーハ、最後の３つ前のウェーハ、最後の２つ前のウェーハ、及び最後のウェーハをロード・モジュール１０２（図１８）に戻す動作に対応する）動作２１１２、２１２０、２１５４、２１５８、２１９０、及び２１８２は、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）内でのウェーハの処理に続き同じ時間で行われる。すなわち、前に触れたように、これらのウェーハに関する熱履歴の均一性が維持できる。

再び図２を参照すると、制限時間に基づいてスケジュールを開発したので、動作２０６で、そのスケジュールを実行する。上記でさらに詳細に説明したように、再び図１を参照すると、１つの代表的な実施形態では、ツール１００はスケジュールを実行するよう構成された適切なハードウェア及びソフトウェアを有する制御モジュール１１８を含んでもよい。また、スケジューラはスケジュールを実行するよう構成された適切なハードウェア及びソフトウェアを有する独立したユニットとして構成してもよい。

図１８を参照すると、上記の説明では、処理モジュール１１６及び１８１６内でのウェーハ処理動作の継続時間は同じであると想定された。さらに、上記で説明したように、処理モジュール１１６及び１８１６についてのスケジュールは一緒に生成された。しかし、認識されるように、処理モジュール１１６及び１８１６内でのウェーハ処理動作の継続時間は個々の適用例に応じて変化してもよい。また、認識されるように、両方の処理モジュール１１６及び１８１６を利用するスケジュールが生成されツール１００上で実行される時、処理モジュール１１６または１８１６の何れかを利用するスケジュールがすでにツール１００上で動作していてもよい。

一例として、処理モジュール１１６及び１８１６内での処理サイクルの継続時間がそれぞれ約８０秒及び１１０秒であると想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール１１６についての処理サイクルの継続時間は処理モジュール１８１６のものより長くてもよい。

一例として、両方の処理モジュール１１６及び１８１６を利用するスケジュールが生成され実行される時、スケジュール６００（図６）もすでに処理モジュール１１６について生成され動作していると想定する。しかし、認識されるように、処理モジュール１８１６は処理モジュール１１６が利用される時に動作していてもよい。

ここで、処理モジュール１８１６内での処理サイクルは処理モジュール１１６内のものより優先されると想定する。例えば、適用例によっては、処理モジュール１１６内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するより、処理モジュール１８１６内でウェーハを迅速に処理する方が望ましいことがある。こうした適用例では、より短い処理サイクルを有する処理モジュール１１６の処理サイクル間に待機期間が提供される。

例えば、ここで図２２を参照すると、スケジュール２２００では、処理モジュール１８１６（図１８）についての処理サイクルが優先されると想定され、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）についての処理サイクルの継続時間はそれぞれ約８０秒及び約１１０秒である。すなわち、スケジュール２２００では、処理モジュール１１６（図１８）内の処理サイクル間に待機期間が提供されるが、これは処理モジュール１８１６（図１８）と処理モジュール１１６（図１８）との処理サイクルの持続期間の差に等しく、この例では約３０秒である。

ここでスケジュール２２００の様々な動作を以下さらに詳細に説明する。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００（図１８）内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００（図１８）内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図１８を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作２２０２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２２０４（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作２２０６（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２２０８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２２１０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２２１２（図２２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２２２０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２２２２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２２２４（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２２４４（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ２）が位置合わせされる。動作２２２６（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は、第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り出す。動作２２２８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２２１４（図２２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２２１６（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２２１８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２２３０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ４）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作２２５６（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２２５８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６に配置する。動作２２６０（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２２６２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２２６４（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２２５２（図２２）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２２３２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２２３４（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２２３６（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２２４６（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ６）が位置合わせされる。動作２２３８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ７）を取り上げる。動作２２４０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２２５４（図２２）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２２４８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２２５０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２２４２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２２を参照すると、動作２２８０〜２２９２は処理モジュール１１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２２８０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２２８２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を処理モジュール１１６に配置する。動作２２８４（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ２）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２２８６（図２２）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２２８８（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２２９０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２２９２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。

再び図２２を参照すると、動作２２７０〜２２７４は処理モジュール１８１６についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２２７０（図２２）では、ウェーハ（ウェーハ７）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２２７２（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２２７４（図１９）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

前に指摘し図２２に示したように、処理モジュール１１６についての処理サイクルには、処理モジュール１８１６についての処理サイクルと処理モジュール１１６についての処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間が含まれる。図２２に示したように、この例では、待機期間の継続時間は約３０秒である。

