CN106611725B - 一种刻蚀设备及结束其自动任务的处理方法和处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种刻蚀设备及结束其自动任务的处理方法和处理装置，结束刻蚀设备自动任务的处理方法包括：接收用户发出的结束当前自动任务请求；判断当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开CM；当任务托盘离开CM时，判断当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作；当包括为CM充大气的动作时，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除；判断CM是否处于真空状态；当CM不处于真空状态时，在剩余动作序列中创建为CM抽真空的动作；在剩余动作序列的队尾创建卸载CM的动作；顺序执行剩余动作序列。本发明避免了在结束刻蚀设备自动任务过程中需要人为手动处理情况，降低了设备的使用难度，提高了智能化水平。

Description

一种刻蚀设备及结束其自动任务的处理方法和处理装置

技术领域

本发明涉及刻蚀技术领域，特别是涉及一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法、一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置和一种刻蚀设备。

背景技术

在一种改进的单腔LED(Light Emitting Diode，发光二极管)刻蚀设备(机台)中，如图1所示，片盒腔室(CM)被设计成只有放片和取片两个位置。当执行自动任务时，控制系统控制传输模块(TM，Transfer Module)从取片位置取出托盘，并将托盘传入工艺腔室(PM，Process Module)，托盘加工完成后，再控制TM(包括机械手)将托盘放回放片位置，卸载CM，加工完成。

为提高机台产率，相关技术提供了一种连续生产的自动任务模式，即机台在第1个托盘(托盘1)进行加工时，控制系统自动为CM充大气，当CM充大气动作结束后，操作人员可再放入第2个托盘(托盘2)并等待PM加工，等待过程中，控制系统自动为CM抽真空，并当托盘1加工完成并放入CM后，TM立即取出托盘2进行加工。如此反复，控制系统可实现PM加工与CM充气、抽气动作并行进行，从而提高产率。其中，上述机台连续生产自动任务对应的动作序列如下：

S1’、托盘1放入CM，为CM抽真空。

S2’、TM从CM取出托盘1。

S3’、TM将托盘1传入PM。

S4’、PM加工托盘1。

S5’、为CM充大气。

S6’、托盘2放入CM。

S7’、为CM抽真空。

S8’、TM将托盘1传回CM。

S9’、TM从CM取出托盘2。

S10’、跳转至步骤S3’。

在某种情况下，操作人员需要结束当前托盘的加工，并停止进行后续托盘的加工。此处结束当前托盘加工的定义是：机台将当前已离开CM的托盘加工完成后传回CM后，控制系统卸载CM，如果CM中有正在等待加工的托盘，则不再传入PM，自动任务结束。具体应用中，当控制系统接收到结束自动任务的请求时，控制系统会将当前已离开CM的托盘按照已定义的动作序列完成加工并传回CM中，然后卸载CM，结束自动任务。另外，一般情况下，如果托盘2已经放入CM，并已开始请求执行加工，此时操作人员发出结束自动任务的请求时，控制系统会将托盘1加工完成并放回CM中，不再加工托盘2，然后控制系统自动卸载CM，任务顺利结束。而但是操作人员在以下两种结束时机发出请求时，机台会需要人为干预。

其中，结束时机1为托盘1离开CM还未进入PM中，即在步骤S3’开始之前时，操作人员请求结束自动任务。此时，控制系统会按照已定义的动作序列继续加工托盘1，即TM将托盘1传入PM，PM加工托盘1，CM充大气，TM取出托盘1并传回CM，而在传回托盘1至CM时，由于CM此时是大气状态，TM为真空状态，两个腔室的压力差会导致CM阀门无法打开，控制系统会抛出报警。这时需要人为手动为CM抽真空，待CM满足真空条件时控制系统才能继续传回托盘1。此种情况下，托盘1的所有动作序列为：S1’-S2’-S3’-S4’-S5’-S8’，控制系统浪费了CM的充气、抽气时间，同时为操作人员增加了处理异常情况的难度，进而影响了机台产率。

结束时机2为当CM充大气完成(即步骤S5’结束)后且操作人员不再继续放入托盘2(即步骤S6’未开始)，操作人员请求结束自动任务。此时，托盘1的所有动作序列为：S1’-S2’-S3’-S4’-S5’-S8’，控制系统会在将托盘1加工完成后，传回CM，而由于此时CM为大气状态，仍会因为压力差原因导致无法打开阀门，需要人为手动给CM抽真空。

