JP2014116545A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の処理モジュールにてダミー基板の処理と製品基板の処理とを並行して行うことが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置1は、搬送容器Cから取り出された基板Wを、互いに異なる処理を行うための第1の処理モジュールPM2、PM4及び第2の処理モジュールPM3を含む複数の処理モジュールPM1〜PM4に、基板搬送室13を介して搬入して基板処理を行う。このとき、第1の処理モジュールPM2、PM4は、基板Wの搬入を待っている待機時間が予め設定した設定時間を超えたときに、ダミー基板保持部Cから第1の処理モジュールPM2、PM4にダミー基板DWを連続して搬入して連続ダミー処理を行う。そして、製品基板Wを収納した搬送容器Cが容器載置部11に載置されたときには、製品基板Wを第2の処理モジュールPM3に搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行う。
【選択図】図2
【解決手段】基板処理装置1は、搬送容器Cから取り出された基板Wを、互いに異なる処理を行うための第1の処理モジュールPM2、PM4及び第2の処理モジュールPM3を含む複数の処理モジュールPM1〜PM4に、基板搬送室13を介して搬入して基板処理を行う。このとき、第1の処理モジュールPM2、PM4は、基板Wの搬入を待っている待機時間が予め設定した設定時間を超えたときに、ダミー基板保持部Cから第1の処理モジュールPM2、PM4にダミー基板DWを連続して搬入して連続ダミー処理を行う。そして、製品基板Wを収納した搬送容器Cが容器載置部11に載置されたときには、製品基板Wを第2の処理モジュールPM3に搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行う。
【選択図】図2
Description
本発明は、複数種の処理モジュールを利用して基板に対する処理を行う基板処理装置に関する。
半導体装置の製造工程においては、半導体ウエハ(以下、ウエハという)の表面で反応ガスを反応させて成膜を行う成膜モジュールや、プラズマを利用してウエハ表面に成膜された膜の処理などを行うプラズマ処理モジュールなど、異なる種類の処理モジュールを共通の基板搬送室に接続したマルチチャンバやクラスタツールなどと呼ばれる基板処理装置が利用されている。
この種の基板処理装置においては、各処理モジュールに順次、ウエハを搬送することにより、ウエハに対して異なる種類の処理を連続して行うことができる。また、必要に応じて処理モジュールを選択し、特定の処理モジュールだけを使用してウエハの処理を行うこともできる。
ここで、基板処理装置は、例えば所定枚数のウエハの処理を行った後、しばらく処理モジュールを待機状態にしてからウエハの処理を開始することがある。また前述のように、特定の処理モジュールを選択してウエハの処理を行う場合には、選択されなかった他の処理モジュールは待機状態となっている。ところが、処理モジュールの種類によっては、この待機時間が長くなると、ウエハの処理を再開した後の処理結果が待機前に比べて悪化する場合がある。
例えば特許文献1には、複数の処理モジュール(プロセスチャンバ)を備えた基板処理装置において、処理モジュールの未使用時間が長くなることによる処理モジュール内の雰囲気の変化を抑制するために、ダミーウエハの処理を行う基板処理装置が記載されている。しかしながら引用文献1には、他の処理モジュールを用いてウエハの処理を行っている期間中における待機中の処理モジュールの取り扱いについては何ら記載されていない。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の処理モジュールにてダミー基板の処理と製品基板の処理とを並行して行うことが可能な基板処理装置を提供することにある。
本発明に係る基板処理装置は、容器載置部に載置され、複数の基板を収納する搬送容器から取り出された基板を、基板搬送室を介して処理モジュールに搬入し、当該基板に対して基板処理を行う基板処理装置において、
前記基板搬送室に各々接続され、互いに異なる処理を行うための第1の処理モジュール及び第2の処理モジュールを含む複数の処理モジュールと、
前記基板搬送室内に設けられ、当該基板搬送室内への未処理基板の搬入、及び当該基板搬送室からの処理済み基板の搬出、並びに各処理モジュールとの間の基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、
ダミー処理用の複数のダミー基板を保持するダミー基板保持部と、
前記第1の処理モジュールが基板の搬入を待っている待機時間が予め設定した設定時間を超えたときに、前記ダミー基板保持部からダミー基板を前記基板搬送室を介して前記第1の処理モジュール内に連続して搬入し、各ダミー基板により連続ダミー処理を行うステップと、製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、当該搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により、前記第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うステップと、を実行するための制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記基板搬送室に各々接続され、互いに異なる処理を行うための第1の処理モジュール及び第2の処理モジュールを含む複数の処理モジュールと、
前記基板搬送室内に設けられ、当該基板搬送室内への未処理基板の搬入、及び当該基板搬送室からの処理済み基板の搬出、並びに各処理モジュールとの間の基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、
ダミー処理用の複数のダミー基板を保持するダミー基板保持部と、