再び図１８を参照すると、ここで、処理モジュール１１６についての処理サイクルは処理モジュール１８１６についての処理サイクルより優先されると想定する。例えば、適用例によっては、処理モジュール１１６内で処理されたウェーハの熱履歴を維持することが望ましいことがある。適用例によっては、以下説明するように、優先される処理サイクルの継続時間が他の処理サイクルより短い場合、優先される処理サイクルが繰り返され、優先される処理サイクルと他の処理サイクルとの間に待機期間が提供される。

例えば、ここで図２３を参照すると、スケジュール２３００では、処理モジュール１１６（図１８）についての処理サイクルが優先されると想定され、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）についての処理サイクルの継続時間はそれぞれ約８０秒及び約１１０秒である。すなわち、スケジュール２３００では、処理モジュール１１６（図１８）内の処理サイクルが繰り返され、処理モジュール１８１６（図１８）内の処理サイクル間に待機期間が提供されるが、これは処理モジュール１１６（図１８）内の処理サイクルの継続時間の２倍と処理モジュール１８１６（図１８）内の処理サイクルとの間の差に等しく、この例では約３０秒である。

ここでスケジュール２３００の様々な動作を以下さらに詳細に説明する。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００（図１８）内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００（図１８）内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図１８を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作２３０２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２３０４（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作２３０６（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２３０８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２３１０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２３１２（図２３）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２３２０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２３２２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２３２４（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２３４４（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ２）が位置合わせされる。動作２３２６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は、第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り出す。動作２３２８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２３１４（図２３）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２３１６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２３１８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２３３０（図２２）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ４）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作２３５６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２３５８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６に配置する。動作２３６０（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２３６２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２３６４（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２３５２（図２３）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２３３２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２３３４（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２３３６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２３４６（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ６）が位置合わせされる。動作２３３８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ７）を取り上げる。動作２３４０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２３５４（図２３）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２３４８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２３５０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２３４２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２３を参照すると、動作２３８０〜２３１１０は処理モジュール１１６（図１８）についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２３８０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２３８２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６に配置する。動作２３８４（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ３）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２３１００では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２３１０２では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。

さらに、動作２３８６では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２３８８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２３９０（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２３９２（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２３１１０（図２３）では、ウェーハ（ウェーハ８）が位置合わせされている。動作２３９４（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１）を取り上げる。動作２３９６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２３１０４（図２３）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２３１０６（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２３１０８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２３９８（図２３）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１）をロード・モジュール１０２に配置する。

前に指摘し図２３に示したように、処理モジュール１８１６（図１８）についての処理サイクルには、処理モジュール１１６（図１８）についての処理サイクルの継続時間の２倍と処理モジュール１８１６（図１８）についての処理サイクルの継続時間との間の差に等しい待機期間が含まれる。図２３に示したように、この例では、待機期間の持続期間は約５０秒である。

再び図１８を参照すると、前に指摘したように、ツール１００の処理モジュール１１６及び１８１６は直列に動作するよう構成してもよい。例えば、ウェーハはまず処理モジュール１１６内で処理し次に処理モジュール１８１６内で処理してもよい。認識されるように、ウェーハはまず処理モジュール１８１６内で処理し次に処理モジュール１１６内で処理してもよい。

ここで図２４を参照すると、処理モジュール１１６（図１８）及び１８１６（図１８）内でウェーハを直列処理するスケジューリングについての代表的なスケジュール２４００が示される。さらに詳しく言うと、この例では、ウェーハはまず処理モジュール１１６（図１８）内で処理され次に処理モジュール１８１６（図１８）内で処理される。認識されるように、図２４で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール１００（図１８）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール２４００も、ツール１００（図１８）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。

スケジュール２４００の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００（図１８）内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図１８を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作２４０２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２４０４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作２４０６（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２４０８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２４１０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２４１２（図２４）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２４２０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２４２２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２４２４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２４４４（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ２）が位置合わせされる。動作２４２６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り出す。動作２４２８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２４１４（図２４）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２４１６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２４１８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作２４５６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は、処理モジュール１１６内で前に処理されたが処理モジュール１８１６内でまだ処理されていないウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２４５８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２はこのウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２４６０（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２４６２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２４６４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２４５２（図２４）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２４３８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ６）を取り上げる。動作２４４０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理モジュール１１６内で前に処理されたウェーハ（ウェーハ４）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２４５４（図２４）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２４４８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ４）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２４５０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ４）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２４４２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２４を参照すると、動作２４８０〜２４１１０は処理モジュール１１６（図１８）についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２４８０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２４８２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６に配置する。動作２４８４（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ３）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２４１００では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２４１０２では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。

さらに、動作２４８６では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２４８８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２４９０（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２４９２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ７）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２４１１０（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ７）が位置合わせされる。動作２４９４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１）を取り上げる。動作２４９６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２４１０４（図２４）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２４１０６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２４１０８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１１４上に配置する。

