JP2021036582A - スケジュール作成方法およびスケジュール作成装置 - Google Patents

スケジュール作成方法およびスケジュール作成装置 Download PDF

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Abstract

【課題】所要処理時間の変動に対応してスケジュールを作成できる技術を提供する。【解決手段】処理の内容および処理の所要時間を示すブロックを配置して、仮タイムテーブルを作成する。当該仮タイムテーブルから取得したブロックを配置して、複数のユニットの全体についての全体スケジュールを作成する。第１ユニットにおいて第１センサで第１ユニットセンシング情報を検出する。第１ユニットにおける処理進行状況と、第１ユニットセンシング情報との関係性を示す関係性情報に基づき、第１ユニットの処理終了時刻を推定する。推定終了時刻を反映して仮タイムテーブルにおける、第１ユニットに対応するブロックの内容を更新する（仮タイムテーブル更新ステップ）。更新した仮タイムテーブルに基づき、全体スケジュールを再作成する（全体スケジュール更新ステップ）。両更新ステップを、推定終了時刻までに完了させる。【選択図】図５

Description

本願は、スケジュール作成方法およびスケジュール作成装置に関する。
従来から、基板を処理する基板処理装置が提案されている。この基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットと、基板を搬送する搬送ロボットと、制御部とを含む。搬送ロボットは未処理の基板を各処理ユニットに搬入し、各処理ユニットで処理された処理済みの基板を当該処理ユニットから搬出する。制御部は搬送ロボットおよび処理ユニットを制御する。
制御部は、搬送ロボットおよび処理ユニットの動作を規定したスケジュールを作成し、このスケジュールに従って搬送ロボットおよび処理ユニットを制御する（例えば特許文献１）。特許文献１では、制御部は、まず、処理ユニットごとに、各基板に対する処理内容を規定するブロックを時系列に従って結合して仮タイムテーブルを作成する。このブロックは、各処理ユニットの基板に対する処理、および、搬送ロボットの搬送処理を示しており、そのブロックの長さが各処理の所要処理時間を示している。
次に、制御部は、この仮タイムテーブルからブロックを取得し、時系列に従って配置することにより、基板処理装置の全体における各部の処理の時間帯を規定するスケジュールを作成する。
制御部は、作成したスケジュールに従った動作を搬送ロボットおよび処理ユニットに行わせることにより、基板を順次に各処理ユニットにおいて処理させることができる。
特開２０１３-７７７９６号公報
各処理ユニットにおける所要処理時間は、例えば処理ユニットの個体差によって相違し得る。また、当該所要処理時間は、処理ユニットの経時的な劣化によっても変動し得る。また、当該所要処理時間は、基板の個体差によっても変動し得る。よって、各処理ユニットにおいて所要処理時間は動的に補正することが望ましい。
しかしながら、特許文献１では、処理ユニットの所要処理時間を予め決定して作成された全体スケジュールを利用しているので、このような処理時間の変動に対応できない。
そこで、本願は、所要処理時間の変動に対応してスケジュールを作成できる技術を提供することを目的とする。
スケジュール作成方法の第１の態様は、基板に対する処理を行う複数の処理ユニットを含む複数のユニットを備える基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを作成するためのスケジュール作成方法であって、処理の内容および処理の所要時間を示すブロックを時系列に従って仮想的に配置して、仮タイムテーブルを作成するステップと、前記仮タイムテーブルから前記ブロックを取得し、時系列に従って仮想的に前記ブロックを配置して、前記複数のユニットの全体についての全体スケジュールを作成するスケジューリングステップと、前記複数のユニットに含まれる第１ユニットにおいて第１センサで第１ユニットセンシング情報を検出する検出ステップと、前記第１ユニットにおける処理進行状況と、前記第１ユニットセンシング情報との関係性を示す関係性情報に基づき、前記第１ユニットの処理終了時刻を推定し、第１ユニット推定終了時刻を得る推定ステップと、前記第１ユニット推定終了時刻を反映して前記仮タイムテーブルにおける、前記第１ユニットに対応する前記ブロックの内容を更新する仮タイムテーブル更新ステップと、更新した前記仮タイムテーブルに基づき、前記全体スケジュールを再作成する全体スケジュール更新ステップとを備え、前記仮タイムテーブル更新ステップおよび前記全体スケジュール更新ステップを、前記第１ユニット推定終了時刻までに完了させる。
スケジュール作成方法の第２の態様は、第１の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記スケジューリングステップにおいて、前記全体スケジュールとして、前記複数のユニットについての基板の搬入および処理の開始時刻を規定する投入計画を作成し、少なくとも前記第１ユニットについての処理の終了時刻および基板の搬出を規定する払出計画を作成する前に、前記基板処理装置に前記全体スケジュールに従った動作を実行させ、前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記第１ユニット推定終了時刻に基づいて前記第１ユニットについての前記払出計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する。
スケジュール作成方法の第３の態様は、第２の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記第１ユニットおよび前記複数のユニットに含まれる第２ユニットにおける処理を基板に対して連続的に行う渡り処理が、基板の処理手順を規定する処理内容データ４０に含まれる場合には、前記第１ユニットから前記第２ユニットへの搬送を規定する渡り計画を作成する前に、前記基板処理装置に前記全体スケジュールに従った動作を実行させ、第１基板を処理する前記第１ユニットの前記第１ユニット推定終了時刻を得たときに、前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記第１基板についての前記渡り計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する。
スケジュール作成方法の第４の態様は、第３の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記第１基板を処理する前記第１ユニットの第１ユニット推定終了時刻を得たときに、前記第２ユニットが第２基板を処理しており、かつ、前記第２ユニットからの前記第２基板の搬送が未だ計画されていない場合、前記第１基板についての前記渡り計画の作成を中断し、前記第２ユニットからの当該搬送が計画されてから前記第１基板についての前記渡り計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する。
スケジュール作成方法の第５の態様は、第１の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記全体スケジュールとして、前記複数のユニットについての基板の搬入、処理および搬出を規定した計画を作成する。
スケジュール作成方法の第６の態様は、第５の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記全体スケジュールにおける前記ブロックの終了予定時刻と、前記推定ステップで得られた第１ユニット推定終了時刻との時刻差が既定の基準値を超えているか否かを判断するステップをさらに含み、前記時刻差が前記基準値よりも大きいと判断された場合には、前記全体スケジュール更新ステップを実行し、前記時刻差が前記基準値よりも小さいと判断された場合には、前記全体スケジュール更新ステップを実行しない。
スケジュール作成方法の第７の態様は、第５または第６の態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記全体スケジュール更新ステップにおいて作成される前記計画は、前記第１ユニットから前記複数のユニットに含まれた第２ユニットへの搬送を規定する渡り計画を含む。
スケジュール作成方法の第８の態様は、第１から第７のいずれか一つの態様にかかるスケジュール作成方法であって、前記ブロックが示す処理の時間を前記第１ユニット推定終了時刻に基づいて更新して、記憶媒体に記憶するブロック更新工程をさらに備える。
スケジュール作成装置の態様は、基板に対する処理を行う複数の処理ユニットを含む複数のユニットを備える基板処理装置と、前記基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを作成する制御部とを備え、前記制御部は、処理の内容および処理の所要時間を示すブロックを時系列に従って仮想的に配置して、仮タイムテーブルを作成し、前記仮タイムテーブルから前記ブロックを取得し、時系列に従って仮想的に前記ブロックを配置して、前記複数のユニットの全体についての全体スケジュールを作成し、前記複数のユニットに含まれる第１ユニットにおいて第１センサで検出された第１ユニットセンシング情報と、前記第１ユニットにおける処理進行状況とを示す関係性情報に基づき、前記第１ユニットの処理終了時刻を推定し、第１ユニット推定終了時刻を取得し、前記第１ユニット推定終了時刻を反映して前記仮タイムテーブルにおける、前記第１ユニットに対応する前記ブロックの内容を更新し、前記第１ユニット推定終了時刻までに、更新した前記仮タイムテーブルに基づき、前記全体スケジュールを再作成する。
スケジュール作成方法の第１および第５の態様ならびにスケジュール作成装置の態様によれば、処理ユニットの所要処理時間が変動しても、基板処理装置は、動作を中断することなく、その変動後の所要処理時間に対応した全体スケジュールに従って動作することができる。
スケジュール作成方法の第２の態様によれば、払出計画を作成する前に基板処理装置が動作を実行する。もし仮に、この実行前に第１ユニットについての払出計画を作成した場合、その払出計画は全体スケジュール更新ステップにおいて変更され得る。この場合、実行ステップの実行前において作成された払出計画は無駄となる。第２の態様では、このような無駄な払出計画の作成を抑制できる。つまり、不要な制御部の動作を抑制することができる。
スケジュール作成方法の第３の態様によれば、渡り計画を含む全体スケジュールを作成することができる。しかも、第１基板についての渡り計画を作成する前に基板処理装置が動作を実行する。もし仮に、この実行前に第１基板についての渡り計画を作成した場合、その渡り計画は全体スケジュール更新ステップにおいて変更され得る。この場合、実行ステップの実行前において作成された渡り計画は無駄となる。第３の態様では、このような無駄な渡り計画の作成を抑制できる。つまり、不要な制御部の動作を抑制することができる。
スケジュール作成方法の第４の態様によれば、適切に第１基板についての渡り計画を作成することができる。
スケジュール作成方法の第６の態様によれば、不要な全体スケジュールの再作成を回避できる。
スケジュール作成方法の第７の態様によれば、渡り計画を含む全体スケジュールを作成することができる。
スケジュール作成方法の第８の態様によれば、ブロックにおける処理の時間を実際の処理の時間に近い値に更新することができる。
基板処理装置の構成の一例を概略的に示す平面図である。 基板処理装置の構成の一例を概略的に示す側面図である。 基板処理装置の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 仮タイムテーブルの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 更新後の仮タイムテーブルの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。 全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。
以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされるものである。また、図面に示される構成の大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。
また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
＜第１の実施の形態＞
図１は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す平面図であり、図２は、基板処理装置１００の構成の一例を概略的に示す側面図である。この基板処理装置１００は、インデクサセクション１と、処理セクション２とを含む。処理セクション２は受渡ユニットＰＡＳＳを含んでいる。インデクサセクション１は、未処理の基板Ｗを受渡ユニットＰＡＳＳに渡し、受渡ユニットＰＡＳＳから処理済みの基板Ｗを受け取る。処理セクション２は、受渡ユニットＰＡＳＳから未処理の基板Ｗを受け取って、その基板Ｗに対して、処理剤（処理液または処理ガス）を用いた処理、紫外線等の電磁波を用いた処理、および、物理洗浄処理（ブラシ洗浄およびスプレーノズル洗浄等）などの各種の処理を施す。そして、処理セクション２は、処理後の基板Ｗを受渡ユニットＰＡＳＳに渡す。
インデクサセクション１は、複数のステージＳＴ１〜ＳＴ４と、基板搬送ユニットの一例であるインデクサロボットＩＲとを含む。ステージＳＴ１〜ＳＴ４は、複数枚の基板Ｗ（例えば半導体ウエハ）を積層状態で収容した基板収容器Ｃをそれぞれ保持することができる基板収容器保持部である。基板収容器Ｃは、基板Ｗを密閉した状態で収納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）であってもよいし、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッドまたはＯＣ（Open Cassette）等であってもよい。例えば、基板収容器ＣをステージＳＴ１〜ＳＴ４に載置したとき、基板収容器Ｃでは、水平姿勢の複数枚の基板Ｗが互いに間隔を開けて鉛直方向に積層された状態となる。ここでいう水平姿勢とは、基板Ｗの厚み方向が鉛直方向に沿う状態をいう。
インデクサロボットＩＲは、例えば、基台部６と、多関節アーム７と、一対のハンド８Ａ，８Ｂとを含む。基台部６は、例えば、当該基板処理装置１００のフレームに固定されている。多関節アーム７は、水平面に沿って回動可能な複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム７の基端部は、基台部６に対して、鉛直軸線まわりの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム７は、基台部６に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部６には、多関節アーム７を昇降させるための昇降駆動機構、および、多関節アーム７を鉛直軸線まわりに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。また、多関節アーム７には、各アーム部を独立して回動させるための個別回動駆動機構が設けられている。多関節アーム７の先端部に、鉛直軸線まわりの個別回動および水平方向への個別進退が可能であるように、ハンド８Ａ，８Ｂが結合されている。多関節アーム７には、ハンド８Ａ，８Ｂを鉛直軸線まわりに個別に回動させるためのハンド回動駆動機構と、ハンド８Ａ，８Ｂを水平方向に個別に進退させるためのハンド進退機構とが設けられている。ハンド８Ａ，８Ｂは、例えば、１枚の基板Ｗをそれぞれ保持できるように構成されている。なお、ハンド８Ａ，８Ｂは上下に重なった状態で配置されていてもよいが、図１では、明瞭化のために、ハンド８Ａ，８Ｂを紙面に平行な方向（水平方向）にずらして描いてある。
この構成により、インデクサロボットＩＲは、いずれかのステージＳＴ１〜ＳＴ４に保持された基板収容器Ｃから１枚の未処理の基板Ｗをハンド８Ａで搬出して受渡ユニットＰＡＳＳに渡すように動作する。さらに、インデクサロボットＩＲは、受渡ユニットＰＡＳＳから１枚の処理済みの基板Ｗをハンド８Ｂで受け取って、いずれかのステージＳＴ１〜ＳＴ４に保持された基板収容器Ｃに収容するように動作する。
処理セクション２は、複数（この実施形態では１２個）の処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２と、基板搬送ユニットの一例である主搬送ロボットＣＲと、前述の受渡ユニットＰＡＳＳとを含む。処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２は、この実施形態では、立体的に配置されている。より具体的には、三階建て構造をなすように複数の処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２が配置されており、各階部分に４つの処理ユニットが配置されている。すなわち、一階部分に４つの処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ４，ＳＰＩＮ７，ＳＰＩＮ１０が配置され、二階部分に別の４つの処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ５，ＳＰＩＮ８，ＳＰＩＮ１１が配置され、三階部分にさらに別の処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ６，ＳＰＩＮ９，ＳＰＩＮ１２が配置されている。さらに具体的には、平面視において処理セクション２の中央に主搬送ロボットＣＲが配置されており、この主搬送ロボットＣＲとインデクサロボットＩＲとの間に受渡ユニットＰＡＳＳが配置されている。３つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ３を積層した第１処理ユニット群Ｇ１と、別の３つの処理ユニットＳＰＩＮ４〜ＳＰＩＮ６を積層した第２処理ユニット群Ｇ２とが、受渡ユニットＰＡＳＳを挟んで対向するように配置されている。そして、第１処理ユニット群Ｇ１に対してインデクサロボットＩＲから遠い側に隣接するように、３つの処理ユニットＳＰＩＮ７〜ＳＰＩＮ９を積層した第３処理ユニット群Ｇ３が配置されている。同様に、第２処理ユニット群Ｇ２に対してインデクサロボットＩＲから遠い側に隣接するように、３つの処理ユニットＳＰＩＮ１０〜ＳＰＩＮ１２を積層した第４処理ユニット群Ｇ４が配置されている。第１〜第４処理ユニット群Ｇ１〜Ｇ４によって、主搬送ロボットＣＲが取り囲まれている。