前記第1の処理モジュールが基板の搬入を待っている待機時間が予め設定した設定時間を超えたときに、前記ダミー基板保持部からダミー基板を前記基板搬送室を介して前記第1の処理モジュール内に連続して搬入し、各ダミー基板により連続ダミー処理を行うステップと、製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、当該搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により、前記第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うステップと、を実行するための制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記基板処理装置は以下の特徴を備えていてもよい。
(a)前記制御部は、製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置された後、先頭の製品基板が第2の処理モジュールに搬入される前に、前記連続ダミー処理に用いられるダミー基板を使用して前記第2の処理モジュールにてダミー処理を行うステップを実行するように構成されていること。このとき、前記第2の処理モジュールに用いられるダミー基板は、前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先として払い出されること。さらに、前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先としてダミー基板が払い出される前に、前記連続ダミー処理のためにダミー基板保持部から払い出されている全てのダミー基板は、一旦ダミー基板保持部に戻されること。
(b)前記制御部は、前記搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により第1の処理モジュールに搬送して第1の処理を行い、前記第1の処理に次いで、または第1の処理の前に、第2の処理モジュールに製品基板を搬送して第2の処理を行う主モードと、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを行う副モードと、の一方を選択する選択部を備えたこと。
(c)前記制御部は、連続ダミー処理を行っている状態で、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを用いる製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、製品基板を第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うモードと、連続ダミー処理に使用されているダミー基板をダミー基板保持部に回収し、前記工程を行っている間は連続ダミー処理を行わないモードと、の一方を選択する選択部を備えたこと。
(d)前記基板搬送室及び処理モジュールの処理室内の各々は、真空雰囲気とされ、前記容器載置部と前記基板搬送室との間の基板の経路には、ロードロック室が介在していること。
(a)前記制御部は、製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置された後、先頭の製品基板が第2の処理モジュールに搬入される前に、前記連続ダミー処理に用いられるダミー基板を使用して前記第2の処理モジュールにてダミー処理を行うステップを実行するように構成されていること。このとき、前記第2の処理モジュールに用いられるダミー基板は、前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先として払い出されること。さらに、前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先としてダミー基板が払い出される前に、前記連続ダミー処理のためにダミー基板保持部から払い出されている全てのダミー基板は、一旦ダミー基板保持部に戻されること。
(b)前記制御部は、前記搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により第1の処理モジュールに搬送して第1の処理を行い、前記第1の処理に次いで、または第1の処理の前に、第2の処理モジュールに製品基板を搬送して第2の処理を行う主モードと、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを行う副モードと、の一方を選択する選択部を備えたこと。
(c)前記制御部は、連続ダミー処理を行っている状態で、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを用いる製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、製品基板を第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うモードと、連続ダミー処理に使用されているダミー基板をダミー基板保持部に回収し、前記工程を行っている間は連続ダミー処理を行わないモードと、の一方を選択する選択部を備えたこと。
(d)前記基板搬送室及び処理モジュールの処理室内の各々は、真空雰囲気とされ、前記容器載置部と前記基板搬送室との間の基板の経路には、ロードロック室が介在していること。
本発明は、第1の処理モジュールにダミー基板を連続して搬入して連続ダミー処理を行っている期間中に、第2の処理モジュールに製品基板を搬入して基板処理を行うので、これら連続ダミー処理と基板処理とを並行して行うことにより、基板処理装置の稼働効率を向上させることができる。