再び図２４を参照すると、動作２４１１６〜２４１２８は処理モジュール１８１６（図１８）についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２４１１６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は、処理モジュール１１６内で前に処理されたが処理モジュール１８１６（ウェーハ４）内でまだ処理されていないウェーハ（ウェーハ４）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２４１１８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２はこのウェーハ（ウェーハ４）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２４１２０（図２４）では、ウェーハ（ウェーハ４）が処理モジュール１８１６内で処理される。

動作２４１２２（図２４）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２４１１２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ５）を取り上げる。動作２４１１４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理モジュール１１６内で前に処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２４１２４（図２４）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２４１２６（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２４１２８（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２４９８（図２４）では、処理されたウェーハ（ウェーハ５）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２４を参照すると、動作２４７２及び２４７４は処理モジュール１８１６（図１８）についての前の処理サイクルの完了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２４７２（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ６）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２４７４（図２４）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

以下の説明と関連する図面では、本発明の代替実施形態を３つ及び４つの処理モジュールを有するツール１００（図２５及び図２７）に関連して説明し図示する。しかし、認識されるように、ツール１００（図２５及び図２７）は任意の数の処理モジュールを含んでもよい。

ここで図２５を参照すると、ロードロック・モジュール１０８、１８０８、及び２５０８、及び処理モジュール１１６、１８１６、及び２５１６を有するツール１００が示される。ここで図２６を参照すると、図２５に示されるツール１００内でのウェーハの処理をスケジューリングする代表的なスケジュール２６００が示される。しかし、認識されるように、図２６で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール１００（図２５）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール２６００も、ツール１００（図２５）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。

スケジュール２６００の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００（図２５）内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００（図２５）内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図２５を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作２６５０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２６５１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作２６５２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２６５３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２６５４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２６５５（図２６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２６０８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６０９（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６１０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６３８（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ２）を位置合わせする。動作２６１１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り上げる。動作２６１２（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２６５６（図２６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６５７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２６５８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２６１３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ４）をロード・モジュールに配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作２６６０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２６６１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２６６２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２６６３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２６６４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２６６５（図２６）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２６１４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６１５（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６１６（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６３９（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ６）を位置合わせする。動作２６１７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ７）を取り上げる。動作２６１８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２６６６（図２６）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６６７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２６６８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２６１９（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール２５１６に関連して、動作２６７０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第２のバッファ２５１４から取り上げる。動作２６７１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を処理モジュール２５１６内に配置する。動作２６７２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ８）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２６７３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を処理モジュール２５１６から取り上げる。動作２６７４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０上に配置する。

動作２６７５（図２６）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２６２０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６２１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６２２（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６４０（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ９）を位置合わせする。動作２６２３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２５１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２５１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を取り上げる。動作２６２４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ２５１０上に配置する。動作２６７６（図２６）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力が処理モジュール２５１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６７７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ２５１０から取り上げる。動作２６７８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第２のバッファ２５１４上に配置する。動作２６２５（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２６を参照すると、動作２６８０〜２６８８は処理モジュール１１６についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２５を参照すると、動作２６８０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２６８１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６に配置する。動作２６８２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ３）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２６８３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２６８４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２６８５（図２６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２６２６（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６２７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ９）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６２８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（図１１）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６４１（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１１）を位置合わせする。動作２６２９（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０を、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１）を取り上げる。動作２６３０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２６８６（図２６）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６８７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２６８８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２６３１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２６を参照すると、動作２６９０〜２６９５は処理モジュール１８１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２５を参照すると、動作２６９０（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２６９１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２６９２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ２）が処理モジュール１８１６内で処理される。

動作２６９５（図２６）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２６３２（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６３３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ１１）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６３４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６４２（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１２）を位置合わせする。動作２６３５（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ５）を取り上げる。動作２６３６（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

再び図２６を参照すると、動作２６１００〜２６１０５は処理モジュール２５１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２５を参照すると、動作２６１００（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第２のバッファ２５１４から取り上げる。動作２６１０１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を処理モジュール２５１６内に配置する。動作２６１０２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ６）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２６１０５（図２６）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。

再び図２６を参照すると、動作２６１１２〜２６１１８は処理モジュール１８１６についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図１８を参照すると、動作２６１１２では、ウェーハ（ウェーハ７）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２６１１３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２６１１４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２６１１６（図２６）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６１１７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２６１１８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２６０１（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で前に処理されたウェーハ（ウェーハ１３）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２６を参照すると、動作２６１２２〜２６１２８は処理モジュール２５１６についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２５を参照すると、動作２６１２２（図２６）では、ウェーハ（ウェーハ１０）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２６１２３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を処理モジュール２５１６から取り上げる。動作２６１２４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を第１のバッファ２５１０上に配置する。