主搬送ロボットＣＲは、例えば、基台部１１と、多関節アーム１２と、一対のハンド１３Ａ，１３Ｂとを含む。基台部１１は、例えば、当該基板処理装置１００のフレームに固定されている。多関節アーム１２は、水平面に沿って延びた複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム１２の基端部は基台部１１に対して、鉛直軸線まわりの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム１２は、基台部１１に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部１１には、多関節アーム１２を昇降させるための昇降駆動機構、多関節アーム１２を鉛直軸線まわりに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。また、多関節アーム１２には、各アーム部を独立して回動させるための個別回動駆動機構が設けられている。多関節アーム１２の先端部に、鉛直軸線まわりの個別回動および水平方向への個別進退が可能であるように、ハンド１３Ａ，１３Ｂが結合されている。多関節アーム１２には、ハンド１３Ａ，１３Ｂを鉛直軸線まわりに個別に回動させるためのハンド回動駆動機構と、ハンド１３Ａ，１３Ｂを水平方向に個別に進退させるためのハンド進退機構とが設けられている。ハンド１３Ａ，１３Ｂは、例えば、１枚の基板Ｗをそれぞれ保持できるように構成されている。なお、ハンド１３Ａ，１３Ｂは上下に重なった状態で配置されていてもよいが、図１では、明瞭化のために、ハンド１３Ａ，１３Ｂを紙面に平行な方向（水平方向）にずらして描いてある。
この構成により、主搬送ロボットＣＲは、受渡ユニットＰＡＳＳから未処理の１枚の基板Ｗをハンド１３Ａで受け取り、その未処理の基板Ｗをいずれかの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２に搬入する。また、主搬送ロボットＣＲは、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２で処理された処理済みの基板Ｗをハンド１３Ｂで受け取り、その基板Ｗを受渡ユニットＰＡＳＳに渡す。
処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２は、基板Ｗを１枚ずつ処理する枚葉型の処理ユニットである。処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２は、例えば、１枚の基板Ｗを水平姿勢で保持して回転させるスピンチャック１５と、スピンチャック１５に対して処理液（薬液またはリンス液）を供給する処理液ノズル１６とを処理室１７（チャンバ）内に含んだ、回転液処理ユニットであってもよい。図２では、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ６についてのみ、その内部構成を示し、他の処理ユニットの内部構成の図示を省いている。
図３は、基板処理装置１００の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。基板処理装置１００は、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２、主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲを制御するコンピュータ２０を含んでいる。コンピュータ２０は、パーソナルコンピュータ（ＦＡパソコン）の形態を有していてもよく、制御部（制御回路）２１と、出入力部２２と、記憶媒体２３とを含んでいる。制御部２１は、ＣＰＵ等の演算処理装置を含む。出入力部２２は、表示ユニット等の出力機器と、キーボード、ポインティングデバイスおよびタッチパネル等の入力機器とを含む。さらに、出入力部２２は、ホストコンピュータとの通信のための通信モジュールを含む。記憶媒体２３は、固体メモリデバイスおよびハードディスクドライブ等の記憶装置を含む。
制御部２１は、スケジューリング機能部（スケジューラ）２５と、処理実行指示部２６とを含む。スケジューリング機能部２５は、基板Ｗを基板収容器Ｃから搬出し、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２で処理した後、基板収容器Ｃに収容するために、基板処理装置１００のリソースを時系列に従って動作させるための計画（全体スケジュール）を作成する。全体スケジュールは基板処理装置１００の動作を規定した計画である。処理実行指示部２６は、スケジューリング機能部２５によって作成された全体スケジュールに従って、基板処理装置１００のリソースを動作させる。
記憶媒体２３は、制御部２１が実行するプログラムと、処理内容データ４０と、スケジューリング機能部２５によって作成されたスケジュールデータ（全体スケジュール）とを含む各種データ等を記憶するように構成されている。処理内容データ４０は、基板Ｗに対する処理の内容および処理の所要時間（以下、所要処理時間と呼ぶ）を示している。処理内容データ４０の具体例は後述する。この処理内容データ４０は例えばホストコンピュータから出入力部２２に入力されてもよく、あるいは、ユーザによる入力機器の操作によって出入力部２２に入力されてもよい。
記憶媒体２３に記憶されたプログラムは、制御部２１をスケジューリング機能部２５として動作させるためのスケジュール作成プログラムと、制御部２１を処理実行指示部２６として動作させるための処理実行プログラムとを含む。なお、制御部２１は必ずしもプログラムに基づいて動作する必要はなく、例えば、論理回路等の専用のハードウェア回路によって構成されてもよい。
処理内容データ４０は、各基板Ｗに付与されたプロセスジョブ（ＰＪ）符号と、プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピとを含む。レシピは、基板処理内容を定義したデータであり、基板処理条件および基板処理手順を含む。より具体的には、レシピは、並行処理ユニット情報、使用処理液情報および処理時間（所要処理時間）情報等を含む。並行処理ユニット情報とは、使用可能な処理ユニットを指定する情報であり、指定された処理ユニットによる並行処理が可能であることを表す。換言すれば、指定処理ユニットのうちの一つが使用できないときには、それ以外の指定処理ユニットによる代替が可能であることを表す。「使用できないとき」とは、当該処理ユニットが別の基板Ｗの処理のために使用中であるとき、当該処理ユニットが故障中であるとき、または、オペレータが当該処理ユニットで基板Ｗの処理をさせたくないと考えているとき、などである。プロセスジョブとは、共通の処理が施される１枚または複数枚の基板Ｗをいう。プロセスジョブ符号とは、プロセスジョブを識別するための識別情報（基板群識別情報）である。すなわち、共通のプロセスジョブ符号が付与された複数枚の基板Ｗには、当該プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピによる共通の処理が施される。ただし、異なるプロセスジョブ符号に対応する基板処理内容（レシピ）が同じである場合もあり得る。例えば、処理順序（基板収容器Ｃからの払い出し順序）が連続している複数枚の基板Ｗに対して共通の処理が施されるとき、それらの複数枚の基板Ｗに対して共通のプロセスジョブ符号が付与される。
制御部２１は、各基板Ｗに対する処理内容データ４０を取得して、記憶媒体２３に記憶させる。処理内容データ４０の取得および記憶は、各基板Ｗに対するスケジューリング（つまり、全体スケジュールの作成）が実行されるよりも前に行われればよい。例えば、基板収容器ＣがステージＳＴ１〜ＳＴ４に保持された直後に、ホストコンピュータから制御部２１に当該基板収容器Ｃに収容された基板Ｗに対応する処理内容データ４０が与えられてもよい。
スケジューリング機能部２５は処理内容データ４０に基づいて全体スケジュールを作成する。図４は、スケジューリング機能部２５によって作成される全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図４の例では、全体スケジュールはブロックおよび矢印によって模式的に表現されている。なお、図４では、説明を簡単にすべく、代表的に４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４を用いた全体スケジュールが示されている。また、説明の簡単のために、８枚の基板Ｗに対する処理について述べる。実際にはより多くの基板Ｗが処理される。
図４に示される各ブロックは、各ユニット（インデクサロボットＩＲ、主搬送ロボットＣＲおよび処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４）における処理の内容を示している。具体的には、記号Ｇで示されるブロックは、各基板搬送ユニット（インデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲの各々）による基板Ｗの搬出処理を示し、記号Ｐで示されるブロックは、各基板搬送ユニットによる基板Ｗの搬入処理を示し、空欄のブロックは各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４における処理を示している。また各ブロックの長さは、対応する処理の所要処理時間を示している。これらのブロックは処理内容データ４０によって規定される。
図４に示される各ブロックの位置は、当該ブロックに対応する処理の時間帯を示している。つまり、ブロックの両端の位置はそれぞれ処理の開始時刻および終了時刻を示している。また、ブロック間をつなぐ矢印は基板Ｗの移動先を示している。
ここで、代表的に、処理ユニットＳＰＩＮ１によって処理される基板Ｗに着目して、全体スケジュールを説明する。図４の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１によって処理される基板Ｗに対応するブロックを、太線で示している。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１によって順次に処理される２枚の基板Ｗとして基板Ｗ１，Ｗ２を例として説明する。図４によれば、未処理の基板Ｗ１はインデクサロボットＩＲによって基板収容器Ｃから取り出され（ブロックＡ１）、受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＡ２）。そして、この基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出され（ブロックＡ３）、処理ユニットＳＰＩＮ１に受け渡される（ブロックＡ４）。基板Ｗ１には、この処理ユニットＳＰＩＮ１において処理が施される（ブロックＡ５）。
図４の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理終了前に、次の未処理の基板Ｗ２がインデクサロボットＩＲによって基板収容器Ｃから取り出され（ブロックＢ１）、受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＢ２）。そして、基板Ｗ２は主搬送ロボットＣＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出される（ブロックＢ３）。
一方、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理終了後に、処理済みの基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲによって処理ユニットＳＰＩＮ１から取り出され（ブロックＡ６）、引き続き、次の未処理の基板Ｗ２が主搬送ロボットＣＲによって処理ユニットＳＰＩＮ１に受け渡される（ブロックＢ４）。なお、本実施の形態では、主搬送ロボットＣＲは２つのハンド１３Ａ，１３Ｂを含むので、例えばハンド１３Ａによって処理済みの基板Ｗ１を処理ユニットＳＰＩＮ１から取り出し（ブロックＡ６）、ハンド１３Ｂによって未処理の基板Ｗ２を処理ユニットＳＰＩＮ１に受け渡す（ブロックＢ４）ことができる。処理済みの基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲから受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＡ７）。この基板Ｗ１はインデクサロボットＩＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出され（ブロックＡ８）、基板収容器Ｃに受け渡される（ブロックＡ９）。
一方、未処理の基板Ｗ２には、処理ユニットＳＰＩＮ１によって処理が施される（ブロックＢ５）。そして、処理ユニットＳＰＩＮ１による基板Ｗ２の処理が終了すると、主搬送ロボットＣＲによって処理ユニットＳＰＩＮ１から取り出され（ブロックＢ６）、受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＢ７）。続いて、処理済みの基板Ｗ２はインデクサロボットＩＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出され（ブロックＢ８）、基板収容器Ｃに受け渡される（ブロックＢ９）。
制御部２１のスケジューリング機能部２５が、図４に例示するような全体スケジュールを作成し、処理実行指示部２６がこの全体スケジュールに従って基板処理装置１００の各部を制御すれば、全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に行わせることができる。図４の全体スケジュールによれば、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４がそれぞれ２回の処理を行うことにより、８枚の基板Ｗが処理される。
しかしながら、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４における所要処理時間は種々の要因により、予め決められた時間と相違し得る。当該処理時間は、例えば、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の個体差によって相違し得るし、また、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の経時的な変化によっても相違し得る。また、当該所要処理時間は基板Ｗの個体差によっても相違し得る。
そこで、本実施の形態では、図３に示すように、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２はセンサＳＲを含んでいる。このセンサＳＲは各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の処理実行中において処理進行状況をモニタする。具合的には、各センサＳＲは、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の処理進行状況を示すユニットセンシング情報を検出する。当該ユニットセンシング情報は、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の処理の残り時間、つまり処理の終了時刻に関連する情報である。処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２はセンサＳＲの検出に応じて、通知情報を制御部２１に通知する。
例えば処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２が基板Ｗの表面の所定膜に対してエッチング処理を行う場合、当該ユニットセンシング情報として当該所定膜の膜厚を採用できる。この場合、センサＳＲは基板Ｗ上の所定膜の膜厚を検出する。例えばセンサＳＲとしては、基板Ｗの表面を撮像するカメラを採用できる。基板Ｗの表面はエッチングの進行度、つまり、所定膜の膜厚に応じて変化するので、カメラによって取得される画像も所定膜の膜厚に応じて変化する。よって、この画像はエッチングの進行度に関連する情報、言い換えれば、処理の終了時刻に関連する情報である。
エッチングが進行すると、そのエッチング対象領域の色が処理の進行状況（つまり、エッチングの進行度）に応じて変化する場合がある。この場合、エッチングの進行度とエッチング対象領域の色との関係を予め求めておいてもよい。また、エッチングの進行度は処理開始からの経過時間に依存するので、当該関係から、エッチング対象領域の色と処理の残り時間との対応関係を予め求めることができる。このような対応関係は例えば実験またはシミュレーションにより求めることができる。この対応関係を示す関係性情報は、例えば数値表またはルックアップテーブルとして記憶媒体２３に記憶されてもよく、あるいは、演算式（関数式）として記憶媒体２３に記憶されてもよい。
そして、センサＳＲによって取得された画像に対する画像処理を行うことにより、エッチング対象領域の色を判別すれば、その判別した色と、予め決められた対応関係（記憶媒体２３の関係性情報）とに応じて、処理の残り時間を求める（推定する）ことができる。
処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の各々は、処理中にセンサＳＲによって検出されたユニットセンシング情報に応じて、当該処理中に通知情報を制御部２１に通知する。通知情報は、センサＳＲによって取得されたユニットセンシング情報（上述の例では画像）であってもよい。この場合、制御部２１のスケジューリング機能部２５は、当該通知情報と上記対応関係とに基づいて、その通知元の処理ユニットの残り時間を推定し、ユニット推定終了時刻を推定する（推定ステップ）。
なお、制御部２１の機能が分割されている場合もある。例えば処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のそれぞれに制御部が設けられ、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の制御部が制御部２１と通信線で接続される場合もある。この場合、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の制御部が、センサＳＲによって検出されたユニットセンシング情報に基づいて処理の残り時間を推定してもよい。そして、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の制御部は、この推定残り時間を含む通知情報を制御部２１に通知してもよい。
