JP5059320B2 - 基板処理装置のクリーニング方法,基板処理装置,プログラム,プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
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Description
先ず,本発明の実施形態にかかる基板処理装置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態にかかる基板処理装置の概略構成を示す図である。この基板処理装置100は,被処理基板例えば半導体ウエハ(以下,単に「ウエハ」ともいう。)Wに対して成膜処理,エッチング処理等の各種の処理を行う処理ユニット110と,この処理ユニット110に対してウエハWを搬出入させる搬送ユニット120とを備える。
ここで,各処理室200A〜200Dの構成例について図面を参照しながら説明する。図2は各処理室200A〜200Dの構成例を示すブロック図である。ここでは,各処理室200A〜200Dの構成は同様とし,各処理室200A〜200Dの構成要素を示す符号からA〜Dを省略して代表的に説明する。従って,例えば処理室200という場合は各処理室200A〜200Dを示す。
このような構成の処理室200でウエハWの処理を行う際には,先ずその処理室200のゲートバルブを閉じた状態で真空引き処理を行って処理室200内を設定圧力まで減圧する。真空引き処理は,例えば所定圧力まで減圧する粗引き排気処理と,所定圧力からさらに高真空の設定圧力まで減圧する本引き排気処理とにより行われる。
次に,このような本実施形態にかかるクリーニング処理を行う制御部について説明する。このようなクリーニング処理は例えば基板処理装置100を制御する制御部300によって行われるので,以下,制御部300の具体的構成例を図4を参照しながら説明する。
次に,本実施形態にかかる処理室内のクリーニング処理の具体例について説明する。ここでのクリーニング処理としては,上述したような2段階のパーティクル低減処理を実行する。このようなクリーニング処理は,制御部300によって読み出されるクリーニング処理プログラムにより,クリーニング処理設定情報に基づいて実行される。
110 処理ユニット
120 搬送ユニット
130 搬送室
131(131A〜131C) カセット台
132(132A〜132C) カセット容器
136 オリエンタ
150 共通搬送室
160(160M,160N) ロードロック室
170 搬送ユニット側搬送機構
180 処理ユニット側搬送機構
200(200A〜200D) 各処理室
202 圧力センサ
210 載置台
211 下部電極
212 高周波電源
213 整合器
214 静電チャック
215 直流電源
216 可変抵抗
217 スイッチ
218 フォーカスリング
220 上部電極
222 高周波電源
224 整合器
230 ガス導入系
232 主バルブ
234 連通管
236 連通バルブ
240 処理ガス導入系
242 処理ガス供給源
244 上流側ガス導入バルブ
246 流量調整器
248 下流側ガス導入バルブ
250 不活性ガス導入系
252 不活性ガス供給源
254 上流側ガス導入バルブ
255 大流量導入系
258 下流側ガス導入バルブ
265 低流量導入系
266 絞り弁
268 下流側ガス導入バルブ
270 排気系
272 補助ポンプ
280 主排気系
282 主ポンプ
290 補助排気系
292 切換バルブ
300 制御部
310 CPU
320 ROM
330 RAM
340 表示手段
350 入出力手段
360 報知手段
370 各種コントローラ
380 プログラムデータ記憶手段
382 クリーニング処理プログラム
390 設定情報記憶手段
392 クリーニング処理設定情報
W ウエハ
Claims (10)
- 被処理基板に対して所定の処理を施す処理室を備え,前記被処理基板を搬出した後に前記処理室内をクリーニングする基板処理装置のクリーニング方法であって,
前記処理室内を所定の真空圧力による低圧力雰囲気にしてガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記被処理基板を載置台に静電保持する静電保持手段に対して設定情報記憶手段に設定された第1処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第1処理工程と,
前記処理室内を前記第1処理工程よりも高い圧力による高圧力雰囲気にして前記ガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と前記排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記静電保持手段に対して前記設定情報記憶手段に設定された第2処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第2処理工程とによって前記処理室内のクリーニングを行い,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧は,前記処理室において前記静電保持手段に印加する印加電圧と放電との関係を示す放電開始電圧曲線に基づいて前記第1処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであり,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第2処理用印加電圧は,前記放電開始電圧曲線に基づいて前記第2処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであることを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。 - 前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧は,前記第2処理用印加電圧よりも低い電圧に設定されたものであることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置のクリーニング方法。
- 前記設定情報記憶手段には,前記第1処理工程の圧力及び前記第2処理工程の圧力が設定され,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理工程の圧力又は前記第2処理工程の圧力を変更する際には,それらの圧力が,前記放電開始電圧曲線の極小値を超えない範囲ではより低い方に変更し,前記放電開始電圧曲線の極小値を超える範囲ではより高い方に変更することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置のクリーニング方法。 - 前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧及び前記第2処理用印加電圧は,電圧変動制御を行うための電圧を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置のクリーニング方法。
- 前記排気系は,前記処理室内を粗引き排気により減圧するための補助ポンプと,前記処理室内を排気して所定の圧力よりもさらに減圧させるための主ポンプとを備え,