動作２６０２（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２６０３（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ８）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２６０４（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２６３７（図２６）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ３）を位置合わせする。動作２６０５（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２５１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２５１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１４）を取り上げる。動作２６０６（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０上に配置する。動作２６１２６（図２６）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力が処理モジュール２５１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２６１２７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０から取り上げる。動作２６１２８（図２６）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を第２のバッファ２５１２上に配置する。動作２６０７（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１４）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで図２７を参照すると、ロードロック・モジュール１０８、１８０８、２５０８、及び２７０８、及び処理モジュール１１６、１８１６、２５１６、及び２７１６を有するツール１００が示される。ここで図２８を参照すると、図２７に示されるツール１００内でウェーハの処理をスケジューリングする代表的なスケジュール２８００が示される。しかし、認識されるように、図２８で示され説明される個々の動作、動作の順序、及び動作の継続時間はツール１００（図２７）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。すなわち、スケジュール２８００も、ツール１００（図２７）の個々の構成及び個々の適用例に応じて変化してもよい。

スケジュール２８００の様々な動作が以下さらに詳細に説明される。認識されるように、いくつかのウェーハが任意の時間にツール１００（図２７）内に配置される。すなわち、わかりやすくするため、以下の説明にはツール１００（図２７）内で処理されるウェーハの識別を助ける括弧内の番号が含まれる。すなわち、こうした番号は１つのウェーハを他のものと区別するのを助けるために提供されているのであって、必ずしも何らかの特定の順序または優先順位を示唆するものではない。

この例では、図２７を参照し処理モジュール１１６に関連して、動作２８６０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２８６１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６に配置する。動作２８６２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ１）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２８６３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２８６４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２８６５（図２８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８１４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８１５（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８１６（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５１（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ２）を位置合わせする。動作２８１７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ４）を取り上げる。動作２８１８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２８６６（図２８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８６７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２８６８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２８１９（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ４）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール１８１６に関連して、動作２８７０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２８７１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２８７２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ５）が処理モジュール１８１６内で処理される。動作２８７３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２８７４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

動作２８７５（図２８）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８２０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８２１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８２２（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５２（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ６）を位置合わせする。動作２８２３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ７）を取り上げる。動作２８２４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２８７６（図２８）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８７７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２８７８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２８２５（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ７）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール２５１６に関連して、動作２８８０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第２のバッファ２５１４から取り上げる。動作２８８１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を処理モジュール２５１６内に配置する。動作２８８２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ８）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２８８３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を処理モジュール２５１６から取り上げる。動作２８８４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０上に配置する。

動作２８８５（図２８）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８２６（図２６）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８２７（図２８）では、ウェーハ移送ユニットは位置合わせされたウェーハ（ウェーハ６）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８２８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５３（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ９）を位置合わせする。動作２８２９（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２５１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２５１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を取り上げる。動作２８３０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ２５１０上に配置する。動作２８８６（図２８）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力が処理モジュール２５１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８８７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第１のバッファ２５１０から取り上げる。動作２８８８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第２のバッファ２５１４上に配置する。動作２８３１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）をロード・モジュール１０２に配置する。

ここで処理モジュール２７１６に関連して、動作２８９０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）を第２のバッファ２７１４から取り上げる。動作２８９１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）を処理モジュール１７１６内に配置する。動作２８９２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ１１）が処理モジュール２７１６内で処理される。動作２８９３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１１）を処理モジュール２７１６から取り上げる。動作２８９４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１１）を第１のバッファ２７１０上に配置する。

動作２８９５（図２８）では、ロードロック・モジュール２７０８は、ロードロック・モジュール２７０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８３２（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８３３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ９）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８３４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）ウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５４（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１２）を位置合わせする。動作２８３５（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２７１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２７１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１３）を取り上げる。動作２８３６（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第１のバッファ２７１０上に配置する。動作２８９６（図２８）では、ロードロック・モジュール２７０８は、ロードロック・モジュール２７０８内の圧力が処理モジュール２７１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８９７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第１のバッファ２７１０から取り上げる。動作２８９８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第２のバッファ２７１４上に配置する。動作２８３７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１３）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２８を参照すると、動作２８１００〜２８１０８は処理モジュール１１６についての別の処理サイクルに関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１００（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を第２のバッファ１１４から取り上げる。動作２８１０１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６に配置する。動作２８１０２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ３）が処理モジュール１１６内で処理される。動作２８１０３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を処理モジュール１１６から取り上げる。動作２８１０４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は処理されたウェーハ（ウェーハ３）を第１のバッファ１１０上に配置する。