以上のように、制御部２１のスケジューリング機能部２５は、処理ユニットが処理を実行している途中に、その処理ユニットのユニット推定終了時刻を認識することができる。言い換えれば、スケジューリング機能部２５は、その処理ユニットが処理を終了するまでに、その処理ユニットのユニット推定終了時刻を認識することができる。そこで、スケジューリング機能部２５は、その処理ユニットが処理を終了するまでに、そのユニット推定終了時刻に基づいて全体スケジュールを再作成する。具体的には、スケジューリング機能部２５はその処理ユニットの終了時刻をユニット推定終了時刻に基づいて決定し、これに伴って、他のユニットの処理の時間帯も適宜に決定する。以下、具体的な動作の一例について詳述する。
なお、ここでは、各ユニットの処理の時間帯の決定を、当該処理に対応したブロックの配置で説明する。つまり、ブロックを時間軸上で仮想的に配置することで、当該ブロックに対応した処理の時間帯を決定している。
＜基板処理装置１００の具体的な動作例＞
第１の実施の形態では、全体スケジュールを投入計画および払出計画に分割して考慮する。投入計画とは、基板収容器Ｃから各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２への基板Ｗの搬送に関する計画である。つまり、この投入計画は、基板Ｗの搬入および処理の開始時刻を規定する計画であり、より具体的には、各処理ユニットへの各基板搬送ユニットの搬送処理の時間帯（例えばブロックＡ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４）と、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の処理の開始時刻（例えばブロックＡ５，Ｂ５の開始時刻）とを規定した計画である。払出計画とは、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２から基板収容器Ｃまでの基板Ｗの搬送に関する計画である。つまり、この払出計画は、処理の終了時刻および基板Ｗの搬出を規定する計画であり、より具体的には、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の処理の終了時刻（例えばブロックＡ５，Ｂ５の終了時刻）と、基板収容器Ｃへの各基板搬送ユニットの搬送処理の時間帯（例えばブロックＡ６〜Ａ９，Ｂ６〜Ｂ９）とを規定した計画である。
図５は、基板処理装置１００（スケジュール作成装置）の具体的な動作の一例を示すフローチャートである。この一連の処理は繰り返し実行される。まず、スケジューリング機能部２５は基板処理開始指示があったか否かを判断する（ステップＳ１）。例えばホストコンピュータまたはユーザから出入力部２２に当該開始指示が入力される。制御部２１は当該入力に応答して、例えば開始指示のフラグをＬからＨに遷移させる。ここでいう「Ｌ」および「Ｈ」は情報の２値を示すものであり、開始指示のフラグがＨであることは、基板処理開始指示が入力されたことを示す。この開始指示のフラグは、全ての基板Ｗに対する処理が終了するまでＨを維持する。
基板処理開始指示は、共通の基板収容器Ｃに収容された全ての基板Ｗを一単位として発行されてもよい。また、基板処理開始指示は、共通の基板収容器Ｃに収容された全数未満の１枚以上の基板Ｗの処理開始を指示するものであってもよいし、別々の基板収容器Ｃに収容された複数枚の基板Ｗの処理開始を指示するものであってもよい。
基板処理開始指示がない、つまり開始指示のフラグがＬであるときには、スケジューリング機能部２５は再びステップＳ１を実行する。基板処理開始指示があったときには、スケジューリング機能部２５は計画範囲を決定する（ステップＳ２）。つまり、スケジューリング機能部２５は全体スケジュールのうち投入計画を作成するのか、払出計画を作成するのかを決定する。初期的には、スケジューリング機能部２５は投入計画を計画範囲に決定する。以下では、まず投入計画の作成に着目して、各ステップを説明する。また、以下では、説明の簡単のために、４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４を用いて説明を行う。
例えば、処理内容データ４０において或るプロセスジョブ符号に対応付けられたレシピが、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の並行処理を指定しているとする。すなわち、当該レシピに従う基板処理が、４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４のいずれにおいても実行可能である場合を考える。この場合、当該プロセスジョブ符号が付与された基板Ｗが処理を受けるときに通る経路は、４通りである。すなわち、その基板Ｗの処理のために選択し得る経路は、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４のいずれかを通る４つの経路である。そこで、スケジューリング機能部２５は、その４つの経路に対応した仮タイムテーブルを作成する（ステップＳ３）。
図６は、処理ユニットＳＰＩＮ１を通る経路に対応した仮タイムテーブルの一例を示す図である。ここでは、全体スケジュールの投入計画を作成するので、仮タイムテーブルでも、投入計画で用いられるブロックが配置される。図６の例では、仮タイムテーブルは、インデクサロボットＩＲによる基板収容器Ｃからの基板Ｗの搬出処理を表すブロックＡ１と、インデクサロボットＩＲによる基板Ｗの受渡ユニットＰＡＳＳへの搬入処理を表すブロックＡ２と、主搬送ロボットＣＲによる受渡ユニットＰＡＳＳからの基板Ｗの搬出処理を表すブロックＡ３と、主搬送ロボットＣＲによる基板Ｗの処理ユニットＳＰＩＮ１への搬入処理を表すブロックＡ４と、処理ユニットＳＰＩＮ１による基板Ｗに対する処理の開始を表すブロックＡ５１とを含む。
なお、以下では、インデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲの各々による搬出処理および搬入処理を纏めて搬送処理とも呼ぶ。この搬送処理を示すブロックは、互いに隣接して記号Ｇ，Ｐが付記された一対のブロック（例えば一対のブロックＡ１，Ａ２および一対のブロックＡ３，Ａ４）である。
スケジューリング機能部２５は、図６に示すように、複数のブロックを時間軸上で重なり合いのないように順番に配置することによって、仮タイムテーブルを作成する。スケジューリング機能部２５は、同じ基板Ｗに対して、４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４をそれぞれ通る４つの経路に対応した同様の４つの仮タイムテーブル（ブロックを処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４にそれぞれ配置した仮タイムテーブル）を作成する。こうして、１枚の基板Ｗに対して合計４経路分の仮タイムテーブルが作成される。
同様の仮タイムテーブルが、同じプロセスジョブ符号が付与された基板Ｗ（ここでは、最初に処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４で処理される４つの基板Ｗ）に対応して作成される。こうして作成された仮タイムテーブルは、スケジュールデータの一部として記憶媒体２３に格納される。仮タイムテーブルの作成段階では、複数の基板Ｗに関するブロック同士の干渉（時間軸上での重なり合い）は考慮されない。
スケジューリング指示が発生すると（ステップＳ４：ＹＥＳ）、当該プロセスジョブの基板Ｗに関するブロックの配置が行われる（ステップＳ４〜Ｓ１３）。なお、制御部２１はスケジューリング指示の発生に応じて、スケジューリング指示のフラグをＬからＨに遷移させる。スケジューリング指示のフラグがＨであることは、スケジューリング指示が発生したことを示す。このスケジューリング指示のフラグは、全ての基板Ｗに対する処理が終了するまでＨを維持する。
スケジューリング指示が発生すると、スケジューリング機能部２５は、スケジュール作成対象の基板Ｗがプロセスジョブの最初の基板Ｗであるか否かを判断する（ステップＳ５）。基板Ｗがプロセスジョブの最初の基板Ｗである場合、スケジューリング機能部２５は前準備処理が必要か否かを判断する（ステップＳ６）。前準備処理としては、例えば、処理液ノズルから処理液を一定量だけ吐出するプリディスペンス工程を挙げることができる。例えば、温度調整された処理液を基板に供給して当該基板を処理する場合に、プリディスペンス工程を実行することによって、処理液ノズルおよび処理液配管に滞留していて目標温度範囲外の温度となってしまった処理液を排出して、処理液ノズルの吐出口に温度調整された処理液を導くことができる。そして、プリディスペンス工程の後に、基板Ｗに対して処理液を吐出する処理液供給工程を実行することによって、当初から温度調整された処理液によって基板Ｗを処理できる。これにより、精密な基板処理を実現できる。前準備処理の例としては、他にも、処理ユニットに設けられた処理室（チャンバ）内の洗浄処理（チャンバ洗浄）を例示できる。処理室内の洗浄を実行することによって、次に処理室に搬入される基板Ｗに対して、前の基板Ｗに対する処理の影響が及ぶことを回避できる。これにより、精密な基板処理を実現できる。チャンバ洗浄は、例えば、基板Ｗを保持して回転させるスピンチャックの洗浄、スピンチャックを収容する処理カップの洗浄、スピンチャックから飛び散る処理液を受けるガード（飛散防止部材）の洗浄などを含む。前準備処理の例としては、さらに、基板Ｗを保持するチャックピンの洗浄、処理室内のその他の部品の洗浄などを挙げることができる。
前準備処理の要否は、プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピにおいて指定される。前準備処理が必要であるときには、当該基板Ｗを処理する可能性のある処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４（前述の例では全ての処理ユニット）に関して、前準備処理の実行を表すブロック（前準備ブロック）が配置される（ステップＳ７）。図７は、全ての処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４に関して前準備ブロックを配置した計画の一例を模式的に示す図である。当該プロセスジョブの最初の基板Ｗ以外の基板Ｗのスケジューリングを実行するときには（ステップＳ５：ＮＯ）、ステップＳ６，Ｓ７の処理が省かれる。また、当該プロセスジョブの最初の基板Ｗのスケジューリングを行うときであっても、当該プロセスジョブに対応するレシピが前準備処理を指定していないものであれば（ステップＳ６：ＮＯ）、ステップＳ７の処理が省かれる。ここでは、一例として、前準備ブロックが配置されない場合について述べる。
次に、スケジューリング機能部２５は、当該基板Ｗに対応する仮タイムテーブルを参照し、当該仮タイムテーブルを構成するブロックを一つ取得する（ステップＳ８）。このとき取得されるブロックは、未配置のブロックのうち仮タイムテーブルの時間軸上で最も早い位置に配置されているブロックである。さらに、スケジューリング機能部２５は、当該取得したブロックを配置できる位置を検索し（ステップＳ９）、その検索された位置に当該ブロックを配置する（ステップＳ１０）。各ブロックは、同一リソースが同じ時間に重複して使用されないようにしながら、時間軸上で最も早い位置に配置される。なお、ここでいうブロックの配置とは、実際にブロックを配置しているのではなく、実際的には各処理の時間帯を仮決定している。
次に、スケジューリング機能部２５は、仮タイムテーブルの全てのブロックの配置が終了したかを判断し（ステップＳ１１）、未配置であれば（ステップＳ１１：ＮＯ）、同様の動作（ステップＳ８〜Ｓ１０）を繰り返す。そして、仮タイムテーブルの全てのブロックを配置し終えると（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部２５は、全ての仮タイムテーブルを用いた計画の作成が終了したか否かを判断する（ステップＳ１２）。つまり、４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４を用いた全てのパターンの投入計画が作成されたか否かを判断する（ステップＳ１２）。未だ全てのパターンが作成されていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、スケジューリング機能部２５は再びステップＳ４を実行する。全てのパターンが作成されていると（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部２５は、作成済みの計画の一つを全体スケジュールとして選択するための判定を行う（ステップＳ１３）。例えば、スケジューリング機能部２５は、スループットが最も高い計画を特定し、その計画を選択する。スループットが最も高い計画が複数あれば、スケジューリング機能部２５は、例えば、その計画のうち、ブロックの間隔（使用間隔）が最も空いている計画を選択する。また、使用間隔も同じであれば、スケジューリング機能部２５は、例えば、その計画のうち、識別番号が小さい処理ユニットから順に動作する計画を選択する。
図８は、上述の動作によって初期的に作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図８の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４における処理の開始時刻はこの順に遅くなっている。投入計画は、インデクサロボットＩＲによる搬出処理（「Ｇ」）および搬入処理（「Ｐ」）を示すブロックと、主搬送ロボットＣＲによる搬出処理（「Ｇ」）および搬入処理（「Ｐ」）を示すブロックと、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の処理の開始時刻を示すブロックとによって表現される。図８に例示するように、この時点では、全体スケジュールは最初の４枚の基板Ｗに対する投入計画のみを含んでいる。
なお、ステップＳ４〜Ｓ１３は、仮タイムテーブルに基づいて全体スケジュールを作成するスケジューリングステップに相当する。
制御部２１の処理実行指示部２６は、図８の全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる。よって、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４は図８の全体スケジュールに従って基板Ｗに対する処理を開始する。そして、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４が処理を開始すると、その処理中において、各センサＳＲはユニットセンシング情報を検出し（検出ステップ）、その検出に応じて通知情報を制御部２１に通知する。
制御部２１のスケジューリング機能部２５は通知情報の通知に応じて、その通知元の処理ユニットに対する払出計画およびその次の投入計画を作成する。この作成も図５のフローチャートに沿って行うことができる。
なお、基板処理装置１００の全体スケジュールに従った動作の実行中においては、基板処理開始指示のフラグは常にＨとなっているので、ステップＳ１の処理において、肯定的な判断（ＹＥＳの判断）がなされる。
スケジューリング機能部２５は通知情報の通知に応じて、作成対象となる計画範囲を払出計画に決定する（ステップＳ２）。次に、スケジューリング機能部２５は通知情報に基づいて仮タイムテーブルを更新する（ステップＳ３）。具体的には、スケジューリング機能部２５は仮タイムテーブルにおいて、通知元の処理ユニットから基板収容器Ｃまでの搬送に関するブロックを、通知情報に基づいて配置する。
ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１から通知情報がスケジューリング機能部２５に通知されたものとする。スケジューリング機能部２５は通知情報に基づいて処理ユニットＳＰＩＮ１の推定残り時間を認識できる。スケジューリング機能部２５は処理ユニットＳＰＩＮ１の推定残り時間に基づいて所要処理時間を算出し、この所要処理時間に基づいて仮タイムテーブルを更新する（ステップＳ３：仮タイムテーブル更新ステップ）。所要処理時間は、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の開始時刻から現在時刻までの時間と、推定残り時間との和に基づいて算出される。スケジューリング機能部２５は、仮タイムテーブルにおける、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１に対応するブロックの内容を、当該所要処理時間に基づいて更新する。図９は、処理ユニットＳＰＩＮ１についての更新後の仮タイムテーブルである。図９の例では、仮タイムテーブルにおいて、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了を規定するブロックＡ５２と、処理ユニットＳＰＩＮ１から受渡ユニットＰＡＳＳへの主搬送ロボットＣＲによる搬送処理を規定するブロックＡ６，Ａ７、および、受渡ユニットＰＡＳＳから基板収容器ＣへのインデクサロボットＩＲによる搬送処理を規定するブロックＡ８、Ａ９が新たに配置されている。図９の例では、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
ステップＳ４では、スケジューリング指示のフラグがＨであるので、肯定的な判断（ＹＥＳの判断）がなされ、ステップＳ５では、否定的な判断（ＮＯの判断）がなされる。
次に、スケジューリング機能部２５は、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１に対する仮タイムテーブルを参照し、当該仮タイムテーブルを構成する未配置のブロックを一つ取得する（ステップＳ８）。ここでいう未配置のブロックとは、全体スケジュールに未だ配置されていないブロックである。例えば、スケジューリング機能部２５は、未配置のブロックのうち最も早い位置に配置されたブロックＡ５２を取得する。