前記第1処理工程は,前記ガス導入系による所定ガスの導入と前記主ポンプによる排気を行いながら前記静電保持手段への電圧印加制御を行い,前記電圧印加制御を終了すると,前記ガス導入系による所定ガスの導入を停止し,少なくとも前記処理室を前記主ポンプにより所定の真空圧力まで減圧し,
前記第2処理工程は,前記ガス導入系による所定ガスの導入と前記補助ポンプによる排気を行いながら前記静電保持手段への電圧印加制御を行い,前記電圧印加制御を終了すると,前記ガス導入系による所定ガスの導入を停止し,前記補助ポンプによる排気を続行して前記処理室内が前記所定の圧力に達すると,少なくとも前記処理室を前記主ポンプにより所定の真空圧力まで減圧することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置のクリーニング方法。 - 前記第1処理工程は,前記静電保持手段への電圧印加制御終了後は,前記主ポンプにより前記処理室と前記ガス導入系の両方を排気して前記所定の真空圧力まで減圧し,
前記第2処理工程は,前記静電保持手段への電圧印加制御終了後は,前記主ポンプと前記補助ポンプにより前記処理室のみを排気して前記所定の真空圧力まで減圧することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置のクリーニング方法。 - 前記処理室を複数備え,
前記第1処理用印加電圧と前記第2処理用印加電圧は,前記各処理室ごとに前記設定情報記憶手段に設定されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置のクリーニング方法。 - 被処理基板に対して所定の処理を施す処理室を備え,前記被処理基板を搬出した後に前記処理室内をクリーニングする基板処理装置であって,
前記載置台の電圧印加制御に用いる第1処理用印加電圧と第2処理用印加電圧とを設定する設定情報記憶手段と,
前記処理室内を所定の真空圧力による低圧力雰囲気にしてガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記被処理基板を載置台に静電保持する静電保持手段に対して設定情報記憶手段に設定された第1処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第1処理工程と,前記処理室内を前記第1処理よりも高い圧力による高圧力雰囲気にして前記ガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と前記排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記静電保持手段に対して前記設定情報記憶手段に設定された第2処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第2処理工程とによって前記処理室内のクリーニングを行う制御部と,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧は,前記処理室において前記静電保持手段に印加する印加電圧と放電との関係を示す放電開始電圧曲線に基づいて前記第1処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであり,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第2処理用印加電圧は,前記放電開始電圧曲線に基づいて前記第2処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであることを特徴とする基板処理装置。 - 被処理基板に対して所定の処理を施す処理室を備え,前記被処理基板を搬出した後に前記処理室内をクリーニングする基板処理装置のクリーニング方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって,
前記クリーニング方法は,
前記処理室内を所定の真空圧力による低圧力雰囲気にしてガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記被処理基板を載置台に静電保持する静電保持手段に対して設定情報記憶手段に設定された第1処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第1処理工程と,
前記処理室内を前記第1処理工程よりも高い圧力による高圧力雰囲気にして前記ガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と前記排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記静電保持手段に対して前記設定情報記憶手段に設定された第2処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第2処理工程とによって前記処理室内のクリーニングを行い,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧は,前記処理室において前記静電保持手段に印加する印加電圧と放電との関係を示す放電開始電圧曲線に基づいて前記第1処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであり,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第2処理用印加電圧は,前記放電開始電圧曲線に基づいて前記第2処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであることを特徴とするプログラム。 - 被処理基板に対して所定の処理を施す処理室を備え,前記被処理基板を搬出した後に前記処理室内をクリーニングする基板処理装置のクリーニング方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって,
前記クリーニング方法は,
前記処理室内を所定の真空圧力による低圧力雰囲気にしてガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記被処理基板を載置台に静電保持する静電保持手段に対して設定情報記憶手段に設定された第1処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第1処理工程と,
前記処理室内を前記第1処理工程よりも高い圧力による高圧力雰囲気にして前記ガス導入系による前記処理室内への所定ガスの導入と前記排気系による前記処理室内の排気を行いながら,前記静電保持手段に対して前記設定情報記憶手段に設定された第2処理用印加電圧による電圧印加制御を行う第2処理工程とによって前記処理室内のクリーニングを行い,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第1処理用印加電圧は,前記処理室において前記静電保持手段に印加する印加電圧と放電との関係を示す放電開始電圧曲線に基づいて前記第1処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであり,
前記設定情報記憶手段に設定された前記第2処理用印加電圧は,前記放電開始電圧曲線に基づいて前記第2処理工程の圧力によって求められる放電開始電圧よりも低い電圧に設定されたものであることを特徴とする記録媒体。
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