本発明の実施の形態として、半導体装置のゲート絶縁膜として用いられる高誘電体材料の膜(以下、high−k膜という)をウエハW上に成膜し、またこの膜に対するプラズマ処理やアニール処理を実行する処理モジュールPM1〜PM4を備えた基板処理装置1の例について説明する。図1に示すように、基板処理装置1は、処理対象のウエハWを所定枚数、例えば25枚収容したキャリアC(搬送容器)が載置される容器載置部としてのキャリア載置台11と、キャリアCから取り出されたウエハWを大気雰囲気下で搬送する大気搬送室12と、内部の状態を大気雰囲気と予備真空雰囲気とに切り替えてウエハWを待機させるためのロードロック室LLM1、LLM2と、真空雰囲気下でウエハWの搬送が行われる真空搬送室13と、ウエハWにプロセス処理を施すための処理モジュールPM1〜PM4と、を備えている。これらの機器は、ウエハWの搬入方向に対して、大気搬送室12、ロードロック室LLM1、LLM2、真空搬送室13、処理モジュールPM1〜PM4の順で並んでおり、隣り合う機器同士はドアG1、ドアバルブG2やゲートバルブG3〜G4を介して気密に接続されている。
大気搬送室12内にはキャリアCからウエハWを1枚ずつ取り出して、搬送するための、回転、伸縮、昇降及び左右への移動自在な搬送アーム121が設けられている。また大気搬送室12の側面には、ウエハWの位置合わせを行うためのオリエンタを内蔵したアライメント室14が設けられている。
ロードロック室LLM1、LLM2は、大気搬送室12と真空搬送室13との間を繋ぐように、キャリア載置台11側から見て左右方向に2個並べて設けられている。各ロードロック室LLM1、LLM2には、搬入されたウエハWを載置する載置台16が設けられていると共に、各々のロードロック室LLM1、LLM2を大気雰囲気と真空雰囲気とに切り替えるための図示しない真空ポンプやリーク弁が接続されている。
真空搬送室13は、例えばその平面形状が六角形状に形成され、その内部は真空雰囲気となっている。真空搬送室13の手前側の2辺には既述のロードロック室LLM1、LLM2が接続される一方、残る4辺には処理モジュールPM1〜PM4が接続されている。真空搬送室13内には、ロードロック室LLM1、LLM2と各処理モジュールPM1〜PM4との間でウエハWを搬送するための、回転及び伸縮自在な搬送アーム131が設置され、また真空搬送室13は、その内部を真空雰囲気に保つための図示しない真空ポンプと接続されている。
上述の各搬送アーム121、131は、本例の基板搬送機構に相当し、また真空搬送室13は基板搬送室に相当している。
上述の各搬送アーム121、131は、本例の基板搬送機構に相当し、また真空搬送室13は基板搬送室に相当している。
処理モジュールPM1〜PM4は、ウエハWに対して種類の異なる処理を実行する。本例において処理モジュールPM2、PM4は、真空雰囲気の処理容器内に配置されたウエハWの表面で反応ガスを反応させてhigh−k膜を成膜する成膜モジュールとして構成されている。処理モジュールPM2、PM4は、同種類のhigh−k膜を成膜することが可能である。本例の処理モジュールPM2、PM4は、シリコンを含むTEOS(テトラエチルオルソシリケート)と、ハフニウムを含む有機金属材料であるHTB(ハフニウムターシャリーブトキサイト)と、酸化ガス(例えばO2)とを反応させて、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)によりhigh−k膜であるHfSiO膜の成膜を行う。
また、処理モジュールPM3は、RLSA(Radial Line Slot Antenna)を用いたプラズマにより、処理モジュールPM2、PM4で形成されたhigh−k膜をプラズマ窒化処理する。例えば処理モジュールPM3は、プラズマ発生用の希ガスとしてArガスを用い、窒化ガスとしてN2ガスを用いる。プラズマ窒化処理は、HfSiOからの金属酸化物とシリコン酸化物とへの分離を抑制し、高温下で安定して金属シリケートの状態を保つことができるようにするために行われる。
次いで処理モジュールPM1は、処理モジュールPM3で窒化されたhigh−k膜を加熱してアニール処理(PNA:Post Nitrization Anneal)し、アニール処理が行われる雰囲気のガス種としてはN2ガスとO2ガスとが用いられる。アニール処理は、高温処理によりhigh−k膜を緻密化して、プラズマ窒化処理にて取り込まれた窒素がhigh−k膜中から逃げないようにするために行われる。
なお、上述の処理モジュールPM1〜PM4が実行する処理の内容は、本発明の実施の形態を説明するにあたっての組み合わせの一例を示したものである。従って、本発明が適用される基板処理装置1おける処理モジュールの設置数、処理の種類や組み合わせ、処理の実行順は、これに限定されるものではない。例えば、上述の成膜処理やプラズマ窒化処理、アニール処理の他、エッチングガスによりウエハW表面の薄膜のエッチング処理を行うエッチング処理や、エッチングの後、ウエハW表面のレジスト膜をプラズマで分解、除去するプラズマアッシング処理を行う処理モジュールなどを設けてもよい。
さらに図1、2に示すように、この基板処理装置1には、制御部2が設けられている。制御部2はCPU21と記憶部22とを備えたコンピュータからなり、この記憶部には上述したウエハWの処理動作を実行させる制御信号を出力するためのステップ(命令)群が組まれたプログラムが記録されている。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリカードなどの記憶媒体に格納され、そこから記憶部にインストールされる。記憶部22に格納されたプログラムや設定値は、大気搬送室12の側壁面に設けられたタッチパネルディスプレイ15を介して編集することができる。
ここで、本例の基板処理装置1は、上述のように当該基板処理装置1内に設けられているすべての処理モジュールPM1〜PM4を用いてウエハWに対する各種の処理(成膜処理→プラズマ窒化処理→アニール処理。以下、これらの処理を総括して「通常処理」という。)を実行する一方で、例えば特定の処理モジュールだけを選択してウエハWの処理を行うこともできる。後者の例として、他の成膜装置にてチタンなどの金属膜が成膜されたウエハWを処理モジュールPM3に搬入し、プラズマ窒化処理を行ってその表面に金属窒化膜を形成する場合などがある(以下、「単独プラズマ窒化処理」という)。