スケジューリング機能部２５は、当該取得したブロックＡ５２を配置できる位置を検索し（ステップＳ９）、その検索された位置に当該ブロックＡ５２を配置する（ステップＳ１０）。他のブロックＡ６〜Ａ９についても同様の処理により順次に配置される（ステップＳ１１：ＮＯ、ステップＳ９〜Ｓ１０）。これにより、スケジューリング機能部２５は、処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画を含んだ全体スケジュールを作成できる。
図１０は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１０の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１から通知情報が通知された通知時刻ｔ２（ＳＰＩＮ１）と、その処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）も示されている。
スケジューリング機能部２５は、図１０に示すように、当該通知情報に基づいて、処理ユニットＳＰＩＮ１の終了時刻を示すブロックと、処理ユニットＳＰＩＮ１から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。図１０の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
なお、ここでは、未だ処理すべき基板Ｗが基板収容器Ｃに存在しているので、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１についての次の投入計画も作成する。つまり、処理ユニットＳＰＩＮ１に対して搬送可能な次の未処理の基板Ｗが基板収容器Ｃに存在する場合には、その基板Ｗを処理ユニットＳＰＩＮ１に搬送すべく、スケジューリング機能部２５は処理ユニットＳＰＩＮ１に対する次の投入計画も作成する。言い換えれば、ステップＳ２において、未処理の基板Ｗが存在する場合には、スケジューリング機能部２５は、通知情報の通知元の処理ユニットに対する払出計画のみならず、当該処理ユニットについての次の投入計画も計画範囲に決定する。
この場合、ステップＳ３において、スケジューリング機能部２５は、現在の基板Ｗの仮タイムテーブル（図８）のみならず、次の基板Ｗの処理ユニットＳＰＩＮ１についての仮タイムテーブルも作成する。ただし、次の基板Ｗの仮タイムテーブルは、図６と同様に、投入計画に関するブロックのみが配置される。そして、スケジューリング機能部２５は、現在の基板Ｗに対する払出計画を作成した後に、次の基板Ｗの投入計画に関するブロックについて、ステップＳ８〜ステップＳ１０を繰り返して、次の基板Ｗについての投入計画を作成する。
図１１は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１１の例では、次の基板Ｗについての、基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ１への基板Ｗの搬送処理に関するインデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ１の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図１１の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。図１１の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻と、処理ユニットＳＰＩＮ１の次の処理の開始時刻との間には、所定の準備期間が設けられている。
上述の動作では、処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画および次の投入計画を含む全体スケジュールが一つ作成される。よって、ステップＳ１２では、肯定的な判断（ＹＥＳの判断）がなされる。全体スケジュールが一つ作成されているので、ステップＳ１３において判定処理は実質的に省略される。
ところで、スケジューリング機能部２５は処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画および次の投入計画の作成、つまり、全体スケジュールの再作成を、処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）よりも前に完了させる。例えば、センサＳＲは処理ユニットＳＰＩＮ１の処理開始から所定時間が経過したときに通知情報を取得し、当該通知情報を通知してもよい。当該所定時間は、通知情報の通知時刻ｔ２（ＳＰＩＮ１）からの処理の残り時間が、全体スケジュールの再作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆ以上となるように、予め設定されてもよい。所要作成時間Ｔｒｅｆも例えば予め設定される。
これによれば、制御部２１のスケジューリング機能部２５が通知情報を受け取った通知時刻ｔ２（ＳＰＩＮ１）において、その通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の推定残り時間は、その通知元の払出計画および次の投入計画の作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆよりも長い。よって、スケジューリング機能部２５は通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）よりも前に、当該処理ユニットＳＰＩＮ１の払出計画および次の投入計画を作成することができる。したがって、処理実行指示部２６は基板処理装置１００の動作を中断させることなく、全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に続行させることができる。
なお、通知情報に応じて実行されるステップＳ３は、仮タイムテーブルを更新する仮タイムテーブル更新ステップに相当し、通知情報に応じて実行されるステップＳ４〜Ｓ１３は、全体スケジュールを再作成する全体スケジュール更新ステップに相当する。仮タイムテーブル更新ステップおよび全体スケジュール更新ステップは、通知元の処理ユニットのユニット推定終了時刻ｔ３までに完了する。
なお、ユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）の算出精度は、センサＳＲによるユニットセンシング情報の検出タイミングが処理の終了時刻に近いほど高い。つまり、ユニットセンシング情報に基づいて推定される推定残り時間が短いほど、その推定精度は高い。そこで、スケジューリング機能部２５は、推定残り時間が、全体スケジュールの再作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆに近い値となったときに、全体スケジュールの再作成を開始してもよい。具体的な動作の一例としては、処理ユニットＳＰＩＮ１の制御部は、センサＳＲによる検出のたびに、処理の残り時間を推定し、その推定残り時間が所要作成時間Ｔｒｅｆに近づいたか否かを判断する。例えば、当該制御部は推定残り時間と所要作成時間Ｔｒｅｆとの差が基準値未満となったか否かを判断する。当該基準値は例えば予め設定される。そして、当該差が基準値未満となったときに、当該制御部は通知情報（推定残り時間）を制御部２１に通知する。
これによれば、スケジューリング機能部２５は、より高い精度で推定された推定残り時間（つまりユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１））に基づいて、その処理ユニットＳＰＩＮ１の払出計画および次の投入計画を作成することができる。つまり、より精度の高い全体スケジュールを再作成できる。
以下では、処理ユニットＳＰＩＮ２〜ＳＰＩＮ４も、推定残り時間と所要作成時間Ｔｒｅｆとの差が基準値未満となったときに、通知情報を制御部２１に通知するものとする。よって、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知の後には、処理ユニットＳＰＩＮ２のセンサＳＲから、通知情報が通知される。スケジューリング機能部２５は通知情報の通知に基づいて、その通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２についての払出計画を作成しつつ、必要に応じて次の投入計画も作成して、全体スケジュールを再作成する。
図１２は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１２の例では、通知時刻ｔ２（ＳＰＩＮ２）において、処理ユニットＳＰＩＮ２から通知情報がスケジューリング機能部２５に通知される。スケジューリング機能部２５は、当該通知情報に基づいて、処理ユニットＳＰＩＮ２についての払出計画および次の投入計画を作成して、全体スケジュールを再作成する。図１２の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
以後、同様の処理を繰り返すことにより、基板処理装置１００の動作と並行しつつ、順次に新たな計画が全体スケジュールに盛り込まれる。これにより、図４に例示する全体スケジュールが作成される。
なお、上述の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間が通常の所要処理時間とほぼ等しい場合を例に挙げて説明した。次に、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４における所要処理時間が変動した場合の例について述べる。ここでは、まず、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の所要処理時間が通常よりも短い場合について述べる。基板処理装置１００の動作の一例は図５と同様である。
まず、スケジューリング機能部２５は上述の通り、基板処理装置１００の動作を開始する前に全体スケジュールの一部として各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４についての最初の投入計画を作成する（ステップＳ２：投入計画、ステップＳ３〜Ｓ１３）。これにより、図８に例示する全体スケジュールが作成される。
各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の制御部は、処理の推定残り時間が、全体スケジュールの再作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆに近づいたときに、制御部２１に通知情報を通知する。よって、通知時刻ｔ２は、その処理ユニットの実際の所要処理時間が短いほど、早くなる。言い換えれば、通知時刻ｔ２は、その処理ユニットの実際の所要処理時間が長いほど、遅れる。
ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２の実際の所要処理時間が通常よりも短いために、処理ユニットＳＰＩＮ１よりも先に処理ユニットＳＰＩＮ２から通知情報が通知されるものとする。スケジューリング機能部２５は既述のように、この通知情報に基づいて、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２の仮タイムテーブルを更新し（および必要に応じて次の基板Ｗに対する仮タイムテーブルを作成し）、処理ユニットＳＰＩＮ２についての払出計画（および必要に応じて次の投入計画）を作成する（ステップＳ２：払出計画（および必要に応じて次の投入計画）、ステップＳ３〜Ｓ１３）。スケジューリング機能部２５は、処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）の前に、全体スケジュールの再作成を完了する。
図１３は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１３の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックは未だ配置されておらず、処理ユニットＳＰＩＮ２の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックが新たに配置されている。図１３の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。
基板処理装置１００における処理が進行すると、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が制御部２１に通知される。スケジューリング機能部２５は、既述のように、この通知情報に基づいて、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１の仮タイムテーブルを更新し（および必要に応じて次の基板Ｗに対する仮タイムテーブルを作成し）、処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画（および必要に応じて次の投入計画）を作成する（ステップＳ２：払出計画（および必要に応じて次の投入計画）、ステップＳ３〜Ｓ１３）。スケジューリング機能部２５は、処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）の前に、全体スケジュールの再作成を完了する。
図１４は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１４の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックが新たに配置されている。図１４の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。図１４の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）は処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）よりも後である。よって、処理ユニットＳＰＩＮ１内の基板Ｗに対する主搬送ロボットＣＲの搬送処理を示す一対のブロックＡ６，Ａ７は、処理ユニットＳＰＩＮ２内の基板Ｗに対する主搬送ロボットＣＲの搬出処理を示す一対のブロックＣ６，Ｃ７と干渉しないように、当該一対のブロックＣ６，Ｃ７の直後に配置される。同様に、処理ユニットＳＰＩＮ１からの基板Ｗに対するインデクサロボットＩＲの搬送処理を示す一対のブロックＡ８，Ａ９も、処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗに対するインデクサロボットＩＲの搬出処理を示す一対のブロックＣ８，Ｃ９の直後に配置される。
また、次に処理ユニットＳＰＩＮ１に搬入される基板ＷについてのインデクサロボットＩＲの搬送処理を示すブロックＢ１，Ｂ２も、次に処理ユニットＳＰＩＮ２に搬入される基板ＷについてのインデクサロボットＩＲの搬送処理を示すブロックＤ１，Ｄ２の直後に配置され、次に処理ユニットＳＰＩＮ１に搬入される基板Ｗについての主搬送ロボットＣＲの搬送処理を示すブロックＢ３，Ｂ４も、次に処理ユニットＳＰＩＮ２に搬入される基板Ｗについての主搬送ロボットＣＲの搬送処理を示すブロックＤ３，Ｄ４の直後に配置される。よって、処理ユニットＳＰＩＮ１の次の処理の開始時刻を示すブロックＢ５１は、処理ユニットＳＰＩＮ２の次の処理の開始時刻を示すブロックＤ５１よりも後に配置される。つまり、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２の処理の開始順序が逆転する。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４も順次に通知情報が通知される。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ４の実際の所要処理時間が通常よりも短く、処理ユニットＳＰＩＮ３よりも先に処理ユニットＳＰＩＮ４から通知情報が通知される。スケジューリング機能部２５は、その通知のたびに、既述のように、その通知元の処理ユニットの払出計画および次の投入計画を作成して、全体スケジュールを再作成する。その後も、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４は順次に通知情報を制御部２１に通知し、その都度、スケジューリング機能部２５は、全体スケジュールを再作成する。スケジューリング機能部２５は、通知元の処理ユニットのユニット推定終了時刻ｔ３の前に、全体スケジュールの再作成を完了する。
図１５は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１５の例でも、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４がそれぞれ２回の処理を行うことにより、８枚の基板Ｗが処理される。ただし、図１５では、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２の２回目の処理の開始順序が１回目の処理の開始順序と反対となり、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４の２回目の処理の開始順序も１回目の処理の開始順序の反対となる。
以上のように、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の実際の所要処理時間が通常よりも短くなったとしても、基板処理装置１００は動作を中断することなく、その短くなった所要処理時間が反映された全体スケジュールに応じた動作を続行することができる。
また、図１５の例では、所要処理時間の短い処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗの搬出が、所要処理時間の長い処理ユニットＳＰＩＮ１からの基板Ｗの搬出よりも先に実行される。同様に、処理ユニットＳＰＩＮ４からの基板Ｗの搬出が処理ユニットＳＰＩＮ３からの基板Ｗの搬出よりも先に実行される。つまり、所要処理時間の短い処理ユニットの処理を優先的に終了させつつ、所要処理時間の短い処理ユニットにその次の処理を優先的に開始させる。これによれば、例えばより多くの基板Ｗを処理する場合、所要処理時間の短い処理ユニットがより多くの回数で処理を実行できる。したがって、基板処理装置１００の全体のスループットを向上できる。
次に、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の実際の所要処理時間が通常よりも長い場合について述べる。基板処理装置１００の動作の一例は図５と同様である。