上述相关技术的缺点是：无论操作人员在何种结束时机请求结束自动任务，控制系统都会根据已定义的动作序列执行托盘1的加工。而对于上述结束时机1，步骤S5’为CM充大气动作是不必要的，因为操作人员不想再继续放入托盘2进行加工。对于结束时机2，控制系统在已知晓CM为大气状态会导致放回托盘1失败的情况下，并没有采取为CM抽真空的措施避免问题发生，而是需要人工为CM抽真空，才能继续传回托盘。以上两种结束时机均需要人工干预，即控制系统增加了操作人员的操作难度。

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：对上述单腔LED刻蚀机台的控制系统进行改进。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法，该结束刻蚀设备自动任务的处理方法在结束刻蚀设备自动任务时，能够避免需要人为处理情况。

相应的，本发明实施例还提供了一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置，用以保证上述方法的实现及应用。

相应的，本发明实施例还提供了一种刻蚀设备。

为了解决上述问题，本发明公开了一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法，包括以下步骤：接收用户发出的结束当前自动任务请求；判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM；当所述任务托盘离开所述CM时，判断所述当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为所述CM充大气的动作；当包括为所述CM充大气的动作时，将所述为所述CM充大气的动作从所述剩余动作序列中移除；判断所述CM是否处于真空状态；当所述CM不处于所述真空状态时，在所述剩余动作序列中创建为所述CM抽真空的动作，其中，所述为所述CM抽真空的动作设置在刻蚀设备的TM将所述任务托盘传回所述CM的动作之前；在所述剩余动作序列的队尾创建卸载所述CM的动作；以及顺序执行所述剩余动作序列。

进一步地，当所述任务托盘停留在所述CM中时，还包括以下步骤：清空所述当前自动任务的剩余动作序列。

进一步地，所述判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM，具体包括以下步骤：当在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，所述当前自动任务存在执行将第一托盘放入所述CM的动作或从所述CM中取出所述第一托盘的动作或将第二托盘放入所述CM的动作时，将所述当前自动任务的任务ID(Identity，身份标识号码)值赋值至托盘的状态变量；判断所述托盘的状态变量值与在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从所述CM中取出托盘动作的任务ID值是否相等，其中，每个自动任务具有唯一的任务ID，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等；以及当相等时，判断所述任务托盘离开所述CM。

进一步地，所述判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM还包括以下步骤：当不相等时，判断所述任务托盘停留在所述CM中。

与现有技术相比，本发明实施例的结束刻蚀设备自动任务的处理方法包括以下优点：针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求时，可以根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)采取不同的结束任务策略来顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了刻蚀设备智能化水平。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置，包括：接收模块，用于接收用户发出的结束当前自动任务请求；判断模块，用于判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM，并当所述任务托盘离开所述CM时，判断所述当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为所述CM充大气的动作，以及判断所述CM是否处于真空状态，并当所述CM不处于所述真空状态时，在所述剩余动作序列中创建为所述CM抽真空的动作；所述为所述CM抽真空的动作设置在刻蚀设备的TM将所述任务托盘传回所述CM的动作之前；以及动作执行模块，用于当所述剩余动作序列中包括为所述CM充大气的动作时，将所述为所述CM充大气的动作从所述剩余动作序列中移除，并在所述剩余动作序列的队尾创建卸载所述CM的动作，以及顺序执行所述剩余动作序列。

进一步地，当所述判断模块判断所述任务托盘停留在所述CM中时，所述动作执行模块还用于清空所述当前自动任务的剩余动作序列。

进一步地，判断模块具体包括：赋值单元，用于当在接收模块接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，所述当前自动任务存在执行将第一托盘放入所述CM的动作或从所述CM中取出所述第一托盘的动作或将第二托盘放入所述CM的动作时，将所述当前自动任务的任务ID值赋值至托盘的状态变量；以及判断子单元，用于判断所述托盘的状态变量值与在接收模块接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从所述CM中取出托盘动作的任务ID值是否相等，并当相等时，判断所述任务托盘离开所述CM；每个自动任务具有唯一的任务ID，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等。

进一步地，当不相等时，所述判断子单元判断所述任务托盘停留在所述CM中。

与现有技术相比，本发明实施例的结束刻蚀设备自动任务的处理装置包括以下优点：针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求，可以根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)采取不同的结束任务策略来顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了刻蚀设备智能化水平。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种刻蚀设备，包括：CM、PM和分别与所述CM和所述PM相连的TM；以及所述的结束刻蚀设备自动任务的处理装置，所述结束刻蚀设备自动任务的处理装置分别与所述CM、所述PM和所述TM相连。

与现有技术相比，本发明实施例的刻蚀设备包括以下优点：通过结束刻蚀设备自动任务的处理装置来针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求，根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)，采取不同的结束任务策略以顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了智能化水平。