また、基板処理装置1においては、例えば通常処理を行った後、当該処理が終了したら各処理モジュールPM1〜PM4を待機させ、ある程度の時間が経過してから次の処理(通常処理や単独プラズマ窒化処理)を開始することがある。このとき既述のように、high−k膜の成膜を行う処理モジュールPM2、PM4の待機時間が長くなると、処理を再開した後の処理結果が待機前に比べhigh−k膜の比誘電率が低下する等、成膜結果が悪化する場合がある。また、既述の単独プラズマ窒化処理の実行時も成膜を行う処理モジュールPM2、PM4は待機していることになるので、同様の問題が生じることがある。
そこで本実施の形態に関わる基板処理装置1は、安定した成膜結果を得るために、待機中の成膜処理用の処理モジュールPM2、PM4にてダミーウエハDWの処理(以下、「連続ダミー処理」という)を行う機能を備えている。また、ダミーウエハDWの処理は、待機していた処理モジュールPM1〜PM4にて、処理を再開する前にも行われる(以下、「ロット安定化ダミー処理」という)。
以下、これらの機能の詳細について説明する。
以下、これらの機能の詳細について説明する。
図2に示すように、制御部2を構成する記憶部22には、各処理モジュールPM1〜PM4の動作に係るプログラムや設定値を含む処理レシピ34と、製品ウエハWやダミーウエハDWが搬送される搬送先のモジュール(ロードロック室LLM1、LLM2、処理モジュールPM1〜PM4)に関する情報を含む搬送スケジュール35と、が記憶されている。また、記憶部22には、例えばタッチパネルディスプレイ15を介してオペレータから、処理レシピ34の設定値の設定や変更などを受け付ける処理レシピ設定プログラム31及び、搬送スケジュール35の設定変更や、稼働する処理モジュールPM1〜PM4に応じて異なる搬送スケジュール35の作成を行う搬送スケジュール設定プログラム32、連続ダミー処理の実行条件を設定するモードを選択するためのモード選択プログラム33が格納されている。
また、制御部2にはタイマ23が設けられており、処理モジュールPM2、PM4の待機時間が後述の設定時間を経過したか否かを判断することができる。
また、制御部2にはタイマ23が設けられており、処理モジュールPM2、PM4の待機時間が後述の設定時間を経過したか否かを判断することができる。
製品ウエハWに対する処理に関し、処理レシピ設定プログラム31は、通常処理または単独プラズマ窒化処理の選択や、これらの処理にて使用される処理モジュールPM1〜PM4に応じた処理条件などの設定値を受け付けて、製品ウエハWの処理用の処理レシピ34の作成や設定値の変更を行う。ここで通常処理を主モード、単独プラズマ窒化処理を副モードとすると、処理レシピ設定プログラム31に基づいてこれらのモードを選択する制御部2は、本実施の形態の選択部としての機能を備えている。
ダミーウエハDWの処理に関し、処理レシピ設定プログラム31は、処理モジュールPM2、PM4における連続ダミー処理の設定を受け付けて、連続ダミー処理用の処理レシピ34の作成や設定値の変更を行う。なお、本例においてロット安定化ダミー処理の設定値は、製品ウエハWの処理レシピ34に設定される。
ここで本例の基板処理装置1では、連続ダミー処理やロット安定化ダミー処理にて実行される処理の内容は、製品ウエハWへのhigh−k膜の成膜と同じ処理が行われる。但し、処理モジュールPM2、PM4にて成膜されるhigh−k膜の膜質を目標の値に維持することができる限りにおいて、ダミー処理時におけるダミーウエハDWの処理時間を短くしたり、反応ガスの供給流量を低減したりしてもよい。
またダミーウエハDWの処理に関し、搬送スケジュール設定プログラム32は、搬送先のモジュールに加え、連続ダミー処理を開始するタイミングを規定する設定時間の設定を受け付ける。設定時間は、例えばダミーウエハDWの搬送スケジュール35と共に記憶される。制御部2は、タイマ23によりこの設定時間と処理モジュールPM2、PM4の待機時間とを比較し、待機時間が設定時間を超えたら、連続ダミー処理用の処理レシピ34や搬送スケジュール35に基づいてダミーウエハDWの処理を開始する。なお、本例ではロット安定化ダミー処理時におけるダミーウエハDWの搬送先は、製品ウエハWの搬送スケジュール35中に設定される。
モード選択プログラム33は、設定時間の経過後に連続ダミー処理が開始される場合に、連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理との並行処理を行うモードと、並行処理を行わずに単独プラズマ窒化処理だけを実行するモードとの選択を受け付ける。モード選択プログラム33に基づいてこれらのモードを選択する制御部2は、本実施の形態の選択部としての機能を備えている。なお連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理とを並行して行う機能の詳細については後段にて詳細に説明する。
以下、上述の構成を備えた基板処理装置1の作用について、図3〜18を参照しながら説明する。各図中、high−k膜の成膜処理は「成膜」、プラズマ窒化処理は「PNT」、アニール処理は「PNA」と示してある。
ここで、図4〜18に示した3桁の数字は、各処理モジュールPM1〜PM4等に収容されているウエハWを識別する番号である。当該符号のうち、左側の数字は当該ウエハWを収容するキャリアCが載置されているキャリア載置台11の識別番号である。図4〜10に示すように、キャリア載置台11は、手前側から見て左から順に「1、2、3」の識別番号が付されている。また、前記3桁の数字の残る2桁は、キャリアC内にて当該ウエハWが保持されるスロットに対応し、各スロットには例えば上から順に「01〜25」の識別番号が付されている。