動作２８１０５（図２８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８３８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１４）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８３９（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ１２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８４０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１４）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５５（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１４）を位置合わせする。動作２８４１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１）を取り上げる。動作２８４２（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）を第１のバッファ１１０上に配置する。動作２８１０６（図２８）では、ロードロック・モジュール１０８は、ロードロック・モジュール１０８内の圧力が処理モジュール１１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８１０７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）を第１のバッファ１１０から取り上げる。動作２８１０８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）を第２のバッファ１１４上に配置する。動作２８４３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２８を参照すると、動作２８１１０〜２８１１５は処理モジュール１８１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１１０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を第２のバッファ１８１４から取り上げる。動作２８１１１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ２）を処理モジュール１８１６内に配置する。動作２８１１２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ２）が処理モジュール１８１６内で処理される。

動作２８１１５（図２８）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。動作２８４４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１５）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８４５（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ１２）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８４６（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１５）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５６（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１５）を位置合わせする。動作２８４７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ１８１０から、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ５）を取り上げる。動作２８４８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１２）を第１のバッファ１８１０上に配置する。

再び図２８を参照すると、動作２８１２０〜２８１２５は処理モジュール２５１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１２０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を第２のバッファ２５１４から取り上げる。動作２８１２１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ６）を処理モジュール２５１６内に配置する。動作２８１２２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ６）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２８１２５（図２８）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。

再び図２８を参照すると、動作２８１３０〜２８１３５は処理モジュール２７１６についての別の処理サイクルの開始に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１３０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を第２のバッファ２７１４から取り上げる。動作２８１３１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ９）を処理モジュール２７１６内に配置する。動作２８１３２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ９）が処理モジュール２７１６内で処理される。動作２８１３５（図２８）では、ロードロック・モジュール２７０８は、ロードロック・モジュール２７０８内の圧力がツール１００内の圧力と等しくなるように通気される。

再び図２８を参照すると、動作２８１４３〜２８１４８は処理モジュール１８１６についての前の処理の終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１４３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を処理モジュール１８１６から取り上げる。動作２８１４４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は処理されたウェーハ（ウェーハ７）を第１のバッファ１８１０上に配置する。動作２８１４６（図２８）では、ロードロック・モジュール１８０８は、ロードロック・モジュール１８０８内の圧力が処理モジュール１８１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８１４７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第１のバッファ１８１０から取り上げる。動作２８１４８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１８１２は未処理のウェーハ（ウェーハ５）を第２のバッファ１８１４上に配置する。動作２８０１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は、前の処理サイクルで処理モジュール１８１６内で前に処理されたウェーハ（ウェーハ１６）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２８を参照すると、動作２８１５２〜２８１５８は処理モジュール２５１６についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１５２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ１０）が処理モジュール２５１６内で処理される。動作２８１５３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を処理モジュール２５１６から取り上げる。動作２８１５４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１０）を第１のバッファ２５１０上に配置する。

動作２８０２（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８０３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ８）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８０４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８４９（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ１１）を位置合わせする。動作２８０５（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２５１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２５１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１７）を取り上げる。動作２８０６（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０上に配置する。動作２８１５６（図２８）では、ロードロック・モジュール２５０８は、ロードロック・モジュール２５０８内の圧力が処理モジュール２５１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８１５７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は未処理のウェーハ（ウェーハ８）を第１のバッファ２５１０から取り上げる。動作２８１５８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２５１２は処理されたウェーハ（ウェーハ８）を第２のバッファ２５１２上に配置する。動作２８０７（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１７）をロード・モジュール１０２に配置する。

再び図２８を参照すると、動作２８１６２〜２８１６８は処理モジュール２７１６についての前の処理サイクルの終了に関連付けられる。さらに詳しく言うと、再び図２７を参照すると、動作２８１６２（図２８）では、ウェーハ（ウェーハ１３）が処理モジュール２７１６内で処理される。動作２８１６３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１３）を処理モジュール２７１６から取り上げる。動作２８１６４（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１３）を第１のバッファ２７１０上に配置する。

動作２８０８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）をロード・モジュール１０２から取り上げる。動作２８０９（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は位置合わせされたウェーハ（ウェーハ１１）をウェーハ・オリエンタ１０６から取り上げる。動作２８１０（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ３）をウェーハ・オリエンタ１０６上に配置する。動作２８５０（図２８）では、ウェーハ・オリエンタ１０６はウェーハ（ウェーハ３）を位置合わせする。動作２８１１（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は第１のバッファ２７１０から、前の処理サイクルで処理モジュール２７１６内で処理されたウェーハ（ウェーハ１８）を取り上げる。動作２８１２（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）を第１のバッファ２７１０上に配置する。動作２８１６６（図２８）では、ロードロック・モジュール２７０８は、ロードロック・モジュール２７０８内の圧力が処理モジュール２７１６内の圧力と等しくなるように密閉され排気される。動作２８１６７（図２８）では、ウェーハ２７１２は未処理のウェーハ（ウェーハ１１）を第１のバッファ２７１０から取り上げる。動作２８１６８（図２８）では、ウェーハ移送ユニット２７１２は処理されたウェーハ（ウェーハ１１）を第２のバッファ２７１２上に配置する。動作２８１３（図２８）では、ウェーハ移送ユニット１０４は処理されたウェーハ（ウェーハ１８）をロード・モジュール１０２に配置する。

