JP4671355B2 - 基板処理装置のクリーニング方法,基板処理装置,プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
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Description
まず,本発明の第1実施形態にかかる基板処理装置としてのプラズマ処理装置100について図面を参照しながら説明する。図1は,プラズマ処理装置100の概略構成を示している。このプラズマ処理装置100は,被処理基板としての半導体ウエハ(以下,「ウエハ」という)Wにエッチング処理を施すエッチング処理装置として構成されている。プラズマ処理装置100は,金属製(例えば,アルミニウム製またはステンレス製)の円筒形の処理室(チャンバ)110を有しており,この処理室110の中に例えば直径が300mmのウエハWを載置するステージとしての円柱状のサセプタ111を備えている。
このような制御部200の具体的な構成例について図面を参照しながら説明する。制御部200は,図2に示すように,制御部本体を構成するCPU(中央処理装置)210,CPU210が各部を制御するデータなどを格納するROM(リード・オンリ・メモリ)220,CPU210が行う各種データ処理のために使用されるメモリエリア等を設けたRAM(ランダム・アクセス・メモリ)230,操作画面や選択画面などを表示する液晶ディスプレイなどで構成される表示手段240,オペレータによる種々のデータの入出力などを行うことができる入出力手段250,例えばブザーのような警報器等で構成される報知手段260,基板処理装置100の各部を制御するための各種コントローラ270,基板処理装置100の処理を行うプログラムデータを格納するプログラムデータ記憶手段280,およびプログラムデータに基づく処理を実行するときに使用するレシピデータなどの各種設定情報を記憶する設定情報記憶手段290を備える。プログラムデータ記憶手段280と設定情報記憶手段290は,例えばフラッシュメモリ,ハードディスク,CD−ROMなどの記録媒体で構成され,必要に応じてCPU210によってデータが読み出される。
次に,本実施形態にかかるプラズマ処理装置100において処理室110内で行われる所定の処理の具体例について図面を参照しながら説明する。すなわち,プラズマ処理装置100は,処理室110内に基板を搬入して所定の処理を行う。このような所定の処理としては処理の段階に応じて複数の種別がある。処理の種別としては例えば図3に示すように,処理室内状態調整処理(処理室内状態安定化処理)310と,その後に行うエッチング処理320とがある。
このような本実施形態にかかる処理室110内のクリーニングについて説明する。プラズマ処理装置100において,処理室110内のクリーニングは,処理室内状態調整処理310やエッチング処理320と同様に制御部200によって制御されるものであり,具体的には制御部200に備えられたプログラムデータ記憶手段280に格納されているクリーニングプログラム282が実行されることによって実現されるものである。このときクリーニングプログラム282は,設定情報記憶手段290に格納されているクリーニング設定情報292を参照する。
処理室内圧力(PA): 100mT
上部電極/下部電極印加電力(WA): 300W/0W
クリーニングガス種(GAガス): O2ガス
クリーニングガス流量(QA): 800sccm
クリーニング時間(tA): 40sec
上部電極/下部電極/処理室内壁温度(TA): 60℃/60℃/20℃
処理室内圧力(PB): 100mT
上部電極/下部電極印加電力(WB): 300W/0W
クリーニングガス種(GBガス): O2ガス
クリーニングガス流量(QB): 800sccm
クリーニング時間(tB): 20sec
上部電極/下部電極/処理室内壁温度(TB): 60℃/60℃/20℃
次に,本発明の第2実施形態にかかるプラズマ処理装置について説明する。第2実施形態にかかるプラズマ処理装置の構成を示すブロック図は,図1に示すものと同様であるため,その詳細な説明を省略する。第1実施形態では処理室110で行われる処理の種別ごとにクリーニングレシピを変えられる場合について説明したが,第2実施形態では処理室110で行われる処理の種別ごとにさらにクリーニングタイミングを変えられる場合について説明する。
次に,第2実施形態にかかる処理室内のクリーニングについて図面を参照しながら説明する。図9は本実施形態にかかるプラズマ処理装置が行う処理を示すブロック図である。ここでは,処理室内で行われる処理として,例えば3枚のダミーウエハWdに対して連続してエッチング処理と同様のエッチングレシピで処理室内状態調整処理310を行った後,続いて例えば1ロット25枚のプロセス処理用ウエハWpに対して連続してエッチング処理320を行う場合を例に挙げる。
110 処理室
111 サセプタ
112 排気路
113 バッフル板
114 APCバルブ
115 TMP
116 DP
117 排気管
118 高周波電源
119 整合器
120 電極板
122 直流電源
124 フォーカスリング
125 冷媒室
126 配管
127 伝熱ガス供給孔
128 伝熱ガス供給ライン
129 伝熱ガス供給管
130 プッシャーピン
131 搬入出口
132 ゲートバルブ
133 上部電極
134 ガス通気孔
136 電極支持体
137 バッファ室
138 処理ガス導入管
142 上部電極
144 真空排気口
150 導線
151 スイッチ
152 高周波電源
200 制御部
210 CPU
220 ROM
230 RAM
240 表示手段
250 入出力手段
260 報知手段
270 各種コントローラ
280 プログラムデータ記憶手段
282 クリーニングプログラム
290 設定情報記憶手段
292 クリーニング設定情報
310 処理室内状態調整処理
320 エッチング処理
W ウエハ
Wd 調整用ウエハ(ダミーウエハ)
Wp プロセス処理用ウエハ(製品用ウエハ)
Claims (12)
- 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとに設定情報記憶手段に予め記憶されたクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じたレシピで前記処理室内クリーニングを実行し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内クリーニングの実行時間を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとに設定情報記憶手段に予め記憶されたクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じたレシピで前記処理室内クリーニングを実行し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内の温度を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度よりも高い温度に設定したことを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段を備え,