基板処理装置１００の動作の開始前に初期的に作成された全体スケジュールは、図８と同様であり、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報に基づいて再作成された全体スケジュールは、図１１と同様である。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２の実際の所要処理時間が通常よりも長いために、処理ユニットＳＰＩＮ２よりも先に処理ユニットＳＰＩＮ３から通知情報が通知されるものとする。スケジューリング機能部２５は既述のように、その通知元の処理ユニットＳＰＩＮ３のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ３）の前に、通知情報に基づいた全体スケジュールの再作成を完了する。
図１６は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１６の例では、処理ユニットＳＰＩＮ３の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックが新たに配置されている。図１６の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。図１６の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックは未だ配置されておらず、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ３の各々の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックが配置されている。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、処理ユニットＳＰＩＮ２から通知情報が通知される。スケジューリング機能部２５は既述のように、その通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）の前に、ユニットセンシング情報に基づいた全体スケジュールの再作成を完了する。
図１７は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１７の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２の払出計画およびその次の投入計画についてのブロックが新たに配置されている。図１７の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。図１７の例では、処理ユニットＳＰＩＮ３のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ３）は処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）よりも早く、処理ユニットＳＰＩＮ３からの基板Ｗの搬出処理は、処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗの搬出処理よりも前に行われる。よって、処理ユニットＳＰＩＮ３の次の処理も処理ユニットＳＰＩＮ２の次の処理の開始よりも先に開始される。つまり、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ３の処理の開始順序が逆転する。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、処理ユニットＳＰＩＮ４からも通知情報が通知され、その後、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４から順次に通知情報が通知される。スケジューリング機能部２５は、その通知のたびに、既述のように、全体スケジュールを再作成する。
図１８は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１８の例でも、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４がそれぞれ２回の処理を行うことにより、８枚の基板Ｗが処理される。図１８の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ３の２回目の処理の開始順序は１回目の開始順序と反対になっている。
以上のように、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の実際の所要処理時間が通常よりも長くなったとしても、基板処理装置１００は動作を中断することなく、その長くなった所要処理時間が反映された全体スケジュールに応じた動作を続行することができる。
また、図１８の例では、所要処理時間の短い処理ユニットＳＰＩＮ３からの基板Ｗの搬出が、所要処理時間の長い処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗの搬出よりも先に実行される。これによれば、例えばより多くの基板Ｗを処理する場合、所要処理時間の短い処理ユニットがより多くの回数で処理を実行できる。したがって、基板処理装置１００の全体のスループットを向上できる。
以上のように、第１の実施の形態によれば、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間が変動したとしても、その変動を反映した全体スケジュールの再作成を、その処理ユニットの処理が終了する前に完了する。したがって、基板処理装置１００の動作を中断することなく、所要処理時間の変動を反映した全体スケジュールに従って動作を続行することができる。
しかも、第１の実施の形態によれば、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の処理の開始前には、その処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の当該処理についての払出計画は作成されていない。言い換えれば、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の払出計画を作成する前に、処理実行指示部２６は全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる。そして、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の処理の実行中に検出されるセンサＳＲのユニットセンシング情報に基づいて、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の残り処理時間を推定し、その推定残り時間に基づいて、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の払出計画が作成される。
もし仮に基板処理装置１００の動作の開始前に払出計画が作成されると、その払出計画はセンサＳＲのユニットセンシング情報に応じて修正され得る。払出計画が修正される場合、動作の開始前に作成した払出計画の当該修正部分は無駄である。
これに対して、第１の実施の形態では、処理実行指示部２６は払出計画の作成前に、基板処理装置１００の動作を開始する。よって、そのような無駄な払出計画の作成を回避できる。よって、スケジューリング機能部２５の処理負荷を軽減することができる。
＜ブロックの干渉＞
上述の具体例では、スケジューリング機能部２５は通知元の処理ユニットについてのブロックを配置することにより、全体スケジュールを再作成した。つまり、全体スケジュールにおいて既に配置されている他の処理ユニットについてのブロックは再配置せずに、通知元の処理ユニットについてのブロックを新たに配置していた。しかしながら、通知元の処理ユニットの配置のみならず、他の処理ユニットについてのブロックも再配置したほうがいい場合もある。以下、具体的に説明する。
図１９は、全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図１９に例示する全体スケジュールには、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４についての最初の投入計画のブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画および次の投入計画のブロックが配置されている。図１９の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２の通知時刻ｔ２（ＳＰＩＮ２）と、処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ３）も示されている。
図１９の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２の実際の所要処理時間が処理ユニットＳＰＩＮ１の実際の所要処理時間よりも短く、ユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）がユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ１）に比較的に近い。この場合、処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗの搬出処理のブロックをユニット推定終了時刻ｔ３（ＳＰＩＮ２）に基づいて配置しようとすると、既に配置されているブロックＡ６と時間軸上で干渉する。
このように通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２についてのブロックが他の処理ユニットＳＰＩＮ１についてのブロックと時間軸上で干渉する場合には、スケジューリング機能部２５は、その通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２の所要処理時間と、当該他の処理ユニットＳＰＩＮ１の所要処理時間との長短を比較し、所要処理時間の短い処理ユニットＳＰＩＮ２についてのブロックが、所要処理時間の長い処理ユニットＳＰＩＮ１についてのブロックよりも先に配置されるように、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２の両方のブロックの位置を調整して、全体スケジュールを再作成してもよい。
図２０は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２０の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２からのユニットセンシング情報に基づいて、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２についての払出計画および次の投入計画のブロック新たに配置されている。図２０の例でも、配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。要するに、処理ユニットＳＰＩＮ１についての払出計画および次の投入計画も作成し直している。図２０の例では、所要処理時間が短い処理ユニットＳＰＩＮ２からの基板Ｗの搬出処理を示すブロックを、所要処理時間が長い処理ユニットＳＰＩＮ１からの基板Ｗの搬出処理を示すブロックよりも前に配置している。
また、処理ユニットＳＰＩＮ２への次の基板Ｗの搬入処理を示すブロックを、処理ユニットＳＰＩＮ１への次の基板Ｗの搬入処理を示すブロックよりも前に配置し、処理ユニットＳＰＩＮ２の次の処理の開始時刻を示すブロックを、処理ユニットＳＰＩＮ１の次の処理の開始時刻を示すブロックよりも前に配置している。
これによれば、所要処理時間の短い処理ユニットＳＰＩＮ２に基板Ｗの処理を優先的に実行させることができる。よって、全体的な処理のスループットの向上に資する。
なお、通知元の処理ユニットについてのブロックのみを新たに配置して全体スケジュールを再作成する場合には、処理ユニットの所要処理時間の長短を比較する必要がない。よって、この場合には、スケジューリング機能部２５の処理負荷を軽減できる。
図２１は、通知元の処理ユニットについてのブロックのみを配置したときの全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２１の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。図２１の例では、既に配置されている処理ユニットＳＰＩＮ１についてのブロックは変更されておらず、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ２についてのブロックが、処理ユニットＳＰＩＮ１についてのブロックよりも後に配置されている。
＜第２の実施の形態＞
第２の実施の形態にかかる基板処理装置１００の構成は第１の実施の形態と同じである。第１の実施の形態では、処理実行指示部２６は処理ユニットの払出計画の作成前に、基板処理装置１００の動作を開始している。しかしながら、必ずしもこれに限らない。第２の実施の形態では、スケジューリング機能部２５は、基板処理装置１００の動作を開始する前に、処理ユニットの投入計画および払出計画を含む全体スケジュールを一旦作成する。
図２２および図２３は、基板処理装置１００の動作の一例を示すフローチャートである。ステップＳ２１〜Ｓ３２は、それぞれステップＳ１，Ｓ３〜Ｓ１３と同様である。ただし、ステップＳ２１〜Ｓ３２においては、計画範囲は、投入計画および払出計画の両方を含む全体スケジュール（図４）である。つまり、ステップＳ２２において、スケジューリング機能部２５は、投入計画および払出計画を含む仮タイムテーブルを作成する。これにより、ステップＳ３２において、例えば図４に示す全体スケジュールが作成される。
全体スケジュールを作成すると、処理実行指示部２６は当該全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる（ステップＳ３３）。次に、スケジューリング機能部２５は、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４のから通知情報の通知があったか否かを判断する（ステップＳ３４）。通知情報の通知がないと判断したとき（ステップＳ３４：ＮＯ）、スケジューリング機能部２５は再びステップＳ３４を実行する。通知情報の通知があったときには（ステップＳ３４：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部２５は、その通知元の処理ユニットのユニット推定終了時刻ｔ３を当該通知情報に基づいて取得する（ステップＳ３５）。次に、スケジューリング機能部２５は、全体スケジュールにおける当該処理ユニットの処理終了予定時刻と、ユニット推定終了時刻ｔ３との時刻差が時刻差基準値以上であるか否かを判断する（ステップＳ３６）。時刻差基準値は例えば予め設定される。
当該時刻差が時刻差基準値以上であるときには（ステップＳ３６：ＹＥＳ）、スケジューリング機能部２５は、全体スケジュールを再作成する（ステップＳ３７）。具体的には、スケジューリング機能部２５は、例えば当該処理ユニットの終了時刻がユニット推定終了時刻ｔ３となるように、当該処理ユニットの処理のブロックの長さを更新した上で、仮タイムテーブルを作成しなおし、作成しなおした仮タイムテーブルに基づき、全体スケジュールを再度作成する。つまり、時刻差が時刻差基準値以上であると判断された場合には、仮タイムテーブル更新ステップを実行し、時刻差が時刻差基準値よりも小さいと判断された場合には、仮タイムテーブル更新ステップを実行しない。
この全体スケジュールの再作成は、例えば、図２２のフローチャートに沿って行うことも可能である。すなわち、スケジューリング機能部２５は、例えば当該処理ユニットの終了時刻がユニット推定終了時刻ｔ３となるように、当該処理ユニットの処理のブロックの長さを更新した上で、図２２のステップＳ２２からステップＳ３１に至るステップを実行する。ただし、ステップＳ２２において、スケジューリング機能部２５は、処理ユニットの所要処理時間として、ユニットセンシング情報に基づいて推定された所要処理時間を採用して、仮タイムケジュールを更新する。
各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間に関する処理時間情報は、処理内容データ４０（レシピ）として記憶媒体２３に記憶されている。そこで、制御部２１はユニットセンシング情報に基づいて推定された各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間を、処理内容データ４０として記憶媒体２３に記憶してもよい（ステップＳ３８：ブロック更新工程）。つまり、推定された所要処理時間で処理内容データ４０を更新してもよい。これによれば、次回以降に基板処理を開始する場合に、より実際に即した処理内容データ４０を活用して、全体スケジュールを作成することができる。
当該時刻差が時刻差基準値未満であるとき（ステップＳ３６：ＮＯ）、スケジューリング機能部２５は、全体スケジュールの再作成（ステップＳ３７）および処理内容データ４０の更新（ステップＳ３８）を実行しない。このように時刻差が時刻差基準値以上であるときのみ、全体スケジュールの再作成が行われれば、不要な全体スケジュールの再作成を回避できる。
次に、制御部２１は、全ての基板Ｗについての処理が終了したか否かを判断する（ステップＳ３９）。全ての基板Ｗの処理が終了していない場合には、制御部２１は再びステップＳ３４を実行する。全ての基板Ｗの処理が終了している場合には（ステップＳ３９：ＹＥＳ）、制御部２１は処理を終了する。例えば、制御部２１は基板処理開始指示のフラグをＬとし、スケジュール指示のフラグをＬとする。未だ基板Ｗの処理が終了していない場合には（ステップＳ３９：ＮＯ）、スケジューリング機能部２５は、ステップＳ３４を再び実行する。
＜第３の実施の形態＞
第３の実施の形態にかかる基板処理装置１００の構成は第１の実施の形態と同じである。ただし第３の実施の形態においては、基板Ｗは処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２のうち２以上の処理ユニットによって連続的に処理される。例えば、基板Ｗが処理ユニットＳＰＩＮ１において処理された後に、処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３に搬送されて、処理ユニットＳＰＩＮ３において処理される。このような２以上の処理ユニットによる基板Ｗへの連続的な処理を以下では渡り処理とも呼ぶ。
