JP5954108B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
既述の特許文献1には、このような特定のスロットにて成膜される薄膜の特性を評価する技術については記載されていない。
処理容器と、この処理容器内に設けられ、各々基板を載置する複数の載置領域がその周方向に沿って形成されると共に鉛直軸周りに回転自在な回転テーブルと、基板を処理するために前記載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、を備えたプロセスモジュールと、
製品基板が収納された搬送容器を載置するためのロードポートと、
ダミー基板が収納されたダミー基板収納部と、
前記ロードポート上の搬送容器または前記ダミー基板収納部と前記回転テーブルとの間で製品基板またはダミー基板の受け渡しを行うための搬送機構が設けられた搬送室と、
前記搬送容器内の少なくとも1枚の製品基板について前記複数の載置領域のうちいずれの載置領域に搬送するかを設定するための設定部と、
前記設定部にて設定された製品基板が搬入される載置領域以外の他の載置領域には、ダミー基板を搬入するように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記制御部は、プロセスモジュールにおける一の処理が終了して続く他の処理を開始する時、これら一の処理と他の処理とにおいて前記回転テーブル上におけるダミー基板の配置レイアウトが揃っている場合には、前記一の処理における製品基板を前記処理容器から搬出した後、当該一の処理におけるダミー基板については前記回転テーブルに載置したまま、前記他の処理における製品基板を前記処理容器に搬入するように制御信号を出力することを特徴とする。
第1の搬送モードと第2の搬送モードとを選択するためのモード選択部を備え、
前記第1の搬送モードは、前記設定部を用いずに搬送容器内の製品基板を順次前記載置領域に搬送し、製品基板の数が載置領域の数に満たない時にダミー基板により載置領域を満たすように制御信号を出力するモードであり、
前記第2の搬送モードは、前記設定部に相当する設定画面が表示され、この設定画面により設定された設定事項が有効になるモードである構成。
前記搬送室には、処理容器と、この処理容器内に設けられ、各々基板を載置する複数の載置領域がその周方向に沿って形成されると共に鉛直軸周りに回転自在な回転テーブルと、基板を処理するために前記載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、を備えた、前記プロセスモジュールとは別のプロセスモジュールが接続され、
前記設定部は、前記少なくとも一枚の製品基板について、前記プロセスモジュール及び前記別のプロセスモジュールの一方のプロセスモジュールにおける複数の前記載置領域のうちいずれか一つの載置領域を対応付けて設定するものである構成。
本発明の基板処理装置の実施の形態の一例について、図1〜図7を参照して説明する。始めに基板処理装置の概略について簡単に説明すると、この装置は、ウエハWを載置する載置領域が処理容器の周方向に沿って複数箇所に配置された回転テーブルを備えたプロセスモジュール1を備えており、このプロセスモジュール1にて各ウエハWに対して成膜処理を行うように構成されている。そして、この装置は、処理容器にウエハWを搬送するにあたり、載置領域の各々について、製品用ウエハW及びダミーウエハWのうち任意の種別のウエハWを載置できる機能を備えている。以下に、前記機能について詳述する前に、基板処理装置及びプロセスモジュール1の構成について説明する。
続いて、入力部77におけるレシピの設定方法と共に、上述の基板処理装置における作用について、図8〜図12を参照して説明する。始めに、「PMスロット選択モード」をオフにした状態、即ち例えば製品ウエハWに対して連続して処理を行う時(半導体装置の生産時)の第1の搬送モードについて説明する。先ず、既述の図7の選択画面88において、例えばポートLP1、LP2については製品ウエハWが収納された搬送容器5が載置され、ポートLP3についてはダミーウエハWが収納された搬送容器5が載置されるものと設定する。このように各ポートLP1〜LP3に載置されるウエハWの種別を設定するにあたり、ロードポート6に搬送容器5が実際に載置される前に設定しても良いし、各搬送容器5をロードポート6に載置した後で設定しても良い。
次いで、真空容器10を気密に閉じると共に、真空容器10内を成膜圧力に設定する。また、回転テーブル12を例えば2rpm〜240rpmで時計周りに回転させながら、ヒータユニット17によりウエハWを加熱する。
次に、既述の「PMスロット選択モード」をオンにした場合の第2の搬送モードの作用について、図13〜図22を参照して説明する。始めに、このような「PMスロット選択モード」を設けた理由について説明する。既述のように、例えば成膜試験を行う時、5つのスロット20のうちある特定のスロット20にて成膜処理の再現性を確認する場合がある。具体的には、1番目のスロット21及び4番目のスロット24だけで製品ウエハWに対して成膜処理を行う場合がある。このような成膜試験を行うにあたり、これら1番目のスロット21及び4番目のスロット24以外の他のスロット20にウエハWを載置しないで成膜処理を行うと、既述のように後続の処理において別のウエハWの裏面の汚染やパーティクルの発生が起こるおそれがある。一方、製品ウエハWを前記他のスロット20に載置して成膜処理を行うと、これら3つのスロット20に載置されるウエハWの分だけコストアップに繋がってしまう。
