JP5463066B2 - ロット処理開始判定方法及び制御装置 - Google Patents
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Description
基板処理システム10は、第1のプロセスシップPS1、第2のプロセスシップPS2、第3のプロセスシップPS3、第4のプロセスシップPS4、大気搬送室TM、位置合わせ機構AL、ロット毎に製品ウエハを収納する、第1の基板収納容器としての製品用キャリアLP1〜LP3、およびダミー用ウエハを収納する、第2の基板収納容器としてのダミー用キャリアLP4を有している。
つぎに、制御装置20のハードウエハ構成について説明する。制御装置20は、ROM205、RAM210、CPU215、バス220及びインタフェース225を有している。
次に、制御装置20の動作について図2〜図6を参照しながら説明する。図2は、制御装置20によって実行されるロット処理開始判定処理を示したフローチャートである。
この状態で、制御装置20は、図2のロット処理開始判定処理を実行すると、ます、ステップS200にてメモリに記憶されたシステムレシピや各種パラメータ値から次ロットのプロセス条件と次ロットの製品ウエハの処理枚数とを取得する。プロセス条件としては、クリーニングまでのPM使用回数、PM使用回数積算値、シーズニングウエハの必要枚数、搬送経路等が挙げられる。
ロット開始許可の具体例を説明する。図3に示したロット開始許可例1では、1ロットに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求める。たとえば、図3(a)及び図3(b)の条件で、制御装置20がステップS210の計算を実行すると、図3(c)に示したように、基板処理室PM1〜PM4のロット処理前にシーズニングウエハが1枚ずつ合計で4枚必要になる。PM使用回数積算値は、いずれの基板処理室PMも4枚なので、基板処理室PM1〜PM4ではシーズニング処理後の製品ウエハの処理は1枚しか実行できず、その後、基板処理室PM1〜PM4にクリーニングウエハが1枚ずつ合計で4枚必要になる。
図4に示したロット開始許可例2では、図4(b)の搬送経路に示したように、まず、ロットAに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求めた後、ロットBに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求める。
次に、ロット開始抑制の具体例を説明する。図5に示したロット開始抑制例1では、1ロットに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求める。
図6に示したロット開始抑制例2では、図6(a)の搬送経路に示したように、ロットCに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求めた後、ロットDに属する25枚の製品ウエハを処理するために必要なダミーウエハの枚数を求める。
制御装置20は、ロットの処理開始を抑制した場合、コントロールパネルにダミー用キャリアの交換又はダミーウエハの交換を促すためのアラームを表示する。アラームは表示とともに音声出力してもよい。これに対して、システム管理者は、ダミー用キャリアを交換するか、ダミー用キャリア中の使用済みダミーウエハを交換する。これにより、次のロット処理を開始することができる。なお、コントロールパネルは、システム管理者がシステムを監視及び管理するためのモニタに相当する。
制御装置20は、各ロットが終了する毎に次のロット以降に使用するダミーウエハの枚数を再計算する。たとえば、図6のロット開始抑制例2では、ロットC終了直後にロットDについて再計算し、ロットDが処理開始できるかどうかを再度判定する。たとえば、ロットCとロットDとのプロセスが同一である場合、基板処理室PM3にてロットDの処理開始前のシーズニングは不要となる、よって、この場合には、再計算により、ロットDに必要なシーズニングウエハは1枚、クリーニングウエハは6枚だけとなる。この結果、制御装置20は、再計算によりロットDの処理開始を許可する。
20 制御装置
205 ROM
210 RAM
215 CPU
TM 大気搬送室
TU 基板搬送ユニット
PM1,PM2,PM3,PM4 基板処理室
LL1,LL2,LL3、LL4 ロードロック室
LP1,LP2,LP3 製品用キャリア
LP4 ダミー用キャリア
PS1,PS2,PS3,PS4 プロセスシップ