基板Ｗに対する処理の手順は、処理内容データ４０におけるレシピで規定されるので、処理内容データ４０には渡り処理が含まれる場合がある。第３の実施の形態では、処理内容データ４０に渡り処理が含まれる場合について説明する。
以下では、簡単のために、４つの処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４を用いて説明を行う。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１および処理ユニットＳＰＩＮ２は基板Ｗに対して第１処理を施し、処理ユニットＳＰＩＮ３および処理ユニットＳＰＩＮ４は基板Ｗに対して、第１処理とは異なる第２処理を施す。例えば第１処理と第２処理との間では、基板Ｗに対して供給される処理液の濃度および処理液の種類などの処理に関する諸条件が相違する。各基板Ｗは、第１処理を行う処理ユニットから、第２処理を行う処理ユニットに搬送される。これにより、基板Ｗには、各処理ユニットによって第１処理および第２処理が連続的に施される。
図２４は、スケジューリング機能部２５によって作成される全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２４の例でも、全体スケジュールはブロックおよび矢印によって模式的に表現される。以下では、説明の簡単のために、４枚の基板Ｗ（基板Ｗ１から基板Ｗ４）に対する処理について述べる。実際にはより多くの基板Ｗが処理される。
ここで、代表的に基板Ｗ１に着目して全体スケジュールを説明する。図２４の例では、基板Ｗ１に対応するブロックを太線で示している。図２４によれば、未処理の基板Ｗ１はインデクサロボットＩＲによって基板収容器Ｃから取り出され（ブロックＤ１）、受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＤ２）。そして、この基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出され（ブロックＤ３）、処理ユニットＳＰＩＮ１に受け渡される（ブロックＤ４）。基板Ｗ１には、処理ユニットＳＰＩＮ１によって第１処理が施される（ブロックＤ５）。
処理ユニットＳＰＩＮ１の処理終了後に、基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲによって処理ユニットＳＰＩＮ１から取り出され（ブロックＤ６）、別の処理ユニットＳＰＩＮ３に受け渡される（ブロックＤ７）。基板Ｗ１には、処理ユニットＳＰＩＮ３によって第２処理が施される（ブロックＤ８）。この処理ユニットＳＰＩＮ３における第２処理の内容は処理ユニットＳＰＩＮ１における第１処理の内容と相違する。
処理ユニットＳＰＩＮ３の処理終了後に、処理済みの基板Ｗ１は主搬送ロボットＣＲによって処理ユニットＳＰＩＮ３から取り出され（ブロックＤ９）、受渡ユニットＰＡＳＳに受け渡される（ブロックＤ１０）。続いて、処理済みの基板Ｗ１はインデクサロボットＩＲによって受渡ユニットＰＡＳＳから取り出され（ブロックＤ１１）、基板収容器Ｃに受け渡される（ブロックＤ１２）。
制御部２１のスケジューリング機能部２５が、図２４に例示するような全体スケジュールを作成し、処理実行指示部２６がこの全体スケジュールに従って基板処理装置１００の各部を制御する。これにより、基板Ｗ１には処理ユニットＳＰＩＮ１および処理ユニットＳＰＩＮ３によってこの順で連続的に処理が施され、基板Ｗ２には処理ユニットＳＰＩＮ２および処理ユニットＳＰＩＮ４によってこの順で連続的に処理が施され、基板Ｗ３には処理ユニットＳＰＩＮ１および処理ユニットＳＰＩＮ３によってこの順で連続的に処理が施され、基板Ｗ４には処理ユニットＳＰＩＮ２および処理ユニットＳＰＩＮ４によってこの順で連続的に処理が施される。
このように第３の実施の形態では、各基板Ｗには複数の処理ユニットの間で搬送されて連続的に異なる処理が施される。
第３の実施の形態では、この全体スケジュールを投入計画、渡り計画および払出計画に分割して考慮する。渡り計画とは、基板Ｗに対する処理ユニット間の搬送に関する計画である。より具体的には、渡り計画は、搬送元の処理ユニットの処理の終了、基板Ｗに対する搬送元の処理ユニットから搬送先の処理ユニットへの搬送処理の時間帯、および、次の搬送先の処理ユニットの処理の開始を規定する計画である。
図２５は、基板処理装置１００（スケジュール作成装置）の具体的な動作の一例を示すフローチャートである。この一連の処理は繰り返し実行される。図２５のフローでは、図５のフローと比較して、ステップＳ２の代わりにステップＳ２Ａが実行される。
図２５を参照して、まず、スケジューリング機能部２５は第１の実施の形態と同様に、基板処理開始指示があったか否かを判断する（ステップＳ１）。例えばホストコンピュータまたはユーザから出入力部２２に当該開始指示が入力される。制御部２１は当該入力に応答して、例えば開始指示のフラグをＬからＨに遷移させる。
基板処理開始指示がない、つまり開始指示のフラグがＬであるときには、スケジューリング機能部２５は再びステップＳ１を実行する。基板処理開始指示があったときには、スケジューリング機能部２５は計画範囲を決定する（ステップＳ２Ａ）。スケジューリング機能部２５は、作成対象となる計画範囲を、投入計画、渡り計画および払出計画の中から選択して決定する。つまり、スケジューリング機能部２５は全体スケジュールのうち投入計画を作成するのか、渡り計画を作成するのか、払出計画を作成するのかを決定する。初期的には、スケジューリング機能部２５は投入計画を計画範囲に決定する。
例えば最初のステップＳ２Ａでは、スケジューリング機能部２５は作成対象となる計画範囲を、第１の実施の形態と同様に投入計画に決定する。スケジューリング機能部２５は第１の実施の形態と同様にステップＳ３〜Ｓ１３を実行する。
ところで、基板の処理手順を規定する処理内容データ４０には、基板Ｗに対する第１処理および第２処理の連続的な渡り処理が含まれている。よって、基板Ｗが最初に搬送される搬送先の処理ユニットは処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２のいずれかである。したがって、ステップＳ３では、スケジューリング機能部２５は、処理ユニットＳＰＩＮ１および処理ユニットＳＰＩＮ２のいずれかを通る２つの経路に対応した２つの仮タイムテーブルを作成する。
そして、スケジューリング機能部２５はスケジューリング指示に応答して、必要に応じて前準備工程のブロックを配置し（ステップＳ４〜Ｓ７）、仮タイムテーブルの未配置のブロックを順次に配置することで計画を、仮タイムテーブルごとに作成する（ステップＳ８〜Ｓ１２）。次にスケジューリング機能部２５は、作成済みの計画の一つを全体スケジュールとして選択するための判定を行う（ステップＳ１３）。
図２６は、上述の動作によって初期的に作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２６の例では、基板Ｗ１についての投入計画として、基板Ｗ１に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ１への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の開始時刻を規定するブロックが配置されている。また、基板Ｗ２についての投入計画として、基板Ｗ２に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ２の処理の開始時刻を規定するブロックが配置されている。図２６に例示するように、この時点では、全体スケジュールは最初の２枚の基板Ｗ１，Ｗ２に対する投入計画のみを含んでいる。
この投入計画では、各処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２にはそれぞれ基板Ｗ１，Ｗ２が順次に搬入される。処理ユニットＳＰＩＮ１は基板Ｗ１に対して第１処理を施し、処理ユニットＳＰＩＮ２は基板Ｗ２に対して第１処理を施す。基板Ｗに対する処理中に新たな基板Ｗを搬送することは好ましくないので、スケジューリング機能部２５は、基板Ｗ１に対する第１処理が終了して基板Ｗ１が処理ユニットＳＰＩＮ１から搬出されない限り、新たな基板Ｗを処理ユニットＳＰＩＮ１に搬入する計画を作成しない。処理ユニットＳＰＩＮ２も同様である。
制御部２１の処理実行指示部２６は、図２６の全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる。よって、処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２は図２６の全体スケジュールに従って基板Ｗに対する処理を開始する。言い換れば、処理実行指示部２６は、後述の渡り計画および払出計画を作成する前に、全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる。
各処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２が処理を開始すると、その処理中において、各センサＳＲはユニットセンシング情報を検出し（検出ステップ）、その検出に応じて通知情報を制御部２１に通知する。ここでも、各処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２の制御部は、処理の推定残り時間が、全体スケジュールの再作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆに近づいたときに、制御部２１に通知情報を通知する。ここでは、まず、基板Ｗ１を処理している処理ユニットＳＰＩＮ１が通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ１）において通知情報を通知したとする（図２７も参照）。
制御部２１のスケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答して、その通知元の処理ユニットに対する渡り計画および払出計画のいずれか一方、および、必要に応じて、その次の投入計画を作成する。この作成も図２５のフローチャートに沿って行うことができる。
まず、スケジューリング機能部２５は通知情報の通知に応答して、次の作成対象となる計画範囲を決定する（ステップＳ２Ａ）。具体的には、スケジューリング機能部２５は処理内容データ４０を確認し、通知元の処理ユニットによって行われている基板Ｗに対する処理が処理手順における最後の処理か否かを判断する。ここでは、処理内容データ４０には、第１処理および第２処理をこの順に実行する渡り処理が規定されているので、処理手順における最後の処理は第２処理である。
通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１による第１処理は処理手順における最後の処理ではないので、スケジューリング機能部２５は次の計画範囲を、処理ユニットＳＰＩＮ１によって処理されている基板Ｗ１についての渡り計画に決定する。
また、基板収容器Ｃには未処理の基板Ｗ３，Ｗ４が存在しているので、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ１についての渡り計画のみならず、基板Ｗ３についての投入計画も計画範囲に決定する。
次にスケジューリング機能部２５は通知情報および処理内容データ４０に基づいて仮タイムテーブルを更新する（ステップＳ３）。具体的には、まずスケジューリング機能部２５は、第１の実施の形態と同様に、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を規定するブロックを通知情報（推定残り時間）に基づいて配置する。そして、スケジューリング機能部２５は、次の搬送先候補の処理ユニットへの搬送を規定した仮タイムテーブルを、搬送先候補ごとに作成する。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送を規定した仮タイムテーブルと、処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ４への搬送を規定した仮タイムテーブルとが作成される。
ステップＳ４では、スケジューリング指示のフラグがＨであるので、肯定的な判断（ＹＥＳの判断）がなされ、ステップＳ５では、否定的な判断（ＮＯの判断）がなされる。
次にスケジューリング機能部２５は通知元の処理ユニットＳＰＩＮ１に対する仮タイムテーブルを参照し、当該仮タイムテーブルを構成する未配置のブロックを一つ取得し（ステップＳ８）、当該取得したブロックを配置できる位置を検索し（ステップＳ９）、その検索された位置に当該ブロックを配置する（ステップＳ１０）。
次にスケジューリング機能部２５は、仮タイムテーブルの未配置のブロックの全てについてステップＳ８〜Ｓ１０の処理を繰り返す（ステップＳ１１）。これにより、一つの仮タイムテーブルを用いた計画が作成される。例えば、基板Ｗ１が処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３に搬送される渡り計画を含む計画が作成される。
次にスケジューリング機能部２５は全ての仮タイムテーブルについてステップＳ８〜Ｓ１２の処理を実行する。これにより、全ての仮タイムテーブルに対応する計画が作成される。ここでは、基板Ｗ１が処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ４に搬送される渡り計画を含む計画も作成される。
次にスケジューリング機能部２５は、作成済みの計画の一つを全体スケジュールとして選択するための判定を行う（ステップＳ１３）。ここでは、スケジューリング機能部２５は、識別番号が小さい処理ユニットＳＰＩＮ３に搬送する計画を、全体スケジュールとして選択する。
図２７は、上述の動作によって作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２７の例では、基板Ｗ１についての渡り計画として、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図２７の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を示すブロックが配置されるので、スケジューリング機能部２５は、第１の実施の形態と同様に、処理ユニットＳＰＩＮ１への基板Ｗ３の投入計画も作成する。
図２８は、全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２８の例では、基板Ｗ３についての投入計画として、基板Ｗ３に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ１への搬送処理に関するインデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ１の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図２８の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ２）において処理ユニットＳＰＩＮ２からの通知情報が制御部２１に通知される（図２９も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答して、処理内容データ４０に基づいて計画範囲を基板Ｗ２についての渡り計画に決定し（ステップＳ２Ａ）、ステップＳ３〜Ｓ１３を実行して基板Ｗ２についての渡り計画を作成する。また、スケジューリング機能部２５は次の基板Ｗ４についての投入計画も作成し、全体スケジュールを再作成する。
図２９および図３０は、上述の動作によって作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図２９の例では、基板Ｗ２についての渡り計画が新たに作成されている。具体的には、基板Ｗ２についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ２の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ２に対する処理ユニットＳＰＩＮ２から処理ユニットＳＰＩＮ４への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図２９の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
図３０の例では、処理ユニットＳＰＩＮ２に対する基板Ｗ４についての投入計画が新たに作成されている。具体的には、基板Ｗ４についての投入計画として、基板Ｗ４に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ２への搬送処理に関するインデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ２の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図３０の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。なお、図３０の例では、通知時刻ｔ１（ＳＰＩＮ１）を図示するために、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の開始時刻を規定するブロックに続けて、破線のブロックを示している。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）において、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が制御部２１に通知される。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答して、処理内容データ４０に基づいて計画範囲を基板Ｗ３についての渡り計画に決定し（ステップＳ２Ａ）、ステップＳ３〜Ｓ１３を実行して基板Ｗ３についての渡り計画を作成しようとする。