附图说明

图1是改进的单腔LED刻蚀设备的机台样式图；

图2是本发明的一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法实施例的步骤流程图；

图3是本发明的一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法具体实施例的步骤流程图；

图4是本发明的一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置实施例的结构框图；以及

图5是本发明的一种刻蚀设备的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明实施例的核心构思之一在于，在结束刻蚀设备自动任务时，针对用户在不同时机发起的结束当前自动任务请求，都会根据刻蚀设备状况采取不同的策略顺利完成任务，以避免需要人为处理情况。

参照图2，示出了本发明的一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法实施例的步骤流程图，具体可以包括如下步骤：

S1，接收用户发出的结束当前自动任务请求。

S2，判断当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM。

其中，在本发明的一个具体实施例中，刻蚀设备可以为如图1所示的改进的单腔LED刻蚀设备。

具体地，在本发明的一个实施例中，自动任务包括的动作序列可以如下：

S1’、托盘1放入CM，为CM抽真空。

S2’、TM从CM取出托盘1。

S3’、TM将托盘1传入PM。

S4’、PM加工托盘1。

S5’、为CM充大气。

S6’、托盘2放入CM。

S7’、为CM抽真空。

S8’、TM将托盘1传回CM。

S9’、TM从CM取出托盘2。

S10’、跳转至步骤S3’。

具体地，在本发明的一个实施例中，判断当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM即步骤S2，具体可以包括以下步骤：

S21，当在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，当前自动任务存在执行将第一托盘放入CM的动作或从CM中取出第一托盘的动作或将第二托盘放入CM的动作等时，将当前自动任务的任务ID值赋值至托盘的状态变量。

其中，第一托盘可以为托盘1，第二托盘可以为托盘2。在本发明的一个实施例中，可以定义托盘的状态变量为ActiveTaskID，用以区分任务托盘是停留在CM中还是离开CM。

S22，判断托盘的状态变量值与在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从CM中取出托盘动作的任务ID值是否相等，其中，每个自动任务具有唯一的任务ID，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等。

具体地，在本发明的一个实施例中，当前自动任务可以存在仅执行将第一托盘放入CM的动作，即在步骤S1’之后和S2’之前接收用户发出的结束当前自动任务请求。此时，从CM中取出托盘动作的任务ID值与上一个自动任务的任务ID值相等，托盘的状态变量值与当前自动任务的任务ID值相等，因此，托盘的状态变量值与从CM中取出托盘动作的任务ID值不相等。

具体地，在本发明的另一个实施例中，当前自动任务可以存在执行从CM中取出第一托盘的动作且不执行将第二托盘放入CM的动作，即在步骤S2’之后和步骤S6’之前接收用户发出的结束当前自动任务请求。此时，从CM中取出托盘动作即步骤S2’的任务ID值与当前自动任务的任务ID值相等，托盘的状态变量值与当前自动任务的任务ID值相等，因此，托盘的状态变量值与从CM中取出托盘动作的任务ID值相等。

具体地，在本发明的再一个实施例中，当前自动任务可以存在执行将第二托盘放入CM的动作，即在步骤S6’之后接收用户发出的结束当前自动任务请求。此时，从CM中取出托盘动作即步骤S2’，因此，托盘的状态变量值与从CM中取出托盘动作的任务ID值相等。

S23，当相等时，判断任务托盘离开CM。

具体地，在本发明的一个实施例中，步骤S2还包括以下步骤：

S24，当不相等时，判断任务托盘停留在CM中。

具体地，在本发明的一个实施例中，当任务托盘停留在CM中时，还可以包括以下步骤：

S9，清空当前自动任务的剩余动作序列。

此时，刻蚀设备不再执行当前自动任务，在清空当前自动任务的剩余动作序列后，执行卸载CM的动作。

S3，当任务托盘离开CM时，判断当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作。

其中，可以通过遍历剩余动作序列来判断剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作。

S4，当包括为CM充大气的动作时，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除。

S5，判断CM是否处于真空状态。

S6，当CM不处于真空状态时，在剩余动作序列中创建为CM抽真空的动作，其中，为CM抽真空的动作设置在刻蚀设备的TM将任务托盘传回CM的动作之前。

需要说明的是，将为CM抽真空的动作设置在TM将任务托盘传回CM的动作之前，可以确保TM将任务托盘传回CM时，CM为真空状态，从而避免了CM阀门无法打开，系统抛出报警的情况。

