JP2011077399A - 被処理体の搬送方法及び被処理体処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のロードロック室41a、41bを、被処理体Wを複数収容可能に構成し、ロードロック室41a、41bに、処理前の第1の被処理体を搬入し、搬送装置33を用いて複数の処理室32a、32bから搬送室31に対し、処理済の第2の被処理体を同時に搬出し、搬送室31からロードロック室41a、41bに対し、処理済の第2の被処理体を同時に搬入し、搬送装置33を用いてロードロック室41a、41bから搬送室31に対し、処理前の第1の被処理体を同時に搬出し、搬送室31から処理室32a、32bに対し、処理前の第1の被処理体を同時に搬入する。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の第1の実施形態に係る被処理体の搬送方法を実行することが可能な被処理体処理装置の一例を概略的に示す平面図である。本例では、被処理体処理装置の一例として、被処理体として半導体ウエハを取り扱うマルチチャンバ(クラスタツール)型の半導体製造装置を例示する。
図3A〜図3Fはこの発明の第1の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第1例を示す平面図、図4は第1例のタイムチャートである。第1例は、処理室32a〜32dの各々でウエハWに対して同じ処理を施す例であり、4枚のウエハに対して同じ処理がパラレルに行われる場合の搬送方法の一例である。
なお、処理室32aにおいてはウエハWaに対する処理が終了し、同じく処理室32bにおいてはウエハWbに対する処理が終了している。
トランスファアーム34a、34bを伸ばす時間 2a(sec)
トランスファアーム34a、34bを縮める時間 2a(sec)
トランスファアーム34a、34bの旋回時間 3a(sec)
“ピック35がウエハWを保持していない状態”
トランスファアーム34a、34bを伸ばす時間 a(sec)
トランスファアーム34a、34bを縮める時間 a(sec)
トランスファアーム34a、34bの旋回時間 2a(sec)
次に、図3C及び図4に示すように、ピック35aはロードロック室41bに通じるゲートバルブG6の前に、ピック35bは同じくロードロック室41aに通じるゲートバルブG5の前に位置するように、搬送装置33を旋回させる。本例では、搬送装置33を、反時計回りに約120°旋回させる。次いで、搬送装置33を用いて、搬送室31からロードロック室41a及び41bに対し、処理済のウエハWa及びWbを同時に搬入する。処理済のウエハWa及びWbは、ロードロック室41a及び41b内において、図示するように処理前のウエハW1及びW2の上方に、又はウエハW1及びW2の下方に置かれる。図3Aに示す状態からここまでに要する時間は、約10a秒である。
3600秒 ÷ 25a秒 × 2枚 = 288/a枚
となる。このように、第1の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第1例によれば、1時間で288/a枚のウエハを交換することが可能となる。
図5A〜図5Fは参考例に係る被処理体の搬送方法を示す平面図、図6は、参考例のタイムチャートである。
3600秒 ÷ 28a秒 × 1枚 = 128/a枚
である。
図7A〜図7Dは、この発明の第1の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第2例に使用される搬送装置の一例を概略的に示す平面図である。
3600秒 ÷ 39a秒 × 2枚 = 約184.6/a枚
となる。
図11は、この発明の第1の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第3例に使用することが可能なロードロック室の一例を示す断面図である。
3600秒 ÷ 13a秒 × 1枚 = 約277/a枚
となる。
図15A〜図15Cは、この発明の第2の実施形態に係る被処理体の搬送方法を実行することが可能な被処理体処理装置の一例を概略的に示す平面図である。本例においても、被処理体処理装置の一例として、被処理体として半導体ウエハを取り扱うマルチチャンバ(クラスタツール)型の半導体製造装置を例示する。
図17A〜図17Eはこの発明の第2の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第1例を示す平面図、図18は第1例のタイムチャートである。
3600秒 ÷ 13a秒 × 1枚 = 約277/a枚
となる。
図19はこの発明の第2の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第2例のタイムチャートである。
3600秒 ÷ (39a秒 ÷ 3) = 約277/a枚
となる。
図20はこの発明の第2の実施形態に係る被処理体の搬送方法の第3例のタイムチャートである。
3600秒 ÷ (39a秒 ÷ 3) = 約277/a枚
となる。
その他、この発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で様々に変形することができる。
Claims (13)
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備えた被処理体処理装置の被処理体搬送方法であって、
前記複数のロードロック室の各々を、前記被処理体を複数収容可能に構成し、
(0) 前記複数のロードロック室に、処理前の第1の被処理体を搬入する工程と、
(1) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室から前記搬送室に対し、処理済の第2の被処理体を同時に搬出する工程と、
(2) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記複数のロードロック室に対し、前記処理済の第2の被処理体を同時に搬入する工程と、
(3) 前記搬送装置を用いて、前記複数のロードロック室から前記搬送室に対し、前記処理前の第1の被処理体を同時に搬出する工程と、
(4) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記複数の処理室に対し、前記処理前の第1の被処理体を同時に搬入する工程と、
(5) 前記複数のロードロック室から、前記処理済の第2の被処理体を搬出する工程と、
を具備することを特徴とする被処理体の搬送方法。 - 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備えた被処理体処理装置の被処理体搬送方法であって、