しかしながら、図３０から理解できるように、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）では、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４に対応する最新のブロックは、処理の開始時刻を規定するブロックであり、処理の終了時刻を規定するブロックではない。つまり、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）では、次の搬送先候補である処理ユニットＳＰＩＮ３および処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻は未だ確定されていない。要するに、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）では、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４からの基板Ｗ１，Ｗ２の搬送は未だ計画されていない。よって、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ３の搬送先の処理ユニットを決定することができない。つまり、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ３についての渡り計画を作成できない。
そこで、スケジューリング機能部２５は、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が通知されたときに、搬送先候補の処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４の全てが基板Ｗを処理しており、かつ、搬送先候補の処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４からの搬送が未だ計画されていない場合、基板Ｗ３についての渡り計画の作成を中断する。言い換えれば、処理ユニットＳＰＩＮ１のユニット推定終了時刻を得たときに、搬送先候補の全てが基板Ｗを処理しており、かつ、全ての搬送先候補からの搬送が未だ計画されていない場合、基板Ｗ３についての渡り計画を中断する。例えばスケジューリング機能部２５はステップＳ２Ａ〜Ｓ１２によって基板Ｗ３についての渡り計画を作成できなかったときに、基板Ｗ３の渡り計画について中断フラグを立ち上げてもよい。この中断フラグは渡り計画が作成されたときに立ち下げられる。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ３）において、処理ユニットＳＰＩＮ３からの通知情報が制御部２１に通知される（図３１も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報に通知に応答して、処理内容データ４０に基づいて計画範囲を基板Ｗ１についての払出計画に決定する（ステップＳ２Ａ）。具体的には、スケジューリング機能部２５は処理内容データ４０に基づいて、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ３における第２処理が処理手順の最後の処理であると判断する。スケジューリング機能部２５は当該判断に応答して、計画範囲を、通知元の処理ユニットＳＰＩＮ３が処理している基板Ｗ１についての払出計画に決定する。そして、スケジューリング機能部２５は第１の実施の形態と同様にステップＳ３〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ３からの払出計画を作成する。
この払出計画によって、基板Ｗ３の次の搬送先候補の一つである処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の終了時刻が確定するので、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ３についての渡り計画の作成を再開する。要するに、スケジューリング機能部２５は、次の搬送先候補からの基板Ｗの搬送が計画されてから、基板Ｗ３についての渡り計画を作成する。より具体的には、スケジューリング機能部２５は、基板Ｗ３についての中断フラグが立ち上がっており、かつ、搬送先候補の処理ユニットからの基板Ｗの搬出が計画されているときに、計画範囲を基板Ｗ３についての渡り計画に再決定する（ステップＳ２Ａ）。そして、スケジューリング機能部２５はステップＳ３〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ３についての渡り計画を作成する。
図３１は、上述の動作によって作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３１の例では、基板Ｗ１についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の終了時刻を示すブロック、ならびに、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ３から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。また、図３１の例では、基板Ｗ３についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ３に対する処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図３１の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
以上のように、スケジューリング機能部２５は搬送先候補（ここでは処理ユニットＳＰＩＮ３）からの払出計画を作成した後に、基板Ｗ３についての渡り計画を作成することにより、より適切な渡り計画を作成することができる。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ２）において、処理ユニットＳＰＩＮ２からの通知情報が制御部２１に通知され（図３２も参照）、その後、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ４）において、処理ユニットＳＰＩＮ４からの通知情報が制御部２１に通知される。
スケジューリング機能部２５は処理ユニットＳＰＩＮ２からの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ４についての渡り計画を作成しようとするものの、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ２）では、基板Ｗ４の次の搬送先候補である処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４からの基板Ｗの搬送が未だ計画されていないので、当該渡り計画の作成を中断する。
次にスケジューリング機能部２５は処理ユニットＳＰＩＮ４からの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ２についての払出計画を作成する。この払出計画の作成が完了すると、スケジューリング機能部２５は計画範囲を基板Ｗ４の渡り計画に再決定し（ステップＳ２Ａ）、ステップＳ３〜Ｓ１３を実行して基板Ｗ４についての渡り計画を作成する。
図３２は、上述の動作によって作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３２の例では、基板Ｗ２についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻を示すブロック、ならびに、基板Ｗ２に対する処理ユニットＳＰＩＮ４から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。また、図３２の例では、基板Ｗ４についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ２の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ４に対する処理ユニットＳＰＩＮ２から処理ユニットＳＰＩＮ４への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ４の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。図３２の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ３）において、処理ユニットＳＰＩＮ３からの通知情報が制御部２１に通知される（図３３も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ３についての払出計画を作成する。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ４）において、処理ユニットＳＰＩＮ４からの通知情報が制御部２１に通知される（図３３も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ４についての払出計画を作成する。
図３３は、上述の動作によって作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３３の例では、基板Ｗ３についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の終了時刻を規定するブロック、ならびに、基板Ｗ３に対する処理ユニットＳＰＩＮ３から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。また、図３３の例では、基板Ｗ４についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻を規定するブロック、ならびに、基板Ｗ４に対する処理ユニットＳＰＩＮ４から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。図３３の例でも、新たに配置されたブロックを斜線のハッチングで示している。
以上のように第３の実施の形態でも、基板処理装置１００の動作と並行しつつ、順次に新たな計画が全体スケジュールに盛り込まれる。
なお、上述の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間が通常の所要処理時間とほぼ等しい場合を例に挙げて説明した。次に、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４における所要処理時間が変動した場合の例について述べる。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の所要処理時間が通常よりも短い場合について述べる。基板処理装置１００の動作の一例は図２５と同様である。
まず、スケジューリング機能部２５は上述の通り、基板処理装置１００の動作を開始する前に全体スケジュールの一部として各処理ユニットＳＰＩＮ１，ＳＰＩＮ２についての最初の投入計画を作成する（ステップＳ２Ａ：投入計画、ステップＳ３〜Ｓ１３）。これにより、図２６に例示する全体スケジュールが作成される。
各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の制御部は、処理の推定残り時間が、全体スケジュールの再作成に要する所要作成時間Ｔｒｅｆに近づいたときに、制御部２１に通知情報を通知する。よって、通知時刻は、その処理ユニットの実際の所要処理時間が短いほど、早くなる。言い換えれば、通知時刻は、その処理ユニットの実際の所要処理時間が長いほど、遅れる。
ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２の実際の所要処理時間が通常よりも短いために、処理ユニットＳＰＩＮ１よりも先に処理ユニットＳＰＩＮ２から通知情報が通知されるものとする。具体的には、処理ユニットＳＰＩＮ２は通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ２）において通知情報を制御部２１に通知する（図３４も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ２についての渡り計画を作成する。また、スケジューリング機能部２５は次の基板Ｗ３についての投入計画も作成する。
図３４は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３４の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が未だ通知されていないので、基板Ｗ１についての渡り計画のブロックおよび処理ユニットＳＰＩＮ１への次の投入計画のブロックは未だ配置されていない。一方で、処理ユニットＳＰＩＮ２からの通知情報の通知に応答して、基板Ｗ２についての渡り計画のブロックおよび処理ユニットＳＰＩＮ２への次の投入計画のブロックが新たに配置されている。図３４の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。
より具体的には、図３４の例では、基板Ｗ２についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ２の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ２に対する処理ユニットＳＰＩＮ２から処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２は処理ユニットＳＰＩＮ１よりも先に処理を終了するので、処理ユニットＳＰＩＮ３には基板Ｗ１ではなく基板Ｗ２が搬送された渡り計画が作成される。
また図３４の例では、基板Ｗ３についての投入計画として、基板Ｗ３に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ２への搬送処理に関するインデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ２の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ２は処理ユニットＳＰＩＮ１よりも先に処理を終了するので、基板Ｗ３が処理ユニットＳＰＩＮ２に搬送された投入計画が作成される。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ１）において処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が制御部２１に通知される（図３５も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ１についての渡り計画を作成する。また、スケジューリング機能部２５は次の基板Ｗ４についての投入計画も作成する。
図３５は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３５の例では、基板Ｗ１についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を規定するブロック、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ４への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の開始時刻を規定するブロックが新たに配置されている。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１が処理ユニットＳＰＩＮ２よりも後に処理を終了するので、基板Ｗ１が処理ユニットＳＰＩＮ４に搬送された渡り計画が作成される。図３５の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。
また図３５の例では、基板Ｗ４についての投入計画として、基板Ｗ４に対する基板収容器Ｃから処理ユニットＳＰＩＮ１への搬送処理に関するインデクサロボットＩＲおよび主搬送ロボットＣＲのブロック、ならびに、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の開始時刻を規定するブロックが新たに配置されている。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ１が処理ユニットＳＰＩＮ２よりも後に処理を終了するので、基板Ｗ４が処理ユニットＳＰＩＮ１に搬送された投入計画が作成される。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ２）において処理ユニットＳＰＩＮ２からの通知情報が制御部２１に通知される（図３６も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答して、処理内容データ４０に基づいて基板Ｗ３に対する渡り計画を作成しようとする。しかしながら、この通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ２）では、図３６に例示されるように、基板Ｗ３の次の搬送先候補である処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４からの基板Ｗの搬送が未だ計画されていない。言い換えれば、処理ユニットＳＰＩＮ３，ＳＰＩＮ４の処理の終了時刻がまだ確定していない。よって、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ３に対する渡り計画の作成を中断する。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ４）において処理ユニットＳＰＩＮ４からの通知情報が制御部２１に通知される（図３７も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ１についての払出計画を作成する。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ４は処理ユニットＳＰＩＮ３よりも先に処理を終了するので、先に処理ユニットＳＰＩＮ４からの基板Ｗ１の払出計画が作成される。
この払出計画によって、基板Ｗ３の次の搬送先候補の一つである処理ユニットＳＰＩＮ４からの基板Ｗ１の搬送が計画されるので、スケジューリング機能部２５は基板Ｗ３に対する渡り計画の作成を再開する。スケジューリング機能部２５はステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ３についての渡り計画を作成する。