ここで、図4〜18に示した3桁の数字は、各処理モジュールPM1〜PM4等に収容されているウエハWを識別する番号である。当該符号のうち、左側の数字は当該ウエハWを収容するキャリアCが載置されているキャリア載置台11の識別番号である。図4〜10に示すように、キャリア載置台11は、手前側から見て左から順に「1、2、3」の識別番号が付されている。また、前記3桁の数字の残る2桁は、キャリアC内にて当該ウエハWが保持されるスロットに対応し、各スロットには例えば上から順に「01〜25」の識別番号が付されている。
従って、「101」の識別番号は、「1番のキャリア載置台11に載置されているキャリアC内の01番(最上段)のスロットに収容されているウエハW」を示し、「325」の識別番号は「3番のキャリア載置台11に載置されているキャリアCの25番(最下段)のスロットに収容されているウエハW」を示している。図4〜10に示した例では、「1、2」の識別番号を付したキャリア載置台11は、製品ウエハWを収容したキャリアCが載置され、「3」の識別番号を付したキャリア載置台11は、ダミーウエハDWを収容したキャリアCが載置される運用となっている。この観点において「3」のキャリア載置台11上に載置されたキャリアCは、本例のダミー基板保持部に相当している。
さらにここで、ロードロック室LLM1、LLM2における大気雰囲気と真空雰囲気の切り替え動作や、搬送アーム121、131によるウエハW、DWの搬送動作に要する時間は、各処理モジュールPM1〜PM4における製品ウエハWやダミーウエハDWの処理時間に比べて十分に短いものとする。従って、図11〜18に示した搬送スケジュールにおいては、これら搬送系(ロードロック室LLM1、LLM2、搬送アーム121、131)の動作時間はウエハW、WD搬送の制約となっていない。
はじめに、基板処理装置1の稼働を開始する前に、タッチパネルディスプレイ15を介してオペレータから処理レシピ34、搬送スケジュール35の設定を受け付ける。図3に示すように、製品ウエハW、ダミーウエハDWのそれぞれについて、処理レシピ34の設定を受け付け(ステップS101)、当該処理レシピ34が連続ダミー処理に関する設定でない場合には(ステップS102;NO)、処理レシピ34の設定後、製品ウエハWの搬送スケジュール35を作成し(ステップS105)、これを記憶部22に記憶する(エンド)。
一方、当該処理レシピ34が連続ダミー処理に関する設定である場合には(ステップS102;YES)、さらに待機時間の設定を行い(ステップS103)、連続ダミー処理を単独プラズマ窒化処理と並行して行うか否か選択を受け付けた後(ステップS104)、連続ダミー処理時におけるダミーウエハDWの搬送スケジュール35を作成して(ステップS105)記憶部22に記憶する(エンド)。
ステップS102において、連続ダミー処理に関する設定であるか否かの切り替えは、例えばタッチパネルディスプレイ15の画面に表示されるボタンなどを介して選択することができる。
このようにして作成された処理レシピ34、搬送スケジュール35に基づいて、製品ウエハWやダミーウエハDWに対する処理が行われる。
ステップS102において、連続ダミー処理に関する設定であるか否かの切り替えは、例えばタッチパネルディスプレイ15の画面に表示されるボタンなどを介して選択することができる。
このようにして作成された処理レシピ34、搬送スケジュール35に基づいて、製品ウエハWやダミーウエハDWに対する処理が行われる。
初めに、製品ウエハWに対して通常処理を行う場合を例に挙げて基板処理装置1の動作の全体を説明しておく。例えば、図4に示すように、製品ウエハWを収容したキャリアCが「1」のキャリア載置台11上に載置されると、当該キャリアC内のウエハWが、搬送アーム121によって上段側のスロットから順に取り出される。搬送アーム121に保持されたウエハWは、大気搬送室12内を搬送される途中でアライメント室14にて位置決めをされた後、左右いずれかのロードロック室LLM1、LLM2に受け渡される。
ロードロック室LLM1、LLM2内が予備真空雰囲気となったら、ウエハWは搬送アーム131によって取り出され、真空搬送室13内を搬送される。その後、ウエハWは、真空搬送室13と処理モジュールPM1〜PM4との間を受け渡しされながら、high−k膜の成膜処理(処理モジュールPM2、PM4)→プラズマ窒化処理(処理モジュールPM3)→アニール処理(処理モジュールPM1)の順で処理が行われる。処理後のウエハWは、搬入時とは反対の経路(アライメント室14を除く)を通って搬出され、元のキャリアCに収容される。
なお、図4〜図10の説明図においては、搬送経路を示す矢印の錯綜を避けるため、ロードロック室の一方側(LLM1)を搬入用、他方側(LLM2)を搬出用として運用した例を示してあるが、実際には上述のように双方のロードロック室LLM1、LLM2が搬入、搬出に用いられる。
ここで処理モジュールPM1〜PM4におけるウエハWの処理が、例えば基板処理装置1の運転開始時や、処理モジュールPM1〜PM4の待機後である場合は、製品ウエハWの処理に先立って、ダミーウエハDWを用いたロット安定化ダミー処理が行われる(図11)。ロット安定化ダミー処理においては、「3」のキャリア載置台11上に載置されたキャリアCからダミーウエハDWを取り出して処理モジュールPM1〜PM4にて処理を行う点以外は、製品ウエハWについての上述の動作と同様の動作が実行される。
なお、搬送スケジュールを示した各図においてロット安定化ダミー処理のためのダミーウエハDWが搬入された処理モジュールPM1〜PM4には、網掛けのハッチングを付してある(図11、12、14、18)。
なお、搬送スケジュールを示した各図においてロット安定化ダミー処理のためのダミーウエハDWが搬入された処理モジュールPM1〜PM4には、網掛けのハッチングを付してある(図11、12、14、18)。
図11に示した搬送スケジュールに基づいてダミーウエハDWの搬送経路を確認しておくと、搬送サイクル1にて一方側の処理モジュールPM2に「301」のダミーウエハDWが搬入され、成膜が開始される。次の搬送サイクル2にて他方側の処理モジュールPM4に「302」のダミーウエハDWが搬入され、成膜が開始される。このとき、一方側の処理モジュールPM2では、「301」のダミーウエハDWへの成膜を継続している。