本発明は添付の図面中に代表的なされる個々の実施形態に関連して説明されたが、本発明の精神と範囲から離れることなく様々な修正を行ってもよい。例えば、ツール１００（図１）は任意の数のロード・モジュール１０２（図１）を含んでもよい。従って、本発明は図面中に示され上記で説明された個々の形態に限定されるものとみなされるべきではない。

ウェーハ処理ツールの平面図である。 スケジュール生成処理の流れ図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 ウェーハ処理ツールの代替実施形態の平面図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 代表的なスケジュールの構成図である。 ウェーハ処理ツールの他の代替実施形態の平面図である。 他の代表的なスケジュールの構成図である。 ウェーハ処理ツールのさらに他の代替実施形態の平面図である。 さらに他の代表的なスケジュールの構成図である。

Claims (60)

1. ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理するシステムであって、
   ウェーハを受け取るよう動作するロード・モジュールと、
   ウェーハを処理するよう動作する処理モジュールと、
   前記ロード・モジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するよう動作するウェーハ移送ユニットと、
   前記ウェーハ処理ツール内でウェーハを移動するスケジュールを生成するよう構成されるスケジューラであって、その際前記スケジューラが、前記処理モジュールと前記ウェーハ移送ユニットとによって行われる動作の継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成されるスケジューラとを備えるシステム。
2. 前記スケジューラが、
   前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、
   前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルとを決定するよう構成される、請求項１に記載のシステム。
3. 前記スケジューラが前記供給サイクルと前記処理サイクルとの継続時間を決定するよう構成される、請求項２に記載のシステム。
4. 前記スケジューラが制限時間を決定し、前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項３に記載のシステム。
5. 前記スケジューラがウェーハのバッチを処理する前に前記バッチについて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項１に記載のシステム。
6. 前記スケジューラがウェーハの前記バッチについてのレシピに基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項５に記載のシステム。
7. 前記スケジューラが前記バッチ内のウェーハの熱履歴の均一性を維持するスケジュールを生成するよう構成される、請求項５に記載のシステム。
8. 前記スケジューラが開始スケジュールを生成するよう構成される、請求項１に記載のシステム。
9. 前記スケジューラが終了スケジュールを生成するよう構成される、請求項１に記載のシステム。
10. さらに、前記処理モジュールに接続されるロードロック・モジュールであって、前記ロードロック・モジュールが前記ウェーハ移送ユニットと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するよう動作するロードロック・モジュールを備える、請求項１に記載のシステム。
11. 前記スケジューラが、
    前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルと、
    前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルと、
    前記ロードロック・モジュールによって行われる動作を含むロードロック・モジュール・サイクル（ＬＬＭ）とを決定するよう構成される、請求項１０に記載のシステム。
12. 前記スケジューラが前記供給サイクルと、前記処理サイクルと、前記ＬＬＭサイクルとに基づいて制限時間を決定するよう構成され、前記スケジューラが前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するよう構成される、請求項１１に記載のシステム。
13. 前記処理モジュールが、
    第１の処理モジュールと、
    第２の処理モジュールとを備える、請求項１に記載のシステム。
14. 前記スケジューラが前記第１及び第２の処理モジュールを直列に処理するスケジュールを生成するよう構成される、請求項１３に記載のシステム。
15. 前記スケジューラが前記第１及び第２の処理モジュールを並列に処理するスケジュールを生成するよう構成される、請求項１３に記載のシステム。
16. 前記スケジューラが前記第１の処理モジュール内でウェーハの第１のバッチを処理するためスケジュールを生成するよう構成され、前記スケジューラが前記第２の処理モジュール内でウェーハの第２のバッチを処理するため前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項１５に記載のシステム。
17. 前記スケジューラが、
    前記第１の処理モジュールによって行われる動作を含む第１の処理サイクルと、
    前記第２の処理モジュールによって行われる動作を含む第２の処理サイクルであって、前記第２の処理サイクルが前記第１の処理サイクルより長い継続時間を有する第２の処理サイクルとを決定するよう構成される、請求項１６に記載のシステム。
18. 前記スケジューラが、前記第１及び第２の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を含むよう前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項１７に記載のシステム。
19. 前記スケジューラが、繰り返された前記第１の処理サイクルの継続時間が前記第２の処理サイクルと等しいかそれより長くなるまで前記第１の処理サイクルを繰り返し、繰り返された前記第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとの継続時間の差と等しい待機期間を含むよう前記スケジュールを修正するよう構成される、請求項１７に記載のシステム。
20. 前記処理モジュールが化学蒸着（ＣＶＤ）チャンバである、請求項１に記載のシステム。
