JP5031186B2 - 基板処理方法、基板処理システム及び基板処理プログラム - Google Patents
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Description
また、請求項3記載の基板処理方法は、請求項1又は2記載の基板処理方法において、前記昇降ピンは、前記載置台に収容される収容位置と、前記移載アームから前記基板を受け取る受け取り位置と、前記移載アームの前記収容室内への進入を待ち受ける待機位置との間で昇降可能であり、前記移載アームが前記収容室内に進入し始めると、前記収容位置にあった前記昇降ピンが前記待機位置まで突出し、前記移載アームが保持した前記基板が前記載置台の上方に搬送されるまで前記昇降ピンは前記待機位置で待機し、前記移載アームの進入が終了すると、前記昇降ピンは前記受け取り位置まで突出して、前記移載アームから前記基板を受け取ることを特徴とする。
1 基板処理システム
2,60 基板処理装置(P/M)
3 大気搬送装置
4 ロードロック室(L/L)
5,6 ゲートバルブ
7,V45,V46,V61,V62,V65,V66,V67,V68 バルブ
8 連通管
10,51,61 チャンバ
11 サセプタ
12 排気路
13,75 バッフル板
14 APC
15 TMP
16 DP
17,57 排気管
18,69 高周波電源
19,70 整合器
20,35,72 電極板
22,73 直流電源
24,74 フォーカスリング
25,81 冷媒室
26,82 配管
27 伝熱ガス供給孔
28,83 伝熱ガス供給ライン
29,84 伝熱ガス供給部
30,80 プッシャーピン
31 搬入出口
33,65 シャワーヘッド
34 ガス通気孔
36 電極支持体
37,85 バッファ室
38,86 処理ガス導入管
39,87 MFC
40 ウエハカセット
41 ウエハカセット載置台
42 ローダモジュール(L/M)
43 搬送アーム
44 搬送アーム腕部
45,54 ピック
46 マッピングアーム
47 基部
48 アーム基端部支柱
49 昇降台
50 移載アーム
52 N2ガス供給系
53 L/L排気系
55 N2ガス導入管
56,58 制御バルブ
62 下部電極
63 絶縁材
64 支持体
66 上室
67 下室
68 ダイポールリング磁石
71 静電チャック
76 排気系
77 ボールねじ
78 ベローズ
79 ベローズカバー
100 ブレークフィルタ
101a,101b 第1の配管
102a,102b 第2の配管
103a,103b 第3の配管
Claims (12)
- 少なくとも基板処理装置及び基板搬送装置を備え、
前記基板搬送装置は、基板を搬送する移載アームを備え、前記基板処理装置は、収容室と、該収容室内に配置され且つ前記基板を載置する載置台と、該載置台に載置された前記基板と該載置台との間に伝熱ガスを供給する伝熱ガス供給ラインと、該伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う減圧装置と、前記載置台から突出して前記基板を昇降させる昇降ピンとを備える基板処理システムにおいて実行される基板処理方法であって、
前記基板を前記移載アームにより搬送する基板搬送ステップと、前記基板に所定の処理を施す基板処理ステップとを有し、
前記基板搬送ステップ及び前記基板処理ステップは複数の動作からなり、前記複数の動作に含まれる、前記伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う真空引き動作と、前記基板の前記収容室への搬入を前記移載アームによって行う搬入動作と、前記昇降ピンの突出を行うピン突出動作とを並行して実行することを特徴とする基板処理方法。 - 前記搬入動作を行う際に、前記移載アームを停止させる際の慣性力に起因するブレを考慮して、前記移載アームが停止してから前記移載アームから前記昇降ピンへ前記基板を受け渡すまでの間に遅れ時間の設定が不要となるように前記移載アームの移動制御を行うことを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。
- 前記昇降ピンは、前記載置台に収容される収容位置と、前記移載アームから前記基板を受け取る受け取り位置と、前記移載アームの前記収容室内への進入を待ち受ける待機位置との間で昇降可能であり、
前記移載アームが前記収容室内に進入し始めると、前記収容位置にあった前記昇降ピンが前記待機位置まで突出し、
前記移載アームが保持した前記基板が前記載置台の上方に搬送されるまで前記昇降ピンは前記待機位置で待機し、
前記移載アームの進入が終了すると、前記昇降ピンは前記受け取り位置まで突出して、前記移載アームから前記基板を受け取ることを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理方法。 - 更に、前記昇降ピンの下降を行うピン下降動作及び前記基板の前記収容室からの搬出を行う搬出動作を並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記基板処理装置は、前記収容室内の圧力を制御する圧力制御装置を備え、
