JP6363929B2 - 処理装置および処理方法 - Google Patents
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Description
複数の被処理体を収容した被処理体搬送容器を載置する被処理体搬送容器載置部と、
複数のダミー被処理体を収容したダミー被処理体搬送容器を載置するダミー被処理体載置部と、
前記被処理体または前記ダミー被処理体を搬送する搬送機構が設けられた搬送室と、
前記被処理体の処理条件を規定するプロセス用レシピを記憶する記憶部と、
前記搬送室に設けられた搬送機構により搬送された前記被処理体を所定の位置に載置した状態で、前記記憶部に記憶されたプロセス用レシピに基づいて前記被処理体を処理する処理部と、
装置各部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記処理部による処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体を前記搬送機構を制御して、前記被処理体搬送容器載置部に搬送し、
前記処理部における処理において、前記所定の位置の全てに被処理体が載置されない場合、該被処理体が載置されない所定の位置にダミー被処理体を載置し、当該所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を処理させ、当該処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を前記搬送機構を制御して、前記被処理体搬送容器載置部または前記ダミー被処理体載置部に搬送し、
前記処理部による処理が実行されない未処理状態であるか否かを判別し、前記未処理状態であると判別すると、前記搬送機構を制御して、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体搬送容器に収容されたダミー被処理体を搬送するとともに、前記処理部による次の処理が設定されると、前記搬送機構を制御して、前記所定の位置に搬送されたダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする。
前記制御部は、前記未処理状態であると判別し、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体が搬送されると、前記処理部および前記装置各部を制御して、前記記憶部に記憶されたダミープロセス用レシピに基づいて前記ダミー被処理体を処理した後、前記搬送機構を制御して、前記処理された前記ダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送してもよい。
複数の被処理体を収容した被処理体搬送容器を載置する被処理体搬送容器載置部と、複数のダミー被処理体を収容したダミー被処理体搬送容器を載置するダミー被処理体載置部と、前記被処理体または前記ダミー被処理体を搬送する搬送機構が設けられた搬送室と、前記被処理体の処理条件を規定するプロセス用レシピを記憶する記憶部と、前記搬送室に設けられた搬送機構により搬送された前記被処理体を所定の位置に載置した状態で、前記記憶部に記憶されたプロセス用レシピに基づいて前記被処理体を処理する処理部と、を備える処理装置を用いた処理方法であって、
前記処理部による処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体を前記被処理体搬送容器載置部に搬送し、
前記処理部における処理において、前記所定の位置の全てに被処理体が載置されない場合、該被処理体が載置されない所定の位置にダミー被処理体を載置し、当該所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を処理させ、当該処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を前記被処理体搬送容器載置部または前記ダミー被処理体載置部に搬送し、
前記処理部による処理が実行されない未処理状態であるか否かを判別し、前記未処理状態であると判別すると、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体搬送容器に収容されたダミー被処理体を搬送するとともに、前記処理部による次の処理が設定されると、前記所定の位置に搬送されたダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする。
前記未処理状態であると判別し、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体が搬送されると、前記記憶部に記憶されたダミープロセス用レシピに基づいて前記ダミー被処理体を処理した後、前記処理された前記ダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送してもよい。
ゲート開閉部122は、制御部100からの指示に応答して、ゲート11〜ゲート13の開閉状態を制御するとともに、その状態を制御部100に通知する。
搬送アーム制御部124は、制御部100からの指示に応答して、第1搬送アーム8、および、第2搬送アーム9の動作を制御する。
RAM113は、CPU115のワークエリアなどとして機能する。
バス116は、各部の間で情報を伝達する。
不連即処理とは、半導体ウエハの処理実行後に、連続して処理が実行されない未処理状態がある場合の処理である。図5は不連続処理を説明するためのフローチャートである。
メンテナンス後処理とは、クリーニング等のメンテナンス後に、処理が実行されない未処理状態がある場合の処理である。
2 ロードポート
3 ダミーウエハ格納エリア
4 常圧搬送室
5 ロードロック室
6 真空搬送室
7 チャンバ
8 第1搬送アーム
9 第2搬送アーム
11、12、13 ゲート