21. 前記スケジューラが前記ＣＶＤチャンバ内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するスケジュールを生成するよう構成される、請求項２０に記載のシステム。
22. 前記処理モジュールがエッチング・チャンバである、請求項１に記載のシステム。
23. ウェーハ処理ツール内でウェーハを処理する方法であって、
    ロード・モジュールでウェーハを受け取るステップと、
    前記ロード・モジュールと処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップと、
    前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップと、
    前記装填及び処理モジュールの間でウェーハを移送し、前記処理モジュール内でウェーハを処理する際に行われる動作の継続時間に基づいてウェーハ処理ツール内でウェーハを移動するためスケジューラでスケジュールを生成するステップと、
    前記スケジュールを実行するステップとを含む方法。
24. スケジュールを生成するステップがさらに、
    制限時間を決定するステップと、
    前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを備える、請求項２３に記載の方法。
25. 制限時間を決定するステップがさらに、
    前記ロード・モジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送する際に行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップと、
    前記処理モジュール内でウェーハを処理する際に行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップとを含む、請求項２４に記載の方法。
26. 前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップがさらに、前記供給サイクルが前記制限時間として決定される時前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるステップを含む、請求項２４に記載の方法。
27. 前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップがさらに、前記処理サイクルが前記制限時間として決定される時前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるステップを含む、請求項２４に記載の方法。
28. スケジュールを生成するステップがさらに、バッチ中の第１のウェーハを処理する前にウェーハの前記バッチについてのスケジュールを生成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
29. スケジュールを生成するステップがさらに、ウェーハの前記バッチについてのレシピを利用するステップを含む、請求項２８に記載の方法。
30. スケジュールを生成するステップがさらに、ウェーハの前記バッチ内のウェーハの熱履歴の均一性を維持するステップを含む、請求項２８に記載の方法。
31. スケジュールを生成するステップがさらに、開始スケジュールを生成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
32. スケジュールを生成するステップがさらに、終了スケジュールを生成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
33. 前記ロード・モジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップがさらに、
    前記ロード・モジュールとロードロック・モジュールとの間でウェーハを移送するステップと、
    前記ロードロック・モジュールと前記処理モジュールとの間でウェーハを移送するステップとを含む、請求項２３に記載の方法。
34. スケジュールを生成するステップがさらに、
    制限時間を決定するステップと、
    前記制限時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを含む、請求項３３に記載の方法。
35. 制限時間を生成するステップがさらに、
    供給サイクルを決定するステップと、
    処理サイクルを決定するステップと、
    ロードロック・モジュール（ＬＬＭ）サイクルを決定するステップとを含む、請求項３４に記載の方法。
36. スケジュールを生成するステップがさらに、
    第１の処理モジュール及び第２の処理モジュール内で直列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
37. スケジュールを生成するステップがさらに、
    第１の処理モジュール及び第２の処理モジュール内で並列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
38. 並列にウェーハを処理するスケジュールを生成するステップがさらに、
    前記第１の処理モジュール内でウェーハの第１のバッチを処理するため前記スケジュールを生成するステップと、
    前記第２の処理モジュール内でウェーハの第２のバッチを処理するため前記スケジュールを修正するステップとを含む、請求項３７に記載の方法。
39. さらに、
    前記第１の処理モジュール内でウェーハを処理する際行われる動作を含む第１の処理サイクルを決定するステップと、
    前記第２の処理モジュール内でウェーハを処理する際行われる動作を含む第２の処理サイクルを決定するステップであって、その際前記第２の処理サイクルが前記第１の処理サイクルより長い継続時間を有するステップとを含む、請求項３８に記載の方法。
40. 前記スケジュールを修正する前記ステップがさらに、
    前記第１及び前記第２の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップを含む、請求項３９に記載の方法。
41. 前記スケジュールを修正する前記ステップがさらに、
    繰り返された前記第１の処理サイクルが前記第２の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第１の処理サイクルを繰り返すステップと、
    前記繰り返された第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップとを含む、請求項３９に記載の方法。
42. 前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップがさらに、化学蒸着（ＣＶＤ）チャンバ内でウェーハの表面上に膜を形成するステップを含む、請求項２３に記載の方法。