前記複数のロードロック室の各々を、前記被処理体を複数収容可能に構成し、
(0) 前記複数のロードロック室に、処理前の第1の被処理体を搬入する工程と、
(1) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室のうちの一部から前記搬送室に対し、処理済の第2の被処理体を同時に搬出する工程と、
(2) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記複数のロードロック室に対し、前記処理済の第2の被処理体を同時に搬入する工程と、
(3) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室の一部以外の複数の処理室から前記搬送室に対し、処理済の第3の被処理体を同時に搬出する工程と、
(4) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室の一部以外の複数の処理室から前記複数の処理室の一部に対し、前記処理済の第3の被処理体を同時に搬入する工程と、
(5) 前記搬送装置を用いて、前記複数のロードロック室から前記搬送室に対し、前記処理前の第1の被処理体を同時に搬出する工程と、
(6) 前記搬送装置を用いて、前記複数のロードロック室から前記複数の処理室の一部以外の複数の処理室に対し、前記処理前の第1の被処理体を同時に搬入する工程と、
(7) 前記複数のロードロック室から、前記処理済の第2の被処理体を搬出する工程と、
を具備することを特徴とする被処理体の搬送方法。 - 前記搬送装置が保持可能な前記被処理体の数を、前記複数のロードロック室の数と同じとすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の被処理体の搬送方法。
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備え、
前記複数のロードロック室の各々が、前記被処理体を複数収容可能に構成され、
前記搬送装置が、前記複数の処理室と前記搬送室との間、前記搬送室と前記複数のロードロック室との間、及び前記複数の処理室の一部と前記複数の処理室の一部以外の複数の処理室との間で、前記被処理体を同時に搬出及び搬入可能に構成されていることを特徴とする被処理体処理装置。 - 前記搬送装置が保持可能な前記被処理体の数が、前記複数のロードロック室の数と同じであることを特徴とする請求項4に記載の被処理体処理装置。
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備えた被処理体処理装置の被処理体搬送方法であって、
(0) 前記複数のロードロック室に、処理前の第1の被処理体を搬入する工程と、
(1) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室の少なくとも1つと前記複数のロードロック室の少なくとも1つとから前記搬送室に対し、処理済の第2の被処理体の少なくとも1つと前記処理前の第1の被処理体の少なくとも1つとを同時に搬出及び搬入する工程と、
(2) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記複数のロードロック室の少なくとも1つと前記複数の処理室の少なくとも1つとに対し、前記処理済の第2の被処理体の少なくとも1つと前記処理前の第1の被処理体の少なくとも1つとを同時に搬出及び搬入する工程と、
(3) 前記複数のロードロック室の少なくとも1つから、前記処理済の第2の被処理体の少なくとも1つを搬出する工程と、
を具備することを特徴とする被処理体の搬送方法。 - 前記複数のロードロック室の数を、前記搬送装置が保持可能な前記被処理体の数よりも多くすることを特徴とする請求項6に記載の被処理体の搬送方法。
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備え、
前記搬送装置が、前記複数の処理室の少なくとも1つと前記複数のロードロック室の少なくとも1つとの間で、前記被処理体を同時に搬出及び搬入可能に構成されていることを特徴とする被処理体処理装置。 - 前記複数のロードロック室の数が、前記搬送装置が保持可能な前記被処理体の数よりも多いことを特徴とする請求項8に記載の被処理体処理装置。
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備えた被処理体処理装置の被処理体搬送方法であって、
前記複数のロードロック室の各々を、前記搬送室を介して前記複数の処理室の各々に対応するように一直線に配置し、
(0) 前記複数のロードロック室に、処理前の第1の被処理体を搬入する工程と、
(1) 前記搬送装置を用いて、前記複数の処理室の1つと該処理室の1つに対して前記搬送室を介して一直線上に配置された前記複数のロードロック室の1つとから前記搬送室に対し、処理済の第2の被処理体の1つと前記処理前の第1の被処理体の1つとを同時に搬出及び搬入する工程と、
(2) 前記搬送装置を用いて、前記搬送室から前記複数のロードロック室の1つと前記複数の処理室の1つとに対し、前記処理済の第2の被処理体の1つと前記処理前の第1の被処理体の1つとを同時に搬出及び搬入する工程と、
(3) 前記複数のロードロック室から、前記処理済の第2の被処理体を搬出する工程と、
を具備することを特徴とする被処理体の搬送方法。 - 前記複数の処理室の各々を、前記被処理体を複数同時に処理可能に構成することを特徴とする請求項10に記載の被処理体の搬送方法。
- 被処理体を搬送する搬送装置が配置された搬送室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体に処理を施す複数の処理室と、
前記搬送室の周囲に配置され、前記被処理体の周囲の環境を前記搬送室の内部の環境に変換する複数のロードロック室と、を備え、
前記複数のロードロック室の各々が、前記搬送室を介して前記複数の処理室の各々に対応するように一直線に配置され、
前記搬送装置が、前記複数の処理室の1つ及び該処理室の1つに対して前記搬送室を介して一直線上に配置された前記複数のロードロック室の1つと前記搬送室との間で、前記被処理体を同時に搬出及び搬入可能に構成されていることを特徴とする被処理体処理装置。 - 前記複数の処理室の各々が、前記被処理体を複数同時に処理可能に構成されていることを特徴とする請求項12に記載の被処理体処理装置。
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