S7，在剩余动作序列的队尾创建卸载CM的动作。

可以定义卸载CM的动作为S11’。

S8，顺序执行剩余动作序列。

当剩余动作序列全部执行完毕后，当前自动任务顺利结束。

具体地，在本发明的一个实施例中，对于相关技术中的结束时机1，当前自动任务的剩余动作序列中包括为CM充大气的动作，此时，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除后，托盘1的所有动作序列为：S1’-S2’-S3’-S4’-S8’，剩余动作序列为S3’-S4’-S8’-S11’，此时，顺序执行剩余动作序列后，当前自动任务顺利结束，避免了CM阀门无法打开导致系统抛出报警，而需人为手动为CM抽真空的情况。

具体地，在本发明的另一个实施例中，对于相关技术中的结束时机2，当前自动任务的剩余动作序列中不包括为CM充大气的动作且CM处于大气状态，此时，用户不再继续放入托盘2，在剩余动作序列中创建为CM抽真空的动作后，托盘1的所有动作序列为：S1’-S2’-S3’-S4’-S5’-S7’-S8’，剩余动作序列为S7’-S8’-S11’，此时，顺序执行剩余动作序列后，当前自动任务顺利结束，避免了CM阀门无法打开导致系统抛出报警，而需人为手动为CM抽真空的情况。

具体地，在本发明的一个具体实施例中，如图3所示，结束刻蚀设备自动任务的处理方法可以包括以下步骤：

S31，接收用户发出的结束当前自动任务请求。

S32，判断任务托盘是否停留在CM中。

如果否，进入步骤S33，如果是，进入步骤S310。

S33，判断当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作。

如果是，进入步骤S34，如果否，进入步骤S35。

S34，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除。

S35，判断CM是否处于真空状态。

如果否，进入步骤S36，如果是，进入步骤S37。

S36，创建为CM抽真空的动作。

该为CM抽真空的动作设置在剩余动作序列中TM将任务托盘传回CM的动作之前。

S37，在剩余动作序列的队尾创建卸载CM的动作。

S38，执行剩余动作序列。

S39，判断剩余动作序列中所有动作是否执行完成。

如果是，进入步骤S311，如果否，返回步骤S38。

S310，清空当前自动任务的剩余动作序列。

在步骤S310之后，进入步骤S311。

S311，结束当前自动任务。

综上所述，与相关技术相比，本发明实施例的结束刻蚀设备自动任务的处理方法包括如下优点：针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求，可以根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)采取不同的结束任务策略来顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了刻蚀设备智能化水平。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图4，示出了本发明一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置1实施例的结构框图，具体可以包括如下模块：接收模块11、判断模块12以及动作执行模块13。其中，接收模块11用于接收用户发出的结束当前自动任务请求。判断模块12用于判断当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的CM，并当任务托盘离开CM时，判断当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作，以及判断CM是否处于真空状态，并当CM不处于真空状态时，在剩余动作序列中创建为CM抽真空的动作，为CM抽真空的动作设置在刻蚀设备的TM将任务托盘传回CM的动作之前。动作执行模块13用于当剩余动作序列中包括为CM充大气的动作时，将为CM充大气的动作从剩余动作序列中移除，并在剩余动作序列的队尾创建卸载CM的动作，以及顺序执行剩余动作序列。

进一步地，在本发明的一个实施例中，当判断模块12判断任务托盘停留在CM中时，动作执行模块13还可以用于清空当前自动任务的剩余动作序列。

在本发明的一个实施例中，判断模块12具体可以包括：赋值单元121以及判断子单元122。其中，赋值单元121用于当在接收模块11接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，当前自动任务存在执行将第一托盘放入CM的动作或从CM中取出第一托盘的动作或将第二托盘放入CM的动作时，将当前自动任务的任务ID值赋值至托盘的状态变量。判断子单元122用于判断托盘的状态变量值与在接收模块11接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从CM中取出托盘动作的任务ID值是否相等，并当相等时，判断任务托盘离开CM，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等。另外，在本发明的另一个实施例中，当不相等时，判断子单元122判断任务托盘停留在CM中。

与相关技术相比，本发明实施例的结束刻蚀设备自动任务的处理装置包括如下优点：针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求，可以根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)采取不同的结束任务策略来顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了刻蚀设备智能化水平。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

参照图5，示出了本发明一种刻蚀设备实施例的结构框图，具体可以包括如下模块：CM、PM、TM以及上述的结束刻蚀设备自动任务的处理装置1。其中，TM分别与CM和PM相连。结束刻蚀设备自动任务的处理装置1分别与CM、PM和TM相连。