次いで、一方側の処理モジュールPM2における成膜が終わると、搬送サイクル3にて「301」のダミーウエハDWはプラズマ窒化処理が行われる処理モジュールPM3に搬送され、当該処理モジュールPM2には続く「303」のダミーウエハが搬入される。このように、本例においては2台の処理モジュールPM2、PM4に、交互にダミーウエハDWが搬送される(製品ウエハWにおいても同じ)。
処理モジュールPM3に搬入され、プラズマ窒化処理が行われたダミーウエハDWは、次の搬送サイクル4にて処理モジュールPM1に搬入され、PNAが行われた後、次の搬送サイクル5にて元のキャリアCへ向けて搬送される。
ロット安定化ダミー処理においては、成膜用の処理モジュールPM2、PM4にて各々8枚ずつ、合計16枚のダミーウエハDWの処理が行われたら、処理対象を切り替えて、順次、製品ウエハWの処理を開始する(図11の搬送サイクル17以降)。
ロット安定化ダミー処理においては、成膜用の処理モジュールPM2、PM4にて各々8枚ずつ、合計16枚のダミーウエハDWの処理が行われたら、処理対象を切り替えて、順次、製品ウエハWの処理を開始する(図11の搬送サイクル17以降)。
次に、図5は単独プラズマ窒化処理実行時の製品ウエハWの搬送経路を示している。単独プラズマ窒化処理実行時には、キャリアCから取り出された製品ウエハWは、アライメント室14にて位置決めをされた後、直接、処理モジュールPM3に搬入され、ここでプラズマ窒化処理が行われてから元のキャリアCへと搬出される。このとき、他の処理モジュールPM1、PM2、PM4は待機状態となっている。
また、図12に示すように、単独プラズマ窒化処理の場合にも、基板処理装置1の運転開始時や、処理モジュールPM3の待機後は、ダミーウエハDWを用いたロット安定化ダミー処理が行われる。
また、図12に示すように、単独プラズマ窒化処理の場合にも、基板処理装置1の運転開始時や、処理モジュールPM3の待機後は、ダミーウエハDWを用いたロット安定化ダミー処理が行われる。
このように、通常処理と単独プラズマ窒化処理とを切り替えて実行可能な本例の基板処理装置1は、例えば連続ダミー処理のレシピ34が選択されているとき、成膜用の処理モジュールPM2、PM4の待機時間が予め設定した設定時間を超えると、連続ダミー処理を開始する。例えば図13は、処理モジュールPM1〜PM4を用いた通常処理を終えた後、次の製品ウエハWの処理を開始せずにこれら処理モジュールPM1〜PM4を待機させている場合を示している。
待機時間が設定時間を超えたら連続ダミー処理を実行する設定がされているとき、制御部2は、当該処理モジュールPM2が待機状態となってからの待機時間を監視する。
ここで、説明の便宜上、図13〜図15の各搬送スケジュールでは、一方側の処理モジュールPM2にのみにて連続ダミー処理を実行する例を示している。但し、後述の図16、17に示すように、双方の処理モジュールPM2、PM4に対して連続ダミー処理を実行してもよいことは勿論である。
ここで、説明の便宜上、図13〜図15の各搬送スケジュールでは、一方側の処理モジュールPM2にのみにて連続ダミー処理を実行する例を示している。但し、後述の図16、17に示すように、双方の処理モジュールPM2、PM4に対して連続ダミー処理を実行してもよいことは勿論である。
こうして、処理モジュールPM2の待機時間が設定時間(例えば3時間)を超えたら(図13の搬送スケジュール中に白抜きの三角印で示してある。以下の搬送スケジュール図において同じ)、「3」のキャリア載置台11上に載置されたキャリアCより、上段側のスロットから順にダミーウエハDWを取り出して処理モジュールPM2に搬入し、連続ダミー処理を実行する(図6)。処理モジュールPM2においては、連続ダミー処理用の処理レシピ34の設定に基づき、例えば製品ウエハWに対する処理と同様の成膜処理がダミーウエハDWに対して実行される。
上述の動作ステップは、特許請求の範囲における「各ダミー基板により、連続ダミー処理を行うステップ」に相当する。また、搬送スケジュールを示した各図において連続ダミー処理ためのダミーウエハDWが搬入された処理モジュールPM1〜PM4には、斜線のハッチングを付してある(図13〜18)。
上述の動作ステップは、特許請求の範囲における「各ダミー基板により、連続ダミー処理を行うステップ」に相当する。また、搬送スケジュールを示した各図において連続ダミー処理ためのダミーウエハDWが搬入された処理モジュールPM1〜PM4には、斜線のハッチングを付してある(図13〜18)。
こうして、キャリアC内の25枚のダミーウエハDWの処理を終え、全てのダミーウエハDWが同キャリアCに収容されたら、再び1段目のスロットからダミーウエハDWを取り出し、連続ダミー処理が継続される(図13の搬送サイクル51)。連続ダミー処理を実行する期間は、例えば予め設定した繰り返し回数だけ、キャリアC内のダミーウエハDWの連続ダミー処理を実行した後、連続ダミー処理の実行を停止し、再び設定時間が経過するまで処理モジュールPM2を待機させてもよい。また、一旦、連続ダミー処理を開始したら、ダミーウエハDWの繰り返し使用回数の上限などの別途設定した制約に達するまで連続ダミー処理を繰り返し実行しながら、当該処理モジュールPM2を使用への製品ウエハWの搬入を待ってもよい。
ここでさらに本例の基板処理装置1は、この連続ダミー処理実行中に、製品ウエハWに対してプラズマ窒化処理を並行して行うことができる。この観点において、連続ダミー処理が行われる処理モジュールPM2、PM4は、本例の第1の処理モジュールに相当し、製品ウエハWに対するプラズマ窒化処理が行われる処理モジュールPM3は、第2の処理モジュールに相当している。