更に、前記基板の前記収容室への搬入を行う搬入動作及び前記圧力制御装置により前記収容室の昇圧を行う収容室昇圧動作を並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記基板処理装置は、前記載置台に高周波電力を印加する高周波電源と、前記収容室に所望のガスを流量を制御して供給するガス流量制御供給装置とを備え、
更に、前記高周波電源による高周波電力印加を停止する印加停止動作と、前記ガス流量制御供給装置によるガス供給を停止する供給停止動作とを、前記伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う真空引き動作と並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記基板処理装置は、前記収容室内の圧力を制御する圧力制御装置と、前記収容室に所望のガスを流量制御して供給するガス流量制御供給装置とを備え、
更に、前記圧力制御装置により前記収容室の降圧を行う降圧動作、及び前記ガス流量制御供給装置によるガス供給を停止する供給停止動作を並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記基板搬送装置は、昇降自在且つ屈伸自在に構成され、複数の前記基板を収容する基板収容器における前記基板の枚数を計数する腕状の基板枚数計数装置を備え、
更に、前記基板の枚数の計数後、前記基板枚数計数装置の昇降を行う昇降動作及び前記基板枚数計数装置の短縮を行う短縮動作を並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記載置台は昇降自在であり、
前記基板処理装置は、前記収容室内の圧力を制御する圧力制御装置を備え、
更に、前記圧力制御装置により前記収容室の昇圧を行う収容室昇圧動作及び前記載置台の上昇を行う載置台上昇動作を並行して実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 更に、前記圧力制御装置により前記収容室の降圧を行う降圧動作及び前記載置台の下降を行う載置台下降動作を並行して実行することを特徴とする請求項9記載の基板処理方法。
- 少なくとも基板処理装置及び基板搬送装置を備え、
前記基板搬送装置は、基板を搬送する移載アームを備え、前記基板処理装置は、収容室と、該収容室内に配置され且つ前記基板を載置する載置台と、該載置台に載置された前記基板と該載置台との間に伝熱ガスを供給する伝熱ガス供給ラインと、該伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う減圧装置と、前記載置台から突出して前記基板を昇降させる昇降ピンとを備える基板処理システムにおいて、
前記基板処理装置及び前記基板搬送装置は複数の構成要素からなり、少なくとも基板が処理される場合又は前記基板が搬送される場合に、前記複数の構成要素を構成する所定の構成要素が同時に作動することにより、前記伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う真空引き動作と、前記基板の前記収容室への前記移載アームによる搬入動作と、前記昇降ピンの突出を行うピン突出動作とが並行して実行されることを特徴とする基板処理システム。 - 少なくとも基板処理装置及び基板搬送装置を備え、
前記基板搬送装置は、基板を搬送する移載アームを備え、前記基板処理装置は、収容室と、該収容室内に配置され且つ前記基板を載置する載置台と、該載置台に載置された前記基板と該載置台との間に伝熱ガスを供給する伝熱ガス供給ラインと、該伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う減圧装置と、前記載置台から突出して前記基板を昇降させる昇降ピンとを備える基板処理システムにおいて実行される基板処理方法を、該基板処理システムを制御するコンピュータに実行させるための基板処理プログラムであって、
前記基板処理方法は、
前記基板を前記移載アームにより搬送する基板搬送ステップと、前記基板に所定の処理を施す基板処理ステップとを有し、
前記基板搬送ステップ及び前記基板処理ステップは複数の動作からなり、前記複数の動作に含まれる、前記伝熱ガス供給ラインの真空引きを行う真空引き動作と、前記基板の前記収容室への搬入を前記移載アームによって行う搬入動作と、前記昇降ピンの突出を行うピン突出動作とを並行して実行することを特徴とする基板処理プログラム。
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