AL 位置合わせ機構
Claims (8)
- 基板に所望の処理を施す基板処理室、ロット毎に製品用基板を収納する第1の基板収納容器、及びダミー用基板を収納する第2の基板収納容器を備える基板処理システムにおけるロット処理開始判定方法であって、
前記第1の基板収納容器に収納された各ロットのプロセス条件と前記第2の基板収納容器に収納されたダミー用基板の使用可能回数とを所与のメモリに記憶する記憶ステップと、
前記第2の基板収納容器に収納されたダミー用基板の使用回数をカウントする積算ステップと、
前記メモリに記憶された各ロットのプロセス条件に基づき、前記第1の基板収納容器に収納され、次に処理予定のロットである次ロットに含まれる製品用基板のすべてを処理するために必要なダミー用基板の枚数を求め、求められた次ロットのダミー用基板の枚数を前記積算ステップにてカウントされたダミー用基板の使用回数に積算し、その積算値が前記メモリに記憶された前記ダミー用基板の使用可能回数を越えているかを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにより前記積算値が前記ダミー用基板の使用可能回数を越えていると判定された場合、前記次ロットの処理開始を抑制する抑制ステップと、を含むロット処理開始判定方法。 - 前記次ロットの処理開始が抑制された場合、前記第2の基板収納容器の交換又は前記第2の基板収納容器へのダミー用基板の交換を実行する交換ステップを含む請求項1に記載のロット処理開始判定方法。
- 前記次ロットの処理開始が抑制された場合、モニタに前記次ロットの処理開始が抑制されたことを示すアラームを表示する請求項1又は2のいずれかに記載のロット処理開始判定方法。
- 処理中の現ロットの処理が完了した場合、前記判定ステップは、再度、処理開始が抑制されている次ロットに対して前記次ロットに含まれる製品用基板のすべてを処理するために必要なダミー用基板の枚数を前記積算ステップにてカウントされたダミー用基板の使用回数に積算し、その積算値が前記メモリに記憶された前記ダミー用基板の使用可能回数を越えているかを判定し、
前記判定ステップにより前記積算値が前記ダミー用基板の使用可能回数以内であると判定された場合、前記次ロットの処理の開始を許可する処理開始許可ステップを含む請求項1〜3のいずれか一項に記載のロット処理開始判定方法。 - 前記次ロットの処理開始が抑制された場合、前記判定ステップは、前記次ロットに続く待ちロットに対して該待ちロット処理中に必要なダミー用基板の枚数を前記積算ステップにてカウントされたダミー用基板の使用回数に積算し、その積算値が前記メモリに記憶された前記ダミー用基板の使用可能回数を越えているかを判定し、
前記判定ステップにより積算値が前記ダミー用基板の使用可能回数以内であると判定された場合、前記処理開始許可ステップは、前記待ちロットの処理を前記次ロットの処理に先行して開始する請求項4に記載のロット処理開始判定方法。 - 前記積算ステップは、次ロットに含まれる製品用基板のすべてを処理するために必要と見込まれるダミー用基板の最大の枚数を前記積算ステップにてカウントされたダミー用基板の使用回数に積算する請求項1〜5のいずれか一項に記載のロット処理開始判定方法。
- 前記ダミー用基板は、クリーニング用基板又はシーズニング用基板の少なくともいずれかである請求項1〜6のいずれか一項に記載のロット処理開始判定方法。
- 基板に所望の処理を施す基板処理室、ロット毎に製品用基板を収納する第1の基板収納容器、及びダミー用基板を収納する第2の基板収納容器を備える基板処理システムを制御する制御装置であって、
前記第1の基板収納容器に収納された各ロットのプロセス条件と前記第2の基板収納容器に収納されたダミー用基板の使用可能回数とを所与のメモリに記憶し、
前記第2の基板収納容器に収納されたダミー用基板の使用回数をカウントし、
前記メモリに記憶された各ロットのプロセス条件に基づき、前記第1の基板収納容器に収納され、次に処理予定のロットである次ロットに含まれる製品用基板のすべてを処理するために必要なダミー用基板の枚数を求め、
前記求められた次ロットのダミー用基板の枚数を前記カウントされたダミー用基板の使用回数に積算し、その積算値が前記メモリに記憶された前記ダミー用基板の使用可能回数を越えているかを判定し、
前記積算値が前記ダミー用基板の使用可能回数を越えていると判定された場合、前記次ロットの処理開始を抑制する制御装置。
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