例えば図7〜10、14は、処理モジュールPM2における連続ダミー処理の実行中に、単独プラズマ窒化処理を開始する場合を示している。図14の搬送サイクル9及び図7に示すように、処理モジュールPM2にて「303」のダミーウエハDWを処理しているときに、「1」のキャリア載置台11に単独プラズマ窒化処理が行われる製品ウエハWを収容したキャリアCが載置されたとする。すると、連続ダミー処理が中止され、「3」のキャリア載置台11上のキャリアC(以下、簡単のため「「3」のキャリアC」等と短縮して表現する)から基板処理装置1内に払い出されていたダミーウエハDWが元のキャリアCへと戻される。
図14の搬送サイクル10、図8に示すように、連続ダミー処理を中止して「3」のキャリアCに回収されたダミーウエハDWは、プラズマ窒化処理が行われる処理モジュールPM3のロット安定化ダミー処理に利用される。このように、基板処理装置1内に払い出されていたダミーウエハDWを回収し、最上段の「301」のダミーウエハDWから順にロット安定化ダミー処理を行うことにより、例えば25枚を1組としたロット単位での連続ダミー処理やロット安定化ダミー処理の実行回数の管理がしやすくなる。
処理モジュールPM3におけるロット安定化ダミー処理が完了したら、図14の搬送サイクル18以降に示すように、当該処理モジュールPM3には「1」のキャリアCから「101」の製品ウエハWを搬入してプラズマ窒化処理を行う。一方、処理モジュールPM2には、再び「3」のキャリアCから「301」のダミーウエハDWを搬入して連続ダミー処理を再開する。これらの処理モジュールPM2、PM3への製品ウエハWやダミーウエハDWの搬送は、図9、10に示すように、次に処理を終える処理モジュールPM2、PM3に搬送されるウエハW、DWを「1、3」のキャリアCから取り出して逐次、搬送する。これらの動作により、特許請求の範囲に記載の「第2の処理モジュールに(製品基板)を搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うステップ」が実行される。
またここで、連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理とを並行して行うモードが選択されていない場合は、連続ダミー処理を再開せずに単独プラズマ窒化処理のみを実行する。
またここで、連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理とを並行して行うモードが選択されていない場合は、連続ダミー処理を再開せずに単独プラズマ窒化処理のみを実行する。
次いで図15は、処理モジュールPM3における単独プラズマ窒化処理実行時に、連続ダミー処理を開始する場合の例を示している。連続ダミー処理の開始時には、ロット安定化ダミー処理は行われないので、待機時間が設定時間を超えたら、「3」のキャリアCから「301」のダミーウエハDWを処理モジュールPM2に搬入して連続ダミー処理を開始する。そして、図9、10を用いて説明した既述の要領にて、各処理モジュールPM2、PM3にウエハW、DWを逐次搬入し、単独プラズマ窒化処理と連続ダミー処理とを並行して実行する。一方で、連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理とを並行して行うモードが選択されていない場合は、設定時間が経過しても連続ダミー処理は開始しない。
ここで先に注記したように、連続ダミー処理は、一方側の処理モジュールPM2のみにて実行する場合に限定されるものではなく、本基板処理装置1に設けられている成膜用の処理モジュールPM2、PM4の双方で行ってもよい。例えば図16に示した例においては、これら2台の処理モジュールPM2、PM4に交互にダミーウエハDWを搬入して連続ダミー処理を行いながら並行して単独プラズマ窒化処理を行うことにより、処理モジュールPM2、PM4の待機時間が長くなることによる処理結果の悪化を低減している。
一方、図17に示した例では、一方側の処理モジュールPM2にて25枚のダミーウエハDWを用いた連続ダミー処理を行った後、連続ダミー処理の対象を他方側の処理モジュールPM4に切り替えている。こうして、処理モジュールPM2、PM4の連続ダミー処理をロット単位で交互に切り替えながら、並行して単独プラズマ窒化処理を行うことにより、搬送系の負荷を低減してウエハW、DW搬送時の制約の発生を抑えている。
最後に、図18は、処理モジュールPM2における連続ダミー処理と、処理モジュールPM3による単独プラズマ窒化処理とを並行して実行した後に、通常処理を開始する搬送スケジュールの例を示している。本例においても「1」のキャリア載置台11にキャリアCが載置されたタイミングで、基板処理装置1に払い出されているダミーウエハDWを一旦、回収し、回収したダミーウエハDWを利用して各処理モジュールPM1〜PM4のロット安定化ダミー処理を行っている。
本実施の形態に関わる基板処理装置1によれば、以下の効果がある。成膜処理が行われる処理モジュールPM2、PM4(第1の処理モジュール)にダミーウエハDWを連続して搬入して連続ダミー処理を行っている期間中に、プラズマ窒化処理を行う処理モジュールPM3(第2の処理モジュール)に製品ウエハWを搬入して単独プラズマ窒化処理を行う。これより、これら連続ダミー処理と単独プラズマ窒化処理とを並行して行い、基板処理装置1の稼働効率を向上させることができる。
以上に示した実施の形態において、連続ダミー処理が実行される処理モジュール(第1の処理モジュール)や、この連続ダミー処理と並行して実行される処理モジュール(第2の処理モジュール)にて実行される処理の種類や処理モジュールの設置数、キャリアC内に収容されているウエハW、DWの枚数などは上述の例に限定されるものではない。第1の処理モジュールとしてプラズマ処理やエッチング処理、アッシング処理などを行う処理モジュールを選択し、第2の処理モジュールとして成膜処理を行う処理モジュールを選択してもよい。
また、成膜処理を行う処理モジュールPM2、PM4を第1の処理モジュールとする場合、実行される成膜処理の種類はhigh−k膜の成膜に限られない。例えばTi、Ru、Al、Mn、Co、Cu、Zn、Zr、No、Hf、W等の金属膜やその窒化膜、酸化膜などの金属化合物膜の成膜を行う成膜モジュールであってもよい。