与相关技术相比，本发明实施例的刻蚀设备包括如下优点：通过结束刻蚀设备自动任务的处理装置来针对用户在不同结束时机发出结束当前自动任务请求，根据任务托盘位置和当前机台状态(包括剩余动作序列中是否包括为CM充大气的动作和CM是否处于真空状态等)，采取不同的结束任务策略以顺利结束当前自动任务，避免了抛出任务中断报警，降低了用户使用难度，取消了人为手动操作，提高了智能化水平。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法、一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置和一种刻蚀设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种结束刻蚀设备自动任务的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

接收用户发出的结束当前自动任务请求；

判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的片盒腔室；

当所述任务托盘离开所述片盒腔室时，判断所述当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为所述片盒腔室充大气的动作；

当包括为所述片盒腔室充大气的动作时，将所述为所述片盒腔室充大气的动作从所述剩余动作序列中移除；

判断所述片盒腔室是否处于真空状态；

当所述片盒腔室不处于所述真空状态时，在所述剩余动作序列中创建为所述片盒腔室抽真空的动作，其中，所述为所述片盒腔室抽真空的动作设置在刻蚀设备的控制系统控制传输模块将所述任务托盘传回所述片盒腔室的动作之前；

在所述剩余动作序列的队尾创建卸载所述片盒腔室的动作；以及

顺序执行所述剩余动作序列。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，当所述任务托盘停留在所述片盒腔室中时，还包括以下步骤：

清空所述当前自动任务的剩余动作序列。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的片盒腔室，具体包括以下步骤：

当在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，所述当前自动任务存在执行将第一托盘放入所述片盒腔室的动作或从所述片盒腔室中取出所述第一托盘的动作或将第二托盘放入所述片盒腔室的动作时，将所述当前自动任务的任务ID值赋值至托盘的状态变量；

判断所述托盘的状态变量值与在接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从所述片盒腔室中取出托盘动作的任务ID值是否相等，其中，每个自动任务具有唯一的任务ID，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等；以及

当相等时，判断所述任务托盘离开所述片盒腔室。

4.根据权利要求3所述的处理方法，其特征在于，还包括以下步骤：

当不相等时，判断所述任务托盘停留在所述片盒腔室中。

5.一种结束刻蚀设备自动任务的处理装置，其特征在于，包括：

接收模块，用于接收用户发出的结束当前自动任务请求；

判断模块，用于判断所述当前自动任务需要加工的任务托盘是否离开刻蚀设备的片盒腔室，并当所述任务托盘离开所述片盒腔室时，判断所述当前自动任务的剩余动作序列中是否包括为所述片盒腔室充大气的动作，以及判断所述片盒腔室是否处于真空状态，并当所述片盒腔室不处于所述真空状态时，在所述剩余动作序列中创建为所述片盒腔室抽真空的动作；所述为所述片盒腔室抽真空的动作设置在刻蚀设备的控制系统控制传输模块将所述任务托盘传回所述片盒腔室的动作之前；以及

动作执行模块，用于当所述剩余动作序列中包括为所述片盒腔室充大气的动作时，将所述为所述片盒腔室充大气的动作从所述剩余动作序列中移除，并在所述剩余动作序列的队尾创建卸载所述片盒腔室的动作，以及顺序执行所述剩余动作序列。

6.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，当所述判断模块判断所述任务托盘停留在所述片盒腔室中时，所述动作执行模块还用于清空所述当前自动任务的剩余动作序列。

7.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，判断模块具体包括：

赋值单元，用于当在接收模块接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，所述当前自动任务存在执行将第一托盘放入所述片盒腔室的动作或从所述片盒腔室中取出所述第一托盘的动作或将第二托盘放入所述片盒腔室的动作时，将所述当前自动任务的任务ID值赋值至托盘的状态变量；以及

判断子单元，用于判断所述托盘的状态变量值与在接收模块接收用户发出的结束当前自动任务请求之前，从所述片盒腔室中取出托盘动作的任务ID值是否相等，并当相等时，判断所述任务托盘离开所述片盒腔室；每个自动任务具有唯一的任务ID，自动任务的动作序列中每个动作的任务ID值与对应自动任务的任务ID值相等。

8.根据权利要求7所述的处理装置，其特征在于，当不相等时，所述判断子单元判断所述任务托盘停留在所述片盒腔室中。

9.一种刻蚀设备，其特征在于，包括：

片盒腔室、工艺腔室和分别与所述片盒腔室和所述工艺腔室相连的控制系统控制传输模块；以及

如权利要求5-8中任一项所述的结束刻蚀设备自动任务的处理装置，所述结束刻蚀设备自动任务的处理装置分别与所述片盒腔室、所述工艺腔室和所述控制系统控制传输模块相连。