図３７は、上述の動作により作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。図３７の例では、基板Ｗ１についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻を示すブロック、ならびに、基板Ｗ１に対する処理ユニットＳＰＩＮ４から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。また図３７の例では、基板Ｗ３についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ２の処理の終了時刻を示すブロック、基板Ｗ３に対する処理ユニットＳＰＩＮ２から処理ユニットＳＰＩＮ４への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲ、および、処理ユニットＳＰＩＮ４の次の処理の開始時刻を示すブロックが新たに配置されている。
図３７の例では、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ４）は、基板Ｗ３に対する処理ユニットＳＰＩＮ２のユニット推定終了時刻ｔ１３（ＳＰＩＮ２）よりも遅い。したがって、基板Ｗ３は、処理ユニットＳＰＩＮ４から基板Ｗ１が搬送されて処理ユニットＳＰＩＮ４への搬入が許可されるまで、処理ユニットＳＰＩＮ２において待機するように、渡り計画が作成される。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１２（ＳＰＩＮ３）において、処理ユニットＳＰＩＮ３からの通知情報が制御部２１に通知される（図３８も参照）。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ２についての払出計画を作成する。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）において、処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報が制御部２１に通知される。スケジューリング機能部２５はこの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ４についての渡り計画を作成する。
図３８は、上述の動作によって作成される全体スケジュールの一例を概略的に示す図である。図３８の例では、基板Ｗ２についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の終了時刻を規定するブロック、ならびに、基板Ｗ２に対する処理ユニットＳＰＩＮ３から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。図３８の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。
ここでは、通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）において、基板Ｗ４の搬送先候補の一つである処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻が既に確定されている。よって、スケジューリング機能部２５は通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ１）における処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ４についての渡り計画を作成する。
図３８の例では、基板Ｗ４についての渡り計画として、処理ユニットＳＰＩＮ１の処理の終了時刻を規定するブロック、基板Ｗ４に対する処理ユニットＳＰＩＮ１から処理ユニットＳＰＩＮ３への搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲのブロック、および、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の開始時刻を規定するブロックが新たに配置されている。
基板処理装置１００の動作がさらに進行すると、処理ユニットＳＰＩＮ３および処理ユニットＳＰＩＮ１からの通知情報がこの順に制御部２１に通知される。図３９は、これらの通知情報に応答して作成された全体スケジュールの一例を模式的に示す図である。
スケジューリング機能部２５はまず通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ４）における処理ユニットＳＰＩＮ４からの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ３についての搬出計画を作成する。ここでは、処理ユニットＳＰＩＮ４は処理ユニットＳＰＩＮ３よりも先に処理を終了するので、先に処理ユニットＳＰＩＮ４からの基板Ｗ３の払出計画が作成される。図３９の例では、基板Ｗ３についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ４の処理の終了時刻を規定するブロック、ならびに、基板Ｗ３に対する処理ユニットＳＰＩＮ４から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置されている。図３９の例でも、新たに配置されたブロックが斜線のハッチングで示されている。
またスケジューリング機能部２５は通知時刻ｔ１４（ＳＰＩＮ３）における処理ユニットＳＰＩＮ３からの通知情報の通知に応答してステップＳ２Ａ〜Ｓ１３を実行して、基板Ｗ４についての搬出計画を作成する。図３９の例では、基板Ｗ４についての払出計画として、処理ユニットＳＰＩＮ３の処理の終了時刻を規定するブロック、ならびに、基板Ｗ４に対する処理ユニットＳＰＩＮ３から基板収容器Ｃへの搬送処理に関する主搬送ロボットＣＲおよびインデクサロボットＩＲのブロックが新たに配置される。
以上のように、処理ユニットＳＰＩＮ２，ＳＰＩＮ４の実際の所要処理時間が通常よりも短くなったとしても、基板処理装置１００は動作を中断することなく、その短くなった所要処理時間が反映された全体スケジュールに応じた動作を続行することができる。
つまり、第３の実施の形態によれば、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の所要処理時間が変動したとしても、その変動を反映した全体スケジュールの再作成することができる。
しかも、第３の実施の形態によれば、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の処理の開始前には、各基板Ｗについての渡り計画および払出計画は作成されていない。言い換えれば、各基板の渡り計画および払出計画を作成する前に、処理実行指示部２６は全体スケジュールに従った動作を基板処理装置１００に実行させる。そして、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の処理の実行中に検出されるセンサＳＲのユニットセンシング情報に基づいて、各処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４の残り処理時間を推定し、その推定残り時間に基づいて、各基板Ｗの渡り計画および払出計画が作成される。
もし仮に基板処理装置１００の動作の開始前に渡り計画および払出計画が作成されると、その渡り計画および払出計画はセンサＳＲのユニットセンシング情報に応じて修正され得る。渡り計画および払出計画が修正される場合、動作の開始前に作成した渡り計画および払出計画の当該修正部分は無駄である。
これに対して、第３の実施の形態では、処理実行指示部２６は渡り計画および払出計画の作成前に、基板処理装置１００の動作を開始する。よって、そのような無駄な渡り計画および払出計画の作成を回避できる。よって、スケジューリング機能部２５の不要な動作を抑制でき、処理負荷を軽減することができる。
なお、第３の実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、スケジューリング機能部２５は通知元の処理ユニットに関するブロックを新たに配置するのみならず、必要に応じて他の処理ユニットのブロックを再配置してもよい。
また、第３の実施の形態でも、第２の実施の形態と同様に、スケジューリング機能部２５は、投入計画、渡り計画および払出計画を含む全体スケジュールを一旦作成し、必要に応じて、全体スケジュールを再作成してもよい。
以上、実施の形態が説明されたが、この基板処理装置１００はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。本実施の形態は、その開示の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
また、プログラムは、コンピュータ２０に組み込まれた状態で提供されてもよいし、コンピュータ２０とは別の記憶媒体（ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等のコンピュータ読取可能な記憶媒体）に記録された状態で提供されてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
例えば、基板処理装置１００に属するユニットとして、そのユニット内の雰囲気を制御するユニットも存在する。例えば、ユニット内の雰囲気には外気に漏れることが好ましくない気体が含まれる場合もある。この場合、当該気体を所定の排出部に十分に排出したうえで、ユニットから基板Ｗを搬出する必要がある。この場合、センサＳＲはユニットセンシング情報として、ユニット内の当該気体の濃度を検出してもよい。
あるいは、ユニット内の気圧を十分に低下させた状態で、基板Ｗに対する処理が行われる場合もある。この場合、処理終了後には、その気圧を大気圧に戻してから基板Ｗが排出される。この場合、センサＳＲはユニットセンシング情報として、ユニット内の気圧を検出してもよい。
また、気圧の低いチャンバに搬入するために処理ユニットに隣接して、気圧調整用のポート（ユニット）が配置される場合がある。このポートでは、基板Ｗに対する処理は行わないものの、ポート内の気圧を十分に低下させたうえで、当該ポートと処理ユニットとを隔てるシャッターを開き、当該ポートから処理ユニットへ基板Ｗを搬送する場合がある。この場合、処理ユニットで処理された基板Ｗは低圧力のポートに搬送され、シャッターを閉じたうえで、当該ポート内の気圧を元に戻してから、当該ポートから基板Ｗが排出される。この場合、ポート内にセンサＳＲが設けられてもよい。当該センサＳＲはユニットセンシング情報として、当該ポート内の気圧を検出してもよい。
また、基板Ｗの温度を調整する処理ユニットも存在する。例えば、基板Ｗの温度を上げて処理を行った後、基板Ｗの温度を下げたうえで、処理ユニットから基板Ｗを搬出する場合もある。この場合、センサＳＲはユニットセンシング情報として、基板Ｗの温度を検出してもよい。あるいは、センサＳＲは処理ユニット内の温度（処理室の温度）を検出してもよい。
また、上述の例では、通知時刻ｔ２はユニット推定終了時刻ｔ３よりも少なくとも所要作成時間Ｔｒｅｆ以上前に設定された。しかしながら、必ずしもこれに限らない。通知元の処理ユニットの処理終了までに、その処理ユニットについての払出計画が作成できない場合には、当該払出計画の作成が完了するまで、その処理ユニットにおいて基板Ｗが待機されればよい。
また、上述の例では、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の全てにセンサＳＲが設けられていた。しかるに、処理ユニットＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ１２の少なくともいずれか一つにセンサＳＲが設けられていればよい。センサＳＲが設けられていない処理ユニットについての払出計画は、その処理ユニットの予め定められた所要処理時間に基づいて作成されればよい。
２１ 制御部
Ｃ 基板収容器
ＣＲ ユニット（主搬送ロボット）
ＩＲ ユニット（インデクサロボット）
ＳＰＩＮ１〜ＳＰＩＮ４ 処理ユニット
ＳＲ センサ
Ｗ 基板

Claims (9)

  1. 基板に対する処理を行う複数の処理ユニットを含む複数のユニットを備える基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを作成するためのスケジュール作成方法であって、
    処理の内容および処理の所要時間を示すブロックを時系列に従って仮想的に配置して、仮タイムテーブルを作成するステップと、
    前記仮タイムテーブルから前記ブロックを取得し、時系列に従って仮想的に前記ブロックを配置して、前記複数のユニットの全体についての全体スケジュールを作成するスケジューリングステップと、
    前記複数のユニットに含まれる第１ユニットにおいて第１センサで第１ユニットセンシング情報を検出する検出ステップと、
    前記第１ユニットにおける処理進行状況と、前記第１ユニットセンシング情報との関係性を示す関係性情報に基づき、前記第１ユニットの処理終了時刻を推定し、第１ユニット推定終了時刻を得る推定ステップと、
    前記第１ユニット推定終了時刻を反映して前記仮タイムテーブルにおける、前記第１ユニットに対応する前記ブロックの内容を更新する仮タイムテーブル更新ステップと、
    更新した前記仮タイムテーブルに基づき、前記全体スケジュールを再作成する全体スケジュール更新ステップと
    を備え、
    前記仮タイムテーブル更新ステップおよび前記全体スケジュール更新ステップを、前記第１ユニット推定終了時刻までに完了させる、スケジュール作成方法。
  2. 請求項１に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記スケジューリングステップにおいて、前記全体スケジュールとして、前記複数のユニットについての基板の搬入および処理の開始時刻を規定する投入計画を作成し、
    少なくとも前記第１ユニットについての処理の終了時刻および基板の搬出を規定する払出計画を作成する前に、前記基板処理装置に前記全体スケジュールに従った動作を実行させ、
    前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記第１ユニット推定終了時刻に基づいて前記第１ユニットについての前記払出計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する、スケジュール作成方法。
  3. 請求項２に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記第１ユニットおよび前記複数のユニットに含まれる第２ユニットにおける処理を基板に対して連続的に行う渡り処理が、基板の処理手順を規定する処理内容データに含まれる場合には、前記第１ユニットから前記第２ユニットへの搬送を規定する渡り計画を作成する前に、前記基板処理装置に前記全体スケジュールに従った動作を実行させ、
    第１基板を処理する前記第１ユニットの前記第１ユニット推定終了時刻を得たときに、前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記第１基板についての前記渡り計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する、スケジュール作成方法。
  4. 請求項３に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記全体スケジュール更新ステップにおいて、
    前記第１基板を処理する前記第１ユニットの第１ユニット推定終了時刻を得たときに、前記第２ユニットが第２基板を処理しており、かつ、前記第２ユニットからの前記第２基板の搬送が未だ計画されていない場合、前記第１基板についての前記渡り計画の作成を中断し、前記第２ユニットからの当該搬送が計画されてから前記第１基板についての前記渡り計画を作成して前記全体スケジュールを再作成する、スケジュール作成方法。
  5. 請求項１に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記全体スケジュール更新ステップにおいて、前記全体スケジュールとして、前記複数のユニットについての基板の搬入、処理および搬出を規定した計画を作成する、スケジュール作成方法。
  6. 請求項５に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記全体スケジュールにおける前記ブロックの終了予定時刻と、前記推定ステップで得られた第１ユニット推定終了時刻との時刻差が既定の基準値を超えているか否かを判断するステップをさらに含み、
    前記時刻差が前記基準値よりも大きいと判断された場合には、前記全体スケジュール更新ステップを実行し、
    前記時刻差が前記基準値よりも小さいと判断された場合には、前記全体スケジュール更新ステップを実行しない、スケジュール作成方法。
  7. 請求項５または請求項６に記載のスケジュール作成方法であって、
    前記全体スケジュール更新ステップにおいて作成される前記計画は、前記第１ユニットから前記複数のユニットに含まれた第２ユニットへの搬送を規定する渡り計画を含む、スケジュール作成方法。
  8. 請求項１から請求項７のいずれか一つに記載のスケジュール作成方法であって、
    前記ブロックが示す処理の時間を前記第１ユニット推定終了時刻に基づいて更新して、記憶媒体に記憶するブロック更新工程をさらに備える、スケジュール作成方法。
  9. 基板に対する処理を行う複数の処理ユニットを含む複数のユニットを備える基板処理装置と、
    前記基板処理装置の動作を時系列に従って規定するスケジュールを作成する制御部と
    を備え、
    前記制御部は、
    処理の内容および処理の所要時間を示すブロックを時系列に従って仮想的に配置して、仮タイムテーブルを作成し、
    前記仮タイムテーブルから前記ブロックを取得し、時系列に従って仮想的に前記ブロックを配置して、前記複数のユニットの全体についての全体スケジュールを作成し、
    前記複数のユニットに含まれる第１ユニットにおいて第１センサで検出された第１ユニットセンシング情報と、前記第１ユニットにおける処理進行状況とを示す関係性情報に基づき、前記第１ユニットの処理終了時刻を推定し、第１ユニット推定終了時刻を取得し、
    前記第１ユニット推定終了時刻を反映して前記仮タイムテーブルにおける、前記第１ユニットに対応する前記ブロックの内容を更新し、
    前記第１ユニット推定終了時刻までに、更新した前記仮タイムテーブルに基づき、前記全体スケジュールを再作成する、スケジュール作成装置。
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