この他、ダミーウエハDWを収容するダミー基板保持部は、キャリア載置台11上に載置されたキャリアCを用いる場合に限定されない。例えば大気搬送室12の側壁に、ダミーウエハDWを収容する収容室を設けてダミー基板保持部としてもよい。
さらに、処理モジュールの種類は、真空雰囲気で処理を行うものに限定されない。例えば大気雰囲気下でウエハWを加熱する加熱モジュールや、ウエハWの表面にレジスト液や現像液を塗布する塗布モジュールや現像モジュール、ウエハWの表面や裏面に洗浄液を供給して洗浄処理を行う洗浄モジュールなどにも適用できる。これらの場合には、ウエハWの搬送機構は真空搬送室に設けられていなくてもよい。
さらに、本発が適用される基板処理装置にて処理される基板の種類は、ウエハWの場合に限定されるものではなく、例えばフラットパネルの製造に用いられる角型基板の処理を行う基板処理装置にも適用することができる。
さらに、本発が適用される基板処理装置にて処理される基板の種類は、ウエハWの場合に限定されるものではなく、例えばフラットパネルの製造に用いられる角型基板の処理を行う基板処理装置にも適用することができる。
C キャリア
DW ダミーウエハ
LLM1、LLM2
ロードロック室
PM1〜PM4
処理モジュール
W ウエハ
1 ウエハ処理装置
11 キャリア載置台
12 大気搬送室
121 搬送アーム
13 真空搬送室
131 搬送アーム
2 制御部
34 処理レシピ
35 搬送スケジュール
DW ダミーウエハ
LLM1、LLM2
ロードロック室
PM1〜PM4
処理モジュール
W ウエハ
1 ウエハ処理装置
11 キャリア載置台
12 大気搬送室
121 搬送アーム
13 真空搬送室
131 搬送アーム
2 制御部
34 処理レシピ
35 搬送スケジュール
Claims (7)
- 容器載置部に載置され、複数の基板を収納する搬送容器から取り出された基板を、基板搬送室を介して処理モジュールに搬入し、当該基板に対して基板処理を行う基板処理装置において、
前記基板搬送室に各々接続され、互いに異なる処理を行うための第1の処理モジュール及び第2の処理モジュールを含む複数の処理モジュールと、
前記基板搬送室内に設けられ、当該基板搬送室内への未処理基板の搬入、及び当該基板搬送室からの処理済み基板の搬出、並びに各処理モジュールとの間の基板の受け渡しを行うための基板搬送機構と、
ダミー処理用の複数のダミー基板を保持するダミー基板保持部と、
前記第1の処理モジュールが基板の搬入を待っている待機時間が予め設定した設定時間を超えたときに、前記ダミー基板保持部からダミー基板を前記基板搬送室を介して前記第1の処理モジュール内に連続して搬入し、各ダミー基板により連続ダミー処理を行うステップと、製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、当該搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により、前記第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うステップと、を実行するための制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、
製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置された後、先頭の製品基板が第2の処理モジュールに搬入される前に、前記連続ダミー処理に用いられるダミー基板を使用して前記第2の処理モジュールにてダミー処理を行うステップを実行するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第2の処理モジュールに用いられるダミー基板は、前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先として払い出されることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記ダミー基板保持部から第2の処理モジュールを搬送先としてダミー基板が払い出される前に、前記連続ダミー処理のためにダミー基板保持部から払い出されている全てのダミー基板は、一旦ダミー基板保持部に戻されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、
前記搬送容器から取り出した製品基板を前記基板搬送機構により第1の処理モジュールに搬送して第1の処理を行い、前記第1の処理に次いで、または第1の処理の前に、第2の処理モジュールに製品基板を搬送して第2の処理を行う主モードと、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを行う副モードと、の一方を選択する選択部を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
連続ダミー処理を行っている状態で、第1の処理モジュールを用いずに第2の処理モジュールを用いる製品基板を収納した搬送容器が容器載置部に載置されたときに、製品基板を第2の処理モジュールに搬入して基板処理を行う工程と前記連続ダミー処理とを並行して行うモードと、連続ダミー処理に使用されているダミー基板をダミー基板保持部に回収し、前記工程を行っている間は連続ダミー処理を行わないモードと、の一方を選択する選択部を備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板搬送室及び処理モジュールの処理室内の各々は、真空雰囲気とされ、
前記容器載置部と前記基板搬送室との間の基板の経路には、ロードロック室が介在していることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載された基板処理装置。
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