21、31 搬送容器
71 機器
80 スロット
100 制御部
111 レシピ記憶部
112 ROM
113 RAM
114 I/Oポート
115 CPU
116 バス
121 操作パネル
122 ゲート開閉部
123 真空制御部
124 搬送アーム制御部
Claims (6)
- 複数の被処理体を収容した被処理体搬送容器を載置する被処理体搬送容器載置部と、
複数のダミー被処理体を収容したダミー被処理体搬送容器を載置するダミー被処理体載置部と、
前記被処理体または前記ダミー被処理体を搬送する搬送機構が設けられた搬送室と、
前記被処理体の処理条件を規定するプロセス用レシピを記憶する記憶部と、
前記搬送室に設けられた搬送機構により搬送された前記被処理体を所定の位置に載置した状態で、前記記憶部に記憶されたプロセス用レシピに基づいて前記被処理体を処理する処理部と、
装置各部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記処理部による処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体を前記搬送機構を制御して、前記被処理体搬送容器載置部に搬送し、
前記処理部における処理において、前記所定の位置の全てに被処理体が載置されない場合、該被処理体が載置されない所定の位置にダミー被処理体を載置し、当該所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を処理させ、当該処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を前記搬送機構を制御して、前記被処理体搬送容器載置部または前記ダミー被処理体載置部に搬送し、
前記処理部による処理が実行されない未処理状態であるか否かを判別し、前記未処理状態であると判別すると、前記搬送機構を制御して、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体搬送容器に収容されたダミー被処理体を搬送するとともに、前記処理部による次の処理が設定されると、前記搬送機構を制御して、前記所定の位置に搬送されたダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする処理装置。 - 前記記憶部は、前記ダミー被処理体の処理条件を規定するダミープロセス用レシピを記憶し、
前記制御部は、前記未処理状態であると判別し、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体が搬送されると、前記処理部および前記装置各部を制御して、前記記憶部に記憶されたダミープロセス用レシピに基づいて前記ダミー被処理体を処理した後、前記搬送機構を制御して、前記処理された前記ダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする請求項1に記載の処理装置。 - 前記制御部は、前記処理部が前記被処理体を処理した後に、次のロット処理の予約がないとき、および、装置のクリーニングを含むメンテナンス後に、前記被処理体の処理が実行されないとき、前記未処理状態であると判別する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の処理装置。
- 複数の被処理体を収容した被処理体搬送容器を載置する被処理体搬送容器載置部と、複数のダミー被処理体を収容したダミー被処理体搬送容器を載置するダミー被処理体載置部と、前記被処理体または前記ダミー被処理体を搬送する搬送機構が設けられた搬送室と、前記被処理体の処理条件を規定するプロセス用レシピを記憶する記憶部と、前記搬送室に設けられた搬送機構により搬送された前記被処理体を所定の位置に載置した状態で、前記記憶部に記憶されたプロセス用レシピに基づいて前記被処理体を処理する処理部と、を備える処理装置を用いた処理方法であって、
前記処理部による処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体を前記被処理体搬送容器載置部に搬送し、
前記処理部における処理において、前記所定の位置の全てに被処理体が載置されない場合、該被処理体が載置されない所定の位置にダミー被処理体を載置し、当該所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を処理させ、当該処理が終了すると、前記所定の位置に載置された被処理体およびダミー被処理体を前記被処理体搬送容器載置部または前記ダミー被処理体載置部に搬送し、
前記処理部による処理が実行されない未処理状態であるか否かを判別し、前記未処理状態であると判別すると、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体搬送容器に収容されたダミー被処理体を搬送するとともに、前記処理部による次の処理が設定されると、前記所定の位置に搬送されたダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする処理方法。 - 前記記憶部には、前記ダミー被処理体の処理条件を規定するダミープロセス用レシピが記憶され、
前記未処理状態であると判別し、前記所定の位置の全てに前記ダミー被処理体が搬送されると、前記記憶部に記憶されたダミープロセス用レシピに基づいて前記ダミー被処理体を処理した後、前記処理された前記ダミー被処理体を前記ダミー被処理体載置部に搬送する、ことを特徴とする請求項4に記載の処理方法。 - 前記処理部が前記被処理体を処理した後に、次のロット処理の予約がないとき、および、装置のクリーニングを含むメンテナンス後に、前記被処理体の処理が実行されないとき、前記未処理状態であると判別する、ことを特徴とする請求項4または5に記載の処理方法。
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