前記処理室で行われた処理の種別を判定する工程と,
判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得する工程と,
取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する工程と,を有し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内クリーニングの実行時間を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段を備え,
前記処理室で行われた処理の種別を判定する工程と,
判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得する工程と,
取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する工程と,を有し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内の温度を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度よりも高い温度に設定したことを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。 - 前記クリーニングは,前記処理室内にプラズマを発生させることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置のクリーニング方法。
- 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段と,
前記クリーニングを行う際,前記設定情報記憶手段から取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する制御部と,を備え,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内クリーニングの実行時間を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする基板処理装置。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段と,
前記クリーニングを行う際,前記設定情報記憶手段から取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する制御部と,を備え,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内の温度を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度よりも高い温度に設定したことを特徴とする基板処理装置。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段と,
前記クリーニングを行う際,前記処理室で行われた処理の種別を判定し,判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得し,取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する制御部と,を備え,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内クリーニングの実行時間を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする基板処理装置。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置であって,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段と,
前記クリーニングを行う際,前記処理室で行われた処理の種別を判定し,判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得し,取得したクリーニングレシピに基づいて,前記処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する制御部と,を備え,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内の温度を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度よりも高い温度に設定したことを特徴とする基板処理装置。 - 前記クリーニングは,前記処理室内にプラズマを発生させることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の基板処理装置。
- 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって,
前記基板処理装置は,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段を備え,
前記クリーニング方法は,
前記処理室で行われた処理の種別を判定する工程と,
判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得する工程と,
取得したクリーニングレシピに基づいて,前記所定の処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する工程と,を有し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内クリーニングの実行時間を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングの実行時間よりも長い時間に設定したことを特徴とする記録媒体。 - 処理室内に基板を搬入して所定の処理を行った後に,前記処理室内のクリーニングを行う基板処理装置のクリーニング方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって,
前記基板処理装置は,
前記処理の種別として少なくとも前記処理室内にプロセス処理用基板を搬入して行うプロセス処理と,前記プロセス処理を行う前に前記処理室内に調整用基板を搬入して前記処理室内の状態を調整する処理室内状態調整処理とを含み,その処理の種別ごとにクリーニングレシピを予め記憶する設定情報記憶手段を備え,
前記クリーニング方法は,
前記処理室で行われた処理の種別を判定する工程と,
判定した処理の種別に対応するクリーニングレシピを前記設定情報記憶手段から取得する工程と,
取得したクリーニングレシピに基づいて,前記所定の処理の種別に応じた前記クリーニングを実行する工程と,を有し,
前記クリーニングレシピは,少なくとも前記処理室内の温度を含み,前記処理室内状態調整処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度は,前記プロセス処理後の前記処理室内クリーニングにおける前記処理室内温度よりも高い温度に設定したことを特徴とする記録媒体。
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