JP2018156994A - 基板処理装置の制御装置及び基板処理表示方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の一実施形態に係る基板処理装置Sysと制御装置10のハードウェア構成の一例について、図1を参照しながら説明する。図1は、一実施形態に係る基板処理装置Sys及び制御装置10のハードウェア構成の一例を示す。基板処理装置Sysは、クラスタ構造(マルチチャンバタイプ)を有する基板処理システムの一例である。
次に、基板処理装置Sysの制御装置10の機能構成の一例について、図2を参照しながら説明する。制御装置10は、レシピに従い基板処理装置Sysのウェハ搬送工程及びウェハ処理工程を制御する。また、制御装置10は、処理室PM別の処理順を可視化して表示する。
次に、システムレシピに基づき実行される処理と実行タイミングの一例について説明する。処理順決定部14は、各種の処理がどのようなタイミングで実行されるかの条件に応じて、処理の実行順を決定する。レシピの入力を受け付けると、レシピに設定されている「処理」と「処理の実行タイミング」が設定される。レシピの入力時に処理の枚数指定等ができる場合、それらの指定情報も同様に設定される。その他、パラメータで設定することができる項目がある。
次に、本実施形態に係る処理順表示処理について、図3を参照しながら説明する。図3は、本実施形態に係る処理順表示処理の一例を示すフローチャートである。本処理が開始されると、受付部12は、ウェハ処理レシピの入力を受け付ける(ステップS10)。次に、受付部12は、複数のコンディショニング処理レシピの入力を受け付ける(ステップS12)。次に、受付部12は、パラメータの設定を受け付ける(ステップS14)。
次に、本実施形態の変形例1に係る設定画面例及び処理順表示画面例について、図10及び図11を参照しながら説明する。図10は、一実施形態の変形例1に係るシステムレシピの設定画面A5とクリーニングの実行タイミングの設定画面A6の一例である。
次に、本実施形態の変形例2に係る設定画面例及び処理順表示画面例について、図12及び図13を参照しながら説明する。図12は、一実施形態の変形例2に係るシステムレシピの設定画面A5とクリーニングの実行タイミングの設定画面A6とパラメータ(装置パラメータ)の設定画面A8の一例である。
次に、本実施形態の変形例3に係る設定画面例及び処理順表示画面例について、図14及び図15を参照しながら説明する。図14は、一実施形態の変形例3に係るシステムレシピの設定画面A11とクリーニングの実行タイミングの設定画面A12の一例である。
11 記憶部
12 受付部
13 システムレシピ作成部
14 処理順決定部
15 表示部
21 CPU
22 ROM
23 RAM
24 HDD
26 ディスプレイ
PM 処理室
Sys 基板処理装置
Claims (9)
- システムレシピに基づいて基板の処理を実行する基板処理装置の制御装置であって、
基板処理レシピと複数のコンディショニング処理レシピとの入力を受け付けると、受け付けた前記基板処理レシピと複数のコンディショニング処理レシピとの実行手順を示すシステムレシピを作成する作成部と、
作成した前記システムレシピに従い基板の処理を実行する前に、基板を処理する処理室毎の、基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を時系列に表示する表示部と、
を有する制御装置。 - 前記表示部は、表示する前記基板処理と複数のコンディショニング処理とのそれぞれにおいて処理される基板の枚数と基板の種別とを表示する、
請求項1に記載の制御装置。 - 前記基板の種別は、製品基板、ダミー基板又は基板なしのいずれかである、
請求項2に記載の制御装置。 - 前記表示部は、前記システムレシピに設定された基板処理を終えるまでに要する時間を表示する、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記複数のコンディショニング処理レシピは、ドライクリーニング処理、ウェハレスドライクリーニング処理、シーズニング処理及びNPPC(Non Plasma Particle Cleaning)、ロット安定化処理の少なくともいずれかを含む、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記表示部は、前記処理室が複数の場合、該複数の処理室における基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を処理室毎に並べて表示する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の制御装置。 - 前記表示部は、受け付けた前記基板処理レシピと複数のコンディショニング処理レシピとの優先順位を示す情報に基づき、基板を処理する処理室毎の、基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を時系列に表示する、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の制御装置。 - システムレシピに基づいて基板の処理を実行する基板処理表示方法であって、
基板処理レシピと複数のコンディショニング処理レシピとの入力を受け付ける工程と、
受け付けた前記基板処理レシピと複数のコンディショニング処理レシピとの実行手順を示すシステムレシピを作成する工程と、
作成した前記システムレシピに従い基板の処理を実行する前に、基板を処理する処理室毎の、基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を時系列に表示する工程と、
を含む基板処理表示方法。 - 前記表示した基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を参照して、前記作成したシステムレシピの修正を受け付ける工程と、
修正した前記システムレシピに従い基板の処理を実行する前に、修正後のシステムレシピに基づく前記処理室毎の、基板処理と複数のコンディショニング処理との実行順を時系列に表示する工程と、
を含む請求項8に記載の基板処理表示方法。
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