43. スケジュールを生成するステップがさらに、前記ＣＶＤチャンバ内で処理されるウェーハの熱履歴の均一性を維持するステップを含む、請求項４２に記載の方法。
44. 前記処理モジュール内でウェーハを処理するステップがさらに、エッチング・チャンバ内でウェーハの表面をエッチングするステップを含む、請求項２３に記載の方法。
45. 前記スケジュールを実行する前記ステップがイベント駆動型である、請求項２３に記載の方法。
46. 前記スケジュールを実行する前記ステップがタイマ駆動型である、請求項２３に記載の方法。
47. 前記スケジュールを実行する前記ステップがイベント及びタイマ駆動型である、請求項２３に記載の方法。
48. ウェーハ移送ユニットと処理モジュールとを有するウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動をスケジューリングする方法であって、
    前記ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップであって、前記供給サイクルが供給サイクル継続時間を有するステップと、
    前記処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップであって、前記処理サイクルが処理サイクル継続時間を有するステップと、
    前記供給サイクル継続時間と前記処理サイクル継続時間とに基づいて制限時間を決定するステップと、
    前記制限時間に基づいて前記ウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動についてのスケジュールを生成するステップとを含む方法。
49. 前記供給サイクル継続時間が前記処理サイクル継続時間より長く、制限時間を決定するステップが前記制限時間として前記供給サイクル継続時間を選択するステップを含み、前記スケジュールを生成するステップが前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるステップを含む、請求項４８に記載の方法。
50. 前記処理サイクル継続時間が前記供給サイクル継続時間より長く、制限時間を決定するステップが前記制限時間として前記処理サイクルを選択するステップを含み、前記スケジュールを生成する前記ステップが前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるステップを含む、請求項４８に記載の方法。
51. 処理サイクルを決定するステップがさらに、
    第１の処理モジュール内で行われる動作を含む第１の処理サイクルを決定するステップと、
    第２の処理モジュール内で行われる動作を含む第２の処理サイクルを決定するステップとを含む、請求項４８に記載の方法。
52. 前記スケジュールを生成するステップがさらに、
    前記第１及び前記第２の処理サイクルの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップを含む、請求項５１に記載の方法。
53. 前記スケジュールを生成する前記ステップがさらに、
    繰り返された前記第１の処理サイクルが前記第２の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第１の処理サイクルを繰り返すステップと、
    繰り返された前記第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するステップとを含む、請求項５１に記載の方法。
54. コンピュータ可読記憶媒体であって、
    ウェーハ移送ユニットによって行われる動作を含む供給サイクルを決定するステップと、
    処理モジュールによって行われる動作を含む処理サイクルを決定するステップと、
    前記供給サイクルについての継続時間と前記処理サイクルについての継続時間とを決定するステップと、
    前記供給サイクル及び前記処理サイクルの継続時間に基づいてウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動についてのスケジュールを生成するステップとを行うようコンピュータに命令することによってウェーハ処理ツール内でのウェーハの移動をスケジューリングするコンピュータ実行可能コードを収容するコンピュータ可読記憶媒体。
55. 前記コンピュータがさらに、前記処理サイクルの継続時間が前記供給サイクルより長い時前記処理サイクルを前記供給サイクルにそろえるよう命令される、請求項５４に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
56. 前記コンピュータがさらに、前記供給サイクルの継続時間が前記処理サイクルより長い時前記供給サイクルを前記処理サイクルにそろえるよう命令される、請求項５４に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
57. 前記コンピュータがさらに、
    第１の処理モジュールによって行われる動作を含む第１の処理サイクルを決定するステップと、
    第２の処理モジュールによって行われる動作を含む第２の処理サイクルを決定するステップと、
    前記第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとについて継続時間を決定するステップとを行うよう命令される、請求項５４に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
58. 前記コンピュータがさらに、前記第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を前記スケジュールに追加するよう命令される、請求項５７に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
59. 前記コンピュータがさらに、繰り返された前記第１の処理サイクルの継続時間が前記第２の処理サイクルに等しいかまたはそれより長くなるまで前記第１の処理サイクルを繰り返し、繰り返された前記第１の処理サイクルと前記第２の処理サイクルとの継続時間の差に等しい待機期間を追加するよう命令される、請求項５７に記載のコンピュータ可読記憶媒体。
60. 前記コンピュータがさらに、
    ロードロック・モジュールによって行われる動作を含むロードロック・モジュール（ＬＬＭ）サイクルを決定するステップと、
    前記ＬＬＭサイクルについての継続時間を決定するステップと、
    前記供給サイクルと、前記処理サイクルと、前記ＬＬＭサイクルとの継続時間に基づいて前記スケジュールを生成するステップとを行うよう命令される、請求項５４に記載のコンピュータ可読記憶媒体。

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