以下に、本発明の他の例について説明する。図23〜図26は、ダミーウエハWを連続使用する例を示している。即ち、既述の図13などで説明した例では、一の成膜処理(ロット1)と、当該一の成膜処理に続いて行われる他の成膜処理(ロット2)とでは、ダミーウエハWはいずれもスロット21、24に載置される設定となっている。このダミーウエハWは、既述のように、薄膜がスロット20の下面に付着しないようにするためのものであり、複数の成膜処理で流用しても良い。そして、これら一の成膜処理及び他の成膜処理ではダミーウエハWの配置場所(配置レイアウト)が揃っているため、一の成膜処理が終了した後、他の成膜処理を開始する時にはダミーウエハWを取り出す必要がないと言える。しかし、既述の例では、一の成膜処理が終了すると、ダミーウエハWは、一旦ポートLP3の搬送容器5に戻されて、その後他の成膜処理を開始する時、再度搬送容器5から当該ダミーウエハWあるいは別のダミーウエハWが取り出される運用となっていた。そこで、この例では、ダミーウエハWを連続使用できるようにしている。
以上の図24及び図27においてダミーウエハWを一の成膜処理と次の成膜処理との間で連続して使用するにあたり、切り替え部100を設けずに、このような機能を自動で有効にしても良い。
具体的には、一の成膜処理で2枚のダミーウエハWを使用し、他の成膜処理で3枚のダミーウエハWを使用する場合が挙げられる。この場合には、一の成膜処理の2枚のダミーウエハWについては搬送容器5に戻さずに、回転テーブル12上に残したまま、あるいは真空搬送室2にて待機させると共に他の成膜処理の配置レイアウトとなるように位置を調整する。そして、搬送容器5から1枚のダミーウエハWを回転テーブル12に載置する。
また、一のロットで3枚のダミーウエハWを使用し、他の成膜処理で2枚のダミーウエハWを使用する場合については、一の成膜処理の3枚のダミーウエハWのうち1枚を搬送容器5に戻す。そして、一の成膜処理の残りの2枚のダミーウエハWについては、搬送容器5に戻さずに、回転テーブル12上に残したまま、あるいは他の成膜処理の配置レイアウトとなるように位置を調整しても良い。
1 プロセスモジュール
2 真空搬送室
5 搬送容器
6 ロードポート
10 真空容器
12 回転テーブル
19 搬送口
20 スロット
Claims (5)
- 処理容器と、この処理容器内に設けられ、各々基板を載置する複数の載置領域がその周方向に沿って形成されると共に鉛直軸周りに回転自在な回転テーブルと、基板を処理するために前記載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、を備えたプロセスモジュールと、
製品基板が収納された搬送容器を載置するためのロードポートと、
ダミー基板が収納されたダミー基板収納部と、
前記ロードポート上の搬送容器または前記ダミー基板収納部と前記回転テーブルとの間で製品基板またはダミー基板の受け渡しを行うための搬送機構が設けられた搬送室と、
前記搬送容器内の少なくとも1枚の製品基板について前記複数の載置領域のうちいずれの載置領域に搬送するかを設定するための設定部と、
前記設定部にて設定された製品基板が搬入される載置領域以外の他の載置領域には、ダミー基板を搬入するように制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記制御部は、プロセスモジュールにおける一の処理が終了して続く他の処理を開始する時、これら一の処理と他の処理とにおいて前記回転テーブル上におけるダミー基板の配置レイアウトが揃っている場合には、前記一の処理における製品基板を前記処理容器から搬出した後、当該一の処理におけるダミー基板については前記回転テーブルに載置したまま、前記他の処理における製品基板を前記処理容器に搬入するように制御信号を出力することを特徴とする基板処理装置。 - 第1の搬送モードと第2の搬送モードとを選択するためのモード選択部を備え、
前記第1の搬送モードは、前記設定部を用いずに搬送容器内の製品基板を順次前記載置領域に搬送し、製品基板の数が載置領域の数に満たない時にダミー基板により載置領域を満たすように制御信号を出力するモードであり、
前記第2の搬送モードは、前記設定部に相当する設定画面が表示され、この設定画面により設定された設定事項が有効になるモードであることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、複数の前記載置領域について前記処理容器の周方向に沿って順番に製品基板あるいはダミー基板を搬入するように制御信号を出力することを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記搬送室には、処理容器と、この処理容器内に設けられ、各々基板を載置する複数の載置領域がその周方向に沿って形成されると共に鉛直軸周りに回転自在な回転テーブルと、基板を処理するために前記載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、を備えた、前記プロセスモジュールとは別のプロセスモジュールが接続され、
前記設定部は、前記少なくとも一枚の製品基板について、前記プロセスモジュール及び前記別のプロセスモジュールの一方のプロセスモジュールにおける複数の前記載置領域のうちいずれか一つの載置領域を対応付けて設定するものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記設定部は、プロセスモジュールにおける一の処理と当該一の処理に続く他の処理において前記回転テーブル上におけるダミー基板の配置レイアウトが揃っている場合には、前記一の処理における製品基板を前記処理容器から搬出した後、当該一の処理におけるダミー基板については前記回転テーブルに載置したまま、前記他の処理における製品基板を前記処理容器に搬入する機能の有効及び無効を切り替える切り替え部を備えていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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